JPH0648603A - Metal thin plate carrying device - Google Patents

Metal thin plate carrying device

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JPH0648603A
JPH0648603A JP22218292A JP22218292A JPH0648603A JP H0648603 A JPH0648603 A JP H0648603A JP 22218292 A JP22218292 A JP 22218292A JP 22218292 A JP22218292 A JP 22218292A JP H0648603 A JPH0648603 A JP H0648603A
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belt
magnetic
thin plate
metal thin
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Takefumi Kandori
武文 神鳥
Hiroyuki Kitazawa
裕之 北澤
Manabu Yabe
学 矢部
Ryoichi Ando
良一 安藤
Masaji Sotomi
正司 外海
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prevent generation of a flaw and dent in a metal thin plate during carrying and to prevent generation of a pucker in the metal thin plate which is stopped in the midway of carrying so as to smoothly carry the metal thin plate, in a device for carrying the metal thin plate in supporting the same on an endless carrying belt. CONSTITUTION:An endless magnetic belt 22 stretched over a pair of mutually parallel sprockets 18, 20 is arranged inside an endless carrying belt 14 for carrying a metal thin plate 1. The metal thin plate is carried according to a circulation action of the endless carrying belt 14 and the endless magnetic belt 22 while supporting the metal thin plate 1 on the endless carrying belt 14 by applying magnetic force of the endless magnetic belt 22 to the metal thin plate 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、カラーCRT用シャ
ドウマスク、半導体装置用リードフレーム、電気かみそ
りの刃といった各種の金属薄板を無端搬送ベルトに支持
して搬送する金属薄板搬送装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal thin plate carrier for supporting various metal thin plates such as shadow masks for color CRTs, lead frames for semiconductor devices, and electric razor blades on an endless carrier belt.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーCRTにおいては、電子銃から放
射されて蛍光体の方へ向かう電子ビームの多くは不要な
方向の電子ビームとしてシャドウマスクに衝突して吸収
される。このため、シャドウマスクが加熱されてその温
度が上昇し、熱膨張によってドーミング現象と呼ばれる
熱変形が生じ、電子ビームの軌道が変化して色ずれが発
生するという問題点がある。そこで、これを防止する対
策として、シャドウマスクにテンションをかけるという
方法があるが、このテンションをかけるためには、シャ
ドウマスクの厚さを薄くする方が単位面積当りのテンシ
ョンを小さくできるので効果的であり、このため、厚さ
80μm以下のシャドウマスクが一般に用いられる。
2. Description of the Related Art In a color CRT, most of the electron beams emitted from an electron gun and directed toward a phosphor collide with a shadow mask and are absorbed as an electron beam in an unnecessary direction. Therefore, there is a problem in that the shadow mask is heated and its temperature rises, thermal deformation called a doming phenomenon occurs due to thermal expansion, the trajectory of the electron beam changes, and color misregistration occurs. Therefore, as a measure to prevent this, there is a method of applying tension to the shadow mask. To apply this tension, it is effective to reduce the thickness of the shadow mask because the tension per unit area can be decreased. Therefore, a shadow mask having a thickness of 80 μm or less is generally used.

【0003】また、従来から、金属薄板の厚さが薄いほ
ど、エッチング加工を行なう場合に加工精度が良くなる
ことが一般的に知られている。特に、金属薄板の厚さが
80μm以下であるときには、金属薄板の片面からだけ
のエッチング処理によって十分な加工精度が得られる。
Further, it has been generally known that the thinner the metal thin plate is, the better the processing accuracy is when etching is performed. In particular, when the thickness of the metal thin plate is 80 μm or less, sufficient processing accuracy can be obtained by etching the metal thin plate from only one surface.

【0004】そこで、この厚さの薄いシャドウマスク等
を製造するときに使用する金属薄板を搬送する装置とし
て、ゴム状の無端磁気ベルトを用い、金属薄板を直接支
持して搬送するものが提案されている。この搬送装置
は、無端磁気ベルトの外周面に金属薄板を直接吸引密着
させ、無端搬送ベルトの周回移動によって金属薄板を搬
送するようにしている。
Therefore, as a device for transporting a thin metal plate used for manufacturing such a thin shadow mask or the like, there has been proposed a device for directly supporting and transporting a thin metal plate using a rubber-like endless magnetic belt. ing. This transporting device directly sucks and adheres a thin metal plate to the outer peripheral surface of the endless magnetic belt, and transports the thin metal plate by the circular movement of the endless transport belt.

