JPH067260B2 - Photosolubilizing composition - Google Patents

Photosolubilizing composition

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JPH067260B2
JPH067260B2 JP60009350A JP935085A JPH067260B2 JP H067260 B2 JPH067260 B2 JP H067260B2 JP 60009350 A JP60009350 A JP 60009350A JP 935085 A JP935085 A JP 935085A JP H067260 B2 JPH067260 B2 JP H067260B2
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acid
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達治 東
明彦 神谷
利明 青合
信行 喜多
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Fuji Photo Film Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/075Silicon-containing compounds
    • G03F7/0757Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校生刷、オーバーヘ
ッドプロジェクター用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する光可溶化組成物に関する。更に詳しくは(a)
活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、(b)分子
中に酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくとも
1個有する化合物、及び(c)メチルセロソルブ:水=9
0:10重量%の5%溶液の25゜CにおけるpHが3.
5〜9.0のアルカリ可溶性樹脂からなる光可溶化組成
物に関する。
The present invention relates to a photosolubilizing composition suitable for producing a lithographic printing plate, school printing for multicolor printing, drawings for overhead projectors, IC circuits, and photomasks. For more details (a)
A compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays, (b) a compound having at least one silyl ether group capable of being decomposed by an acid in a molecule, and (c) methyl cellosolve: water = 9
The pH of a 5% solution of 0:10 wt% at 25 ° C is 3.
It relates to a photosolubilizing composition comprising an alkali-soluble resin of 5 to 9.0.

(従来の技術) 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物として、例えば米国特許2,766,118号、
同第2,767,092号の各明細書をはじめ、多数の
刊行物に記されている。
(Prior Art) As a photosensitive substance which is solubilized by actinic rays and acts so-called positively, an orthoquinonediazide compound has been conventionally known and has been widely used in planographic printing plates, photoresists and the like. Examples of such orthoquinonediazide compounds include, for example, US Pat. No. 2,766,118,
It is described in many publications, including the specifications of the above-mentioned No. 2,767,092.

これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こして5員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性は不十分であるという欠点を有する。これは
オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収率
が1を越えないということに由来するものである。
These orthoquinonediazide compounds utilize the fact that they are decomposed by irradiation with an actinic ray to form a 5-membered carboxylic acid and become alkali-soluble, but they all have the drawback of insufficient photosensitivity. Have. This is because the quantum yield of the orthoquinonediazide compound does not essentially exceed 1.

オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、いずれも2〜3倍の程度感度を高めるだけで
あった。例えば、このような試みの例として、特公昭4
8−12242号、特開昭52−40125号、米国特
許第4,307,173号などの明細書に記載された内
容を挙げることができる。
Various methods have been tried until now for increasing the photosensitivity of a photosensitive composition containing an orthoquinonediazide compound, but all of them have only increased the sensitivity by about 2 to 3 times. For example, as an example of such an attempt,
The contents described in the specifications of JP-A-8-12242, JP-A-52-40125 and US Pat. No. 4,307,173 can be mentioned.

また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その1つとして、例えば特公昭56−
2696号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に触媒作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
第2の反応を生起させ、それにより露光域を可溶化する
公知の原理が適用されている。
Also, recently, some proposals have been made regarding a photosensitive composition which positively acts without using an orthoquinonediazide compound. As one of them, for example, Japanese Patent Publication No. 56-
The polymer compounds having an orthonitrocarbinol ester group described in the specification of 2696 are mentioned. However, also in this case, the photosensitivity is not sufficient for the same reason as in the case of orthoquinonediazide. In addition to this, a photosensitive system activated by a catalytic action is used separately, and as a method of increasing the photosensitivity, a second reaction is caused by an acid generated by photolysis, thereby solubilizing an exposed area. The principle of is applied.

