JPH0674864A - Method and device for measuring pre-tilt angle of liquid crystal display panel - Google Patents

Method and device for measuring pre-tilt angle of liquid crystal display panel

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JPH0674864A
JPH0674864A JP22850392A JP22850392A JPH0674864A JP H0674864 A JPH0674864 A JP H0674864A JP 22850392 A JP22850392 A JP 22850392A JP 22850392 A JP22850392 A JP 22850392A JP H0674864 A JPH0674864 A JP H0674864A
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JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
display panel
crystal display
pretilt angle
cell
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP22850392A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Haraguchi
原口康史
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NIPPON DENSHI RAIOSONITSUKU KK
Jeol Ltd
Original Assignee
NIPPON DENSHI RAIOSONITSUKU KK
Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To simultaneously measure the pre-tilt angle of each display cell in a liquid crystal display panel with a high resolution. CONSTITUTION:In the title method for measuring the pre-tilt angle of a liquid crystal molecule of each display cell of a transmission type liquid crystal display panel 16 consisting of a liquid crystal cell 14 which consists of a number of display cells which are laid out in parallel and polarizer 13 and 15 which are laid out on both surfaces, light from a laser 11 is successively applied to each position on the surface of a liquid crystal display panel 16 via a scanning device 12 and the transmission light intensity at a specific position on the surface of the liquid crystal display panel 16 is detected by a photo detector 18 via a scanning device 17 which is driven synchronously. The angle of the liquid crystal display panel 16 for a light axis is adjusted by a stage 21 so that the detection intensity of the position is maximized, thus measuring the pre-tilt angle of that position.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルのプレ
チルト角測定方法及び装置に関し、特に、液晶表示パネ
ルの各表示セルのプレチルト角を同時に測定する方法と
そのための装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for measuring a pretilt angle of a liquid crystal display panel, and more particularly to a method and an apparatus for simultaneously measuring the pretilt angle of each display cell of the liquid crystal display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】TN(ツイストネマチック)液晶のセル
構造は、図3に示すように、基板1、2間に封入された
棒状の液晶分子1が一方の基板2から他方の基板3へか
けて90°ねじれるように配向配置されたものである
が、このようなセルをR、G、Bの各色毎に設けて1画
素を構成し、その画素を多数並列配置してカラー液晶表
示パネルが構成される。その際、隣接するセルの漏れ電
場により隣のセルが影響を受け、色にじみ、色むら、コ
ントラストむら等が発生する。これを避けるために、図
3に示すように、液晶分子1を基板2、3に対して1°
〜数°程度傾けて配向する。この基板2と液晶分子1の
なす角度をプレチルト角と呼ぶが、このプレチルト角を
測定するには、従来、基板2側の液晶分子1のプレチル
ト角測定面内で液晶分子1の軸に垂直に照明光を入射し
た時に最も透過光量が多くなる現象を利用して、図4に
示すように、光源4からの光をレンズ5により平行にし
て、その光路中に偏光子6と検光子7とを直交配置し、
その間に試験的に作った液晶セル8を配置し、検光子7
を通過し、レンズ9により集光されて光検出器10に入
射する光の量が最も多くなるように、液晶セル8を光軸
に垂直な2軸の周りで傾けて、その傾きからプレチルト
角を測定していた。
2. Description of the Related Art A cell structure of TN (twisted nematic) liquid crystal has a rod-shaped liquid crystal molecule 1 enclosed between substrates 1 and 2 from one substrate 2 to another substrate 3 as shown in FIG. Although the cells are oriented so as to be twisted by 90 °, such a cell is provided for each color of R, G, and B to form one pixel, and a large number of the pixels are arranged in parallel to form a color liquid crystal display panel. To be done. At that time, the adjacent electric field is affected by the leakage electric field of the adjacent cell, causing color bleeding, color unevenness, contrast unevenness, and the like. In order to avoid this, as shown in FIG.
Orientation by tilting about a few degrees. The angle formed by the substrate 2 and the liquid crystal molecule 1 is called a pretilt angle. To measure this pretilt angle, conventionally, the pretilt angle is measured perpendicularly to the axis of the liquid crystal molecule 1 within the pretilt angle measurement plane of the liquid crystal molecule 1 on the substrate 2 side. Utilizing the phenomenon that the amount of transmitted light becomes maximum when the illumination light is incident, as shown in FIG. 4, the light from the light source 4 is made parallel by the lens 5, and the polarizer 6 and the analyzer 7 are provided in the optical path. Orthogonally arranged,
A liquid crystal cell 8 made on a trial basis is arranged between them, and the analyzer 7
The liquid crystal cell 8 is tilted about two axes perpendicular to the optical axis so that the amount of light that passes through the lens 9 and is condensed by the lens 9 and is incident on the photodetector 10 is the maximum, and the pretilt angle is calculated from the tilt. Was being measured.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法は、あくまで試験的に作った1個の液晶セルを測定対
象としており、実際の大面積の液晶表示パネルにおける
微小な各セルのプレチルト角がどうなっているかは、測
定できなかった。また、反射型の液晶表示パネルを構成
する各セルのプレチルト角を測定することももちろんで
きなかった。
However, in this method, only one liquid crystal cell, which is experimentally made, is measured, and the pretilt angle of each small cell in an actual large-area liquid crystal display panel is determined. It was not possible to measure whether or not. Further, it is of course impossible to measure the pretilt angle of each cell constituting the reflective liquid crystal display panel.

