JPH0677646B2 - Heat medium recovery device - Google Patents
Heat medium recovery deviceInfo
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- JPH0677646B2 JPH0677646B2 JP61260903A JP26090386A JPH0677646B2 JP H0677646 B2 JPH0677646 B2 JP H0677646B2 JP 61260903 A JP61260903 A JP 61260903A JP 26090386 A JP26090386 A JP 26090386A JP H0677646 B2 JPH0677646 B2 JP H0677646B2
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- JP
- Japan
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- heat medium
- work
- tank
- medium liquid
- liquid
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、不活性液体からなる熱媒体液を用いた液相試
験装置（例えば、サーマルショックテスト装置）等にお
いて、ワークに付着した熱媒体液を回収する熱媒体回収
装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention relates to a heat medium adhered to a work in a liquid phase test apparatus (for example, a thermal shock test apparatus) using a heat medium liquid composed of an inert liquid. The present invention relates to a heat medium recovery device that recovers a liquid.
（従来の技術） 近年、サーマルショックテスト等に使用される液相試験
装置において、ワーク加熱用熱媒体液として不活性液体
（例えば、フッ素系不活性液体）が多用されるようにな
ってきている。この不活性液体は、電気絶縁性および熱
伝導性に優れ、しかも不活性で金属、プラスチック、ゴ
ム等を侵さないという利点を有するが、極めて高価なも
のである。そこで、かかる液相試験装置においては、不
活性液体に浸漬されたワークに付着した不活性液体をい
かにして効率良く回収するかが従来から重要な課題とさ
れていた。(Prior Art) In recent years, in a liquid phase tester used for a thermal shock test or the like, an inert liquid (for example, a fluorine-based inert liquid) has been frequently used as a heat medium liquid for heating a work. . This inert liquid is excellent in electrical insulation and thermal conductivity, and also has the advantage that it is inert and does not attack metal, plastic, rubber, etc., but it is extremely expensive. Therefore, in such a liquid phase test apparatus, how to efficiently recover the inert liquid adhering to the work immersed in the inert liquid has been an important issue.
上記課題に対処するものとして、第３図図示の如く、ワ
ークＷを浸漬するための不活性液体からなる熱媒体液Ａ
を収容した熱媒体液槽２を有するタンク１の上部に冷却
コイル４に囲繞された冷却ゾーン３を設け、前記熱媒体
液槽２中から引き上げられたワークＷから自然蒸発する
熱媒体蒸気Ａ′を冷却ゾーン３において冷却コイル４に
より凝縮回収するようにしたものが良く知られている
（特開昭60−125202号公報参照）。As a solution to the above-mentioned problem, as shown in FIG. 3, the heat transfer medium liquid A made of an inert liquid for immersing the work W is used.
A cooling zone 3 surrounded by a cooling coil 4 is provided in the upper part of a tank 1 having a heat medium liquid tank 2 accommodating the heat medium liquid tank 2, and a heat medium vapor A ′ that spontaneously evaporates from a work W pulled from the heat medium liquid tank 2 It is well known that the cooling coil 3 is used to condense and recover the same in the cooling zone 3 (see Japanese Patent Laid-Open No. 125202/1985).
（発明が解決しようとする問題点） 上記公知技術において開示されているように、ワークＷ
から自然蒸発した熱媒体蒸気Ａ′を凝縮回収する場合、
ワークＷ周囲の温度に相当する飽和蒸気圧以上の熱媒体
蒸発が望めないところから、熱媒体回収率の向上に限界
があった。(Problems to be Solved by the Invention) As disclosed in the above-mentioned known art, the work W
When condensing and recovering the heat medium vapor A ′ that spontaneously evaporates from
There is a limit to the improvement of the heat medium recovery rate because the heat medium evaporation above the saturated vapor pressure corresponding to the temperature around the work W cannot be expected.