このような例として、例えば光分解により酸を発生する
化合物と、アセタール又はO,N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭48−89003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭51
−120714号)、主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーとの組合せ(特開昭53−13342
9号)、エノールエーテル化合物との組合せ(特開昭5
5−12995号)、N−アシルイミノ炭酸化合物との
組合せ(特開昭55−126236号)、及び主鎖にオ
ルトエステル基を有するポリマーとの組合せ(特開昭5
6−17345号)を挙げることができる。これらの原
理的に量子収率が1を越える為、高い感光性を示す可能
性があるが、アセタール又はN−アセタール化合物の場
合、及び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリ
マーの場合、光分解で生成する酸による第2の反応の速
度が遅い為、実際の使用に十分な感光性を示さない。ま
たオルトエステル又はアミドアセタール化合物の場合及
び、エノールエーテル化合物の場合、更にN−アシルイ
ミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感光性を示すが、経
時での安定性が悪く、長期に保存することが出来ない。
主鎖にオルトエステル基を有するポリマーの場合も、同
じく高感度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いとい
う欠点を有する。
As such an example, for example, a combination of a compound that generates an acid by photolysis with an acetal or an O, N-acetal compound (JP-A-48-89003), a combination of an orthoester or an amide acetal compound (JP-A-489003). Sho 51
No. 120714), and a polymer having an acetal or ketal group in the main chain (JP-A-53-13342).
No. 9) in combination with an enol ether compound (Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 5
5-12995), N-acyliminocarbonate compounds (JP-A-55-126236), and polymers having an orthoester group in the main chain (JP-A-5-126236).
6-17345). In principle, the quantum yield exceeds 1, which may result in high photosensitivity. However, in the case of an acetal or N-acetal compound and a polymer having an acetal or ketal group in the main chain, photolysis Since the rate of the second reaction due to the acid generated in (2) is slow, it does not exhibit sufficient photosensitivity for actual use. Further, in the case of an ortho ester or amide acetal compound, in the case of an enol ether compound, and in the case of an N-acyl imino carbonic acid compound, it certainly shows high photosensitivity, but the stability over time is poor and it can be stored for a long time. Absent.
A polymer having an orthoester group in the main chain also has a high sensitivity but has a drawback that the development tolerance at the time of development is narrow.

(発明の目的) 本発明の目的は、これらの問題点が解決れ、かつ経時で
の安定性に優れ長期に保存が可能である光可溶化組成物
を提供することである。即ち高い感光性を有し、現像時
の現像許容性が広く、かつ経時での安定性に優れ長期に
保存が可能である光可溶化組成物を提供することであ
る。
(Object of the Invention) An object of the present invention is to provide a photosolubilizing composition which solves these problems, has excellent stability over time, and can be stored for a long period of time. That is, it is an object of the present invention to provide a photosolubilizing composition having high photosensitivity, broad development tolerance during development, excellent stability over time, and long-term storage.

本発明の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る光可溶化物を提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a photo-solubilized product which is easy to manufacture and can be easily obtained.

(発明の構成) 本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を加えた
結果下記の光可溶化組成物を用いることで前記目的が達
成されることを見い出し本発明に到達した。
(Structure of the Invention) As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that the above object can be achieved by using the following photosolubilizing composition, and have reached the present invention.

即ち本発明は、(a)活性光線の照射により酸を発生し得
る化合物0.01〜10重量%、(b)分子中に酸により
分解し得るシリルエーテル基を少なくとも1個有する化
合物10〜40重量%、及び(c)メチルセロソルブ:水
=90:10重量%の5%溶液の25゜CにおけるpHが
3.5〜9.0のアルカリ可溶性樹脂60〜90重量%
からなる経時での安定性に優れ長期に保存が可能である
高感度光可溶化組成物を提供するものである。
That is, the present invention provides (a) 0.01 to 10% by weight of a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays, and (b) a compound 10 to 40 having at least one silyl ether group capable of being decomposed by an acid in a molecule. %, And (c) Methyl cellosolve: water = 90: 10% by weight of a 5% solution of 60% to 90% by weight of an alkali-soluble resin having a pH of 3.5 to 9.0 at 25 ° C.
And a highly sensitive photo-solubilizing composition which is excellent in stability over time and can be stored for a long period of time.

本発明に使用されるシリルエーテル基含有化合物として
は下記一般式(I)で示される、酸により分解し得るシ
リルエーテル基を少なくとも1個有する化合物である。
The silyl ether group-containing compound used in the present invention is a compound represented by the following general formula (I) and having at least one silyl ether group which can be decomposed by an acid.

具体的には特開昭60−37549号、同60−121
446号、同61−141442号及び同61−151
643号の各公報に記載されるシリルエーテル化合物で
ある。
Specifically, JP-A-60-37549 and JP-A-60-121
No. 446, No. 61-141442 and No. 61-151.
It is a silyl ether compound described in each publication of No. 643.

これらの中で特に特開昭60−121446号公報に記
載される親水性基を含有するシリルエーテル化合物が有
用である。親水性基としては具体的には下記に示される
ものがある。
Of these, the silyl ether compounds containing a hydrophilic group described in JP-A-60-12146 are particularly useful. Specific examples of the hydrophilic group include those shown below.

