JPH0650018U - Micro manipulator - Google Patents

Micro manipulator

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JPH0650018U
JPH0650018U JP9102592U JP9102592U JPH0650018U JP H0650018 U JPH0650018 U JP H0650018U JP 9102592 U JP9102592 U JP 9102592U JP 9102592 U JP9102592 U JP 9102592U JP H0650018 U JPH0650018 U JP H0650018U
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JP
Japan
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drive unit
manipulator
micromanipulator
unit
lead screw
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Application number
JP9102592U
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Japanese (ja)
Inventor
幸寿 小林
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Harmonic Drive Systems Inc
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Harmonic Drive Systems Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 マイクロマニピュレータにおいて、簡単に多
軸マニピュレータを構成できると共に、電動式および手
動式のマイクロマニピュレータを簡単に構成できるよう
にすること。 【構成】 マニピュレータ・ユニットは、架台21とテ
ーブル24と駆動部25から構成されている。架台のベ
ース211およびテーブル24には、90度回転した場
合に一致する位置に、それぞれベース取付用盲穴21b
および連結用のねじ穴24bが形成されている。架台2
1の端壁217には、電動式の駆動部25が連結されて
いる。この駆動部25をマイクロメータヘッドから構成
される手動式の駆動部と交換すれば、手動式のマニピュ
レータ・ユニットを構成できる。また、各ユニットを、
それらの盲穴21b、ねじ穴24bを利用して、多段に
連結することにより、多軸のマニピュレータを構成する
ことができる。
(57) [Abstract] [Purpose] In a micromanipulator, a multi-axis manipulator can be easily configured, and an electric and manual micromanipulator can be easily configured. [Structure] The manipulator unit includes a pedestal 21, a table 24, and a drive unit 25. The base 211 of the gantry and the table 24 are respectively provided with blind holes 21b for mounting the base at positions that match when rotated 90 degrees.
And a screw hole 24b for connection is formed. Stand 2
An electric drive unit 25 is connected to the first end wall 217. A manual manipulator unit can be constructed by replacing the drive unit 25 with a manual drive unit composed of a micrometer head. In addition, each unit
By using these blind holes 21b and screw holes 24b and connecting them in multiple stages, a multi-axis manipulator can be constructed.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、顕微鏡等において観察される細胞などの試料を操作するために使用 するマイクロマニピュレータに関するものである。 The present invention relates to a micromanipulator used for manipulating a sample such as cells observed in a microscope or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術および解決しようとする課題】[Prior art and problems to be solved]

この種のマイクロマニピュレータとしては、油圧、水圧を駆動媒体とした手動 操作型のものが主流である。このような駆動形式のマイクロマニピュレータにお いては、一般的なマイクロマニピュレータは予め1軸、2軸あるいは3軸型とし て構成されており、使用者の要望に応じて軸数を簡単には変更できないので不便 である。また、マイクロマニピュレータにおいては、ドリフト、操作時の応答性 の点等において改善が要望されている。 The mainstream of this type of micromanipulator is a manually operated type that uses hydraulic or hydraulic pressure as a drive medium. In such a drive-type micromanipulator, the general micromanipulator is preconfigured as a 1-axis, 2-axis or 3-axis type, and the number of axes can be easily changed according to the user's request. It is inconvenient because it cannot be done. In addition, the micromanipulator is required to be improved in terms of drift and responsiveness during operation.

