JPH0671727B2 - Slicing machine and control method thereof - Google Patents

Slicing machine and control method thereof

Info

Publication number
JPH0671727B2
JPH0671727B2 JP63007056A JP705688A JPH0671727B2 JP H0671727 B2 JPH0671727 B2 JP H0671727B2 JP 63007056 A JP63007056 A JP 63007056A JP 705688 A JP705688 A JP 705688A JP H0671727 B2 JPH0671727 B2 JP H0671727B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting tool
displacement amount
rotation speed
cutting
blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP63007056A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH01182011A (en
Inventor
桂司 川口
辰己 濱崎
慶宏 田寺
幸雄 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mazda Motor Corp
Original Assignee
Mazda Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mazda Motor Corp filed Critical Mazda Motor Corp
Priority to JP63007056A priority Critical patent/JPH0671727B2/en
Priority to KR1019880017907A priority patent/KR930010152B1/en
Priority to US07/297,473 priority patent/US5025593A/en
Priority to DE19893901236 priority patent/DE3901236C2/en
Publication of JPH01182011A publication Critical patent/JPH01182011A/en
Publication of JPH0671727B2 publication Critical patent/JPH0671727B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D5/00—Arrangements for operating and controlling machines or devices for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
    • B26D5/38—Arrangements for operating and controlling machines or devices for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting with means operable by the moving work to initiate the cutting action
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/12—Adaptive control, i.e. adjusting itself to have a performance which is optimum according to a preassigned criterion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
    • B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
    • B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、例えば、シリコンインゴツトからシリコン
ウエハを薄く切り出す際に用いられるスライシングマシ
ンおよびその制御方法に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a slicing machine used for thinly cutting a silicon wafer from a silicon ingot and a control method thereof.

［従来の技術］ 一般に、スライシングマシンにおいては、種々の切断方
式が用いられており、例えば、円形状内周切刃を有する
切断工具を工具取付け台に取付けて、この切断工具を回
転駆動し、ワークに対してこの回転している切断工具を
送り移動させて、あるいは切断工具に対してワークを送
り移動させて切断させる技術がある。このような切断方
式においては、シリコンインゴツトからシリコンウエハ
を効率良く薄く切り出すことが可能となるものである。[Prior Art] Generally, in a slicing machine, various cutting methods are used. For example, a cutting tool having a circular inner peripheral cutting edge is attached to a tool mount, and the cutting tool is rotationally driven. There is a technique in which the rotating cutting tool is fed and moved with respect to the workpiece, or the workpiece is fed and moved with respect to the cutting tool to perform cutting. In such a cutting method, a silicon wafer can be efficiently and thinly cut from a silicon ingot.

しかしながら、このような切断方式においては、切刃と
ワークとの間の切削弧長の変化に伴う切削抵抗により、
切刃が回転軸方向に沿つて変位、換言すれば、撓むこと
になり、切断されたワークの切断面における真直度が悪
くなるという問題点が指摘されている。However, in such a cutting method, due to the cutting resistance due to the change in the cutting arc length between the cutting edge and the work,
It has been pointed out that the cutting blade is displaced along the direction of the rotation axis, in other words, is bent, and the straightness of the cut surface of the cut work is deteriorated.

このため、従来のスライシングマシンにおいては、実開
昭62−70904号公報に示されるように、ワーク切断中に
ブレードの撓みを測定し、この測定された撓みが大きく
なると、切込み速度を遅くして、切断の真直度を向上さ
せるものが知られている。Therefore, in the conventional slicing machine, as shown in Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-70904, the deflection of the blade is measured during cutting of the workpiece, and when the measured deflection becomes large, the cutting speed is reduced. , Which improve the straightness of cutting are known.

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来構成においては、ブレー
ドの回転数が一定であるため、、切込み速度を遅くして
も、ブレードの撓み方向を修正する力が不十分であり、
ワーク切断面の面精度を向上し難い問題点を有してい
る。[Problems to be Solved by the Invention] However, in such a conventional configuration, since the rotation speed of the blade is constant, even if the cutting speed is slowed, the force for correcting the bending direction of the blade is insufficient. Yes,
There is a problem that it is difficult to improve the surface accuracy of the work cut surface.

この発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、こ
の発明の目的は、簡単な構成で、安価に、被加工物の加
工面の面精度を向上させることの出来るスライシングマ
シンおよびその制御方法を提供することである。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is a slicing machine capable of improving the surface accuracy of a processed surface of a work piece with a simple configuration and at low cost, and a control method thereof. Is to provide.

［課題を解決するための手段］ 上述した課題を解決し、目的を達成するため、この発明
に係わるスライシングマシンは、周囲に切刃を有する切
断工具と、この切断工具が取付けられ、回転駆動可能に
支持されると共に、回転数に応じて回転軸方向に沿つて
変位するように支持された回転体と、前記切断工具の近
傍に所定間隔を有して配置され、この切断工具の変位量
を検出する検出手段と、前記切断工具を予め設定された
所定の回転数で回転させたときの該切断工具の変位量で
ある基準変位量を記憶しておく第１の記憶手段と、前記
回転体に支持される切断工具に対応して、回転体の回転
数とこの回転数に応じた切断工具の変位量との相関関係
を記憶しておく第２の記憶手段と、該第２の記憶手段に
記憶されている情報に基づいて、前記検出手段において
検出された変位量と前記基準変位量との偏差が零となる
ような前記回転体の補正回転数を算出する補正演算手段
と、この補正演算手段で算出された補正回転数で、前記
回転体の回転数を修正する制御手段とを具備する事を特
徴としている。[Means for Solving the Problem] In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, a slicing machine according to the present invention has a cutting tool having a cutting edge around the cutting tool, and the cutting tool is attached to the slicing machine and can be rotationally driven. And a rotating body supported so as to be displaced along the rotation axis direction according to the number of revolutions, and arranged with a predetermined interval in the vicinity of the cutting tool. A detecting unit for detecting the first rotating unit, a first storing unit for storing a reference displacement amount that is a displacement amount of the cutting tool when the cutting tool is rotated at a preset number of rotations; Second storage means for storing the correlation between the rotational speed of the rotating body and the displacement amount of the cutting tool corresponding to the rotational speed, corresponding to the cutting tool supported by the second storage means. The detection based on the information stored in The correction calculation means for calculating the correction rotation speed of the rotating body such that the deviation between the displacement amount detected by the means and the reference displacement quantity becomes zero, and the correction rotation speed calculated by the correction calculation means, And a control means for correcting the rotation speed of the rotating body.

また、この発明に係わるスライシングマシンにおいて、
前記補正算出手段で算出された補正回転数が、所定回転
数を越えた時点で、切断工具のドレス信号を発するドレ
ス時期検出手段を更に具備する事を特徴ととしている。Further, in the slicing machine according to the present invention,
It is characterized by further comprising dressing time detection means for issuing a dressing signal of the cutting tool when the corrected rotation speed calculated by the correction calculation means exceeds a predetermined rotation speed.