式中、lは1〜4の整数を示し、m、nは1以上の整
数、好ましくは1〜100の整数、更に好ましくは1〜
20の整数を示す。Rはアルキル、又は置換基を有して
いてもよいフェニル基を示す。特に好ましい親水性基は である。
In the formula, l represents an integer of 1 to 4, m and n are integers of 1 or more, preferably 1 to 100, more preferably 1 to
Indicates an integer of 20. R represents an alkyl or a phenyl group which may have a substituent. Particularly preferred hydrophilic groups are Is.

本発明の(b)における化合物の具体例としては次に示す
ものが含まれる。
Specific examples of the compound in (b) of the present invention include the following.

No.1 No.2 No.3 なお具体例中のx、yはモル比を示し、x=0〜95モ
ル%、y=5〜100モル%を示す。nは1以上の整数
を示す。
No. 1 No.2 No.3 In the specific examples, x and y represent molar ratios, where x = 0 to 95 mol% and y = 5 to 100 mol%. n represents an integer of 1 or more.

シリルエーテル基含有化合物の全組成物中の添加量は1
0〜40重量%である。10重量%以下では画像が形成
しない。また40重量%以上では経時的に不安定で好ま
しくない。より好ましい添加量は15〜30重量%であ
る。
The amount of silyl ether group-containing compound added to the total composition is 1
It is 0 to 40% by weight. If it is less than 10% by weight, no image is formed. Further, if it is 40% by weight or more, it is not preferable because it is unstable over time. The more preferable addition amount is 15 to 30% by weight.

本発明に使用される活性光線の照射により酸を発生し得
る好適な化合物としては多くの公知化合物及び混合物、
例えばジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
びヨードニウムのBF4 -、PF6 -、SbF6 -、SiF6 --、ClO4 -
どの塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノンジアジドス
ルホニルクロライド、及び有機金属/有機ハロゲン化合
物組合せ物が適当である。もちろん米国特許第3,77
9,778号及び西ドイツ国特許第2,610,842
号の各明細書中に記載された光分解により酸を発生させ
る化合物も本発明の組成物として適する。
Many known compounds and mixtures as suitable compounds capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays used in the present invention,
Such as diazonium, phosphonium, sulfonium, and iodonium of BF 4 -, PF 6 -, SbF 6 -, SiF 6 -, ClO 4 - , an organic halogen containing compound, o-quinonediazide sulfonyl chloride, and organometallic / organohalogen compounds Combinations are suitable. Of course, U.S. Pat. No. 3,77
No. 9,778 and West German Patent No. 2,610,842.
The compounds capable of generating an acid by photolysis as described in the respective specifications of the publication are also suitable as the composition of the present invention.

上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特にハ
ロメチル−s−トリアジン化合物、ハロメチルオキサジ
アゾール化合物等のトリハロメチル化合物が好適であ
る。
Among the compounds that generate an acid by the photolysis, trihalomethyl compounds such as halomethyl-s-triazine compounds and halomethyloxadiazole compounds are particularly preferable.

これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物の
全組成物中の添加量としては0.01〜10重量%であ
る。より好ましくは0.1〜2重量%である。
The amount of the compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays in the total composition is 0.01 to 10% by weight. It is more preferably 0.1 to 2% by weight.

本発明に使用される好適なアルカリ可溶性樹脂としては
フェノールホルムアルデヒド樹脂、クレゾールホルムア
ルデヒド樹脂、p−ter−ブチルフェノールホルムアル
デヒド樹脂、フェノール変性キシレン樹脂、フェノール
変性キシレンメシチレン樹脂等のノボラック樹脂、ピロ
ガロール・アセトン縮合物、ポリヒドロキシスチレン重
合体及び共重合体、ポリハロゲン化ヒドロキシスチレン
重合体及び共重合体(メタ)アクリル酸と他のビニル化
合物(例えばメチルメタアクリレート)との共重合体、
クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体及びその部分
エステル化物、イタコン酸共重合体等をあげることが出
来る。上記の商業的に製造されるアルカリ可溶性樹脂は
遊離した酸を含有するためメチルセロソルブ:水=9
0:10重量%の5%溶液の25゜CにおけるpHは、
3.5よりも低い値を示す。
Suitable alkali-soluble resins used in the present invention include phenol formaldehyde resins, cresol formaldehyde resins, p-ter-butylphenol formaldehyde resins, phenol-modified xylene resins, phenol-modified xylene mesitylene resins and other novolak resins, pyrogallol-acetone condensates, Polyhydroxystyrene polymers and copolymers, polyhalogenated hydroxystyrene polymers and copolymers (meth) acrylic acid copolymers with other vinyl compounds (for example, methylmethacrylate),
Examples thereof include crotonic acid copolymers, maleic acid copolymers and partial esterified products thereof, and itaconic acid copolymers. The above commercially produced alkali-soluble resin contains free acid, so methyl cellosolve: water = 9
The pH of a 5% solution of 0:10 wt% at 25 ° C is
It shows a value lower than 3.5.