【0004】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、液晶表示パネルにおける各表
示セルのプレチルト角を高分解能で同時に測定する方法
とそのための装置を提供することである。
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a method for simultaneously measuring the pretilt angle of each display cell in a liquid crystal display panel with high resolution and an apparatus therefor. is there.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の液晶表示パネルのプレチルト角測定方法は、並列的
に配置された多数の表示セルからなる液晶セルとその両
面に配置された偏光板からなる透過型の液晶表示パネル
の各表示セルの液晶分子のプレチルト角測定方法におい
て、液晶表示パネル面各位置に順次、又は、液晶表示パ
ネル面の広い領域に同時に光を当て、液晶表示パネル面
の所定位置の透過光強度を検出し、その強度が最高にな
るように、液晶表示パネルの光軸に対する角度を調節し
てその位置のプレチルト角を測定することを特徴とする
方法である。
A method for measuring a pretilt angle of a liquid crystal display panel according to the present invention which achieves the above object is a liquid crystal cell composed of a large number of display cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both surfaces thereof. In the method for measuring the pretilt angle of liquid crystal molecules of each display cell of a transmissive liquid crystal display panel, the liquid crystal display panel surface is exposed by sequentially irradiating each position on the liquid crystal display panel surface or simultaneously on a wide area of the liquid crystal display panel surface. Is detected, and the pretilt angle at that position is measured by adjusting the angle with respect to the optical axis of the liquid crystal display panel so as to maximize the intensity of the transmitted light.

【0006】また、もう1つの本発明の液晶表示パネル
のプレチルト角測定方法は、並列的に配置された多数の
表示セルからなる液晶セルとその両面に配置された偏光
板からなるか、又は、一方の偏光板の外側に反射板が設
けられた反射型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分
子のプレチルト角測定方法において、液晶表示パネル面
各位置に順次、又は、液晶表示パネル面の広い領域に同
時に光を当て、液晶表示パネル面の所定位置の反射光強
度を検出し、その強度が最高になるように、液晶表示パ
ネルの光軸に対する角度を調節してその位置のプレチル
ト角を測定することを特徴とする方法である。
Another method of measuring the pretilt angle of a liquid crystal display panel according to the present invention comprises a liquid crystal cell composed of a large number of display cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both sides thereof, or In a method of measuring a pretilt angle of liquid crystal molecules of each display cell of a reflection type liquid crystal display panel in which a reflection plate is provided on the outside of one polarizing plate, the liquid crystal display panel surface is sequentially arranged at each position or the liquid crystal display panel surface is wide. The area is irradiated with light at the same time, the reflected light intensity at a predetermined position on the liquid crystal display panel surface is detected, and the pretilt angle at that position is measured by adjusting the angle with respect to the optical axis of the liquid crystal display panel to maximize the intensity. The method is characterized by

