JPH067063B2 - Measuring device using interferometric optical fiber sensor - Google Patents

Measuring device using interferometric optical fiber sensor

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JPH067063B2
JPH067063B2 JP62064400A JP6440087A JPH067063B2 JP H067063 B2 JPH067063 B2 JP H067063B2 JP 62064400 A JP62064400 A JP 62064400A JP 6440087 A JP6440087 A JP 6440087A JP H067063 B2 JPH067063 B2 JP H067063B2
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optical fiber
wavelength
unit
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physical quantity
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慶喜 三橋
聰 石原
雅文 田川
洋 山崎
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Azbil Corp
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Azbil Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は干渉型光ファイバセンサを用いた物理量測定装
置に関するものであり、特に、温度、圧力等の物理量を
高感度に測定する装置に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a physical quantity measuring device using an interference type optical fiber sensor, and more particularly to a device for measuring a physical quantity such as temperature and pressure with high sensitivity. Is.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

干渉型光ファイバセンサを用いた測定は、高感度な計測
ができるため、種々の応用が期待されている。すなわ
ち、可干渉性光源から出射する光束を2つの光束に分け
て光ファイバ中を伝搬させ、これら2つの光束の位相差
が該光ファイバに加わる被測定物理量に応じて変化する
ことに着目し、2光束の干渉状態から被測定物理量を測
定するものである。干渉光信号の検出には、ホモダイン
法とヘテロダイン法が考えられており、ホモダイン法は
ヘテロダイン法に比べ、大掛かりな周辺装置を必要とせ
ず、レンズ、偏光子等の基本的な光学部品のみで簡単に
測定系を構成することができるという利点を有してい
る。
Since the measurement using the interferometric optical fiber sensor can perform highly sensitive measurement, various applications are expected. That is, focusing on the fact that the light flux emitted from the coherent light source is divided into two light fluxes and propagated through the optical fiber, and the phase difference between these two light fluxes changes according to the physical quantity to be measured applied to the optical fiber, The physical quantity to be measured is measured from the interference state of two light fluxes. The homodyne method and the heterodyne method are considered for the detection of the interference optical signal.The homodyne method does not require large-scale peripheral devices compared to the heterodyne method, and is simple with only basic optical components such as a lens and a polarizer. In addition, it has an advantage that a measurement system can be configured.

第6図(a)は、従来のホモダイン法による干渉型光ファ
イバセンサ測定装置を示す基本構成図であり、可干渉光
源部1、二光束分離部2、干渉型光ファイバセンサ3、
ホモダイン型光検出部4を備えている。同図(b)は、こ
のような測定系における干渉型光ファイバセンサ3にマ
ッハツェンダ型センサを用いた具体例を示すものであ
り、可干渉光源部1としてレーザ5、二光束分離部2と
してハーフミラー6、ホモダイン型光検出部4としてフ
ォトダイオード6が用いられている。測定用光ファイバ
7に与えられる被測定物理量が変化すると、測定用光フ
ァイバ7を伝搬する光束と参照用光ファイバ8を伝搬す
る光束との位相差が変化し、ハーフミラー9で干渉させ
た光の強度をフォトダイオード6で検出する。同図(c)
は干渉型光ファイバセンサ3に偏波干渉型センサを用い
た具体例を示すものであり、偏光子10から出射する直
線偏光が光ファイバ11において互いに直交する2光束
に分離され、光ファイバ11に与えられる被測定物理量
に応じてこの2光束の位相差が変化する。検光子12で
は、その干渉光を取り出しその光強度をフォトダイオー
ド6で検出する。
FIG. 6 (a) is a basic configuration diagram showing a conventional interference-type optical fiber sensor measuring device by the homodyne method, including a coherent light source unit 1, a two-beam separation unit 2, an interference-type optical fiber sensor 3,
The homodyne photodetector 4 is provided. FIG. 2B shows a specific example in which a Mach-Zehnder type sensor is used as the interference type optical fiber sensor 3 in such a measurement system. The coherent light source unit 1 is a laser 5 and the two beam separation unit 2 is a half beam. A photodiode 6 is used as the mirror 6 and the homodyne type photodetector 4. When the measured physical quantity given to the measurement optical fiber 7 changes, the phase difference between the light beam propagating in the measurement optical fiber 7 and the light beam propagating in the reference optical fiber 8 changes, and the light interfered by the half mirror 9 is changed. Is detected by the photodiode 6. Same figure (c)
Shows a specific example in which a polarization interference type sensor is used as the interference type optical fiber sensor 3, and linearly polarized light emitted from the polarizer 10 is separated into two light beams orthogonal to each other in the optical fiber 11, The phase difference between the two light fluxes changes according to the given physical quantity to be measured. The analyzer 12 takes out the interference light and detects the light intensity by the photodiode 6.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