本発明の(b)におけるシリルエーテル基含有化合物は、
酸により分解するため、アルカリ可溶性樹脂が遊離した
酸を含有し、そのメチルセロソルブ:水=90:10重
量%の5%溶液の25゜CにおけるpHが3.5よりも低
い値であると、本発明の(b)におけるシリルエーテル基
含有化合物が経時で分解し、高感度光可溶化組成物とし
た場合長期に保存することが不可能となる。
The silyl ether group-containing compound in (b) of the present invention,
Since it is decomposed by an acid, the alkali-soluble resin contains a liberated acid, and the pH of a 5% solution of its methyl cellosolve: water = 90: 10 wt% at 25 ° C. is lower than 3.5. The compound containing a silyl ether group in (b) of the present invention decomposes with time, and when it is made into a high-sensitivity photosolubilizing composition, it becomes impossible to store it for a long period of time.

上記の商業的に製造されるアルカリ可溶性樹脂を有機溶
剤に溶解し、大量の水又は、大量のアルカリ水溶液(p
Hは約9)に攪拌しながら徐々に加え、得られた沈殿生
成物を濾過、洗浄後乾燥して、遊離した酸を除去する。
メチルセロソルブ:水=90:10重量%の得られた生
成物5%溶液の25゜CにおけるpHは、上記の処理を施
さないものと比較して上昇する。このように商業的に製
造されるアルカリ可溶性樹脂に含有する遊離した酸を除
去し、メチルセロソルブ:水=90:10重量%の5%
溶液の25゜CにおけるpHを上昇させることにより、経
時での安定性に優れ長期に保存が可能である高感度光可
溶化組成物を提供することができる。好ましいアルカリ
可溶性樹脂のメチルセロソルブ:水=90:10重量%
の5%溶液の25゜CにおけるpHの範囲は3.5〜9.
0である。より好ましい範囲は5.5〜7.0である。
これらアルカリ可溶性樹脂は単独で、又は2種以上混合
して用いてもよい。
The above-mentioned commercially produced alkali-soluble resin is dissolved in an organic solvent, and a large amount of water or a large amount of alkaline aqueous solution (p
H is gradually added to about 9) with stirring, and the obtained precipitated product is filtered, washed and dried to remove the liberated acid.
The pH of a 5% solution of the product obtained, 90% by weight of methyl cellosolve: water = 25 ° C., rises in comparison with that without the above treatment. Thus, the free acid contained in the commercially produced alkali-soluble resin was removed, and methylcellosolve: water = 90: 10% by weight of 5%
By increasing the pH of the solution at 25 ° C, it is possible to provide a highly sensitive photosolubilizing composition which is excellent in stability over time and can be stored for a long period of time. Preferred alkali-soluble resin methyl cellosolve: water = 90: 10% by weight
The pH range of the 5% solution at 25 ° C is 3.5-9.
It is 0. A more preferable range is 5.5 to 7.0.
These alkali-soluble resins may be used alone or in combination of two or more.

アルカリ可溶性樹脂の全組成物中の添加量は60〜90
重量%でより好ましくは、70〜85重量%である。
The amount of alkali-soluble resin added in the total composition is 60 to 90.
More preferably, it is 70 to 85% by weight.

本発明の光可溶化組成物には必要に応じて更に染料(例
えばC.I.ソルベントオレンジ6、C.I.ソルベントレッド
143、C.I.ソルベントレッド145、C.I.ソルベント
ブルー36、C.I.ソルベントブルー82等のアントラキ
ノン系染料やモノアゾの金属錯塩系染料)、顔料(例え
ばC.I.ピグメントレッド48、C.I.ピグメントブルー1
5)、充てん剤(例えばシリカ粉末、ポリエチレン粉
末、フッ化ポリエチレン粉末、炭酸カルシウム粉末や硫
酸バリウム粉末等)可塑剤、感度を高める環状酸無水物
(例えば無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無
水マレイン酸や無水コハク酸等)や及び前記酸を発生し
得る化合物の酸発生効率を増大させる化合物(いわゆる
増感剤)などを含有させることができる。
If necessary, the photosolubilizing composition of the present invention further comprises a dye (for example, an anthraquinone dye such as CI Solvent Orange 6, CI Solvent Red 143, CI Solvent Red 145, CI Solvent Blue 36, CI Solvent Blue 82, or monoazo dye). Metal complex salt dyes), pigments (eg CI Pigment Red 48, CI Pigment Blue 1)
5), fillers (eg silica powder, polyethylene powder, fluorinated polyethylene powder, calcium carbonate powder, barium sulfate powder, etc.) plasticizers, cyclic acid anhydrides (eg phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, maleic anhydride) that enhance sensitivity. Acid, succinic anhydride, etc.) and a compound capable of increasing the acid generation efficiency of the compound capable of generating the acid (so-called sensitizer).