【0007】さらに、本発明の液晶表示パネルのプレチ
ルト角測定装置は、並列的に配置された多数の表示セル
からなる液晶セルとその両面に配置された偏光板からな
る透過型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分子のプ
レチルト角測定装置において、少なくとも、液晶表示パ
ネルを載置してその光軸に直交する2軸の角度を調節可
能にするステージと、ステージに載置された液晶表示パ
ネルに光軸に直交する2方向に光ビームを走査する照明
光学系と、液晶表示パネルを透過した走査ビーム光強度
を検出する検出系とからなることを特徴とするものであ
る。
Further, the pretilt angle measuring apparatus for a liquid crystal display panel according to the present invention is a transmission type liquid crystal display panel comprising a liquid crystal cell composed of a large number of display cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both surfaces thereof. In a pretilt angle measuring device for liquid crystal molecules of each display cell, at least a stage on which a liquid crystal display panel is mounted and the angles of two axes orthogonal to the optical axis thereof can be adjusted, and a liquid crystal display panel mounted on the stage And an illumination optical system for scanning the light beam in two directions orthogonal to the optical axis, and a detection system for detecting the intensity of the scanning beam light transmitted through the liquid crystal display panel.

【0008】また、もう1つの本発明の液晶表示パネル
のプレチルト角測定装置は、並列的に配置された多数の
表示セルからなる液晶セルとその両面に配置された偏光
板からなるか、又は、一方の偏光板の外側に反射板が設
けられた反射型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分
子のプレチルト角測定装置において、少なくとも、液晶
表示パネルをその背面に反射板を配置して載置し、その
光軸に直交する2軸の角度を調節可能にするステージ
と、ステージに載置された液晶表示パネルに光軸に直交
する2方向に光ビームを走査する照明光学系と、液晶表
示パネルを反射した走査ビーム光強度を検出する検出系
とからなることを特徴とするものである。
Further, another pretilt angle measuring device for a liquid crystal display panel according to the present invention comprises a liquid crystal cell composed of a large number of display cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both surfaces thereof, or In a pretilt angle measuring device for liquid crystal molecules of each display cell of a reflection type liquid crystal display panel in which a reflection plate is provided on the outside of one polarizing plate, at least the liquid crystal display panel is mounted with a reflection plate on the back surface thereof. Then, a stage that can adjust the angle of two axes orthogonal to the optical axis, an illumination optical system that scans a liquid crystal display panel mounted on the stage with a light beam in two directions orthogonal to the optical axis, and a liquid crystal display And a detection system for detecting the intensity of the scanning beam light reflected by the panel.

【0009】[0009]