【0003】 本考案の課題は、このような問題点を解消することの可能なマイクロマニピュ レータを実現することにある。An object of the present invention is to realize a micromanipulator capable of solving such problems.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案のマイクロマニピュレータの基本的な構成は一般的なものと同一であり 、テーブルと、このテーブルを一対の直線ガイドを介して直線移動可能な状態で 支持している架台と、前記テーブルを直線移動させるための駆動部とから構成さ れている。ここに、架台の側には、一対の前記ガイドの中心軸線に沿ってリード ねじが配置され、テーブルの側にはこのリードねじに螺合したリードねじナット が固着されている。また、リードねじは、その先端側から元端側に向けて弾性力 により常時付勢されており、当該リードねじの元端側には、駆動部の作動ロッド が連結され、あるいは当接している。上記の駆動部は、モータおよび減速機から 構成される電動式駆動部、あるいはマイクロメータヘッドから構成される手動式 駆動部のいずれかとなっている。 The basic structure of the micromanipulator of the present invention is the same as a general one. A table, a pedestal that supports the table in a linearly movable manner through a pair of linear guides, and the table are linear. It is composed of a drive unit for moving. Here, a lead screw is arranged along the central axis of the pair of guides on the gantry side, and a lead screw nut screwed to the lead screw is fixed on the table side. Further, the lead screw is always urged by elastic force from its tip end side toward its base end side, and the actuation rod of the drive unit is connected to or abuts on the base end side of the lead screw. . The drive unit is either an electric drive unit composed of a motor and a speed reducer, or a manual drive unit composed of a micrometer head.

【0005】 ここに、上記の駆動部を、架台に対して着脱可能なユニット型のものとすれば 、駆動部のみを交換することにより、電動式および手動式のマイクロマニピュレ ータを簡単に構成することができる。If the drive unit is a unit type that can be attached to and detached from the gantry, the electric and manual micromanipulators can be easily configured by exchanging only the drive unit. can do.

【0006】 また、マイクロマニピュレータのテーブルおよび架台に、それぞれ、他のマイ クロマニピュレータの架台およびテーブルに連結可能な連結部を形成すれば、こ の1軸型のマイクロマニピュレータを多段に連結することにより、2軸および3 軸等の多軸マイクロマニピュレータを簡単に構成することができる。[0006] Further, by forming a connecting portion that can be connected to a base and a table of another micromanipulator, respectively, on the table and the base of the micromanipulator, by connecting the single-axis type micromanipulators in multiple stages. A multi-axis micromanipulator such as a biaxial or triaxial can be easily configured.

【0007】 ここに、多軸化に当たっては、電動式のもののみを連結することもできるが、 電動式および手動式の双方を連結することもできる。さらには、手動式のものの テーブルに電動式のものを同軸状態に連結することにより、粗動を手動によって 行い、微動を電動によって行うことのできる複合型マイクロマニピュレータを構 成することができる。Here, in the case of multi-axis, only the electric type can be connected, but both the electric type and the manual type can be connected. Furthermore, by connecting the electric type table to the manual type table in the coaxial state, it is possible to construct a composite micromanipulator capable of performing the coarse movement manually and the fine movement electrically.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

以下に図面を参照して本考案の実施例を説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】 図1、2、3には、本考案を適用した3軸マイクロマニピュレータの例を示し てある。これらの図に示すように、本例のマイクロマニピュレータ1は、同一構 造をしたユニット型の3台のマニピュレータ2、3、4を連結することにより構 成されている。すなわち、水平ベース5aと支柱5bからなる基台5における支 柱5bの上側の側部には水平にY軸マニピュレータ2のベース側が取り付けられ ている。このY軸マニピュレータ2のテーブル側には、Z軸マニピュレータ3が 垂直に連結されている。さらに、このZ軸マニピュレータ3のテーブル側には、 L型ブラケット6を介してX軸マニピュレータ4がY軸マニピュレータ2とは直 交する方向に向けて水平に支持されている。このX軸マニピュレータ4のテーブ ル側にはボールジョイント7を介してピペットホルダー8が取り付けられており 、このピペットホルダー8の先端にはガラス管9が取り付けられている。各マニ ピュレータを駆動することにより、ガラス管9の先端を所定の空間内の任意の位 置に移動させることができる。1, 2, and 3 show an example of a three-axis micromanipulator to which the present invention is applied. As shown in these figures, the micromanipulator 1 of this example is configured by connecting three unit type manipulators 2, 3, 4 having the same structure. That is, the base side of the Y-axis manipulator 2 is horizontally attached to the upper side portion of the support column 5b in the base 5 including the horizontal base 5a and the support column 5b. A Z-axis manipulator 3 is vertically connected to the table side of the Y-axis manipulator 2. Further, on the table side of the Z-axis manipulator 3, an X-axis manipulator 4 is horizontally supported via an L-shaped bracket 6 in a direction perpendicular to the Y-axis manipulator 2. A pipette holder 8 is attached to the table side of the X-axis manipulator 4 via a ball joint 7, and a glass tube 9 is attached to the tip of the pipette holder 8. By driving each manipulator, the tip of the glass tube 9 can be moved to an arbitrary position in a predetermined space.

