JPH0660667A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

Info

Publication number
JPH0660667A
JPH0660667A JP4214097A JP21409792A JPH0660667A JP H0660667 A JPH0660667 A JP H0660667A JP 4214097 A JP4214097 A JP 4214097A JP 21409792 A JP21409792 A JP 21409792A JP H0660667 A JPH0660667 A JP H0660667A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sram
stored data
inverters
turned
power
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4214097A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teruo Yoshino
輝夫 吉野
Yasunori Arime
泰則 有銘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Microelectronics Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP4214097A priority Critical patent/JPH0660667A/en
Publication of JPH0660667A publication Critical patent/JPH0660667A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To automatically initialize stored data immediately after turning on the power of SRAM in order to extend application by forming a flip-flop circuit with two inverters in different operation characteristics in a SRAM. CONSTITUTION:If the resistance of a resistance element R1 > the resistance of a resistance element R2, a voltage rises faster than storage nodes DN1, DN2 when the power switch is turned on. Thereby, a driving transistor (Tr) T1 turns on and the transistor T2 also turns on. Thereby, the node DL1 becomes L level, node DL2 becomes H level and the stored data '1' is initialized. Moreover, on the contrary, when R1 < R2, the stored data '0' is initialized. As explained above, by using a SRAM having an array of SRAM, the stored data can be initialized automatically as desired after the power is turned on, making unnecessary the initialization for writing the desired data in all the SRAMs.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置に係
り、特にスタティック型ランダムアクセスメモリ(SR
AM)のメモリセルの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a static random access memory (SR).
AM) memory cell structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は、SRAMのメモリセルを示す回
路図である。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a circuit diagram showing an SRAM memory cell.

【0003】このSRAMセルは、2個のインバータ1
1、12の入出力ノードが交差接続されてなるフリップ
フロップ回路10と、このフリップフロップ回路10の
一対の記憶ノード(DN1、DN2)と一対のビット線
(BL、/BL)との間にそれぞれ接続されている一対
の転送ゲート用トランジスタ13、14とからなり、こ
の一対の転送ゲート用トランジスタ13、14の各ゲー
トはワード線WLに接続されている。
This SRAM cell comprises two inverters 1.
A flip-flop circuit 10 in which input and output nodes 1 and 12 are cross-connected, and between a pair of storage nodes (DN1, DN2) and a pair of bit lines (BL, / BL) of the flip-flop circuit 10, respectively. It is composed of a pair of transfer gate transistors 13 and 14 connected to each other, and each gate of the pair of transfer gate transistors 13 and 14 is connected to a word line WL.

【0004】なお、上記インバータ11、12は、駆動
用のエンハンスメント型のMOSトランジスタと負荷用
の高抵抗素子とからなるE/R型インバータとか、相補
的なMOSトランジスタからなるCMOSインバータが
用いられる。図6は、2個のE/R型インバータを用い
たE/R型フリップフロップ回路を示す回路図である。
ここで、Tは駆動用のNMOSトランジスタ、Rは負荷
抵抗、DN1は第1の記憶ノード、DN2は第2の記憶
ノードである。図7は、図6のE/R型フリップフロッ
プ回路を用いたSRAMセルのパターン構成の一例を示
す平面図である。
As the inverters 11 and 12, an E / R type inverter composed of an enhancement type MOS transistor for driving and a high resistance element for load, or a CMOS inverter composed of complementary MOS transistors is used. FIG. 6 is a circuit diagram showing an E / R type flip-flop circuit using two E / R type inverters.
Here, T is a driving NMOS transistor, R is a load resistor, DN1 is a first storage node, and DN2 is a second storage node. FIG. 7 is a plan view showing an example of the pattern configuration of an SRAM cell using the E / R flip-flop circuit of FIG.

