JPH0675233A - Liquid crystal display element and its production - Google Patents

Liquid crystal display element and its production

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JPH0675233A
JPH0675233A JP12298893A JP12298893A JPH0675233A JP H0675233 A JPH0675233 A JP H0675233A JP 12298893 A JP12298893 A JP 12298893A JP 12298893 A JP12298893 A JP 12298893A JP H0675233 A JPH0675233 A JP H0675233A
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耕次郎 坪田
Kazuyoshi Fujioka
和巧 藤岡
Yoji Yoshimura
洋二 吉村
Hiroyuki Ogami
裕之 大上
裕 ▲高▼藤
Yutaka Takato
Katsumi Nomura
克己 野村
Masumi Kubo
真澄 久保
Hirokazu Kamei
宏和 亀井
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Abstract

PURPOSE:To make the cell thickness of a liq. crystal display element constant without using a spacer. CONSTITUTION:The thickness of the central part of the liq. crystal layer 6 injected between two substrates 2 and 3 is measured. The distance between the central parts of the substrates 2 and 3 is mechanically adjusted based on the measured result by the suction of cell suction pumps 135a and 135b or the compression of cell pressing compressors 136a and 136b. Consequently, the liq. cell 122a is injected from an injection port 7 or discharged, and the thickness of the central part of the liq. crystal layer is made constant.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、2つの基板の間に液晶
層を挟んだ液晶表示素子及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device having a liquid crystal layer sandwiched between two substrates and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】上述した液晶表示素子は、対向配設した
2つの基板の間を、一部を除いてシール材にてシール
し、その一部である注入口より内部に液晶を注入するこ
とにより行われる。その注入は、従来、内部雰囲気圧を
調整可能とした室内に液晶槽を備えた液晶注入装置によ
り行われている。例えば室内を真空ポンプにて10-3
orr近傍まで真空引きした後、液晶表示素子の注入口
を下にした状態で液晶槽に貯留された液晶に注入口を浸
漬し、その後室内を大気圧にまで戻すことにより、シー
ル材にてシールされた2つの基板の間に液晶を注入さ
せ、最後に注入口にディスペンサー等により紫外線硬化
樹脂を塗布し、その樹脂に紫外線を照射することにより
注入口を封止することが行われている。
2. Description of the Related Art In the above-mentioned liquid crystal display device, a space between two substrates arranged opposite to each other is partially sealed with a sealing material, and liquid crystal is injected into the inside through an injection port which is a part thereof. Done by. Conventionally, the injection is performed by a liquid crystal injection device having a liquid crystal tank inside a chamber whose internal atmospheric pressure is adjustable. For example, the interior of the room is 10 -3 t with a vacuum pump
After vacuuming to the vicinity of orr, the inlet of the liquid crystal display element is placed in the liquid crystal tank with the inlet facing down, and the inlet is immersed in the liquid crystal. Liquid crystal is injected between the two substrates thus formed, and finally an ultraviolet curing resin is applied to the injection port by a dispenser or the like, and the resin is irradiated with ultraviolet rays to seal the injection port.

【0003】ところで、液晶の注入は、複数の液晶表示
素子に対して同時に行われ、注入口の封止は液晶表示素
子の全てに液晶が注入された時に行われる。従って、従
来の場合に於いて、複数の液晶表示素子全部に液晶が充
填されたのちに注入口の封止が行われる。一方、複数の
液晶表示素子全部に亘り、各液晶表示素子毎の最適な液
晶注入の時間が異なる。その結果、液晶表示素子の2つ
の基板の間のギャップ(以下、セル厚という)が、該最
適な液晶の注入時間よりも実際の液晶注入時間が長いも
のほど厚くなり、各液晶表示素子間でセル厚がばらつく
という問題があった。
By the way, the liquid crystal is injected into a plurality of liquid crystal display elements simultaneously, and the injection port is sealed when the liquid crystal is injected into all the liquid crystal display elements. Therefore, in the conventional case, the injection port is sealed after all the plurality of liquid crystal display elements are filled with the liquid crystal. On the other hand, the optimum liquid crystal injection time differs for each liquid crystal display element over all of the plurality of liquid crystal display elements. As a result, the gap between the two substrates of the liquid crystal display element (hereinafter referred to as the cell thickness) becomes thicker as the actual liquid crystal injection time is longer than the optimum liquid crystal injection time, and the gap between the liquid crystal display elements is increased. There was a problem that the cell thickness varied.

【0004】また、このようにセル厚がばらつくと、セ
ル厚が厚くなった液晶表示素子とセル厚が薄くなった液
晶表示素子とでは表示される色相にばらつきが生じ、ま
た液晶の応答速度の相違や、液晶の表示状態と非表示状
態とが切り替わる駆動電圧の閾値のばらつき等が発生す
るので、表示品位の低下が招来される。なお、セル厚を
各液晶表示素子間で一定とするには、2つの基板の間に
プラスチックビーズ、ガラスファイバー等のスペーサを
介在させる方法があるが、この方法による場合にはスペ
ーサが存在する近傍では液晶の配向が乱れ、これにより
表示品位が低下するという難点がある。
When the cell thickness varies in this way, the hues displayed by the liquid crystal display element having a thick cell thickness and the liquid crystal display element having a thin cell thickness also vary, and the response speed of the liquid crystal changes. Differences and variations in the threshold value of the driving voltage for switching between the display state and the non-display state of the liquid crystal occur, which causes deterioration in display quality. In order to make the cell thickness constant between the liquid crystal display elements, there is a method of interposing a spacer such as plastic beads or glass fiber between the two substrates. In the case of this method, the vicinity of the spacer is present. However, there is a problem in that the alignment of the liquid crystal is disturbed, and thereby the display quality is degraded.

【0005】図42は、他の従来の液晶表示素子の一例
を示す平面図であり、図43は、図42中の切断面線G
−Gから見た断面図である。従来の液晶表示素子61
は、ガラスなどの透光性を有する第1基板62及び第2
基板63の間に、シール材64によって液晶が封入され
て液晶相66が形成されている。液晶層66及びシール
材64中に、樹脂やガラス等が球状や円筒状に形成され
たスペーサ65が混入されている。スペーサ65と各基
板62、63とが密着することによって、第1基板62
と第2基板63との間隙、即ち液晶層66の膜厚を設定
している。
FIG. 42 is a plan view showing an example of another conventional liquid crystal display element, and FIG. 43 is a sectional plane line G in FIG.
It is sectional drawing seen from -G. Conventional liquid crystal display element 61
Is a transparent first substrate 62 and a second substrate 62 such as glass.
A liquid crystal is enclosed between the substrates 63 by a sealing material 64 to form a liquid crystal phase 66. In the liquid crystal layer 66 and the sealing material 64, a spacer 65 formed of resin or glass in a spherical or cylindrical shape is mixed. When the spacer 65 and the substrates 62 and 63 are in close contact with each other, the first substrate 62
The gap between the second substrate 63 and the second substrate 63, that is, the film thickness of the liquid crystal layer 66 is set.

【0006】第1基板62及び第2基板63の液晶層6
6側の表面に於いて、単純マトリクス動作やアクティブ
マトリクス動作を行って、表示画像の絵素毎に液晶へ電
圧を印加するための電極と、液晶分子の配向を決定する
配向膜とが形成されており、必要に応じて、カラーフィ
ルタ層や遮光層が形成される。尚、アクティブマトリク
ス動作の場合に於いて、絵素電極への印加電圧を制御す
るスイッチング素子が、アモルファスSiや、多結晶S
iなどからなるTFT(薄膜トランジスタ)等で構成さ
れて、一方の基板表面に形成される。
The liquid crystal layer 6 of the first substrate 62 and the second substrate 63
An electrode for applying a voltage to the liquid crystal for each picture element of the display image and an alignment film for determining the alignment of the liquid crystal molecules are formed on the surface on the 6 side by performing a simple matrix operation or an active matrix operation. Therefore, a color filter layer and a light shielding layer are formed as needed. In the case of active matrix operation, the switching element that controls the voltage applied to the pixel electrode is amorphous Si or polycrystalline S.
It is composed of a TFT (thin film transistor) made of i or the like and is formed on the surface of one substrate.

【0007】以下、従来の液晶表示素子61の製造方法
について説明する。まず、予め電極や配向膜が第1基板
62及び第2基板63を用意して、第1基板62の表面
の周囲に、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂等のシール材6
4をスクリーン印刷法等を用いて、開口部67を残して
塗布した後に、スペーサを1mm2当り100ないし5
0個の分布密度となるように、湿式散布法や乾式散布法
を用いて散布する。
A conventional method of manufacturing the liquid crystal display element 61 will be described below. First, an electrode or an alignment film is prepared in advance on the first substrate 62 and the second substrate 63, and a sealing material 6 such as a thermosetting resin or a photocurable resin is provided around the surface of the first substrate 62.
4 is applied by a screen printing method while leaving the opening 67, and then a spacer is applied to 100 to 5 per 1 mm 2.
Spraying is performed using a wet spraying method or a dry spraying method so that the distribution density is 0.

【0008】次に、第2基板63と第1基板62との位
置合わせを行って、相互に固定した後、加熱や紫外線照
射によって、シール材64を硬化させて、液晶セルを組
み立てる。
Next, the second substrate 63 and the first substrate 62 are aligned and fixed to each other, and then the sealing material 64 is cured by heating or irradiation of ultraviolet rays to assemble the liquid crystal cell.

【0009】次に、得られた液晶セル内に液晶を注入す
るため、液晶セル内の空気を真空排気した後、開口部6
7から液晶を注入して、開口部67を別のシール材68
でシールすることによって、液晶表示素子が得られる。
尚、この後、必要に応じて、基板の整形工程や分断工
程、あるいは偏光板や光反射板の貼付け工程等が行われ
る。
Next, in order to inject liquid crystal into the obtained liquid crystal cell, the air in the liquid crystal cell is evacuated, and then the opening 6 is formed.
Liquid crystal is injected from 7 and the opening 67 is filled with another sealing material 68.
A liquid crystal display device is obtained by sealing with.
After that, if necessary, a step of shaping the substrate, a step of dividing the substrate, a step of attaching a polarizing plate or a light reflecting plate, and the like are performed.

【0010】しかしながら、従来の液晶表示素子61
は、液晶層66の中に、スペーサ65が存在するため、
以下のような問題点を有している。(1)基板62表面
にスペーサ65を散布する際に、スペーサ65が数個か
ら数十個の単位で凝集する傾向があり、そのため、液晶
層の膜厚が不均一になったり、凝集部分の光透過率が低
下して表示不良となる。(2)スペーサ65の近傍にあ
る液晶分子の配向が不均一となり、その部分の光変調効
率が低下したり、スペーサ64自身の光の透過により光
漏洩が生じ、表示不良やコントラストの低下となる。
(3)液晶セル内に液晶を注入する際に、注入時間の調
整によって液晶層の膜厚を調整しているため、複数個の
液晶セルに対して同時に液晶注入処理を行うと、液晶セ
ルの組立誤差や加工精度誤差等の影響により、各液晶表
示素子毎に液晶層の膜厚に変動が生じコントラスト不良
となる。このような問題点は、特に液晶表示素子を用い
た投影装置に於いて、表示画像を拡大する場合に顕著に
なる。
However, the conventional liquid crystal display element 61
Because the spacer 65 exists in the liquid crystal layer 66,
It has the following problems. (1) When the spacers 65 are scattered on the surface of the substrate 62, the spacers 65 tend to aggregate in units of several to several tens, and therefore, the film thickness of the liquid crystal layer becomes uneven, and The light transmittance is reduced, resulting in display failure. (2) The orientation of liquid crystal molecules in the vicinity of the spacer 65 becomes non-uniform, and the light modulation efficiency at that portion is reduced, or light leakage occurs due to the transmission of light by the spacer 64 itself, resulting in display failure and reduction in contrast. .
(3) When the liquid crystal is injected into the liquid crystal cell, the film thickness of the liquid crystal layer is adjusted by adjusting the injection time. Therefore, if liquid crystal injection processing is performed on a plurality of liquid crystal cells at the same time, Due to the influence of assembling error and processing accuracy error, the thickness of the liquid crystal layer varies for each liquid crystal display element, resulting in poor contrast. Such a problem becomes remarkable especially when a display image is enlarged in a projection device using a liquid crystal display element.

【0011】貼り合わせ工程に於ける他の従来技術の製
造方法を図44に示す。まず、一方の基板63上に、基
板間のギャップ制御のためのスペーサ65を混入した熱
硬化性樹脂からなるシール材64を、シールパターンに
沿ってスクリーン印刷法により塗布し、もう一方の基板
62全面にも、ギャップ制御のためのスペーサ65を散
布する。このとき、散布するスペーサ65の量は、10
0〜150個/mm2程度である。次に、これら一対の
基板62、63を貼り合わせる。緩衝材68を装着した
上定盤67と、下定盤69とを備える押圧装置により、
基板62、63全面に均等に圧力が加わるように、押圧
荷重70で押圧した。各基板62、63を押圧装置に保
持した状態で加熱し、シール材64を硬化させる。従っ
て、基板62、63間のギャップは、シール材64に混
入したスペーサ65と、基板62全面に散布したスペー
サ65とによって制御されている。
FIG. 44 shows another prior art manufacturing method in the bonding step. First, a sealing material 64 made of a thermosetting resin mixed with a spacer 65 for controlling a gap between the substrates is applied on one substrate 63 by a screen printing method along a sealing pattern, and the other substrate 62 is applied. Spacers 65 for controlling the gap are also scattered on the entire surface. At this time, the amount of spacers 65 to be dispersed is 10
It is about 0 to 150 pieces / mm 2 . Next, the pair of substrates 62 and 63 are attached to each other. By the pressing device including the upper surface plate 67 having the cushioning material 68 mounted thereon and the lower surface plate 69,
The pressure was applied by the pressing load 70 so that the pressure was evenly applied to the entire surfaces of the substrates 62 and 63. The substrates 62 and 63 are heated while being held by the pressing device to cure the sealing material 64. Therefore, the gap between the substrates 62 and 63 is controlled by the spacer 65 mixed in the sealing material 64 and the spacers 65 scattered on the entire surface of the substrate 62.

【0012】前記従来の方法に於いて、均一なギャップ
の液晶表示素子を実現するために、スペーサ65の散布
は必要不可欠となる。シール材64に混入したスペーサ
65の所定のギャップ迄、シール材64を押し潰すため
に、大きな荷重70を加える必要がある。この荷重70
を支え、且つ基板62、63間を均一なギャップに保持
するには、スペーサ65を大量に散布する必要がある。
スペーサ65のこのような大量の散布は、下記の新たな
問題点を発生させる。(1)画像を表示する表示領域に
大量のスペーサ65が存在することにより、前記開口率
が低下し、及びこれによる表示品位の低下、コントラス
トの低下が生じる。(2)スペーサ65が、数個〜数十
個凝集することによる光漏洩によって点輝点が発生し、
表示品位が低下する。(3)基板62、63の押圧時に
於ける薄膜トランジスタ等のスイッチング素子の破壊に
よる画素欠陥が発生する。
In the above-mentioned conventional method, in order to realize a liquid crystal display device having a uniform gap, it is essential to disperse the spacers 65. It is necessary to apply a large load 70 to crush the sealing material 64 up to a predetermined gap of the spacer 65 mixed in the sealing material 64. This load 70
In order to support the substrate and maintain a uniform gap between the substrates 62 and 63, it is necessary to sprinkle a large amount of spacers 65.
Such a large amount of spacers 65 causes the following new problems. (1) Since a large amount of spacers 65 are present in the display area for displaying an image, the aperture ratio is lowered, and thereby the display quality and the contrast are lowered. (2) Luminous spots are generated by light leakage due to aggregation of several to several tens of spacers 65,
The display quality is degraded. (3) Pixel defects occur due to destruction of switching elements such as thin film transistors when the substrates 62 and 63 are pressed.

【0013】また、スペーサ65を散布しない従来の製
造方法の場合、前記表示部にギャップ制御のための媒体
が存在していないため、前記押圧動作により表示部の基
板62、63が凹形状あるいは凸形状になり易く、均一
なギャップを実現することが出来ない。その結果、表示
品位の低下を招く。また、表示素子のサイズが、例とし
て、一辺が25mmを超える程度に大きくなる場合に於
いて、前記セルギャップを均一に形成することが困難で
ある。
Further, in the case of the conventional manufacturing method in which the spacers 65 are not scattered, since the medium for gap control does not exist in the display portion, the pressing operation causes the substrates 62 and 63 of the display portion to be concave or convex. It tends to have a shape, and a uniform gap cannot be realized. As a result, the display quality is degraded. Further, in the case where the size of the display element is large, for example, one side exceeds 25 mm, it is difficult to form the cell gap uniformly.

【0014】従来技術に於いて、スペーサレスの液晶表
示素子のサイズは、主に1インチ前後とされており、特
に1インチを超えるスペーサレスの液晶表示素子に於け
る液晶の注入は、真空注入法によると以下のような問題
点を生じる。
In the prior art, the size of the spacerless liquid crystal display element is mainly about 1 inch, and in particular, the injection of liquid crystal in the spacerless liquid crystal display element exceeding 1 inch is performed by vacuum injection. According to the law, the following problems occur.

【0015】(1)従来技術のように、真空注入法で液
晶の注入を行う場合、一対の基板が封入されているチェ
ンバー内を真空に引き、液晶表示素子を液晶槽中に漬け
る。この後、チェンバー内を一気に大気圧に戻してしま
うと、液晶表示素子の内部と外部との圧力差によって両
基板にたわみが生じ、このたわみがセルギャップよりも
大きくなると、前記一対の基板が接触してしまう。この
ようにして、上下基板が接触することにより、更に以下
のような問題点が発生する。
(1) When the liquid crystal is injected by the vacuum injection method as in the prior art, the inside of the chamber containing the pair of substrates is evacuated to immerse the liquid crystal display element in the liquid crystal tank. After that, if the pressure in the chamber is returned to atmospheric pressure all at once, the two substrates will bend due to the pressure difference between the inside and outside of the liquid crystal display element, and if the deflection becomes larger than the cell gap, the pair of substrates will come into contact with each other. Resulting in. By contacting the upper and lower substrates in this manner, the following problems further occur.

【0016】(1a)TFT基板の上に形成されている
スイッチング素子等の素子の破壊の原因になったり、両
基板の表面に形成された配向膜に損傷を与え、液晶分子
の配向不良をもたらす。
(1a) It causes damage to elements such as switching elements formed on the TFT substrate, or damages the alignment films formed on the surfaces of both substrates, resulting in poor alignment of liquid crystal molecules. .

【0017】(1b)液晶が両基板間に進入し難くな
り、両基板間に完全に注入される迄、多大な時間を要す
る。これにより、製造工程が長時間を要するという問題
点がある。更に、最終的に両基板が接触したままである
場合、液晶の注入不良を発生する。
(1b) It becomes difficult for liquid crystal to enter between both substrates, and it takes a lot of time until it is completely injected between both substrates. Therefore, there is a problem that the manufacturing process requires a long time. Further, when both substrates are finally in contact with each other, liquid crystal injection failure occurs.

【0018】(2)スペーサレスの液晶表示素子のサイ
ズは、主に1インチ前後であるため、圧力差による両基
板のたわみは微小であり、問題にならなかったが、1イ
ンチを超えるサイズの液晶表示素子に於いて、使用され
るガラス基板の物理的性質(厚さとヤング率)によっ
て、上記の問題点が発生する場合がある。
(2) Since the size of the spacerless liquid crystal display element is mainly around 1 inch, the deflection of both substrates due to the pressure difference is very small, which is not a problem, but the size exceeding 1 inch. In the liquid crystal display device, the above problems may occur depending on the physical properties (thickness and Young's modulus) of the glass substrate used.

【0019】本発明は、このような従来の課題を解決す
べくなされたものである。
The present invention has been made to solve such a conventional problem.

【0020】本発明の第1の目的は、液晶層の中にスペ
ーサが存在しないことにより、高品質の画像表示を実現
することができる液晶表示素子及びその製造方法を提供
することである。
A first object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same which can realize a high quality image display due to the absence of spacers in the liquid crystal layer.

【0021】本発明の第2の目的は、表示部にスペーサ
を介在させることなく表示用の基板の中央部に於いて凹
凸が発生する事態を防止し、表示欠陥の発生を防止し、
表示領域を拡大することが出来、しかも開口率が増大さ
れ、高コントラストの表示を実現することができる液晶
表示素子を提供することである。
A second object of the present invention is to prevent the occurrence of irregularities in the central portion of the display substrate without interposing a spacer in the display portion and prevent the occurrence of display defects.
It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device capable of enlarging the display area, increasing the aperture ratio, and realizing high-contrast display.