【0005】また、図7に示すように、離間した一対の
ローラ10、12間に無端搬送ベルト14を掛け渡し、無端搬
送ベルト14の下方側平面部の内側に、無端搬送ベルト14
とは別体の平板状磁石16を無端搬送ベルト14の平面部に
沿って配設した金属薄板搬送装置も提案されている。こ
の装置では、各ローラ10、12を回転駆動させることによ
り無端搬送ベルト14が周回移動し、平板状磁石16の磁力
が金属薄板1に作用して、金属薄板1が無端搬送ベルト
14上に支持され、無端搬送ベルト14の周回動作に従って
金属薄板1が搬送される。そして、無端搬送ベルト14の
下方側平面部の終端部分において、金属薄板1に対して
平板状磁石16の磁力が作用しなくなり、金属薄板1は無
端搬送ベルト14から剥離され、次の工程へ搬送されるよ
うになっている。
Further, as shown in FIG. 7, an endless conveyor belt 14 is stretched between a pair of spaced rollers 10 and 12, and the endless conveyor belt 14 is placed inside the lower flat portion of the endless conveyor belt 14.
There has also been proposed a thin metal plate transporting device in which a flat plate-shaped magnet 16 which is separate from the above is disposed along the flat portion of the endless transport belt 14. In this apparatus, by rotating and driving the rollers 10 and 12, the endless conveyor belt 14 is moved around, and the magnetic force of the flat magnet 16 acts on the metal thin plate 1 to cause the metal thin plate 1 to move.
The thin metal plate 1 is carried on the endless conveyor belt 14 while being supported on it. Then, the magnetic force of the flat plate-shaped magnet 16 does not act on the metal thin plate 1 at the end portion of the lower flat surface portion of the endless transport belt 14, and the metal thin plate 1 is separated from the endless transport belt 14 and transported to the next step. It is supposed to be done.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属薄
板を搬送するために、ゴム状の無端磁気ベルトを用いた
場合、無端磁気ベルトの外周面に金属薄板が直接吸引密
着されているため、無端磁気ベルトから金属薄板が簡単
に剥がれず、無端磁気ベルトの磁力を弱くしても、金属
薄板の厚さが薄いため、無端磁気ベルトから金属薄板を
無理矢理剥がそうとすると金属薄板が折れてしまうとい
う問題がある。また、無端磁気ベルトの外周面に鉄粉な
どのように磁化し易いごみが吸着され、それにより、無
端磁気ベルト上に支持されている金属薄板に傷や凹みな
どが付いてしまうことがある。
However, when a rubber-like endless magnetic belt is used to convey a thin metal plate, since the thin metal plate is directly attracted and adhered to the outer peripheral surface of the endless magnetic belt, the endless magnetic belt is used. The thin metal plate does not easily peel off from the belt, and even if the magnetic force of the endless magnetic belt is weakened, the thin metal plate is thin, so if you try to forcefully peel the thin metal plate from the endless magnetic belt, the thin metal plate will break. There is. Further, dust such as iron powder that is easily magnetized is adsorbed on the outer peripheral surface of the endless magnetic belt, which may cause scratches or dents on the thin metal plate supported on the endless magnetic belt.

【0007】さらに、金属薄板を搬送するために無端搬
送ベルトの下方側平面部の内側に沿って平板状磁石を配
設した場合、金属薄板が水や酸、アルカリといった液体
で濡れている状態では、金属薄板と無端搬送ベルトとの
摩擦力が弱くなり、無端搬送ベルトの周回速度に比較し
て金属薄板が搬送される速度が遅くなったり、金属薄板
が途中で或いは平板状磁石の端部位置で止まってしまっ
たりするという問題がある。そして、特に金属薄板の厚
さが薄くなるほど、このような現象が頻繁に起こるよう
になり、さらに金属薄板の厚さが80μm以下になる
と、同じ無端搬送ベルト上で動いている部分と止まって
いる部分とができて、金属薄板にしわが発生してしまう
こともある。
Further, when a flat magnet is arranged along the inner side of the lower flat portion of the endless conveyor belt to convey the thin metal plate, when the thin metal plate is wet with a liquid such as water, acid or alkali. , The friction force between the thin metal plate and the endless conveyor belt becomes weak, and the speed at which the thin metal plate is conveyed becomes slower than the circulating speed of the endless conveyor belt, or the thin metal plate is in the middle or the end position of the flat magnet. There is a problem that it stops at. Especially, as the thickness of the thin metal plate becomes thinner, such a phenomenon occurs more frequently, and when the thickness of the thin metal plate becomes 80 μm or less, it stops with the moving portion on the same endless conveyor belt. The metal sheet may be wrinkled due to the formation of parts.