【0005】ここで、71は半導体基板表層部の不純物
拡散層であり、MOSトランジスタのドレイン領域、ソ
ース領域、ソース配線(接地電位VSS)などの領域を形
成している。72は第1層目のポリシリコン配線であ
り、MOSトランジスタのゲート電極を形成している。
73は第2層目のポリシリコン配線であり、高抵抗素
子、電源配線(電源電位VDD)などを形成している。7
4はコンタクト領域である。
Reference numeral 71 denotes an impurity diffusion layer in the surface layer of the semiconductor substrate, which forms regions such as the drain region, the source region, and the source wiring (ground potential VSS) of the MOS transistor. Reference numeral 72 denotes a first layer polysilicon wiring, which forms the gate electrode of the MOS transistor.
Reference numeral 73 denotes a second layer polysilicon wiring, which forms a high resistance element, a power supply wiring (power supply potential VDD), and the like. 7
Reference numeral 4 is a contact region.

【0006】従来のSRAMセルでは、2個のE/R型
インバータは同じ動作特性が得られるように、それぞれ
の負荷抵抗のサイズ、トランジスタのサイズ、寄生容量
などが同一になるように設計されている。
In the conventional SRAM cell, the two E / R inverters are designed to have the same load resistance size, transistor size, and parasitic capacitance so that the same operation characteristics can be obtained. There is.

【0007】ところで、従来のSRAMは、電源投入時
点において、SRAMセルのデータ記憶内容は不定であ
る。そこで、SRAMの使用に際して記憶データの初期
設定を行う場合には、全てのSRAMセルに所望の記憶
データを書き込む操作を必要とするので、SRAMの用
途が大きく制限されることになる。
By the way, in the conventional SRAM, the data storage content of the SRAM cell is indefinite when the power is turned on. Therefore, when the storage data is initially set when the SRAM is used, it is necessary to write desired storage data in all the SRAM cells, so that the use of the SRAM is greatly limited.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
SRAMは、使用に際して記憶データの初期設定を行う
場合には、全てのSRAMセルに所望の記憶データを書
き込む操作を必要とし、用途が大きく制限されるという
問題があった。
As described above, the conventional SRAM requires an operation of writing desired storage data in all SRAM cells when initializing the storage data at the time of use. There was a problem of being limited.

【0009】本発明は上記の問題点を解決すべくなされ
たもので、SRAMの電源投入直後における記憶データ
を所望通り自動的に初期設定することが可能になり、し
かも、初期設定終了後(電源投入後)は、通常通りアク
セスすることが可能になり、用途を拡大し得る半導体記
憶装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it becomes possible to automatically initialize the storage data of the SRAM immediately after the power is turned on as desired. The purpose of the present invention is to provide a semiconductor memory device that can be accessed normally and can be used for a wide range of applications.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、SRAMセル
のアレイを有する半導体記憶装置において、セルアレイ
における少なくとも一部のSRAMセルは、互いに動作
特性が異なる2個のインバータからなるフリップフロッ
プ回路が用いられていることを特徴とする。
According to the present invention, in a semiconductor memory device having an array of SRAM cells, at least a part of the SRAM cells in a cell array uses a flip-flop circuit composed of two inverters having different operation characteristics. It is characterized by being.

【0011】[0011]

【作用】SRAMの製造に際して、記憶データ初期設定
の対象となるSRAMセルにおける2個のインバータの
動作特性を、電源投入直後における記憶データが“1”
あるいは“0”となるように異ならせて製造することに
より、電源投入直後における上記SRAMセルの記憶デ
ータを所望通り自動的に初期設定できるようになる。
In manufacturing the SRAM, the stored data immediately after the power is turned on is "1" as the operating characteristic of the two inverters in the SRAM cell which is the target of the stored data initialization.
Alternatively, by manufacturing differently so as to be “0”, the stored data of the SRAM cell immediately after power-on can be automatically initialized as desired.

【0012】この場合、2個のインバータの動作特性を
異ならせる程度として、初期設定できる範囲内で最小限
に抑制することにより、初期設定終了後(電源投入後)
は、通常通りアクセスが可能になり、通常のSRAMと
して動作が可能になる。
In this case, the operating characteristics of the two inverters are set to be different from each other by minimizing the operating characteristics within a range that can be initially set, so that after the initial setting is completed (after the power is turned on).
Can be accessed as usual, and can operate as a normal SRAM.

【0013】[0013]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明の一実施例に係るSRAM
におけるSRAMセルのパターン構成の一例を示してい
る。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an SRAM according to an embodiment of the present invention.
2 shows an example of the pattern configuration of the SRAM cell in FIG.

