JPH065666A - Wire bonding device - Google Patents

Wire bonding device

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JPH065666A
JPH065666A JP4187322A JP18732292A JPH065666A JP H065666 A JPH065666 A JP H065666A JP 4187322 A JP4187322 A JP 4187322A JP 18732292 A JP18732292 A JP 18732292A JP H065666 A JPH065666 A JP H065666A
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piezoelectric element
frequency
wire
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Toyokazu Oki
豊和 大木
Kuniyuki Takahashi
邦行 高橋
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Shinkawa Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain a wire bonding device which feeds stable vibration energy and is changeable in frequency and vibration amplitude while it carries out a bonding operation by a method wherein a piezoelectric element, a microcomputer, and a control circuit all specified respectively are provided. CONSTITUTION:A capillary 5 where a wire 4 is inserted is fixed to one end of a bonding arm 2, and the bonding arm 2 is built in a wire bonding device in a vertically movable and a swingable manner. An piezoelectric element 7 which transmits vibrations to the capillary 5 built in the bonding arm 2 through a magnetostrictive or an electrostrictive effect and a microcomputer 40 which outputs frequency data and amplitude data that determine the amplitude of vibrations are provided to the wire bonding device. A control circuit which applies an output voltage or current onto the piezoelectric element 7 determining its waveform and amplitude basing on the frequency data and the amplitude data outputted from the microcomputer 40 is provided. For instance, the control circuit is composed of a memory element 44, a programmable frequency generator 42, and D/A converters 45 and 46.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング装置
に関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a wire bonding apparatus.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来のワイヤボンデイング装置は、ＸＹ
テーブルによってＸＹ方向に駆動されるボンデイングヘ
ッドに直接又はリフタアームを介してボンデイングアー
ムを上下動又は揺動可能に取付けてなり、ボンデイング
アームの先端にはワイヤが挿通されるキャピラリが取付
けられている。またボンデイングアームの後方（ボンデ
イングヘッド側）にはボンデイングアームに振動を伝え
る振動子が取付けられ、ワイヤの先端に形成されたボー
ル又はワイヤを試料にボンデイングする時は、振動子を
駆動するＰＬＬ（フエーズロックドループ）発振回路で
振動子を振動させてボンデイングアームを共振周波数に
保ちボンデイングしていた。ここで、ＰＬＬ発振回路
は、絶えず周波数を追尾して共振周波数から外れないよ
うにするための発振回路である。2. Description of the Related Art A conventional wire bonding apparatus is XY
A bonding arm is attached to a bonding head driven in the XY directions by a table so as to be vertically movable or swingable via a lifter arm, and a capillary through which a wire is inserted is attached to the tip of the bonding arm. A vibrator that transmits vibration to the bonding arm is attached to the rear of the bonding arm (on the bonding head side), and when bonding the ball or wire formed at the tip of the wire to the sample, a PLL (phase) that drives the vibrator is used. The oscillator was vibrated by a (z-locked loop) oscillator circuit and the bonding arm was held at the resonance frequency for bonding. Here, the PLL oscillation circuit is an oscillation circuit for continuously tracking the frequency so as not to deviate from the resonance frequency.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボン
デイングアームを共振周波数に追従させていたので、ボ
ンデイング時にリードフレーム又は半導体チップ等と共
振し、半導体チップにクラック等が生じ、ボンデイング
に悪影響を及ぼしていた。またボンデイング時の負荷変
動により共振周波数がずれるので、周波数追尾回路を設
けて追尾させる必要があった。In the above-mentioned prior art, since the bonding arm is made to follow the resonance frequency, it resonates with the lead frame or the semiconductor chip at the time of bonding, and the semiconductor chip is cracked and the bonding is adversely affected. Was affecting. In addition, since the resonance frequency shifts due to load fluctuation during bonding, it is necessary to provide a frequency tracking circuit for tracking.