【0008】この発明は、このような従来の問題点を解
決するためになされたものであって、搬送中に金属薄板
に生じる傷や凹みを防止し、金属薄板の搬送途中でしわ
が生じたりしないように円滑に金属薄板を搬送する金属
薄板搬送装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, and prevents scratches and dents that occur on a thin metal plate during transportation, and wrinkles may occur during the transportation of the thin metal sheet. An object of the present invention is to provide a metal thin plate transporting device that smoothly transports a metal thin plate so as not to do so.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、この発明は、一対のローラ間に周回移動自在に無
端搬送ベルト端ベルトを掛け渡し、金属薄板を前記無端
搬送ベルトに支持して搬送する金属薄板搬送装置におい
て、前記無端搬送ベルトの内側においてその無端搬送ベ
ルトと共に周回移動しながら、金属薄板を前記無端搬送
ベルトに支持する吸引力を金属薄板に対して作用させる
無端磁気ベルトを前記無端搬送ベルトの平面部に沿って
配設した。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention wraps an endless conveyor belt end belt between a pair of rollers so as to be capable of revolving, and supports a thin metal plate on the endless conveyor belt. In an apparatus for transporting a thin metal plate that conveys an endless magnetic belt, the endless magnetic belt that applies a suction force for supporting the thin metal plate to the endless transport belt while rotating around the endless transport belt inside the endless transport belt acts on the thin metal plate. It was arranged along the plane portion of the endless conveyor belt.

【0010】また、上記の要素の無端搬送ベルトが、そ
れぞれ片面側に樹脂被覆層が被着され互いに近接して並
設された多数枚の磁気シートを、互いに平行に配置され
た2条以上のコンベアチェーンの外周側に、各磁気シー
トの長手方向とコンベアチェーンの移動方向とが直交す
るように、一体的に固着したものであることが望まし
い。
In the endless conveyor belt of the above-mentioned element, a plurality of magnetic sheets each having a resin coating layer applied on one side thereof and juxtaposed in close proximity to each other are provided in two or more lines. It is desirable that the magnetic sheets are integrally fixed to the outer peripheral side of the conveyor chain such that the longitudinal direction of each magnetic sheet and the moving direction of the conveyor chain are orthogonal to each other.

【0011】[0011]

【作用】この発明に係る金属薄板搬送装置は、一対のロ
ーラ間に掛け渡されている無端搬送ベルトの内側に無端
磁気ベルトを配設している。この無端磁気ベルトと無端
搬送ベルトとが周回移動すると、無端磁気ベルトの磁力
が金属薄板に吸引力を作用させて無端搬送ベルトに金属
薄板を支持し、無端搬送ベルトの周回移動に従って金属
薄板が搬送される。そして、無端磁気ベルトの搬送方向
の終端部分において、金属薄板に対する無端磁気ベルト
の磁力が作用しなくなり、金属薄板は無端搬送ベルトか
ら剥離され、次の工程へ円滑に搬送される。
In the thin metal sheet conveying device according to the present invention, the endless magnetic belt is arranged inside the endless conveying belt which is stretched between the pair of rollers. When the endless magnetic belt and the endless conveyor belt move around, the magnetic force of the endless magnetic belt exerts an attractive force on the metal sheet to support the metal sheet on the endless conveyor belt, and the metal sheet is conveyed as the endless conveyor belt moves around. To be done. Then, the magnetic force of the endless magnetic belt does not act on the thin metal plate at the end portion of the endless magnetic belt in the conveying direction, the thin metal plate is separated from the endless conveying belt, and is smoothly conveyed to the next step.