【0014】このSRAMにおいて、行列状に配列され
るSRAMセルは、図5に示したように、2個のインバ
ータの入出力ノードが交差接続されてなるフリップフロ
ップ回路およびこのフリップフロップ回路の一対の記憶
ノードと一対のビット線との間にそれぞれ接続され、そ
れぞれのゲートがワード線に接続されている一対の転送
ゲート用トランジスタとからなる。
In this SRAM, the SRAM cells arranged in a matrix form, as shown in FIG. 5, a flip-flop circuit in which the input and output nodes of two inverters are cross-connected, and a pair of the flip-flop circuits. It is composed of a pair of transfer gate transistors each connected between a storage node and a pair of bit lines, each gate being connected to a word line.

【0015】図1に示すSRAMセルのパターンにおい
て、D1およびS1は駆動用の第1のNMOSトランジ
スタのドレイン領域およびソース領域、D2およびS2
は駆動用の第2のNMOSトランジスタのドレイン領域
およびソース領域である。D3およびS3は転送ゲート
用の第3のNMOSトランジスタのドレイン領域および
ソース領域、D4およびS4は転送ゲート用の第4のN
MOSトランジスタのドレイン領域およびソース領域で
ある。これらの各領域は、半導体基板表層部の不純物拡
散層からなり、ソース領域S1およびS2は拡散層から
なるソース配線(接地電位Vss)1に連なって形成され
ている。
In the SRAM cell pattern shown in FIG. 1, D1 and S1 are the drain and source regions of the first NMOS transistor for driving, and D2 and S2.
Are drain and source regions of the second NMOS transistor for driving. D3 and S3 are the drain and source regions of the third NMOS transistor for the transfer gate, and D4 and S4 are the fourth N for the transfer gate.
The drain region and the source region of the MOS transistor. Each of these regions is formed of an impurity diffusion layer in the surface layer of the semiconductor substrate, and the source regions S1 and S2 are formed so as to be continuous with the source line (ground potential Vss) 1 formed of a diffusion layer.

【0016】G1およびG2は対応して上記第1の駆動
用トランジスタおよび第2の駆動用トランジスタのゲー
ト電極、G3は上記一対の転送ゲート用トランジスタの
ゲート電極であり、これらは第1層目のポリシリコン配
線からなる。
Correspondingly, G1 and G2 are gate electrodes of the first driving transistor and the second driving transistor, and G3 is a gate electrode of the pair of transfer gate transistors, which are in the first layer. It consists of polysilicon wiring.

【0017】上記第1の駆動用トランジスタのゲート電
極G1は、コンタクト領域CT2および拡散層配線2を
介して第2の駆動用トランジスタのドレイン領域D2に
接続されている。
The gate electrode G1 of the first driving transistor is connected to the drain region D2 of the second driving transistor via the contact region CT2 and the diffusion layer wiring 2.

【0018】上記第2の駆動用トランジスタのゲート電
極G2は、コンタクト領域CT1および第2層目のポリ
シリコン配線3およびコンタクト領域CT5を介して第
1の駆動用トランジスタのドレイン領域D1に接続され
ている。R1およびR2は負荷用の第1の抵抗素子およ
び第2の抵抗素子、4は電源配線(電源電位VCC)であ
り、これらは第2層目のポリシリコン配線からなる。
The gate electrode G2 of the second driving transistor is connected to the drain region D1 of the first driving transistor through the contact region CT1, the second layer polysilicon wiring 3 and the contact region CT5. There is. R1 and R2 are a first resistance element and a second resistance element for a load, and 4 is a power supply wiring (power supply potential VCC), and these are composed of a second-layer polysilicon wiring.

【0019】上記第1の抵抗素子R1は、一端が電源配
線4に連なり、他端がコンタクト領域CT1(第1の記
憶ノードDN1)に接続されている。前記第2の抵抗素
子R2は、一端が電源配線4に連なり、他端がコンタク
ト領域CT2(第2の記憶ノードDN2)に接続されて
いる。
One end of the first resistance element R1 is connected to the power supply wiring 4, and the other end is connected to the contact region CT1 (first storage node DN1). One end of the second resistance element R2 is connected to the power supply wiring 4, and the other end is connected to the contact region CT2 (second storage node DN2).