ところが、ホモダイン法では、ホモダイン型光検出部す
なわち、光−電気変換器を介して検出されるセンサ出力
Iは、2光束の位相差φの余弦関数 I=1+cosφ (1) であるため、被測定物理量Sに相当する位相差φの多価
関数となる。したがって、逆に、被測定物理量Sを一義
的に決定できるのは、位相差φが0≦φ≦πの範囲内に
あるときに限定される。
However, in the homodyne method, the sensor output I detected through the homodyne photodetector, that is, the optical-electrical converter, is the cosine function I = 1 + cosφ (1) of the phase difference φ of the two light fluxes, so It is a multi-valued function of the phase difference φ corresponding to the physical quantity S. Therefore, conversely, the physical quantity S to be measured can be uniquely determined only when the phase difference φ is within the range of 0 ≦ φ ≦ π.

一方、被測定物理量の変化をΔS、被測定物理量に比例
する位相変化をΔφとしたときの光ファイバの単位長さ
あたりの位相感度は、 Δφ/(ΔS・l)で表すことができる。したがって、
0≦φ≦πという限定を前提とした場合、位相感度を大
きくしようとすると被測定物理量の測定範囲が狭くな
り、逆に、被測定物理量の測定範囲を広くしようとする
と感度が小さくなってしまうという問題点があった。
On the other hand, the phase sensitivity per unit length of the optical fiber when the change in the measured physical quantity is ΔS and the phase change proportional to the measured physical quantity is Δφ can be expressed by Δφ / (ΔS · l). Therefore,
Under the limitation of 0 ≦ φ ≦ π, an attempt to increase the phase sensitivity narrows the measurement range of the physical quantity to be measured, and conversely, a wide measurement range of the physical quantity to be measured decreases the sensitivity. There was a problem.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明の干渉型光ファイバセンサを用いた測定装置は上
記問題点に鑑みてなされたものであり、制御入力に応じ
て発生するレーザ光の波長が変化する可干渉光源部(1)
と、この可干渉光源部からのレーザ光を2光束に分離す
る二光束分離部(2)と、この二光束分離部からの各レー
ザ光を2つの光ファイバに透過させ、その一方の光ファ
イバに被測定物理量を作用させた後に両光を合成して出
力する干渉形光ファイバセンサ(3)と、この干渉形光フ
ァイバセンサからの光の強度を検出し電気信号を出力す
る光検出部(4)と、この光検出部からの電気信号を入力
し、その入力信号の値が所定の一定値になるようにレー
ザ光の波長を制御する制御信号を出力する調節部(21)
と、この調節部からの制御信号に応じて可干渉光源部に
対する制御入力を出力する波長制御部(22)とから構成し
たものである。
The measuring device using the interferometric optical fiber sensor of the present invention is made in view of the above problems, the coherent light source unit (1) in which the wavelength of the laser light generated according to the control input changes.
A two-beam splitting part (2) for splitting the laser beam from the coherent light source part into two beams, and each laser beam from the two-beam splitting part is transmitted through two optical fibers, one of which is an optical fiber. An interferometric optical fiber sensor (3) that synthesizes and outputs both lights after the physical quantity to be measured is applied to, and a photodetector that detects the intensity of light from this interferometric optical fiber sensor and outputs an electrical signal ( 4) and an electric signal from this photodetector, and an adjusting unit (21) that outputs a control signal for controlling the wavelength of the laser light so that the value of the input signal becomes a predetermined constant value.
And a wavelength control section (22) for outputting a control input to the coherent light source section in response to a control signal from this adjusting section.

