JPH0658337B2 - Moisture-sensitive element and manufacturing method thereof - Google Patents

Moisture-sensitive element and manufacturing method thereof

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JPH0658337B2
JPH0658337B2 JP62180027A JP18002787A JPH0658337B2 JP H0658337 B2 JPH0658337 B2 JP H0658337B2 JP 62180027 A JP62180027 A JP 62180027A JP 18002787 A JP18002787 A JP 18002787A JP H0658337 B2 JPH0658337 B2 JP H0658337B2
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sensitive element
polymer
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Nisshinbo Industries Inc
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、相対湿度の変化に伴って電気抵抗が変化する
感湿素子に関し、詳細には有機イオン性ポリマーで構成
される感湿素子の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial application> The present invention relates to a humidity-sensitive element whose electric resistance changes with a change in relative humidity, and more particularly to a humidity-sensitive element formed of an organic ionic polymer. It relates to a manufacturing method.

<従来の技術> 電気抵抗または静電容量の変化を基に相対湿度を感知す
る感湿素子としては、次のようなものがある。
<Prior Art> As a humidity sensitive element that senses relative humidity based on a change in electric resistance or capacitance, there is the following.

a)多孔性の物質に塩化リチウムなどの電解質を含浸さ
せて製造する感湿素子。
a) A moisture sensitive element manufactured by impregnating a porous material with an electrolyte such as lithium chloride.

b)吸湿性ポリマー中に導電性の固体を分散させて製造
する感湿素子。
b) A moisture-sensitive element manufactured by dispersing a conductive solid in a hygroscopic polymer.

c)基板に金属酸化物の被膜を形成して製造する感湿素
子。
c) A moisture sensitive element manufactured by forming a metal oxide film on a substrate.

d)基板に有機イオン性ポリマーの被膜を形成して製造
する感湿素子。
d) A moisture-sensitive element manufactured by forming a film of an organic ionic polymer on a substrate.

<本発明が解決しようとする問題点> 上記した従来の感湿素子の製造技術には、次のような問
題がある。
<Problems to be Solved by the Present Invention> The conventional techniques for manufacturing a moisture-sensitive element described above have the following problems.

a)の感湿素子においては、高湿度の環境下で使用する
と、電解質が溶出してしまう。
In the humidity-sensitive element of a), the electrolyte is eluted when used in a high humidity environment.

b)の感湿素子においては、感応する湿度範囲が狭く、
しかも感湿特性の直線性が劣る。
In the moisture sensitive element of b), the sensitive humidity range is narrow,
Moreover, the linearity of the moisture sensitivity characteristic is poor.

c)の感湿素子においては、空気中のガスや微粉塵によ
る汚染を受けるので感湿特性が変化し易く、信頼性が低
い。また、製造面では高温による後処理工程やクリーニ
ング工程を必要とし、煩雑となる。
In the humidity sensitive element of c), since the humidity sensitive element is contaminated by gas and fine dust in the air, the humidity sensitive property is likely to change and the reliability is low. Further, in terms of manufacturing, a post-treatment step and a cleaning step due to high temperature are required, which is complicated.

d)の感湿素子においては、以上のa)〜c)の感湿素
子と比較して用途範囲も広く、比較的安定した信頼性の
ある感湿特性が得られ、耐久性にも優れているが、製造
工程が煩雑であり、またそのために均一な特性を有する
製品を得るのが難しい。
The moisture-sensitive element of d) has a wider application range than the moisture-sensitive elements of a) to c) described above, can obtain relatively stable and reliable moisture sensitive characteristics, and is excellent in durability. However, the manufacturing process is complicated and it is difficult to obtain a product having uniform characteristics.

<本発明の目的> 本発明は以上の問題点を解決するためになされたもの
で、製造方法が容易であって、耐久性および感湿特性に
優れている感湿素子を提供することを目的とする。
<Object of the present invention> The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a moisture-sensitive element that is easy to manufacture and has excellent durability and moisture-sensitive characteristics. And

<本発明を解決するための手段> 次に本発明の構成を説明し、本発明による問題を解決す
るための手段を明示する。
<Means for Solving the Present Invention> Next, the configuration of the present invention will be described, and the means for solving the problems according to the present invention will be specified.

