JPH0652853B2 - Electrode structure of reflector type high frequency narrow band multiple mode filter - Google Patents

Electrode structure of reflector type high frequency narrow band multiple mode filter

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JPH0652853B2
JPH0652853B2 JP28366485A JP28366485A JPH0652853B2 JP H0652853 B2 JPH0652853 B2 JP H0652853B2 JP 28366485 A JP28366485 A JP 28366485A JP 28366485 A JP28366485 A JP 28366485A JP H0652853 B2 JPH0652853 B2 JP H0652853B2
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bus bar
electrodes
electrode
electrode structure
interdigital transducer
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▲祐▼三 中沢
和男 小野
昌喜 田中
孝夫 森田
武文 黒崎
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東洋通信機株式会社
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02944Means for compensation or elimination of undesirable effects of ohmic loss

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は弾性表面波(以下SAWと称する)又はすべり
波(以下SSBWと称する)等を利用する多重モード・
フィルタの電極構造に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention is a multimode method utilizing surface acoustic waves (hereinafter referred to as SAW) or slip waves (hereinafter referred to as SSBW).
The present invention relates to an electrode structure of a filter.

(従来技術) SAW多重モード・フィルタについては従来から数種類
の構想が提案されているがその基本的形態は第4図に示
す如く圧電基板1上に一組のSAW共振器2及び3をこ
れらが励起するSAWの伝播方向に沿って並列に近接配
置することによって前記励起したSAW相互間に音響的
結合を生ぜしめ,その結果発生する対称及び反対称の二
つのモードの周波数を利用してフィルタを構成せんとす
るものである。
(Prior Art) Several types of SAW multimode filters have been proposed in the past, but the basic form thereof is that a set of SAW resonators 2 and 3 are provided on a piezoelectric substrate 1 as shown in FIG. By placing adjacent SAWs in parallel along the propagation direction of the excited SAWs, acoustic coupling is generated between the excited SAWs, and the resulting two symmetric and antisymmetric frequencies are used to filter the filter. It is to be composed.

然るに本願発明者等が前述の近接配置した共振器2及び
3相互の間の音響的結合発生条件について実験的検討を
行った結果によれば音響的結合の発生条件は前記両電極
2及び3の電極指交叉幅w及び両電極の共通バスバー4
を挾む電極指端間の幅gに依存し,特に前記gの値は高
々励起した表面波々長の3倍以下程度であることが判明
した。
Therefore, the inventors of the present application experimentally studied the acoustic coupling generation condition between the resonators 2 and 3 arranged close to each other. According to the result, the acoustic coupling generation condition is as follows. Electrode finger cross width w and common bus bar 4 for both electrodes
It was found that the value depends on the width g between the electrode finger ends which sandwiches the distance, and in particular that the value of g is at most about three times the surface wave length excited.

斯る条件下に於いては前記共通バスバー4の幅員は前記
圧電基板1を回転Yカット水晶とし100MHz の中心周波
数でgを1波長と想定した場合20μm前後に設定する
必要がある。
Under such conditions, the width of the common bus bar 4 needs to be set to about 20 μm assuming that the piezoelectric substrate 1 is a rotating Y-cut crystal and g is one wavelength at a center frequency of 100 MHz.

このことは前記共通バスバー4に直接リード線をボンド
し得ないのみならず,前記両共振器のQを充分高くする
為その電極指対数を400乃至800というように増加
するならば前記共通バスバー4のオーミックなロスを増
大しその結果フィルタ自体の損失増大を招くことを意味
する。
This means that not only the lead wire cannot be directly bonded to the common bus bar 4, but if the number of electrode finger pairs is increased to 400 to 800 in order to raise the Q of the both resonators sufficiently, the common bus bar 4 It means that the ohmic loss of the filter is increased, and as a result, the loss of the filter itself is increased.

この解決策として同一出願人はすでに特願昭57−131855
「反射器型高周波狭帯域多重モード・フィルタの電極
構」に於いて前記共通バスバーが極めて細いものとなる
ことに起因するオーミックなロスを軽減する為前記両共
振器の電極指対数を極力少数としその代りに両端に反射
器を設けてQの低下を補償した所謂反射器タイプとし,
前記共通バスバーを含む両共振器のバスバーを前記反射
器の一部又は全部と一体化したSAW又はSSBW等を
利用する多重モード・フィルタの電極構造を提供した。
As a solution to this problem, the same applicant has already filed Japanese Patent Application No. 57-131855.
In "Reflector type high frequency narrow band multimode filter electrode structure", the number of electrode finger pairs of both resonators is made as small as possible in order to reduce ohmic loss caused by the extremely thin common bus bar. Instead, it is a so-called reflector type that has reflectors at both ends to compensate for the drop in Q,
An electrode structure of a multi-mode filter using a SAW or SSBW in which the bus bars of both resonators including the common bus bar are integrated with a part or all of the reflector is provided.