【0010】 各マニピュレータは同一構造のマニピュレータ・ユニットであり、その詳細を 以下に説明する。Each manipulator is a manipulator unit having the same structure, and its details will be described below.

【0011】 図4、5、6には、マニピュレータ・ユニットの外観を示してある。これらの 図に示すように、マニピュレータ・ユニットは、架台21と、この架台上におい て一対の直線ガイド22、23を介して直線移動可能に支持されたテーブル24 と、テーブルの駆動部25から構成されている。架台21とテーブル24は、図 4から分かるように、同一の長さおよび幅の矩形形状をしており、これらの四隅 には、それぞれ4個づつのベース取付穴(盲穴)21bおよび連結用のねじ穴2 4bが形成されている。これらの穴の位置は、90度回転させた場合に一致する 位置に形成されている。4, 5 and 6 show the appearance of the manipulator unit. As shown in these figures, the manipulator unit is composed of a pedestal 21, a table 24 movably supported on the pedestal via a pair of linear guides 22 and 23, and a drive unit 25 of the table. Has been done. As can be seen from FIG. 4, the gantry 21 and the table 24 have a rectangular shape of the same length and width, and four base mounting holes (blind holes) 21b and four connecting holes are provided at each of these four corners. Screw holes 24b are formed. The positions of these holes are formed so as to coincide with each other when rotated 90 degrees.

【0012】 図7、8、9には、マニピュレータ・ユニットの内部構造を示してある。架台 21は、長方形のベース211と、この上面に取り付けたU字形断面の枠板21 2を有している。この枠板212の両側壁213、214の外側面には、直線ガ イド22、23が取り付けられている。この枠板212の一方の端面(元端面) 側には端壁219が一体形成されており、他方の端面(先端面)の側には、端板 218が取り付けられている。また、上記のベース取付用ねじ穴孔21bは、ベ ース211の四隅に形成されている。7, 8 and 9 show the internal structure of the manipulator unit. The gantry 21 has a rectangular base 211 and a U-shaped frame plate 212 attached to the upper surface thereof. Linear guides 22 and 23 are attached to the outer surfaces of both side walls 213 and 214 of the frame plate 212. An end wall 219 is integrally formed on one end surface (base end surface) side of the frame plate 212, and an end plate 218 is attached on the other end surface (tip end surface) side. The base mounting screw holes 21b are formed at the four corners of the base 211.

【0013】 テーブル24は、上壁部分241と、この両側から下方に延びている側壁部分 242、243から構成されている。側壁部分242、243の内側面には、そ れぞれ架台2の側の直線ガイド22、23に対峙する位置に、これらのガイドに 沿って摺動する摺動部244、245が取り付けられている。The table 24 includes an upper wall portion 241 and side wall portions 242 and 243 extending downward from both sides of the upper wall portion 241. On the inner side surfaces of the side wall portions 242 and 243, sliding portions 244 and 245 that slide along these guides are attached at positions facing the linear guides 22 and 23 on the pedestal 2 side, respectively. There is.

