JPH0675011U - 圧力調整器 - Google Patents
圧力調整器Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 第1段減圧弁と第2段減圧弁とを有する圧力
調整器において、液化ガスをボンベからの供給ガスとす
る場合においても、2次側の圧力の変動を最小限に抑え
る。 【構成】 1次側圧力を中間セット圧力に減圧する第1
段減圧弁と、前記中間セット圧力を0〜10kgf/cm2の
2次側圧力に減じる第2段減圧弁とを有する圧力調整器
において、前記中間セット圧力を25〜35kgf/cm2と
することにより、第1段減圧弁での減圧時の冷却作用に
よる再液化や結晶化を防止し、第2段減圧弁の2次側圧
力の変動を防止する。
調整器において、液化ガスをボンベからの供給ガスとす
る場合においても、2次側の圧力の変動を最小限に抑え
る。 【構成】 1次側圧力を中間セット圧力に減圧する第1
段減圧弁と、前記中間セット圧力を0〜10kgf/cm2の
2次側圧力に減じる第2段減圧弁とを有する圧力調整器
において、前記中間セット圧力を25〜35kgf/cm2と
することにより、第1段減圧弁での減圧時の冷却作用に
よる再液化や結晶化を防止し、第2段減圧弁の2次側圧
力の変動を防止する。
Description
【0001】
本考案は、高圧ガス容器から供給されるガスの圧力を、必要なガス圧に減圧す るための圧力調整器に係り、特に、ジボラン(B2H6)混合ガス、又は、液化ガ スを減圧する際に、液化ガスの再液化等に起因する2次側圧力の変動を防止する 圧力調整器に関する。
【0002】
圧力調整器は、例えば1次側に高圧ガス容器(ボンベ)を装着し、この高圧ガ ス容器中のガスを2次側に取り出す際に所望のガス圧力になるように調整するも のである。圧力調整器は、2次側圧力を一定にする機能を有しているが、ボンベ に充填されたガスのように、圧力調整器の使用中に、例えば、150kgf/cm2 から10kgf/cm2程度まで1次側圧力が減少するような場合においては、それに 応じて2次側圧力が変動する性質(元圧変動)を有している。
【0003】 前記元圧変動を少なくするため、圧力調整器(減圧弁)を2段に連結した圧力 調整器が提案されている。この圧力調整器は、図3に示すように、ハウジング3 0内に第1段減圧弁A及び第2段減圧弁Bを設け、第1段減圧弁Aの1次圧力室 32に連結する流入口31を形成し、第2段減圧弁Bの2次圧力室36に連結す る流出口37を形成し、第1段減圧弁Aの2次圧力室33と第2段減圧弁Bの1 次圧力室35を連通路34により連結して構成される。 各減圧弁は、調整弁41の先端部が1次圧力室32(35)と2次圧力室33 (36)を繋ぐ弁孔42に挿入され、調整弁41を弁孔42側に押圧するコイル スプリング43と、2次圧力室33(36)のダイヤフラム44に連結されると ともに前記調整弁41の先端棒状部45に接触可能に配置した調整弁案内46に 連結される調整スプリング47と、を具備している。
【0004】 従って、2次圧力室33(36)の圧力によるダイヤフラム44の移動及び調 整スプリング47,コイルスプリング43の押圧力のつり合いにより調整弁41 が移動し、1次圧力室32(35)と2次圧力室33(36)を区画する弁座4 8の弁シート49に前記調整弁41の円すい部が接離することにより前記弁孔4 2を開口又は閉塞して、1次圧力室32(35)から2次圧力室33(36)へ 流れるガスの流量を制御して2次圧力室33(36)の圧力を一定にする。
【0005】 上記のような構造の圧力調整器によれば、ボンベのガス圧力(1次側圧力)を 第1段減圧弁Aにおいて中間セット圧力に設定し、この中間圧力を第2段減圧弁 Bにより減圧するので、1次側圧力が変動するような場合においても、中間セッ ト圧力の変動範囲を減少させることができ、この中間セット圧力を1次側圧力と する第2段減圧弁の2次側圧力の変動を小さくすることができる。 このような圧力調整器においては、ボンベ中になるべく残ガスを残さないよう にするため、前記中間セット圧を、例えば10kgf/cm2程度のように低く設定す ることが行なわれていた。また、第1段減圧弁Aの1次側圧力は高く、第2段減 圧弁Bの1次側圧力(中間セット圧力)は低いので、第2段減圧弁Bの弁孔42 の口径を、第1減圧弁Aの弁孔42の口径よりを大きくし、流量の少ない場合の 制御をしやすくすることが一般に行なわれていた。
【0006】
