JPH0677926B2 - タブレット湿度管理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体装置の封止工程に於ける封止用のエポキ
シ樹脂タブレットの湿度管理装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、半導体装置の封止装置は、第３図に示すがごとく
上プラテン（19）、射出シリンダー（17）、スライドテ
ーブル（22）から成るプレス本体（23）上に上型（20）
下型（21）を取り付け、下型（21）上に半導体装置（2
4）を装填し、かかる後に上、下型を型締めしタブレッ
ト投入口（18）よりフダレット（３）を投入し射出シリ
ンダー（17）を作動させ所定の成形を行なうのが一般的
であった。ここで、封止に使用するタブレット（３）は
タブレット製造メーカーから納品された後、劣化防止の
ため冷蔵庫に一時保管し、使用する時レジンの特性を考
慮し室内（20℃）に一時さらした後、第３図に示すプレ
ス金型に投入し、前述した要領で成形していた。

ところで、半導体装置の封止においては、その内部ボイ
ドの発生率に対し、使用するタブレットの保管状態、特
に湿度のばらつきが大きく影響していることが判明して
いる。それを例えば第５図で説明すると、湿度７％以下
の場合と、20〜30％の場合では、湿度10〜20％の場合よ
りも内部ボイド数が多く、また、湿度10〜20％の場合
と、湿度30〜45％の場合とを比較すると、湿度30〜45％
の場合では、大きなボイド径のボイドが多くなり、従っ
て、湿度10〜20％が好ましいことが解る。そこでタブレ
ットの湿度を管理するため、従来、第４図に示すように
乾空源（５）からの乾空を、弁（６），圧力計（７）、
流量計（９）を経由させタブレットケース（１）内に導
き、内部に納入したタブレット（３）の湿度をコントロ
ールしていた。即ち、室内湿度と流量計（９）でコント
ロールした乾空（５）をタブレットケース（１）内で混
合し、所定の湿度にタブレットケース（１）を保つよう
にしていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来の装置は以上のように構成されているので、乾空の
湿度と流量は一定であるが、室内の湿度は変化しやす
く、タブレットケース（１）内の湿度を一定に保つこと
が非常に困難であり、例えば第６図に示すように、タブ
レットケース（１）内の湿度を管理したときのケース
（１）内の湿度変化は、図示のごとくばらつきが極めて
大きく、また市販の除湿設備を設置した場合、価格、設
備設置費、大きさなどの点で手軽さに欠け利用すること
は極めて困難である問題点があった。

本発明はこのような点に鑑みなされたもので、安価で、
かつ安定した湿度管理ができるタブレット湿度管理装置
を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本発明に係るタブレット湿度管理装置は、加湿された空
気を収容する加湿タンク、この加湿タンクから吐出され
た空気と、乾燥された空気とを混合し、定湿度の空気を
形成する混合ボックス、及びブレットを収容すると共に
上記混合ボックスからの定湿度の空気が吸収されるタブ
レットケースを備え、上記定湿度の空気は上記タブレッ
トケース内の上記タブレットが管理される湿度は予め設
定されている。

［作用］ この発明におけるタブレット湿度管理装置は、混合ボッ
クスの中で、湿度タンクから供給された高湿度の空気
と、乾燥された空気とが一括混合されて、タブレットが
管理される一定の湿度が予め形成され、この一定湿度の
空気がタブレットケース内に吸入されるため、タブレッ
トが所定の定湿度で維持され、ボイドの発生を抑制でき
る。