本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで、使用する溶媒
としては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、
メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエ
ーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−
メトキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなど
があり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用す
る。そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)
は、2〜50重量%である。このうち、本発明の組成
(a)+(b)+(c)の好ましい濃度(固形分)は0.1〜2
5重量%である。また、塗布量は用途により異なるが、
例えば感光性平版印刷版についていえば一般的に固形分
として0.5〜3.0g/mが好ましい。塗布量が少
くなるにつれ感光性は大になるが、感光膜の物性は低下
する。
The photo-soluble composition of the present invention is dissolved in a solvent that dissolves each of the above components and applied onto a support. Here, as the solvent used, ethylene dichloride, cyclohexanone,
Methyl ethyl ketone, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-
There are methoxyethyl acetate, toluene, ethyl acetate and the like, and these solvents are used alone or as a mixture. And the concentration in the above components (total solid content including additives)
Is 2 to 50% by weight. Of these, the composition of the present invention
The preferred concentration (solid content) of (a) + (b) + (c) is 0.1-2.
It is 5% by weight. Also, although the coating amount varies depending on the application,
For example, in the case of a photosensitive lithographic printing plate, generally, the solid content is preferably 0.5 to 3.0 g / m 2 . Although the photosensitivity increases as the coating amount decreases, the physical properties of the photosensitive film deteriorate.

本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
In the case of producing a lithographic printing plate using the photo-soluble composition of the present invention, the support thereof may be a hydrophilized aluminum plate, for example, a silicate-treated aluminum plate, an anodized aluminum plate, a grained aluminum plate, or a silicate electrode. There is an aluminum plate worn, other zinc plate,
It is possible to use stainless steel plates, chrome-treated steel plates, hydrophilicized plastic films and papers.

また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクター用フ
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。またホトレジストと
して上記以外の種々の支持体、例えば銅板、銅メッキ
板、ガラス板上に本発明の光可溶化組成物を塗布して使
用される。
Further, as a support suitable for manufacturing a proof plate for printing and a film for an overhead projector film 2nd original drawing, a transparent film such as polyethylene terephthalate film and triacetate film, and the surface of these plastic films are chemically or physically matted. I can give you what I did. Suitable supports for producing a photomask film include a polyethylene terephthalate film vapor-deposited with aluminum, an aluminum alloy or chromium, and a polyethylene terephthalate film provided with a coloring layer. Further, as the photoresist, various supports other than those described above, for example, a copper plate, a copper-plated plate, or a glass plate are coated with the photosolubilizing composition of the present invention and used.

本発明に用いられる活性光線の光源としては例えば水銀
灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカル
ランプ、カーボンアーク灯などがある。また高密度エネ
ルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走査
露光も本発明に使用することができる。このようなレー
ザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザー、アルゴ
ンレーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・カ
ドミウムレーザーなどが挙げられる。
Examples of the light source of actinic rays used in the present invention include a mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, a chemical lamp, and a carbon arc lamp. Scanning exposure with a high-density energy beam (laser beam or electron beam) can also be used in the present invention. Examples of such a laser beam include a helium / neon laser, an argon laser, a krypton ion laser, and a helium / cadmium laser.

本発明の光可溶性組成物に対する現像液としては、珪酸
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
二リン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第二リ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重量%、
好ましくは0.5〜5重量%になるように添加される。
The developer for the photosoluble composition of the present invention includes sodium silicate, potassium silicate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium triphosphate, dibasic sodium phosphate, ammonium triphosphate, and Aqueous solutions of inorganic alkaline agents such as ammonium diphosphate, sodium metasilicate, sodium bicarbonate, aqueous ammonia, etc. are suitable and their concentration is 0.1-10% by weight,
Preferably, it is added in an amount of 0.5 to 5% by weight.