また、この発明に係わるスライシングマシンの制御方法
は、回転駆動可能に支持された回転体に、周囲に切刃を
有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿つて
変位するように支持し、前記回転体に支持される切断工
具に対応して、回転体の回転数とこの回転数に応じた切
断工具の変位量との相関関係を記憶し、前記切断工具を
予め設定された所定の回転数で回転させたときの該切断
工具の変位量である基準変位量を記憶し、前記切断工具
の切断時の変位量を検出し、この検出した変位量と前記
基準変位量との偏差を零にするように、前記相関関係に
基づいて前記回転体の回転数を制御する事を特徴として
いる。Further, in the control method of the slicing machine according to the present invention, a cutting tool having a cutting blade on its periphery is supported on a rotating body supported so as to be rotatable so as to be displaced along the rotation axis direction according to the number of rotations. Then, in association with the cutting tool supported by the rotating body, the correlation between the number of revolutions of the rotating body and the amount of displacement of the cutting tool corresponding to this number of revolutions is stored, and the cutting tool is preset to a predetermined value. The reference displacement amount, which is the displacement amount of the cutting tool when rotated at a rotational speed of, is stored, the displacement amount during cutting of the cutting tool is detected, and the deviation between the detected displacement amount and the reference displacement amount is stored. The number of rotations of the rotating body is controlled based on the correlation so as to zero.

［作用］ 以上のように構成されたこの発明に係わるスライシング
マシンにおいては、切断工具の切断時の変位が、検出手
段により検出されると、この検出手段において検出され
た変位量を基準変位量に一致させるような回転体の補正
回転数が補正演算手段において算出され、制御手段によ
りこの算出された補正回転数で回転体の回転数が修正さ
れることになる。このようにして、切断工具の変位の基
準変位量からのズレは実質的に発生しないように制御さ
れ、被加工物の加工面の面精度は良好に向上されること
になる。[Operation] In the slicing machine according to the present invention configured as described above, when the displacement of the cutting tool at the time of cutting is detected by the detection means, the displacement amount detected by this detection means is used as the reference displacement amount. The corrected rotation speed of the rotor is calculated by the correction calculation means so that the rotation speed of the rotor is corrected by the calculated correction speed. In this way, the displacement of the cutting tool from the reference displacement amount is controlled so that it does not substantially occur, and the surface accuracy of the machined surface of the workpiece is favorably improved.

［実施例］ 以下に、この発明に係わるスライシングマシンおよびそ
の制御方法の一実施例を添付図面を参照して、詳細に説
明する。[Embodiment] An embodiment of a slicing machine and a control method thereof according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

第１図に示すように、この一実施例のスライシングマシ
ン10は、被加工物としてのシリコンインゴツトSIを薄く
切り出してシリコンウエハを形成するものであり、図示
しない土台上に固定された基台12と、この基台12上に立
設されたスタンド14と、このスタンド14に並設された状
態で、基台12上にスライド可能に取り付けられたスライ
ド台16とを備えている。このスライド台16は、スタンド
14に対して進退するように、図中左右方向に沿つてスラ
イドするよう構成されている。As shown in FIG. 1, the slicing machine 10 of this embodiment is for cutting a silicon ingot SI as a workpiece into thin pieces to form a silicon wafer, and a base fixed on a base not shown. 12, a stand 14 standing upright on the base 12, and a slide base 16 slidably mounted on the base 12 while being juxtaposed on the stand 14. This slide stand 16 is a stand
It is configured to slide along the left-right direction in the figure so as to move back and forth with respect to 14.

このスタンド14の上部には、図中左右方向に離間した状
態で一対のプーリ18a,18bが回転自在に軸支されてお
り、これらプーリ18a,18bには、ワイヤ20が懸架されて
いる。このワイヤ20の図中左端には、ウエイト22が接続
され、また、図中右端、即ち、スライド台16側の端部に
は、リフト台24が接続されている。A pair of pulleys 18a and 18b are rotatably supported on the upper portion of the stand 14 so as to be separated from each other in the left-right direction in the figure, and a wire 20 is suspended on the pulleys 18a and 18b. A weight 22 is connected to the left end of the wire 20 in the drawing, and a lift base 24 is connected to the right end of the wire, that is, the end on the slide base 16 side.

このリフト台24には、主軸26が水平方向に沿つて延出し
た状態で、軸受機構28を介して水平軸回りに回転自在に
軸支されている。この軸受機構28の上部には、主軸26を
回転駆動させるための第１の駆動モータ30が載置されて
いる。一方、主軸26の端部には従動プーリ32が同軸に固
着され、第１の駆動モータ30の駆動軸30aには駆動プー
リ34が同軸に固着されている。これら従動プーリ32と駆
動プーリ34との間には、エンドレスベルト36が捲回され
ている。このようにして、第１の駆動モータ30の起動に
伴ない、主軸26は回転駆動されることになる。A main shaft 26 is horizontally rotatably supported on the lift base 24 via a bearing mechanism 28 with the main shaft 26 extending along the horizontal direction. A first drive motor 30 for rotating the main shaft 26 is mounted on the upper portion of the bearing mechanism 28. On the other hand, a driven pulley 32 is coaxially fixed to the end of the main shaft 26, and a drive pulley 34 is coaxially fixed to the drive shaft 30a of the first drive motor 30. An endless belt 36 is wound between the driven pulley 32 and the drive pulley 34. In this way, the main shaft 26 is rotationally driven along with the activation of the first drive motor 30.

一方、上述したリフト台24には、上下方向に延出したボ
ールねじ38が螺合した状態で貫通しており、このボール
ねじ38の上端には、スタンド14の上面に取り付けられた
第２の駆動モータ40の駆動軸40aに一体的に連結されて
いる。ここで、上述したウエイト22は、リフト台24、主
軸26、軸受機構28、第１の駆動モータ30を合わせた重量
と略同じ重量に設定されている。このようにして、第２
の駆動モータ40は、低負荷で、主軸26を上下方向に沿つ
て移動駆動することが出来ることになる。On the other hand, a ball screw 38 extending in the vertical direction is passed through the lift base 24 in a screwed state, and the upper end of the ball screw 38 is provided with a second screw attached to the upper surface of the stand 14. It is integrally connected to the drive shaft 40a of the drive motor 40. Here, the weight 22 described above is set to approximately the same weight as the combined weight of the lift base 24, the main shaft 26, the bearing mechanism 28, and the first drive motor 30. In this way, the second
The drive motor 40 can drive the main shaft 26 along the vertical direction with a low load.

この主軸26の図中右端には、テンシヨンデイスク42が同
軸に一体に取り付けられている。このテンシヨンデイス
ク42のスライド台16側の端面は、全面に渡つて開放され
ており、ここには円板状の薄板からなるブレード44が垂
直方向に沿つて延出するように、緊張された状態で張設
されている。このブレード44は、中央部分に開口が形成
されており、所謂ドーナツツ状を呈している。このブレ
ード44の内周縁には、全周に渡つて切刃（内周刃）46が
形成されている。このブレード44と切刃46とは、シリコ
ンインゴツトSIを薄く切り取る（スライス）するための
切断工具を構成している。A tension disk 42 is coaxially and integrally attached to the right end of the main shaft 26 in the figure. The end face of the tension disk 42 on the slide base 16 side is open over the entire surface, and the blade 44 made of a disc-shaped thin plate is tensioned so as to extend along the vertical direction. It is stretched in the state. The blade 44 has an opening formed in the central portion and has a so-called donut shape. A cutting edge (inner peripheral blade) 46 is formed on the entire inner circumference of the blade 44. The blade 44 and the cutting edge 46 form a cutting tool for thinly slicing the silicon ingot SI.