<イ>構成ポリマー 本発明に係る感湿素子は、有機イオン性ポリマーの優れ
た特性を活用することを特徴とし、次のような組み合わ
せでポリマーを構成する。
<A> Constituent Polymer The moisture-sensitive element according to the present invention is characterized by utilizing the excellent characteristics of the organic ionic polymer, and the polymer is constituted by the following combinations.

側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)のポリマーと、側鎖に水酸基を有す
る化合物(B)のポリマー。
A polymer of the compound (A) having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group in the side chain and a polymer of the compound (B) having a hydroxyl group in the side chain.

側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)のポリマーと、多価アルコール
(C)。
A polymer of a compound (A) having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group in its side chain, and a polyhydric alcohol (C).

側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)と水酸基を有する化合物(B)とか
らなるコポリマーと、強酸(D)。
A copolymer comprising a compound (A) having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group in a side chain and a compound (B) having a hydroxyl group, and a strong acid (D).

側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)と水酸基を有する化合物(B)とか
らなるコポリマーと、多価強酸(E)。
A copolymer comprising a compound (A) having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group in a side chain and a compound (B) having a hydroxyl group, and a polyvalent strong acid (E).

ただし、上記のA、B、C、DおよびEは、次の群より
なる化合物から選択されたものを用いる。
However, as the above A, B, C, D and E, those selected from the compounds consisting of the following groups are used.

A:スチレンスルホン酸、2−アクリルアミド−2−メ
チルプロパンスルホン酸、アリルスルホン酸、ビニルス
ルホン酸、アクリル酸、メタクリル酸など。
A: Styrene sulfonic acid, 2-acrylamido-2-methylpropane sulfonic acid, allyl sulfonic acid, vinyl sulfonic acid, acrylic acid, methacrylic acid and the like.

B:ビニルアルコール、2−ヒドロキシエチルアクリレ
ート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒド
ロキシプロピルメタクリレートなど。
B: Vinyl alcohol, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate and the like.

C:エチレングリコール、グリセリン、トリメチロール
プロパンなど。
C: ethylene glycol, glycerin, trimethylolpropane, etc.

D:硫酸など。D: Sulfuric acid, etc.

E:ピロ燐酸など。E: Pyrophosphoric acid and the like.

<ロ>ポリマー薄膜の形成工程 上記のような構成からなるポリマーの溶液を電極を有す
る基板上に塗布し、溶剤を除去すると同時に加熱によっ
て架橋処理する。
<B> Polymer thin film forming step A solution of the polymer having the above-mentioned constitution is applied on a substrate having an electrode, and the solvent is removed, and at the same time, a crosslinking treatment is performed by heating.

電極の形成方法としては、公知のプリントまたはエッチ
ング法などを用いることができる。
As a method for forming the electrodes, a known printing or etching method can be used.

また、ポリマー溶液の塗布方法としては、公知のナイフ
コーター、ロールコーターによる方法などが用いられ
る。
As a method for applying the polymer solution, a known knife coater or roll coater method may be used.

なお、塗布のかわりに、基板をポリマー溶液に浸漬する
方法またはスピナーによる方法なども採用される。
Instead of coating, a method of immersing the substrate in the polymer solution or a method of using a spinner may be adopted.

<ハ>ポリマー薄膜中の強酸基と水酸基の比率 本発明によると、目標とする抵抗値に応じて強酸基と水
酸基の比率を変えることができる。
<C> Ratio of Strong Acid Group to Hydroxyl Group in Polymer Thin Film According to the present invention, the ratio of strong acid group to hydroxyl group can be changed according to the target resistance value.