【作用】本発明においては、何れも、液晶表示パネル面
に光を当て、液晶表示パネル面の所定位置の透過光又は
反射光強度を検出し、その強度が最高になるように、液
晶表示パネルの光軸に対する角度を調節してその位置の
プレチルト角を測定するので、実際の大面積の液晶表示
パネルにおける微小な各セルのプレチルト角を同時に測
定することができる。
In any of the embodiments of the present invention, the liquid crystal display panel is irradiated with light to detect the intensity of transmitted light or reflected light at a predetermined position on the liquid crystal display panel surface so that the intensity becomes maximum. Since the pretilt angle at that position is measured by adjusting the angle with respect to the optical axis of, the pretilt angle of each minute cell in an actual large-area liquid crystal display panel can be measured at the same time.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の液晶表示パネルのプレチルト
角測定方法及び装置のいくつかの実施例について説明す
る。まず、透過型の液晶表示パネルを走査型で測定する
装置の実施例について、図1の概略構成図を参照にして
説明する。相互に直交する偏光方向を有する2枚の偏光
板13、15で挟まれた液晶セル14からなる実際の液
晶表示パネル16をX−Y方向2軸光走査装置12の出
射側に配置し、液晶表示パネル16の透過側に光走査装
置12と同期して駆動される別のX−Y方向2軸光走査
装置17を配置する。そして、2つの光走査装置12、
17は、同期走査駆動装置22により同期して駆動され
る。したがって、レーザー11から光走査装置12に入
射した光ビームは、光軸に垂直なX−Y方向に例えばラ
スター走査され、液晶表示パネル16面を走査する。液
晶表示パネル16を透過した走査ビームは、光走査装置
17により光軸に沿って進む静止ビームに変換され光検
出器18に入射する。光検出器18からアンプ19によ
り増幅された検出信号は、表示装置20の輝度信号とし
て入力され、同期走査駆動装置22のX−Y2方向同期
走査信号は、表示装置20の走査信号H、Vとして入力
する。したがって、表示装置20には、測定対象である
液晶表示パネル16の表示面の透過率分布が表示され
る。
EXAMPLES Some examples of the method and apparatus for measuring a pretilt angle of a liquid crystal display panel according to the present invention will be described below. First, an embodiment of an apparatus for measuring a transmissive liquid crystal display panel by scanning will be described with reference to the schematic configuration diagram of FIG. An actual liquid crystal display panel 16 consisting of a liquid crystal cell 14 sandwiched between two polarizing plates 13 and 15 having polarization directions orthogonal to each other is arranged on the emission side of the XY biaxial optical scanning device 12, and the liquid crystal Another XY biaxial optical scanning device 17 driven in synchronization with the optical scanning device 12 is arranged on the transmission side of the display panel 16. Then, the two optical scanning devices 12,
Reference numeral 17 is synchronously driven by the synchronous scanning drive device 22. Therefore, the light beam incident on the optical scanning device 12 from the laser 11 is, for example, raster-scanned in the XY direction perpendicular to the optical axis, and scans the surface of the liquid crystal display panel 16. The scanning beam that has passed through the liquid crystal display panel 16 is converted into a stationary beam that travels along the optical axis by the optical scanning device 17 and is incident on the photodetector 18. The detection signal amplified by the amplifier 19 from the photodetector 18 is input as the luminance signal of the display device 20, and the X-Y2 direction synchronous scanning signal of the synchronous scanning drive device 22 is used as the scanning signals H and V of the display device 20. input. Therefore, the display device 20 displays the transmittance distribution of the display surface of the liquid crystal display panel 16 which is the measurement target.

【0011】ところで、液晶表示パネル16は、光軸に
直交する2軸の周りで傾き角調節できる2軸角度可変ス
テージ21上に設置されているので、この角度を調節し
て液晶表示パネル16の所定位置の表示セルの透過率が
最高になるようにして、その角度を読み取ることによ
り、その表示セルのプレチルト角を知ることができる。
同様にして、他の表示セルのプレチルト角を求めること
ができ、液晶表示パネル16面内のプレチルト角の分布
を知ることもできる。
By the way, since the liquid crystal display panel 16 is installed on the biaxial angle variable stage 21 whose tilt angle can be adjusted around the two axes orthogonal to the optical axis, the angle of the liquid crystal display panel 16 can be adjusted. The pretilt angle of the display cell can be known by reading the angle so that the transmittance of the display cell at the predetermined position becomes maximum.
Similarly, the pretilt angles of other display cells can be obtained, and the distribution of the pretilt angles in the plane of the liquid crystal display panel 16 can be known.