また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
If necessary, an organic solvent such as a surfactant or alcohol can be added to the alkaline aqueous solution.

以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Synthesis Examples and Examples, but the content of the present invention is not limited thereto.

合成例1 1,8−オクタンジオール7.32g(0.0501mo
le)、テトラエチレングリコール9.71g(0.05
00mole)、ピリジン17.4g(0.220mole)、
脱水蒸留したトルエン80mの混合物に、ジクロロジ
メチルシラン12.9g(0.100mole)のトルエン
20m溶液を攪拌及び氷冷下、滴下ロートより30分
間かけて添加した。添加後50゜Cにて、5時間攪拌を続
けた。生成した白色の塩(ピリジンの塩酸塩)を濾別
し、トルエン溶液を減圧下濃縮した。その後、真空下
(約1mmHg)、約80゜Cに加熱しながら10時間乾燥さ
せた。無色透明液体、収量20.7g。NMRにより、
その構造が化合物例No.1であることを確認した。更に
VPO(Vapour Pressure Osmom
eter)により数平均分子量を測定したところ、
=1980であった。
Synthesis Example 1 7.32 g (0.0501 mo) of 1,8-octanediol
le), tetraethylene glycol 9.71 g (0.05
00mole), 17.4 g (0.220mole) of pyridine,
To a mixture of 80 m of dehydrated and distilled toluene, a solution of 12.9 g (0.100 mole) of dichlorodimethylsilane in 20 m of toluene was added from a dropping funnel over 30 minutes while stirring and cooling with ice. After the addition, stirring was continued for 5 hours at 50 ° C. The white salt (hydrochloride of pyridine) thus formed was filtered off, and the toluene solution was concentrated under reduced pressure. Then, it was dried under vacuum (about 1 mmHg) while heating at about 80 ° C. for 10 hours. Colorless transparent liquid, yield 20.7 g. By NMR,
It was confirmed that the structure was Compound Example No. 1. Furthermore, VPO (Vapour Pressure Osmom)
eter) was measured number-average molecular weight by, n
= 1980.

合成例2 合成例1における1,8−オクタンジオール、テトラエ
チレングリコールの代わりにそれぞれp−キシリレング
リコール5.53g(0.0400mole)、ポリエチレ
ングリコール#300(関東化学(株)製、平均分子量
300)18g(0.060mole)を使用し、合成例1
と同様に反応、後処理を行った。無色透明粘稠液体、収
量26.8g。NMRによりその構造が化合物例No.2
であることを確認し、VPOにより数平均分子量を測定
したところ=1730であった。
Synthetic Example 2 5.53 g (0.0400 mole) of p-xylylene glycol instead of 1,8-octanediol and tetraethylene glycol in Synthetic Example 1, polyethylene glycol # 300 (manufactured by Kanto Chemical Co., Inc., average molecular weight 300) ) 18 g (0.060 mole) was used and Synthesis Example 1
Reaction and post-treatment were performed in the same manner as in. Colorless transparent viscous liquid, yield 26.8 g. Its structure was determined to be Compound Example No. 2 by NMR.
Was confirmed, and the number average molecular weight was measured by VPO to find that n 1 was 1,730.

合成例3 ジヒドロキシエチルハイドロキノン19.9g(0.1
00mole)、ピリジン17.4g(0.220mole)、
脱水蒸留したトルエン80mの混合物に、ジクロロジ
メチルシラン12.9g(0.100mole)のトルエン
20m溶液を、合成例1と同様に添加し、その後、反
応、後処理を同様に行った。やや褐色がかった白色固
体、収量19.7g。NMRによりその構造が化合物例
No.3であることを確認し、VPOにより数平均分子量
を測定したところ=2040であった。
Synthesis Example 3 Dihydroxyethylhydroquinone 19.9 g (0.1
00mole), 17.4 g (0.220mole) of pyridine,
A solution of 12.9 g (0.100 mole) of dichlorodimethylsilane in 20 m of toluene was added to a mixture of 80 m of dehydrated and distilled toluene in the same manner as in Synthesis Example 1, and thereafter, reaction and post-treatment were performed in the same manner. Slightly brownish white solid, yield 19.7 g. The structure is a compound example by NMR
It was confirmed to be No. 3, and the number average molecular weight was measured by VPO to find that n 2 = 2040.