【0022】本発明の第3の目的は、スペーサを用いる
ことなく液晶表示素子の一対の基板間のギャップを一定
にすることができる液晶表示素子の製造方法を提供する
ことである。
A third object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device which can make a gap between a pair of substrates of the liquid crystal display device constant without using a spacer.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示素子
は、第1基板及び第2基板の間に液晶層が挟まれて構成
される液晶表示素子に於いて、第1基板と第2基板と
が、スペーサが混入されていないシール材で固着され、
且つ前記第1基板と第2基板殿間のギャップDと前記シ
ール材の膜厚dとが、d<Dの条件を満足し、そのこと
により、上記目的が達成される。
The liquid crystal display device of the present invention is a liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is sandwiched between a first substrate and a second substrate. Are fixed with a sealant that does not contain spacers,
In addition, the gap D between the first substrate and the second substrate and the film thickness d of the sealing material satisfy the condition of d <D, whereby the above object is achieved.

【0024】本発明に於いて、前記ギャップDと前記シ
ール材の膜厚dとが、D≦1.2×dの条件を満足する
場合がある。
In the present invention, the gap D and the film thickness d of the sealing material may satisfy the condition of D ≦ 1.2 × d.

【0025】本発明の液晶表示素子の製造方法は、第1
基板と第2基板との間隙を設定するスペーサが混入した
シール材を、第1基板と第2基板との間に介在させて、
該シール材が配置されている領域に、切抜き端部を有す
る弾性シートを、第1基板と第2基板との一方の基板の
裏面に載置して加圧する工程と、該シール材を硬化させ
る工程と、第1基板と第2基板、及び前記シール材によ
って形成された空間に液晶を注入する工程とを含んでお
り、そのことにより、上記目的が達成される。
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is the first
A sealing material mixed with a spacer that sets a gap between the substrate and the second substrate is interposed between the first substrate and the second substrate,
A step of placing an elastic sheet having a cutout end portion on the back surface of one of the first substrate and the second substrate and pressurizing it in a region where the sealing material is arranged; and curing the sealing material. The method includes the steps of injecting liquid crystal into the space formed by the first substrate, the second substrate, and the sealing material, thereby achieving the above object.

【0026】本発明に於いて、前記弾性シートの両面に
於いて、高さ5〜30μmで、周期200〜800μm
の凹凸が形成されている場合がある。
In the present invention, both sides of the elastic sheet have a height of 5 to 30 μm and a cycle of 200 to 800 μm.
Unevenness may be formed.

【0027】本発明の液晶表示素子の製造方法は、対向
配設された2つの基板の周縁部に一部を除いてシール材
を設ける工程と、該一部である液晶注入口に、所要注入
液晶量よりも多量の液晶をセットする工程と、セットさ
れた液晶を、該2つの基板の内部と外部との圧力差によ
り、2つの基板間に注入させる工程と、該2つの基板間
に注入された該液晶層の中央部の厚みを測定する工程
と、該厚みの測定結果に基づいて該2つの基板間の該中
央部での離隔距離を機械的に調整し、該注入口から液晶
を注入させ、又は排出させる工程と、該注入口を封止す
る工程と、を含んでおり、そのことにより、上記目的を
達成することができる。
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises a step of providing a sealing material on the peripheral portions of two substrates which are arranged opposite to each other except a part thereof, and a required injection into the liquid crystal injection port which is a part thereof. A step of setting a larger amount of liquid crystal than the amount of liquid crystal, a step of injecting the set liquid crystal between two substrates due to a pressure difference between the inside and the outside of the two substrates, and an injection between the two substrates. The step of measuring the thickness of the central portion of the liquid crystal layer, and the distance between the two substrates at the central portion are mechanically adjusted based on the measurement result of the thickness, and the liquid crystal is injected from the injection port. The method includes the steps of injecting or discharging and the step of sealing the injection port, whereby the above object can be achieved.

【0028】本発明に於いて、前記離隔距離の機械的調
整を、2つの基板の両方を保持したまま両方の基板を離
隔又は接近させる機構により行う場合がある。
In the present invention, the mechanical adjustment of the separation distance may be performed by a mechanism for separating or approaching both substrates while holding both of the two substrates.

【0029】本発明の液晶表示素子の製造方法は、一対
の基板がシール材によって相互に固定され、該一対の基
板間に液晶を保持している液晶表示素子を製造する製造
方法に於いて、該一対の基板の内の一方の基板上に、該
一対の基板間のギャップを制御するスペーサを混入した
シール材を塗布する工程と、該一対の基板に定められる
表示部にギャップ制御のためのスペーサを介在させるこ
となく、シール材のみによって該一対の基板間のギャッ
プを保持した状態で、該一方の基板と該一対の基板の内
の他方の基板と貼り併せる工程と、該シール材を硬化さ
せる工程と、少なくとも一個以上の表示セルを作成する
ように、該一対の基板を切断する工程と、液晶を該ギャ
ップ中に注入する工程とを含んでおり、そのことによ
り、上記目的を達成することができる。
The method for producing a liquid crystal display element of the present invention is a method for producing a liquid crystal display element in which a pair of substrates are fixed to each other by a sealing material and liquid crystal is held between the pair of substrates. A step of applying a sealing material mixed with a spacer for controlling a gap between the pair of substrates on one of the pair of substrates, and a gap control for a display portion defined on the pair of substrates. A step of bonding the one substrate and the other substrate of the pair of substrates in a state where the gap between the pair of substrates is held only by the sealing material without interposing a spacer, and curing the sealing material. And a step of cutting the pair of substrates so that at least one display cell is formed, and a step of injecting liquid crystal into the gap, thereby achieving the above object. Rukoto can.

【0030】本発明に於いて、前記一対の基板の少なく
とも一方の基板は、その表示領域に対応する電極を有
し、該電極は透明電極を含む場合利がある。
In the present invention, at least one of the pair of substrates has an electrode corresponding to its display area, and the electrode may include a transparent electrode.

【0031】本発明に於いて、前記一対の基板の一方の
基板は、液晶の電気光学効果を制御する手段を有してい
る場合がある。
In the present invention, one of the pair of substrates may have a means for controlling the electro-optical effect of liquid crystal.

【0032】本発明の液晶表示素子の製造方法は、一対
の基板がシール材によって相互に固定され、該一対の基
板間に液晶を保持している液晶表示素子を製造する製造
方法に於いて、該一対の基板の内の一方の基板上に、該
一対の基板間のギャップを決定するスペーサを混入した
シール材を塗布する工程と、該一対の基板に定められる
表示部の中央付近ににギャップ制御のためのスペーサを
介在させることなく、シール材のみによって該一対の基
板間のギャップを保持した状態で、該一方の基板と該一
対の基板の内の他方の基板と組み合わせる工程とを含
み、該表示領域は、少なくとも一辺が25mm以上に選
ばれ、そのことにより、上記目的を達成することが出来
る。
The method for producing a liquid crystal display element of the present invention is a method for producing a liquid crystal display element in which a pair of substrates are fixed to each other by a sealant and liquid crystal is held between the pair of substrates. A step of applying a sealing material mixed with a spacer that determines the gap between the pair of substrates on one of the pair of substrates, and a gap near the center of the display portion defined by the pair of substrates. A step of combining the one substrate and the other substrate of the pair of substrates in a state where the gap between the pair of substrates is held only by the sealing material without interposing a spacer for control, At least one side of the display area is selected to be 25 mm or more, whereby the above object can be achieved.

【0033】本発明に於いて、前記一対の基板の少なく
とも一つの基板は、透明電極を有している場合がある。
In the present invention, at least one of the pair of substrates may have a transparent electrode.

【0034】本発明に於いて、前記一対の基板の少なく
とも一つの基板は、液晶の電気光学効果を制御する手段
を有している場合がある。
In the present invention, at least one of the pair of substrates may have a means for controlling the electro-optical effect of liquid crystal.

【0035】本発明の液晶表示素子の製造方法は、一対
の基板が、該一対の基板間のギャップを決定するスペー
サを混入したシール材によって相互に固定され、基板間
のギャップの中央付近の表示領域に於いてスペーサが配
置されていない該一対の基板間に液晶を保持している液
晶表示素子を製造する製造方法に於いて、複数の圧力媒
体と緩衝媒体とを含む複合緩衝材料を用いて、該一対の
基板の内の一方の基板全面を押圧する工程と、シール材
を硬化させ、該一対の基板を押圧されている状態で、相
互に接着する工程とを含んでおり、そのことにより、上
記目的を達成することができる。
According to the method of manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, a pair of substrates are fixed to each other by a sealing material mixed with a spacer that determines a gap between the pair of substrates, and a display near the center of the gap between the substrates is displayed. In a manufacturing method for manufacturing a liquid crystal display device in which liquid crystal is held between a pair of substrates in which a spacer is not arranged in a region, a composite buffer material containing a plurality of pressure media and buffer media is used. , A step of pressing the entire surface of one of the pair of substrates, and a step of curing the sealing material and adhering them to each other while the pair of substrates is being pressed. The above object can be achieved.

【0036】本発明に於いて、上記緩衝媒体が、圧力の
伝達に等方性を有する媒体であり、ガスあるいは液体の
いずれかの相互に独立したセルを含む弾性体、あるいは
アルカリハライド結晶粒、あるいはパイロフェライト等
の固体の圧力媒体から選ばれた物質である場合がある。
In the present invention, the buffer medium is a medium which is isotropic in the transmission of pressure, and is an elastic body including mutually independent cells of either gas or liquid, or alkali halide crystal grains, Alternatively, it may be a substance selected from solid pressure media such as pyroferrite.

【0037】本発明に於いて、上記複合緩衝材料の内、
複数の圧力媒体の内、少なくとも一種類が、貼り併せら
れた該一対の基板と同等以上の平滑性を有し、且つ貼り
合わせられた該一対の基板よりも高いたわみ強度を有す
る加圧材であって、該一対の基板と圧力媒体との平滑な
面が接触するように配置する場合がある。
In the present invention, of the above composite cushioning materials,
At least one of the plurality of pressure media is a pressurizing material having a smoothness equal to or higher than that of the pair of substrates bonded together and having a flexural strength higher than that of the pair of substrates bonded together. Therefore, the pair of substrates may be arranged so that the smooth surfaces of the pressure medium and the pair of substrates are in contact with each other.

【0038】本発明に於いて、前記加圧材の少なくとも
一方の表面に、空気の挟み込みを防止するスリットが形
成される場合がある。
In the present invention, a slit may be formed on at least one surface of the pressure member to prevent air from being trapped.

【0039】本発明に於いて、前記シール材の硬化後、
シール材のガラス転位温度以上の温度まで加熱する工程
を含む場合がある。
In the present invention, after the sealing material is cured,
It may include a step of heating to a temperature not lower than the glass transition temperature of the sealing material.

【0040】本発明に於いて、前記一対の基板の貼り合
わせに用いるシール材が、紫外線により活性化される重
合反応開始剤を含み、且つ熱により未反応の反応が活性
化される紫外線硬化と熱硬化併用型樹脂組成物である場
合がある。
In the present invention, the sealing material used for bonding the pair of substrates includes a UV curing agent which contains a polymerization reaction initiator activated by ultraviolet rays and which activates an unreacted reaction by heat. It may be a thermosetting combined resin composition.

【0041】本発明の液晶表示素子の製造方法は、一対
の基板が、該一対の基板間のギャップを決定するスペー
サを混入したシール材によって相互に固定され、基板間
のギャップの中央付近の表示領域に於いてスペーサが配
置されていない該一対の基板間に液晶を保持している液
晶表示素子を製造する製造方法に於いて、該一対の基板
の少なくとも一つの基板を、スペーサによって定められ
るギャップの距離に基づいて定められる押圧力で押圧す
る工程と、該一対の基板の一方の基板にシール材を塗布
する工程と、該シール材を硬化させる工程とを含んでお
り、そのことによって、上記目的を達成することができ
る。
According to the method of manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, a pair of substrates are fixed to each other by a sealing material containing a spacer that determines a gap between the pair of substrates, and a display near the center of the gap between the substrates is displayed. In a manufacturing method for manufacturing a liquid crystal display device in which a liquid crystal is held between a pair of substrates in which a spacer is not arranged in a region, at least one substrate of the pair of substrates is provided with a gap defined by the spacer. And a step of applying a sealing material to one of the pair of substrates, and a step of curing the sealing material. The purpose can be achieved.

【0042】本発明に於いて、前記一対の基板の少なく
とも一方の基板は、透明電極を有している場合がある。
In the present invention, at least one of the pair of substrates may have a transparent electrode.

【0043】本発明に於いて、前記一対の一方の基板
は、液晶の電気光学効果を制御する手段を有している場
合がある。
In the present invention, one of the pair of substrates may have a means for controlling the electro-optical effect of the liquid crystal.

【0044】本発明に於いて、基板は、シール材の粘度
を一定に維持しながら、セルギャップが定められるよう
に押圧される場合がある。
In the present invention, the substrate may be pressed so that the cell gap is determined while maintaining the viscosity of the sealing material constant.

【0045】本発明に於いて、該基板は、シール材の粘
度とシール材への押圧力とを制御することによりセルギ
ャップを定めるように押圧される場合がある。
In the present invention, the substrate may be pressed so as to define the cell gap by controlling the viscosity of the sealing material and the pressing force on the sealing material.

【0046】本発明に於いて、前記シール材の粘度及び
押圧応力は、シール材の応力−歪み特性の粘度依存性に
基づいて決定される場合がある。
In the present invention, the viscosity and the pressing stress of the sealing material may be determined based on the viscosity dependence of the stress-strain characteristic of the sealing material.

【0047】本発明に於いて、前記シール材は、光によ
り活性化される重合反応開始剤を含む光硬化性樹脂組成
物、あるいは該樹脂組成物に於いて、熱により未反応成
分の反応が活性化される光硬化と熱硬化併用型樹脂組成
物である場合がある。
In the present invention, the sealing material is a photocurable resin composition containing a photopolymerization initiator that is activated by light, or in the resin composition, reaction of unreacted components is caused by heat. It may be a photocurable and thermosetting combined resin composition that is activated.

【0048】本発明の液晶表示素子の製造方法は、対向
配設され、表示領域が定められている第1基板及び第2
基板の少なくともいずれか一方に於ける該表示領域の液
晶注入口を除く周縁部に、第1基板及び第2基板の相互
の距離を定めるためのスペーサが混入されたシール材を
設ける工程と、該第1基板及び第2基板の内部及び周囲
を真空にする工程と、該液晶注入口に、液晶を付着させ
る工程と、該第1基板及び第2基板の周囲の気圧を、該
第1基板と第2基板とが相互に離間した状態を保持する
範囲の気圧変化速度で昇圧する工程とを含んでおり、そ
のことのより、上記目的が達成される。
According to the method of manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, the first substrate and the second substrate which are arranged so as to face each other and define a display region are provided.
A step of providing a sealing material in which a spacer for determining a mutual distance between the first substrate and the second substrate is provided on a peripheral edge portion of the display region excluding the liquid crystal injection port on at least one of the substrates; A step of applying a vacuum to the inside and the periphery of the first substrate and the second substrate, a step of attaching a liquid crystal to the liquid crystal injection port, and an atmospheric pressure around the first substrate and the second substrate, And a step of increasing the pressure at an atmospheric pressure change rate in a range in which the second substrate and the second substrate are kept apart from each other, thereby achieving the above object.

【0049】本発明に於いて、前記気圧変化速度は、1
cmHg/分以下である場合がある。
In the present invention, the atmospheric pressure change rate is 1
It may be cmHg / min or less.

【0050】本発明に於いて、第1基板と第2基板との
間のギャップが、スペーサによって定められる距離であ
るときに、液晶の注入が停止される場合がある。
In the present invention, liquid crystal injection may be stopped when the gap between the first substrate and the second substrate is the distance defined by the spacer.

【0051】本発明に於いて、第1基板は、アモルファ
スシリコンからなるトランジスタアレイが形成されてい
る場合がある。
In the present invention, a transistor array made of amorphous silicon may be formed on the first substrate.

【0052】本発明に於いて、前記第1基板は、多結晶
シリコンからなるトランジスタアレイを有している場合
がある。
In the present invention, the first substrate may have a transistor array made of polycrystalline silicon.

【0053】本発明に於いて、前記第2基板は、カラー
フィルタ層を有している場合がある。
In the present invention, the second substrate may have a color filter layer.

【0054】本発明に於いて、前記第2基板は、遮光層
を有している場合がある。
In the present invention, the second substrate may have a light shielding layer.

【0055】[0055]

【作用】本発明に従えば、第1基板と第2基板との間隙
を設定するスペーサが、シール材の中にのみ存在してい
るため、液晶層の中にスペーサが存在しなくなり、スペ
ーサに起因する表示不良やコントラスト不良を解消する
ことが出来ると共に、液晶層の厚さDと、シール材の厚
さdとが、d<Dの条件を具備することによって、第1
基板及び第2基板の弾性復元力と液晶層の内部圧力と
が、均衡して、液晶層の厚さ変動を低減することができ
る。
According to the present invention, since the spacer for setting the gap between the first substrate and the second substrate is present only in the sealing material, the spacer is not present in the liquid crystal layer, and It is possible to eliminate the display failure and the contrast failure due to it, and the thickness D of the liquid crystal layer and the thickness d of the sealing material satisfy the condition of d <D.
The elastic restoring force of the substrate and the second substrate and the internal pressure of the liquid crystal layer are balanced to reduce the thickness variation of the liquid crystal layer.

【0056】また、液晶層の厚さDと、前記シール材の
厚さdとが、D≦1.2×dの条件を具備することによ
って、均一な液晶層を実現することができる。
Further, when the thickness D of the liquid crystal layer and the thickness d of the sealing material satisfy the condition of D ≦ 1.2 × d, a uniform liquid crystal layer can be realized.

【0057】また、本発明の液晶表示素子の製造方法に
従えば、シール材が存在する領域二、切抜き端部を有す
る弾性シートを、一方の基板の裏面に載置して、加圧す
るとともに、シール材を硬化させることによって、液晶
層の厚さDが、シール材の厚さdより大きい液晶表示素
子、特にD≦1.2dの条件を具備する液晶表示素子を
製造することが可能になり、液晶層にスペーサが、存在
しなくても、液晶層の厚さが均一で、誤差の少ない液晶
表示素子を容易に得ることができる。
Further, according to the method of manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, an elastic sheet having a region 2 where a sealing material is present and a cut-out end portion is placed on the back surface of one of the substrates and pressed, By curing the sealing material, it becomes possible to manufacture a liquid crystal display element in which the thickness D of the liquid crystal layer is greater than the thickness d of the sealing material, particularly a liquid crystal display element having a condition of D ≦ 1.2d. Even if a spacer is not present in the liquid crystal layer, a liquid crystal display element having a uniform thickness of the liquid crystal layer and a small error can be easily obtained.

【0058】以上説明したように、本発明によれば、変
調光が通過する液晶層の中に、スペーサが存在しなくて
も、液晶層の厚さが均一で且つ製造誤差の少ない液晶表
示素子が得られるため、スペーサの存在に起因する表示
不良やコントラスト不良を解消することができ、特に画
像拡大表示を行う投影装置等に用いられた場合、きわめ
て高品質の画像表示を実現することができる。
As described above, according to the present invention, a liquid crystal display element having a uniform liquid crystal layer thickness and a small manufacturing error even if a spacer does not exist in the liquid crystal layer through which modulated light passes. Therefore, it is possible to eliminate display defects and contrast defects due to the presence of spacers, and it is possible to realize extremely high-quality image display especially when used in a projection device or the like that performs enlarged image display. .

【0059】また、該弾性シートの両側に、高さ5μm
〜30μm、周期200μm〜800μmの凹凸が形成
されているため、基板に作用する圧力が均一化されて、
シール材に混入されているスペーサと各基板との密着
が、基板全面に亘って均一となり、シール材の厚さ誤差
を低減させることが出来る。
Further, on both sides of the elastic sheet, the height is 5 μm.
Since the unevenness of ˜30 μm and the cycle of 200 μm to 800 μm is formed, the pressure acting on the substrate is made uniform,
The adhesion of the spacer mixed in the sealing material and each substrate becomes uniform over the entire surface of the substrate, and the thickness error of the sealing material can be reduced.

【0060】本発明にあっては、2つの基板間に注入さ
れた液晶層の中央部の厚みを測定し、測定結果に基づい
て、2つの基板間の中央部での離隔距離を機械的に調整
する。これにより、該注入口から液晶が注入されまた
は、排出されることになり、易者押送の中央部の厚みが
一定値になる。
In the present invention, the thickness of the central portion of the liquid crystal layer injected between the two substrates is measured, and the distance between the central portions of the two substrates is mechanically determined based on the measurement result. adjust. As a result, the liquid crystal is injected or discharged from the injection port, and the thickness of the central portion of the easy push becomes a constant value.