【0012】[0012]

【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】図1は、この発明に係る金属薄板搬送装置
の概略構成を示す模式的側面図である。この搬送装置
は、離間した互いに平行な一対のローラ10、12間に長尺
帯状の金属薄板1を搬送する無端搬送ベルト14を掛け渡
し、無端搬送ベルト14の内側には、互いに平行な一対の
スプロケット18、20間に掛け渡された無端磁気ベルト22
が配設されている。この無端磁気ベルト22は、金属薄板
1を無端搬送ベルト14に支持させるため、無端磁気ベル
ト22の下方側平面部の外周側が無端搬送ベルト14の下方
側平面部の内周側と接触もしくは近接するように、無端
搬送ベルト14の平面部に沿って配置されている。
FIG. 1 is a schematic side view showing a schematic configuration of a thin metal plate transporting apparatus according to the present invention. In this transporting device, an endless transport belt 14 that transports the long strip-shaped thin metal plate 1 is spanned between a pair of rollers 10 and 12 that are separated from each other and parallel to each other. Endless magnetic belt 22 hung between sprockets 18 and 20
Is provided. Since the endless magnetic belt 22 supports the thin metal plate 1 on the endless conveyor belt 14, the outer peripheral side of the lower flat surface portion of the endless magnetic belt 22 contacts or approaches the inner peripheral side of the lower flat surface portion of the endless conveyor belt 14. Thus, the endless conveyor belt 14 is arranged along the flat surface portion.

【0014】そして、ローラ10或いはローラ12を駆動手
段(図示せず)により回転駆動させ、この回転駆動によ
り無端搬送ベルト14は周回移動し、その移動と同時に、
別の駆動手段(図示せず)により、スプロケット18或い
はスプロケット20を回転駆動させて、無端搬送ベルト14
の内側に配設された無端磁気ベルト22を周回移動させ
る。これにより、金属薄板1に無端磁気ベルト22の磁力
が作用して、金属薄板1を無端搬送ベルト14に支持しな
がら、無端搬送ベルト14及び無端磁気ベルト22の周回動
作に従って金属薄板1を搬送する。このとき、無端搬送
ベルト14と無端磁気ベルト22との周回移動は、金属薄板
1を搬送する方向へ同一速度で行なわれるので、金属薄
板1が、搬送途中に止まったりしてしまうことはない。
そして、搬送されている金属薄板1は、無端磁気ベルト
22の搬送方向の終端部分において、無端磁気ベルト22の
磁力が作用しなくなり、金属薄板1は、無端搬送ベルト
14からスムーズに剥離されて次の工程へ搬送される。
Then, the roller 10 or the roller 12 is rotationally driven by a driving means (not shown), and by this rotational driving, the endless conveyor belt 14 is moved circularly.
The sprocket 18 or the sprocket 20 is rotationally driven by another driving means (not shown), and the endless conveyor belt 14
The endless magnetic belt (22) arranged inside the (1) is moved around. As a result, the magnetic force of the endless magnetic belt 22 acts on the metal thin plate 1 to support the metal thin plate 1 on the endless conveyor belt 14 and convey the metal thin plate 1 in accordance with the revolving operation of the endless conveyor belt 14 and the endless magnetic belt 22. . At this time, since the endless conveyor belt 14 and the endless magnetic belt 22 are rotated around the metal thin plate 1 at the same speed, the metal thin plate 1 does not stop during the conveyance.
The metal sheet 1 being conveyed is an endless magnetic belt.
The magnetic force of the endless magnetic belt 22 ceases to act on the end portion of the endless belt 22 in the conveying direction, and the thin metal plate 1 is
It is smoothly separated from 14 and conveyed to the next step.