しかしながらこの手法によっても前記インタディジタル
・トランジューサIDTの電極指対数が多くなり共通バ
スバーの長さが大きくなる場合該IDTの共通バスバー
がもつシート抵抗に起因して共振器のQが劣化しフィル
タとしての挿入損失が増加する欠点があった。
However, even with this method, when the number of electrode finger pairs of the interdigital transducer IDT increases and the length of the common busbar increases, the Q of the resonator deteriorates due to the sheet resistance of the common busbar of the IDT, and as a filter. However, there is a drawback that the insertion loss increases.

(発明の目的) 本発明は同一出願人による前記発明の改良に関するもの
であって,共通バスバーのシート抵抗を更に減少せしめ
た多重モード・フィルタの電極構造を提供することを目
的とする。
(Object of the Invention) The present invention relates to an improvement of the above-mentioned invention by the same applicant, and an object thereof is to provide an electrode structure of a multimode filter in which the sheet resistance of a common bus bar is further reduced.

(発明の概要) このため本発明では前記IDT電極の中央部又はほゞ均
等分点の複数箇所にその共通バスバーと接地点とを接続
するアースパタンを設けるよう構成する。
(Summary of the Invention) Therefore, in the present invention, a ground pattern for connecting the common bus bar and the ground point is provided at the central portion of the IDT electrode or at a plurality of substantially equal points.

(実施例) 以下本発明を図施した実施例に基づいて詳細に説明す
る。
(Examples) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on illustrated examples.

その前に本発明の理解を容易ならしめるために同一出願
人に係わる前記発明について第5図及び第6図を用いて
簡単に説明する。
Before that, the invention relating to the same applicant will be briefly described with reference to FIGS. 5 and 6 in order to facilitate understanding of the invention.

即ち,第5図に於いて5及び6は圧電基板1上に並列に
形成したIDTであって,その共通バスバー7を前記両
電極5及び6の両端に設ける反射器8及び9のグレーテ
ィングを横切る如く延長すると共にこれらと接続するよ
う構成し前記グレーティングの両側に於いてこれらを並
列に接続するバスバー10及び11のいずれか一方或は
双方を介して接地するようにしたものである。
That is, in FIG. 5, 5 and 6 are IDTs formed in parallel on the piezoelectric substrate 1, and the common bus bar 7 crosses the gratings of the reflectors 8 and 9 provided at both ends of the electrodes 5 and 6, respectively. Thus, the grating is extended and connected to these, and is grounded via either one or both of the bus bars 10 and 11 which connect them in parallel on both sides of the grating.

斯くすることによって前記共通バスバー7の幅員の極め
て小なる部分は前記インタディジタル・トランスジュー
サ電極5及び6の幅に相当する部分のみであり,他は幅
員が極めて大となったのと等価であるから本フィルタの
接地線たる前記共通バスバー7のオーミックなロスは最
小に押えることができ,その結果フィルタの損失も又最
小とすることができる。
By doing so, the width of the common bus bar 7 is extremely small only in the width corresponding to the widths of the interdigital transducer electrodes 5 and 6, and the other widths are equivalent to being extremely large. The ohmic loss of the common bus bar 7, which is the ground wire of the filter, can be suppressed to a minimum, and as a result, the filter loss can also be minimized.

更に前記共通バスバー7の電極のリード端子との接続部
は前記反射器8及び/又は9のバスバー10,11に直
接ワイヤ・ボンディングすることが可能となるので格別
にリード端子との接続用ランドを設ける必要もない。
Further, since the connecting portion of the electrode of the common bus bar 7 with the lead terminal can be directly wire-bonded to the bus bar 10, 11 of the reflector 8 and / or 9, a land for connection with the lead terminal is specially provided. There is no need to provide it.

又,この考え方を一対のインタディジタル・トランスジ
ューサ電極5及び6のホット端子に接続すべきバスバー
夫々12又は13に適用する場合には第6図に示すよう
に前記反射器9を適所にて分割しその一方14のバスバ
ーと前記インタディジタル・トランスジューサ電極5の
バスバー12の延長部とを接続する。又,前記共通バス
バー7は前記分割した反射器9の他方のグレーティング
15とのみ接続するよう構成する。
When this idea is applied to the busbars 12 or 13 to be connected to the hot terminals of the pair of interdigital transducer electrodes 5 and 6, respectively, the reflector 9 is divided at appropriate places as shown in FIG. On the other hand, the bus bar 14 is connected to the extension of the bus bar 12 of the interdigital transducer electrode 5. Further, the common bus bar 7 is configured to be connected only to the other grating 15 of the divided reflector 9.