【０００４】本発明の目的は、安定した振動エネルギー
が供給でき、また個々のボンデイング中に周波数及び振
幅を可変でき、安定したボンデイングが可能なワイヤボ
ンデイング装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a wire bonding apparatus capable of supplying stable vibration energy, varying the frequency and amplitude during individual bonding, and enabling stable bonding.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、ボンデイングアームに組み込まれキ
ャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を伝達する圧電
素子と、周波数データ及び振幅を決める振幅データを出
力するマイクロコンピュータと、このマイクロコンピュ
ータからの周波数データ及び振幅データによって出力波
形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電流を圧電素子
に印加する制御回路から成ることを特徴とする。The structure of the present invention for achieving the above object is a piezoelectric element incorporated in a bonding arm for transmitting a vibration to a capillary by an electrostrictive or magnetostrictive effect, and an amplitude for determining frequency data and amplitude. It is characterized by comprising a microcomputer for outputting data, and a control circuit for applying output voltage or current to the piezoelectric element by determining output waveform data and amplitude by frequency data and amplitude data from the microcomputer.

【０００６】[0006]

【作用】キャピラリの先端に突出したワイヤの先端に形
成されたボール又はワイヤをキヤピラリで試料に押圧し
てボンデイングする時は、圧電素子に、ある周波数で電
圧が印加される。圧電素子に、ある周波数で電圧を印加
すると、圧電素子は、電歪又は磁歪効果により伸縮を繰
り返す。この圧電素子の伸縮による振動がボンデイング
アームを介してキャピラリに伝達される。このキャピラ
リへ伝達された振動エネルギーにより、ワイヤは試料に
ボンデイングされる。またマイクロコンピュータから試
料に適する周波数データ及び振幅データが制御回路に入
力され、制御回路は前記データによって出力波形データ
及び振幅を決めて圧電素子へ出力電圧又は電流が印加さ
れる。When the ball or wire formed at the tip of the wire protruding from the tip of the capillary is bonded to the sample by the capillary, a voltage is applied to the piezoelectric element at a certain frequency. When a voltage is applied to the piezoelectric element at a certain frequency, the piezoelectric element repeatedly expands and contracts due to the electrostrictive or magnetostrictive effect. Vibration due to expansion and contraction of the piezoelectric element is transmitted to the capillary via the bonding arm. The vibration energy transferred to the capillary causes the wire to bond to the sample. Further, frequency data and amplitude data suitable for the sample are input from the microcomputer to the control circuit, and the control circuit determines output waveform data and amplitude according to the data and applies an output voltage or current to the piezoelectric element.

【０００７】[0007]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図２及び図３に示すように、リフタアーム１には、
ボンデイングアーム２の一端がボルト３によって固定さ
れており、ボンデイングアーム２の先端には、ワイヤ４
が挿通されるキャピラリ５がボルト６で固定されてい
る。ここで、ボンデイングアーム２に形成されたキャピ
ラリ用穴２ａは、段付穴となっており、キャピラリ５の
高さ設定ができるようになっている。ボンデイングアー
ム２にはほぼ四角状の圧電素子取付け用穴２ｂが形成さ
れており、圧電素子取付け用穴２ｂには、積層圧電アク
チュエータ（以下、圧電素子という）７の両端部が接着
剤によって固定されている。ここで、圧電素子７は、そ
の歪方向がキャピラリ５の中心軸線に直交するように配
設されている。またボンデイングアーム２には、キャピ
ラリ用穴２ａのキャピラリ５と反対側に薄肉部２ｃを形
成するように穴２ｄが形成され、前記薄肉部２ｃを押圧
するようにボルト８が螺合されている。そこで、ボルト
８を回すと、薄肉部２ｃを介して圧電素子７に予圧がか
けられる。この予圧は、例えばトルクレンチにより２乃
至８Ｋｇ程度かける。予圧をかけた後は、ボルト８は接
着剤で固定しておく。なお、図中、９は試料を示す。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 2 and 3, the lifter arm 1 includes
One end of the bonding arm 2 is fixed by a bolt 3, and a wire 4 is attached to the tip of the bonding arm 2.
Capillary 5 through which is inserted is fixed with bolts 6. Here, the hole 2a for capillaries formed in the bonding arm 2 is a stepped hole so that the height of the capillary 5 can be set. The bonding arm 2 is formed with a substantially square-shaped piezoelectric element mounting hole 2b, and both ends of a laminated piezoelectric actuator (hereinafter referred to as a piezoelectric element) 7 are fixed to the piezoelectric element mounting hole 2b with an adhesive. ing. Here, the piezoelectric element 7 is arranged so that the strain direction thereof is orthogonal to the central axis of the capillary 5. A hole 2d is formed in the bonding arm 2 so as to form a thin portion 2c on the side opposite to the capillary 5 of the capillary hole 2a, and a bolt 8 is screwed to press the thin portion 2c. Therefore, when the bolt 8 is turned, the piezoelectric element 7 is preloaded via the thin portion 2c. This preload is applied by, for example, a torque wrench at about 2 to 8 kg. After the preload is applied, the bolt 8 is fixed with an adhesive. In the figure, 9 indicates a sample.