【0061】本発明による場合は、詳述したようにセル
厚制御を行いながら液晶を注入し、注入口を封止するの
で、セル厚を均一且つ一定値にでき、これにより従来に
比べ製品の歩留りを大幅に向上させることができ、ま
た、表示むらの発生がなく、しかもコントラストの高
い、表示品位の良好な液晶表示素子を提供することがで
きる。
In the case of the present invention, as described in detail, the liquid crystal is injected while the cell thickness is controlled and the injection port is sealed, so that the cell thickness can be made uniform and a constant value. It is possible to provide a liquid crystal display element which can significantly improve the yield, has no display unevenness, and has high contrast and good display quality.

【0062】液晶表示素子の液晶層内にスペーサがな
い、もしくはスペーサの散布量を大幅に低減した液晶表
示素子を作成することができる。また、本発明の製造方
法によれば、従来、たわみ易いために特に製造が困難で
あった、表示領域にスペーサがない、かつ表示領域のサ
イズの大きい液晶表示素子に於いても、均一なセルギャ
ップを実現することができる。
It is possible to prepare a liquid crystal display element having no spacers in the liquid crystal layer of the liquid crystal display element or having a significantly reduced amount of spacers dispersed. Further, according to the manufacturing method of the present invention, it is particularly difficult to manufacture because it is easily bent, and even in a liquid crystal display element having no display region spacer and a large display region size, a uniform cell is obtained. A gap can be realized.

【0063】また、本発明の製造方法に於いて、従来困
難であった、基板上に複数個の表示せるに相当する電極
群を形成し、同時に貼り合わせる、いわゆる多面取り方
式の製造方法により、表示領域にスペーサの内、セルギ
ャップの均一な液晶表示素子を製造することができる。
In the manufacturing method of the present invention, a so-called multi-chamfering manufacturing method of forming a plurality of electrode groups corresponding to a display on a substrate and bonding them at the same time, which has been difficult in the past, can be carried out. A liquid crystal display device having a uniform cell gap among the spacers in the display region can be manufactured.

【0064】液晶の電気光学的効果を制御するためのT
FT(薄膜トランジスタ)などのアクティブ素子、ある
いは透明電極が形成された第1の絶縁性透明基板と、カ
ラーフィルタ層あるいは遮光膜から構成されるブラック
マスクパターンが形成された第2の絶縁性透明基板とを
貼り合わせる時に、従来の液晶表示素子の製造方法に於
いて、シール材として熱硬化型樹脂を用いているが、本
発明に於いて、シール材の硬化工程に於けるシール材の
粘度低下をほとんど伴わない紫外線硬化型樹脂を用い
る。
T for controlling the electro-optical effect of the liquid crystal
An active element such as FT (thin film transistor) or a first insulating transparent substrate on which a transparent electrode is formed, and a second insulating transparent substrate on which a black mask pattern composed of a color filter layer or a light shielding film is formed. At the time of bonding, a thermosetting resin is used as the sealing material in the conventional method for manufacturing a liquid crystal display element.However, in the present invention, the viscosity of the sealing material is reduced in the curing step of the sealing material. UV curable resin is used, which is hardly accompanied.

【0065】紫外線硬化型樹脂をスクリーン印刷法によ
り、前記第2の絶縁性透明基板にシール部本体、仮止
め、及び該シール材の印刷性と、第1および第2の絶縁
性透明基板への押圧工程に於ける該シール材へ加わる押
圧圧力の偏り防止を目的としたダミーパターンで、シー
ル材を塗布し、前記第1と第2の絶縁性透明基板を、こ
れらの上の絵素部を相互に位置決めして相互に貼り合わ
せ、両基板がずれないように前記仮止めパターンのみに
紫外線を照射し、該パターンを硬化させる。
The ultraviolet curable resin is screen-printed onto the second insulating transparent substrate to seal the main body of the seal portion, the temporary fixing, and the printability of the sealing material, and to the first and second insulating transparent substrates. A sealing material is applied in a dummy pattern for the purpose of preventing the biasing of the pressing pressure applied to the sealing material in the pressing step, and the first and second insulating transparent substrates are formed on the picture element portions above these. They are positioned relative to each other and bonded to each other, and only the temporary fixing pattern is irradiated with ultraviolet rays so that the two substrates are not displaced, and the patterns are cured.

【0066】この後のセルギャップ制御を行う押圧工程
のセルギャップ決定因子は、シール材の粘度および該シ
ール材に加わる押圧圧力であり、該シール材の圧力ーセ
ルギャップ特性に基づき決定するものである。粘度一定
の条件下で、圧力σとセルギャップdとは、下記第1式
The cell gap determining factors in the subsequent pressing step for controlling the cell gap are the viscosity of the sealing material and the pressing pressure applied to the sealing material, which are determined based on the pressure-cell gap characteristics of the sealing material. Under a constant viscosity condition, the pressure σ and the cell gap d are expressed by the following first formula.

【0067】[0067]

【式1】σ=Fd2 で近似することができる。第1式の記号F、nは、使用
されるシール材に固有の値である。
Equation 1 can be approximated by σ = Fd 2 . The symbols F and n in the first equation are values unique to the sealing material used.

【0068】本発明は、この第1式の関係から、適切な
樹脂材料を選択することにより、前記圧力σの変動に対
して、セルギャップdのばらつきを小さく、しかも一定
の値にできることに基づいて成されたものである前記第
1式に従い、目的とするセルギャップを設定するときの
シール材の粘度と押圧荷重とを決定し、シール材の粘度
制御を基板全体の温度制御により行い、所定の押圧荷重
にて押圧する。シール材が目標のセルギャップ迄十分に
押圧されるまで押圧状態を継続し、セルギャップが目標
とする値となった時点で、押圧状態を維持したまま、シ
ール材を硬化させるための、紫外線照射を行う。押圧
は、シール材の硬化反応が終了するまで、維持する。
From the relationship of the first expression, the present invention is based on the fact that by selecting an appropriate resin material, the variation of the cell gap d can be made small with respect to the fluctuation of the pressure σ, and can be made a constant value. The viscosity of the sealing material and the pressing load when setting the target cell gap are determined according to the first equation, which is performed by controlling the temperature of the entire substrate to control the viscosity of the sealing material. Press with the pressing load of. The pressing state is maintained until the sealing material is sufficiently pressed to the target cell gap, and when the cell gap reaches the target value, UV irradiation is applied to cure the sealing material while maintaining the pressing state. I do. The pressing is maintained until the curing reaction of the sealing material is completed.

【0069】この後、硬化したシール材のガラス転位温
度以上の温度で基板を加熱する。これにより、押圧工程
で発生したガラスの歪みを緩和することができ、より均
一なセルギャップを実現することができる。
Thereafter, the substrate is heated at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature of the cured sealing material. Thereby, the strain of the glass generated in the pressing step can be relaxed, and a more uniform cell gap can be realized.

【0070】また、シール材が光硬化と熱硬化との併用
型樹脂である場合、前記加熱工程を同時に行う。
When the sealing material is a combination resin of photo-curing and thermo-setting, the heating step is carried out at the same time.

【0071】次に、基板を液晶表示素子の形状に分断
し、液晶を真空注入法で注入する。このとき、該液晶表
示素子に十分に液晶が注入できなかった場合、液晶の注
入口を液晶に浸した状態で、該液晶表示素子の液晶層の
基板表面を物理的に吸引して、該両基板を相互に反対側
に引っ張ることにより、液晶を該液晶表示素子内に矯正
的に注入する。この工程をセルギャップを測定しつつ行
い、セルギャップが均一となった時点で、液晶注入口に
紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線照射をおこない、該樹
脂を硬化させ注入口を封止する。
Next, the substrate is cut into the shape of a liquid crystal display element, and liquid crystal is injected by a vacuum injection method. At this time, when the liquid crystal cannot be sufficiently injected into the liquid crystal display element, the substrate surface of the liquid crystal layer of the liquid crystal display element is physically sucked with the liquid crystal inlet being immersed in the liquid crystal, and By pulling the substrates opposite to each other, the liquid crystal is injected straight into the liquid crystal display element. This step is performed while measuring the cell gap, and when the cell gap becomes uniform, the liquid crystal injection port is coated with an ultraviolet curable resin, and ultraviolet irradiation is performed to cure the resin and seal the injection port.

【0072】以上の工程により、スペーサを全く使用し
ないでセルギャップの均一な液晶表示素子を作成するこ
とができる。
Through the above steps, a liquid crystal display device having a uniform cell gap can be prepared without using any spacer.

【0073】液晶表示素子の製造工程であるセルギャッ
プ制御を行う押圧工程に於いて、シール材として使用す
る紫外線硬化樹脂の粘度に対する圧力ーセルギャップ特
性を利用することにより、シール材および液晶層内にス
ペーサを全く具備することなく、セルギャップが均一な
液晶表示素子を作成することができる。
In the pressing step for controlling the cell gap, which is the manufacturing step of the liquid crystal display element, by utilizing the pressure-cell gap characteristic with respect to the viscosity of the ultraviolet curable resin used as the sealing material, the spacer is provided in the sealing material and the liquid crystal layer. It is possible to produce a liquid crystal display device having a uniform cell gap without having any of the above.

【0074】以上のように本発明によれば、セルギャッ
プを制御するためのスペーサを全く具備することなく、
セルギャップの均一な液晶表示素子を作成することがで
きる。従って、従来のように、液晶層中に介在するスペ
ーサによる開口率の低下の問題、スペーサ近傍の液晶の
配向不良による表示品位の低下を防止することができ、
コントラストの高い表示品位に優れた液晶表示素子を作
成することができる。セルギャップ制御の押圧工程に於
いても、スペーサへの荷重集中による素子あるいは配向
膜の損傷、あるいは応力分布の均一性低下似よるセルギ
ャップむらが生じないため、基板上の液晶の電気光学的
効果を制御するためのアクティブ素子、配線材、配向膜
等に欠陥が発生せず、製造上の歩留りが向上され、且つ
表示特性の均一化を図ることができる。また、スペーサ
が不要となることにより、生産工程が大幅に簡略化で
き、生産コストの削減を図ることができる。
As described above, according to the present invention, the spacer for controlling the cell gap is not provided at all,
A liquid crystal display device having a uniform cell gap can be produced. Therefore, it is possible to prevent the problem of reduction in aperture ratio due to the spacer interposed in the liquid crystal layer and the reduction in display quality due to defective alignment of the liquid crystal near the spacer, as in the conventional case.
A liquid crystal display device having high contrast and excellent display quality can be produced. Even in the pressing step of controlling the cell gap, the element or the alignment film is not damaged due to the load concentration on the spacer, or the cell gap unevenness due to the decrease in the uniformity of the stress distribution does not occur. No defect occurs in the active element for controlling the temperature, the wiring material, the alignment film, etc., the manufacturing yield is improved, and the display characteristics can be made uniform. Further, since the spacer is not required, the production process can be greatly simplified and the production cost can be reduced.

【0075】また、a−SiTFTまたは、多結晶Si
TFTが形成された第1の基板と、カラーフィルタ層あ
るいはブラックマスクパターンが形成された第2の基板
とを貼り合わせる時に、液晶層の保持のためガラスファ
イバー等のスペーサを、シール材を構成する樹脂材料と
混合して、シール印刷によって、該第2の基板に塗布し
た後、第1の基板にはスペーサを散布せずに両方の基板
を貼り合わせる。シール材の樹脂として、熱硬化型樹脂
または、紫外線硬化型樹脂などが用いられる。以後、押
圧工程を行い、オーブンによるシール材の硬化、分断作
業を経て液晶表示素子を作成する。
Further, a-Si TFT or polycrystalline Si
When the first substrate on which the TFT is formed and the second substrate on which the color filter layer or the black mask pattern is formed are attached to each other, a spacer such as glass fiber is used as a sealing material to hold the liquid crystal layer. After mixing with a resin material and applying it to the second substrate by seal printing, both substrates are bonded to each other without spraying spacers on the first substrate. A thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, or the like is used as the resin of the sealing material. After that, a pressing step is performed, and the liquid crystal display element is manufactured through curing and dividing work of the sealing material in an oven.

【0076】このようにして、作成された液晶表示素子
に、液晶を注入すると、液晶表示素子の前記第1の基板
と第2の基板とが、前記注入されてくる液晶と以下のよ
うな平衡状態に到達するまで、液晶の注入が行われる。
When liquid crystal is injected into the liquid crystal display element thus manufactured, the first substrate and the second substrate of the liquid crystal display element are balanced with the injected liquid crystal as follows. The liquid crystal is injected until the state is reached.

【0077】従来技術の製造方法に於いて、液晶表示素
子や液晶をセットして、液晶表示素子のシール材で囲ま
れた表示領域部分の空間の空気層を真空排気する。真空
排気を行った後、セットした液晶の脱泡処理が十分に行
われてから、液晶槽に液晶表示素子の注入口を漬けて、
液晶表示素子の外部の真空を大気圧にして行くと、液晶
が前記空間内に侵入し始める。このとき、前記第1の基
板と第2の基板との間の表示領域に、セルギャップ保持
のためのスペーサがないため、セルギャップが著しく小
さくなる。
In the conventional manufacturing method, the liquid crystal display element or the liquid crystal is set, and the air layer in the space of the display area portion surrounded by the sealing material of the liquid crystal display element is evacuated. After vacuum evacuation, after the degassing process of the set liquid crystal is sufficiently done, soak the injection port of the liquid crystal display element in the liquid crystal tank,
When the vacuum outside the liquid crystal display element is brought to atmospheric pressure, the liquid crystal begins to enter the space. At this time, since there is no spacer for maintaining the cell gap in the display region between the first substrate and the second substrate, the cell gap becomes extremely small.

【0078】このとき、本来ならば液晶表示素子の周囲
の気圧を大気圧迄戻すが、前記のように、液晶表示素子
の内部と外部との圧力差による各基板のたわみが、セル
ギャップより大きいときに、両基板が接触していまう。
これにより、液晶の注入不良や配向膜の損傷、これによ
る液晶の配向不良などが生じる。
At this time, the atmospheric pressure around the liquid crystal display element is normally returned to the atmospheric pressure. However, as described above, the deflection of each substrate due to the pressure difference between the inside and the outside of the liquid crystal display element is larger than the cell gap. Sometimes both boards are in contact.
As a result, defective liquid crystal injection, damage to the alignment film, and defective liquid crystal alignment occur.

【0079】そこで、本発明に於いて、前記真空下での
液晶表示素子の外部の真空状態を対気圧に戻すときの速
度または、到達圧力を調節して、液晶表示素子の内部と
外部との圧力差が一定に保持されるように、圧力を制御
する。これにより、両基板が接触しないようにしてい
る。これにより、液晶表示素子の内部の液晶に気泡がな
く、且つ第1の基板と第2の基板との間に、液晶を注入
する際に、両基板が接触することがないように出来る。
なぜなら、両基板のたわみ量Δdは、液晶表示素子の内
部の圧力と周囲の圧力との差、(P0−P1)に比例す
るからである。即ち、前記Δd=K(P0ーP1)と表
すことができる。
Therefore, in the present invention, the speed or the ultimate pressure at which the vacuum state outside the liquid crystal display element under vacuum is returned to the atmospheric pressure is adjusted so that the inside and the outside of the liquid crystal display element are adjusted. The pressure is controlled so that the pressure difference is kept constant. This prevents both substrates from contacting each other. Thereby, the liquid crystal inside the liquid crystal display element has no bubbles, and it is possible to prevent the two substrates from coming into contact with each other when the liquid crystal is injected between the first substrate and the second substrate.
This is because the deflection amount Δd of both substrates is proportional to the difference (P0−P1) between the internal pressure of the liquid crystal display element and the ambient pressure. That is, it can be expressed as Δd = K (P0−P1).

【0080】最後に、前記第1の基板と第2の基板との
間のセルギャップが液晶注入前の状態まで回復しようと
する力と、液晶が両基板間のセルギャップが小さくなる
ように各基板を引っ張る力とが平衡するが、液晶が両基
板を引っ張る力は小さく、両基板は元の形状に復元す
る。
Finally, the force for recovering the cell gap between the first substrate and the second substrate to the state before the liquid crystal injection and the liquid crystal so that the cell gap between the two substrates becomes small. Although the force of pulling the substrates is in equilibrium, the force of pulling both substrates by the liquid crystal is small and both substrates restore their original shape.

【0081】そして、液晶表示素子に液晶が注入、充填
された後に、前記注入口付近に付着している液晶を拭き
取り、ディスペンサー等で紫外線硬化型樹脂を前記注入
口に塗布し、紫外線を照射して、前記塗布された樹脂を
硬化させ、該注入口の封止を行う。
Then, after the liquid crystal is injected into the liquid crystal display element and filled, the liquid crystal adhering to the vicinity of the injection port is wiped off, a UV curable resin is applied to the injection port with a dispenser or the like, and ultraviolet rays are irradiated. Then, the applied resin is cured and the injection port is sealed.

【0082】このようにして、セルギャップ制御のため
にスペーサを必要とせず、セルギャップが均一で且つ表
示品位の高い液晶表示素子を作成することができる。
In this way, a spacer is not required for controlling the cell gap, and a liquid crystal display element having a uniform cell gap and high display quality can be manufactured.

【0083】本発明によれば、表示領域にスペーサが存
在しない液晶表示素子に、真空注入法で液晶を注入する
際、一対の基板が相互に接触しないように、液晶表示素
子の内部と外部との圧力差が、両基板の変形に対する復
元力を越えないように制御することにより、セルギャッ
プが均一で表示品位が高い液晶表示素子を素子破壊及び
配向不良などを生じることなく、しかも短時間で作成す
ることができる。これにより、1インチを超えるサイズ
の液晶表示素子を、スペーサを用いることなく、容易に
作成することができる。
According to the present invention, when the liquid crystal is injected into the liquid crystal display element having no spacer in the display region by the vacuum injection method, the inside and outside of the liquid crystal display element are arranged so that the pair of substrates do not contact each other. By controlling so that the pressure difference of 2 does not exceed the restoring force against the deformation of both substrates, a liquid crystal display element with a uniform cell gap and high display quality can be produced in a short time without causing element destruction or alignment failure. Can be created. As a result, a liquid crystal display element having a size exceeding 1 inch can be easily manufactured without using a spacer.

【0084】本発明の液晶注入時に、液晶表示素子の内
部及び外部の圧力あるいは外部の圧力の到達圧力と、外
部の圧力の変動速度とを調節することによって、表示領
域にスペーサが存在していない液晶表示素子を作成する
際に、配向膜の損傷や液晶の注入不良を生じることな
く、該液晶表示素子を作成することができ、また、液晶
の注入時間を短縮することができる。従って、コントラ
ストの高い、表示品位の良好な液晶表示素子を作成する
ことができる。
When the liquid crystal of the present invention is injected, the spacer does not exist in the display area by adjusting the ultimate pressure of the internal and external pressures or the external pressure of the liquid crystal display element and the fluctuation speed of the external pressure. When producing a liquid crystal display element, the liquid crystal display element can be produced without causing damage to the alignment film or liquid crystal injection failure, and the liquid crystal injection time can be shortened. Therefore, a liquid crystal display device having high contrast and good display quality can be produced.

【0085】[0085]

【実施例】図1は、本発明の第1の実施例である液晶表
示素子を示す平面図であり、図2は、図1の切断面線A
−Aから見た断面図である。本実施例の液晶表示素子1
は、ガラスなどの透光性を有する第1基板2及び第2基
板3の間にシール材4によって液晶が封入された液晶層
6が形成されており、樹脂やガラスなどが球形状や円筒
状に形成されたスペーサ5が、シール材4の中にのみ存
在しており、スペーサ5と各基板2、3とが密着するこ
とによって、第1基板2と第2基板3との間の間隙、即
ち液晶層6の厚さを設定している。
1 is a plan view showing a liquid crystal display element according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional line A of FIG.
It is sectional drawing seen from -A. Liquid crystal display element 1 of the present embodiment
Includes a liquid crystal layer 6 in which a liquid crystal is sealed by a sealing material 4 between a first substrate 2 and a second substrate 3 having a light-transmitting property such as glass, and a resin or glass is spherical or cylindrical. The spacers 5 formed in the above are present only in the sealing material 4, and the spacers 5 and the substrates 2 and 3 are in close contact with each other, so that the gap between the first substrate 2 and the second substrate 3 That is, the thickness of the liquid crystal layer 6 is set.