実施例1 厚さ0.24mmの2Sアルミニウム板を80゜Cに保っ
た第3燐酸ナトリウムの10%水溶液に3分間浸漬して
脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アルミン酸ナ
トリウムで約10秒間エッチングして、硫酸水素ナトリ
ウム3%水溶液でデスマット処理を行った。このアルミ
ニウム板を20%硫酸中で電流密度2A/dmにおい
て2分間陽極酸化を行いアルミニウム板を作製した。
Example 1 A 2S aluminum plate having a thickness of 0.24 mm was immersed in a 10% aqueous solution of sodium triphosphate maintained at 80 ° C for 3 minutes to be degreased, grained with a nylon brush, and then with sodium aluminate for about 10 seconds. It was etched and desmutted with a 3% aqueous solution of sodium hydrogen sulfate. The aluminum plate was anodized in 20% sulfuric acid at a current density of 2 A / dm 2 for 2 minutes to prepare an aluminum plate.

メチレングリコール100gに商業的に製造されたアル
カリ可溶性樹脂であるクレゾール−ホルムアルデヒドノ
ボラック樹脂50gを徐々に加え溶解した。次いで得ら
れる化合物をKOH水溶液(pH=9)1500gに攪
拌しながら徐々に加え、得られた沈殿生成物を濾過、洗
浄後乾燥して遊離した酸を除去した。メチルセロソル
ブ:水=90:10重量%の得られる化合物5%溶液の
25゜CにおけるpHは6.5であった。
To 100 g of methylene glycol, 50 g of a commercially produced cresol-formaldehyde novolak resin, which is an alkali-soluble resin, was gradually added and dissolved. Then, the obtained compound was gradually added to 1500 g of an aqueous KOH solution (pH = 9) while stirring, and the obtained precipitated product was filtered, washed, and dried to remove the liberated acid. The pH of a 5% solution of the resulting compound of methyl cellosolve: water = 90: 10% by weight at 25 ° C was 6.5.

同様にして、上記の処理を施していない商業的に製造さ
れたクレゾール−ホルムアルデヒドノボラック樹脂のメ
チルセロソルブ:水=90:10重量%の5%溶液の2
5゜CにおけるpHは2.8であった。
Similarly, a commercially produced cresol-formaldehyde novolak resin, methylcellosolve: water = 90: 10 wt.
The pH at 5 ° C was 2.8.

得られた本発明の遊離した酸を除去したアルカリ可溶性
樹脂であるクレゾール−ホルムアルデヒドノボラック樹
脂を添加した感光液を〔A〕−1、及び上記の処理を施
していない商業的に製造されたクレゾール−ホルムアル
デヒドノボラック樹脂を添加したものを比較例〔A〕−
2として同時に調整し、この感光液を陽極酸化されたア
ルミニウム板の上に塗布し、100゜Cで2分間乾燥し
て、それぞれの感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−
2を作製した。このときの塗布量は全て乾燥重量で2.
0g/mであった。
The resulting photosensitive solution containing a cresol-formaldehyde novolak resin, which is an alkali-soluble resin from which the free acid of the present invention has been removed, is [A] -1, and a commercially produced cresol which has not been subjected to the above-mentioned treatment. A comparative example in which formaldehyde novolac resin was added [A]-
No. 2 at the same time, and this photosensitive solution was applied on an anodized aluminum plate and dried at 100 ° C. for 2 minutes to obtain each photosensitive lithographic printing plate [A] -1 to [A]-
2 was produced. The coating amount at this time was 2.
It was 0 g / m 2 .

感光液〔A〕 次に別の比較例として下記の感光液〔B〕を感光液
〔A〕と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔B〕を作製
した。
Photosensitive solution [A] Next, as another comparative example, the following photosensitive solution [B] was applied in the same manner as the photosensitive solution [A] to prepare a photosensitive lithographic printing plate [B].

感光液〔B〕 乾燥後の塗布重量は2.0g/mであった。Photosensitive liquid [B] The coating weight after drying was 2.0 g / m 2 .

得られた感光性平版印刷版〔A〕、〔B〕を40゜C80
%RH、及び55゜C(約15%RH)の条件に、それぞ
れ5日間放置した。
The obtained photosensitive lithographic printing plates [A] and [B] were heated at 40 ° C80.
% RH and 55 ° C. (about 15% RH) were left for 5 days.

こうした感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−2及び
〔B〕の感光層上に濃度差0.15のグレースケールを
密着させ、10アンペアの高圧水銀灯で70cmの距離
から露光を行った。
A gray scale with a density difference of 0.15 was brought into close contact with the photosensitive layers of the photosensitive lithographic printing plates [A] -1 to [A] -2 and [B], and exposed from a distance of 70 cm with a high pressure mercury lamp of 10 amps. went.