〔作用〕[Action]

被測定物理量の変化によって変化する2つの光束の位相
差が、レーザ光の波長を変化させることにより一定とな
り、このレーザ光の波長の変化量すなわち調節部からの
制御信号により、被測定物理量の変化量を知ることがで
きる。
The phase difference between the two light fluxes that changes due to the change in the physical quantity to be measured becomes constant by changing the wavelength of the laser light, and the change amount of the wavelength of the laser light, that is, the control signal from the adjusting unit changes the physical quantity to be measured. You can know the quantity.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例と共に本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples.

第1図は本発明の一実施例を示すブロック図である。本
実施例は、従来のホモダイン法による干渉型光ファイバ
センサ測定装置20に、調節部21および波長制御部2
2からなる帰還制御系を付加したものであり、帰還制御
を行うパラメータとして光源から出射される光の波長が
用いられている。第2図は、可干渉光源部1および波長
制御部22の一層具体的な構成を示すブロック図であ
る。可干渉光源部1は、半導体レーザ30と電流制御部
31を有し、半導体レーザ30には常に定電流が供給さ
れるようになっている。波長制御部22は、半導体レー
ザ30を搭載する温度制御マウント33、温度制御マウ
ント33を冷却する電子クーラ34、温度制御マウント
33の温度を測定する温度センサ35、温度センサ35
の検出温度が調節部21の指令する温度になるように電
子クーラ34を駆動する電流ドライバ36を備えてい
る。なお、同図において、実線の矢印は信号伝達が電気
的結合によって行われていることを示し、二重破線の矢
印は熱的結合、二重実線の矢印は光学的結合によって行
われていることを示している。調節部21は電子式PI
D調節器であり、ホモダイン型光検出部4の干渉光強度
出力を入力し、その値が一定となるように半導体レーザ
30の波長を変化させるべく、対応する温度指令信号を
出力する。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In this embodiment, an interference type optical fiber sensor measuring device 20 based on the conventional homodyne method is provided with an adjusting section 21 and a wavelength controlling section 2.
A feedback control system consisting of 2 is added, and the wavelength of light emitted from the light source is used as a parameter for performing feedback control. FIG. 2 is a block diagram showing a more specific configuration of the coherent light source section 1 and the wavelength control section 22. The coherent light source unit 1 has a semiconductor laser 30 and a current control unit 31, and a constant current is always supplied to the semiconductor laser 30. The wavelength controller 22 includes a temperature control mount 33 on which the semiconductor laser 30 is mounted, an electronic cooler 34 that cools the temperature control mount 33, a temperature sensor 35 that measures the temperature of the temperature control mount 33, and a temperature sensor 35.
A current driver 36 for driving the electronic cooler 34 is provided so that the temperature detected by the control unit 21 becomes the temperature commanded by the adjusting unit 21. In the figure, the solid arrow indicates that signal transmission is performed by electrical coupling, the double dashed arrow indicates thermal coupling, and the double solid arrow indicates optical coupling. Is shown. The adjusting unit 21 is an electronic PI
The D adjuster inputs the interference light intensity output of the homodyne type photodetector 4 and outputs a corresponding temperature command signal so as to change the wavelength of the semiconductor laser 30 so that the value becomes constant.