【0012】なお、図1においては、結像系の図示は省
いたが、液晶表示パネル16上へ入射ビームが集束する
ように結像系を設けることにより、高分解能でプレチル
ト角を測定することができる。また、光走査装置12、
17として、ランダム走査可能なものを用いることによ
り、特定の表示セルを選択して測定できるようにするこ
ともできる。
Although the image forming system is not shown in FIG. 1, the pretilt angle can be measured with high resolution by providing the image forming system so that the incident beam is focused on the liquid crystal display panel 16. You can In addition, the optical scanning device 12,
It is also possible to select and measure a specific display cell by using a random scannable one as 17.

【0013】次に、反射型液晶表示パネルの各表示セル
のプレチルト角を走査型で測定する装置の実施例を図2
を参照にして説明する。従来、試験的に作った1個の反
射型液晶セルでも、そのプレチルト角を測定する方法は
提案されていない。反射型の液晶表示パネルのプレチル
ト角を測定するには、相互に直交する偏光方向を有する
2枚の偏光板26、28で挟まれた液晶セル27とその
入射側と反対側に配置された反射板29とからなる実際
の反射型液晶表示パネル30、又は、2枚の偏光板2
6、28と液晶セル27からなるパネルの入射側と反対
側に測定のために反射板29を配置してなる反射型液晶
表示パネル30を、2軸角度可変ステージ21上に設置
し、反射板29と反対側から反射型液晶表示パネル30
を反射型のレーザー走査顕微鏡で観察しながら、2軸角
度可変ステージ21の角度を調節して、反射型液晶表示
パネル30の所定位置の表示セルからの反射率が最高に
なるようにして、その角度を読み取ることにより、その
表示セルのプレチルト角を知ることができ、同様にし
て、他の表示セルのプレチルト角を求めることができ、
液晶表示パネル30面内のプレチルト角の分布を知るこ
ともできる。この場合、反射型のレーザー走査顕微鏡
は、レーザー11、レーザー11からの光ビームを透過
し、戻ってくる光を反射するビームスプリッター23、
例えば2軸の周りで偏向されるガルバノミラーからなる
X−Y方向2軸光走査装置24、対物レンズ25、ビー
ムスプリッター23により分離された測定光の強度を検
知する光検出器18、光検出器18からの信号を増幅す
るアンプ19、光走査装置24を駆動する走査駆動装置
31、光検出器18からの検出信号が輝度信号として入
力し、走査駆動装置31からの走査信号が走査信号H、
Vとして入力する表示装置20からなり、レーザー11
からビームスプリッター23を通過して光走査装置24
に入射した光ビームは、光軸に垂直なX−Y方向に例え
ばラスター走査され、走査ビームは対物レンズ25によ
り液晶表示パネル30面に集光され、その入射側の偏光
板26により所定方向の直線偏光に変換され、液晶セル
14を通過して偏光面が90°回転され、他方の偏光板
28を通過し、反射板29で反対方向に反射され、上記
と逆の光路を経てビームスプリッター23で反射された
光は、光検出器18で光電変換され、アンプ19で増幅
された光検出器18からの検出信号は、表示装置20の
輝度信号として入力され、また、走査駆動装置31から
の走査信号は、表示装置20の走査信号H、Vとして入
力する。したがって、表示装置20には、測定対象であ
る反射型液晶表示パネル30の表示面の反射率分布が表
示される。
Next, an embodiment of an apparatus for measuring the pretilt angle of each display cell of the reflection type liquid crystal display panel by a scanning type is shown in FIG.
Will be described with reference to. Conventionally, no method has been proposed for measuring the pretilt angle of even one reflective liquid crystal cell that is experimentally manufactured. To measure the pretilt angle of a reflective liquid crystal display panel, a liquid crystal cell 27 sandwiched between two polarizing plates 26 and 28 having polarization directions orthogonal to each other and a reflection arranged on the opposite side to the incident side. An actual reflective liquid crystal display panel 30 including the plate 29 or two polarizing plates 2
A reflection type liquid crystal display panel 30 in which a reflection plate 29 is arranged for measurement on the side opposite to the incident side of the panel composed of 6, 28 and the liquid crystal cell 27 is installed on the biaxial angle variable stage 21, and the reflection plate is provided. Reflective liquid crystal display panel 30 from the side opposite to 29
While observing with a reflection type laser scanning microscope, the angle of the biaxial angle variable stage 21 is adjusted so that the reflectance from the display cell at a predetermined position of the reflection type liquid crystal display panel 30 is maximized. By reading the angle, the pretilt angle of that display cell can be known, and similarly, the pretilt angle of another display cell can be obtained.
It is also possible to know the distribution of the pretilt angle in the plane of the liquid crystal display panel 30. In this case, the reflection type laser scanning microscope includes a laser 11, a beam splitter 23 that transmits the light beam from the laser 11 and reflects the returning light,
For example, an XY biaxial optical scanning device 24 composed of a galvanomirror deflected around two axes, an objective lens 25, a photodetector 18 for detecting the intensity of the measurement light separated by the beam splitter 23, and a photodetector. An amplifier 19 that amplifies the signal from 18, a scanning driving device 31 that drives the optical scanning device 24, a detection signal from the photodetector 18 is input as a luminance signal, and a scanning signal from the scanning driving device 31 is a scanning signal H,
It consists of a display device 20 for inputting as V, and a laser 11
Passing through the beam splitter 23 from the optical scanning device 24
The light beam incident on is subjected to, for example, raster scanning in the XY direction perpendicular to the optical axis, the scanning beam is condensed on the surface of the liquid crystal display panel 30 by the objective lens 25, and the incident side polarization plate 26 directs the light in a predetermined direction. The light is converted into linearly polarized light, passes through the liquid crystal cell 14, has its plane of polarization rotated by 90 °, passes through the other polarizing plate 28, is reflected in the opposite direction by the reflection plate 29, and travels through the optical path opposite to the above to the beam splitter 23. The light reflected by is photoelectrically converted by the photodetector 18, and the detection signal from the photodetector 18 amplified by the amplifier 19 is input as a luminance signal of the display device 20. The scanning signals are input as the scanning signals H and V of the display device 20. Therefore, the display device 20 displays the reflectance distribution of the display surface of the reflective liquid crystal display panel 30, which is the measurement target.