【0015】この搬送装置で使用される無端搬送ベルト
14の厚さは1〜2mm程度であり、この無端搬送ベルト14
は、例えば、ポリエステルを芯材とし、その表裏両面に
クッション材を介在させて耐薬品性に優れた高硬度ナイ
ロンや特殊樹脂を被着して形成されている。従って、こ
の無端搬送ベルト14にエッチング液が降りかかっても、
無端搬送ベルト14が腐食させられることはない。そし
て、無端搬送ベルト14の下方側から金属薄板1に向けて
エッチング液が吹き付けられたとしても、表面が耐腐食
性を備えた無端搬送ベルト14によってエッチング液が遮
られ、無端搬送ベルト14の内側に配設されている無端磁
気ベルト22にエッチング液が大量にかかって、その無端
磁気ベルト22が腐食されるといったことが防止される。
また、無端磁気ベルト22に鉄粉などの磁化し易いごみが
吸着されることがあっても、無端磁気ベルト22と金属薄
板1との間には、1〜2mm程度の厚さの無端搬送ベルト
14があり、無端磁気ベルト22と金属薄板1とは直接接触
しないので、無端磁気ベルト22に吸着されたごみによっ
て金属薄板1に傷や凹みが生じることもない。
Endless conveyor belt used in this conveyor
The thickness of 14 is about 1 to 2 mm, and this endless conveyor belt 14
Is formed, for example, by using polyester as a core material and applying high-hardness nylon or a special resin having excellent chemical resistance with cushioning materials interposed on both sides. Therefore, even if the etching liquid falls on the endless conveyor belt 14,
The endless conveyor belt 14 is not corroded. Even if the etching solution is sprayed from the lower side of the endless transfer belt 14 toward the thin metal plate 1, the etching solution is blocked by the endless transfer belt 14 whose surface has corrosion resistance, and the inside of the endless transfer belt 14 is blocked. It is possible to prevent the endless magnetic belt 22 arranged in the above from being corroded by a large amount of the etching solution.
Even if dust that is easily magnetized such as iron powder is adsorbed to the endless magnetic belt 22, the endless conveyor belt having a thickness of about 1 to 2 mm is provided between the endless magnetic belt 22 and the thin metal plate 1.
Since there is 14, and the endless magnetic belt 22 and the metal thin plate 1 do not directly contact with each other, the metal thin plate 1 is not scratched or dented by the dust adsorbed on the endless magnetic belt 22.

【0016】図2は、図1に示した搬送装置の構成をよ
り具体的に示した側面図であり、図2では、短尺の金属
薄板1’を搬送する場合を示している。また、図3は、
この搬送装置において、エッチング液を金属薄板1に下
方側から供給している状態を示した斜視図である。図2
及び図3において、無端搬送ベルト14の周囲には、無端
搬送ベルト14を周回移動させる一対のローラ10、12以外
に、無端搬送ベルト14の蛇行を防止する逆U字ローラ34
と、無端搬送ベルト14のテンションを一定に保つテンシ
ョンローラ36と、無端搬送ベルト14の下方側平面部が下
に弛まないように支持する支持ローラ38とを配設してい
る。また、図3において、スプレイ管42がシャドウマス
ク用板材40の搬送経路の下方に搬送方向と平行に複数本
配設されており、このスプレイ管42には、多数のスプレ
イノズル44が所定の間隔で形成されている。そして、こ
のシャドウマスク用板材40にエッチング液を供給する際
には、無端磁気ベルト22及び無端搬送ベルト14を同じ速
度で周回移動させて、シャドウマスク用板材40を無端搬
送ベルト14に支持して搬送しながら、スプレイノズル44
からエッチング液46を上方に向けて噴出させ、シャドウ
マスク用板材40に対してシャワー状のエッチング液46を
吹き付けるようにしている。尚、図中の符号48は、シャ
ドウマスク用板材40の表面に被着形成されたレジスト膜
における画像部である。
FIG. 2 is a side view showing the structure of the carrier device shown in FIG. 1 more specifically, and FIG. 2 shows a case where a short metal thin plate 1'is carried. In addition, FIG.
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which an etching solution is being supplied to the metal thin plate 1 from the lower side in this transport device. Figure 2
In FIG. 3, in addition to the pair of rollers 10 and 12 that move the endless conveyor belt 14 around the endless conveyor belt 14, an inverted U-shaped roller 34 that prevents the endless conveyor belt 14 from meandering.
A tension roller 36 that keeps the tension of the endless conveyor belt 14 constant and a support roller 38 that supports the lower end flat surface portion of the endless conveyor belt 14 so as not to slack down. Further, in FIG. 3, a plurality of spray pipes 42 are arranged below the transport path of the shadow mask plate 40 in parallel with the transport direction, and a large number of spray nozzles 44 are arranged in the spray pipe 42 at predetermined intervals. Is formed by. Then, when supplying the etching liquid to the shadow mask plate 40, the endless magnetic belt 22 and the endless conveyor belt 14 are circularly moved at the same speed to support the shadow mask plate 40 on the endless conveyor belt 14. Spray nozzle 44 while transporting
The etching liquid 46 is jetted upward from above to spray the shower-shaped etching liquid 46 onto the shadow mask plate 40. Incidentally, reference numeral 48 in the drawing is an image portion in the resist film adhered and formed on the surface of the shadow mask plate member 40.