本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版〔A〕−1〜〔A〕−2及び〔B〕を露光30秒
後にDP−3(商品名:富士写真フィルム(株)製)の
10倍希釈水溶液で25゜Cにおいて60秒間浸漬現像
し、濃度差0.15のグレースケールで5段目が完全に
クリアーとなる露光時間を求めたところ第1表に示すと
おりとなった。
The photosensitive lithographic printing plates [A] -1 to [A] -2 and [B] which were exposed to exhibit the excellent photosensitivity of the present invention were exposed to DP-3 after 30 seconds of exposure (trade name: Fuji Photo Film ( It was developed by immersion in a 10-fold diluted aqueous solution (produced by K.K. Co., Ltd.) for 60 seconds at 25 ° C., and the exposure time at which the fifth step was completely clear was obtained on a gray scale with a density difference of 0.15. Became.

表1からわかるように本発明の遊離した酸を除去したア
ルカリ可溶性樹脂を用いたものは、経時での安定性に優
れ、長期に保存が可能であり、かつ〔B〕のオルトナフ
トキノンジアジド系感光物より高感であった。
As can be seen from Table 1, those using the alkali-soluble resin from which the free acid of the present invention has been removed are excellent in stability over time, can be stored for a long period of time, and are of the orthonaphthoquinonediazide type photosensitive material of [B]. It was more sensitive than the ones.

実施例2 実施例1の感光液〔A〕−1の合成例2の代りに合成例
1及び合成例3のシリルエーテル樹脂を用い、実施例1
と同様にして感光性平版印刷版〔C〕及び〔D〕を作製
した。実施例1で示した方法により、濃度差0.15の
グレースケールで5段目が完全にクリアーとなる露光時
間を求めたところ感光性平版印刷版〔C〕は、第1表に
示したすべての条件で約4秒、感光性平版印刷版〔D〕
は約6秒であった。
Example 2 Instead of the synthesis example 2 of the photosensitive solution [A] -1 of the example 1, the silyl ether resin of the synthesis example 1 and the synthesis example 3 was used.
Photosensitive lithographic printing plates [C] and [D] were prepared in the same manner as in. According to the method described in Example 1, the exposure time at which the fifth step was completely clear on a gray scale with a density difference of 0.15 was obtained. The photosensitive lithographic printing plate [C] showed all the results shown in Table 1. Under the conditions of about 4 seconds, photosensitive lithographic printing plate [D]
Was about 6 seconds.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−212436(JP,A) 特開 昭60−10247(JP,A) 特開 昭61−167945(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-57-212436 (JP, A) JP-A-60-10247 (JP, A) JP-A-61-167945 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(a)活性光線の照射により酸を発生し得る
化合物0.01〜10重量%、(b)分子中に下記一般式
(I)で示される、酸により分解し得るシリルエーテル
基を少なくとも1個有する化合物10〜40重量%、及
び(c)メチルセロソルブ:水=90:10重量%の5%
溶液の25゜CにおけるpHが3.5〜9.0のアルカリ
可溶性樹脂60〜90重量%からなる光可溶化組成物。
1. (a) 0.01 to 10% by weight of a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays, and (b) a silyl ether capable of being decomposed by an acid represented by the following general formula (I) in the molecule. 10 to 40% by weight of a compound having at least one group, and (c) 5% of methylcellosolve: water = 90: 10% by weight.
A photosolubilizing composition comprising 60 to 90% by weight of an alkali-soluble resin having a pH of 3.5 to 9.0 at 25 ° C.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4348471A (en) * 1981-06-15 1982-09-07 Polychrome Corporation Positive acting composition yielding pre-development high visibility image after radiation exposure comprising acid free novolak, diazo oxide and acid sensitive dyestuff
JPS6010247A (en) * 1983-06-29 1985-01-19 Fuji Photo Film Co Ltd Photosolubilizable composition
JPS6037549A (en) * 1983-08-10 1985-02-26 Fuji Photo Film Co Ltd Photosolubilizable composition
JPS60121446A (en) * 1983-12-06 1985-06-28 Fuji Photo Film Co Ltd Photosolubilizable composition
JPS61141442A (en) * 1984-12-14 1986-06-28 Fuji Photo Film Co Ltd Photosoluble composition
JPS61151643A (en) * 1984-12-26 1986-07-10 Fuji Photo Film Co Ltd Photosoluble composition
JPS61167945A (en) * 1985-01-21 1986-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd Photo-soluble composition

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