第3図は、本実施例におけるフィードバック制御動作を
説明するための特性図であり、被測定物理量S、波長
λ、干渉光強度Iの三次元座標である。点P1は、被測
定物理量がS、光源の波長がλのときの干渉光強度
を示しており、その値はIである。いま、干渉型光フ
ァイバセンサ3に加わる被測定物理量SがSからS
に変化すると、位相差φが変化して干渉光強度IがI
からIに変化する。この変化は、第3図において、点
P1の状態から特性Aに沿って点P2の状態に変化した
ことに相当する。ここで、被測定物理量SをSに固定
して考えると、干渉光強度Iと波長λとの間には、特性
Bのような関係がある。そこで、調節部21では、点P
2の状態を特性Bに沿って点P3の状態にもってゆくた
めに、すなわち、干渉光強度IをIにするために、半
導体レーザ30の波長がλとなるように温度指定信号
を出力する。
FIG. 3 is a characteristic diagram for explaining the feedback control operation in this embodiment, and is a three-dimensional coordinate of the measured physical quantity S, the wavelength λ, and the interference light intensity I. A point P1 indicates the intensity of the interference light when the measured physical quantity is S 1 and the wavelength of the light source is λ 0 , and its value is I 1 . Now, the measured physical quantity S applied to the interferometric optical fiber sensor 3 is from S 1 to S 2
The phase difference φ changes and the interference light intensity I changes to I 1
To I 2 . This change corresponds to the change from the state of point P1 to the state of point P2 along the characteristic A in FIG. Here, when the physical quantity to be measured S is fixed to S 2 , the interference light intensity I and the wavelength λ have a characteristic B relationship. Therefore, in the adjusting unit 21, the point P
In order to bring the state of No. 2 into the state of point P3 along the characteristic B, that is, in order to set the interference light intensity I to I 1 , the temperature designation signal is output so that the wavelength of the semiconductor laser 30 becomes λ 1. To do.

つぎに、このフィードバック制御を式で説明する。波長
λ(第3図のλに相当する)、被測定物理量S
ときの干渉光強度Iは、 で表される。また、波長λ(第3図のλに相当す
る)、被測定物理量Sのときの干渉光強度Iは、 で表される。この2つの干渉光強度の値が等しいわけだ
から、 したがって、被測定物理量Sを基準点にとれば、λの
変化から被測定物理量Sを知ることができる。
Next, this feedback control will be described using an equation. The interference light intensity I when the wavelength λ 1 (corresponding to λ 0 in FIG. 3) and the measured physical quantity S 1 is It is represented by. Further, the interference light intensity I when the wavelength λ 2 (corresponding to λ 1 in FIG. 3) and the measured physical quantity S 2 is It is represented by. Since the two interference light intensities are equal, Therefore, if the measured physical quantity S 1 is taken as the reference point, the measured physical quantity S can be known from the change in λ.

本実施例では、波長λは半導体レーザ30の温度tで決
定されるように構成されているから、温度tから被測定
物理量Sを検出することができる。
In this embodiment, since the wavelength λ is configured to be determined by the temperature t of the semiconductor laser 30, the measured physical quantity S can be detected from the temperature t.

第4図は、第2図の可干渉光源部1および波長制御部2
2に代わるものであり、波長を注入電流によって制御す
るものである。ここでは、可干渉光源部1の半導体レー
ザ30の温度を温度制御部40、温度制御マウント3
3、電子クーラ34、温度センサ35によって一定に保
ちつつ、波長制御部22の注入電流ドライバ41からの
注入電流を制御する。したがってこの場合、調節部21
からは電流指令信号が波長制御部22に与えられ、電流
指令信号の示す電流値の変化から被測定物理量Sを知る
ことができる。
FIG. 4 is a coherent light source unit 1 and a wavelength control unit 2 of FIG.
Instead of 2, the wavelength is controlled by the injection current. Here, the temperature of the semiconductor laser 30 of the coherent light source unit 1 is controlled by the temperature control unit 40 and the temperature control mount 3.
3, the injection current from the injection current driver 41 of the wavelength control unit 22 is controlled while being kept constant by the electronic cooler 34 and the temperature sensor 35. Therefore, in this case, the adjusting unit 21
A current command signal is given to the wavelength control unit 22 from, and the measured physical quantity S can be known from the change in the current value indicated by the current command signal.