【0020】前記転送ゲート用トランジスタのドレイン
領域D3は、第1の記憶ノードDN1に接続されてお
り、そのソース領域S3はコンタクト領域CT3を介し
て一方のビット線BL(図示せず)に接続されている。
また、前記転送ゲート用トランジスタのドレイン領域D
4は、第2の記憶ノードDN2に接続されており、その
ソース領域S4は、コンタクト領域CT4を介して他方
のビット線/BL(図示せず)に接続されている。
The drain region D3 of the transfer gate transistor is connected to the first storage node DN1, and the source region S3 thereof is connected to one bit line BL (not shown) via the contact region CT3. ing.
In addition, the drain region D of the transfer gate transistor
4 is connected to the second storage node DN2, and its source region S4 is connected to the other bit line / BL (not shown) via the contact region CT4.

【0021】上記実施例のSRAMにおいて、メモリセ
ルアレイにおける少なくとも一部(本例では全て)のメ
モリセルは、互いに動作特性が異なる2個のインバータ
からなるフリップフロップ回路が用いられている。
In the SRAM of the above embodiment, at least a part (all in this example) of memory cells in the memory cell array uses a flip-flop circuit composed of two inverters having different operation characteristics.

【0022】上記2個のインバータの動作特性を異なら
せるために、本実施例では、第1の抵抗素子R1の抵抗
値が第2の抵抗素子R2の抵抗値よりも大きく(R1>
R2)なるように形成し、2個の駆動用トランジスタT
1およびT2を同じサイズで形成している。
In order to make the operating characteristics of the two inverters different, in the present embodiment, the resistance value of the first resistance element R1 is larger than the resistance value of the second resistance element R2 (R1>
R2) so that two driving transistors T are formed.
1 and T2 are formed with the same size.

【0023】上記R1>R2を実現するための具体的な
構成例として、第2の抵抗素子R2のパターン長さaは
第1の抵抗素子R1のそれと同じであるが、第2の抵抗
素子R2のパターン幅bは第1の抵抗素子R1のそれよ
りも太く形成されている。
As a specific configuration example for realizing the above R1> R2, the pattern length a of the second resistance element R2 is the same as that of the first resistance element R1, but the second resistance element R2 is used. The pattern width b of is larger than that of the first resistance element R1.

【0024】このように形成するためには、第2層目の
ポリシリコン配線の形成工程で使用されるガラスマスク
の制作に際して、第2の抵抗素子R2のパターン幅を図
1中にAで示す領域分だけ第1の抵抗素子R1のパター
ン幅よりも太く作成するようなパターンデータ(プログ
ラムデータ)を用いることにより実現できる。図2は、
図1のSRAMセルにおけるE/R型フリップフロップ
回路を取り出して示す回路図である。ここで、T1、T
2は駆動用のNMOSトランジスタ、R1、R2は負荷
抵抗、DN1は第1の記憶ノード、DN2は第2の記憶
ノードである。図3は、図1のSRAMセルの電源投入
直後に記憶データが初期設定される動作を示す特性図で
ある。
In order to form in this way, the pattern width of the second resistance element R2 is shown by A in FIG. 1 when manufacturing the glass mask used in the step of forming the second layer polysilicon wiring. This can be realized by using pattern data (program data) that is created to be thicker than the pattern width of the first resistance element R1 by the area. Figure 2
FIG. 2 is a circuit diagram showing an E / R type flip-flop circuit in the SRAM cell of FIG. Where T1, T
Reference numeral 2 is a driving NMOS transistor, R1 and R2 are load resistors, DN1 is a first storage node, and DN2 is a second storage node. FIG. 3 is a characteristic diagram showing an operation in which stored data is initialized immediately after the power of the SRAM cell of FIG. 1 is turned on.