強酸基と水酸基の比率は、一般には30:1から55:
45の範囲が望ましい。
The ratio of strong acid groups to hydroxyl groups is generally 30: 1 to 55 :.
A range of 45 is desirable.

<ニ>中和工程 上記した強酸基と水酸基の比率面積では、強酸基が過剰
であるため、これを中和する必要がある。
<D> Neutralization Step In the above-mentioned ratio area of the strong acid group and the hydroxyl group, since the strong acid group is excessive, it is necessary to neutralize it.

中和方法としては、ポリマー薄膜をアルカリ溶液中に含
浸する方法あるいはアルカリ性のガス中に曝露する方法
が採用される。
As a neutralization method, a method of impregnating a polymer thin film in an alkaline solution or a method of exposing it to an alkaline gas is adopted.

<作用> 上記の工程で製造した感湿素子は、架橋によって吸脱湿
による膨潤収縮が抑えられているため、感湿特性にばら
つきがなく、安定している。
<Operation> The moisture-sensitive element manufactured in the above process is stable because there is no variation in moisture-sensitive characteristics because swelling and shrinkage due to moisture absorption / desorption is suppressed by crosslinking.

またこの感湿素子は、膨潤収縮が少なく、基板および電
極との接着性がよいとの理由から耐久性に優れる。
Further, this moisture-sensitive element is excellent in durability because it is less likely to swell and shrink and has good adhesiveness to the substrate and the electrode.

特に高湿の環境下に長時間放置しても感湿特性の変化が
極めて小さく、また吸湿速度および湿速度が速く応答性
に優れる。膜の薄さも優れた応答性をもたらす。
In particular, even if it is left in a high humidity environment for a long period of time, the change in moisture sensitivity characteristics is extremely small, and the moisture absorption rate and the moisture rate are fast and the response is excellent. The thinness of the film also provides excellent responsiveness.

また、強酸基と水酸基の比率を調整することで、感湿特
性を容易に制御できる。
In addition, the moisture-sensitive property can be easily controlled by adjusting the ratio of the strong acid group and the hydroxyl group.

さらにまた、架橋が容易に行えるから生産工程が簡略化
できる。
Furthermore, since the crosslinking can be easily performed, the production process can be simplified.

<実施例> 実施例1 アルミナ板に櫛型電極を印刷した基板に、ポリスチレン
スルホン酸8部、グリセリン2部および水90部からな
る溶液を塗布する。この基板を120℃で乾燥熱処理し
た後、水酸化リチウム(LiOH)水溶液で中和する。この
処理基板を洗浄、乾燥して感湿素子を得た。
<Example> Example 1 A solution composed of 8 parts of polystyrenesulfonic acid, 2 parts of glycerin and 90 parts of water is applied to a substrate in which a comb-shaped electrode is printed on an alumina plate. After the substrate is dried and heat-treated at 120 ° C., it is neutralized with a lithium hydroxide (LiOH) aqueous solution. The treated substrate was washed and dried to obtain a moisture sensitive element.

この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第1図中[I]で示す。
Moisture-sensitive characteristics of this humidity-sensitive element measured with a sine wave of 1 KHz at 25 ° C. are shown by [I] in FIG.

実施例2 アルミナ板に櫛型電極を印刷した基板に、ポリ2−アク
リルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸6部と、ポ
リビニルアルコール4部および水90部からなる溶液を
塗布する。この基板を100℃で乾燥熱処理した後、ア
ンモニア蒸気で中和する。この処理基板を洗浄、乾燥し
て感湿素子を得た。
Example 2 To a substrate obtained by printing comb electrodes on an alumina plate, a solution of 6 parts of poly-2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, 4 parts of polyvinyl alcohol and 90 parts of water is applied. After the substrate is dried and heat-treated at 100 ° C., it is neutralized with ammonia vapor. The treated substrate was washed and dried to obtain a moisture sensitive element.

この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第1図[II]で示す。
The humidity sensitive characteristics of this humidity sensitive element measured with a sine wave of 1 KHz at 25 ° C. are shown in FIG. 1 [II].