さらに、一般には注入電流の変化によって波長およびレ
ーザ出力光強度が共に変化するので、これらの複合化し
た効果として、被測定物理量Sを知ることもできる。す
なわち、注入電流iが変化したことによる光強度Iの変
化分としてΔI1(第5図(a)参照)が生じ、同時に注入電
流iが変化したことによる波長λの変化ひいては位相差
φ(=n・2π/λ・l)の変化による光強度Iの変化
分としてΔI(第5図(b)〜(d)参照)が生ずる。この
とき、ΔIが第5図(e)に示すような場合には、ΔI
に対して相加的に働き、第5図(f)に示すような場合
には互いに相殺する方向に働く。前者の場合には第1図
の波長制御部22において帰還利得が大きい場合に相当
し、後者の場合には帰還利得が小さい場合に相当する。
このように複数の作用を介して電流値の変化から被測定
物理量Sを知る方法も本発明に含まれる。
Further, generally, both the wavelength and the laser output light intensity change due to the change of the injection current, so the measured physical quantity S can be known as a combined effect of these. That is, ΔI 1 (see FIG. 5 (a)) is generated as a change amount of the light intensity I due to the change of the injection current i, and at the same time, the change of the wavelength λ due to the change of the injection current i and thus the phase difference φ (= ΔI 2 (see FIGS. 5 (b) to 5 (d)) is generated as the change amount of the light intensity I due to the change of (n · 2π / λ · l). At this time, if ΔI 2 is as shown in FIG.
They act additively with respect to 1 , and in the case as shown in FIG. The former case corresponds to the case where the feedback gain is large in the wavelength controller 22 in FIG. 1, and the latter case corresponds to the case where the feedback gain is small.
Thus, the present invention also includes a method of knowing the physical quantity S to be measured from a change in current value through a plurality of actions.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明の干渉型光ファイバセンサを
用いた測定装置によれば、干渉光強度が一定になるよう
にレーザ光の波長を変化させ、この変化量を調節部から
の制御信号によって取り出し、被測定物理量の変化量を
知ることができるため、高い位相感度を保持したまま、
被測定物理量の測定範囲を広げることができる。
As described above, according to the measuring apparatus using the interference type optical fiber sensor of the present invention, the wavelength of the laser light is changed so that the interference light intensity is constant, and this change amount is changed by the control signal from the adjusting unit. Since it is possible to take out and know the amount of change in the physical quantity to be measured, while maintaining high phase sensitivity,
The measurement range of the physical quantity to be measured can be expanded.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
その部分詳細ブロック図、第3図は本実施例の動作を説
明するための特性図、第4図は本実施例の他の部分詳細
ブロック図、第5図は第4図に示す構成を用いた場合の
動作の一例を説明するための特性図、第6図は従来から
ある干渉型光ファイバセンサ測定装置を示す構成図であ
る。 1…可干渉光源部、2…二光束分離部、3…干渉型光フ
ァイバセンサ、4…ホモダイン型光検出部、20…干渉
型光ファイバセンサ測定装置、21…調節部、22…波
長制御部。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial detailed block diagram thereof, FIG. 3 is a characteristic diagram for explaining the operation of the present embodiment, and FIG. Another detailed block diagram of other parts, FIG. 5 is a characteristic diagram for explaining an example of the operation when the configuration shown in FIG. 4 is used, and FIG. 6 is a configuration showing a conventional interferometric optical fiber sensor measuring device. It is a figure. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Coherent light source part, 2 ... Two-beam separation part, 3 ... Interference type optical fiber sensor, 4 ... Homodyne type photodetection part, 20 ... Interference type optical fiber sensor measuring device, 21 ... Adjustment part, 22 ... Wavelength control part .