一方、前述したスライド台16上には、シリコンインゴツ
トSIが支持されるスライドテーブル48が、図中左右方向
に沿つてスライド自在に取り付けられている。また、こ
のスライド台16の図中右端には、第３の駆動モータ50が
載置されており、この第３の駆動モータ50の駆動軸50a
は、図中左右方向に沿つて延出するように設定されてい
る。この駆動軸50aには、これと一体回転するように、
ボールねじ52が接続されている。そして、このボールね
じ52は、スライドテーブル48に螺合している。このよう
にして、第３の駆動モータ50の起動に応じて、スライド
テーブル48は、図中左右方向に沿つて、換言すれば、切
断工具に対して進退するように駆動されることになる。On the other hand, on the slide table 16 described above, a slide table 48 for supporting the silicon ingot SI is mounted slidably along the left-right direction in the figure. A third drive motor 50 is mounted on the right end of the slide base 16 in the figure, and the drive shaft 50a of the third drive motor 50 is mounted.
Are set so as to extend along the left-right direction in the figure. In order to rotate integrally with this drive shaft 50a,
The ball screw 52 is connected. The ball screw 52 is screwed onto the slide table 48. In this way, in response to the activation of the third drive motor 50, the slide table 48 is driven along the horizontal direction in the figure, in other words, so as to advance and retract with respect to the cutting tool.

ここで、このスライド台16は、テンシヨンデイスク42へ
の切断工具の取り外しの際に、この取り外し動作を邪魔
しないようにするために、テンシヨンデイスク42から離
間するようにスライドされ、一方、スライドテーブル48
は、シリコンインゴツトSIのスライス動作の際に、スラ
イド台16を固定した状態で、スライスする厚みに対応し
た距離だけ、テンシヨンデイスク42に向けてスライドさ
れるものである。Here, the slide base 16 is slid away from the tension disc 42 so as not to disturb the detaching operation when the cutting tool is detached from the tension disc 42. Table 48
In the slicing operation of the silicon ingot SI, the slide base 16 is fixed, and the silicon ingot SI is slid toward the tension disk 42 by a distance corresponding to the thickness to be sliced.

尚、前述した切断工具を構成するドーナツツ状のプレー
ド44は、１mm以下の極めて薄い鋼板から形成されてお
り、内周切刃46は、ダイヤモンド粒子をバインダを介し
て燒結させたものから構成されている。The doughnut-shaped blade 44 constituting the above-mentioned cutting tool is formed of an extremely thin steel plate of 1 mm or less, and the inner cutting edge 46 is formed by sintering diamond particles through a binder. There is.

また、このブレード44は、上述したように、極めて薄き
ものであるので、例え、これをテンシヨンデイスク42に
所定の張力で緊張させた状態で張設させたとしても、回
転軸方向に沿つて変位する可能性がある。即ち、主軸26
の下降に伴ない切刃46がシリコンインゴツトSIに当接
し、これをスライスする際において、切刃46とシリコン
インゴツトSIとの間に生じる切削抵抗の変化により、ブ
レード44は図中左右方向に沿つて変位することになる。Further, since the blade 44 is extremely thin as described above, even if the blade 44 is stretched in the tension disk 42 in a state of being tensioned with a predetermined tension, the blade 44 extends along the rotation axis direction. It may be displaced. That is, the spindle 26
The cutting edge 46 comes into contact with the silicon ingot SI as it descends, and when slicing this, due to a change in cutting resistance between the cutting edge 46 and the silicon ingot SI, the blade 44 moves in the left-right direction in the drawing. Will be displaced along with.

このブレード44の変位量を検出するため、このブレード
44に対して非接触な状態で変位検出機構54が設けられて
いる。この変位検出機構54は、ブレード44の両側面に夫
々対向するように配置された第１及び第２の変位計54a,
54bを備えている。各変位計54a,54bは、所謂磁気センサ
から形成され、非接触の状態で、ブレード44の対応する
表面までの距離を検出するように構成されている。To detect the amount of displacement of this blade 44,
The displacement detection mechanism 54 is provided in a non-contact state with respect to 44. The displacement detecting mechanism 54 includes first and second displacement gauges 54a, 54a, 54a, 54b arranged so as to oppose to both side surfaces of the blade 44, respectively.
It has 54b. Each displacement meter 54a, 54b is formed of a so-called magnetic sensor, and is configured to detect the distance to the corresponding surface of the blade 44 in a non-contact state.

尚、これら第１及び第２の変位計54a,54bは、共に減算
器56に接続されており、この減算器56において、両変位
計54a,54bからの出力は、互いに減じられるよう構成さ
れている。このようにして、例えば、各変位計54a,54b
からの出力に変動要素（ノイズ）が含まれていたとして
も、その変動要素は同一の周期及び振幅を有するもので
あるから、減算により差し引かれ、検出値から削減す
る。The first and second displacement gauges 54a, 54b are both connected to a subtractor 56, and the output from both displacement gauges 54a, 54b is configured to be subtracted from each other in the subtractor 56. There is. In this way, for example, each displacement meter 54a, 54b
Even if the output from the variable output device includes a variable element (noise), since the variable element has the same period and amplitude, it is subtracted and subtracted from the detected value.

即ち、第１の変位計54aからは、第１の出力信号A1が、
第２の変位計54bからは、第２の出力信号A2が夫々出力
される場合において、第１の出力信号A1は、A1＝L1＋
Ｎ、第２の出力信号A2は、A2＝L2＋Ｎで夫々表わすこと
が出来るものである。ここで、符合L1,L2は、夫々本来
の検出出力分（即ち、各変位計とブレードの対応する側
面との間の距離に応じた値）であり、符合Ｎは、上述し
たノイズ分を示している。That is, the first output signal A 1 from the first displacement meter 54a is
When the second output signal A 2 is output from the second displacement meter 54b, the first output signal A 1 is A 1 = L 1 +
The N and second output signals A 2 can be represented by A 2 = L 2 + N, respectively. Here, the codes L 1 and L 2 are the original detection output amounts (that is, the values corresponding to the distances between the respective displacement meters and the corresponding side surfaces of the blade), and the code N is the noise component described above. Is shown.

そして、減算器56において、A1−A2の演算が実行される
ことにより、この減算器56からは、（L1＋Ｎ）−（L2＋
Ｎ）＝L1−L2の演算結果が出力されることになる。この
ように、この減算器56からの出力には、ノイズ分Ｎが含
まれていないものである。Then, the subtractor 56 executes the calculation of A 1 −A 2 , so that the subtracter 56 outputs (L 1 + N) − (L 2 +
N) = L 1 −L 2 calculation result is output. As described above, the output from the subtractor 56 does not include the noise component N.

以下に、第２図を参照して、この一実施例における、ス
ライシング時でのブレード44の撓みを零に維持するため
のフイードバツク制御系の構成を説明する。The configuration of the feed back control system for keeping the deflection of the blade 44 during slicing at zero in this embodiment will be described below with reference to FIG.

上述した減算器56の出力端は、図示するように、較正装
置58と、基準変位記憶装置60と、オペアンプ62の反転端
とに、各々接続されている。この、基準変位記憶装置60
の出力端は、オペアンプ62の非反転入力端に接続されて
いる。The output terminal of the subtracter 56 described above is connected to the calibration device 58, the reference displacement storage device 60, and the inverting terminal of the operational amplifier 62, respectively, as shown. This reference displacement storage device 60
The output terminal of is connected to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 62.