【0025】即ち、R1>R2であるので、電源投入時
に第2の記憶ノードDN2は第1の記憶ノードDN1よ
りも電位が早く立ち上がり、第1の駆動用トランジスタ
T1がオン、第2の駆動用トランジスタT2がオフ状態
になる。これにより、第1の記憶ノードDN1が“L”
レベル、第2の記憶ノードDN2が“H”レベルの状態
になり、記憶データ“1”が初期設定されることにな
る。なお、上記例とは逆に、R1<R2となるように形
成しておけば、記憶データ“0”が初期設定されること
になる。
That is, since R1> R2, the potential of the second storage node DN2 rises faster than that of the first storage node DN1 when the power is turned on, the first drive transistor T1 is turned on, and the second drive transistor T1 is turned on. The transistor T2 is turned off. As a result, the first storage node DN1 becomes "L".
As a result, the level of the second storage node DN2 becomes "H" level, and the storage data "1" is initialized. In contrast to the above example, if the data is formed such that R1 <R2, the storage data “0” will be initialized.

【0026】上記したようなSRAMセルのアレイを有
するSRAMによれば、電源投入直後における記憶デー
タを所望通り自動的に初期設定することが可能になるの
で、全てのSRAMセルに所望の記憶データを書き込む
初期設定操作が不要になる。
According to the SRAM having the array of SRAM cells as described above, it is possible to automatically initialize the stored data immediately after the power is turned on as desired, so that the desired stored data can be stored in all the SRAM cells. The initial setting operation for writing is unnecessary.

【0027】また、2個のインバータの動作特性を異な
らせる程度として、初期設定できる範囲内で最小限に抑
制することにより、初期設定終了後(電源投入後)は、
通常通りアクセスが可能になり、通常のSRAMとして
動作が可能になる。従って、上記実施例のSRAMは、
読み出し専用のマスクROMに対応して、読み出し/書
き込みが可能なマスクRAMと称することができる。な
お、前記2個のインバータの動作特性を異ならせるため
の変形例として、2個の駆動用トランジスタの駆動能力
を異ならせるようにしてもよい。図4は、本発明におけ
るSRAMセルのパターン構成の他の例を示す。
In addition, the operating characteristics of the two inverters are made to be different to each other by suppressing the operating characteristics to the minimum within the range in which the initial setting is possible.
It becomes possible to access as usual, and it becomes possible to operate as a normal SRAM. Therefore, the SRAM of the above embodiment is
Corresponding to the read-only mask ROM, it can be referred to as a read / write mask RAM. As a modified example for making the operating characteristics of the two inverters different, the driving capabilities of the two driving transistors may be made different. FIG. 4 shows another example of the pattern configuration of the SRAM cell in the present invention.

【0028】この例では、第1の駆動用トランジスタT
1の駆動能力gm1が第2の駆動用トランジスタT2の
駆動能力gm2よりも大きくなるように形成され、2個
の抵抗素子R1およびR2は同じサイズで形成されてい
る。なお、図4において、図1中と同一部分には同一符
号を付している。
In this example, the first driving transistor T
The first driving capacity gm1 is formed to be larger than the driving capacity gm2 of the second driving transistor T2, and the two resistance elements R1 and R2 are formed to have the same size. In FIG. 4, the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

【0029】このように形成するためには、拡散層の形
成工程で使用されるガラスマスクの制作に際して、第1
の駆動用トランジスタのチャネル幅W1を図4中にBで
示す領域分だけ第2の駆動用トランジスタのチャネル幅
W2よりも太く作成するようなパターンデータ(プログ
ラムデータ)を用いることにより実現できる。
In order to form the glass as described above, the first step is performed in manufacturing the glass mask used in the step of forming the diffusion layer.
4 can be realized by using the pattern data (program data) such that the channel width W1 of the driving transistor is made thicker than the channel width W2 of the second driving transistor by the area indicated by B in FIG.

【0030】図4のSRAMセルは、gm1>gm2で
あるので、電源投入時に記憶データ“1”が初期設定さ
れることになる。上記例とは逆に、gm1<gm2とな
るように形成しておけば、記憶データ“0”が初期設定
されることになる。
Since the SRAM cell of FIG. 4 has gm1> gm2, the stored data "1" is initialized when the power is turned on. Contrary to the above example, if the data is formed so that gm1 <gm2, the storage data “0” will be initialized.