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、ワークの
表面温度が熱媒体液の沸点より所定温度高くなるように
加熱することによって、ワークに付着している熱媒体液
を完全に蒸発させ得るようにし、以って熱媒体の回収効
率を大幅に向上させることを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above points, by heating the surface temperature of the work to be higher than the boiling point of the heat carrier liquid by a predetermined temperature, so that the heat carrier liquid adhering to the work is completely evaporated. The purpose of this is to significantly improve the recovery efficiency of the heat medium.
（問題点を解決するための手段） 本発明では、上記問題点を解決するための手段として、
添付の図面に示すように、不活性液体からなる熱媒体液
Ａが収容される熱媒体液槽２を有するタンク１と、該タ
ンク１内における前記熱媒体液槽２上方の冷却ゾーン３
にあって熱媒体蒸気Ａ′を冷却凝縮させる冷却手段４
と、前記熱媒体液槽２中へ浸漬されるワークＷを昇降さ
せるワーク移動手段５とを備えた熱媒体回収装置におい
て、前記冷却ゾーン３に位置せしめられた状態のワーク
Ｗの表面温度を検知する非接触形の温度センサー９と、
前記冷却ゾーン３に位置せしめられた状態のワークＷに
対して赤外線を照射する如く構成され且つ前記温度セン
サー９により検知されたワークＷの表面温度が前記熱媒
体液Ａの沸点を所定温度上回るように赤外線照射量を制
御される赤外線ランプ10とを付設している。(Means for Solving Problems) In the present invention, as means for solving the above problems,
As shown in the accompanying drawings, a tank 1 having a heat medium liquid tank 2 containing a heat medium liquid A made of an inert liquid, and a cooling zone 3 above the heat medium liquid tank 2 in the tank 1.
Cooling means 4 for cooling and condensing the heat medium vapor A '
And a work moving means 5 for moving the work W immersed in the heat medium liquid tank 2 up and down, the surface temperature of the work W located in the cooling zone 3 is detected. A non-contact type temperature sensor 9
The surface temperature of the work W, which is configured to irradiate the work W positioned in the cooling zone 3 with infrared rays and is detected by the temperature sensor 9, exceeds the boiling point of the heat carrier liquid A by a predetermined temperature. An infrared lamp 10 whose infrared irradiation amount is controlled is additionally provided.
（作用） 本発明では、上記手段によって次のような作用が得られ
る。(Operation) In the present invention, the following operations are obtained by the above means.
即ち、タンク１内の熱媒体液槽２中に浸漬された後引き
上げられたワークＷには、冷却ゾーン３に位置せしめら
れた状態において、赤外線ランプ10によって赤外線が照
射されるが、この時、温度センサー９により検知された
ワークＷの表面温度が熱媒体液Ａの沸点より所定温度高
くなるように赤外線ランプ10による赤外線照射量がフィ
ードバック制御されるところから、ワークＷに付着した
熱媒体液Ａは赤外線照射によってほとんど完全に蒸発せ
しめられた後、冷却ゾーン３において直ちに凝縮液化さ
れてタンク１内の熱媒体液槽２へと回収される。従っ
て、ワークＷに付着していた熱媒体液Ａのほとんどが回
収されることとなるのである。That is, the work W that has been pulled up after being immersed in the heat medium liquid tank 2 in the tank 1 is irradiated with infrared rays by the infrared lamp 10 in the state of being positioned in the cooling zone 3. At this time, Since the infrared irradiation amount by the infrared lamp 10 is feedback-controlled so that the surface temperature of the work W detected by the temperature sensor 9 becomes higher than the boiling point of the heat transfer medium A by a predetermined temperature, the heat transfer medium A adhering to the work W is Is almost completely evaporated by infrared irradiation, and then immediately condensed and liquefied in the cooling zone 3 to be collected in the heat medium liquid tank 2 in the tank 1. Therefore, most of the heat medium liquid A attached to the work W is recovered.
