JPH0661092A - 周波数可変マイクロ波共振子 - Google Patents

周波数可変マイクロ波共振子

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JPH0661092A
JPH0661092A JP21398392A JP21398392A JPH0661092A JP H0661092 A JPH0661092 A JP H0661092A JP 21398392 A JP21398392 A JP 21398392A JP 21398392 A JP21398392 A JP 21398392A JP H0661092 A JPH0661092 A JP H0661092A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
variable
frequency
changing
microwave resonator
mechanical means
Prior art date
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Pending
Application number
JP21398392A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Takeda
茂 武田
Yasuhide Murakami
安英 邑上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
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Publication of JPH0661092A publication Critical patent/JPH0661092A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 低損失で可変幅の広いかつ温度安定な周波数
可変マイクロ波共振素子を得る。 【構成】 2枚の金属平行平板の間隔を機械的手段で変
えることにより静電容量を変化させる可変静電容量素子
と、低損失のインダクタンス素子を組み合わせたことを
特徴とする周波数可変マイクロ波共振素子。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波帯における電子
機器の小型化・高周波化・低電力化に対応して、これら
に用いられる受動部品である周波数可変マイクロ波共振
子の低損失化・広可変幅化・温度安定化に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路の進歩にともない、高周波帯の
電子機器の小型化・高周波化・低電力化が急速に進んで
いる。その中で、周波数可変マイクロ波共振子の高性能
化は他の素子と比較すると遅れていると言える。特に、
10MHzから5GHz帯において、低損失で可変幅の
広い温度安定な周波数可変マイクロ波共振子の開発が強
く望まれている。これらの要求に答えるものとして、図
8に示すように、半導体ダイオードのPN接合を用いた
可変静電容量素子1とインダクタンス素子3を組み合わ
せた周波数可変マイクロ波共振子が広く用いられてい
る。図8における左側の図は端子2、2aを有する直列
共振の場合、右側の図は並列共振の場合を示す。この周
波数可変マイクロ波共振子は小型で安価であることが特
徴である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記可変静電
容量素子1は半導体ダイオードに逆方向に電圧を加え
て、キャリアのない空乏層を形成させその厚みを前記電
圧の大きさで制御して実現しているものであり、材料が
半導体であることから、本質的に導体損による高周波帯
の損失が大きい及び温度変化が大きいという欠点があっ
た。また、制御系と信号系の絶縁を完全に確保するため
には回路構成が複雑になるという問題点もあった。従っ
て、本発明は、上記従来技術の欠点と問題点を改善し、
低損失でかつ変化幅の広い温度安定な周波数可変マイク
ロ波共振子を提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の周波数可変マイ
クロ波共振子は、2枚の金属平板の間隔を変えることに
より静電容量を変化させる可変静電容量素子とインダク
タンス素子を組み合わせたものであり、前記2枚の金属
平板の間隔を変える方法として電気的に制御可能な機械
的な手段を用いることを特徴としている。
【0005】
【作用】上記構成によれば、前記可変静電容量素子が損
失の小さい空気等を絶縁媒体とした平行平板コンデンサ
ーの構造を基本とし、かつ該平行平板の間隔を電気的に
制御可能な機械的変位手段で微妙に変化できることか
ら、低損失なインダクタンス素子と組み合わせることに
より、低損失でかつ周波数変化幅の広い温度安定な周波
数可変マイクロ波共振子を実現できる。
【0006】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を詳
細に説明する。図1は本発明の基本構成を説明する図で
ある。左側の図は可変静電容量素子5とインダクタンス
素子3を組み合わせた端子2、2aを有する直列共振の
場合を示す。右側の図は並列共振の場合を示す。可変静
電容量素子5は2枚の金属の平行平板4、4aの間隔d
を機械的な手段によってΔdだけ変化させる構成となっ
ている。金属平板4、4aの表面積をS、絶縁媒体10
の比誘電率をεとすると、端子2'、2'a間の静電容量
Cは
【数1】C=K1εεoS/d で表わされる。ここで、εoは真空の誘電率、K1は1よ
り小さい比例係数である。 一方、2枚の金属平板4、
4aの間隔dをΔdだけ小さくした場合、静電容量は
【数2】C=K1εεoS/(d−Δd) のように変化する。このとき、インダクタンス素子3の
インダクタンスをLとすると、図1の二つの共振回路の
共振周波数fは
【数3】 f=1/(2π√LC)=√d−Δd/(2π√K1εεoSL) のように変化する。図2は、インダクタンス素子3とし
て終端短絡のストリップライン3aを用い、かつ可変静
電容量素子5として機械的変位手段6により2枚の金属
平行平板4、4aの間隔dを変化させる構成となった並
列共振の本発明の実施例を示す。図中、8は地導体、9
は絶縁体、11は機械的変位手段6を固定する構造体で
ある。12は入力側のストリップラインである。入力端
子2、2aが一端の地導体8に接続されているマイクロ
ストリップラインの構成となっている。地導体8の一部
分が盛り上がり、その上に平行平板の一方4aが固定さ
れている。これにより、地導体8に対して静電容量Cを
有する可変静電容量素子5が実現されるとともに周波数
可変マイクロ波共振子が実現できた。本実施例ではdは
約20μmとした。図3は直列共振の場合の本発明の実
施例を示す。図2と異なるのは、2枚の金属平行平板
4、4aがストリップライン12及び3aに対して直列
に接続されている点である。これにより、インダクタン
ス素子3aに対して直列に接続された静電容量Cを有す
る可変静電容量素子が実現されるとともに周波数可変マ
イクロ波共振子が実現できた。本実施例ではdは約20
μmとした。図4は、前記実施例の図2及び図3を実行
するために用いた機械的変位手段6として圧電素子6a
を用いた構成を示す。この素子は端子13、13aに電
圧Vを印加することにより変位を得るものである。端子
13、13aに150Vの電圧を印加することによりΔ
d=10μmが得られた。一般に、圧電素子4の変位量
ΔdはΔd=K2Vのように、端子電圧Vに比例するの
で、数2は次のようになる。
【数4】C=K1εεoS/(d−K2V) このように、端子電圧Vを変化させることにより静電容
量Cを変化させることができ、かつ数3に従い本発明の
周波数可変マイクロ波共振子5の共振周波数を変化させ
ることができる。図5は、前記実施例の図2及び図3を
実行するために用いた機械的変位手段6として磁歪素子
6bを用いた構成を示す。ここで、構造体11は図5とは
異なり、磁気回路を構成する上から軟磁性材料が採用さ
れた。同様に、地導体8、絶縁体9としても軟磁性材料
を用いた。この素子は端子14、14aを通してコイル
15に電流Iを流することにより磁歪素子に磁界が印加さ
れ、変位を得るものである。本実施例では、端子14、
14aに2Aの電流を流すことにより〓d=10μmが
得られた。一般に、磁歪素子6bの変位量ΔdはΔd=
32のように、端子電流Iの2乗に比例するので、数
2は次のようになる。
【数5】C=K1εεoS/(d−K32) このように、端子電流Iを変化させることにより静電容
量Cを変化させることができ、かつ数3に従い本発明の
周波数可変マイクロ波共振子5の共振周波数を変化させ
ることができる。図6は、図2の実施例において、図4
の圧電素子6aを用いた場合の、本発明の周波数可変マ
イクロ波共振子5の特性を示す図である。端子電圧を0
から150Vに変化させることにより、1.6GHzから
1.13GHzまで変化させることができた。図7は、図
2の実施例において、図5の磁歪素子6bを用いた場合
の、本発明の周波数可変マイクロ波共振子5の特性を示
す図である。端子電流を0から2Aに変化させることに
より、1.6GHzから1.2GHzまで変化させることが
できた。本発明の実施例のインダクタンス素子3として
終端短絡のマイクロストリップライン例を示したが、こ
の他にミアンダーインダクタ、スパイラルインダクタな
どの構成についても本発明の効果を確認しており、本発
明の範囲がそれらを包含することは本分野の専門家であ
れば容易に理解できるであろう。
【0007】
【発明の効果】本発明によれば、従来技術に比較し、可
変静電容量素子として、低損失の平行平板コンデンサー
の平行平板の間隔を電気的に制御可能な機械的変位手段
で変化させる構成を用いていることから、これと低損失
なインダクタンス素子と組み合わせて、低損失で可変幅
の広い温度安定な周波数可変のマイクロ波共振子を提供
し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基本原理の説明図である。
【図2】本発明の実施例の構造を示す断面図である。
【図3】本発明の実施例の構造を示す断面図である。
【図4】本発明の実施例の構造を示す断面図である。
【図5】本発明の実施例の構造を示す断面図である。
【図6】本発明の実施例の特性図である。
【図7】本発明の実施例の特性図である。
【図8】従来技術を示す部品記号図である。
【符号の説明】
2 端子 3 インダクタンス素子 4 金属平板 5 可変静電容量素子 6 機械的変位手段 8 地導体 9 絶縁体 10 絶縁媒体 11 構造体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01P 7/00 Z