斯くすることによって各電極のリード接続部の全てをこ
れら電極及び反射器を形成する圧電基板1の一縁部に集
中することが可能となるのでフィルタを使用するにあた
っての結線が容易となる。
By doing so, it is possible to concentrate all of the lead connecting portions of each electrode on one edge of the piezoelectric substrate 1 forming these electrodes and reflectors, and therefore, the wiring for using the filter becomes easy.

しかしながらこのような方法によってもIDTの長さが
大きくなればこの間の共通バスバーのオーミックロスが
増えること上述した通りである。第1図は本発明に係か
る二重モードフィルタの一実施例を示す電極構造図であ
る。
However, even with such a method, as the length of the IDT increases, the ohmic cross of the common bus bar increases during this period, as described above. FIG. 1 is an electrode structure diagram showing an embodiment of a dual mode filter according to the present invention.

同図は前記第5図に示した従来のものに本発明を適用し
た例であって同一符号は同じものを示す。
This drawing is an example in which the present invention is applied to the conventional structure shown in FIG. 5, and the same reference numerals indicate the same parts.

この実施例ではIDT6を中央部に於いて2分割し同様
に2分割した該IDT6のホット端子16,16′の間
に共通バスバー7に接続したアースパタン17を挿入す
る。このとき分割したホット端子16,16′はワイヤ
ボンディングによって接続するか或は夫々の電極に端子
を設けて外部にて接続するよう構成する。
In this embodiment, the IDT 6 is divided into two at the center, and the ground pattern 17 connected to the common bus bar 7 is inserted between the hot terminals 16 and 16 'of the IDT 6 which are also divided into two. At this time, the divided hot terminals 16 and 16 'are connected by wire bonding, or terminals are provided on the respective electrodes for external connection.

このように構成すれば極めて幅員の小さい共通バスバー
の中央部を接地することになるからその両端部に於いて
反射器8,9を介して接地する該共通バスバーのIDT
区間のオーシックロスを減ずると共に該部のアース電位
の均一化に効果があること容易に理解できよう。
With this structure, the central portion of the common busbar having an extremely small width is grounded, so that the IDT of the common busbar is grounded via the reflectors 8 and 9 at both ends thereof.
It can be easily understood that it is effective in reducing the oscillating loss in the section and making the ground potential of the section uniform.

第2図は前記第6図に示したものに本発明を適用した例
であるが,前記第1図に示した実施例と同様であるから
説明する省略する。
FIG. 2 shows an example in which the present invention is applied to the one shown in FIG. 6, but since it is the same as the embodiment shown in FIG. 1, its explanation is omitted.

又,本発明は上述した例にとどまらず次のように変形し
てもよい。
Further, the present invention is not limited to the above-mentioned example, but may be modified as follows.

第3図は本発明の変形実施例であって,IDTの前記共
通バスバーに2つのアースパタンを付加したものであ
る。
FIG. 3 shows a modified embodiment of the present invention, in which two ground patterns are added to the common bus bar of the IDT.

即ち,入出力IDTの一方6とこのホット端子電極18
とを共にほゞ均等に3分割し夫々の間に共通バスバー7
に接続したアースパタン19,19′を位置せしめ前記
3分割したホット端子電極18,18′,18″は互い
にワイヤボンディングによって接続する。又前記アース
パタン19,19′の他方端はホット端子電極の外部の
パタンによって接続しこれを接地する如く構成する。
That is, one of the input / output IDT 6 and this hot terminal electrode 18
Both and are approximately equally divided into three, and a common bus bar 7 is provided between them.
The ground patterns 19 and 19 'connected to each other are positioned, and the three divided hot terminal electrodes 18, 18' and 18 "are connected to each other by wire bonding. The other ends of the ground patterns 19 and 19 'are hot terminal electrodes. It is configured to be connected by an external pattern and grounded.

このようにIDTの共通バスバーを複数箇所で接地する
ことによって,該IDT電極幅が比較的大きい場合の共
通バスバーのオーミックロスを減しかつ該部のアース電
位を均一化するうえで効果がある。
By grounding the common bus bar of the IDT at a plurality of points in this manner, it is effective in reducing the ohmic cross of the common bus bar when the IDT electrode width is relatively large and making the ground potential of the portion uniform.

以上説明した実施例ではいづれも並列構成したIDTの
一方のみ分割してアースパタンを挿入する場合を示した
が本発明はこれに限定する必要はなく両方のIDTに共
に上述したアースパタンを設けてもよいこと自明であろ
う。
In each of the embodiments described above, the case in which only one of the IDTs arranged in parallel is divided and the ground pattern is inserted is shown, but the present invention is not limited to this, and both the IDTs are provided with the above-mentioned ground pattern. It will be obvious that it is good.