ここで、上述した較正装置58は、記憶手段の一態様であ
り、第１の駆動モータ30の回転信号が入力されており、
この較正装置58は、図示していないが、入力された回転
信号に基づき主軸26の回転数を検知する第１の検知器
と、減算器56から入力された変位信号に基づきブレード
44の変位量を検知する第２の検知器とを備えている。そ
して、この較正装置58は、第１及び第２の検知器からの
検知結果に基づいて、ブレード44の回転数と撓みとの間
の相関関係を示す値、換言すれば、このフイードバツク
系における伝達係数ｋを規定して記憶するように構成さ
れている。Here, the above-described calibration device 58 is one mode of the storage means, and receives the rotation signal of the first drive motor 30,
Although not shown, the calibration device 58 includes a first detector that detects the rotation speed of the spindle 26 based on the input rotation signal, and a blade based on the displacement signal input from the subtractor 56.
And a second detector for detecting the displacement amount of 44. Then, the calibration device 58 is based on the detection results from the first and second detectors, and is a value indicating the correlation between the rotational speed and the deflection of the blade 44, in other words, the transmission in the feedback system. It is configured to define and store the coefficient k.

即ち、ブレード44は、回転に伴なう遠心力により撓む
（変位）ことになるが、この伝達係数ｋを知ることによ
り、逆に、一旦撓んだブレード44を所定の初期位置まで
復帰させるに必要な回転数の増減量を算出することが可
能となる。That is, the blade 44 bends (displaces) due to the centrifugal force accompanying the rotation, but by knowing this transmission coefficient k, on the contrary, the blade 44 once bent returns to a predetermined initial position. It is possible to calculate the increase / decrease amount of the rotation speed required for

この較正装置58における伝達係数ｋを求める較正動作
（キヤリブレーシヨン）は、シリコンインゴツトSIをス
ライスしない状態で、切断工具を空回しした際の、ブレ
ード44の回転数（即ち、主軸26の回転数）と、撓み量
（変位量）との関係から求められるものであり、例え
ば、第３図に示すように求められるものである。The calibration operation (calibration) for obtaining the transmission coefficient k in the calibration device 58 is performed by rotating the blade 44 (that is, the rotation of the main shaft 26) when the cutting tool is idle while the silicon ingot SI is not sliced. It is obtained from the relationship between the number) and the bending amount (displacement amount), and is obtained as shown in FIG. 3, for example.

この伝達係数ｋは、夫々のブレード44毎に異なるもので
あり、換言すれば、各ブレード44が固有に有する値であ
り、しかも、テンシヨンデイスク42の構造やテンシヨン
デイスク42への取り付けの際の張力によつても異なるも
のである。このようにして、この較正動作は、ブレード
44を付け替える毎に実行され、それ毎に伝達係数ｋを規
定し直し、記憶し直すようになされている。ここで、こ
の伝達係数ｋは、第３図から明かなように、定数では無
く、所定の関数として表されるものである。This transmission coefficient k is different for each blade 44, in other words, is a value that each blade 44 has uniquely, and moreover, when the structure of the tension disk 42 or the attachment to the tension disk 42 is performed. It also depends on the tension. In this way, this calibration operation
This is executed every time 44 is replaced, and the transfer coefficient k is redefined and stored again for each replacement. Here, as is apparent from FIG. 3, the transfer coefficient k is not a constant but a predetermined function.

尚、この較正装置58の出力端は、後述する演算装置64に
接続され、この演算装置64に伝達係数ｋが出力されるよ
うに構成されている。The output end of the calibration device 58 is connected to a calculation device 64, which will be described later, so that the transfer coefficient k is output to the calculation device 64.

一方、上述した基準変位記憶装置60は、シリコンインゴ
ツトSIのスライシング動作に際して採用される回転数、
例えば、この一実施例においては、1,200r.pm..で主軸2
6が回転される際に発生するブレード44の変位量（燒）
を記憶し、常時、オペアンプ62の非反転入力端子出力に
するものである。即ち、実際のスライシング動作におい
ては、第１の駆動モータ30が起動して主軸26の回転数
が、この1,200r.p.m.に至つた後に、第２の駆動モータ4
0が起動して、切断工具を下降させることになるが、こ
の基準変位量は、主軸26の回転数が、所定の設定数に至
つた時点で、第２の駆動モータ40が起動する前の段階で
のブレード44の変位量から規定されるものである。On the other hand, the reference displacement storage device 60 described above, the number of rotations adopted during the slicing operation of the silicon ingot SI,
For example, in this one embodiment, the spindle 2 at 1,200 r.pm ..
Displacement amount (blade) of blade 44 that occurs when 6 is rotated
Is stored and always output as the non-inverting input terminal of the operational amplifier 62. That is, in the actual slicing operation, after the first drive motor 30 is started and the rotation speed of the main shaft 26 reaches the 1,200 rpm, the second drive motor 4 is driven.
0 starts and the cutting tool is lowered, but this reference displacement amount is the value before the second drive motor 40 is started when the number of rotations of the spindle 26 reaches a predetermined set number. It is defined from the amount of displacement of the blade 44 at each stage.

換言すれば、スライシング動作に際して、ブレード44が
撓むと、この基準変位量から検出変位量がずれ込むこと
になる。そして、このずれ量を補正すべく、これに対抗
するようにブレード44を変位させることにより、ブレー
ド44は初期状態に維持され、シリコンインゴツトSIの切
断面は、直立度を良好に維持された状態で形成されるこ
とになる。In other words, when the blade 44 bends during the slicing operation, the detected displacement amount deviates from the reference displacement amount. Then, in order to correct this deviation amount, by displacing the blade 44 so as to counter this, the blade 44 is maintained in the initial state, the cut surface of the silicon ingot SI, the uprightness was maintained good. It will be formed in the state.

ここで、この一実施例においては、ブレード44のずれ量
を補正すべく、これに対抗するようにブレード44を変位
させる手段を、主軸26の回転数を制御することにより実
行するように構成されている。Here, in this one embodiment, in order to correct the deviation amount of the blade 44, means for displacing the blade 44 so as to oppose it is configured to be executed by controlling the rotation speed of the main shaft 26. ing.

即ち、上述したように、オペアンプ62には、基準変位記
憶装置60と減算器56とからの出力信号が夫々入力されて
おり、ここで、両出力の偏差が取られるようになされて
いる。換言すれば、基準変位量と現在の検出変位量との
偏差が、このオペアンプ62から出力されることになる。That is, as described above, the output signals from the reference displacement storage device 60 and the subtractor 56 are input to the operational amplifier 62, and the deviation between the two outputs is taken here. In other words, the deviation between the reference displacement amount and the current detected displacement amount is output from this operational amplifier 62.

このオペアンプ62の出力端は、演算装置64に接続されて
おり、この演算装置64は、既に基準変位量と現在の検出
変位量との偏差を減じるに必要な回転数の変化量（補正
回転数）を、較正装置58において予め規定された伝達係
数ｋから演算するよう構成されている。即し、この演算
装置64においては、ブレード44を切削抵抗等により変位
した量と同じ値の変位量だけ、変位した方向とは逆方向
に変位するに必要な、主軸26の回転数を補正するための
補正回転数が演算されることになる。The output terminal of the operational amplifier 62 is connected to a computing device 64, which computes the amount of change in the rotational speed (correction rotational speed) required to reduce the deviation between the reference displacement amount and the current detected displacement amount. ) Is calculated in the calibration device 58 from a predefined transfer coefficient k. Accordingly, in the arithmetic device 64, the rotational speed of the spindle 26 necessary for displacing the blade 44 in the direction opposite to the displacing direction is corrected by the displacement amount of the same value as the displacement amount of the blade 44 due to cutting resistance or the like. Therefore, the corrected rotation number for calculating is calculated.