しかしながら、上記のような圧力調整器においては、ジボラン(B2H6)混合 ガス、又は、塩化水素(HCl),アンモニア(NH3),笑気ガス(N2O)等 を含む液化ガスをボンベからの供給ガスとする場合に、第2段減圧弁Bの2次側 圧力(圧力調整器の2次側圧力)が変動する現象が確認された。すなわち、図4 に示すように、ジボラン(B2H6)混合ガス、又は、液化ガスをボンベからの供 給ガスとして、ガス流量が2l/min、1次側圧力が100kgf/cm2 から7 0kgf/cm2まで減少する場合の2次側圧力を測定したとき、2次側圧力が設定圧 力である2kgf/cm2 付近で波打つ現象及びハンチングが生じた。
【0007】 上記現象は、ジボラン混合ガスが減圧される際に圧力調整器のハウジング30 を冷却し、これにより内部の微量高次ジボランが液化し、液状となった微量高次 ジボランが第1段減圧弁Aや第2減圧弁Bの各調整弁41の円すい部と弁座49 間に付着し、流路を細くする場合があることにより生じるのではないかと考えら れる。 また、使用後の圧力調整器を分解して調査したところ、第1段減圧弁Aの調整 弁41の円すい部に、経時変化によると考えられるジボランの分解重合に起因す る高次ボランの結晶が付着していた。 本考案者は、高次ジボランの液化や結晶付着量は、第1段減圧弁Aにおいて、 減圧する際の圧力変化が大きいことに主な原因があると推察し、本考案に及ぶに 至った。
【0008】 すなわち、本考案は上記実情に鑑みてなされたもので、第1段減圧弁と第2段 減圧弁とを有する圧力調整器において、液化ガスをボンベからの供給ガスとする 場合においても、2次側の圧力の変動を最小限に抑えることができる圧力調整器 を提供することを目的としている。
【0009】
上記目的を達成するため請求項1の圧力調整器は、1次側圧力を中間セット圧 力に減圧する第1段減圧弁と、前記中間セット圧力を0〜10kgf/cm2の2次側 圧力に減じる第2段減圧弁とを有する圧力調整器において、前記中間セット圧力 を25〜35kgf/cm2としたことを特徴としている。
【0010】 請求項2の圧力調整器は、請求項1の圧力調整器において、第1段減圧弁の弁 孔の口径を、第2段減圧弁の弁孔の口径より大きくしたことを特徴としている。
【0011】
請求項1の圧力調整器によれば、第2段減圧弁の1次側圧力となる中間セット 圧力を25〜35kgf/cm2に設定したので、液化ガスを圧力調整器の1次側圧力 とする場合においても、第1段減圧弁での減圧時の冷却作用による再液化や結晶 化を防止することができる。
【0012】 請求項2の圧力調整器によれば、第1段減圧弁の弁孔の口径を第2段減圧弁の 弁孔の口径より大きくしたので、第1段減圧弁の1次側圧力が中間セット圧力以 下となって第1段減圧弁が減圧作用を行なわない場合において、第1段減圧弁が 流体の抵抗とならないようにすることができる。
【0013】
以下、図1を参照して本考案の圧力調整器の一実施例について説明する。 圧力調整器は、第1段減圧弁A及び第2段減圧弁Bを連結して構成されている 。すなわち第1段減圧弁Aは、圧力調整器のハウジング1の略中央の側面部に、 ガスボンベよりガスが供給される流入口2が形成され、この流入口2に繋がる1 次圧力室3aが形成されている。ハウジング1の一端側にはカバー4が被冠され 、このカバー4内には圧力調整スプリング5がダイヤフラム受け6と端部材7に 挟まれた状態で配置されている。端部材7には、カバー4に螺着され頭部にネジ 孔8を有するロッド9の先端部が当接するようになっている。カバー4の縁部に は、ダイヤフラム受け6及びハウジング1側をそれぞれ塞ぐように、ダイヤフラ ム10が取り付けられ、このダイヤフラム10とハウジング1との間に中間圧力 室11aが形成されている。
【0014】 1次圧力室3aと中間圧力室11aとの間には、弁座12が配置され、この弁 座12には1次圧力室3aと中間圧力室11aとを繋げる弁孔13aが形成され ている。1次圧力室3a内には、コイルスプリング14により常時ダイヤフラム 10側に付勢される調整弁15が配置されている。調整弁15のダイヤフラム1 0側は、前記弁孔13を貫通する棒状の弁体16の一端が当接するようになって おり、また、弁体16の他端側は、中間圧力室11a側に位置するようになって いる。弁体16の前記他端側には、逆円すい状部に連なる大径の弁案内17が形 成されている。また、調整弁15の上面には弁座18が形成され、この弁座18 が前記弁座12に形成された環状凸部19に接離するように構成されている。
【0015】 第1段減圧弁Aに対してハウジング1の他端側には、第1段減圧弁Aと略同一 構造の第2段減圧弁Bが形成されている。第2段減圧弁Bの各構成部品について 、第1段減圧弁Aと同一の構成部品を使用する箇所については、第1段減圧弁A の構成部品と同一符号を付することにより詳細な説明を省略する。 第1段減圧弁Aのロッド9に対して、第2段減圧弁Bのロッド20は細長く形 成され、その先端に調整ハンドル21が形成されている。 ハウジング1には、第1段減圧弁Aの中間圧力室11aと第2段減圧弁Bの1 次圧力室3bとを連通させる連結孔22と、第2段減圧弁Bの2次圧力室11b に連結する流出口23が形成されている。