【0014】以上、透過型及び反射型の液晶表示パネル
の各表示セルのプレチルト角を透過型ないし反射型のレ
ーザー走査顕微鏡を用いて測定する実施例について説明
してきたが、本発明はこれら以外に、液晶表示パネル1
6ないし30の広い領域ないし全面を断面の太い平行光
で照明し、その透過像又は反射像をCCD等の2次元光
検出器上に結像し、その検出信号を表示装置に入力し
て、液晶表示パネルの所定位置の表示セルからの透過率
又は反射率が最高になるように、2軸角度可変ステージ
21の角度を調節して、その角度を読み取ることによ
り、その位置のプレチルト角を知ることができ、また、
プレチルト角の分布を知ることもできる。
The embodiments for measuring the pretilt angle of each display cell of the transmissive and reflective liquid crystal display panels using a transmissive or reflective laser scanning microscope have been described above, but the present invention is not limited to these. , Liquid crystal display panel 1
6 to 30 wide area or the whole surface is illuminated with a parallel light having a thick cross section, its transmission image or reflection image is formed on a two-dimensional photodetector such as CCD, and the detection signal is input to a display device, The pretilt angle of the position is known by adjusting the angle of the biaxial angle variable stage 21 so that the transmittance or the reflectance from the display cell at the predetermined position of the liquid crystal display panel becomes the maximum and reading the angle. Can also,
It is also possible to know the distribution of the pretilt angle.

【0015】以上、本発明の液晶表示パネルのプレチル
ト角測定方法及び装置をいくつかの実施例に基づいて説
明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず、種
々の変形が可能である。
Although the method and apparatus for measuring the pretilt angle of the liquid crystal display panel of the present invention have been described above based on some embodiments, the present invention is not limited to these embodiments and various modifications are possible. .