実施例3 アルミナ板に櫛型電極を印刷した基板を、コポリマー
(2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸
ナトリウムと2−ヒドロキシエチルアクリレートとをモ
ノマー仕込比8:2で共重合させたもの)8部とアルト
リン酸2部および水90部からなる溶液に含浸する。含
浸は4cm/分とする。この処理基板を100℃で乾燥熱
処理して感湿素子を得た。
Example 3 Copolymer (sodium 2-acrylamido-2-methylpropane sulfonate and 2-hydroxyethyl acrylate were copolymerized at a monomer charge ratio of 8: 2) was used as a substrate obtained by printing comb electrodes on an alumina plate. And a solution of 2 parts altophosphoric acid and 90 parts water is impregnated. Impregnation is 4 cm / min. The treated substrate was dried and heat-treated at 100 ° C. to obtain a humidity sensitive element.

この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第2図[III]で示す。
FIG. 2 [III] shows the humidity-sensitive characteristics of this humidity-sensitive element measured at 25 ° C. with a sine wave of 1 KHz.

実施例4 実施例3で得た感湿素子を、50度飽和RHおよび50
℃10%以下RHの乾燥雰囲気下での暴露各1時間を1
サイクルとする乾湿サイクルテストに供した。各サイク
ル数における感湿素子を用いて、25℃で、40%、6
0%、80%および100%RH下における1KHz正弦
波での抵抗を測定して、第3図に示すような結果を得
た。
Example 4 The moisture-sensitive element obtained in Example 3 was tested at 50 ° saturated RH and 50
℃ 10% or less 1 hour each exposure in a dry atmosphere of RH
It was subjected to a dry and wet cycle test as a cycle. Using a humidity sensitive element in each cycle number, at 25 ° C, 40%, 6
The resistance at 1 KHz sine wave was measured under 0%, 80% and 100% RH, and the results as shown in FIG. 3 were obtained.

このテスト結果から、本発明に感湿素子は、耐久性に優
れていることが理解される。
From this test result, it is understood that the humidity sensitive element of the present invention has excellent durability.

実施例5 アルミナ板に櫛形電極を印刷した基板を、コポリマー
(アクリル酸ナトリウムと2−ヒドロキシエチルアクリ
レートとをモノマー仕込比9:1で共重合させたもの)
4部、硫酸1部および水95部からなる溶液に含浸す
る。含浸は6cm/分とする。この処理基板を80℃で乾
燥熱処理して感湿素子を得た。
Example 5 Copolymer (sodium acrylate and 2-hydroxyethyl acrylate copolymerized at a monomer charging ratio of 9: 1) was used as a substrate in which a comb-shaped electrode was printed on an alumina plate.
It is impregnated with a solution consisting of 4 parts, 1 part sulfuric acid and 95 parts water. Impregnation is 6 cm / min. The treated substrate was dried and heat-treated at 80 ° C. to obtain a humidity sensitive element.

この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第2図中[IV]で示す。
Moisture-sensitive characteristics of this humidity-sensitive element measured with a sine wave of 1 KHz at 25 ° C. are shown by [IV] in FIG.

<本発明の効果> 本発明は以上説明したようになるから、次のような効果
を得ることができる。
<Effects of the Present Invention> Since the present invention is as described above, the following effects can be obtained.

<イ>ポリマーの架橋により、吸脱湿による膨潤収縮が
抑えられる。したがって、感湿特性が安定しており、と
くに高湿度環境下で長時間放置してもその変動がきわめ
て小さい。また、耐久性にも優れる。
<B> Crosslinking of the polymer suppresses swelling and shrinkage due to moisture absorption and desorption. Therefore, the moisture-sensitive property is stable, and its fluctuation is extremely small even when left for a long time especially in a high humidity environment. It also has excellent durability.

<ロ>ポリマー中の強酸基と水酸基の比率を調製するこ
とによって、感湿特性を容易に制御できる。
<B> By adjusting the ratio of the strong acid group to the hydroxyl group in the polymer, the moisture sensitivity characteristics can be easily controlled.