【0031】さらに、前記2個のインバータの動作特性
を異ならせるための他の変形例として、第1の記憶ノー
ドDN1および第2の記憶ノードDN2に互いに異なる
値のゲート容量を形成し、2個の抵抗素子R1およびR
2を同じサイズで形成し、2個の駆動用トランジスタT
1およびT2を同じサイズで形成してもよい。
Furthermore, as another modified example for making the operating characteristics of the two inverters different, gate capacitors having different values are formed in the first storage node DN1 and the second storage node DN2, and two inverters are formed. Resistance elements R1 and R
2 having the same size and two driving transistors T
1 and T2 may be formed with the same size.

【0032】なお、上記実施例は、SRAM集積回路を
示したが、本発明はこれに限らず、SRAMを他の回路
と同一チップ上に搭載した半導体集積回路に一般的に適
用することが可能である。
Although the above embodiment shows the SRAM integrated circuit, the present invention is not limited to this, and can be generally applied to a semiconductor integrated circuit in which the SRAM is mounted on the same chip as other circuits. Is.

【0033】[0033]

【発明の効果】上述したように本発明によれば、SRA
Mの電源投入直後における記憶データを所望通り自動的
に初期設定することができるので、例えば初期プログラ
ム、初期定数などを初期設定することにより、電源投入
直後に初期プログラム、初期定数などをロードする操作
を不要となる。しかも、初期設定終了後(電源投入後)
は、通常通りアクセスすることが可能になり、SRAM
の用途を拡大することができる。
As described above, according to the present invention, the SRA
Since the stored data immediately after the power of M is turned on can be automatically initialized as desired, for example, by initializing the initial program and the initial constant, the operation of loading the initial program and the initial constant immediately after the power is turned on. Is unnecessary. Moreover, after the initial settings are completed (after power is turned on)
Can be accessed normally, and SRAM
The applications of can be expanded.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係るSRAMにおけるSR
AMセルのパターン構成の一例を示す平面図。
FIG. 1 is a diagram showing an SR in an SRAM according to an embodiment of the present invention.
The top view which shows an example of the pattern structure of an AM cell.

【図2】図1のSRAMセルにおけるE/R型フリップ
フロップ回路を取り出して示す回路図。
FIG. 2 is a circuit diagram showing an E / R flip-flop circuit in the SRAM cell of FIG.

【図3】図1のSRAMセルの電源投入直後に記憶デー
タが初期設定される動作を示す特性図。
3 is a characteristic diagram showing an operation in which stored data is initialized immediately after power-on of the SRAM cell of FIG.

【図4】本発明におけるSRAMセルのパターン構成の
他の例を示す平面図。
FIG. 4 is a plan view showing another example of the pattern configuration of the SRAM cell in the present invention.

【図5】SRAMセルの一般的な構成を示す回路図。FIG. 5 is a circuit diagram showing a general configuration of an SRAM cell.

【図6】従来のSRAMセルにおけるE/R型フリップ
フロップ回路を示す回路図。
FIG. 6 is a circuit diagram showing an E / R type flip-flop circuit in a conventional SRAM cell.

【図7】図6のSRAMセルに対応するパターン構成を
示す平面図。
FIG. 7 is a plan view showing a pattern configuration corresponding to the SRAM cell of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

T1、T2…駆動用トランジスタ、R1、R2…負荷抵
抗、D1…駆動用トランジスタT1のドレイン領域、S
1…駆動用トランジスタT1のドレイン領域、D2…駆
動用トランジスタT2のドレイン領域、S2…駆動用ト
ランジスタT2のドレイン領域、1…ソース配線、2…
拡散層配線、3…第2層目のポリシリコン配線、4…電
源配線、DN1、DN2…記憶ノード。
T1, T2 ... Driving transistor, R1, R2 ... Load resistance, D1 ... Drain region of driving transistor T1, S
1 ... Drain region of driving transistor T1, D2 ... Drain region of driving transistor T2, S2 ... Drain region of driving transistor T2, 1 ... Source wiring, 2 ...
Diffusion layer wiring, 3 ... Second layer polysilicon wiring, 4 ... Power supply wiring, DN1, DN2 ... Storage node.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2個のインバータの入出力ノードが交差
接続されてなるフリップフロップ回路およびこのフリッ
プフロップ回路の一対の記憶ノードと一対のビット線と
の間にそれぞれ接続され、それぞれのゲートがワード線
に接続されている一対の転送ゲート用トランジスタとか
らなるメモリセルのアレイを有し、 上記メモリセルアレイにおける少なくとも一部のメモリ
セルは、互いに動作特性が異なる2個のインバータから
なるフリップフロップ回路が用いられていることを特徴
とする半導体記憶装置。
1. A flip-flop circuit in which input / output nodes of two inverters are cross-connected, and a flip-flop circuit is connected between a pair of storage nodes and a pair of bit lines, respectively, and each gate is a word. The memory cell array includes a pair of transfer gate transistors connected to the line, and at least a part of the memory cells in the memory cell array has a flip-flop circuit including two inverters having different operation characteristics. A semiconductor memory device characterized by being used.
JP4214097A 1992-08-11 1992-08-11 Semiconductor storage device Withdrawn JPH0660667A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4214097A JPH0660667A (en) 1992-08-11 1992-08-11 Semiconductor storage device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4214097A JPH0660667A (en) 1992-08-11 1992-08-11 Semiconductor storage device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0660667A true JPH0660667A (en) 1994-03-04