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石原 聰 茨城県新治郡桜村梅園1丁目1番4号 工 業技術院電子技術総合研究所内 (72)発明者 田川 雅文 埼玉県浦和市針ヶ谷4丁目7番25号 株式 会社住田光学硝子製造所浦和工場内 (72)発明者 山崎 洋 東京都大田区西六郷4丁目28番1号 山武 ハネウエル株式会社蒲田工場内 審査官 後藤 時男 (56)参考文献 特開 昭59−32815(JP,A) 特開 昭57−192821(JP,A) 特開 昭60−170723(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Satoshi Ishihara 1-4-1 Sakuramura Umezono, Shinji-gun, Ibaraki Electronic Technology Research Institute, Industrial Technology Institute (72) Masafumi Tagawa 4-7 Harigaya, Urawa City, Saitama Prefecture No. 25 In stock company Sumita Optical Glass Works Urawa factory (72) Inventor Hiroshi Yamazaki 4-28-1, Nishirokugo, Ota-ku, Tokyo Yamatake Honeywell Co., Ltd. Kamata factory Tokio Goto (56) References Special Kai 59-32815 (JP, A) JP 57-192821 (JP, A) JP 60-170723 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】制御駆動信号に応じて発生するレーザ光の
波長が変化する可干渉光源部と、 この可干渉光源部から出射したレーザ光を2光束に分離
する二光束分離部と、 測定用光ファイバと参照用光ファイバを有し、二光束分
離部からの各レーザ光をこの2つの光ファイバにそれぞ
れ透過させ、測定用光ファイバに被測定物理量を作用さ
せた後に両レーザ光を合成して出力する干渉形光ファイ
バセンサと、 この干渉形光ファイバセンサからの光の強度を検出し電
気信号を出力する光検出部と、 この光検出部からの電気信号を入力し、この電気信号に
対応した制御指令信号を出力する調節部と、 この調節部からの制御指令信号に応じて前記可干渉光源
部に対して前記制御駆動信号を出力する波長制御部とを
備え、 前記制御指令信号は、波長制御部から出力される制御駆
動信号によって前記可干渉光源部が所定の一定値の波長
のレーザ光を出射するような値に設定され、この制御指
令信号の変化量から前記被測定物理量を測定する ことを特徴とする干渉型光ファイバセンサを用いた測定
装置。
1. A coherent light source section in which the wavelength of a laser beam generated according to a control drive signal changes, a two-beam splitting section for splitting a laser beam emitted from the coherent light source section into two beams, and a measuring unit. It has an optical fiber and a reference optical fiber, and transmits each laser beam from the two-beam separation unit to each of these two optical fibers, and applies the measured physical quantity to the measurement optical fiber, and then synthesizes both laser beams. Optical fiber sensor that outputs the electric signal, a photodetector that detects the intensity of light from the interferometric optical fiber sensor, and outputs an electric signal, and an electric signal from the photodetector that is input to this electric signal. A control unit that outputs a corresponding control command signal, and a wavelength control unit that outputs the control drive signal to the coherent light source unit in response to the control command signal from the control unit, wherein the control command signal is , Wavelength system The coherent light source unit is set to a value such that the coherent light source unit emits a laser beam having a predetermined constant wavelength by a control drive signal output from the unit, and the measured physical quantity is measured from the change amount of the control command signal. A measuring device using an interferometric optical fiber sensor.
JP62064400A 1987-03-20 1987-03-20 Measuring device using interferometric optical fiber sensor Expired - Lifetime JPH067063B2 (en)

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JPS63233321A JPS63233321A (en) 1988-09-29
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