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 静電容量素子とインダクタンス素子の組
    合せにより構成されるマイクロ波共振子であって、前記
    静電容量素子の静電容量を変化させることにより前記マ
    イクロ波共振子の共振周波数を可変することができ、か
    つ前記静電容量素子として2枚の金属平板の間隔を電気
    的に制御可能な機械的手段により変化させることができ
    る可変静電容量素子を用いたことを特徴とする周波数可
    変マイクロ波共振子。
  2. 【請求項2】 前記2枚の金属平板の間隔を変えるため
    の電気的に制御可能な機械的手段として圧電素子を用い
    たことを特徴とする請求項1の周波数可変マイクロ波共
    振子。
  3. 【請求項3】 前記2枚の金属平板の間隔を変えるため
    の電気的に制御可能な機械的手段として磁歪素子を用い
    たことを特徴とする請求項1の周波数可変マイクロ波共
    振子。
  4. 【請求項4】 前記インダクタンス素子がマイクロスト
    リップラインにより構成されていることを特徴とする請
    求項1の周波数可変マイクロ波共振子。
JP21398392A 1992-08-11 1992-08-11 周波数可変マイクロ波共振子 Pending JPH0661092A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7292124B2 (en) 2004-02-03 2007-11-06 Ntt Docomo, Inc. Variable resonator and variable phase shifter
US7583168B2 (en) 2004-10-27 2009-09-01 Ntt Docomo, Inc. Resonator

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7292124B2 (en) 2004-02-03 2007-11-06 Ntt Docomo, Inc. Variable resonator and variable phase shifter
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