Family

ID=16650179

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4214097A Withdrawn JPH0660667A (en) 1992-08-11 1992-08-11 Semiconductor storage device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0660667A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004127499A (en) * 2002-09-30 2004-04-22 Agere Systems Inc Method for determining initial state of static random access memory
US7433224B1 (en) * 2000-01-04 2008-10-07 Advanced Micro Devices, Inc. System and method for forcing an SRAM into a known state during power-up
WO2019045087A1 (en) * 2017-08-28 2019-03-07 Mapper Lithography Ip B.V. Memory device with predetermined start-up value

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7433224B1 (en) * 2000-01-04 2008-10-07 Advanced Micro Devices, Inc. System and method for forcing an SRAM into a known state during power-up
JP2004127499A (en) * 2002-09-30 2004-04-22 Agere Systems Inc Method for determining initial state of static random access memory
KR101026335B1 (en) * 2002-09-30 2011-04-04 에이저 시스템즈 인크 Method for defining the initial state of static random access memory
WO2019045087A1 (en) * 2017-08-28 2019-03-07 Mapper Lithography Ip B.V. Memory device with predetermined start-up value
KR20200033942A (en) * 2017-08-28 2020-03-30 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. Memory device with a predetermined startup value
US11501952B2 (en) 2017-08-28 2022-11-15 Asml Netherlands B.V. Memory device with predetermined start-up value
KR20230016711A (en) * 2017-08-28 2023-02-02 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. Memory device with predetermined start-up value

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5774393A (en) Semiconductor memory device capable of operating at high speed and stably even low power supply voltage
US5018102A (en) Memory having selected state on power-up
JP3307571B2 (en) Four-device SRAM cell having a single bit line
US5831897A (en) SRAM memory cell design having complementary dual pass gates
JPH077089A (en) Memory cell
JPH0834059B2 (en) Semiconductor memory device
US5517038A (en) Semiconductor device including three-dimensionally disposed logic elements for improving degree of integration
US6801449B2 (en) Semiconductor memory device
US5438537A (en) Static random access memory which has a pair of thin film transistors and wherein the capacitance and resistance between the gate electrodes and the conductor layers are increased so as to reduce the time constant between them
JPH06104405A (en) Static memory
US5654915A (en) 6-bulk transistor static memory cell using split wordline architecture
US7486541B2 (en) Resistive cell structure for reducing soft error rate
JP2976903B2 (en) Semiconductor storage device
JP2658835B2 (en) Static semiconductor memory device
JPH0660667A (en) Semiconductor storage device
US6011711A (en) SRAM cell with p-channel pull-up sources connected to bit lines
JPH04113587A (en) Semiconductor memory
JPH04111297A (en) Static random access memory cell
JPH05266671A (en) Memory cell provided with ferroelectric capacitor
KR940010832B1 (en) Static semiconductor memory
US5566126A (en) MOS static memory device incorporating modified operation of sense amplifier and transfer gate
JPH0453263A (en) Semiconductor memory circuit device
US5852573A (en) Polyload sram memory cell with low stanby current
JPH0621395A (en) Semiconductor memory and its manufacture
US5307308A (en) Semiconductor memory device comprising one or more high-resistance elements

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19991102