<ハ>吸脱湿速度が速く、応答性に優れる。<C> Absorption / dehumidification speed is fast and responsiveness is excellent.

<ニ>ポリマーの架橋が容易であるので、生産工程が簡
略化できる。
<D> Since the polymer is easily cross-linked, the production process can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図および第2図:本発明に係る感湿素子の特性(湿
度−抵抗変化)を示す説明図 第3図:本発明に係る感湿素子の乾湿サイクルテストの
結果の説明図
FIG. 1 and FIG. 2: Explanatory diagram showing characteristics (humidity-resistance change) of the humidity sensitive element according to the present invention. FIG. 3: Explanatory diagram of results of dry-wet cycle test of the moisture sensitive element according to the present invention.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むポ
リマーとアルコール性水酸基を含むポリマーとを架橋さ
せて構成することを特徴とする、有機イオン性ポリマー
感湿素子。
1. A moisture-sensitive element having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group as a moisture-sensitive group, which is constituted by crosslinking a polymer containing the moisture-sensitive group and a polymer containing an alcoholic hydroxyl group. And an organic ionic polymer moisture sensitive element.
【請求項2】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むポ
リマーと多価アルコールとを架橋させて構成することを
特徴とする、有機イオン性ポリマー感湿素子。
2. A moisture-sensitive element having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group as a moisture-sensitive group, which is characterized in that a polymer containing the moisture-sensitive group and a polyhydric alcohol are crosslinked. Organic ionic polymer moisture sensitive element.
【請求項3】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むモ
ノマーとアルコール性水酸基を含むモノマーとのコポリ
マーに、強酸を加えて架橋させて構成することを特徴と
する、有機イオン性ポリマー感湿素子。
3. A moisture-sensitive element having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group as a moisture-sensitive group, wherein a strong acid is added to a copolymer of a monomer having the moisture-sensitive group and a monomer having an alcoholic hydroxyl group to crosslink. An organic ionic polymer moisture-sensitive element, characterized by being configured as follows.
【請求項4】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むモ
ノマーとアルコール性水酸基を含むモノマーとのコポリ
マーに、多価強酸を加えて架橋させて構成することを特
徴とする、有機イオン性ポリマー感湿素子。
4. A moisture-sensitive element having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group as a moisture-sensitive group, wherein a polyvalent strong acid is added to a copolymer of a monomer having the moisture-sensitive group and a monomer having an alcoholic hydroxyl group. An organic ionic polymer moisture-sensitive element, characterized in that it is formed by cross-linking.
【請求項5】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基として含むポリマーと、アルコール性水酸基
を含むポリマーまたは多価アルコールとを櫛型電極を有
する基盤に塗布し、熱処理して架橋することを特徴とす
る、感湿素子の製造方法。
5. A polymer having a sulfonic acid group and / or a carboxyl group as a moisture-sensitive group and a polymer having an alcoholic hydroxyl group or a polyhydric alcohol are applied to a substrate having a comb-shaped electrode, and heat-treated to crosslink. A method for manufacturing a humidity-sensitive element, comprising:
【請求項6】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基として含むモノマーと、アルコール性水酸基
を含むモノマーとのコポリマーに、強酸または多価強酸
を加え、これを櫛型電極を有する基盤に塗布し、熱処理
して架橋することを特徴とする、感湿素子の製造方法。
6. A strong acid or a polyvalent strong acid is added to a copolymer of a monomer containing a sulfonic acid group and / or a carboxyl group as a moisture-sensitive group and a monomer containing an alcoholic hydroxyl group, which is used as a base having a comb-shaped electrode. A method for producing a moisture-sensitive element, which comprises coating, heat-treating and crosslinking.
JP62180027A 1987-07-21 1987-07-21 Moisture-sensitive element and manufacturing method thereof Expired - Lifetime JPH0658337B2 (en)

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