（実施例） 以下、添付の図面を参照して本発明の好適な実施例を説
明する。(Examples) Hereinafter, preferred examples of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本実施例の熱媒体回収装置は、第１図図示の如く、ワー
クＷ（例えば、IC、LSI等の電子部品）を浸漬加熱する
ための不活性液体（本実施例では、沸点102℃のフッ素
系不活性液体）からなる熱媒体液Ａが収容される熱媒体
液槽２を有するタンク１（換言すれば、液相試験槽）
と、該タンク１内における前記熱媒体液槽２上方の冷却
ゾーン３にあって熱媒体蒸気Ａ′を冷却凝縮させる冷却
手段として作用する冷却コイル４と、前記熱媒体液槽２
中へ浸漬されるワークＷを昇降させるワーク移動手段５
とを備えている。前記熱媒体液Ａは、電気ヒータ６によ
って沸点近くの温度（例えば、約100℃）に保持されて
いる。また、前記冷却ゾーン３は、冷却コイル４によっ
て常温雰囲気とされている。さらに、前記ワーク移動手
段５は、複数個のワークW,W・・・が載置され且つ水平
に対して若干傾斜せしめられた状態で吊持されたケージ
７と、該ケージ７を昇降させる駆動モータ８とによって
構成されている。As shown in FIG. 1, the heat medium recovery apparatus of the present embodiment is an inert liquid (in the present embodiment, fluorine having a boiling point of 102 ° C.) for immersion heating of a work W (for example, electronic parts such as IC and LSI). Tank 1 (in other words, liquid phase test tank) having a heat medium liquid tank 2 containing a heat medium liquid A composed of a system inert liquid)
A cooling coil 4 in the cooling zone 3 above the heat medium liquid tank 2 in the tank 1, which functions as a cooling means for cooling and condensing the heat medium vapor A ', and the heat medium liquid tank 2
Work moving means 5 for raising and lowering the work W immersed therein
It has and. The heat medium liquid A is maintained at a temperature near the boiling point (for example, about 100 ° C.) by the electric heater 6. Further, the cooling zone 3 is set to a normal temperature atmosphere by the cooling coil 4. Further, the work moving means 5 has a cage 7 in which a plurality of works W, W ... Are placed and suspended in a state of being slightly inclined with respect to the horizontal, and a drive for moving the cage 7 up and down. It is composed of a motor 8.
そして、前記タンク１の上方には、前記冷却ゾーン３に
位置せしめられた状態のワークＷの表面温度を検知する
非接触形の温度センサー９と、前記冷却ゾーン３に位置
せしめられた状態のワークＷに対して赤外線を照射する
赤外線ランプ10とが設けられている。Further, above the tank 1, a non-contact type temperature sensor 9 for detecting the surface temperature of the work W positioned in the cooling zone 3 and a work positioned in the cooling zone 3 An infrared lamp 10 for irradiating W with infrared rays is provided.
前記温度センサー９としては、測定対象物（本実施例の
場合、ワーク）から発せられる赤外エネルギーを集光
し、これを電気信号に変換する市販の非接触温度計が採
用される。As the temperature sensor 9, a commercially available non-contact thermometer that collects infrared energy emitted from an object to be measured (workpiece in this embodiment) and converts it into an electric signal is used.