【０００８】図４は本発明を適用したワイヤボンデイン
グ装置を示す。架台１０上には、ＸＹ方向に駆動される
ＸＹテーブル１１が搭載されており、ＸＹテーブル１１
上には、ボンデイングヘッド１２が固定されている。ボ
ンデイングヘッド１２には、前記したリフタアーム１が
上下動可能に設けられており、リフタアーム１はモータ
１３によって上下動させられる。リフタアーム１には、
ワイヤ切断用クランパ１４を保持したクランパ支持体１
５が固定されている。またボンデイングヘッド１２に
は、ワイヤ４を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ２０
を保持するクランパ支持体２１と、ワイヤ４が巻回され
たスプール２２を保持するスプール支持体２３と、試料
９を検出するカメラ２４を保持したカメラ支持体２５と
が固定されている。前記ワイヤ４は、スプール２２より
ワイヤ保持用クランパ２０、ワイヤ切断用クランパ１４
を通してキャピラリ５に挿通されている。なお、図中、
３０は試料９を送るフイーダ、３１は試料９をガイドす
るガイドレールである。FIG. 4 shows a wire bonding apparatus to which the present invention is applied. An XY table 11 that is driven in the XY directions is mounted on the gantry 10.
A bonding head 12 is fixed on the top. The bonder head 12 is provided with the lifter arm 1 which can be moved up and down, and the lifter arm 1 is moved up and down by a motor 13. The lifter arm 1 has
Clamper support 1 holding a wire cutting clamper 14
5 is fixed. Further, the bonding head 12 has a wire holding clamper 20 for lightly holding the wire 4.
Is fixed, a spool support 23 for holding the spool 22 around which the wire 4 is wound, and a camera support 25 for holding a camera 24 for detecting the sample 9 are fixed. The wire 4 includes a spool 22, a wire holding clamper 20, and a wire cutting clamper 14.
Is inserted into the capillary 5. In the figure,
Reference numeral 30 is a feeder for sending the sample 9, and 31 is a guide rail for guiding the sample 9.

【０００９】図１は圧電素子７の制御装置を示す。４０
はワイヤボンデイング装置を制御するマイクロコンピュ
ータ、４１は基準周波数（クロック信号）を発振するク
ロック回路、４２はマイクロコンピュータ４０からの周
波数データによりクロック回路４１の基準周波数を可変
（分周）するプログラマブル周波数発生器、４３は出力
波形データが記録されているＰＲＯＭ等より成る記憶素
子４４の出力波形データのアドレスを決めるカウンタ
で、プログラマブル周波数発生器４２の出力によって動
作する。４５は記憶素子４４より入力された出力波形デ
ータの出力電圧を制御するＤ／Ａコンバータ、４６はＤ
／Ａコンバータ４５の出力電圧の振幅を決めるＤ／Ａコ
ンバータ、４７はＤ／Ａコンバータ４５からの出力電圧
を増幅して圧電素子７を駆動するアンプである。４８は
マイクロコンピュータ４０のアドレスデータを判断して
プログラマブル周波数発生器４２、カウンタ４３、記憶
素子４４、Ｄ／Ａコンバータ４６の選択を行なうデコー
ダである。FIG. 1 shows a control device for the piezoelectric element 7. 40
Is a microcomputer that controls the wire bonding apparatus, 41 is a clock circuit that oscillates a reference frequency (clock signal), and 42 is a programmable frequency generator that changes (divides) the reference frequency of the clock circuit 41 based on frequency data from the microcomputer 40. Reference numeral 43 denotes a counter for determining the address of the output waveform data of the storage element 44 composed of a PROM or the like in which the output waveform data is recorded, and is operated by the output of the programmable frequency generator 42. Reference numeral 45 is a D / A converter for controlling the output voltage of the output waveform data input from the storage element 44, and 46 is a D / A converter.
A D / A converter that determines the amplitude of the output voltage of the / A converter 45, and 47 is an amplifier that amplifies the output voltage from the D / A converter 45 and drives the piezoelectric element 7. A decoder 48 determines the address data of the microcomputer 40 and selects the programmable frequency generator 42, the counter 43, the storage element 44, and the D / A converter 46.