この演算装置64の出力端は、第１の駆動モータ30用の制
御装置66に接続されている。この制御装置66は、演算装
置64において演算された所の、基準変位量と現在の検出
変位量との偏差を減じるに必要な回転数の変化量（補正
回転数）を示す信号を受けて、第１の駆動モータ30を、
この変化量に応じて回転数を変化させるように回転駆動
制御するように構成されている。The output terminal of the arithmetic unit 64 is connected to the control unit 66 for the first drive motor 30. The control device 66 receives a signal indicating the amount of change in the rotational speed (corrected rotational speed) required to reduce the deviation between the reference displacement amount and the current detected displacement amount, which is calculated by the arithmetic device 64. The first drive motor 30,
The rotational drive is controlled so that the rotational speed is changed according to the amount of change.

一方、この演算装置64には、ここで算出された補正回転
数が、所定回転数を越えた時点で、切断工具のドレス信
号を発するドレス時期検出手段としてのドレス時期検出
装置68が接続されている。即ち、切刃46が鈍つてくる
と、切削抵抗が増大し、ブレード44が撓み易くなる。こ
こで、ブレード44の撓みが所定の限界値（閾値）を越え
た場合に、切断されたワークの真直度精度が公差を越え
てワーク形状不良となる。従つて、撓みが閾値を越えた
場合に、切刃46の切れ味を元に戻すために、ドレス（研
ぎ直し）を実行するようにしなければならない。ここ
で、上述した所定回転数は、この撓みの閾値に対応する
回転数として規定されているものである。On the other hand, a dressing time detection device 68 as a dressing time detection means for outputting a dressing signal of the cutting tool is connected to the arithmetic device 64 when the corrected rotation speed calculated here exceeds a predetermined rotation speed. There is. That is, when the cutting edge 46 becomes dull, the cutting resistance increases, and the blade 44 easily bends. Here, when the deflection of the blade 44 exceeds a predetermined limit value (threshold value), the accuracy of straightness of the cut work exceeds the tolerance, resulting in a defective work shape. Therefore, when the deflection exceeds the threshold value, dressing (re-sharpening) must be performed in order to restore the sharpness of the cutting edge 46. Here, the above-mentioned predetermined number of rotations is defined as the number of rotations corresponding to the threshold value of this bending.

このドレス時期検出装置68からドレス信号が出力される
ことにより、図示しないドレス指示器が例えば点灯し、
操作者にこの切断工具のドレス時期が到来したことを認
識させるものである。また、このドレス信号により図示
しない自動ドレス装置を起動させせ自動的にドレスでき
るようにしても良い。尚、このドレス動作は、図示しな
いホワイトストーンを適量削ることにより実行されるも
のである。By outputting a dress signal from the dress time detection device 68, for example, a dress indicator (not shown) lights up,
The operator is made aware that the time for dressing the cutting tool has come. In addition, an automatic dressing device (not shown) may be activated by this dressing signal to automatically dress. The dressing operation is executed by cutting an appropriate amount of white stone (not shown).

以上のように構成されるスライシングマシン10における
ブレード44の回転軸方向に沿う変位（撓み）を制御する
制御方法について、以下に説明する。A control method for controlling the displacement (deflection) of the blade 44 along the rotation axis direction in the slicing machine 10 configured as described above will be described below.

先ず、テンシヨンデイスク42に新たなブレード44が付け
替えられると、この付け替え動作毎に、較正動作が実行
される。First, when a new blade 44 is replaced on the tension disk 42, a calibration operation is executed for each replacement operation.

即ち、スライド台16がテンシヨンデイスク42から大きく
引き離され、新たなブレード44がテンシヨンデイスク42
に装着された時点で、第１の駆動モータ30のみを回転駆
動し、切刃46によりシリコンインゴツトSIをスライシン
グしない状態で、切断工具を空回転させる。この切断工
具が空回転している状態における主軸26の回転数、即
ち、ブレード44の回転数と、減算器56からのブレード44
の回転数に応じた変位量、即ち、撓み量との相関関係か
ら規定される伝達係数ｋを、較正装置58において決定
し、ここに記憶する。That is, the slide base 16 is largely separated from the tension disk 42, and the new blade 44 is moved to the tension disk 42.
When it is mounted on the cutting tool, only the first drive motor 30 is rotationally driven to idle the cutting tool without cutting the silicon ingot SI by the cutting blade 46. The rotation speed of the main shaft 26 in a state where the cutting tool is idle, that is, the rotation speed of the blade 44, and the blade 44 from the subtractor 56.
A displacement coefficient according to the number of revolutions of, that is, a transfer coefficient k defined by a correlation with a deflection amount is determined in the calibration device 58 and stored therein.

また、スライシング動作において用いられる主軸26の回
転数におけるブレード44の変位が、基準変位として基準
変位記憶装置60に記憶される。Further, the displacement of the blade 44 at the rotation speed of the main shaft 26 used in the slicing operation is stored in the reference displacement storage device 60 as the reference displacement.

このように較正動作、及び、基準変位の記憶が実行され
た後において、第１の駆動モータ30が主軸26を所定の回
転数で回転駆動したままの状態で、スライド台16はテン
シヨンデイスク42に近接する所定の設定位置までスライ
ドされ、第３の駆動モータ50が起動して、シリコンイン
ゴツトSIは、所定のスライス位置までスライドされる。
この後、第２の駆動モータ40が起動して、リフト台24を
押し下げ、主軸26の回転に伴ない回転している切断工具
の切刃46の上方部分が、シリコンインゴツトSIに上方か
ら当接し、これをスライスすることになる。After the calibration operation and the storage of the reference displacement are executed in this way, the slide table 16 is moved to the tension disc 42 while the first drive motor 30 keeps the main shaft 26 rotating at a predetermined rotation speed. Is slid to a predetermined set position close to, the third drive motor 50 is activated, and the silicon ingot SI is slid to a predetermined slice position.
After that, the second drive motor 40 is activated to push down the lift table 24, and the upper portion of the cutting edge 46 of the cutting tool which rotates with the rotation of the main shaft 26 hits the silicon ingot SI from above. I will touch and slice this.

ここで、このスライシング動作が実行されていくと、切
刃46とシリコンインゴツトとの間の切削抵抗等の変化に
より、ブレード44が回転軸方向に沿つて更に撓むことに
なる。しかしながら、この一実施例においては、以下に
説明するように、ブレード44の変位に対してフイードバ
ツク制御を実行しているので、ブレード44の変位は、基
準変位に良好に保たれ、このブレード44に取り付けられ
た切刃46により切断されるシリコンインゴツトSIの切断
面の加工精度、詳細には、真直度が良好に維持されるこ
とになる。Here, as the slicing operation is executed, the blade 44 is further bent along the rotation axis direction due to a change in cutting resistance between the cutting edge 46 and the silicon ingot. However, in this embodiment, as will be described below, since the feed back control is executed with respect to the displacement of the blade 44, the displacement of the blade 44 is kept well at the reference displacement, Therefore, the processing accuracy of the cut surface of the silicon ingot SI cut by the attached cutting blade 46, in particular, the straightness can be favorably maintained.