【0016】 上記のような構造の減圧弁によれば、ロッド9(20)を螺進又は螺退させる ことにより、ダイヤフラム受け6に所定の弾性力を与えることにより、ダイヤフ ラム受け6を介してダイヤフラム10の位置及び調整弁15の位置を定め、弁座 12の環状凸部19に対して弁シート18が離れる。1次圧力室3a(3b)内 のガスは中間圧力室11a(2次圧力室11b)に流れて、中間圧力室11a( 2次圧力室11b)の圧力が上昇し、前記所定の弾性力より大きな力でダイヤフ ラム10及びダイヤフラム受け6を押圧すると、調整弁15は移動して弁孔13 a(13b)を塞いで閉弁させる。すなわち、調整スプリング5の弾性力をF、 コイルスプリング14の弾性力をf、1次圧力室3の圧力をP1、2次圧力室1 1の圧力をP2、ダイヤフラム10が2次圧力室11に接する面積をS、弁孔1 3の面積から弁体16の面積を引いた面積(ガスが流出する流路の断面積)をs とすると、ダイヤフラム10を境として、F=(P1−P2)s+P2×S+fが成 立する。 従って、ロッド9(20)を螺進させて調整スプリング5によるダイヤフラム 受け6への押圧力を変化させれば、その力に対応した2次圧力を得ることができ る。
【0017】 上記構造の圧力調整器において、第1段減圧弁Aは、ガスボンベから供給され る最大で100kgf/cm2 のガス圧を、30kgf/cm2 の中間セット圧力に減圧す るように構成されている。また、第2段減圧弁Bは、25〜35kgf/cm2 の中 間セット圧力を1kgf/cm2 に減圧するように構成されている。 また、第1段減圧弁Aの弁孔13aの口径をφ4、第2段減圧弁Bの弁孔13 bの口径をφ2.5とし、前記した面積sの比較において、4:1程度としてい る。 従って、第1段減圧弁Aの1次側圧力が中間セット圧力以下となって第1段減 圧弁Aが減圧作用を行なわない場合において、圧力調整器を流れるガスに対して 第1段減圧弁Aが抵抗とならないようにすることができる。
【0018】 上記構造の圧力調整器を用いて、ジボラン(B2H6)混合ガス、又は、液化ガ スをボンベからの供給ガスとして、ガス流量が2l/min、1次側圧力が10 0kgf/cm2 から70kgf/cm2まで減少する場合(図4と同じ条件)の2次側圧 力を測定した結果を図2に示す。図2のグラフによれば、図4のグラフに比較し て、2次側圧力が波打つ現象が発生せず、2次側圧力を設定圧力である2kgf/c m2 に維持することができ、圧力変動が少ないことが確認できた。
【0019】 また、従来例で述べたように、使用後の圧力調整器を分解して調査したところ 、第1段減圧弁Aの弁孔13a部分に、ジボランの分解重合に起因する高次ボラ ンの結晶の付着量が減少していた。 上記のような結果が得られる理由としては、第1段減圧弁Aにおいて、減圧す る際の圧力変化を小さく設定したので、高次ジボランの液化や結晶の発生を少な くすることができることに起因するものと考えられる。
【0020】
請求項1に記載された考案によれば、第2段減圧弁の1次側圧力となる中間セ ット圧力を25〜35kgf/cm2に設定したので、液化ガスを圧力調整器の1次側 圧力とする場合においても、第1段減圧弁での減圧時の冷却作用による再液化や 結晶化を防止することができ、第2段減圧弁の2次側圧力の変動を防止すること ができる。
【0020】 請求項2に記載された考案によれば、第1段減圧弁の弁孔の口径を第2段減圧 弁の弁孔の口径より大きくしたので、第1段減圧弁の1次側圧力が中間セット圧 力以下となって第1段減圧弁が減圧作用を行なわない場合において、第1段減圧 弁が流体の抵抗とならないようにすることができ、流量の変動を防止して圧力調 整器の2次側に流体の安定的な供給を図ることができる。
【図1】 本考案の圧力調整器の一実施例を示す縦断面
説明図である。
説明図である。
【図2】 図1の圧力調整器を用いて2次側圧力を測定
した場合の特性を示すグラフ図である。
した場合の特性を示すグラフ図である。
【図3】 従来の圧力調整器の一実施例を示す縦断面説
明図である。
明図である。
【図4】 図3の圧力調整器を用いて2次側圧力を測定
した場合の特性を示すグラフ図である。
した場合の特性を示すグラフ図である。
1…ハウジング、 2…流入口、 3a,3b…1次圧
力室、 4…カバー、5…調整スプリング、 6…ダイ
ヤフラム受け、 7…端部材、 9…ロッド、10…ダ
イヤフラム、 11a…中間圧力室、 11b…2次圧
力室、 12…弁座、 13a,13b…弁孔、 14