前記赤外線ランプ10は、温度センサー９から出力される
電気信号（温度情報を変換したもの）を入力された制御
手段11によって赤外線照射量が制御されるように構成さ
れている。本実施例では、該制御手段11を、前記温度セ
ンサー９からの電気信号を入力される温度調節計12と該
温度調節計12からの出力信号を受けて赤外線ランプ10へ
の電流制御を行うサイリスタ13とによって構成されてい
る。しかして、前記制御手段11では、温度センサー９に
より検知されたワークＷの表面温度が前記熱媒体液Ａの
沸点を所定温度（例えば、２〜３℃）上回るように赤外
線ランプ10の照射量を制御するフィードバック制御が行
なわれる。なお、ワークW,W・・・を加熱する手段とし
て、赤外線ランプ10を使用したことにより、周囲雰囲気
を加熱することなく、照射対象物（換言すれば、ワーク
W,W・・・）を加熱することができる点で極めて有利と
なる。The infrared lamp 10 is configured such that the infrared irradiation amount is controlled by the control means 11 to which the electric signal (which is obtained by converting the temperature information) output from the temperature sensor 9 is input. In this embodiment, the control means 11 is a thyristor for controlling the current to the infrared lamp 10 by receiving a temperature controller 12 to which an electric signal from the temperature sensor 9 is input and an output signal from the temperature controller 12. It is composed of 13 and. Therefore, the control means 11 controls the irradiation amount of the infrared lamp 10 so that the surface temperature of the work W detected by the temperature sensor 9 exceeds the boiling point of the heat medium liquid A by a predetermined temperature (for example, 2 to 3 ° C.). Feedback control for controlling is performed. By using the infrared lamp 10 as a means for heating the workpieces W, W, the irradiation target (in other words, the workpiece) is heated without heating the surrounding atmosphere.
W, W ...) can be heated, which is extremely advantageous.
ついで、図示の実施例にかかる熱媒体回収装置の作用を
説明する。Next, the operation of the heat medium recovery device according to the illustrated embodiment will be described.
ワーク移動手段５における駆動モータ８を作動せしめて
ケージ７を降下させ、該ケージ７に載置されたワークW,
W・・・を熱媒体液槽２中に浸漬して加熱することによ
りサーマルショックテストが行なわれる（第２図参
照）。その後、前記駆動モータ８を逆転させてケージ７
を冷却ゾーン３まで上昇させ、該冷却ゾーン３において
ケージ７（換言すれば、ワークＷ）を所定時間静止状態
する。The drive motor 8 in the work moving means 5 is operated to lower the cage 7, and the work W placed on the cage 7
A thermal shock test is performed by immersing W in the heating medium liquid tank 2 and heating it (see FIG. 2). Then, the drive motor 8 is rotated in the reverse direction to move the cage 7
Are raised to the cooling zone 3, and the cage 7 (in other words, the work W) is kept stationary in the cooling zone 3 for a predetermined time.
すると、水平に対して若干傾斜せしめられた状態で吊持
されたケージ７上のワークW,W・・・に付着した熱媒体
液Ａの大部分は、ワークW,W・・・とケージ７との隙間
から重力により下方の熱媒体液槽２へ流出回収される
が、なお一部の熱媒体液ＡはワークW,W・・・に付着し
た状態で残留する。この残留熱媒体液Ａを回収するため
に本実施例では、赤外線ランプ10によりワークW,W・・
・の表面に赤外線を照射し、且つ温度センサー９と制御
手段11とによってワークW,W・・・の表面温度が熱媒体
液Ａの沸点より所定温度高くなるように赤外線照射量が
フィードバック制御される。かくして、ワークW,W・・
・に付着していた熱媒体液Ａは次々と蒸発して熱媒体蒸
気Ａ′となり、その後直ちに冷却コイル４によって凝縮
液化されて下方の熱媒体液槽２へ回収される（第１図参
照）。このようにして、ワークW,W・・・に付着してい
た熱媒体液Ａが完全に回収されると、駆動モータ７の作
動によりワークW,W・・・は装置外へ搬出される。な
お、ワークW,W・・・の冷却ゾーン３における静止時間
は、熱媒体の種類および温度、赤外線照射距離および赤
外線の波長に基づき決定される。Then, most of the heat medium liquid A adhering to the works W, W ... On the cage 7 suspended in a state in which it is slightly inclined with respect to the horizontal is the works W, W. Although it flows out and is collected from the gap between and to the lower heat medium liquid tank 2 by gravity, a part of the heat medium liquid A still remains in a state of being attached to the works W, W .... In order to collect this residual heat transfer medium liquid A, in this embodiment, the work W, W ...