【００１０】次に作用について説明する。先ずボンデイ
ング動作を図２乃至図４により説明する。ボンデイング
動作は、ＸＹテーブル１のＸＹ方向への移動及びモータ
１３によるリフタアーム１の上下動により、キャピラリ
５がＸＹ方向及び上下方向に移動させられ、従来周知の
方法によって行われるので、その詳細な説明は省略す
る。キャピラリ５が試料９に接触（正確には、第１ボン
ド点においてはワイヤ４の先端に形成されたボールが試
料９に接触、第２ボンド点においてはワイヤ４が試料９
に接触）してワイヤ４を試料９にボンデイングする時
は、圧電素子７の配線７ａにある周波数で電圧が印加さ
れる。圧電素子７に、ある周波数で電圧を印加すると、
圧電素子７は、電歪又は磁歪効果により伸縮を繰り返
す。この圧電素子７の伸縮による振動がボンデイングア
ーム２を介してキャピラリ５に伝達される。このキャピ
ラリ５へ伝達された振動エネルギーにより、ワイヤ４は
試料９に接合、即ちボンデイングされる。Next, the operation will be described. First, the bonding operation will be described with reference to FIGS. The bonding operation is performed by a conventionally known method by moving the XY table 1 in the XY directions and moving the lifter arm 1 up and down by the motor 13 to move the capillaries 5 in the XY directions and the up and down directions. Is omitted. The capillary 5 contacts the sample 9 (more precisely, the ball formed at the tip of the wire 4 contacts the sample 9 at the first bond point, and the wire 4 contacts the sample 9 at the second bond point.
When the wire 4 is bonded to the sample 9 by contacting the wire 7), a voltage is applied to the wiring 7a of the piezoelectric element 7 at a certain frequency. When a voltage is applied to the piezoelectric element 7 at a certain frequency,
The piezoelectric element 7 repeats expansion and contraction due to the electrostrictive or magnetostrictive effect. The vibration due to the expansion and contraction of the piezoelectric element 7 is transmitted to the capillary 5 via the bonding arm 2. The vibration energy transmitted to the capillary 5 causes the wire 4 to be bonded, that is, bonded to the sample 9.

【００１１】このように、圧電素子７の電歪又は磁歪効
果によるので、共振波長にボンデイングアーム２の長さ
を合わす必要がなくなり、軽量及び小型化が図れる。ま
た従来の振動子は約３０ｇｒであったが、本実施例にお
ける圧電素子７は約３ｇｒであり、約１／１０の重さと
なり、この点からも軽量及び小型化が図れる。また従来
の共振によるボンデイング方法では、ボンデイング時の
負荷変動により共振周波数にずれが生じ、周波数追尾回
路で追尾させる必要があったが、本実施例は非共振のた
め、周波数追尾回路は不要であり、安定した振動エネル
ギーを供給することができる。As described above, because of the electrostrictive or magnetostrictive effect of the piezoelectric element 7, it is not necessary to match the length of the bonding arm 2 with the resonance wavelength, and the weight and size can be reduced. Further, the conventional vibrator has a weight of about 30 gr, but the piezoelectric element 7 in the present embodiment has a weight of about 1/10 and a weight of about 1/10. From this point as well, the weight and the size can be reduced. Further, in the conventional bonding method by resonance, the resonance frequency shifts due to load fluctuations during bonding, and it was necessary to track with a frequency tracking circuit, but since this example is non-resonant, a frequency tracking circuit is not necessary. The stable vibration energy can be supplied.