【0086】第1基板2及び第2基板3の液晶層6側の
表面には、単純マトリクス動作やアクティブマトリクス
動作を行って、表示画像の画素毎に液晶へ電圧を印加す
るための電極と、液晶分子の配向を決定する配向膜とが
形成されており、必要に応じてカラーフィルタ層や遮光
層が形成される。尚、アクティブマトリクス動作の場合
は、絵素電極への印加電圧を制御するスイッチング素子
が、アモルファスSi(以下、a−Si)や多結晶Si
(以下、p−Si)等で構成されて、一方の基板表面に
形成されている。
On the surfaces of the first substrate 2 and the second substrate 3 on the liquid crystal layer 6 side, electrodes for applying a voltage to the liquid crystal for each pixel of a display image by performing a simple matrix operation or an active matrix operation, An alignment film that determines the alignment of liquid crystal molecules is formed, and a color filter layer and a light shielding layer are formed as necessary. In the case of active matrix operation, the switching element that controls the voltage applied to the pixel electrode is amorphous Si (hereinafter a-Si) or polycrystalline Si.
(Hereinafter, p-Si) and the like, and is formed on the surface of one of the substrates.

【0087】図3は、図1及び図2に示した液晶表示素
子を用いたアクティブマトリクス動作によるカラー液晶
表示装置の一例を示す破断斜視図である。この例に於い
て、第1基板2の表面に千鳥格子状に配置された複数の
絵素電極10と、各絵素電極10への印加電圧を制御す
る複数のスイッチング素子11と、各スイッチング素子
11を駆動する走査電極12と、表示信号を各スイッチ
ング素子11に伝達する信号電極13とが形成されてい
る。一方、第2基板3の表面には、前記絵素電極10毎
に赤色(R)、緑色(G)及び青色(B)のカラーフィ
ルタを有するカラーフィルタ層15が、各絵素電極10
に対応して形成され、その表面に共通電極14が形成さ
れている。
FIG. 3 is a cutaway perspective view showing an example of a color liquid crystal display device by an active matrix operation using the liquid crystal display element shown in FIGS. In this example, a plurality of picture element electrodes 10 arranged in a zigzag pattern on the surface of the first substrate 2, a plurality of switching elements 11 for controlling a voltage applied to each picture element electrode 10, and each switching element. A scanning electrode 12 that drives the element 11 and a signal electrode 13 that transmits a display signal to each switching element 11 are formed. On the other hand, on the surface of the second substrate 3, a color filter layer 15 having red (R), green (G), and blue (B) color filters is provided for each pixel electrode 10 for each pixel electrode 10.
And the common electrode 14 is formed on the surface thereof.

【0088】第1基板2と第2基板3との間には、液晶
層6が形成されると共に、第1基板2及び第2基板3の
各裏面側に、偏光子16、17が配置され、例として第
1基板2の裏面側から光が入射すると、絵素電極10と
共通電極14との間に印加される電圧によって、液晶の
光学的性質が変化して、第2基板3の裏面側に出射する
光が変調される。
The liquid crystal layer 6 is formed between the first substrate 2 and the second substrate 3, and the polarizers 16 and 17 are arranged on the back surfaces of the first substrate 2 and the second substrate 3, respectively. As an example, when light is incident from the back surface side of the first substrate 2, the optical property of the liquid crystal is changed by the voltage applied between the pixel electrode 10 and the common electrode 14, and the back surface of the second substrate 3 is changed. The light emitted to the side is modulated.

【0089】こうして得られたカラー液晶表示装置の液
晶層6には、スペーサ5が配置されていないので、表示
不良のない高品質の画像を提供することができる。
Since the spacer 5 is not arranged in the liquid crystal layer 6 of the color liquid crystal display device thus obtained, it is possible to provide a high quality image without display defects.

【0090】次に、図1に示した液晶表示素子1の製造
方法について説明する。まず、予め電極や配向膜が形成
された第1基板2及び第2基板3を用意する。一方、ス
ペーサ5として、例として直径5μmのガラスファイバ
ーをエポキシアクリレート系などの紫外線硬化性樹脂に
分散させ、樹脂1g当りのガラスファイバーの重量が5
0mgとなる混合比に調整したシール材4を準備する。
Next, a method of manufacturing the liquid crystal display element 1 shown in FIG. 1 will be described. First, the first substrate 2 and the second substrate 3 on which electrodes and alignment films are formed in advance are prepared. On the other hand, as the spacer 5, for example, glass fibers having a diameter of 5 μm are dispersed in an ultraviolet curable resin such as an epoxy acrylate resin, and the weight of the glass fibers is 5 g per 1 g of the resin.
The sealing material 4 adjusted to a mixing ratio of 0 mg is prepared.

【0091】次に図4の平面図に示すように、第1基板
2の表面に、スペーサ5を分散したシール材4をシール
印刷法やスクリーン印刷法等を用いて、開口部7を残し
て、開口部7以外の残余のシール領域に線幅0.4mm
程度で塗布する。以下、1枚の基板について、6つの液
晶セルを組み立てる例を説明するが、本発明は、このよ
うな例に限定されるものではない。
Next, as shown in the plan view of FIG. 4, the sealing material 4 in which the spacers 5 are dispersed is formed on the surface of the first substrate 2 by using a seal printing method, a screen printing method, or the like, leaving an opening 7. , Line width 0.4mm in the remaining seal area other than the opening 7.
Apply by degree. Hereinafter, an example of assembling six liquid crystal cells on one substrate will be described, but the present invention is not limited to such an example.

【0092】次に、図5の断面図に示すように、第1基
板2と第2基板3との位置合わせを行って相互に貼り合
わせた後、金属性の定盤31、32を備えるプレス装置
に設置して、基板2、3の表面に於ける各定盤31、3
2からの圧力が1〜1.5kg/cm2になるように、
押圧力Faを基板2、3の全体に印加することによっ
て、シール材4に混入されたスペーサ5と第1基板2及
び第2基板3とが密着するようにシール材4を押し潰
す。
Next, as shown in the cross-sectional view of FIG. 5, the first substrate 2 and the second substrate 3 are aligned with each other and bonded to each other, and then a press provided with metallic surface plates 31 and 32. Installed in the device, each surface plate 31, 3 on the surface of the substrate 2, 3
So that the pressure from 2 becomes 1 to 1.5 kg / cm 2 .
By applying the pressing force Fa to the entire substrates 2 and 3, the sealing material 4 is crushed so that the spacer 5 mixed in the sealing material 4 and the first substrate 2 and the second substrate 3 come into close contact with each other.

【0093】次に、図6の部分断面図に示すように、ガ
ラスファイバー33aが平織された布にフッ素樹脂33
bを含浸させた厚さ0.15mmの弾性シート33を用
意して、図7の平面図に示すように、第1基板2と第2
基板3との間に介在するシール材4の塗布形状にほぼ一
致するように、図中の斜線を付した領域34の切抜き加
工を施す。図8は、図7の部分拡大図であり、斜線領域
34の周縁部である切抜き端部の位置と、プレス後のシ
ール材4の外縁との距離Xと、プレス後のシール材4の
幅Yとの関係は、Y/3≦X≦Y/2の関係式を満足す
るように、切り抜かれることが好ましい。
Next, as shown in the partial cross-sectional view of FIG. 6, a fluororesin 33 is applied to a cloth in which glass fibers 33a are plain-woven.
An elastic sheet 33 having a thickness of 0.15 mm impregnated with b is prepared, and as shown in the plan view of FIG.
A cutout process is applied to a shaded region 34 in the drawing so as to substantially match the coating shape of the sealing material 4 interposed between the substrate 3 and the substrate 3. FIG. 8 is a partially enlarged view of FIG. 7, showing the position X of the cut-out end which is the peripheral edge of the shaded area 34, the distance X from the outer edge of the seal material 4 after pressing, and the width of the seal material 4 after pressing. The relation with Y is preferably cut out so as to satisfy the relational expression of Y / 3 ≦ X ≦ Y / 2.

【0094】次に、図9の断面図に示されるように、切
抜き加工された弾性シート33を前述した第2基板3の
裏面に載置して、図8に示すような位置合わせを行った
後、透光性を有する石英ガラス製の定盤35及び金属製
の定盤36を備えて構成されているプレス装置に設置し
て、基板2、3に於ける前記プレス装置による圧力が1
kg/cm2以下となるように、力Fbを基板2、3の
表面の全体に印加する。すると、図10の部分断面図に
示すように、弾性シート33が存在する領域に圧力が集
中して、液晶セルのシール材4の外側で、第1基板2と
第2基板3との間隙が狭くなり、シール材4の内側で第
1基板2と第2基板3との間隙が広くなるように、第2
基板3が変形する。尚、弾性シート33での圧力分布を
均一化するために、弾性シート33の両面に於いて、図
6に示すように、高さQが5μm〜30μmで、周期P
が200μm〜800μmの凹凸が形成されていること
が好ましい。
Next, as shown in the sectional view of FIG. 9, the cut-out elastic sheet 33 was placed on the back surface of the second substrate 3 described above, and the alignment as shown in FIG. 8 was performed. After that, it is installed in a press machine configured to have a translucent quartz glass surface plate 35 and a metal surface plate 36, and the pressure applied to the substrates 2 and 3 by the press device is 1
The force Fb is applied to the entire surfaces of the substrates 2 and 3 so as to be less than kg / cm 2 . Then, as shown in the partial cross-sectional view of FIG. 10, the pressure is concentrated in the region where the elastic sheet 33 is present, and the gap between the first substrate 2 and the second substrate 3 is formed outside the sealing material 4 of the liquid crystal cell. The second gap is narrowed so that the gap between the first substrate 2 and the second substrate 3 is widened inside the sealing material 4.
The substrate 3 is deformed. In order to make the pressure distribution in the elastic sheet 33 uniform, as shown in FIG. 6, the height Q is 5 μm to 30 μm and the period P is set on both sides of the elastic sheet 33.
It is preferable that unevenness of 200 μm to 800 μm is formed.

【0095】この変形した状態を保持しながら、定盤3
5の裏面側に配置された光源37から、紫外線UVを所
定時間照射することによってシール材4が硬化して、シ
ール材4の内側、即ち液晶が注入される領域の間隙が、
シール材4の厚さより大きい液晶セルが得られる。こう
して得られた液晶セルの第1基板2と第2基板3との間
隙は、スペーサ5の部分に於いて5μm、シール材4の
内側近傍に於いて5.2μm±0.1μmとなり、液晶
セルの中央部に於いて5.8μm程度になる。次に、6
つの液晶セルが形成された基板2、3を1枚の液晶セル
毎に切断して、例として10枚ずつ開口部7の方向を揃
えて治具11に収納された後、図14に示す液晶注入装
置40の内部に固定する。液晶注入装置40の真空容器
47には、弁42を介して真空排気ポンプ43が連結さ
れると共に、窒素ガスN2導入用のリーク弁41が配置
され、真空容器47の内側に於いて、液晶46を保持す
る容器が外側の直線移動手段44によって上下に位置合
わせ可能なように設置されている。
While maintaining this deformed state, the surface plate 3
The sealing material 4 is cured by irradiating it with ultraviolet rays UV for a predetermined time from the light source 37 arranged on the back surface side of the sealing material 5, and the gap inside the sealing material 4, that is, the region where the liquid crystal is injected,
A liquid crystal cell larger than the thickness of the sealing material 4 can be obtained. The gap between the first substrate 2 and the second substrate 3 of the liquid crystal cell thus obtained is 5 μm in the spacer 5 part and 5.2 μm ± 0.1 μm in the vicinity of the inside of the seal material 4, Approximately 5.8 μm in the central part of. Next, 6
The substrates 2 and 3 on which two liquid crystal cells are formed are cut into individual liquid crystal cells, and, for example, after 10 sheets are housed in the jig 11 with the directions of the openings 7 aligned, the liquid crystal shown in FIG. It is fixed inside the injection device 40. A vacuum exhaust pump 43 is connected to a vacuum container 47 of the liquid crystal injecting device 40 via a valve 42, and a leak valve 41 for introducing nitrogen gas N 2 is arranged. The container holding 46 is installed so that it can be vertically aligned by the outer linear moving means 44.

【0096】まず、弁42を開けて真空排気ポンプ43
を駆動して、真空容器47内の真空度が1×10-4〜3
×10-4Torrになるまで真空排気した後、弁42を
閉じて真空排気ポンプ43を停止する。次に、容器45
を上方へ移動して、液晶セルの開口部7を容器45内の
液晶46に浸けた後、リーク弁41を開けて真空容器4
7の中に窒素ガスN2を導入して、ほぼ大気圧に戻すこ
とによって、液晶セル内に液晶46が注入される。
First, the valve 42 is opened and the vacuum exhaust pump 43 is opened.
To drive the vacuum inside the vacuum container 47 to a degree of vacuum of 1 × 10 −4 to 3
After vacuum evacuation to × 10 −4 Torr, the valve 42 is closed and the vacuum evacuation pump 43 is stopped. Next, the container 45
Is moved upward to immerse the opening 7 of the liquid crystal cell in the liquid crystal 46 in the container 45, the leak valve 41 is opened, and the vacuum container 4 is opened.
By introducing nitrogen gas N 2 into the liquid crystal 7 and returning the pressure to about atmospheric pressure, the liquid crystal 46 is injected into the liquid crystal cell.

【0097】次に、真空容器47から取り出して、液晶
セルの開口部7を樹脂などの別のシール材8でシールす
ることによって、図1及び図2に示す液晶表示素子1を
得ることができる。なお、液晶注入直後に真空容器47
から取り出した液晶セルの液晶層の厚さを測定すると、
5.3μm±0.1μmの数値が得られた。従って、切
抜き加工した弾性シート33を介在させて液晶セルをプ
レスすると共に、シール材4を硬化させることによっ
て、液晶注入時間に依存せずに液晶層の厚さ制御を行う
ことが可能となる。また、こうして得られた液晶表示素
子1の液晶層の厚さ誤差は、±5%の範囲内に収まっ
て、製造ばらつきが少ない液晶表示素子1が得られる。
Next, the liquid crystal display element 1 shown in FIGS. 1 and 2 can be obtained by taking out from the vacuum container 47 and sealing the opening 7 of the liquid crystal cell with another sealing material 8 such as resin. . Immediately after the liquid crystal is injected, the vacuum container 47
When measuring the thickness of the liquid crystal layer of the liquid crystal cell taken out from
A value of 5.3 μm ± 0.1 μm was obtained. Therefore, the thickness of the liquid crystal layer can be controlled without depending on the liquid crystal injection time by pressing the liquid crystal cell with the cut-out elastic sheet 33 interposed and curing the sealing material 4. Further, the thickness error of the liquid crystal layer of the liquid crystal display element 1 thus obtained is within the range of ± 5%, and the liquid crystal display element 1 with less manufacturing variation can be obtained.

【0098】以下、本発明による第2の実施例を説明す
る。
The second embodiment of the present invention will be described below.

【0099】図12に、本実施例の製造方法に好適に使
用される液晶注入装置を示す。この装置は、真空チャン
バ102を備えている。真空チャンバ102内は、真空
排気ポンプ105によって真空にされ、配管104に設
けたリークバルブ103を開けると配管104を流れる
窒素ガスにより、大気圧にできる。真空チャンバ102
内には、液晶治具昇降機構110が備えられる。この液
晶治具昇降機構110は、図13及び図14に示すよう
に、上板111aと、下板111bと、支柱111cと
からなる治具111を有し、支柱111cの内面側に高
さを変えて、複数設けた支持具12に液晶表示素子10
1をセットでき、治具111全体がその下の昇降機構1
13により、昇降するように構成されている。支持具1
12は、表面にテフロン(商標名)被膜が形成され、液
晶表示素子101をセットする際に液晶表示素子101
を傷つけないようにしている。
FIG. 12 shows a liquid crystal injection device preferably used in the manufacturing method of this embodiment. This apparatus includes a vacuum chamber 102. The inside of the vacuum chamber 102 is evacuated by the vacuum exhaust pump 105, and when the leak valve 103 provided in the pipe 104 is opened, the atmospheric pressure can be achieved by the nitrogen gas flowing through the pipe 104. Vacuum chamber 102
A liquid crystal jig elevating mechanism 110 is provided therein. As shown in FIGS. 13 and 14, the liquid crystal jig elevating mechanism 110 has a jig 111 composed of an upper plate 111a, a lower plate 111b, and a support 111c, and has a height on the inner surface side of the support 111c. Instead, the liquid crystal display element 10 is mounted on the plurality of supporting members 12 provided.
1 can be set, and the entire jig 111 is an elevating mechanism 1 below it.
It is configured to move up and down by 13. Support tool 1
No. 12 has a Teflon (trademark) film formed on its surface, and when the liquid crystal display element 101 is set, the liquid crystal display element 101
I try not to hurt.

【0100】また、真空チャンバ102内には、支持具
112にセットされた液晶表示素子101に液晶を供給
するディスペンサ120が備えられている。ディスペン
サ120は、図12に於けるXYZ軸方向の制御機構1
21に支持されていて、この制御機構12により、X軸
方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。
ディスペンサ120に於いて、液晶122aを貯留する
液晶槽122から、液晶122aが液晶表示素子101
に供給されるように構成されており、制御機構121を
介してディスペンサ120は、液晶122aを液晶表示
素子101に塗布する。上記液晶槽122に於いて、液
晶脱泡用ポンプ123を備え、この液晶脱泡用ポンプ1
23により、液晶122aに脱泡処理が施される。
Further, in the vacuum chamber 102, a dispenser 120 for supplying liquid crystal to the liquid crystal display element 101 set on the support 112 is provided. The dispenser 120 is a control mechanism 1 for the XYZ axis directions in FIG.
It is supported by 21 and can be moved in the X-axis direction, the Y-axis direction and the Z-axis direction by this control mechanism 12.
In the dispenser 120, the liquid crystal 122 a is stored in the liquid crystal tank 122 that stores the liquid crystal 122 a.
The dispenser 120 applies the liquid crystal 122a to the liquid crystal display element 101 via the control mechanism 121. The liquid crystal tank 122 is provided with a liquid crystal defoaming pump 123.
23, the liquid crystal 122a is defoamed.

【0101】上述した液晶治具昇降機構110の近傍に
は、液晶表示素子101を液晶治具昇降機構110から
受け取って液晶層厚み調整機構130に渡す移動機構1
24が設けられている。この移動機構124は、ベルト
コンベアを備えており、高さが固定されている。液晶治
具昇降機構110から移動機構124への液晶表示素子
101の移動は、液晶治具昇降機構110が、全体的に
降下し、移動機構124のベルトに液晶表示素子101
が当接すると、移動機構124は液晶表示素子101を
液晶治具昇降機構110から引き出して、液晶層厚み調
整機構130側に搬送する。
In the vicinity of the liquid crystal jig elevating mechanism 110 described above, the moving mechanism 1 which receives the liquid crystal display element 101 from the liquid crystal jig elevating mechanism 110 and passes it to the liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130.
24 are provided. The moving mechanism 124 includes a belt conveyor and has a fixed height. When the liquid crystal display element 101 is moved from the liquid crystal jig elevating mechanism 110 to the moving mechanism 124, the liquid crystal jig elevating mechanism 110 is entirely lowered, and the liquid crystal display element 101 is attached to the belt of the moving mechanism 124.
Upon contact with, the moving mechanism 124 pulls out the liquid crystal display element 101 from the liquid crystal jig elevating mechanism 110 and conveys it to the liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130 side.

【0102】液晶層厚み調整機構130は、上下に2つ
のステージ131、132を備え、下側のステージ13
1は高さが固定され、上側のステージ132は昇降機構
133により昇降可能に構成されている。下側のステー
ジ131に、移動機構124にて搬送されてきた液晶表
示素子101がセットされる。この液晶層厚み調整機構
130における液晶表示素子101は拡大されて示され
ている。ステージ131は、上面にセル厚測定用の光フ
ァイバ137aの一端と、減圧加圧用の孔131bとが
設けられている。光ファイバ137aの他端は、セル厚
測定装置134aに接続され、減圧加圧用の孔131b
は通路を介して、セル吸着用ポンプ135aとセル加圧
用コンプレッサ136aとに連通連結されている。
The liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130 is provided with two stages 131 and 132 on the upper side and the lower side, respectively.
1 has a fixed height, and the upper stage 132 is configured to be movable up and down by a lifting mechanism 133. The liquid crystal display element 101 conveyed by the moving mechanism 124 is set on the lower stage 131. The liquid crystal display element 101 in the liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130 is shown enlarged. On the upper surface of the stage 131, one end of an optical fiber 137a for measuring cell thickness and a hole 131b for depressurizing and pressurizing are provided. The other end of the optical fiber 137a is connected to a cell thickness measuring device 134a, and a pressure reducing / pressurizing hole 131b is provided.
Is connected to the cell adsorption pump 135a and the cell pressurizing compressor 136a through a passage.