The surface of each of the workpieces W, W ... Is irradiated with infrared rays by feedback control so that the surface temperature of the workpieces W, W ... Is higher than the boiling point of the heating medium liquid A by a predetermined temperature. It Thus, work W, W ...
The heat medium liquid A adhering to is vaporized one after another to become heat medium vapor A ', and immediately thereafter is condensed and liquefied by the cooling coil 4 and collected in the heat medium liquid tank 2 below (see FIG. 1). . In this way, when the heat medium liquid A attached to the works W, W ... Is completely recovered, the works W, W ... Are carried out of the apparatus by the operation of the drive motor 7. The rest time of the works W, W ... In the cooling zone 3 is determined based on the type and temperature of the heat medium, the infrared irradiation distance, and the infrared wavelength.
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明
の要旨を逸脱しない範囲において適宜設計変更可能なこ
とは勿論である。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that the design can be appropriately changed without departing from the scope of the invention.
（発明の効果） 叙上の如く、本発明によれば、不活性液体からなる熱媒
体液Ａが収容される熱媒体液槽２を有するタンク１と、
該タンク１内における前記熱媒体液槽２上方の冷却ゾー
ン３にあって熱媒体蒸気Ａ′を冷却凝縮させる冷却手段
４と、前記熱媒体液槽２中へ浸漬されるワークＷを昇降
させるワーク移動手段５とを備えた熱媒体回収装置にお
いて、ワークＷの表面温度を検知する非接触形の温度セ
ンサー９により検知されたワークＷの表面温度が前記熱
媒体液Ａの沸点を所定温度上回るように赤外線照射量を
フィードバック制御される赤外線ランプ10によってワー
クＷの表面を加熱するようにしたので、ワークＷに付着
した熱媒体液Ａのほとんどが蒸発された後直ちに冷却手
段４により凝縮液化されて熱媒体液槽２へ回収されるこ
ととなり、極めて簡易な機構で、しかも低コスト且つ短
時間で極めて高い熱媒体回収を行うことができるという
優れた効果がある。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, a tank 1 having a heat medium liquid tank 2 in which a heat medium liquid A made of an inert liquid is stored;
Cooling means 4 for cooling and condensing the heat medium vapor A'in the cooling zone 3 above the heat medium liquid tank 2 in the tank 1, and a work for raising and lowering the work W immersed in the heat medium liquid tank 2. In the heat medium recovery device provided with the moving means 5, the surface temperature of the work W detected by the non-contact type temperature sensor 9 for detecting the surface temperature of the work W exceeds the boiling point of the heat medium liquid A by a predetermined temperature. Since the surface of the work W is heated by the infrared lamp 10 whose infrared irradiation amount is feedback controlled, most of the heat medium liquid A adhering to the work W is condensed and liquefied by the cooling means 4 immediately after being evaporated. Since it is collected in the heat medium liquid tank 2, there is an excellent effect that an extremely high heat medium can be collected with a very simple mechanism at low cost and in a short time.
また、ワークW,W・・・を加熱する手段として、赤外線
ランプ10を採用したことにより、周囲雰囲気を加熱する
ことなく照射対象物であるワークW,W・・・を加熱する
ことができることとなり、ワークW,W・・・に付着した
熱媒体液Ａの蒸発が効率的になされるという効果もあ
る。Further, by adopting the infrared lamp 10 as a means for heating the works W, W, it is possible to heat the works W, W, which are irradiation objects, without heating the surrounding atmosphere. , Also has the effect that the heat medium liquid A adhering to the works W, W ... Is efficiently evaporated.