尚、前記インタディジタル・トランスジューサ電極の電
極指と反射器のグレーティングとの間隙或は分割した反
射器のグレーティング相互の間隙は励起した表面波の伝
播,反射の均一性を乱さないよう例えば表面波々長の1
/4の整数倍の間隔とすべきことはいうまでもない。
The gap between the electrode fingers of the interdigital transducer electrode and the grating of the reflector or the gap between the divided gratings of the reflectors is set so as not to disturb the uniformity of the propagation and reflection of the excited surface wave. Long one
It goes without saying that the interval should be an integral multiple of / 4.

以上SAWフィルタについてのみ説明したが本発明はこ
れに限定する必要はなくインタディジタル・トランスジ
ューサ電極によって励起し得るあらゆる波動,例えばS
SBW,ラブ波,SH波或はブルースタイン・グーリエ
ー清水波等を利用するフィルタにも適用可能であること
は自明であろう。
Although only the SAW filter has been described above, the present invention is not limited to this, and any wave that can be excited by the interdigital transducer electrode, for example, S wave, can be used.
It is obvious that it can be applied to a filter using SBW, Love wave, SH wave, or Brustein-Gourier Shimizu wave.

(発明の効果) 本発明は以上説明した如く構成するので反射器を備えた
SAW又はSSBW等を利用する多重モード・フィルタ
のインタディジタル・トランスジューサ電極の共通バス
バーが極めて小断面積となることに起因するフィルタの
損失を最小に押える上で特に顕著な効果を奏するもので
ある。
(Effects of the Invention) Since the present invention is configured as described above, the common bus bar of the interdigital transducer electrodes of a multimode filter using SAW or SSBW having a reflector has an extremely small cross-sectional area. In particular, it has a particularly remarkable effect in suppressing the loss of the filter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明に係かる二重モードフィルタの一実施例
を示す電極構造図,第2図は本発明の他の実施例を示す
二重モードフィルタの電極構造図,第3図は本発明の変
形実施例を示す二重モードフィルタの電極構造図,第4
図,第5図及び第6図は従来のフィルタの電極構造図で
ある。 1……圧電基板,5及び6……入出力IDT,7……共
通バスバー,8及び9……反射器,13,13′,1
6,16′,18,18′,18″……夫々分割したI
DTのホット端子電極,17,19,19′……アース
パタン。
FIG. 1 is an electrode structure diagram showing an embodiment of a dual mode filter according to the present invention, FIG. 2 is an electrode structure diagram of a dual mode filter showing another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is an electrode structure diagram of a dual mode filter showing a modified embodiment of the invention.
FIG. 5, FIG. 5 and FIG. 6 are electrode structure diagrams of a conventional filter. 1 ... Piezoelectric substrate, 5 and 6 ... Input / output IDT, 7 ... Common bus bar, 8 and 9 ... Reflector, 13, 13 ', 1
6, 16 ', 18, 18', 18 "... I divided into each
DT hot terminal electrode, 17, 19, 19 '... Ground pattern.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒崎 武文 神奈川県高座郡寒川町小谷753番地 東洋 通信機株式会社内 審査官 鈴木 匡明 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takefumi Kurosaki 753 Otani, Samukawa-cho, Takaza-gun, Kanagawa Prefecture Toyo Communication Equipment Co., Ltd. Examiner Masaaki Suzuki

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧電基板上に2個のインタデジタル・トラ
ンスジューサ電極を相互に並列に近接配置し夫々の相隣
り合う側のバスバーを共通化すると共に前記インタデジ
タル・トランスジューサ電極の両端部に前記電極によっ
て励起されるSAWの反射器を配置して前記各電極によ
って励起されたSAW相互の音響的結合を生ぜしめるタ
イプのSAW多重モード・フィルタに於いて、前記イン
タデジタル・トランスジューサ電極を、その中央部或は
ほぼ均等分点の複数ケ所にて分割すると共に、分割した
インタデジタル・トランスジューサ電極間に共通バスバ
ーから延びるアースパタンを配設したことを特徴とする
反射器型高周波狭帯域多重モード・フィルタの電極構
造。
1. Two interdigital transducer electrodes are arranged in parallel and close to each other on a piezoelectric substrate to share a bus bar on each adjacent side, and the electrodes are provided at both ends of the interdigital transducer electrode. In a SAW multimode filter of the type in which a reflector of the SAW excited by the electrodes is arranged to cause acoustic coupling between the SAWs excited by the respective electrodes, the interdigital transducer electrode is provided at the central portion thereof. Alternatively, the reflector type high frequency narrow band multimode filter is characterized in that it is divided at a plurality of substantially equal points and an earth pattern extending from a common bus bar is arranged between the divided interdigital transducer electrodes. Electrode structure.
JP28366485A 1985-12-17 1985-12-17 Electrode structure of reflector type high frequency narrow band multiple mode filter Expired - Lifetime JPH0652853B2 (en)

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