…コイルスプリング、 15…調整弁、 16…弁体、
17…弁案内、 18…弁シート、 19…環状凸
部、 20…ロッド、 21…ハンドル、 22…連結
孔、 23…流出口、 A…第1段減圧弁、 B…第2
段減圧弁
力室、 4…カバー、5…調整スプリング、 6…ダイ
ヤフラム受け、 7…端部材、 9…ロッド、10…ダ
イヤフラム、 11a…中間圧力室、 11b…2次圧
力室、 12…弁座、 13a,13b…弁孔、 14
…コイルスプリング、 15…調整弁、 16…弁体、
17…弁案内、 18…弁シート、 19…環状凸
部、 20…ロッド、 21…ハンドル、 22…連結
孔、 23…流出口、 A…第1段減圧弁、 B…第2
段減圧弁
Claims (2)
- 【請求項1】 1次側圧力を中間セット圧力に減圧する
第1段減圧弁と、前記中間セット圧力を0〜10kgf/c
m2の2次側圧力に減じる第2段減圧弁とを有する圧力調
整器において、前記中間セット圧力を25〜35kgf/c
m2としたことを特徴とする圧力調整器。 - 【請求項2】 第1段減圧弁の弁孔の口径を、第2段減
圧弁の弁孔の口径より大きくした請求項1に記載の圧力
調整器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993019089U JP2575057Y2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 圧力調整器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993019089U JP2575057Y2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 圧力調整器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0675011U true JPH0675011U (ja) | 1994-10-21 |
JP2575057Y2 JP2575057Y2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=11989738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993019089U Expired - Lifetime JP2575057Y2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 圧力調整器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2575057Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003042395A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ガス供給方法およびガス供給装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60225212A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 2段式減圧弁装置 |
JPH0512914U (ja) * | 1991-02-20 | 1993-02-19 | 日本炭酸瓦斯株式会社 | 多段型減圧弁の一つの段の減圧部 |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP1993019089U patent/JP2575057Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60225212A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 2段式減圧弁装置 |
JPH0512914U (ja) * | 1991-02-20 | 1993-02-19 | 日本炭酸瓦斯株式会社 | 多段型減圧弁の一つの段の減圧部 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003042395A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ガス供給方法およびガス供給装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2575057Y2 (ja) | 1998-06-25 |
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