【0103】一方、ステージ132に於いて、その下面
にセル厚測定用の光ファイバ137bの一端と減圧加圧
用の孔132bとが設けられている。光ファイバ137
bの他端は、セル厚測定装置134bに接続され、減圧
加圧用の孔132bは通流路を介して、セル吸着用ポン
プ135bとセル加圧用コンプレッサ136bとに連通
連結されている。なお、ステージ131の上面とステー
ジ132の下面とには、それぞれOリング138a、1
38bが設けられている。
On the other hand, on the lower surface of the stage 132, one end of an optical fiber 137b for measuring cell thickness and a hole 132b for depressurizing and pressurizing are provided. Optical fiber 137
The other end of b is connected to the cell thickness measuring device 134b, and the depressurizing / pressurizing hole 132b is connected to the cell adsorbing pump 135b and the cell pressurizing compressor 136b through a passage. It should be noted that the upper surface of the stage 131 and the lower surface of the stage 132 are respectively provided with O-rings 138a, 1
38b is provided.

【0104】このように構成された液晶注入装置を用い
た本実施例の液晶表示素子の製造方法について説明す
る。
A method of manufacturing the liquid crystal display element of this embodiment using the liquid crystal injection device having the above structure will be described.

【0105】先ず、通常の液晶表示素子作製プロセスに
より、例えば液晶が注入されていない段階であって、ス
イッチング素子としてTFT(薄膜トランジスタ)が、
基板101a、101bのいずれかの上にマトリクス状
に形成された3インチサイズのTFT液晶表示素子10
1を作製する。この液晶表示素子101は、図15に示
すように、スイッチング素子としてのTFT(薄膜トラ
ンジスタ)が形成されたTFT基板101aと、対向基
板101bとを対向配設させ、その対向する部分の周囲
にシール材101cを設けると共に、シール材101c
を部分的に省略して液晶の注入口101dが形成されて
いる。
First, a TFT (thin film transistor) is used as a switching element at a stage where no liquid crystal is injected by a normal liquid crystal display element manufacturing process.
A 3-inch size TFT liquid crystal display element 10 formed in a matrix on either the substrate 101a or 101b.
1 is produced. In this liquid crystal display element 101, as shown in FIG. 15, a TFT substrate 101a on which a TFT (thin film transistor) as a switching element is formed and a counter substrate 101b are arranged so as to face each other, and a sealing material is provided around the facing portion. 101c is provided and the sealing material 101c
Is partially omitted to form a liquid crystal injection port 101d.

【0106】本実施例に於いて、両基板101a、10
1bの間に、セル厚を一定に保持する為のスペーサを設
けていない。続いて、液晶治具昇降機構110の支持具
112に、作製した液晶表示素子101或はそのように
既に作製した液晶表示素子101の複数枚を、注入口1
01dを揃えて、図12に示すようにセットする。
In this embodiment, both substrates 101a, 10a
Between 1b, no spacer is provided to keep the cell thickness constant. Subsequently, the liquid crystal display element 101 thus manufactured or a plurality of the liquid crystal display elements 101 already manufactured in such a manner are placed on the support 112 of the liquid crystal jig elevating / lowering mechanism 110.
01d are aligned and set as shown in FIG.

【0107】次に、真空排気ポンプ105を作動させて
真空チャンバ102内を真空排気し、真空度1〜3×1
-4Torr以下に排気する。その後、真空排気ポンプ
105を停止させ、液晶槽122内の脱泡済み液晶が充
填されたディスペンサ120を、制御機構121により
操作して、複数枚の液晶表示素子101の注入口101
dの近傍に、液晶122aを所定量滴下する。滴下量と
しては、例えば液晶表示素子101のサイズ、液晶層の
厚みに基づいて計算される内容積の2倍量を標準とす
る。各液晶表示素子101での内容積のばらつきが少な
い場合には、もっと少ない量としても構わない。
Next, the vacuum exhaust pump 105 is operated to evacuate the inside of the vacuum chamber 102, and the degree of vacuum is 1 to 3 × 1.
Evacuate below 0 -4 Torr. After that, the vacuum exhaust pump 105 is stopped, and the dispenser 120 filled with the defoamed liquid crystal in the liquid crystal tank 122 is operated by the control mechanism 121 to cause the inlets 101 of the plurality of liquid crystal display elements 101.
A predetermined amount of liquid crystal 122a is dropped near d. As the dropping amount, for example, a standard amount is twice the internal volume calculated based on the size of the liquid crystal display element 101 and the thickness of the liquid crystal layer. If there is little variation in the internal volume of each liquid crystal display element 101, a smaller amount may be used.

【0108】次に、リークバルブ103を開放して真空
チャンバ102内に窒素ガスを導入する。これにより液
晶表示素子101の内部と、真空チャンバ102内であ
る外部とに圧力差が生じる。窒素ガス導入と同時に、複
数枚の液晶表示素子101の内部に液晶が注入されてい
く。
Next, the leak valve 103 is opened and nitrogen gas is introduced into the vacuum chamber 102. This causes a pressure difference between the inside of the liquid crystal display element 101 and the inside of the vacuum chamber 102. Simultaneously with the introduction of nitrogen gas, the liquid crystal is injected into the plurality of liquid crystal display elements 101.

【0109】次いで、複数枚の液晶表示素子101全て
に液晶122aが気泡を含まず注入されると、液晶治具
昇降機構110を降下させ、一番下の液晶表示素子10
1を移動機構124により液晶治具昇降機構110から
引き出して、液晶層厚み調整機構130側に搬送する。
液晶表示素子101を液晶層厚み調整機構130の下側
のステージ131上にセットする。セットが終了する
と、上側のステージ132を昇降機構133により降下
させ、液晶表示素子101を、ステージ131、132
で挟む。このとき、ステージ131と液晶表示素子10
1との間はOリング138aにより密閉状態となり、ス
テージ132と液晶表示素子101との間はOリング1
38bにより密閉状態となる。
Next, when the liquid crystal 122a is injected into all of the plurality of liquid crystal display elements 101 without containing bubbles, the liquid crystal jig elevating mechanism 110 is lowered and the lowermost liquid crystal display element 10 is moved.
1 is pulled out from the liquid crystal jig elevating mechanism 110 by the moving mechanism 124 and is conveyed to the liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130 side.
The liquid crystal display element 101 is set on the stage 131 below the liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130. When the setting is completed, the upper stage 132 is lowered by the elevating mechanism 133, and the liquid crystal display element 101 is moved to the stages 131 and 132.
Sandwich between. At this time, the stage 131 and the liquid crystal display element 10
1 is sealed by an O-ring 138a between the stage 132 and the liquid crystal display element 101.
38b creates a sealed state.

【0110】次に、ステージ131、132間に挟まれ
ている液晶表示素子101のセル厚測定を行う。セル厚
測定は、液晶表示素子101の内部に液晶が注入され、
液晶分子がTN(ツイステッドネマティック)配向し
て、光学変調素子として機能する状態で行う。測定方式
は、ステージ131、132に埋め込まれている光ファ
イバー137a、137bにより偏光板を介して可視光
光線の波長を走査する。これによって生じる透過光強度
の波長依存性を評価することにより算出する。この測定
値は、セル厚測定装置134a、134bの一方に設け
たコンピュータにより得られる。
Next, the cell thickness of the liquid crystal display element 101 sandwiched between the stages 131 and 132 is measured. The cell thickness is measured by injecting liquid crystal into the liquid crystal display element 101,
The liquid crystal molecules are aligned in a TN (twisted nematic) orientation and function as an optical modulator. In the measurement method, the wavelengths of visible light rays are scanned through the polarizing plates by the optical fibers 137a and 137b embedded in the stages 131 and 132. It is calculated by evaluating the wavelength dependence of the intensity of transmitted light caused by this. This measured value is obtained by a computer provided in one of the cell thickness measuring devices 134a and 134b.

【0111】次に、該コンピュータは、セル厚に応じて
セル吸着用ポンプ135a、135b、又はセル加圧用
コンプレッサ136a、136bの一方を駆動させる信
号を出力する。具体的には、図16に示すように、セル
厚が薄い場合は、セル吸着用ポンプ135a、135b
を作動させ、ステージ131、132間に挟まれている
液晶表示素子101を両側から吸引、吸着して、液晶表
示素子101の全面に於いてセル厚が大きくなるように
する。
Next, the computer outputs a signal for driving one of the cell adsorption pumps 135a, 135b or the cell pressurizing compressors 136a, 136b according to the cell thickness. Specifically, as shown in FIG. 16, when the cell thickness is thin, the cell adsorption pumps 135a and 135b are used.
Is operated to suck and adsorb the liquid crystal display element 101 sandwiched between the stages 131 and 132 from both sides so that the cell thickness becomes large on the entire surface of the liquid crystal display element 101.

【0112】これにより、注入口101dの近傍に塗布
した液晶122aが液晶表示素子101の内部に吸い込
まれていく。吸着力は、真空排気ポンプ105とリーク
バルブ103との併用により微細に調節可能となってい
る。これと反対に、セル厚が厚い場合は、図17に示す
ように、セル加圧用コンプレッサ136a、136bを
作動させ、ステージ131、132間に挟まれている液
晶表示素子101を両側から圧縮空気により加圧し、注
入口101dから液晶122aを排出させる。加圧力
は、例えば1kg/cm2程度が適当である。このよう
にすることにより、液晶表示素子101のセル厚が調整
される。なお、この調整のとき、セル厚測定装置134
a、134bによって、セル厚の管理を継続して行い、
セル厚を所望の一定値に制御するようにしておく。
As a result, the liquid crystal 122a applied near the inlet 101d is sucked into the liquid crystal display element 101. The suction force can be finely adjusted by using the vacuum exhaust pump 105 and the leak valve 103 together. On the contrary, when the cell thickness is thick, as shown in FIG. 17, the cell pressurizing compressors 136a and 136b are operated to compress the liquid crystal display element 101 sandwiched between the stages 131 and 132 from both sides by compressed air. The pressure is applied to eject the liquid crystal 122a from the inlet 101d. Appropriate pressure is, for example, about 1 kg / cm 2 . By doing so, the cell thickness of the liquid crystal display element 101 is adjusted. At the time of this adjustment, the cell thickness measuring device 134
a, 134b, continuously manage the cell thickness,
The cell thickness is controlled to a desired constant value.

【0113】次に、所定のセル厚になると、紫外線硬化
樹脂を注入口101dに塗布し、この樹脂に紫外線を照
射する。これにより注入口101dの封止が完了する。
Next, when the predetermined cell thickness is reached, an ultraviolet curable resin is applied to the injection port 101d, and this resin is irradiated with ultraviolet rays. This completes the sealing of the injection port 101d.

【0114】このようにして第1枚目の液晶表示素子1
01の封止が完了すると、完了した液晶表示素子101
を移動機構124によって、液晶治具昇降機構110の
元の場所に戻し、第2枚目の液晶表示素子101を、入
れ代わりに液晶層厚み調整機構130に移動させる。
In this way, the first liquid crystal display element 1
When the sealing of 01 is completed, the completed liquid crystal display element 101
Is moved to the original position of the liquid crystal jig elevating mechanism 110 by the moving mechanism 124, and the second liquid crystal display element 101 is moved to the liquid crystal layer thickness adjusting mechanism 130 instead of being replaced.

【0115】以下、上述した手順通りに全部の液晶表示
素子101に対して液晶の注入を行って、液晶表示素子
101を作製する。
The liquid crystal is injected into all the liquid crystal display elements 101 according to the procedure described above to manufacture the liquid crystal display elements 101.

【0116】以上詳述したように、本実施例の製造方法
による場合、2つの基板101a、101bの間に注入
された液晶層の中央部の厚みを測定する。この測定結果
に基づいて、2つの基板101a、101bの間の中央
部での各基板101a、101bの間の離隔距離を機械
的に調整する。これにより、該注入口101dから液晶
122aが注入され又は排出されることとなり、液晶層
の中央部の厚みが一定値になる。
As described in detail above, in the case of the manufacturing method of this embodiment, the thickness of the central portion of the liquid crystal layer injected between the two substrates 101a and 101b is measured. Based on this measurement result, the separation distance between the substrates 101a and 101b at the central portion between the two substrates 101a and 101b is mechanically adjusted. As a result, the liquid crystal 122a is injected or discharged from the injection port 101d, and the thickness of the central portion of the liquid crystal layer becomes a constant value.

【0117】図18は、本実施例の製造方法によって製
造された液晶表示素子のセル厚分布を、従来の製造方法
により製造された液晶表示素子のセル厚分布と共に示す
グラフである。セル厚分布の測定箇所は、図15のA−
A線上であり、液晶表示素子101の対角線上である。
尚、図18中のラインBは本実施例の製造方法によって
製造された液晶表示素子101の場合、ラインCは2つ
の基板101a、101bの間にスペーサを介在させた
場合、ラインDは2つの基板101a、101bの間に
スペーサを介在させることなく液晶を注入してセル厚が
厚くなった場合、ラインEは2つの基板101a、10
1bの間にスペーサを介在させることなく液晶を注入し
てセル厚が薄くなった場合をそれぞれ示す。
FIG. 18 is a graph showing the cell thickness distribution of the liquid crystal display element manufactured by the manufacturing method of this embodiment together with the cell thickness distribution of the liquid crystal display element manufactured by the conventional manufacturing method. The measurement location of the cell thickness distribution is A- in FIG.
It is on the line A and on the diagonal line of the liquid crystal display element 101.
Note that line B in FIG. 18 is the case of the liquid crystal display element 101 manufactured by the manufacturing method of this embodiment, line C is the case where a spacer is interposed between the two substrates 101a and 101b, and line D is the case of two lines. When the liquid crystal is injected without interposing a spacer between the substrates 101a and 101b to increase the cell thickness, the line E indicates the two substrates 101a, 10b.
Liquid crystal is injected between 1b without interposing a spacer to reduce the cell thickness.

【0118】これらの図から理解されるように、本実施
例の場合は、2つの基板101a、101bの間にスペ
ーサを介在させる場合よりもセル厚調整の精度が低い
が、単に液晶を注入するラインDやラインEで示される
場合よりも格段に精度よくセル厚を調整できる。
As can be understood from these figures, in the case of this embodiment, the accuracy of cell thickness adjustment is lower than in the case of interposing a spacer between the two substrates 101a and 101b, but the liquid crystal is simply injected. The cell thickness can be adjusted much more accurately than in the case shown by the lines D and E.

【0119】このように本実施例による場合に於いて、
スペーサを使用しないで対向配設させた2つの基板10
1a、101bの間のセル厚を、均一かつ一定値に保持
して、液晶の注入や液晶表示素子101の注入口の封止
を行うことが可能となる。これにより、製造された液晶
表示素子101を、例えばプロジェクション映写機に使
用して投影拡大を行うと、通常のスペーサ散布方式にて
作製された液晶表示素子を使用する場合と比べて、スペ
ーサが無いためにスペーサ部分だけ光が透過した状態と
なる表示不良が発生せず表示品位も良好であった。
As described above, in the case of this embodiment,
Two substrates 10 opposed to each other without using a spacer
By maintaining the cell thickness between 1a and 101b at a uniform and constant value, it becomes possible to inject liquid crystal and seal the inlet of the liquid crystal display element 101. As a result, when the manufactured liquid crystal display element 101 is used in, for example, a projection projector to perform projection enlargement, there is no spacer as compared with the case of using a liquid crystal display element manufactured by a normal spacer dispersion method. In addition, the display quality was good without any display defects in which light was transmitted only through the spacer portion.

【0120】本発明の第3の実施例は、スペーサを用い
ず、表示領域のギャップを均一に保持した液晶表示素子
を製造するためのものである。従来では、シール領域以
外にスペーサが配置されていない場合、表示領域に歪み
を生じ易く、注入される液晶の量によってもギャップ量
が変動してしまい、歪みを増大させる。そのため、液晶
の注入後も表示領域に歪みを生じない液晶表示素子を製
造するためには、一対の基板がシール材で固着され、液
晶が注入される前の空セルの状態から、両基板をできる
だけ均一なギャップで貼り合わせる必要がある。
The third embodiment of the present invention is to manufacture a liquid crystal display element in which a gap in the display region is kept uniform without using a spacer. Conventionally, when a spacer is not arranged in a region other than the seal region, the display region is likely to be distorted, and the amount of the gap varies depending on the amount of injected liquid crystal, which increases the strain. Therefore, in order to manufacture a liquid crystal display element in which the display area is not distorted even after the liquid crystal is injected, a pair of substrates are fixed with a sealing material, and both substrates are removed from the empty cell state before the liquid crystal is injected. It is necessary to bond them with a gap as uniform as possible.

【0121】以下、図19及び図20を参照する。一対
の基板201、204の一方にスペーサ203を含んだ
シール材202を塗布し、もう一方の基板には、スペー
サ203を散布せずに2枚の基板201、204を貼り
合わせ、押圧装置によって両基板201、204を相互
に押圧する。
Hereinafter, reference will be made to FIGS. 19 and 20. The sealing material 202 including the spacer 203 is applied to one of the pair of substrates 201 and 204, the two substrates 201 and 204 are attached to the other substrate without spraying the spacers 203, and both are pressed by a pressing device. The substrates 201 and 204 are pressed against each other.

【0122】押圧保持する手段として、圧力分布に対し
て、緩衝作用を有する緩衝材と、表面が平滑で高いたわ
み強度を有する加圧材とから構成される。前記加圧材と
して、表面のうねりが、基板の表面のうねりよりも小さ
く、且つ基板のたわみ強度以上のたわみ強度を有する材
料が選ばれる。また、前記たわみ強度は、その材料の形
状、寸法、材料特性、特に縦弾性係数によって決定され
る。異なった特性を有する複数の部材を組み合わせたも
のを介して、基板全面を押圧して貼り合わせを行う。
The means for pressing and holding is composed of a cushioning material having a cushioning effect on the pressure distribution and a pressing material having a smooth surface and high flexural strength. As the pressurizing material, a material having a surface waviness smaller than the surface waviness and a flexural strength equal to or higher than the flexural strength of the substrate is selected. The flexural strength is determined by the shape, size and material characteristics of the material, especially the longitudinal elastic modulus. Bonding is performed by pressing the entire surface of the substrate through a combination of a plurality of members having different characteristics.

【0123】前記緩衝材を用いることにより、前記押圧
装置による押圧力の分布むら、基板の厚みむら等、一対
の基板相互を押圧する力の分布の不均一を発生させる要
素を吸収し、均一な基板の押圧が可能となる。また、加
圧材により基板全面に荷重を印加しても、スペーサが介
在しない表示領域に於けるたわみの発生をできるだけ抑
制し、シール領域のみを効果的に押圧することができ
る。このとき、基板と加圧材との間に空気等の圧縮性流
体が介在することによる圧力分布のむらの発生を防止
し、押圧後、基板と加圧材とを剥離し易くするために、
加圧材の表面に溝(スリット)を形成する加工を施す。
By using the cushioning material, it is possible to absorb an element that causes unevenness in the distribution of the pressing force between the pair of substrates, such as uneven distribution of the pressing force by the pressing device, unevenness of the thickness of the substrates, and the like. The substrate can be pressed. Further, even if a load is applied to the entire surface of the substrate by the pressurizing material, it is possible to suppress the occurrence of deflection in the display area where the spacer is not present, and to effectively press only the seal area. At this time, in order to prevent the occurrence of uneven pressure distribution due to the presence of a compressive fluid such as air between the substrate and the pressure member, and to facilitate the separation of the substrate and the pressure member after pressing,
A process for forming a groove (slit) is performed on the surface of the pressure material.

【0124】上述のような押圧装置で、一対の基板を相
互に押圧しながら、紫外線を照射し、シール材の仮硬化
を行う。このとき、表示領域に於いて、わずかではある
がたわみが残っているため、図19に示すように、シー
ル材202の外側よりも内側の方がギャップが小さくな
っている状態で、前記シール材202が仮硬化する。そ
のため、前記仮硬化後、シール材202を軟化させるた
めに、シール材202のガラス転位点以上の温度に加熱
を行う。
With the pressing device as described above, ultraviolet rays are radiated while the pair of substrates are pressed against each other to temporarily cure the sealing material. At this time, since a small amount of flexure remains in the display area, as shown in FIG. 19, the gap is smaller inside the sealing material 202 than outside the sealing material 202. 202 is temporarily cured. Therefore, after the temporary curing, in order to soften the sealing material 202, it is heated to a temperature equal to or higher than the glass transition point of the sealing material 202.

【0125】このとき、シール材202の硬化(熱硬
化)も併せて行われる。即ち、シール材202を加熱す
ると、前記ガラス転位点以上の温度となったとき、シー
ル材202は軟化する。更に温度を上昇させると、軟化
していたシール材202は硬化する。本実施例に於い
て、このようなシール材202の軟化と熱硬化とを連続
した工程で一挙に行うようにしている。
At this time, the sealing material 202 is also cured (heat cured). That is, when the sealing material 202 is heated, when the temperature reaches the glass transition point or higher, the sealing material 202 softens. When the temperature is further increased, the softened sealing material 202 hardens. In the present embodiment, such softening and thermosetting of the sealing material 202 are performed in one continuous step.