【0014】 架台21と、テーブル24の側の上壁部分241とによって区画形成された矩 形断面の区画室217内において、その中心軸線2aの方向の中程の位置には、 テーブル支持板246が中心軸線とは直交する状態に配置されており、この支持 板246はテーブルの上壁部分214に固着されている。このテーブル支持板2 46の中心にはリードねじ孔247が形成されており、ここに、中心軸線方向に 配置されたリードねじ248が螺合状態で貫通している。このリードねじ248 の元端側は、後述するテーブル駆動部25の側の回転出力軸に連結されている。In the partition chamber 217 having a rectangular cross section defined by the pedestal 21 and the upper wall portion 241 on the side of the table 24, the table support plate 246 is located at a middle position in the direction of the central axis 2 a. Are arranged so as to be orthogonal to the central axis, and the support plate 246 is fixed to the upper wall portion 214 of the table. A lead screw hole 247 is formed at the center of the table support plate 246, and a lead screw 248 arranged in the central axis direction is threaded therethrough. The base end side of the lead screw 248 is connected to a rotation output shaft on the side of the table drive unit 25, which will be described later.

【0015】 ここに、上記のテーブル支持板246の端面にはシルクハット形のばね受け部 材249が取り付けられており、このばね受け部材249と端板218の間には 、圧縮状態でコイルばね250が配置されている。したがって、テーブル支持板 246は、常時、コイルばね250のばね力により、付勢された状態となってい る。また、テーブル支持板246と他方の端壁219の間には、じゃばら状のリ ードねじ覆い251が配置され、リードねじ248を包んでいる。Here, a top hat type spring receiving member 249 is attached to the end surface of the table support plate 246, and a coil spring in a compressed state is provided between the spring receiving member 249 and the end plate 218. 250 are arranged. Therefore, the table support plate 246 is always urged by the spring force of the coil spring 250. Further, a bellows-shaped lead screw cover 251 is arranged between the table support plate 246 and the other end wall 219, and encloses the lead screw 248.

【0016】 次に、架台側壁217の外側端面には、テーブル駆動部25が取り付けられて いる。このテーブル駆動部25は全体として細長い直方体形状をしており、中心 軸線方向に延びている。この駆動部25内には、モータ253および減速機25 4からなるアクチュエータ255が内蔵されており、その回転出力軸255aは 、架台端壁217に開けた開口を貫通して区画室217内に延びて、リードねじ 248の元端に連結されている。駆動部25の元端には、コネクタ256が取り 付けられており、ここを介して外部からアクチュエータ255に対する駆動電力 等の供給が行われる。Next, the table drive unit 25 is attached to the outer end surface of the pedestal side wall 217. The table drive unit 25 has an elongated rectangular parallelepiped shape as a whole and extends in the central axis direction. An actuator 255 including a motor 253 and a speed reducer 254 is incorporated in the drive unit 25, and its rotation output shaft 255 a extends into the compartment 217 through an opening formed in the gantry end wall 217. And is connected to the base end of the lead screw 248. A connector 256 is attached to the base end of the drive unit 25, and drive power or the like is externally supplied to the actuator 255 via the connector 256.

【0017】 このように構成したマニピュレータ・ユニットが各マニピュレータ2、3、4 として用いられて図1、2、3に示す3次元マニピュレータ1を構成している。 すなわち、基台5の支柱5bの側面には、取付け用ボルトによってY軸マニピュ レータ2のベース211が取付けられており、このマニピュレータ2のテーブル 24には、Z軸マニピュレータ3の側のベース211が同じく取付け用ボルトに よって取付けられている。また、このZ軸マニピュレータ3のテーブル24には 、L形ブラケット6の垂直腕61が取付けられ、このブラケットの水平腕62の 上面には、X軸マニピュレータ4のベース21が取付け用ボルトによって取付け られている。The manipulator unit thus configured is used as each of the manipulators 2, 3, and 4 to form the three-dimensional manipulator 1 shown in FIGS. That is, the base 211 of the Y-axis manipulator 2 is attached to the side surface of the support column 5b of the base 5 by the attachment bolts, and the table 24 of the manipulator 2 is provided with the base 211 of the Z-axis manipulator 3 side. It is also mounted with mounting bolts. Further, the vertical arm 61 of the L-shaped bracket 6 is attached to the table 24 of the Z-axis manipulator 3, and the base 21 of the X-axis manipulator 4 is attached to the upper surface of the horizontal arm 62 of the bracket by attaching bolts. ing.