【0016】[0016]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の液晶表示パネルのプレチルト角測定方法及び装置によ
ると、何れも、液晶表示パネル面に光を当て、液晶表示
パネル面の所定位置の透過光又は反射光強度を検出し、
その強度が最高になるように、液晶表示パネルの光軸に
対する角度を調節してその位置のプレチルト角を測定す
るので、実際の大面積の液晶表示パネルにおける微小な
各セルのプレチルト角を同時に測定することができる。
As is apparent from the above description, according to the method and apparatus for measuring the pretilt angle of the liquid crystal display panel of the present invention, the liquid crystal display panel surface is illuminated with light at a predetermined position. Detects the intensity of transmitted or reflected light,
The pretilt angle at that position is measured by adjusting the angle with respect to the optical axis of the liquid crystal display panel so that its strength is maximized, so the pretilt angle of each minute cell in an actual large-area liquid crystal display panel is measured at the same time. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】透過型液晶表示パネルのプレチルト角を走査型
で測定する本発明の装置の1実施例の概略構成図であ
る。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of an apparatus of the present invention for measuring a pretilt angle of a transmissive liquid crystal display panel by scanning.

【図2】反射型液晶表示パネルのプレチルト角を測定す
る他の実施例の装置の概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an apparatus of another embodiment for measuring a pretilt angle of a reflective liquid crystal display panel.

【図3】TN液晶のセル構造を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a cell structure of TN liquid crystal.

【図4】従来のプレチルト角測定方法の概略を説明する
ための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining an outline of a conventional pretilt angle measuring method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…レーザー 12、17…X−Y方向2軸光走査装置 13、15…偏光板 14…液晶セル 16…液晶表示パネル 18…光検出器 19…アンプ 20…表示装置 21…2軸角度可変ステージ 22…同期走査駆動装置 23…ビームスプリッター 24…X−Y方向2軸光走査装置 25…対物レンズ 26、28…偏光板 27…液晶セル 29…反射板 30…反射型液晶表示パネル 31…走査駆動装置 11 ... Laser 12, 17 ... XY direction biaxial optical scanning device 13, 15 ... Polarizing plate 14 ... Liquid crystal cell 16 ... Liquid crystal display panel 18 ... Photodetector 19 ... Amplifier 20 ... Display device 21 ... Biaxial angle variable stage. 22 ... Synchronous scanning drive device 23 ... Beam splitter 24 ... XY biaxial optical scanning device 25 ... Objective lens 26, 28 ... Polarizing plate 27 ... Liquid crystal cell 29 ... Reflector plate 30 ... Reflective liquid crystal display panel 31 ... Scanning drive apparatus