【0126】シール材202を軟化させることにより、
前記たわみによって生じている基板205、208の復
元力によって、図19のシール材202の形状を、図2
0に示すように、基板205、208のたわみが抑制さ
れた形状に補正することができる。この状態で、基板2
05、208を冷却すると、押圧の際に生じた基板20
5、208の表示領域に於けるたわみが極めて小さい液
晶セルを製造することができる。
By softening the sealing material 202,
By the restoring force of the substrates 205 and 208 generated by the bending, the shape of the sealing material 202 in FIG.
As shown in FIG. 0, it is possible to correct the deflection of the substrates 205 and 208 to a suppressed shape. In this state, the substrate 2
When 05 and 208 are cooled, the substrate 20 generated during pressing
It is possible to manufacture a liquid crystal cell in which the deflection in the display areas 5 and 208 is extremely small.

【0127】このような本実施例の製造方法によって、
セルギャップの制御にスペーサを必要とせず、かつ均一
なギャップの液晶表示素子を製造することができる。
According to the manufacturing method of this embodiment,
A spacer is not required for controlling the cell gap, and a liquid crystal display device having a uniform gap can be manufactured.

【0128】以下、本発明の第3の実施例を図面を参照
して詳細に説明する。
The third embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0129】第3の実施例を、図21に基づいて説明す
る。相互に貼り合わせられる上下の基板204、206
として、外寸150×150mm、厚さ1.1mmのガ
ラス(コーニング社製、7059バリウムホウケイ酸ガ
ラス、縦弾性係数6.89×103kg/mm2、表面う
ねり10μm以下)を使用し、図22のシールパターン
に示すような3インチの液晶表示パネルを4枚作成し
た。各基板の片面には、液晶の電気光学的特性を制御す
る電極を形成し、配向膜を形成してラビングで配向処理
を行ったものを使用した。
The third embodiment will be described with reference to FIG. Upper and lower substrates 204 and 206 that are bonded to each other
As an example, a glass having an outer size of 150 × 150 mm and a thickness of 1.1 mm (7059 barium borosilicate glass manufactured by Corning, 6.89 × 10 3 kg / mm 2 longitudinal elastic modulus, surface waviness of 10 μm or less) is used. Four 3-inch liquid crystal display panels as shown by the seal pattern 22 were prepared. An electrode was formed on one surface of each substrate to control the electro-optical characteristics of the liquid crystal, an alignment film was formed, and the alignment treatment was performed by rubbing.

【0130】前記上下の基板を接着するシール材205
は、エポキシアクリルレイト系紫外線硬化性樹脂であ
り、25℃での樹脂特性は、粘度45,000cp<5
rpm>(ブルックフィールド粘度計(HBT型)測
定)、揺変指数3.3<0.5rpm/5rpm値>の
ものを使用した。このシール材205に混入されるギャ
ップ制御用のスペーサ208は、ガラスファイバー(日
本電気ガラス社製、PF−50S:直径5.0μm、長
さ15.0μm)を使用し、その混合比は、シール材2
05の1g当り50mgに調整した。このシール材20
5が、下基板204の貼り合わせ面に、前記液晶表示パ
ネルのシールパターンに沿ってスクリーン印刷法により
塗布されている。
Sealing material 205 for bonding the upper and lower substrates
Is an epoxy acrylate-based UV curable resin, and has a resin property at 25 ° C. of a viscosity of 45,000 cp <5.
rpm> (Brookfield viscometer (HBT type) measurement) and a thixotropic index of 3.3 <0.5 rpm / 5 rpm value> were used. A glass fiber (PF-50S manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd .: diameter 5.0 μm, length 15.0 μm) is used as the gap control spacer 208 mixed in the sealing material 205, and the mixing ratio is a seal. Material 2
It was adjusted to 50 mg per 1 g of 05. This sealing material 20
5 is applied to the bonding surface of the lower substrate 204 by screen printing along the seal pattern of the liquid crystal display panel.

【0131】次に、図21に示したような構成により、
液晶表示パネルの押圧を行った。本実施例の場合、加圧
材には石英ガラス板203(信越石英社製、縦弾性係数
7.4×103kg/mm2、表面うねり5μm以下、外
寸150×150mm、厚さ3mm)を用いた。この石
英ガラス板203には、基板との間の空気の介在を防止
するために、基板と接触する表面に、図23に示すよう
な、ピッチ10mm、幅0.05mm、深さ0.1mm
のスリット211を、ダイシング加工を行って形成し
た。
Next, with the configuration shown in FIG.
The liquid crystal display panel was pressed. In the case of this embodiment, the pressing material is a quartz glass plate 203 (manufactured by Shin-Etsu Quartz Co., Ltd., longitudinal elastic modulus of 7.4 × 10 3 kg / mm 2 , surface waviness of 5 μm or less, outer dimensions of 150 × 150 mm, thickness of 3 mm). Was used. This quartz glass plate 203 has a pitch of 10 mm, a width of 0.05 mm, and a depth of 0.1 mm, as shown in FIG. 23, on the surface in contact with the substrate in order to prevent air from intervening between the quartz glass plate 203 and the substrate.
The slit 211 of No. 2 was formed by dicing.

【0132】加圧材には、そのたわみ強度Eeが、基板
204のたわみ強度Eaよりも高く(Ee≧Ea)、そ
の表面うねりR1は、基板204表面うねりRwよりも
小さい(R1≦Rw)ものを用いる。
The pressurizing material has a flexural strength Ee higher than the flexural strength Ea of the substrate 204 (Ee ≧ Ea) and a surface waviness R1 thereof smaller than the surface waviness Rw of the substrate 204 (R1 ≦ Rw). To use.

【0133】緩衝材202には、例としてスポンジ(タ
イガースポリマー社製、フッ素ゴムスポンジ、外寸15
0×150mm、厚さ7mm)を用いることができる。
このスポンジは、フッ素ゴムを約5倍に発泡させたもの
で、圧力分布に対する緩衝性が優れており、図24のよ
うに、空気に極めて近い応力−歪み特性の特性曲線を示
す材料である。この緩衝材202として、ゴムなどを発
泡させた材料で、圧力を均一に伝達できる流体に近似し
た特性を示し、材料内部に均一且つ微細で独立したセル
構造を有する物質、もしくはKCl、NaCl等のアル
カリハライド結晶粒、あるいは、パイロフィライト等の
固定の圧力媒体等も使用できる。これらの圧力媒体のサ
イズ、形状は、基板204、206に塗布したシールパ
ターンを十分に覆える大きさであればよく、基板204
と同一のサイズ、形状とすることが望ましい。
As the cushioning material 202, as an example, a sponge (made by Tigers Polymer, fluororubber sponge, external size 15
0 × 150 mm, thickness 7 mm) can be used.
This sponge is made of fluororubber foamed about 5 times, has excellent buffering property against pressure distribution, and is a material showing a characteristic curve of stress-strain characteristics extremely close to air as shown in FIG. As the cushioning material 202, a material obtained by foaming rubber or the like, which has characteristics similar to that of a fluid capable of uniformly transmitting pressure, has a uniform and fine and independent cell structure inside the material, or KCl, NaCl, or the like. Alkali halide crystal grains, or a fixed pressure medium such as pyrophyllite can also be used. The pressure medium may have any size and shape as long as it can sufficiently cover the seal pattern applied to the substrates 204 and 206.
It is desirable to have the same size and shape as.

【0134】図21に示したような順序で基板204、
207、圧力媒体を押圧装置にセットし、シール材20
5に含まれるスペーサ208により定まる所定のギャッ
プになるまで押圧する。押圧装置の押圧圧力は、0.9
kg/cm2に定められた。このようにして、基板20
4、207を押圧した状態で保持し、定盤207から紫
外線UVを照射し、シール材205を仮硬化させて、液
晶表示装置を製造した。本実施例に於いて、基板20
4、207を押圧したまま120sec保持し、そのま
まの状態で、紫外線照射を90sec間行い、照射の
後、120sec間だけ保持した。基板204、207
の押圧、シール材205の仮硬化後、製造された液晶表
示パネルの前記セルギャップを測定すると、表示領域中
央部付近での最大たわみ量は、0.6μm程度であっ
た。
The substrate 204, in the order shown in FIG.
207, the pressure medium is set in the pressing device, and the sealing material 20
5 is pressed until a predetermined gap determined by the spacer 208 included in No. 5 is reached. The pressing pressure of the pressing device is 0.9
It was set to kg / cm 2 . In this way, the substrate 20
Liquid crystal display devices were manufactured by holding 4, 207 in a pressed state, irradiating ultraviolet rays UV from the surface plate 207, and temporarily curing the sealing material 205. In this embodiment, the substrate 20
While pressing No. 4 and 207 for 120 seconds, the ultraviolet irradiation was performed for 90 seconds in that state, and after the irradiation, it was held for 120 seconds only. Boards 204, 207
When the cell gap of the manufactured liquid crystal display panel was measured after pressing and the sealing material 205 was temporarily cured, the maximum amount of deflection in the vicinity of the central portion of the display area was about 0.6 μm.

【0135】この状態に於いて、図19に示すように、
液晶表示パネルの内側のギャップが、液晶表示パネルの
外側のギャップよりも小さいように、一対の基板20
4、207がたわんだ状態で、シール材205が硬化し
ている。シール材205を軟化させ、シール材205の
形状の補正を行うためと、シール材205の本硬化を行
うためとに、焼成を行った。使用したシール材205の
ガラス転位温度Tgが120℃であることから、焼成条
件は、焼成温度150℃、焼成時間30分とした。焼成
後の液晶表示パネルの表示領域の前記ギャップを測定す
ると、基準となるギャップ量に対するばらつきは、±
0.15μmであった。
In this state, as shown in FIG.
The pair of substrates 20 is arranged so that the inner gap of the liquid crystal display panel is smaller than the outer gap of the liquid crystal display panel.
The sealing material 205 is cured in a state in which Nos. 4 and 207 are bent. Firing was performed to soften the sealing material 205 to correct the shape of the sealing material 205 and to perform the main curing of the sealing material 205. Since the glass transition temperature Tg of the sealing material 205 used was 120 ° C., the firing conditions were a firing temperature of 150 ° C. and a firing time of 30 minutes. When the gap in the display area of the liquid crystal display panel after firing was measured, the variation with respect to the reference gap amount was ±
It was 0.15 μm.

【0136】この液晶表示パネルに、真空注入法により
液晶を注入すると、空セルの状態と同程度の均一なギャ
ップを有する液晶表示パネルを製造することが出来た。
By injecting liquid crystal into this liquid crystal display panel by a vacuum injection method, a liquid crystal display panel having a uniform gap almost equal to the state of an empty cell could be manufactured.

【0137】以上のような実施例に於いて、複数の圧力
媒体を介して、基板204、207の全面を押圧するこ
とにより、基板204全面に荷重を印加した状態でも、
シール領域205を効果的に押圧することができ、液晶
表示パネルの表示領域に於いて、絵素部にスペーサを散
布する必要が解消され、シール領域205のみでギャッ
プを保持することができる。これにより、ギャップむら
の発生を防止し、表示欠陥の発生が防止され、高開口
率、高コントラストの液晶表示装置を実現することが出
来た。
In the above-mentioned embodiment, even if a load is applied to the entire surface of the substrate 204 by pressing the entire surface of the substrates 204 and 207 through a plurality of pressure media,
The seal area 205 can be effectively pressed, the need to disperse spacers to the picture elements in the display area of the liquid crystal display panel is eliminated, and the gap can be held only by the seal area 205. As a result, it is possible to realize a liquid crystal display device having a high aperture ratio and a high contrast by preventing the occurrence of gap unevenness and the occurrence of display defects.

【0138】本発明による液晶表示素子の製造方法の第
1の実施例を以下に説明する。
A first embodiment of the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention will be described below.

【0139】まず、本実施例に於いて使用したシール材
について説明する。該シール材の材料は、エポキシ樹脂
系であり、紫外線硬化作用と熱硬化作用とを併用する。
硬化条件は、紫外線硬化の場合に、波長365nmで9
000mJの紫外線照射が必要である。また、熱硬化の
場合に、紫外線硬化後、150℃で30分の焼成が必要
である。
First, the sealing material used in this embodiment will be described. The material of the sealing material is an epoxy resin system, and has both an ultraviolet curing action and a thermosetting action.
The curing condition is 9 at wavelength of 365 nm in the case of UV curing.
Ultraviolet irradiation of 000 mJ is required. In the case of heat curing, it is necessary to bake at 150 ° C. for 30 minutes after UV curing.

【0140】該シール材の25℃での樹脂特性は、ブル
ックフィールド回転粘度計(HBT型)の測定値が22
4,000cP(5rpm)で、揺変指数が5.0
(0.5rpm/5rpm値)である。また、セルギャ
ップの決定因子となるシール材の応力(σ(kgf/c
2))−セルギャップ(d(μm))特性は、前記第
1式σ=Fdnで近似することができる。本実施例に於
いて、F=1334、n=3.5であり、応力−セルギ
ャップ特性は、図25のグラフの曲線のようになる。本
実施例に於ける目標セルギャップは、例として5μmで
あり、上記第1式から押圧圧力は、4.8kg/cm2
と決定される。
The resin characteristic of the sealing material at 25 ° C. was 22 when measured by a Brookfield rotational viscometer (HBT type).
At 4,000 cP (5 rpm), the rocking index is 5.0
(0.5 rpm / 5 rpm value). In addition, the stress (σ (kgf / c
The m 2 ))-cell gap (d (μm)) characteristic can be approximated by the first equation σ = Fd n . In this example, F = 1334 and n = 3.5, and the stress-cell gap characteristic is as shown by the curve in the graph of FIG. The target cell gap in this embodiment is, for example, 5 μm, and the pressing pressure is 4.8 kg / cm 2 from the first formula.
Is decided.

【0141】以下に、本実施例の液晶表示素子の製造方
法について説明する。図27及び図31を参照する。ガ
ラス基板306、307として、コーニング社製705
9の外寸150mm×150mm、厚さ1.1mmのも
のを使用し、該基板306、307上に、画面サイズが
3.0インチの図31に示すa−SiTFTを、図26
に示すシールパターンに基づいて具備した基板(以下、
TFT基板)307と、カラーフィルタ328を具備し
た基板(以下、CF基板)306とを一対として使用す
る。
The method of manufacturing the liquid crystal display element of this embodiment will be described below. 27 and 31 will be referred to. Corning 705 as the glass substrates 306 and 307
26, an a-Si TFT shown in FIG. 31 having a screen size of 3.0 inches is formed on the substrates 306 and 307 by using an outer size of 150 mm × 150 mm and a thickness of 1.1 mm.
Substrate equipped based on the seal pattern shown in (
A TFT substrate) 307 and a substrate (hereinafter referred to as a CF substrate) 306 having a color filter 328 are used as a pair.

【0142】まず、両基板306、307の表示領域上
にポリイミド樹脂からなる配向膜326を塗布し、ラビ
ング法で配向処理を行っておく。その後、CF基板30
7上に上記紫外線硬化型樹脂を、図26に示すシールパ
ターンにスクリーン印刷法で塗布する。図26中のパタ
ーン301は、液晶表示素子の本体シールパターンであ
り、パターン302は、基板306、307を相互に貼
り合わせる工程に於ける各基板306、307同士の仮
止め用パターンであり、パターン303は、押圧工程に
於いてシール材へ印加される押圧圧力の偏り防止を目的
としたダミーパターンである。
First, an alignment film 326 made of polyimide resin is applied on the display areas of both substrates 306 and 307, and an alignment treatment is performed by a rubbing method. After that, the CF substrate 30
The above ultraviolet curable resin is applied onto 7 by a screen printing method in a seal pattern shown in FIG. A pattern 301 in FIG. 26 is a main body seal pattern of a liquid crystal display element, and a pattern 302 is a temporary fixing pattern for the substrates 306 and 307 in the process of bonding the substrates 306 and 307 to each other. Reference numeral 303 is a dummy pattern for the purpose of preventing bias of the pressing pressure applied to the sealing material in the pressing step.

【0143】シール材の塗布結果は以下の通りである。
シール材の平均高さは16±2μm、パターン幅は30
0±20μmである。上記条件下で、5μmのセルギャ
ップとなる状態まで押圧すると、全シール面積は、約2
0cm2となる。この結果と前記第1式から求めた押圧
圧力から、セルギャップ制御を行う押圧工程の押圧荷重
は96kgfとなる。
The results of applying the sealing material are as follows.
The average height of the sealing material is 16 ± 2 μm, and the pattern width is 30.
It is 0 ± 20 μm. Under the above conditions, pressing to a cell gap of 5 μm results in a total seal area of about 2
It becomes 0 cm 2 . From this result and the pressing pressure obtained from the first formula, the pressing load in the pressing step for controlling the cell gap becomes 96 kgf.

【0144】次に、TFT基板307上へ、対向電極へ
の接点端子部に導電性カーボン樹脂を塗布する。ここ
で、使用される導電性カーボン樹脂の粘度は、前述した
ような測定装置と測定法とによれば、25℃に於いて1
1,000cP(5rpm)であり、上記紫外線硬化型
樹脂の粘度より十分に小さい。
Next, on the TFT substrate 307, a conductive carbon resin is applied to the contact terminal portion to the counter electrode. Here, the viscosity of the conductive carbon resin used is 1 at 25 ° C. according to the above-described measuring device and measuring method.
The viscosity is 1,000 cP (5 rpm), which is sufficiently smaller than the viscosity of the ultraviolet curable resin.

【0145】上記処理を施した一対のガラス基板30
6、307を、絵素部を位置決めした上で貼り合わせ、
図26に示した仮止め用パターン302にのみ、紫外線
を照射を行って硬化させ、貼り合わせた一対の基板30
6、307が相互にずれないように固定する。
A pair of glass substrates 30 subjected to the above treatment
6 and 307 are pasted together after positioning the picture element part,
A pair of substrates 30 that are bonded by irradiating ultraviolet rays only on the temporary fixing pattern 302 shown in FIG.
Fix them so that 6 and 307 do not shift from each other.

【0146】次のセルギャップ制御を行う押圧工程に於
いて使用するプレス装置の概略を図27に示す。該プレ
ス装置のプレス定盤309、310は、室温から50℃
の温度範囲で、精度±1.5℃で温度制御が可能な恒温
槽312内に設置されている。また、一方のプレス定盤
310には、該プレス定盤310上の基板307の全面
に紫外線を照射することができる紫外線照射装置が具備
されている。該照射装置は、光源として例として高圧水
銀灯を用いており、波長が365nmの紫外線を60m
W/cm2の強度で紫外線を照射することができる。ま
た、もう一方のプレス定盤309には、圧力を該基板3
06の表面全面に均一に伝達するために、緩衝材311
が具備されている。本実施例に於ける緩衝材311は、
タイガースポリマー社製フッ素ゴムスポンジ3mmt
使用した。
FIG. 27 shows an outline of a pressing device used in the pressing step for performing the next cell gap control. The press surface plates 309 and 310 of the press device are from room temperature to 50 ° C.
It is installed in a constant temperature bath 312 whose temperature can be controlled with an accuracy of ± 1.5 ° C. Further, one of the press surface plates 310 is provided with an ultraviolet irradiation device capable of irradiating the entire surface of the substrate 307 on the press surface plate 310 with ultraviolet rays. The irradiation device uses a high-pressure mercury lamp as a light source as an example, and emits ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm at 60 m.
Ultraviolet rays can be irradiated at an intensity of W / cm 2 . In addition, the pressure is applied to the other press platen 309.
In order to transmit evenly over the entire surface of 06, cushioning material 311
Is provided. The cushioning material 311 in this embodiment is
Fluorine rubber sponge 3 mm t manufactured by Tigers Polymer was used.

【0147】該プレス装置によって基板306、307
の温度を25±1.5℃に設定し、この状態で前記第1
式から求めた押圧荷重96kgfで押圧する。この押圧
状態を90秒間維持することにより、シール材301、
303は、前記目標セルギャップで定常状態となる。
Substrates 306 and 307 are produced by the pressing device.
Temperature is set to 25 ± 1.5 ° C, and in this state, the first
Press with a pressing load of 96 kgf calculated from the formula. By maintaining this pressed state for 90 seconds, the sealing material 301,
303 becomes a steady state at the target cell gap.