【0018】 この構成の3次元マニピュレータ1においては、各マニピュレータの駆動部2 5を個別に駆動することによって、ガラス管9の先端を所定の空間内における任 意の位置に位置決めすることができる。ここに、本例の各マニピュレータにおい ては、リードねじ248を直線ガイド22、23の中心軸線2a上に配置してあ るので、ステージ移動時に作用する駆動力による曲げモーメントが発生しない。 よって、ステージ移動時におけるそのヨーイング、ピッチングを抑制することが できる。また、リードねじナット247が形成されたテーブル支持板246はコ イルばね250によって常時付勢されているので、リードねじ248とリードね じナット247の噛み合いにおけるバックラッシュを除去できる。よって、ロス トモーションを抑制することができる。In the three-dimensional manipulator 1 having this configuration, the tip of the glass tube 9 can be positioned at an arbitrary position in a predetermined space by individually driving the driving unit 25 of each manipulator. Here, in each manipulator of this example, since the lead screw 248 is arranged on the central axis 2a of the linear guides 22 and 23, a bending moment due to the driving force acting when the stage moves is not generated. Therefore, it is possible to suppress yawing and pitching when the stage moves. Further, since the table support plate 246 on which the lead screw nut 247 is formed is constantly urged by the coil spring 250, it is possible to eliminate the backlash in the engagement between the lead screw 248 and the lead screw nut 247. Therefore, lost motion can be suppressed.

【0019】 また、本例においては、上述したように、同一構造のマニピュレータ・ユニッ トを多段に連結することにより、3次元マニピュレータが構成されている。した がって、本例のマニピュレータ・ユニットを用いれば、簡単に、1軸は元より、 2軸および3軸のマニピュレータを構成できるという利点がある。Further, in the present example, as described above, a three-dimensional manipulator is configured by connecting manipulator units having the same structure in multiple stages. Therefore, the use of the manipulator unit of the present example has an advantage in that it is possible to easily configure not only one axis but also two-axis and three-axis manipulators.

【0020】 ここで、マニピュレータ・ユニットにおける駆動部25に内蔵する減速機とし て、波動歯車装置を採用すれば、マニピュレータの高分解能化を実現できるので 好ましい。この波動歯車装置は、一般的に、環状の剛性内歯車と、この内側に配 置され、剛性内歯車に噛み合い可能な可撓性の外歯車と、この外歯車を半径方向 に撓めて剛性内歯車に部分的に噛み合わせると共に、これらの噛み合わせ位置を 周方向に移動させる波動発生器とから構成されるものである。波動発生器は一般 に楕円形輪郭のものが採用されており、この場合には、剛性内歯と可撓性外歯が 、楕円形の長軸方向の両端に位置する2個所で噛み合うことになる。Here, it is preferable to use a wave gear device as the speed reducer built in the drive unit 25 of the manipulator unit because the manipulator can have high resolution. This wave gear device generally has a ring-shaped rigid internal gear, a flexible external gear that is arranged inside the rigid internal gear and can mesh with the rigid internal gear, and the external gear is bent in the radial direction to provide rigidity. It is composed of a wave generator that partially meshes with the internal gear and that moves these meshing positions in the circumferential direction. Generally, the wave generator has an elliptical contour. In this case, the rigid inner teeth and the flexible outer teeth are engaged with each other at two positions located at both ends of the ellipse in the long axis direction. Become.

【0021】 次に、本実施例の3次元マニピュレータ1の各マニピュレータとして、上記の 電動式のマニピュレータの代わりに、手動式のマニピュレータを採用することも できる。Next, as each manipulator of the three-dimensional manipulator 1 of the present embodiment, a manual manipulator can be adopted instead of the above-mentioned electric manipulator.