【0017】図4は、この搬送装置に使用されている無
端磁気ベルト22の一部を拡大した斜視図である。この無
端磁気ベルト22は、多数枚の磁気シート50と2条もしく
はそれ以上のコンベアチェーン56とから構成されてい
る。磁気シート50は、細長い板状をなすシート状磁石52
の片面側にフッ化樹脂等の樹脂被覆層54を被着して形成
されており、この磁気シート50が多数枚、互いに隣り合
うもの同士を近接させて並設されている。また、コンベ
アチェーン56は、ポリアセタール樹脂等のプラスチック
材により取付け板60が一体成形されたリンク対58を多数
個、連結ピン62で連結して形成されており、このコンベ
アチェーン56が2条もしくはそれ以上互いに平行に配置
されている。そして、多数枚の磁気シート50をコンベア
チェーン56の外周側から掛け渡し、磁気シート50の長手
方向とコンベアチェーン56の移動方向とが直行するよう
に、各磁気シート50の、樹脂被覆層54が被着されていな
い面側をコンベアチェーン56の各取付け板60にボルト64
を介してそれぞれ一体的に固着している。この無端磁気
ベルト22のコンベアチェーン56をスプロケット18及びス
プロケット20に掛け渡しており、スプロケット18又はス
プロケット20の駆動手段(図示せず)の駆動により、無
端磁気ベルト22が周回移動可能になっている。
FIG. 4 is an enlarged perspective view of a part of the endless magnetic belt 22 used in this conveying device. The endless magnetic belt 22 is composed of a large number of magnetic sheets 50 and two or more conveyor chains 56. The magnetic sheet 50 is a sheet-shaped magnet 52 having an elongated plate shape.
A resin coating layer 54 such as a fluorinated resin is deposited on one side of the magnetic sheet 50, and a large number of the magnetic sheets 50 are arranged side by side with their adjacent ones being close to each other. Further, the conveyor chain 56 is formed by connecting a large number of link pairs 58 integrally formed with a mounting plate 60 made of a plastic material such as polyacetal resin by a connecting pin 62. The above are arranged in parallel with each other. Then, a large number of magnetic sheets 50 are spanned from the outer peripheral side of the conveyor chain 56, so that the longitudinal direction of the magnetic sheet 50 and the moving direction of the conveyor chain 56 are orthogonal to each other, the resin coating layer 54 of each magnetic sheet 50. Bolt 64 to each mounting plate 60 of conveyor chain 56
They are integrally fixed to each other via. The conveyor chain 56 of the endless magnetic belt 22 is hung around the sprocket 18 and the sprocket 20, and the drive means (not shown) of the sprocket 18 or the sprocket 20 drives the endless magnetic belt 22 to rotate. .

【0018】尚、磁気シート50は、図5に示すように、
単極着磁となるように多数枚、互いに近接して並設され
ている。このようにするのは、金属薄板を直接支持して
搬送していた従来のゴム状の無端磁気ベルトでは、N極
とS極とが交互に繰り返し現出する多極着磁であったた
め、磁力の向きと強さとが一様にはならず、その無端磁
気ベルトに金属薄板を支持してエッチング処理したとき
に、エッチング液が供給された金属薄板に、図8に示す
ような筋状のむら5が生じてしまうからである。そこ
で、磁気シート50を単極着磁になるように並設すれば、
磁気シート50の磁力28の向きと強さとが一様になり、し
かも、エッチングによる孔の広がり速度も、場所の如何
に拘らず一定になるので、筋状のむら5をより完全に防
止することができる。
The magnetic sheet 50, as shown in FIG.
A large number of sheets are arranged in close proximity to each other so as to be magnetized in a single pole. This is because the conventional rubber-like endless magnetic belt that directly supports and conveys a thin metal plate is multi-pole magnetized in which N poles and S poles appear alternately and repeatedly. The orientation and strength of the metal sheet are not uniform, and when the metal thin plate is supported by the endless magnetic belt for etching, the metal thin plate to which the etching liquid is supplied has streaky unevenness 5 as shown in FIG. Is caused. Therefore, if the magnetic sheets 50 are arranged side by side so as to be monopolarized,
The direction and strength of the magnetic force 28 of the magnetic sheet 50 become uniform, and the speed of hole expansion due to etching also becomes constant regardless of the place. it can.