【0148】次に、押圧を継続している状態で、紫外線
を150秒間照射し、該シール材301、303に紫外
線硬化反応を行わせる。紫外線照射終了後、紫外線硬化
反応が90秒程度継続するため、120秒の間、押圧を
継続し、その後、基板306、307をプレス装置から
取り出す。続いて、該シール材301、303の熱硬化
型反応を行わせるために150℃のオーブンで30分間
焼成を行う。本焼成工程は、シール材301、303の
ガラス転位温度120℃を上回っており、押圧工程で生
じた基板306、307の歪みを緩和させる硬化も得ら
れる。本実施例に於ける焼成前後のセルギャップの最大
歪みは、従来技術に於ける最大歪み0.8μmから、
0.4μmへと改善された。
Next, while the pressing is continued, ultraviolet rays are irradiated for 150 seconds to cause the sealing materials 301 and 303 to undergo an ultraviolet curing reaction. Since the ultraviolet curing reaction continues for about 90 seconds after the irradiation of ultraviolet rays, the pressing is continued for 120 seconds, and then the substrates 306 and 307 are taken out from the pressing device. Then, in order to cause the thermosetting reaction of the sealing materials 301 and 303, baking is performed in an oven at 150 ° C. for 30 minutes. In the main firing step, the glass transition temperature of the sealing materials 301 and 303 is higher than 120 ° C., and the hardening that relaxes the strain of the substrates 306 and 307 caused in the pressing step can be obtained. The maximum strain of the cell gap before and after firing in this example is 0.8 μm in the prior art,
It was improved to 0.4 μm.

【0149】貼り合わせの終了した基板306、307
を液晶表示素子の形状に分断し、液晶315を図31に
示すように、真空注入法で注入する。このとき、液晶3
15の真空注入工程終了の時点では、液晶表示素子の液
晶層中にスペーサがないため、図28に示す装置によっ
て、液晶層315を注入した範囲に相当する基板30
6、307の表面を真空で吸引することにより、液晶を
強制的に該液晶表示素子内に注入する。このとき、吸引
のための真空度をセルギャップを測定しつつ行い、セル
ギャップが5±0.15μmの範囲になった時点で、液
晶の注入口に残存している液晶をN2ガスブロワーで除
去し、紫外線硬化型樹脂を前記注入口に塗布し、紫外線
のスポット照射により該紫外線硬化型樹脂を硬化させ
る。
Substrates 306 and 307 that have been bonded together
Is divided into the shape of the liquid crystal display element, and the liquid crystal 315 is injected by the vacuum injection method as shown in FIG. At this time, the liquid crystal 3
At the end of the vacuum injection step of No. 15, since there is no spacer in the liquid crystal layer of the liquid crystal display element, the substrate 30 corresponding to the area where the liquid crystal layer 315 is injected by the device shown in FIG.
Liquid crystal is forcibly injected into the liquid crystal display element by sucking the surfaces of 6, 307 with vacuum. At this time, the degree of vacuum for suction is measured while measuring the cell gap, and when the cell gap is within the range of 5 ± 0.15 μm, the liquid crystal remaining in the liquid crystal inlet is blown with N 2 gas blower. After removing, the ultraviolet curable resin is applied to the injection port, and the ultraviolet curable resin is cured by spot irradiation of ultraviolet rays.

【0150】以上の製造工程によって、スペーサを全く
具備することなくセルギャップが均一な液晶表示素子を
製造することが出来た。
Through the above manufacturing steps, it was possible to manufacture a liquid crystal display device having a uniform cell gap without having any spacers.

【0151】以下に前記実施例の製造方法の変形例につ
いて説明する。
A modification of the manufacturing method of the above embodiment will be described below.

【0152】液晶表示素子の製造方法に関する前記第1
の実施例と同様な液晶表示素子の製造工程に於いて、一
対の基板306、307を相互に押圧する押圧装置に用
いられる緩衝材を、図29に示すような複合緩衝材とし
てもよい。該複合緩衝材は、基板306、307への押
圧荷重の均一化を図るために用いられ、タイガースポリ
マー社製フッ素ゴムスポンジ7mmtからなる第1緩衝
材324と、石英ガラス3mmtからなる第2緩衝材3
25とを重ね合わせた構成である。前記第2緩衝材32
5は、信越石英社製で縦弾性係が7.4×103kg/
mm2、表面うねりが10μm以下の材料を用いた。第
2緩衝材325の一方の表面には、図30に示すよう
な、ピッチ10mm、幅0.05mm、深さ0.1mm
のスリット325aがダイシングにより加工して形成さ
れている。
The first method for manufacturing a liquid crystal display device
In the manufacturing process of the liquid crystal display element similar to that of the above embodiment, the buffer material used in the pressing device for pressing the pair of substrates 306 and 307 against each other may be a composite buffer material as shown in FIG. The composite cushioning material is used for equalizing the pressing load on the substrates 306 and 307. The first cushioning material 324 made of Tiger Rubber Co., Ltd. fluororubber sponge 7 mm t and the second cushioning material made of quartz glass 3 mm t are used . Cushioning material 3
25 and 25 are superposed. The second cushioning material 32
5 is manufactured by Shin-Etsu Quartz Co., Ltd. and has a longitudinal elastic member of 7.4 × 10 3 kg /
mm 2, the surface waviness The following materials were used 10 [mu] m. As shown in FIG. 30, one surface of the second cushioning material 325 has a pitch of 10 mm, a width of 0.05 mm, and a depth of 0.1 mm.
Slit 325a is formed by processing by dicing.

【0153】このスリット325aは、押圧時に貼り合
わせた基板306と第2緩衝材325との間に空気が介
入することによって発生する押圧むらを防止するための
空気抜きである。
The slit 325a is an air vent for preventing pressure unevenness caused by air intervening between the substrate 306 and the second cushioning material 325, which are bonded together at the time of pressing.

【0154】このような液晶表示素子の製造方法に関す
る実施例によって、シール材301、303の紫外線硬
化工程終了時点でのセルギャップの最大歪みは0.6μ
mで蟻、シール材301、303の前記焼成工程終了時
点での前記最大歪みは0.3μmであった。この液晶表
示素子に液晶を注入すると、セルギャップは5±0.1
μmとなり、前記実施例の場合よりも、セルギャップの
ばらつきが更に改善された液晶表示素子を製造すること
が出来た。
According to the embodiment of the method for manufacturing the liquid crystal display device, the maximum strain of the cell gap at the end of the ultraviolet curing process of the sealing materials 301 and 303 is 0.6 μm.
In m, the maximum strain of the ants and the sealing materials 301 and 303 at the end of the firing step was 0.3 μm. When liquid crystal is injected into this liquid crystal display element, the cell gap is 5 ± 0.1.
μm, and it was possible to manufacture a liquid crystal display device in which variations in cell gap were further improved as compared with the case of the above-mentioned embodiment.

【0155】本発明による液晶表示素子の製造方法の第
2の実施例を、図32〜図41を参照して、以下に説明
する。本実施例は、前記第1実施例と類似し、対応する
部分に同一の参照符号を付す。
A second embodiment of the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 32 to 41. This embodiment is similar to the first embodiment, and the same reference numerals are given to corresponding parts.

【0156】周知の液晶表示素子の製造工程で、液晶表
示素子を作成する。ここで、ガラス基板は、コーニング
社製7059ガラスで厚さ1.1mmのものを使用す
る。前記製造方法の第1実施例に於けるTFT基板40
3と、対向基板402とを貼り合わせる時に於いて、熱
硬化型樹脂を含むシール材402をシール印刷法により
対向基板402に塗布し、該TFT基板403には、ス
ペーサを散布せずに前記一対の基板402、403を貼
り合わせる。本実施例に於いて、シール材402は熱硬
化型樹脂を使用し、シール材402内にセルギャップ制
御用に混合するガラスファイバーは、直径5.0μmの
ものを用い、その混合比はシール材1gに対してガラス
ファイバー50mgとした。
A liquid crystal display element is prepared by a known manufacturing process of a liquid crystal display element. Here, as the glass substrate, 7059 glass manufactured by Corning and having a thickness of 1.1 mm is used. TFT substrate 40 in the first embodiment of the manufacturing method
3 and the counter substrate 402 are attached to each other, a sealing material 402 containing a thermosetting resin is applied to the counter substrate 402 by a seal printing method, and the TFT substrate 403 is provided with the above-mentioned pair without spacers. Substrates 402 and 403 are bonded together. In this embodiment, a thermosetting resin is used as the sealing material 402, and the glass fiber mixed for controlling the cell gap in the sealing material 402 has a diameter of 5.0 μm. The glass fiber was 50 mg per 1 g.

【0157】この貼り合わせた液晶表示素子をプレス装
置に設置し、シール材402に荷重を印加し、前処理と
して所定のセルギャップになるように、シール材402
に混合したガラスファイバー直径に相当する厚みまで押
し潰すようにプレスする。その後、シール材402の硬
化のために、170度程度の温度で1時間以上オーブン
で焼成する。このようにして作成された液晶表示素子の
シール材402で囲まれた表示領域の空気層厚をセルギ
ャップを測定装置を用いて測定した結果、表示領域内の
凹凸率は、前記ガラスファイバーの直径に相当するセル
ギャップに対して、±5%以内に収まっていた。そし
て、ガラスの分断作業を行って、液晶表示素子を構成す
る。液晶表示素子のサイズは3インチであり、その平面
形状が図32に示される。
This bonded liquid crystal display element is installed in a pressing device, a load is applied to the sealing material 402, and the sealing material 402 is pretreated so that a predetermined cell gap is obtained.
Press so as to crush it to a thickness corresponding to the diameter of the glass fiber mixed with. Then, in order to cure the sealing material 402, it is baked in an oven at a temperature of about 170 degrees for 1 hour or more. As a result of measuring the air layer thickness of the display region surrounded by the sealant 402 of the liquid crystal display element thus created using a cell gap measuring device, the unevenness ratio in the display region is determined by the diameter of the glass fiber. The cell gap was within ± 5%. Then, the glass is divided to form a liquid crystal display element. The size of the liquid crystal display element is 3 inches, and its planar shape is shown in FIG.

【0158】本実施例の液晶表示素子の液晶注入方法
は、まず、液晶注入装置410に必要枚数の液晶表示素
子404を、図33に示すように、各注入口406の方
向を揃えてセットすると同時に、セットされた液晶表示
素子の枚数に対応した量の液晶407を入れた注入皿4
08をセットする。液晶注入装置410の真空チャンバ
ー内を真空排気して、真空度を1〜3×10-4Torr
とする。前記真空チャンバー内の液晶407の脱泡処理
を十分に行う。
In the liquid crystal injection method for the liquid crystal display element of this embodiment, first, as shown in FIG. 33, the required number of liquid crystal display elements 404 are set in the liquid crystal injection device 410 with the respective injection ports 406 oriented in the same direction. At the same time, the pouring pan 4 containing the liquid crystal 407 in an amount corresponding to the number of the set liquid crystal display elements.
Set 08. The inside of the vacuum chamber of the liquid crystal injection device 410 is evacuated to a degree of vacuum of 1 to 3 × 10 −4 Torr.
And The defoaming process of the liquid crystal 407 in the vacuum chamber is sufficiently performed.

【0159】その後、真空排気のポンプを停止し、液晶
407を入れた注入皿408を乗せた上下移動可能なス
テージ409を上昇させて、液晶407を前記注入口4
06に漬ける。続いて、リークバルブ411を開放し、
チャンバー内に窒素ガスを送り込む。
After that, the vacuum exhaust pump is stopped, and the vertically movable stage 409, on which the injection pan 408 containing the liquid crystal 407 is placed, is lifted, and the liquid crystal 407 is injected into the injection port 4.
Soak in 06. Then, open the leak valve 411,
Introduce nitrogen gas into the chamber.

【0160】窒素ガスを送り込むのと同時に、セットし
た液晶表示素子404に液晶407が注入され始める
が、ここでは、チャンバー内を一気に大気圧まで戻さ
ず、1cmHg/mim毎にリークする。この作業は、
リークを開始してから液晶注入装置410の真空ゲージ
の76cmHgから開始し、大気圧になるまでの時間は
約76mim程度となる。
At the same time when the nitrogen gas is fed, the liquid crystal 407 starts to be injected into the set liquid crystal display element 404. Here, the inside of the chamber is not returned to the atmospheric pressure all at once, but leaks at every 1 cmHg / mim. This work
The time from when the leak starts to 76 cmHg of the vacuum gauge of the liquid crystal injection device 410 until the atmospheric pressure is reached is about 76 mim.

【0161】チャンバー内が大気圧に戻った後、液晶表
示素子404を1枚取り出して、液晶層の厚みを計測し
た。従来技術に於いて、図34〜図37に示すように、
TFT基盤403と前記B/M基板402の両基板間の
セルギャップを保持するための保持体が存在しないため
に、両基板402、403が接触や吸着してしまう(図
35)か、あるいは、セルギャップが著しく小さくな
り、液晶が完全に注入されるまで、多大な時間を要して
しまう。
After the pressure in the chamber returned to atmospheric pressure, one liquid crystal display element 404 was taken out and the thickness of the liquid crystal layer was measured. In the prior art, as shown in FIGS. 34 to 37,
Since there is no holding body for holding the cell gap between the TFT substrate 403 and the B / M substrate 402, the both substrates 402 and 403 may come into contact with or stick to each other (FIG. 35), or The cell gap becomes extremely small, and it takes a lot of time until the liquid crystal is completely injected.

【0162】これに対し、本実施例におけるように、真
空排気後のリーク時に、液晶表示素子の内部と外部との
圧力差を制御することにより、図38〜図40のように
なる。本実施例に於いて、前記上下基板402、403
の相互の接触が阻止され、配向膜の損傷が防止され、ま
た、注入不良が防止される。また、液晶407の注入時
間が短縮される。
On the other hand, as in the present embodiment, by controlling the pressure difference between the inside and the outside of the liquid crystal display element at the time of leakage after vacuum pumping, the results are as shown in FIGS. In this embodiment, the upper and lower substrates 402 and 403 are
Are prevented from contacting each other, damage to the alignment film is prevented, and defective injection is prevented. Also, the injection time of the liquid crystal 407 is shortened.

【0163】本実施例に於いて、液晶注入直後のセルギ
ャップは薄いが、4時間程度液晶407に漬けて自然放
置することにより、最も速いものでセルギャップと同量
の層厚5.0μmまで注入することができ、液晶注入時
間によってセルギャップを制御することが出来た。
In the present embodiment, the cell gap immediately after the liquid crystal injection is thin, but by immersing the liquid crystal 407 in the liquid crystal 407 for about 4 hours and allowing it to stand naturally, it is the fastest and has the same layer thickness of 5.0 μm as the cell gap. It was possible to inject, and the cell gap could be controlled by the liquid crystal injecting time.

【0164】また、数十枚の液晶表示素子404をチャ
ンバー内の真空排気後に一気に大気圧までリークした場
合だと、ほぼ全部の液晶表示素子404の表示領域に基
板402、403相互の接触が発生し、各基板402、
403が相互に吸着したままであった。真空排気して
6.5時間経過した時点に於いて、前記上下基板40
2、403が離れ始めたが、10時間経過した時点で
も、前記セルギャップと同量の層厚5.0μmまで注入
することはできなかった。
When several tens of liquid crystal display elements 404 leak to the atmospheric pressure all at once after the chamber is evacuated, the substrates 402 and 403 are contacted with each other in the display area of almost all the liquid crystal display elements 404. Each substrate 402,
403 remained adsorbed on each other. When 6.5 hours have passed after evacuation, the upper and lower substrates 40 are
2, 403 started to separate, but even after 10 hours, it was not possible to inject the same amount as the cell gap up to a layer thickness of 5.0 μm.

【0165】本発明は、前記チャンバー内が大気圧にな
るまでは比較的時間を要するが、真空排気後に一気に大
気圧まで戻す従来技術の場合よりも、最終的な歩留りの
向上、及び全製造時間の短縮を実現することができる。
その経過時間に対するセルギャップの関係を図41のグ
ラフに示す。
In the present invention, although it takes a relatively long time to reach the atmospheric pressure in the chamber, the final yield is improved and the total manufacturing time is longer than that in the conventional technique in which the atmospheric pressure is returned to the atmospheric pressure after evacuation. Can be shortened.
The relationship between the cell gap and the elapsed time is shown in the graph of FIG.

【0166】製造工程の最後に、全部の液晶表示素子4
04に、液晶407が注入された時点で、液晶表示素子
404の注入口406に付着している液晶を十分に拭き
取る。次に、紫外線硬化型樹脂を前記注入口406に塗
布して、十分に注入口406が被覆されていることを確
認した後、紫外線照射装置を用いて該樹脂を硬化させ、
前記注入口406を封止する。そして、同様な手順で、
残余の全ての液晶表示素子404を処理する。製造され
た液晶表示素子は、結果的にセルギャップのばらつきの
範囲が、前述したように所定のセルギャップに相当する
層厚の一例である5μmに対して±5%以内に収まり、
セルギャップを制御することができる。このようにし
て、液晶表示素子のセルギャップを均一に保持したま
ま、液晶の充填及び注入口の封止を行うことができ、表
示品位の良好な液晶表示素子を製造することができる。
また、液晶表示素子の内部と外部との圧力差と液晶の注
入時間とを制御して液晶が注入された液晶表示素子は、
1インチ以上のサイズでもスペーサを用いることなく容
易に製造されることができる。また、該製造の時点にお
ける前述したような各種の問題点をも併せて解消するこ
とができる。
At the end of the manufacturing process, all the liquid crystal display elements 4 are
When the liquid crystal 407 is injected in 04, the liquid crystal attached to the injection port 406 of the liquid crystal display element 404 is sufficiently wiped off. Next, an ultraviolet curable resin is applied to the injection port 406, and after confirming that the injection port 406 is sufficiently covered, the resin is cured using an ultraviolet irradiation device,
The injection port 406 is sealed. And in the same procedure,
All the remaining liquid crystal display elements 404 are processed. As a result, the manufactured liquid crystal display device has a cell gap variation range within ± 5% with respect to 5 μm, which is an example of a layer thickness corresponding to a predetermined cell gap, as described above.
The cell gap can be controlled. In this way, the liquid crystal can be filled and the injection port can be sealed while the cell gap of the liquid crystal display element is kept uniform, and a liquid crystal display element with good display quality can be manufactured.
Further, the liquid crystal display element in which the liquid crystal is injected by controlling the pressure difference between the inside and the outside of the liquid crystal display element and the injection time of the liquid crystal,
Even a size of 1 inch or more can be easily manufactured without using a spacer. In addition, various problems as described above at the time of manufacturing can be solved together.

【0167】[0167]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
変調光が通過する液晶層の中に、スペーサが存在しなく
ても、液晶層の厚さが均一で且つ製造誤差の少ない液晶
表示素子が得られるため、スペーサの存在に起因する表
示不良やコントラスト不良を解消することができ、特に
画像拡大表示を行う投影装置等に用いられた場合、きわ
めて高品質の画像表示を実現することができる。
As described above, according to the present invention,
Even if the spacer does not exist in the liquid crystal layer through which the modulated light passes, a liquid crystal display element having a uniform liquid crystal layer thickness and a small manufacturing error can be obtained. Defects can be eliminated, and particularly when used in a projection device or the like that performs enlarged image display, extremely high quality image display can be realized.

【0168】また、該弾性シートの両側に、高さ5μm
〜30μm、周期200μm〜800μmの凹凸が形成
されているため、基板に作用する圧力が均一化されて、
シール材に混入されているスペーサと各基板との密着
が、基板全面に亘って均一となり、シール材の厚さ誤差
を低減させることが出来る。
Also, a height of 5 μm is provided on both sides of the elastic sheet.
Since the unevenness of ˜30 μm and the cycle of 200 μm to 800 μm is formed, the pressure acting on the substrate is made uniform,
The adhesion of the spacer mixed in the sealing material and each substrate becomes uniform over the entire surface of the substrate, and the thickness error of the sealing material can be reduced.

【0169】本発明による場合は、詳述したようにセル
厚制御を行いながら液晶を注入し、注入口を封止するの
で、セル厚を均一且つ一定値にでき、これにより従来に
比べ製品の歩留りを大幅に向上させることができ、ま
た、表示むらの発生がなく、しかもコントラストの高
い、表示品位の良好な液晶表示素子を提供することがで
きる。
In the case of the present invention, as described in detail, since the liquid crystal is injected while the cell thickness is controlled and the injection port is sealed, the cell thickness can be made uniform and a constant value. It is possible to provide a liquid crystal display element which can significantly improve the yield, has no display unevenness, and has high contrast and good display quality.

【0170】また、液晶表示素子の製造工程であるセル
ギャップ制御を行う押圧工程に於いて、シール材として
使用する紫外線硬化樹脂の粘度に対する圧力ーセルギャ
ップ特性を利用することにより、シール材および液晶層
内にスペーサを全く具備することなく、セルギャップが
均一な液晶表示素子を作成することができる。
Further, in the pressing step for controlling the cell gap which is a manufacturing step of the liquid crystal display element, the pressure-cell gap characteristic with respect to the viscosity of the ultraviolet curable resin used as the sealing material is utilized to obtain the inside of the sealing material and the liquid crystal layer. It is possible to prepare a liquid crystal display device having a uniform cell gap without providing any spacers.