【0022】 図10、11、12、13には、この手動式のマニピュレータ・ユニットの外 形を示してある。これらの図に示すように、手動式のマニピュレータ・ユニット の架台およびテーブルの部分の形状は、上記の電動式のものと同一であるので、 同一個所には同一の番号を付して、その詳細説明は省略する。手動式のマニピュ レータ・ユニットにおいては、電動式の駆動部25の代わりに、手動式のマイク ロメータヘッドから構成される駆動部125が取付けられている。FIGS. 10, 11, 12 and 13 show the external form of this manual manipulator unit. As shown in these figures, the shapes of the gantry and table of the manual type manipulator unit are the same as those of the above-mentioned electric type. The description is omitted. In the manual manipulator unit, instead of the electric drive unit 25, a drive unit 125 including a manual micrometer head is attached.

【0023】 図14、15、16には、手動式のマニピュレータ・ユニットの内部構造を示 してある。これらの図から分かるように、架台およびテーブルの部分の内部構造 は上記の電動式のマニピュレータ・ユニットと同一である。したがって、対応す る部分には同一の番号を付し、その説明は省略する。手動式のマニピュレータ・ ユニットにおいては、マイクロメータヘッド126から構成される駆動部125 が、架台側壁217に連結されている。このマイクロメータヘッドの作動ロッド 128の先端は、側壁219の開口を貫通して区画室217内に延びて、リード ねじ248の元端に当接した状態にある。ここに、リードねじ248は、元端側 に向けてコイルねじ250によって押しつけられた状態となっている。したがっ て、所定のばね力によって、リードねじ248の元端がマイクロメータヘッドの 作動ロッド128の先端に押しつけられている。したがって、マイクロメータヘ ッド127を回すことにより、リードネジ248は中心軸線2aの方向に向けて 往復直線移動する。すなわち、リードねじ248がねじ込まれているテーブル支 持板246が固着されているテーブル21が往復直線移動する。14, 15 and 16 show the internal structure of the manual manipulator unit. As can be seen from these figures, the internal structure of the pedestal and the table portion is the same as that of the electric manipulator unit described above. Therefore, the corresponding parts are designated by the same reference numerals and the description thereof is omitted. In the manual manipulator unit, a driving unit 125 composed of a micrometer head 126 is connected to a pedestal side wall 217. The tip of the actuating rod 128 of this micrometer head penetrates the opening of the side wall 219, extends into the compartment 217, and is in contact with the base end of the lead screw 248. Here, the lead screw 248 is in a state of being pressed by the coil screw 250 toward the base end side. Therefore, the base end of the lead screw 248 is pressed against the tip of the working rod 128 of the micrometer head by a predetermined spring force. Therefore, by turning the micrometer head 127, the lead screw 248 moves linearly back and forth in the direction of the central axis 2a. That is, the table 21 to which the table support plate 246 to which the lead screw 248 is screwed is fixed moves linearly back and forth.

【0024】 このように構成した手動式のマニピュレータ・ユニットを、図1、2、3に示 す各マニピュレータ2、3、4のいずれか、あるいは全部と交換することにより 、電動および手動式のマニピュレータ、あるいは全手動式の3次元マニピュレー タを簡単に構成することができる。すなわち、手動式のマニピュレータ・ユニッ トにおいても、そのベースおよびテーブルには、同一位置にベース取付用盲穴お よび連結用のねじ穴が形成されているので、何ら仕様を変更することなく、ある いは別部品を用いることなく、図1、2、3に示すものと同一のマニピュレータ を構成できる。By replacing the manipulator unit having the above-mentioned configuration with any or all of the manipulators 2, 3, 4 shown in FIGS. Alternatively, an all-manual three-dimensional manipulator can be easily constructed. That is, even in the manual type manipulator unit, the base mounting table and the table have the blind hole for mounting the base and the screw hole for connecting at the same position, so there is no need to change the specifications. Alternatively, the same manipulator as shown in FIGS. 1, 2, and 3 can be constructed without using separate parts.