【0019】また、図6に示すように、金属薄板1の搬
送方向と直交する方向に配設され、無端搬送ベルト14の
下方側平面部が下へ弛まないように支持する支持ローラ
38は、両端部に一対の大径部66、66が設けられている段
付きローラからなる。この支持ローラ38は、無端搬送ベ
ルト14を、金属薄板1の保持位置を外れた両側端辺部で
だけ支持するため、金属薄板1が支持ローラ38と接触す
ることがない。従って、金属薄板1と支持ローラ38との
接触部分にエッチング液が溜まってエッチングむらが生
じるといったことはない。図6中の符号68は、無端磁気
ベルト22のガイド、70は、支持ローラ38の軸受である。
Further, as shown in FIG. 6, a supporting roller which is arranged in a direction orthogonal to the transport direction of the thin metal plate 1 and which supports the lower flat portion of the endless transport belt 14 so as not to loosen downward.
38 is a stepped roller having a pair of large-diameter portions 66, 66 at both ends. Since the support roller 38 supports the endless conveyor belt 14 only at both side edges of the endless metal plate 1, the metal thin plate 1 does not come into contact with the support roller 38. Therefore, the etching solution does not accumulate in the contact portion between the thin metal plate 1 and the supporting roller 38, and uneven etching does not occur. In FIG. 6, reference numeral 68 is a guide for the endless magnetic belt 22, and 70 is a bearing for the support roller 38.

【0020】この発明に係る金属薄板搬送装置は上述し
たような構成を有しているが、この発明の範囲は上記説
明並びに図面の内容によって限定されず、要旨を逸脱し
ない範囲で種々の変形例を包含し得る。例えば、上記実
施例では、無端搬送ベルトの下方側平面部の内側に無端
磁気ベルトを配設し、金属薄板を無端磁気ベルトの下方
側平面部の下面に支持して搬送するようにしているが、
無端搬送ベルトを上方側平面部の内側に配設し、金属薄
板を上方側平面部の上面に支持して搬送するような構成
としてもよい。
The metal sheet transporting apparatus according to the present invention has the above-mentioned structure, but the scope of the present invention is not limited by the above description and the contents of the drawings, and various modifications are possible without departing from the scope of the invention. Can be included. For example, in the above embodiment, the endless magnetic belt is arranged inside the lower flat surface portion of the endless transport belt, and the thin metal plate is supported on the lower surface of the lower flat surface portion of the endless magnetic belt to be transported. ,
The endless conveyor belt may be arranged inside the upper flat surface portion, and the thin metal plate may be supported on the upper surface of the upper flat surface portion and conveyed.

【0021】また、この搬送装置は、幅寸法に対して搬
送方向の長さが数倍以上であるような長尺状のものか
ら、幅寸法よりも搬送方向の長さが短いものまで、各種
サイズの金属薄板を搬送することができる。
Further, the carrying device is of various types from a long one having a length in the carrying direction which is several times or more the width dimension to a carrying device having a length in the carrying direction shorter than the width dimension. It is possible to convey thin metal plates of a size.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る金
属薄板搬送装置を使用すれば、無端搬送ベルトの内側に
配設された無端磁気ベルトが金属薄板に磁力を作用させ
て金属薄板を無端搬送ベルトに支持し、その状態で金属
薄板を搬送するので、金属薄板の傷や凹みの発生を防止
することができる。また、無端搬送ベルトと無端磁気ベ
ルトとの周回移動により金属薄板を搬送するようにして
いるので、金属薄板が搬送途中で止まって金属薄板にし
わを生じさせたりすることなく、金属薄板を円滑に搬送
することができる。
As described above, when the metal sheet transporting apparatus according to the present invention is used, the endless magnetic belt disposed inside the endless transport belt exerts a magnetic force on the metal sheet so that the metal sheet is endless. Since the metal thin plate is supported by the conveyor belt and is conveyed in that state, it is possible to prevent the metal thin plate from being scratched or dented. In addition, since the metal thin plate is conveyed by the circular movement of the endless conveying belt and the endless magnetic belt, the metal thin plate can be smoothly moved without the metal thin plate stopping during conveyance and causing wrinkles in the metal thin plate. Can be transported.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の構成の1例を示す金属薄板搬送装置
の模式的側面図である。
FIG. 1 is a schematic side view of a metal sheet transporting device showing an example of the configuration of the present invention.