【0171】更に、本発明によれば、セルギャップを制
御するためのスペーサを全く具備することなく、セルギ
ャップの均一な液晶表示素子を作成することができる。
従って、従来のように、液晶層中に介在するスペーサに
よる開口率の低下の問題、スペーサ近傍の液晶の配向不
良による表示品位の低下を防止することができ、コント
ラストの高い表示品位に優れた液晶表示素子を作成する
ことができる。
Further, according to the present invention, a liquid crystal display device having a uniform cell gap can be prepared without providing any spacer for controlling the cell gap.
Therefore, as in the conventional case, it is possible to prevent the problem of the reduction of the aperture ratio due to the spacer interposed in the liquid crystal layer and the deterioration of the display quality due to the poor alignment of the liquid crystal in the vicinity of the spacer, and the liquid crystal excellent in the display quality with high contrast. A display element can be created.

【0172】セルギャップ制御の押圧工程に於いても、
スペーサへの荷重集中による素子あるいは配向膜の損
傷、あるいは応力分布の均一性低下似よるセルギャップ
むらが生じないため、基板上の液晶の電気光学的効果を
制御するためのアクティブ素子、配線材、配向膜等に欠
陥が発生せず、製造上の歩留りが向上され、且つ表示特
性の均一化を図ることができる。また、スペーサが不要
となることにより、生産工程が大幅に簡略化でき、生産
コストの削減を図ることができる。
Even in the pressing step for controlling the cell gap,
Damage to the element or alignment film due to load concentration on the spacer, or cell gap unevenness due to reduced uniformity of stress distribution does not occur, so active elements for controlling the electro-optical effect of liquid crystal on the substrate, wiring materials, No defects occur in the alignment film and the like, the manufacturing yield is improved, and the display characteristics can be made uniform. Further, since the spacer is not required, the production process can be greatly simplified and the production cost can be reduced.

【0173】また、本発明の液晶注入時に、液晶表示素
子の内部及び外部の圧力あるいは外部の圧力の到達圧力
と、外部の圧力の変動速度とを調節することによって、
表示領域にスペーサが存在していない液晶表示素子を作
成する際に、配向膜の損傷や液晶の注入不良を生じるこ
となく、該液晶表示素子を作成することができ、また、
液晶の注入時間を短縮することができる。従って、コン
トラストの高い、表示品位の良好な液晶表示素子を作成
することができる。
When the liquid crystal of the present invention is injected, the ultimate pressure of the internal and external pressures of the liquid crystal display element or the ultimate pressure of the external pressure and the fluctuation speed of the external pressure are adjusted.
When producing a liquid crystal display element in which a spacer is not present in the display region, the liquid crystal display element can be produced without causing damage to the alignment film or liquid crystal injection failure, and
The liquid crystal injection time can be shortened. Therefore, a liquid crystal display device having high contrast and good display quality can be produced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の液晶表示素子を示す平面図
である。
FIG. 1 is a plan view showing a liquid crystal display element of an embodiment of the present invention.

【図2】図1の切断面線A−Aから見た断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the section line AA of FIG.

【図3】図1の液晶表示素子を用いたアクティブマトリ
クス型カラー液晶表示装置の一例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an example of an active matrix type color liquid crystal display device using the liquid crystal display element of FIG.

【図4】シール材4の塗布状態を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a coating state of a sealing material 4.

【図5】第1基板2と第2基板3との間のシール材4を
押し潰すプレス工程を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a pressing step of crushing the sealing material 4 between the first substrate 2 and the second substrate 3.

【図6】弾性シート33の一例を示す部分断面図であ
る。
FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing an example of an elastic sheet 33.

【図7】弾性シート33の切抜き形状を示す平面図であ
る。
7 is a plan view showing a cutout shape of an elastic sheet 33. FIG.

【図8】図7の弾性シート33とシール材4との関係を
示す部分拡大図である。
8 is a partially enlarged view showing the relationship between the elastic sheet 33 and the sealing material 4 of FIG.

【図9】図7の弾性シート33を介在させて、第1基板
及び第2基板に圧力を加える工程を示す断面図である。
9 is a cross-sectional view showing a step of applying pressure to the first substrate and the second substrate with the elastic sheet 33 of FIG. 7 interposed.

【図10】図9の構成の部分断面図である。10 is a partial cross-sectional view of the configuration of FIG.

【図11】液晶注入装置40の一例を示す系統図であ
る。
FIG. 11 is a system diagram showing an example of a liquid crystal injection device 40.

【図12】本発明方法に好適な液晶注入装置を示す系統
図である。
FIG. 12 is a system diagram showing a liquid crystal injection device suitable for the method of the present invention.

【図13】図12の液晶注入装置に備わった治具11の
側面図である。
13 is a side view of a jig 11 provided in the liquid crystal injection device of FIG.

【図14】前記治具11の正面図である。14 is a front view of the jig 11. FIG.

【図15】本実施例の製造方法により製造される液晶表
示素子を途中まで製造している状態の液晶表示素子を示
す平面図である。
FIG. 15 is a plan view showing the liquid crystal display element in a state where the liquid crystal display element manufactured by the manufacturing method of the present embodiment is partially manufactured.

【図16】セル厚が薄いときに吸引によりセル厚を調整
する場合を示す断面図である。
FIG. 16 is a cross-sectional view showing a case where the cell thickness is adjusted by suction when the cell thickness is thin.

【図17】セル厚が厚いときに加圧によりセル厚を調整
する場合を示す断面図である。
FIG. 17 is a cross-sectional view showing a case where the cell thickness is adjusted by applying pressure when the cell thickness is large.

【図18】各種の方法による場合のセル厚分布を示す特
性図である。
FIG. 18 is a characteristic diagram showing a cell thickness distribution in the case of using various methods.

【図19】基板断面図である。FIG. 19 is a substrate cross-sectional view.

【図20】基板断面図である。FIG. 20 is a cross-sectional view of a substrate.

【図21】複数の圧力媒体を用いた押圧方法を示す断面
図である。
FIG. 21 is a cross-sectional view showing a pressing method using a plurality of pressure media.

【図22】基板上のシール材の塗布パターンを示す平面
図である。
FIG. 22 is a plan view showing a coating pattern of a sealing material on a substrate.

【図23】加圧材のスリット加工を示す斜視図である。FIG. 23 is a perspective view showing slit processing of a pressure material.

【図24】緩衝材の圧力−歪み特性を示すグラフであ
る。
FIG. 24 is a graph showing pressure-strain characteristics of a cushioning material.

【図25】本実施例に於いて用いられたエポキシ系紫外
線硬化型樹脂の圧力−セルギャップ特性を示すグラフで
ある。
FIG. 25 is a graph showing the pressure-cell gap characteristics of the epoxy UV curable resin used in this example.

【図26】シール材の塗布パターンを示す平面図であ
る。
FIG. 26 is a plan view showing a coating pattern of a sealing material.

【図27】プレス装置の構成を示す断面図である。FIG. 27 is a cross-sectional view showing the structure of a pressing device.

【図28】液晶表示素子に液晶を強制的に注入するため
の液晶強制注入装置の構成を示す断面図である。
FIG. 28 is a cross-sectional view showing the configuration of a liquid crystal forced injection device for forcibly injecting liquid crystal into a liquid crystal display element.

【図29】プレス装置の構成を示す断面図である。FIG. 29 is a cross-sectional view showing the structure of a pressing device.

【図30】図29に示されている緩衝材の石英ガラスの
一方の面に設けたスリットの形状を示す斜視図である。
30 is a perspective view showing the shape of slits provided on one surface of the quartz glass of the cushioning material shown in FIG. 29. FIG.

【図31】本実施例の製造方法によって作成された液晶
表示素子の断面図である。
FIG. 31 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element created by the manufacturing method according to this embodiment.

【図32】本発明の実施例に於ける液晶表示素子の平面
図である。
FIG. 32 is a plan view of a liquid crystal display element according to an example of the present invention.

【図33】液晶注入装置に液晶表示素子をセットした状
態の断面図である。
FIG. 33 is a cross-sectional view showing a state where a liquid crystal display element is set in the liquid crystal injection device.

【図34】本実施例の対比例の製造工程を示す液晶表示
素子の断面図である。
FIG. 34 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element showing a manufacturing process in contrast to this example.

【図35】本実施例の対比例の製造工程を示す液晶表示
素子の断面図である。
FIG. 35 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element showing a manufacturing process in contrast to this example.

【図36】本実施例の対比例の製造工程を示す液晶表示
素子の断面図である。
FIG. 36 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element showing a manufacturing process in comparison with this example.

【図37】本実施例の対比例の製造工程を示す液晶表示
素子の断面図である。
FIG. 37 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element showing a manufacturing process in comparison with this example.

【図38】本実施例の製造工程を示す液晶表示素子の断
面図である。
FIG. 38 is a cross-sectional view of the liquid crystal display element showing the manufacturing process of this example.

【図39】本実施例の製造工程を示す液晶表示素子の断
面図である。
FIG. 39 is a cross-sectional view of the liquid crystal display element showing the manufacturing process of this example.

【図40】本実施例の製造工程を示す液晶表示素子の断
面図である。
FIG. 40 is a cross-sectional view of the liquid crystal display element showing the manufacturing process of this example.

【図41】前記対比例と本実施例とのセルギャップと経
過時間との関係を示すグラフである。
FIG. 41 is a graph showing the relationship between the cell gap and the elapsed time between the above-mentioned contrast and this example.

【図42】従来の液晶表示素子の一例を示す平面図であ
る。
FIG. 42 is a plan view showing an example of a conventional liquid crystal display element.

【図43】図42の切断面線G−Gから見た断面図であ
る。
43 is a cross-sectional view taken along the section line GG of FIG. 42.

【図44】従来の押圧方法を示す断面図である。FIG. 44 is a cross-sectional view showing a conventional pressing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶表示素子 2 TFT基板 3 対向基板 6 液晶層 7 注入口 102 真空チャンバ 105 真空排気ポンプ 110 液晶治具昇降機構 124 移動機構 130 液晶層厚み調整機構 1 Liquid crystal display element 2 TFT substrate 3 Counter substrate 6 Liquid crystal layer 7 Injection port 102 Vacuum chamber 105 Vacuum exhaust pump 110 Liquid crystal jig lifting mechanism 124 Moving mechanism 130 Liquid crystal layer thickness adjusting mechanism

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大上 裕之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 ▲高▼藤 裕 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 野村 克己 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 久保 真澄 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 亀井 宏和 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiroyuki Oue 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture Sharp Corporation (72) Inventor ▲ Taka Fuji Yu 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka No. 22 within Sharp Corporation (72) Inventor Katsumi Nomura 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture Inside No. 22 (22) Masumi Kubo, 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Incorporated (72) Inventor Hirokazu Kamei 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1基板及び第2基板の間に液晶層が挟
まれて構成される液晶表示素子に於いて、 第1基板と第2基板とが、スペーサが混入されていない
シール材で固着され、且つ前記第1基板と第2基板との
間のギャップDと前記シール材の膜厚dとが、d<Dの
条件を満足する液晶表示素子。
1. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal layer sandwiched between a first substrate and a second substrate, wherein the first substrate and the second substrate are made of a sealing material containing no spacers. A liquid crystal display device which is fixed and in which a gap D between the first substrate and the second substrate and a film thickness d of the sealing material satisfy a condition of d <D.
【請求項2】 前記ギャップDと前記シール材の膜厚d
とが、D≦1.2×dの条件を満足する請求項1に記載
の液晶表示素子。
2. The gap D and the film thickness d of the sealing material.
The liquid crystal display element according to claim 1, wherein and satisfy the condition of D ≦ 1.2 × d.
【請求項3】 第1基板と第2基板との間隙を設定する
スペーサが混入したシール材を、第1基板と第2基板と
の間に介在させて、該シール材が配置されている領域
に、切抜き端部を有する弾性シートを、第1基板と第2
基板との一方の基板の裏面に載置して加圧する工程と、 該シール材を硬化させる工程と、 第1基板と第2基板、及び前記シール材によって形成さ
れた空間に液晶を注入する工程とを含む液晶表示素子の
製造方法。
3. An area in which a sealing material mixed with a spacer for setting a gap between the first substrate and the second substrate is interposed between the first substrate and the second substrate, and the sealing material is arranged. An elastic sheet having a cut-out end on the first substrate and the second substrate.
A step of placing on the back surface of one of the substrates and pressurizing, a step of curing the sealing material, and a step of injecting liquid crystal into the space formed by the first and second substrates and the sealing material. A method for manufacturing a liquid crystal display device, including:
【請求項4】 前記弾性シートの両面に於いて、高さ5
〜30μmで、周期200〜800μmの凹凸が形成さ
れている請求項3に記載の液晶表示素子の製造方法。
4. A height of 5 on both sides of the elastic sheet.
The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 3, wherein irregularities having a period of 200 μm to 30 μm and a period of 200 μm to 800 μm are formed.
【請求項5】 対向配設された2つの基板の周縁部に一
部を除いてシール材を設ける工程と、 該一部である液晶注入口に、所要注入液晶量よりも多量
の液晶をセットする工程と、 セットされた液晶を、該2つの基板の内部と外部との圧
力差により、2つの基板間に注入させる工程と、 該2つの基板間に注入された該液晶層の中央部の厚みを
測定する工程と、 該厚みの測定結果に基づいて該2つの基板間の該中央部
での離隔距離を機械的に調整し、該注入口から液晶を注
入させ、又は排出させる工程と、 該注入口を封止する工程と、 を含む液晶表示素子の製造方法。
5. A step of providing a sealing material on a peripheral portion of two substrates arranged opposite to each other except a part thereof, and a liquid crystal injection port which is a part thereof is set with a larger amount of liquid crystal than a required liquid crystal injection amount. And a step of injecting the set liquid crystal between the two substrates due to a pressure difference between the inside and the outside of the two substrates, and a step of injecting liquid crystal into the center portion of the liquid crystal layer between the two substrates. A step of measuring the thickness, and a step of mechanically adjusting a separation distance between the two substrates at the central portion based on the measurement result of the thickness, and injecting or ejecting liquid crystal from the injection port, A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising the step of sealing the injection port.
【請求項6】 一対の基板がシール材によって相互に固
定され、該一対の基板間に液晶を保持している液晶表示
素子を製造する製造方法に於いて、 該一対の基板の内の一方の基板上に、該一対の基板間の
ギャップを制御するスペーサを混入したシール材を塗布
する工程と、 該一対の基板に定められる表示部にギャップ制御のため
のスペーサを介在させることなく、シール材のみによっ
て該一対の基板間のギャップを保持した状態で、該一方
の基板と該一対の基板の内の他方の基板と貼り併せる工
程と、 該シール材を硬化させる工程と、 少なくとも一個以上の表示セルを作成するように、該一
対の基板を切断する工程と、 液晶を該ギャップ中に注入する工程とを含む液晶表示素
子の製造方法。
6. A manufacturing method for manufacturing a liquid crystal display element, wherein a pair of substrates are fixed to each other by a sealing material, and liquid crystal is held between the pair of substrates. A step of applying a sealing material mixed with spacers for controlling a gap between the pair of substrates onto the substrates, and a sealing material without interposing a spacer for gap control in a display portion defined on the pair of substrates. A step of bonding the one substrate and the other substrate of the pair of substrates in a state where the gap between the pair of substrates is held by only the above, a step of curing the sealing material, and at least one display A method for manufacturing a liquid crystal display device, which comprises the steps of cutting the pair of substrates so as to form a cell, and injecting liquid crystal into the gap.
【請求項7】 一対の基板が、該一対の基板間のギャッ
プを決定するスペーサを混入したシール材によって相互
に固定され、基板間のギャップの中央付近の表示領域に
於いてスペーサが配置されていない該一対の基板間に液
晶を保持している液晶表示素子を製造する製造方法に於
いて、 複数の圧力媒体を含む複合緩衝材料を用いて、該一対の
基板の内の一方の基板全面を押圧する工程と、 シール材を硬化させ、該一対の基板を押圧されている状
態で、相互に接着する工程とを含む液晶表示素子の製造
方法。
7. A pair of substrates are fixed to each other by a sealing material mixed with a spacer that determines a gap between the pair of substrates, and the spacer is arranged in a display region near the center of the gap between the substrates. In a manufacturing method for manufacturing a liquid crystal display device in which liquid crystal is held between the pair of substrates, a composite buffer material containing a plurality of pressure media is used to cover the entire surface of one of the pair of substrates. A method of manufacturing a liquid crystal display element, which comprises a step of pressing and a step of curing a sealing material and adhering the pair of substrates to each other in a pressed state.
【請求項8】 上記圧力媒体に於いて、重ね合わせる複
数の圧力媒体の内、少なくとも一種類が、貼り併せられ
た該一対の基板と同等以上の平滑性を有し、且つ貼り合
わせられた該一対の基板よりも高いたわみ強度を有する
加圧材であって、該一対の基板と圧力媒体との平滑な面
が接触するように配置する請求項7に記載の液晶表示素
子の製造方法。
8. In the pressure medium, at least one of a plurality of pressure mediums to be stacked has a smoothness equal to or higher than that of the pair of substrates bonded together, and the pressure mediums bonded together. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 7, wherein the pressure material has a flexural strength higher than that of the pair of substrates, and is arranged such that the smooth surfaces of the pair of substrates and the pressure medium are in contact with each other.
【請求項9】 前記加圧材の少なくとも一方の表面に、
空気の挟み込みを防止するスリットを形成する請求項7
に記載の液晶表示素子の製造方法。
9. The surface of at least one of the pressure members,
8. A slit is formed to prevent trapping of air.
A method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 1.
【請求項10】 前記シール材の硬化後、シール材のガ
ラス転位温度以上の温度まで加熱する工程を含む請求項
7に記載の液晶表示素子の製造方法。
10. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 7, further comprising the step of heating the sealing material to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature of the sealing material after curing.
【請求項11】 該一対の基板の貼り合わせに用いるシ
ール材が、紫外線により活性化される重合反応開始剤を
含み、且つ熱により未反応の反応が活性化される紫外線
硬化と熱硬化併用型樹脂組成物である請求項7に記載の
液晶表示素子の製造方法。
11. A combination of UV-curing and heat-curing type, wherein a sealing material used for bonding the pair of substrates contains a polymerization reaction initiator activated by ultraviolet rays, and an unreacted reaction is activated by heat. The method for producing a liquid crystal display element according to claim 7, which is a resin composition.
【請求項12】 一対の基板が、該一対の基板間のギャ
ップを決定するスペーサを混入したシール材によって相
互に固定され、基板間のギャップの中央付近の表示領域
に於いてスペーサが配置されていない該一対の基板間に
液晶を保持している液晶表示素子を製造する製造方法に
於いて、 該一対の基板の少なくとも一つの基板を、スペーサによ
って定められるギャップの距離に基づいて定められる押
圧力で押圧する工程と、 該一対の基板の一方の基板にシール材を塗布する工程
と、 該シール材を硬化させる工程とを含む液晶表示素子の製
造方法。
12. A pair of substrates are fixed to each other by a sealing material containing a spacer that determines a gap between the pair of substrates, and the spacer is arranged in a display region near the center of the gap between the substrates. In a manufacturing method for manufacturing a liquid crystal display device holding a liquid crystal between the pair of substrates, the pressing force determined by at least one substrate of the pair of substrates based on a distance of a gap defined by a spacer. A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a step of pressing with a substrate; a step of applying a sealing material to one of the pair of substrates; and a step of curing the sealing material.
【請求項13】 前記シール材の粘度及び押圧応力は、
シール材の応力−歪み特性の粘度依存性に基づいて決定
される請求項12に記載の液晶表示素子の製造方法。
13. The viscosity and pressing stress of the sealing material are
The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 12, which is determined based on viscosity dependency of stress-strain characteristics of the sealing material.
【請求項14】 対向配設され、表示領域が定められて
いる第1基板及び第2基板の少なくともいずれか一方に
於ける該表示領域の液晶注入口を除く周縁部に、第1基
板及び第2基板の相互の距離を定めるためのスペーサが
混入されたシール材を設ける工程と、 該第1基板及び第2基板の内部及び周囲を真空にする工
程と、 該液晶注入口に、液晶を付着させる工程と、 該第1基板及び第2基板の周囲の気圧を、該第1基板と
第2基板とが相互に離間した状態を保持する範囲の気圧
変化速度で昇圧する工程とを含む液晶表示素子の製造方
法。
14. The first substrate and the second substrate are provided in a peripheral portion of the display region, which is disposed opposite to each other and in which the display region is defined, in at least one of the first substrate and the second substrate except the liquid crystal injection port. A step of providing a sealing material in which a spacer is mixed to determine the distance between the two substrates, a step of applying a vacuum to the inside and the periphery of the first and second substrates, and a liquid crystal is attached to the liquid crystal inlet. And a step of increasing the atmospheric pressure around the first substrate and the second substrate at a pressure change rate within a range that maintains the state in which the first substrate and the second substrate are separated from each other. Device manufacturing method.
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