【００１２】次に前記した圧電素子７への電圧印加を図
１、図５及び図６により説明する。マイクロコンピュー
タ４０から試料９に適する周波数データがプログラマブ
ル周波数発生器４２に送られると、その周波数データに
従って、プログラマブル周波数発生器４２はクロック回
路４１の基本周波数を分周して出力４２ａする。この出
力４２ａは前記したマイクロコンピュータ４０からの周
波数データによって変わり、例えば図５（ａ）又は図６
（ａ）のような出力となる。この出力４２ａは記憶素子
４４に記録された出力波形データのアドレス切り換え信
号になる。プログラマブル周波数発生器４２から出力４
２ａされたアドレス切り換え信号がカウンタ４３に入力
されてカウンタ４３が動作し、記憶素子４４に記録され
ている出力波形データのアドレスが決まる。カウンタ４
３によって指定された記憶素子４４のアドレスの出力波
形データはＤ／Ａコンバータ４５に入力される。この
時、マイクロコンピュータ４０よりＤ／Ａコンバータ４
６に別途振幅を決める信号が送られ、Ｄ／Ａコンバータ
４６からＤ／Ａコンバータ４５の出力電圧の振幅が決め
られる。Ｄ／Ａコンバータ４５は記憶素子４４より入力
された出力波形データ及びＤ／Ａコンバータ４６より入
力された振幅を決める信号によって、アンプ４７に入力
する周波数及び波形の決まった電圧を決める。このＤ／
Ａコンバータ４５の出力４５ａは、例えば図５（ｂ）又
は図６（ｂ）のような出力となる。Ｄ／Ａコンバータ４
５より出力する電圧は、アンプ４７によって増幅され、
圧電素子７が駆動される。なお、アンプ４７の出力は、
電流駆動方式にしてもよい。Next, the voltage application to the piezoelectric element 7 will be described with reference to FIGS. 1, 5 and 6. When frequency data suitable for the sample 9 is sent from the microcomputer 40 to the programmable frequency generator 42, the programmable frequency generator 42 divides the basic frequency of the clock circuit 41 according to the frequency data and outputs 42a. This output 42a changes depending on the frequency data from the microcomputer 40, and is, for example, as shown in FIG.
The output is as shown in (a). This output 42a becomes an address switching signal of the output waveform data recorded in the storage element 44. Output 4 from programmable frequency generator 42
The address switching signal 2a is input to the counter 43 to operate the counter 43, and the address of the output waveform data recorded in the storage element 44 is determined. Counter 4
The output waveform data of the address of the storage element 44 designated by 3 is input to the D / A converter 45. At this time, the microcomputer 40 causes the D / A converter 4 to
A signal for separately determining the amplitude is sent to 6, and the amplitude of the output voltage of the D / A converter 45 is determined from the D / A converter 46. The D / A converter 45 determines the frequency and the waveform-determined voltage to be input to the amplifier 47 based on the output waveform data input from the storage element 44 and the amplitude determination signal input from the D / A converter 46. This D /
The output 45a of the A converter 45 is an output as shown in FIG. 5B or 6B, for example. D / A converter 4
The voltage output from 5 is amplified by the amplifier 47,
The piezoelectric element 7 is driven. The output of the amplifier 47 is
A current driving method may be used.

【００１３】このように、マイクロコンピュータ４０か
らボンデイングされる試料に適する周波数データ及び振
幅データが制御回路に入力され、制御回路は前記データ
によって出力波形データ及び振幅を決めて圧電素子７へ
出力電圧又は電流が印加されるので、試料の共振領域か
ら周波数をずらすことにより、ボンデイング時のエネル
ギーを安定供給できる。またボンデイング中に周波数及
び圧電素子７に供給する出力を可変できるので、理想的
なボンデイングが行なえる。As described above, the frequency data and the amplitude data suitable for the sample to be bonded are input to the control circuit from the microcomputer 40, and the control circuit determines the output waveform data and the amplitude based on the data and outputs the voltage or the output voltage to the piezoelectric element 7. Since a current is applied, energy can be stably supplied during bonding by shifting the frequency from the resonance region of the sample. Further, since the frequency and the output supplied to the piezoelectric element 7 can be varied during bonding, ideal bonding can be performed.

【００１４】[0014]

【発明の効果】本発明によれば、ボンデイングアームに
組み込まれキャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を
伝達する圧電素子と、周波数データ及び振幅を決める振
幅データを出力するマイクロコンピュータと、このマイ
クロコンピュータからの周波数データ及び振幅データに
よって出力波形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電
流を圧電素子に印加する制御回路から成るので、安定し
た振動エネルギーが供給でき、また個々のボンデイング
中に周波数及び振幅を可変でき、安定したボンデイング
が行なえる。According to the present invention, a piezoelectric element incorporated in a bonding arm for transmitting vibration to a capillary by an electrostrictive or magnetostrictive effect, a microcomputer for outputting frequency data and amplitude data for determining amplitude, and this microcomputer. Since it consists of a control circuit that determines the output waveform data and amplitude according to the frequency data and amplitude data from, and applies the output voltage or current to the piezoelectric element, stable vibration energy can be supplied, and the frequency and amplitude can be controlled during each bonding. It is variable and stable bonding can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明になるワイヤボンデイング装置の一実施
例を示す制御回路装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a control circuit device showing an embodiment of a wire bonding device according to the present invention.