即ち、ブレード44が基準変位から更に変位すると、この
変化は、第１及び第２の変位計54a,54bの出力値に現
れ、減算器56の出力結果にそのまま反映されることにな
る。このような減算器56からの出力信号は、オペアンプ
62の反転端子に入力されており、この結果、オペアンプ
62の出力端子からは、この減算器56からの現時点におけ
る変位と、基準変位との偏差が出力されることになる。That is, when the blade 44 is further displaced from the reference displacement, this change appears in the output values of the first and second displacement meters 54a and 54b, and is reflected as it is in the output result of the subtractor 56. The output signal from such a subtractor 56 is an operational amplifier.
It is input to the inverting terminal of 62, and as a result, the operational amplifier
From the output terminal of 62, the deviation between the current displacement from the subtractor 56 and the reference displacement is output.

そして、演算装置64は、この偏差に基づき、この偏差が
零になるように、換言すれば、ブレード44の変位が基準
変位に戻ることになるのに必要な回転数の変化量（補正
回転数）を、較正装置58からの伝達係数ｋに基づいて算
出する。この演算装置64は、算出した補正回転数を第１
の駆動モータ用の制御装置66に出力し、この制御装置66
は、この補正回転数に応じた回転数だけ、主軸26の回転
数を変化するように、第１の駆動モータ30の回転駆動を
制御する。Then, the arithmetic unit 64, based on this deviation, so that this deviation becomes zero, in other words, the amount of change in the rotational speed (corrected rotational speed) required for the displacement of the blade 44 to return to the reference displacement. ) Is calculated based on the transfer coefficient k from the calibration device 58. This arithmetic unit 64 uses the calculated corrected rotational speed as the first
Output to the control device 66 for the drive motor of
Controls the rotational drive of the first drive motor 30 so that the rotational speed of the main shaft 26 is changed by the rotational speed according to the corrected rotational speed.

具体的には、主軸26が回転すると、テンシヨンデイスク
42の外周部は回転数に応じた遠心力により、外方に開く
様に変形する。これにより、テンシヨンデイスク42の外
周部は、主軸26に平行な状態から外方に傾いた状態に撓
むこととなり、これに伴つて、テンシヨンデイスク42の
ブレード拘束面が主軸26に近づく方向に変位することと
なる。すなわち、主軸26が高速で回転するにつれて、ブ
レード44は、主軸26に近づく方向に変位するわけであ
る。ここで、例えば主軸26の回転速度が遅く、ブレード
44が主軸26から離れる方向に変位した場合には、第１の
変位計54aの出力が小さくなり、第２の変位計54bの出力
が大きくなる。この結果、減算器56からの出力は小さく
なる。換言すれば、減算器56からの出力が小さくなれ
ば、ブレード44が主軸26から離れる方向に変位している
ことを意味することになる。Specifically, when the main shaft 26 rotates, the tension disk
The outer peripheral portion of 42 is deformed so as to open outward by a centrifugal force according to the rotation speed. As a result, the outer peripheral portion of the tension disk 42 is bent from a state parallel to the spindle 26 to a state in which it is inclined outward, and along with this, the blade restraining surface of the tension disk 42 approaches the spindle 26. Will be displaced. That is, as the main shaft 26 rotates at high speed, the blades 44 are displaced in the direction approaching the main shaft 26. Here, for example, the rotation speed of the main shaft 26 is slow, and the blade
When 44 is displaced in the direction away from the main shaft 26, the output of the first displacement meter 54a becomes small and the output of the second displacement meter 54b becomes large. As a result, the output from the subtractor 56 becomes small. In other words, if the output from the subtractor 56 becomes small, it means that the blade 44 is displaced in the direction away from the main shaft 26.

従つて、オペアンプ62からの出力がプラス値で変化する
ことになる。このようにして、オペアンプ62からの出力
がプラス側で変化することにより、ブレード44が主軸26
から離れる方向に変位していることになるので、演算装
置64は、この変位量に応じた補正回転数だけ、主軸26の
回転数を増すように制御装置66に制御信号を出力するこ
とになる。Therefore, the output from the operational amplifier 62 changes with a positive value. In this way, the output from the operational amplifier 62 changes on the positive side, so that the blade 44 moves the spindle 26
Since it is displaced in the direction away from, the arithmetic device 64 outputs a control signal to the control device 66 so as to increase the rotation speed of the main shaft 26 by the correction rotation speed according to this displacement amount. .

一方、主軸26の回転速度が速く、ブレード44が主軸26に
近づくように変位した場合には、第１の変位計54aの出
力が大きくなり、第２の変位計54bの出力が小さくな
る。この結果、減算器56からの出力は大きくなる。従つ
て、オペアンプ62がマイナス側で変化することになる。
このようにして、オペアンプ62からの出力がマイナス側
で変化することにより、ブレード44が主軸26に近づく方
向に変位していることになるので、演算装置64は、この
変位量に応じた補正回転数だけ、主軸26の回転数を減じ
るように制御装置66に制御信号を出力することになる。On the other hand, when the rotation speed of the main shaft 26 is high and the blade 44 is displaced so as to approach the main shaft 26, the output of the first displacement meter 54a increases and the output of the second displacement meter 54b decreases. As a result, the output from the subtractor 56 becomes large. Therefore, the operational amplifier 62 changes on the negative side.
In this way, since the output from the operational amplifier 62 changes on the negative side, the blade 44 is displaced in the direction approaching the main shaft 26, and therefore the arithmetic unit 64 makes a correction rotation according to this displacement amount. The control signal is output to the control device 66 so as to reduce the number of rotations of the main shaft 26 by the number.

また、この一実施例においては、演算装置64にドレス時
期検出装置68が接続されている。そして、このドレス時
期検出装置68において予め設定されている閾値を、ブレ
ード44の変位量がプラス・マイナスいずれの方向にも越
えた場合には、切刃46が鈍くなつて切削抵抗が増し、大
きく偏倚するようになつたものと判断して、切刃46のド
レスを指示すべく、ドレス信号を出力する。このように
して、この一実施例においては、切刃46のドレス時期が
自動的に警告され、作業能率が顕著に向上することにな
る効果が達成される。Further, in this embodiment, the dressing time detection device 68 is connected to the arithmetic device 64. Then, when the displacement amount of the blade 44 exceeds the threshold value set in advance in the dressing time detection device 68 in any of the plus and minus directions, the cutting edge 46 becomes dull and the cutting resistance increases, which is large. It is determined that the cutting edge 46 has become biased, and a dress signal is output to indicate the dress of the cutting blade 46. In this way, in this embodiment, the dressing timing of the cutting blade 46 is automatically warned, and the effect that the working efficiency is remarkably improved is achieved.

この発明は、上述した一実施例の構成に限定されること
なく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能
であることは言うまでもない。It goes without saying that the present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment and can be variously modified without departing from the scope of the present invention.

例えば、ワーク移動型、ブレード移動型、立型、横型の
各スライジングマシンにおいても適用可能である。For example, the present invention can be applied to work moving type, blade moving type, vertical type, and horizontal type sizing machines.