［発明の実施例］ 以下第１図、第２図により本発明の一実施例を説明す
る。第２図において、（５）は乾空源で、通常露点−40
℃レベルの安定した乾空が供給される。（６）は弁、
（７）は圧力計、（９）は流量計で乾空の流量と加湿エ
アーの双方に設置され、その量のコントロールを行な
う。（11）は加湿タンクで内部に水（12）を入れてあ
り、水が逆流しないように加湿タンク（11）からの配管
には逆止弁（10）が夫々取り付けてある。（13）は加湿
タンク（11）内の水（12）の量を検出するためのセンサ
ーで、その信号は水を自動供給するための電磁弁（15）
に行くよう構成されている。（14）は混合ボックスでＡ
から来た乾空とＢから来た加湿エアーをここで混合す
る。（16）は湿度計で混合ボックス（14）内の湿度を検
出し電磁弁（15）に送る。（１）はタブレットケースで
この中にタブレット（３）を保管し混合ボックスで混合
された定湿度のエアーＣがこの中に導かれる。（２）は
フタでタブレットの取り出し口、（４）は水源で弁
（６）、圧力計（７）、絞り弁（８），電磁弁（15）を
経由した後加湿タンク（11）に水を送る。

次に動作を説明する。乾空源（５）から供給されたされ
たエアーは流量計（９）で定量混合ボックスに送られ
る。また同時に流量計（９）で定量加湿タンク（11）を
経由して定湿度のエアーとして混合ボックス（14）に送
られる。あらかじめ設定された湿度、即ち、10〜20％に
なるように乾空Ａと加湿エアーＢの量及び加湿タンク
（11）内の水の量を、流量計（９）、センサー（13）で
湿度計（16）をみながら設定する。水（12）の量が順次
少なくなると当然加湿エアーＢの湿度は下がる。このた
めセンサー（13）で検出した水位になるようその信号を
電磁弁（15）に送り、水源（４）より水（12）を供給し
てやる。さらに湿度計（16）の信号で水の量を制御して
やることもできる。このように制御してやると混合ボッ
クス（14）から出たエアーＣは設定された湿度で出て来
る、このエアーＣをタブレットケース（１）内に導きタ
ブレット（３）を設定された湿度で管理することが可能
である。この実施例によれば、加湿タンクの内径がφ10
0mm程度であれば、水のレベルを10mmにコントロールす
れば安定した湿度のエアーを得ることができる。第２図
に実施例で（設定15％湿度）行なったもののタブレット
ケース内の湿度のばらつきを示す。グラフを提示するが
図のごとく極めて安定した湿度のエアーを得ることがで
きる。このことはタブレット（３）の定湿度保管状態の
極めて良好なことを示す。また、乾空Ａ加湿Ｂの量を流
量計（９）で水（12）の量をセンサー（13）で設定する
ことにより０〜70％の範囲で任意の定湿度のエアーを取
り出すことができる。

［発明の効果］ 以上のようにこの発明は、加湿された空気を吸容する加
湿タンク、この加湿タンクから吐出された空気と、乾燥
された空気とを混合し、定湿度の空気を形成する混合ボ
ックス、及びタブレットを収容すると共に上記混合ボッ
クスからの定湿度の空気が吸入されるタブレットケース
を備え、上記定湿度の空気は上記タブレットケース内の
上記タブレットが管理される湿度に予め設定されている
ので、タブレットケース内に安定した湿度の空気を供給
できてタブレットケース内の湿度のばらつきが大幅に低
減され、成形工程における内部ボイドの減少に大きく貢
献できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図はそ
の湿度デーを示すグラフ、第３図は一般のプレスを示す
側面図、第４図は従来装置の構成図、第５図はボイド数
とボイド径との関係を示すグラフ、第６図は従来装置の
場合の湿度データを示すグラフである。図中、（１）は
タブレットケース、（３）はタブレット、（５）は乾燥
源、（11）は加湿タンク、（14）は混合ボックスであ
る。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加湿された空気を収容する加湿タンク、こ
   の加湿タンクから吐出された空気と、乾燥された空気と
   を混合し、定湿度の空気を形成する混合ボックス、及び
   タブレットを収容すると共に上記混合ボックスからの定
   湿度の空気が吸収されるタブレットケースを備え、上記
   定湿度の空気は上記タブレットケース内の上記タブレッ
   トが管理される湿度に予め設定されていることを特徴と
   するタブレット湿度管理装置。