【図2】図1に示した搬送装置の構成をより具体的に示
した側面図である。
FIG. 2 is a side view showing more specifically the configuration of the transfer device shown in FIG.

【図3】この発明に係る金属薄板搬送装置の具体的構成
例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a specific configuration example of the thin metal plate transporting device according to the present invention.

【図4】この発明に係る搬送装置に使用される無端磁気
ベルトの構成の1例を示し、その一部を拡大して表した
斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of the configuration of an endless magnetic belt used in the conveying device according to the present invention, with a part thereof being enlarged.

【図5】無端磁気ベルトを単極着磁としたときの磁力の
強さと方向とを説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining strength and direction of magnetic force when the endless magnetic belt is monopolar magnetized.

【図6】無端搬送ベルトの下方側平面部を支持する支持
ローラの構成の1例を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of a configuration of a support roller that supports a lower flat surface portion of an endless conveyor belt.

【図7】無端搬送ベルトの内側に平板状磁石を配設した
従来の金属薄板搬送装置の概略構成を示す模式的側面図
である。
FIG. 7 is a schematic side view showing a schematic configuration of a conventional metal sheet transporting device in which a flat magnet is arranged inside an endless transport belt.

【図8】従来の金属薄板搬送装置における問題点を説明
するための図であって、エッチング加工された金属薄板
を示した平面図である。
FIG. 8 is a diagram for explaining a problem in the conventional metal sheet transporting device, and is a plan view showing a metal sheet that has been etched.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、12 ローラ 14 無端搬送ベルト 18、20 スプロケット 22 無端磁気ベルト 40 シャドウマスク用板材 50 磁気シート 54 樹脂被覆層 56 コンベアチェーン 10, 12 Roller 14 Endless conveyor belt 18, 20 Sprocket 22 Endless magnetic belt 40 Shadow mask plate 50 Magnetic sheet 54 Resin coating layer 56 Conveyor chain

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢部 学 京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日 本スクリーン製造株式会社洛西工場内 (72)発明者 安藤 良一 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者 外海 正司 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Manabu Yabe 322 Hazushishi Furukawa-cho, Fushimi-ku, Kyoto Dainichi Moto Screen Manufacturing Co., Ltd. Rakusai Factory (72) Inventor Ryoichi Ando 480 Takamiya-cho, Hikone-shi, Shiga Prefecture 1 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Hikone District Office (72) Inventor Shoji Tokai 1 480 Takamiyacho, Hikone City, Shiga Prefecture 1 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Hikone District Office

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一対のローラ間に周回移動自在に無端搬
送ベルトを掛け渡し、金属薄板を前記無端搬送ベルトに
支持して搬送する金属薄板搬送装置において、 前記無端搬送ベルトの内側においてその無端搬送ベルト
と共に周回移動しながら、金属薄板を前記無端搬送ベル
トに支持する吸引力を金属薄板に対して作用させる無端
磁気ベルトを前記無端搬送ベルトの平面部に沿って配設
したことを特徴とする金属薄板搬送装置。
1. A metal thin plate transporting device which wraps an endless transport belt between a pair of rollers so as to be capable of circulating movement, and supports and transports a thin metal plate by the endless transport belt, wherein the endless transport is performed inside the endless transport belt. An endless magnetic belt, which applies a suction force for supporting the thin metal plate to the endless conveyor belt while moving around the belt together with the belt, is disposed along a plane portion of the endless conveyor belt. Thin plate carrier.
【請求項2】 無端磁気ベルトが、それぞれ片面側に樹
脂被覆層が被着され互いに近接して並設された多数枚の
磁気シートを、互いに平行に配置された2条以上のコン
ベアチェーンの外周側に、各磁気シートの長手方向とコ
ンベアチェーンの移動方向とが直交するように、一体的
に固着したものである請求項1記載の金属薄板搬送装
置。
2. An outer circumference of a conveyor chain having two or more strips in which an endless magnetic belt comprises a plurality of magnetic sheets, each of which has a resin coating layer on one side thereof and is juxtaposed in close proximity to each other. 2. The thin metal sheet conveying device according to claim 1, wherein the magnetic sheet is integrally fixed to the side so that the longitudinal direction of each magnetic sheet and the moving direction of the conveyor chain are orthogonal to each other.
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