第１図は本発明の実施例にかかる熱媒体回収装置を示す
概略図、第２図は第１図図示の熱媒体回収装置のワーク
浸漬時の状態を示す概略図、第３図は従来公知の熱媒体
回収装置を示す概略図である。 １……タンク ２……熱媒体液槽 ３……冷却ゾーン ４……冷却手段（冷却コイル） ５……ワーク移動手段 ９……温度センサー 10……赤外線ランプ Ｗ……ワーク Ａ……熱媒体液 Ａ′……熱媒体蒸気FIG. 1 is a schematic diagram showing a heat medium recovery device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing a state when a work medium is immersed in the heat medium recovery device shown in FIG. 1, and FIG. It is a schematic diagram showing the heat medium recovery device. 1 ... Tank 2 ... Heat medium liquid tank 3 ... Cooling zone 4 ... Cooling means (cooling coil) 5 ... Work moving means 9 ... Temperature sensor 10 ... Infrared lamp W ... Work A ... Heat medium Liquid A '... Heat medium vapor
Claims (1)
される熱媒体液槽（２）を有するタンク（１）と、該タ
ンク（１）内における前記熱媒体液槽（２）上方の冷却
ゾーン（３）にあって熱媒体蒸気（Ａ′）を冷却凝縮さ
せる冷却手段（４）と、前記熱媒体液槽（２）中へ浸漬
されるワーク（Ｗ）を昇降させるワーク移動手段（５）
とを備えた熱媒体回収装置において、前記冷却ゾーン
（３）に位置せしめられた状態のワーク（Ｗ）の表面温
度を検知する非接触形の温度センサー（９）と、前記冷
却ゾーン（３）に位置せしめられた状態のワーク（Ｗ）
に対して赤外線を照射する如く構成され且つ前記温度セ
ンサー（９）により検知されたワーク表面温度が前記熱
媒体液（Ａ）の沸点を所定温度上回るように赤外線照射
量を制御される赤外線ランプ（10）とを付設したことを
特徴とする熱媒体回収装置。1. A tank (1) having a heat medium liquid tank (2) containing a heat medium liquid (A) made of an inert liquid, and the heat medium liquid tank (2) in the tank (1). Cooling means (4) in the upper cooling zone (3) for cooling and condensing the heat medium vapor (A ') and work movement for raising and lowering the work (W) immersed in the heat medium liquid tank (2). Means (5)
In a heat medium recovery device including: a non-contact type temperature sensor (9) for detecting the surface temperature of a workpiece (W) positioned in the cooling zone (3); and the cooling zone (3). Work (W) in the state
An infrared lamp (which is configured to irradiate infrared rays to the infrared lamp and whose infrared irradiation amount is controlled so that the workpiece surface temperature detected by the temperature sensor (9) exceeds a boiling point of the heating medium liquid (A) by a predetermined temperature. 10) A heat medium recovery device characterized by being attached with and.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61260903A JPH0677646B2 (en) | 1986-10-30 | 1986-10-30 | Heat medium recovery device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61260903A JPH0677646B2 (en) | 1986-10-30 | 1986-10-30 | Heat medium recovery device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111901A JPS63111901A (en) | 1988-05-17 |
| JPH0677646B2 true JPH0677646B2 (en) | 1994-10-05 |
Family
ID=17354358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61260903A Expired - Lifetime JPH0677646B2 (en) | 1986-10-30 | 1986-10-30 | Heat medium recovery device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0677646B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02101470A (en) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 | Mitsubishi Electric Corp | Method for heat treating photosensitive resist |
| JP2820818B2 (en) * | 1991-08-21 | 1998-11-05 | 関西電力株式会社 | Ice heat storage device temperature measurement device |
| EP2263782A1 (en) | 2007-05-22 | 2010-12-22 | Asahi Kasei Chemicals Corporation | Device for fluid distribution in hollow fiber membrane modules |
| JP5769653B2 (en) * | 2012-03-12 | 2015-08-26 | 三菱電機株式会社 | Heat treatment equipment |
-
1986
- 1986-10-30 JP JP61260903A patent/JPH0677646B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63111901A (en) | 1988-05-17 |
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