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 並列的に配置された多数の表示セルから
なる液晶セルとその両面に配置された偏光板からなる透
過型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分子のプレチ
ルト角測定方法において、液晶表示パネル面各位置に順
次、又は、液晶表示パネル面の広い領域に同時に光を当
て、液晶表示パネル面の所定位置の透過光強度を検出
し、その強度が最高になるように、液晶表示パネルの光
軸に対する角度を調節してその位置のプレチルト角を測
定することを特徴とする液晶表示パネルのプレチルト角
測定方法。
1. A method for measuring a pretilt angle of liquid crystal molecules of each display cell of a transmissive liquid crystal display panel comprising a liquid crystal cell composed of a large number of display cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both sides thereof, The liquid crystal display is detected by shining light on each position on the liquid crystal display panel surface sequentially or simultaneously on a wide area of the liquid crystal display panel surface, detecting the transmitted light intensity at a predetermined position on the liquid crystal display panel surface, and maximizing the intensity. A method for measuring a pretilt angle of a liquid crystal display panel, which comprises adjusting an angle of a panel with respect to an optical axis and measuring a pretilt angle at that position.
【請求項2】 並列的に配置された多数の表示セルから
なる液晶セルとその両面に配置された偏光板からなる
か、又は、一方の偏光板の外側に反射板が設けられた反
射型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分子のプレチ
ルト角測定方法において、液晶表示パネル面各位置に順
次、又は、液晶表示パネル面の広い領域に同時に光を当
て、液晶表示パネル面の所定位置の反射光強度を検出
し、その強度が最高になるように、液晶表示パネルの光
軸に対する角度を調節してその位置のプレチルト角を測
定することを特徴とする液晶表示パネルのプレチルト角
測定方法。
2. A reflective type liquid crystal cell comprising a plurality of liquid crystal cells arranged in parallel and polarizing plates disposed on both sides of the liquid crystal cell, or a reflective plate provided outside one of the polarizing plates. In the method of measuring the pretilt angle of liquid crystal molecules of each display cell of a liquid crystal display panel, light is applied to each position of the liquid crystal display panel surface sequentially or simultaneously to a wide area of the liquid crystal display panel surface to reflect light at a predetermined position of the liquid crystal display panel surface. A method for measuring a pretilt angle of a liquid crystal display panel, which comprises detecting a light intensity and adjusting an angle with respect to an optical axis of the liquid crystal display panel so as to maximize the intensity and measuring a pretilt angle at that position.
【請求項3】 並列的に配置された多数の表示セルから
なる液晶セルとその両面に配置された偏光板からなる透
過型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分子のプレチ
ルト角測定装置において、少なくとも、液晶表示パネル
を載置してその光軸に直交する2軸の角度を調節可能に
するステージと、ステージに載置された液晶表示パネル
に光軸に直交する2方向に光ビームを走査する照明光学
系と、液晶表示パネルを透過した走査ビーム光強度を検
出する検出系とからなることを特徴とする液晶表示パネ
ルのプレチルト角測定装置。
3. A pretilt angle measuring device for liquid crystal molecules of each display cell of a transmissive liquid crystal display panel comprising a liquid crystal cell composed of a large number of display cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both surfaces thereof. At least a stage on which a liquid crystal display panel is mounted and the angles of two axes orthogonal to the optical axis thereof can be adjusted, and a liquid crystal display panel mounted on the stage is scanned with a light beam in two directions orthogonal to the optical axis. A pretilt angle measuring device for a liquid crystal display panel, comprising: an illuminating optical system and a detection system for detecting the intensity of a scanning beam transmitted through the liquid crystal display panel.
【請求項4】 並列的に配置された多数の表示セルから
なる液晶セルとその両面に配置された偏光板からなる
か、又は、一方の偏光板の外側に反射板が設けられた反
射型の液晶表示パネルの各表示セルの液晶分子のプレチ
ルト角測定装置において、少なくとも、液晶表示パネル
をその背面に反射板を配置して載置し、その光軸に直交
する2軸の角度を調節可能にするステージと、ステージ
に載置された液晶表示パネルに光軸に直交する2方向に
光ビームを走査する照明光学系と、液晶表示パネルを反
射した走査ビーム光強度を検出する検出系とからなるこ
とを特徴とする液晶表示パネルのプレチルト角測定装
置。
4. A reflective type liquid crystal cell comprising a plurality of liquid crystal cells arranged in parallel and polarizing plates arranged on both sides of the liquid crystal cell, or a reflective plate provided outside one polarizing plate. In a pretilt angle measuring device for liquid crystal molecules of each display cell of a liquid crystal display panel, at least the liquid crystal display panel is mounted with a reflector on the back surface thereof, and the angle of two axes orthogonal to the optical axis can be adjusted. Stage, an illumination optical system that scans the liquid crystal display panel mounted on the stage with a light beam in two directions orthogonal to the optical axis, and a detection system that detects the light intensity of the scanning beam reflected by the liquid crystal display panel. A pretilt angle measuring device for a liquid crystal display panel, which is characterized in that
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