【0025】 また、このように電動式のものと手動式のものとを組み合わせた場合には、粗 動は手動式のもので行い、微動調整を電動式のもので行うようにすれば、位置決 め動作を、簡単な操作で迅速に行うことができる。Further, in the case of combining the electric type and the manual type in this way, if the coarse movement is performed by the manual type and the fine movement adjustment is performed by the electric type, the position is adjusted. The predetermined operation can be performed quickly with a simple operation.

【0026】 さらに、上述した電動式および手動式のマニピュレータ・ユニットにおいては 、架台およびテーブルの仕様が同一であるので、架台側壁217に対して、電動 式の駆動部25および手動式の駆動部125のいずれかを取り付けるのみで、電 動式および手動式のマイニピュレータ・ユニットを構成できるので便利であると いう利点もある。Further, in the above-described electric and manual manipulator units, since the specifications of the mount and the table are the same, the electric drive unit 25 and the manual drive unit 125 with respect to the mount side wall 217. There is also the advantage that it is convenient because it is possible to configure the electric and manual type myipulator units simply by mounting either of them.

【0027】[0027]

【考案の効果】[Effect of device]

以上説明したように、本考案のマイクロマニピュレータにおいては、同一構造 のマニニピュレータ・ユニットを多段に連結することにより多軸マニピュレータ を構成するようになっている。したがって、1軸および多軸のマニピュレータを 簡単に構成することができる。 As described above, in the micromanipulator of the present invention, a multi-axis manipulator is configured by connecting manipulator units having the same structure in multiple stages. Therefore, the uniaxial and multiaxial manipulators can be easily configured.

【0028】 また、本考案のマニピュレータ・ユニットにおいては、駆動部のみを、電動式 のものと手動式のものの何れかを連結するのみで、電動式および手動式のマニピ ュレータを簡単に構成することができる。Further, in the manipulator unit of the present invention, an electric manipulator and an electric manipulator can be simply configured by connecting only the driving unit to either the electric type or the manual type. You can

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例である3次元マニピュレータ
の立面図である。
FIG. 1 is an elevation view of a three-dimensional manipulator according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のマニピュレータの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the manipulator of FIG.

【図3】図1のマニピュレータの側面図である。3 is a side view of the manipulator of FIG. 1. FIG.

【図4】図1のマニピュレータに適用可能なマニピュレ
ータ・ユニットの平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a manipulator unit applicable to the manipulator of FIG.

【図5】図4のマニピュレータ・ユニットの先端を示す
端面図である。
5 is an end view showing the tip of the manipulator unit in FIG. 4. FIG.

【図6】図4のマニピュレータ・ユニットの元端を示す
端面図である。
6 is an end view showing a base end of the manipulator unit in FIG. 4. FIG.

【図7】図4のマニピュレータ・ユニットの内部構造を
示す半断面平面図である。
FIG. 7 is a half cross-sectional plan view showing the internal structure of the manipulator unit in FIG.

【図8】図4のマニピュレータ・ユニットの内部構造を
示すために部分的に断面状態で示す側面図である。
FIG. 8 is a side view, partly in section, to show the internal structure of the manipulator unit of FIG.

【図9】図7におけるA−A線で切断した部分の断面図
である。
9 is a cross-sectional view of a portion cut along line AA in FIG.

【図10】図1のマニピュレータに適用可能な手動式の
マニピュレータ・ユニットを示す平面図である。
10 is a plan view showing a manual manipulator unit applicable to the manipulator of FIG. 1. FIG.

【図11】図10のユニットの側面図である。11 is a side view of the unit of FIG.

【図12】図10のユニットの先端を示す端面図であ
る。
12 is an end view showing the tip of the unit of FIG.