［発明の効果］ 以上詳述した様に、この発明に係わるスライシングマシ
ンは、周囲に切刃を有する切断工具と、この切断工具が
取付けられ、回転駆動可能に支持されると共に、回転数
に応じて回転軸方向に沿つて変位するように支持された
回転体と、前記切断工具の近傍に所定間隔を有して配置
され、この切断工具の変位量を検出する検出手段と、前
記切断工具を予め設定された所定の回転数で回転させた
ときの該切断工具の変位量である基準変位量を記憶して
おく第１の記憶手段と、前記回転体に支持される切断工
具に対応して、回転体の回転数とこの回転数に応じた切
断工具の変位量との相関関係を記憶しておく第２の記憶
手段と、該第２の記憶手段に記憶されている情報に基づ
いて、前記検出手段において検出された変位量と前記基
準変位量との偏差が零となるような前記回転体の補正回
転数を算出する補正演算手段と、この補正演算手段で算
出された補正回転数で、前記回転体の回転数を修正する
制御手段とを具備する事を特徴としている。[Effects of the Invention] As described in detail above, the slicing machine according to the present invention is provided with a cutting tool having a cutting edge around the cutting tool, the cutting tool is attached to the slicing machine, and the slicing machine is supported so that it can be driven to rotate. And a rotating body supported so as to be displaced along the direction of the rotation axis, and a detecting unit arranged at a predetermined interval in the vicinity of the cutting tool, for detecting a displacement amount of the cutting tool, and the cutting tool. Corresponding to the first storage means for storing a reference displacement amount which is the displacement amount of the cutting tool when rotated at a preset number of revolutions, and the cutting tool supported by the rotating body. , Based on the information stored in the second storage means for storing the correlation between the rotation speed of the rotating body and the displacement amount of the cutting tool corresponding to this rotation speed, and the second storage means, The displacement amount detected by the detection means and the reference Correction calculation means for calculating a correction rotation speed of the rotating body such that the deviation from the displacement amount becomes zero, and control means for correcting the rotation speed of the rotation body by the correction rotation speed calculated by the correction calculation means. It is characterized by having and.

また、この発明に係わるスライシングマシンの制御方法
は、回転駆動可能に支持された回転体に、周囲に切刃を
有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿つて
変位するように支持し、前記回転体に支持される切断工
具に対応して、回転体の回転数とこの回転数に応じた切
断工具の変位量との相関関係を記憶し、前記切断工具を
予め設定された所定の回転数で回転させたときの該切断
工具の変位量である基準変位量を記憶し、前記切断工具
の切断時の変位量を検出し、この検出した変位量と前記
基準変位量との偏差を零にするように、前記相関関係に
基づいて前記回転体の回転数を制御する事を特徴として
いる。Further, in the control method of the slicing machine according to the present invention, a cutting tool having a cutting blade on its periphery is supported on a rotating body supported so as to be rotatable so as to be displaced along the rotation axis direction according to the number of rotations. Then, in association with the cutting tool supported by the rotating body, the correlation between the number of revolutions of the rotating body and the amount of displacement of the cutting tool corresponding to this number of revolutions is stored, and the cutting tool is preset to a predetermined value. The reference displacement amount, which is the displacement amount of the cutting tool when rotated at a rotational speed of, is stored, the displacement amount during cutting of the cutting tool is detected, and the deviation between the detected displacement amount and the reference displacement amount is stored. The number of rotations of the rotating body is controlled based on the correlation so as to zero.

従って、この発明によれば、簡単な構成で、安価に、被
加工物の加工面の面精度を向上させることのできるスラ
イシングマシンおよびその制御方法が提供されることに
なる。Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a slicing machine and a control method therefor capable of improving the surface accuracy of a machined surface of a workpiece with a simple structure and at a low cost.

また、この発明に係わるスライシングマシンは、補正演
算手段で算出された補正回転数が、所定回転数を越えた
時点で、切断工具のドレス信号を発するドレス時期検出
手段を更に具備している。この様にして、切断工具のド
レス時期が自動的に警告され、作業能率が顕著に向上す
ることになる。Further, the slicing machine according to the present invention further comprises a dressing time detection means for issuing a dressing signal of the cutting tool when the corrected rotation speed calculated by the correction calculation means exceeds a predetermined rotation speed. In this way, the dressing time of the cutting tool is automatically warned, and the work efficiency is significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図はこの発明に係わるスライシングマシンの一実施
例の構成を概略的に示す正面図； 第２図は第１図に示すスライシングマシンの制御系の構
成を示すブロツク図；そして、 第３図はブレードを空回しした際のブレードの変位と回
転数との相関関係を示す線図である。 図中、10……スライシングマシン、12……基台、14……
スタンド、16……スライド台、18a;18b……プーリ、20
……ワイヤ、22……ウエイト、24……リフト台、26……
主軸、28……軸受機構、30……第１の駆動モータ、30a
……駆動軸、32……従動プーリ、34……駆動プーリ、36
……エンドレスベルト、38……ボールねじ、40……第２
の駆動モータ、40a……駆動軸、42……テンシヨンデイ
スク、44……ブレード、46……切刃、48……スライドテ
ーブル、50……第３の駆動モータ、50a……駆動軸、52
……ボールねじ、54……変位検出機構、54a……第１の
変位計、54b……第２の変位計、56……減算器、58……
較正装置、60……基準変位記憶装置、62……オペアン
プ、64……演算装置、66……制御装置、68……ドレス時
期検出装置、SI……シリコンインゴツトである。1 is a front view schematically showing the construction of an embodiment of a slicing machine according to the present invention; FIG. 2 is a block diagram showing the construction of a control system of the slicing machine shown in FIG. 1; and FIG. FIG. 4 is a diagram showing a correlation between a blade displacement and a rotation speed when the blade is idle. In the figure, 10 …… slicing machine, 12 …… base, 14 ……
Stand, 16 …… Slide stand, 18a; 18b …… Pulley, 20
...... Wire, 22 …… Weight, 24 …… Lift platform, 26 ……
Spindle, 28 ... Bearing mechanism, 30 ... First drive motor, 30a
...... Drive shaft, 32 …… Drive pulley, 34 …… Drive pulley, 36
...... Endless belt, 38 …… Ball screw, 40 …… Second
Drive motor, 40a ... drive shaft, 42 ... tension disk, 44 ... blade, 46 ... cutting edge, 48 ... slide table, 50 ... third drive motor, 50a ... drive shaft, 52
…… Ball screw, 54 …… Displacement detection mechanism, 54a …… First displacement meter, 54b …… Second displacement meter, 56 …… Subtractor, 58 ……
Calibration device, 60 ... Reference displacement storage device, 62 ... Operational amplifier, 64 ... Arithmetic device, 66 ... Control device, 68 ... Dress time detection device, SI ... Silicon ingot.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 幸雄 広島県安芸郡府中町新地３番１号 マツダ 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−181517（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−51082（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−179609（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−30667（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−70904（ＪＰ，Ｕ) ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (72) Inventor Yukio Yamazaki 3-3 Shinchi, Fuchu-cho, Aki-gun, Hiroshima Mazda Co., Ltd. (56) Reference JP-A-58-181517 (JP, A) JP-A-51- 51082 (JP, A) JP 58-179609 (JP, A) JP 59-30667 (JP, A) Actually developed 62-70904 (JP, U)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】周囲に切刃を有する切断工具と、 この切断工具が取付けられ、回転駆動可能に支持される
と共に、回転数に応じて回転軸方向に沿つて変位するよ
うに支持された回転体と、 前記切断工具の近傍に所定間隔を有して配置され、この
切断工具の変位量を検出する検出手段と、 前記切断工具を予め設定された所定の回転数で回転させ
たときの該切断工具の変位量である基準変位量を記憶し
ておく第１の記憶手段と、 前記回転体に支持される切断工具に対応して、回転体の
回転数とこの回転数に応じた切断工具の変位量との相関
関係を記憶しておく第２の記憶手段と、 該第２の記憶手段に記憶されている情報に基づいて、前
記検出手段において検出された変位量と前記基準変位量
との偏差が零となるような前記回転体の補正回転数を算
出する補正演算手段と、 この補正演算手段で算出された補正回転数で、前記回転
体の回転数を修正する制御手段とを具備する事を特徴と
するスライシングマシン。1. A cutting tool having a cutting edge on its periphery, and a rotation tool to which the cutting tool is attached, is rotatably supported, and is supported so as to be displaced along a rotation axis direction in accordance with the number of rotations. A body, a detection unit that is arranged in the vicinity of the cutting tool with a predetermined interval, and detects a displacement amount of the cutting tool, and the detection tool when the cutting tool is rotated at a predetermined rotation speed set in advance. First storage means for storing a reference displacement amount, which is the displacement amount of the cutting tool, and a cutting tool corresponding to the cutting tool supported by the rotating body and the rotating speed of the rotating body. Second storage means for storing the correlation with the displacement amount of, and the displacement amount detected by the detection means and the reference displacement amount based on the information stored in the second storage means. The corrected rotational speed of the rotating body so that the deviation of And correction calculation means for output, the correction rotation speed calculated by the correction calculating means, slicing machines, characterized in that and a control means for correcting the rotational speed of the rotating body. 【請求項２】前記補正演算手段で算出された補正回転数
が、所定回転数を越えた時点で、切断工具のドレス信号
を発するドレス時期検出手段を更に具備する事を特徴と
する請求項第１項記載のスライシングマシン。2. The method according to claim 1, further comprising dressing time detection means for issuing a dressing signal of the cutting tool when the corrected rotation speed calculated by the correction calculation means exceeds a predetermined rotation speed. The slicing machine according to item 1. 【請求項３】回転駆動可能に支持された回転体に、周囲
に切刃を有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向
に沿つて変位するように支持し、 前記回転体に支持される切断工具に対応して、回転体の
回転数とこの回転数に応じた切断工具の変位量との相関
関係を記憶し、 前記切断工具を予め設定された所定の回転数で回転させ
たときの該切断工具の変位量である基準変位量を記憶
し、 前記切断工具の切断時の変位量を検出し、 この検出した変位量と前記基準変位量との偏差を零にす
るように、前記相関関係に基づいて前記回転体の回転数
を制御する事を特徴とするスライシングマシンの制御方
法。3. A rotatably supported rotator supports a cutting tool having a cutting edge on its periphery so as to be displaced along the rotational axis direction according to the number of revolutions, and is supported by the rotator. Corresponding to the cutting tool to be stored, the correlation between the rotation speed of the rotating body and the displacement amount of the cutting tool according to this rotation speed is stored, and when the cutting tool is rotated at a predetermined rotation speed set in advance. The reference displacement amount, which is the displacement amount of the cutting tool, is stored, the displacement amount at the time of cutting the cutting tool is detected, and the deviation between the detected displacement amount and the reference displacement amount is set to zero. A method of controlling a slicing machine, comprising controlling the number of rotations of the rotating body based on a correlation.
JP63007056A 1988-01-18 1988-01-18 Slicing machine and control method thereof Expired - Fee Related JPH0671727B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63007056A JPH0671727B2 (en) 1988-01-18 1988-01-18 Slicing machine and control method thereof
KR1019880017907A KR930010152B1 (en) 1988-01-18 1988-12-30 Slicing machine and control method thereof
US07/297,473 US5025593A (en) 1988-01-18 1989-01-13 Slicing machine and control method thereof
DE19893901236 DE3901236C2 (en) 1988-01-18 1989-01-17 Parting-off lathe for part-wise part-cutting in a predetermined thickness