【図２】本発明になるワイヤボンデイング装置の一実施
例を示すボンデイングアーム部分の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a bonding arm portion showing an embodiment of the wire bonding apparatus according to the present invention.

【図３】図２のＡーＡ線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図４】本発明を適用したワイヤボンデイング装置の側
面図である。FIG. 4 is a side view of a wire bonding apparatus to which the present invention has been applied.

【図５】出力の１例を示し、（ａ）はプログラマブル周
波数発生器の出力図、（ｂ）は圧電素子に出力するＤ／
Ａコンバータの出力図である。5A and 5B show an example of outputs, FIG. 5A is an output diagram of a programmable frequency generator, and FIG. 5B is D / output to a piezoelectric element.
It is an output diagram of an A converter.

【図６】出力の他の例を示し、（ａ）はプログラマブル
周波数発生器の出力図、（ｂ）は圧電素子に出力するＤ
／Ａコンバータの出力図である。6A and 6B show another example of output, FIG. 6A is an output diagram of a programmable frequency generator, and FIG. 6B is D output to a piezoelectric element.
It is an output figure of a / A converter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２ ボンデイングアーム ４ ワイヤ ５ キャピラリ ７ 圧電素子 ４０ マイクロコンピュータ ４１ クロック回路 ４２ プログラマブル周波数発生器 ４３ カウンタ ４４ 記憶素子 ４５ Ｄ／Ａコンバータ ４６ Ｄ／Ａコンバータ ４８ デコーダ 2 Bonding arm 4 Wire 5 Capillary 7 Piezoelectric element 40 Microcomputer 41 Clock circuit 42 Programmable frequency generator 43 Counter 44 Storage element 45 D / A converter 46 D / A converter 48 Decoder

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ワイヤが挿通されるキャピラリを一端に
固定してなるボンデイングアームを上下動又は揺動可能
に設けて成るワイヤボンデイング装置において、前記ボ
ンデイングアームに組み込まれキャピラリに電歪又は磁
歪効果により振動を伝達する圧電素子と、周波数データ
及び振幅を決める振幅データを出力するマイクロコンピ
ュータと、このマイクロコンピュータからの周波数デー
タ及び振幅データによって出力波形データ及び振幅を決
めて出力電圧又は電流を圧電素子に印加する制御回路か
ら成ることを特徴とするワイヤボンデイング装置。1. A wire bonding apparatus comprising a bonding arm having a capillary into which a wire is inserted and fixed at one end thereof, which is vertically movable or swingable. The wire bonding device is incorporated into the bonding arm by an electrostrictive or magnetostrictive effect. A piezoelectric element that transmits vibration, a microcomputer that outputs frequency data and amplitude data that determines amplitude, and an output waveform data and amplitude that are determined by frequency data and amplitude data from this microcomputer to output voltage or current to the piezoelectric element. A wire bonding apparatus comprising a control circuit for applying voltage. 【請求項２】 請求項１において、制御回路は、出力波
形データが記録された記憶素子と、マイクロコンピュー
タからの周波数データによって周波数を可変して記憶素
子のアドレス切り換え信号を出力するプログラマブル周
波数発生器と、マイクロコンピュータの振幅データによ
って振幅を決める第１のＤ／Ａコンバータと、プログラ
マブル周波数発生器のアドレス切り換え信号によって記
憶素子に記録されたアドレスの出力波形データと第１の
Ｄ／Ａコンバータからの決められた振幅による出力電圧
又は電流を圧電素子に印加する第２のＤ／Ａコンバータ
とから成ることを特徴とするワイヤボンデイング装置。2. The programmable frequency generator according to claim 1, wherein the control circuit changes the frequency according to the frequency data from the storage element in which the output waveform data is recorded and the address switching signal of the storage element. A first D / A converter whose amplitude is determined by the microcomputer's amplitude data, output waveform data of an address recorded in a storage element by an address switching signal of a programmable frequency generator, and the first D / A converter A wire bonding apparatus comprising a second D / A converter for applying an output voltage or current having a predetermined amplitude to a piezoelectric element.
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