【図13】図10のユニットの元端を示す端面図であ
う。
13 is an end view showing the base end of the unit of FIG.

【図14】図10のユニットの内部構造を示す半断面平
面図である。
14 is a half cross-sectional plan view showing the internal structure of the unit shown in FIG.

【図15】図10のユニットの内部構造を示すために部
分的に切断して示す側面図である。
FIG. 15 is a side view, partially cut away, to show the internal structure of the unit of FIG.

【図16】図14のB−B線で切断した部分の断面図で
ある。
16 is a cross-sectional view of a portion cut along line BB in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・3次元マイクロマニピュレータ 2、3、4・・・マニピュレータ 21・・・架台 211・・・ベース 21b・・・ベース取付用の盲穴 22、23・・・直線ガイド 24・・・テーブル 24b・・・連結用のねじ穴 246・・・ベース支持板 247・・・リードねじナット 248・・・リードねじ 250・・・コイルばね 25・・・電動式の駆動部 125・・・手動式の駆動部 1 ... Three-dimensional micro manipulator 2, 3, 4 ... Manipulator 21 ... Stand 211 ... Base 21b ... Blind hole for base mounting 22, 23 ... Linear guide 24 ... Table 24b ... Connection screw hole 246 ... Base support plate 247 ... Lead screw nut 248 ... Lead screw 250 ... Coil spring 25 ... Electric drive unit 125 ... Manual type Drive of

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 テーブルと、このテーブルを一対の直線
ガイドを介して直線移動可能な状態で支持している架台
と、前記テーブルを直線移動させるための駆動部とを有
し、前記架台の側には、一対の前記ガイドの中心軸線に
沿ってリードねじが配置され、前記テーブルの側にはこ
のリードねじに螺合したリードねじナットが固着されて
おり、前記リードねじは、その先端側から元端側に向け
て弾性力により常時付勢されており、当該リードねじの
元端側には、前記駆動部の作動ロッドが連結あるいは当
接しており、当該駆動部は、モータおよび減速機から構
成される電動式駆動部およびマイクロメータヘッドから
構成される手動式駆動部のいずれか一方であることを特
徴とするマイクロマニピュレータ・ユニット。
1. A table, a pedestal supporting the table in a linearly movable state through a pair of linear guides, and a drive unit for linearly moving the table. , A lead screw is arranged along the central axis of the pair of guides, and a lead screw nut screwed to the lead screw is fixed to the table side. It is constantly urged by elastic force toward the base end side, and the drive rod of the drive unit is connected or abutted to the base end side of the lead screw, and the drive unit is connected to the motor and the speed reducer. A micromanipulator unit, characterized in that it is either one of a motorized drive unit and a manual drive unit composed of a micrometer head.
【請求項2】 請求項1において、前記駆動部は、前記
架台に対して着脱可能に取り付けられたユニット型の駆
動部であることを特徴とするマイクロマニピュレータ。
2. The micromanipulator according to claim 1, wherein the drive unit is a unit-type drive unit detachably attached to the gantry.
【請求項3】 請求項1において、前記マイクロマニピ
ュレータのテーブルおよび架台には、それぞれ、他の前
記マイクロマニピュレータの架台およびテーブルに連結
可能な連結部が形成されており、電動式駆動部を備えた
電動式の前記マイクロマニピュレータおよび手動式駆動
を備えた手動式の前記マイクロマニピュレータの少なく
とも一方が多段に連結されて構成されていることを特徴
とする多軸マイクロマニピュレータ。
3. The table and the mount of the micromanipulator according to claim 1, each of which is provided with a connecting portion that can be connected to a mount and a table of the other micromanipulator, and includes an electric drive unit. A multi-axis micromanipulator, wherein at least one of the electric micromanipulator and the manual micromanipulator provided with a manual drive is configured by being connected in multiple stages.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7729048B2 (en) 2004-10-08 2010-06-01 Nikon Corporation Microscope system

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