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63007056A JPH0671727B2 (en) 1988-01-18 1988-01-18 Slicing machine and control method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01182011A JPH01182011A (en) 1989-07-19
JPH0671727B2 true JPH0671727B2 (en) 1994-09-14

Family

ID=11655410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63007056A Expired - Fee Related JPH0671727B2 (en) 1988-01-18 1988-01-18 Slicing machine and control method thereof

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH0671727B2 (en)
KR (1) KR930010152B1 (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02134212A (en) * 1988-11-14 1990-05-23 Sumitomo Metal Ind Ltd Cutting method
DE3906091A1 (en) * 1989-02-27 1990-08-30 Wacker Chemitronic METHOD FOR SAWING ROD-SHAPED WORKPIECES IN DISKS BY MEANS OF INTERNAL HOLE SAWS, AND ITS IMPLEMENTATION
JP2505930B2 (en) * 1990-05-10 1996-06-12 株式会社東京精密 Cutting method of slicing machine
JPH04138208A (en) * 1990-09-28 1992-05-12 Toyo A Tec Kk Slicing device
JPH04138209A (en) * 1990-09-28 1992-05-12 Toyo A Tec Kk Slicing device
JPH04138212A (en) * 1990-09-28 1992-05-12 Toyo A Tec Kk Slicing device
US6033288A (en) * 1998-10-29 2000-03-07 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Monitoring system for dicing saws
US6165051A (en) * 1998-10-29 2000-12-26 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Monitoring system for dicing saws
JP7143831B2 (en) * 2019-10-11 2022-09-29 信越半導体株式会社 Wafer shape measurement method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5151082A (en) * 1974-10-30 1976-05-06 Hitachi Ltd SET SUDANKI
US4380374A (en) * 1981-04-16 1983-04-19 Minnesota Mining & Manufacturing Company Variable focal length projection lens for use on overhead projectors
JPH049139Y2 (en) * 1985-10-22 1992-03-06

Also Published As

Publication number Publication date
KR930010152B1 (en) 1993-10-15
KR890011678A (en) 1989-08-21
JPH01182011A (en) 1989-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5115403A (en) Workpiece workability detection method and a method for cutting a workpiece by means of a cutting machine utilizing that method
EP0029280B1 (en) Method and apparatus for use in detecting grinding wheel wear
US5025593A (en) Slicing machine and control method thereof
US4802095A (en) Method for indicating end mill wear
JPH0671727B2 (en) Slicing machine and control method thereof
FI117193B (en) Method for Controlling Feed in Centrifugal Plywood Lathes
FR2458353A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING THE ADVANCE OF THE BLADE OF A HORIZONTAL BAND SAW IN THE WORKPIECE
JP3195504B2 (en) Blade displacement detection device for slicing device
US4359841A (en) Grinding wheel wear detection and dressing method
JP3187295B2 (en) Wire saw equipment
JP2655677B2 (en) Slicing machine
JP2651845B2 (en) Cutting edge displacement detector of slicing machine
JPH01206006A (en) Device for detecting displacement of cutting edge of slicing machine
JPS6260223B2 (en)
JPH06262620A (en) Blade deflection detecting method and device for slicing device and blade deflection control device
JPH05177628A (en) Method for cutting inner-diameter blade for silicon wafer
JP2604061B2 (en) Slicing equipment
JPH03252132A (en) Detecting method of cutting resistance of slicer
JP2847763B2 (en) How to manage blade runout
JP2703133B2 (en) Slicing equipment
JPH07186044A (en) Grinding wheel deflection measuring device and grinding wheel truing device
JPH08187724A (en) Blade deflection correcting mechanism for slicing machine and correcting method therefor
JPH0439005A (en) Slicing machine and its control method
JP2519325Y2 (en) Slicing equipment
JPH0994821A (en) Method and apparatus for detecting work cutting resistnace in slicing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees