JPH0643089A - Apparatus for testing completeness of membrane filter - Google Patents

Apparatus for testing completeness of membrane filter

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JPH0643089A
JPH0643089A JP12774893A JP12774893A JPH0643089A JP H0643089 A JPH0643089 A JP H0643089A JP 12774893 A JP12774893 A JP 12774893A JP 12774893 A JP12774893 A JP 12774893A JP H0643089 A JPH0643089 A JP H0643089A
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controller
pressure
membrane filter
primary side
fluid
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Fusao Soda
房雄 曽田
Hidenobu Sawa
秀信 澤
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Fuirutetsuku Kk
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Fuirutetsuku Kk
NIPPON MEMUTETSUKU KK
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a testing apparatus, which can perform highly accurate detection, measurement, monitoring and recording by supplying fluid into the primary side of a filter under test with a controller for large flow rate, and supplying the fluid after the pressure on the primary side has reached the specified value by the proportional integration control with a controller for the small flow rate. CONSTITUTION:Branching pipes 18 and 20 are connected to the outlet of a cutout valve 16. A small-flow-rate controller 22 is provided in the pipe 18, and a large-flow- rate controller 24 is provided in the pipe 20. A cutout valve 28 is provided at the downstream of the controller 24. These parts are controlled with a main control means 42. In a diffusion flow test mode, preset pressure is always kept constant by the proportional control and the integration control of a controller 22 after the specified pressure has been reached with the controller 24. The balance between the amount of the supplied fluid and the diffusing flow rate is maintained highly accurately. In a bubble- point test mode, the constant pressure increasing curve is controlled with the controller 24, and the sudden change of the increasing rate at the bubble point is computed and obtained at the accurate time interval. Thus, the testing apparatus, which can verify the completeness of the filter highly accurately in both modes, is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、メンブレンフィルタ完
全性試験装置の改良に関する。
FIELD OF THE INVENTION This invention relates to improvements in membrane filter integrity testing equipment.

【0002】[0002]

【従来技術およびその問題点】従来、メンブレンフィル
タを非破壊的に試験する完全性試験装置は、種々のタイ
プのものが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various types of integrity testers for nondestructively testing a membrane filter are known.

【0003】たとえば、従来のメンブレンフィルタ完全
性試験装置として、圧力上昇カーブをペンレコーダでチ
ャート式に記録するタイプのものがあり、これはバブル
ポイント・モードとプレッシャーホールド・モードで作
動する。バブルポイント・モードでは、任意のガス量を
メンブレンフィルタの一次側から供給し、圧力上昇チャ
ートからそのバブルポイントを読み取るようになってい
る。しかしながら、従来の装置では、フィルタ製造業者
の指定時点よりもかなり低い時点でバブルポイントが発
生している。一次側からのガス供給量およびフィルタの
拡散流量値によって圧力上昇曲線は異なる。したがっ
て、チャートからバブルポイントを判読することは非常
に困難であり、バリデーションは不可能である。
For example, a conventional membrane filter integrity tester is of the type that records pressure rise curves in chart form with a pen recorder, which operates in bubble point mode and pressure hold mode. In bubble point mode, an arbitrary amount of gas is supplied from the primary side of the membrane filter, and the bubble point is read from the pressure rise chart. However, in the conventional device, the bubble point occurs at a time much lower than the time specified by the filter manufacturer. The pressure rise curve differs depending on the gas supply amount from the primary side and the diffusion flow rate value of the filter. Therefore, it is very difficult to decipher the bubble point from the chart, and validation is impossible.

【0004】また、プレッシャーホールド・モードで
は、任意のガス量を一次側から供給し、指定圧力まで加
圧した後に一次側からのガス供給を停止させる。一定の
平衡時間をおいた後、一次側圧力低下の様子をチャート
として出力し、それを測定者が判読する。この場合、た
だ単に圧力低下の様子をチャートで表示するだけであ
り、一次側の体積、温度等の要素は何も考慮していな
い。測定者が測定ラインの諸要素を追加考慮しなければ
ならないが、それでもなお、バクテリアチャレンジ試験
と相関性を持たせることはできない。したがって、バリ
デーションは不可能である。
Further, in the pressure hold mode, an arbitrary amount of gas is supplied from the primary side, and after the pressure is increased to a designated pressure, the gas supply from the primary side is stopped. After a certain equilibration time, the state of the pressure drop on the primary side is output as a chart, which is read by the measurer. In this case, the state of pressure drop is simply displayed in a chart, and factors such as the volume and temperature on the primary side are not considered. Although the measurer has to consider additional elements of the measurement line, it still cannot be correlated with the bacterial challenge test. Therefore validation is not possible.

【0005】さらに、プレッシャーホールド試験法を応
用したディフュージョンフロー式完全性試験装置が知ら
れており、これはバブルポイント、プレッシャーホール
ド、ディフュージョンフローの各試験モードで作動す
る。
Further, there is known a diffusion flow type integrity test apparatus to which the pressure hold test method is applied, which operates in each of bubble point, pressure hold and diffusion flow test modes.

【0006】バブルポイント・テストモードは、機械に
よる測定なので、測定誤差は人間による測定誤差よりも
低いが、やはりプラスマイナス0.5kg/cm2 程度
は認められる。また、測定手法が製造業者によって異な
っているため、使用するフィルタの製造業者が数社に及
ぶ場合には混乱を生じる。また、完全性試験機を作動さ
せながら目視によるバリデーションを行うとき、目視に
よりバブルポイントの判断がカートリッジ式フィルタで
は困難なため、バブルポイントのバリデーションがディ
スク式フィルタ専用にすべき試験モードである。
Since the bubble point test mode is a mechanical measurement, the measurement error is lower than the human measurement error, but about ± 0.5 kg / cm 2 is still acceptable. In addition, since the measuring method differs depending on the manufacturer, it causes confusion when the number of manufacturers of filters used is several. Further, when performing visual validation while operating the integrity tester, it is difficult for the cartridge type filter to visually determine the bubble point, so validation of the bubble point is a test mode that should be dedicated to the disc filter.

【0007】プレッシャーホールド・テストモードは、
機械による測定であり、測定誤差は極めて少ないが、プ
レッシャーホールド試験法自体、フィルタ製造業者が提
出するバクテリアチャレンジ試験との相関性の実証が困
難な試験法であり、厳密な意味ではバリデーションには
適さない。それは、プレッシャーホールド・テストモー
ド法は、被試験フィルタの一次側容積および一次側温度
の影響を大きく受けるからである。
The pressure hold test mode is
Although it is a mechanical measurement, the measurement error is extremely small, but it is difficult to verify the correlation with the pressure hold test method and the bacterial challenge test submitted by the filter manufacturer, and in a strict sense, it is suitable for validation. Absent. This is because the pressure hold test mode method is greatly affected by the primary side volume and the primary side temperature of the filter under test.

【0008】従来のディフュージョンフロー・テストモ
ードは、上記のプレッシャーホールド試験法を用い、計
測ライン一次側に一定の圧力を加えて計測した一次側容
積と、圧力降下値等から拡散流量値を計算により求める
が、以下の点で問題がある。
The conventional diffusion flow test mode uses the pressure hold test method described above, and calculates the diffusion flow rate value from the primary side volume measured by applying a constant pressure to the primary side of the measurement line and the pressure drop value. I ask, but there are problems in the following points.

【0009】a.一次側圧力を指定圧力に保持するとい
う測定手法を採用していない。
A. It does not adopt the measurement method of keeping the primary pressure at the specified pressure.

【0010】b.平衡時間を長く採る程に指定圧力から
低い圧力での測定となる。
B. The longer the equilibration time is, the lower the specified pressure becomes.

【0011】c.測定ラインの温度が高くなると、ガス
膨張が起きるため、正確な測定が不可能となる。
C. When the temperature of the measurement line becomes high, gas expansion occurs, which makes accurate measurement impossible.

【0012】d.機械的に一次側の体積を求める機能を
標準装備しているが、体積測定時の誤差が大きい。この
数値を基礎とするために、測定誤差も大きくなり、再現
性に乏しい。
D. Although it is equipped as standard with the function of mechanically determining the volume on the primary side, the error during volume measurement is large. Since this value is the basis, the measurement error is large and the reproducibility is poor.

【0013】以上の観点から、このディフュージョンフ
ロー式完全性試験装置も、バクテリアチャレンジ試験と
の相関関係がとれていないという問題点がある。
From the above viewpoints, this diffusion flow type integrity tester also has a problem that it is not correlated with the bacterial challenge test.

【0014】[0014]

【発明の目的】したがって、本発明の目的は、バクテリ
アチャレンジテストのデータ作成時におけるディフュー
ジョンフロー試験の測定手法に基づき、測定ラインの一
次側容積および温度変化の影響を受けることなく、か
つ、一次側圧力を一定に保持しつつ一定時間内における
拡散流量を、マスフローコントロール方式を採用して極
めて高い精度で検知測定し、モニタおよび記録すること
のできるメンブレンフィルタ完全性試験装置を提供する
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the object of the present invention is based on the measurement method of the diffusion flow test at the time of data preparation of the bacterial challenge test, without being affected by the change in the primary side volume and temperature of the measurement line, and the primary side. It is an object of the present invention to provide a membrane filter integrity tester capable of detecting, measuring and monitoring the diffusion flow rate within a certain period of time with extremely high accuracy while maintaining a constant pressure by adopting a mass flow control method.

【0015】[0015]

【発明の構成】この目的を達成するために、本発明は、
被試験メンブレンフィルタの一次側に流体を送ることに
よって被試験メンブレンフィルタの完全性を試験するメ
ンブレンフィルタ完全性試験装置において、メンブレン
フィルタの一次側に急速に大量の流体を供給することの
できる大流量マスフロー・コントローラと、この大流量
マスフロー・コントローラによって供給された流体によ
ってメンブレンフィルタの一次側の圧力が所定レベルに
達したときにマスフロー・コントローラの作動を停止さ
せると同時に小流量の流体をメンブレンフィルタの一次
側に供給する小流量コントローラと、被試験メンブレン
フィルタの一次側の圧力を検出し、検出信号を発生する
圧力検出手段と、この圧力検出手段から検出信号を受け
取ってその値に応じて小流量コントローラを比例・積分
制御する主制御手段とを包含するメンブレンフィルタ完
全性試験装置を提供する。
To achieve this object, the present invention provides
In a membrane filter integrity tester that tests the integrity of the membrane filter under test by sending fluid to the primary side of the membrane filter under test, a large flow rate that can rapidly supply a large amount of fluid to the primary side of the membrane filter. The mass flow controller and the fluid supplied by the large flow mass flow controller stop the operation of the mass flow controller when the pressure on the primary side of the membrane filter reaches a predetermined level, and at the same time the small flow rate of the fluid is transferred to the membrane filter. A small flow controller for supplying to the primary side, a pressure detecting means for detecting the pressure on the primary side of the membrane filter under test and generating a detection signal, and a small flow rate according to the value of the detection signal received from the pressure detecting means. Main controller for proportional / integral control of controller Providing encompasses membrane filter integrity test system and.

【0016】以下、添付図面を参照しながら本発明を詳
しく説明する。
The present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

【0017】図を参照して、本発明によるメンブレンフ
ィルタ完全性試験装置は、試験に用いる流体を導入する
入口10と、この入口に接続した保護フィルタ12を介
して接続した安全弁14と、この安全弁14に接続した
遮断弁16とを包含する。この遮断弁の出口側には分岐
管路18、20が接続してある。一方の分岐管路18に
は、小流量マスフロー・コントローラ22が設けてあ
り、他方の分岐管路20には、大流量マスフロー・コン
トローラ24が設けてあり、この大流量マスフロー・コ
ントローラの下流側には別の遮断弁28が設けてある。
これらの分岐管路18、20は合流点30で合流し、出
口32に通じる排出管路34となる。この合流点30の
すぐ下流で、排出管路34に圧力センサ36が接続して
ある。また、さらに下流側では、排出管路34には切り
換え弁38が接続してあり、この切り換え弁38は排出
管路34を遮断し、出口32に排出口40を接続するこ
とができるようになっている。
Referring to the drawings, the membrane filter integrity test apparatus according to the present invention comprises an inlet 10 for introducing a fluid used for a test, a safety valve 14 connected through a protective filter 12 connected to this inlet, and this safety valve. And a shutoff valve 16 connected to 14. Branch pipes 18 and 20 are connected to the outlet side of the shutoff valve. A small flow rate mass flow controller 22 is provided in one branch pipeline 18, and a large flow rate mass flow controller 24 is provided in the other branch pipeline 20. Downstream of this large flow rate mass flow controller. Is provided with another shutoff valve 28.
These branch pipelines 18 and 20 merge at a merge point 30 to form a discharge pipeline 34 leading to an outlet 32. A pressure sensor 36 is connected to the discharge conduit 34 immediately downstream of the confluence 30. Further, on the further downstream side, a switching valve 38 is connected to the discharge conduit 34, and this switching valve 38 can block the discharge conduit 34 and connect the outlet 40 to the outlet 32. ing.

【0018】上記の可動部分は、すべて、主制御手段4
2によって制御されるようになっている。それによっ
て、フィルタケーシングとフィルタエレメント(ディス
クタイプとカートリッジタイプを含む)の一次側から流
体を供給したとき、完全性試験装置の内部圧力センサ3
6(拡散流量の緻密な測定と拡散中に発生する微細な圧
力降下の測定を行える)により拡散流量を高い精度で測
定しながら、プレッシャーホールド・テストモードおよ
びバブルポイント・テストモードでも同じように高い精
度で測定可能にし、フィルタ自体の完全性はもとよりシ
ステムにおける完全性確認をも可能にしている。
All of the above movable parts are main control means 4
It is controlled by two. Thereby, when the fluid is supplied from the primary side of the filter casing and the filter element (including the disc type and the cartridge type), the internal pressure sensor 3 of the integrity tester
6 (Diffuse flow rate can be measured precisely and minute pressure drop that occurs during diffusion can be measured), while measuring the diffusion flow rate with high accuracy, it is also high in the pressure hold test mode and bubble point test mode. It makes it possible to measure with accuracy, and it is possible to confirm the integrity of the system as well as the integrity of the filter itself.

【0019】メンブレンフィルタ完全性試験機が作動す
ると、10秒毎に圧力値がサンプリングされ、メモリに
保存される(図4のテーブル1)。たとえば、Pn 点を
基準にした場合、まず、前後のΣP1 〜ΣP4 の各合計
を求め、Pn ×{(ΣP2 −ΣP1 )/(ΣP4 −ΣP
3 )}からPn ′を求める。順次nを増加させて同じ計
算を繰り返し、図4のテーブル2を作成する。図2、3
のシュミレーショングラフを参考にすると、テーブル2
の最小値がBP点と等しくなる(図2)。次に、テーブ
ル2から、Pn ′=−((ΣP2 ′−ΣP1 ′)を計算
し、図4のテーブル3を作成する。テーブル2からテー
ブル3への変換は、実機のデータ精度(分解能)からく
るばらつきを平均化する効果があり、テーブル3が暴れ
なくなる。BP値は、テーブル3の正の最大値に対応す
る圧力値として検出されるが、実際には5ポイント分だ
けテーブル3を右にシフトした後に検索されている(図
3)。
When the membrane filter integrity tester is activated, pressure values are sampled every 10 seconds and stored in memory (Table 1 in FIG. 4). For example, when the Pn point is used as a reference, first, the sum of the front and rear .SIGMA.P1 to .SIGMA.P4 is obtained, and Pn.times. {(. SIGMA.P2--P1) / (. SIGMA.P4--P
3)} to obtain Pn '. The same calculation is repeated by sequentially increasing n to create table 2 in FIG. 2, 3
If you refer to the simulation graph of
The minimum value of is equal to the BP point (FIG. 2). Next, Pn '=-((ΣP2'-ΣP1') is calculated from the table 2 to create the table 3 of Fig. 4. The conversion from the table 2 to the table 3 is based on the data accuracy (resolution) of the actual machine. This has the effect of averaging the fluctuations that occur, and the table 3 does not ramp up.The BP value is detected as the pressure value corresponding to the positive maximum value of the table 3, but actually the table 3 is moved to the right by 5 points. It is searched after shifting (Fig. 3).

【0020】この他に注意すべき点としては、圧力上昇
は、0.1bar/分なる供給流量が初期設定される。
また、グラフ出力時、テーブル3のマイナス値は、プリ
ントされない。さらに、テスト開始時とテスト終了前の
各13サンプルは、計算に必要な前後のデータが揃わな
いため、BP値の範囲から外す。さらにまた、BPテス
トの終了条件は2つある。(1)最大加圧圧力に達した
ときに終了する。そして、(2)10秒間に0.004
bar以下の圧力上昇率まで落ちた場合には、13さん
ぷるをさんぷりんぐした後に終了する(テスト開始時は
0.016bar/10秒で上昇)。
Another point to note is that the pressure increase is initially set at a supply flow rate of 0.1 bar / min.
Further, when the graph is output, the negative values in Table 3 are not printed. Further, the 13 samples before the start of the test and before the end of the test are out of the range of the BP value because the before and after data necessary for calculation are not available. Furthermore, there are two conditions for ending the BP test. (1) The process ends when the maximum pressure is reached. And (2) 0.004 in 10 seconds
When the pressure rise rate falls below the bar, the sample is thirteen thundered and then finished (at the start of the test, the pressure rises at 0.016 bar / 10 seconds).

【0021】ディフュージョンフロー・テストモードで
は、設定圧力到達後、小流量コントローラの出力が比例
・積分制御によって設定圧力を常に一定に保つようにし
てるため、流体供給量と拡散流量のバランスを高い精度
で保てる。たとえば、大容量フィルタハウジングや拡散
流量の多いフィルタに対しては、流体供給量を増加し、
小容量フィルタハウジングや拡散流量の小さいフィルタ
に対しては、流体供給量を減少させることによって圧力
を保持できる。比例制御は、設定圧力と現在の圧力との
差を比例増幅し、流体供給量を制御する。積分制御は、
比例制御による発振(データの乱れ)を防ぐ役目をし、
制御量の平均化処理を行う。この2種類の制御方法を組
み合わせることによって、流体供給量はやがて収束し、
流体拡散流量値と等しくなり、その値が出力される。
In the diffusion flow test mode, after the set pressure is reached, the output of the small flow rate controller keeps the set pressure constant by the proportional / integral control, so that the balance between the fluid supply amount and the diffusion flow amount can be accurately adjusted. I can keep it. For example, for large capacity filter housings and filters with high diffusion flow, increase the fluid supply
For small capacity filter housings and filters with low diffusion flow, pressure can be maintained by reducing the fluid supply. In the proportional control, the difference between the set pressure and the current pressure is proportionally amplified to control the fluid supply amount. Integral control is
It plays the role of preventing oscillation (data disturbance) due to proportional control,
The control amount is averaged. By combining these two types of control methods, the fluid supply amount will eventually converge,
It becomes equal to the fluid diffusion flow rate value, and that value is output.

【0022】この組み合わせの制御方法のポイントは、
比例、積分の各定数の設定にある。その実証として、種
々の実験をそれぞれ異なったフィルタエレメントおよび
ハウジング(容積差による影響を調べるため)により求
め、拡散流量値とその容積差による変化に関係なく安定
したデータが得られることを確認した。ただし、フィル
タハウジングの容積が大きいほど、流体供給量の収束に
時間を要する。極めて大きい容量のフィルタハウジング
の場合には、マスフロー・コントローラをさらに大きな
ものに変更することによって対処できる。要は、収束判
断を約1分間の制御量変化で1cc/分以内に納まった
ときとし、その他電気的精度の関与も防ぐように設計し
てあり、測定誤差を極めて小さいくしてある。
The point of the control method of this combination is:
It is in the setting of each constant of proportionality and integral. As a demonstration, various experiments were conducted using different filter elements and housings (to investigate the effect of the volume difference), and it was confirmed that stable data could be obtained regardless of the diffusion flow rate value and changes due to the volume difference. However, the larger the volume of the filter housing, the longer it takes to converge the fluid supply amount. For very large volume filter housings, this can be addressed by changing the mass flow controller to a larger one. The point is that the convergence judgment is made when the control amount change within about 1 minute is within 1 cc / minute, and it is designed so as to prevent the involvement of other electrical accuracy, and the measurement error is made extremely small.

【0023】したがって、この方法によれば、フィルタ
ハウジングの容積計算または測定の必要性がまったくな
くなる。その測定値は絶対流量値(含システムリーク)
として測定可能である。
This method therefore eliminates the need for volume calculation or measurement of the filter housing altogether. The measured value is the absolute flow rate value (including system leak)
Can be measured as

【0024】バブルポイント・テストモードでは、ディ
フュージョンフロー・テストモードと同様にして、ま
ず、大流量マスフロー・コントローラで適量の流体供給
を行い、毎分約0.1Kg/cm2 の圧力上昇を行って
圧力上昇カーブが得られるように制御する。これに基づ
いて、バブルポイント測定時には、ケーシングの容積に
かかわらず、微細な圧力上昇を行うように一定量の流体
供給を行う。やがてバブルポイントに到達すると、急速
に流体のメンブレン通過量が増加するため、単位時間あ
たりの圧力上昇率が減少する。この一連の変化と、測定
開始から終了までの圧力上昇カーブとを正確な時間間隔
でサンプリングすることにより、単位時間あたりの圧力
上昇率の変化点を算出することができる。マスフローコ
ントローラを制御することによって、一定流体量をメン
ブレンフィルタの一次側に供給すれば、圧力上昇率が時
間と完全に比例することを、その理論と実験により確か
めてある。
In the bubble point test mode, similarly to the diffusion flow test mode, first, an appropriate amount of fluid is supplied by the large flow rate mass flow controller, and the pressure is increased by increasing the pressure by about 0.1 Kg / cm 2 per minute. Control so that a rising curve is obtained. Based on this, at the time of bubble point measurement, a fixed amount of fluid is supplied so as to make a minute pressure increase regardless of the volume of the casing. When the bubble point is reached, the amount of fluid passing through the membrane rapidly increases, and the rate of pressure increase per unit time decreases. By sampling this series of changes and the pressure rise curve from the start to the end of measurement at accurate time intervals, the change point of the pressure rise rate per unit time can be calculated. It has been confirmed by theory and experiment that the rate of pressure rise is perfectly proportional to the time when a constant amount of fluid is supplied to the primary side of the membrane filter by controlling the mass flow controller.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明によれば、ディフュージョンフロ
ー・テストモードおよびバブルポイント・テストモード
で高い精度をもってメンブレンフィルタの完全性を検証
できるメンブレンフィルタ完全性試験装置を得ることが
できる。
According to the present invention, it is possible to obtain a membrane filter integrity tester capable of verifying the integrity of a membrane filter with high accuracy in the diffusion flow test mode and bubble point test mode.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるメンブレンフィルタ完全性試験装
置の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a membrane filter integrity test apparatus according to the present invention.

【図2】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置に
よる値の変化を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing changes in values by the membrane filter integrity test apparatus of the present invention.

【図3】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置に
よる値の変化を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing changes in values by the membrane filter integrity test apparatus of the present invention.

【図4】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置に
おける計算法を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a calculation method in the membrane filter integrity test apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・入口 12・・・保護フィルタ 14・・・安全弁 16・・・遮断弁 18・・・分岐管路 20・・・分岐管路 22・・・小流量コントローラ 24・・・マスフロー・コントローラ 26・・・遮断弁 28・・・遮断弁 30・・・合流点 32・・・出口 34・・・排出管路 36・・・圧力センサ 38・・・遮断弁 40・・・排出口 42・・・主制御手段 10 ... Inlet 12 ... Protective filter 14 ... Safety valve 16 ... Shutoff valve 18 ... Branch line 20 ... Branch line 22 ... Small flow controller 24 ... Mass flow controller 26 ... Shutoff valve 28 ... Shutoff valve 30 ... Confluence point 32 ... Outlet 34 ... Discharge pipe 36 ... Pressure sensor 38 ... Shutoff valve 40 ... Discharge port 42. ..Main control means

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被試験メンブレンフィルタの一次側に流
体を送って被試験メンブレンフィルタを試験するメンブ
レンフィルタ完全性試験装置において、メンブレンフィ
ルタの一次側に急速に大量の流体を供給することのでき
る大流量コントローラと、この大流量コントローラによ
って供給された流体によってメンブレンフィルタの一次
側の圧力が所定レベルに達したときに大流量コントロー
ラの作動を停止させると同時に小流量の流体をメンブレ
ンフィルタの一次側に供給する小流量コントローラと、
被試験メンブレンフィルタの一次側の圧力を検出し、検
出信号を発生する圧力検出手段と、この圧力検出手段か
ら検出信号を受け取ってその値に応じて小流量コントロ
ーラを比例・積分制御する主制御手段とを包含するメン
ブレンフィルタ完全性試験装置。
1. A membrane filter integrity test apparatus for testing a membrane filter under test by sending fluid to the primary side of the membrane filter under test, which is capable of rapidly supplying a large amount of fluid to the primary side of the membrane filter. When the pressure on the primary side of the membrane filter reaches a predetermined level by the flow controller and the fluid supplied by this large flow controller, the operation of the large flow controller is stopped and at the same time a small flow rate of fluid is transferred to the primary side of the membrane filter. Small flow controller to supply,
Pressure detection means for detecting the pressure on the primary side of the membrane filter under test and generating a detection signal, and main control means for receiving the detection signal from the pressure detection means and proportionally / integrally controlling the small flow rate controller according to the value. Membrane filter integrity tester including and.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012107930A (en) * 2010-11-16 2012-06-07 Fuirutetsuku Kk Integrity test method for membrane filter
JP2014128780A (en) * 2012-12-27 2014-07-10 Nihon Medi Physics Co Ltd Chemical dispenser having mechanism for testing filter completeness
CN106289997A (en) * 2016-11-07 2017-01-04 新乡市万和过滤技术股份公司 A kind of pressure test detection device
JP2017533081A (en) * 2014-08-29 2017-11-09 ザトーリウス ステディム ビオテーク ゲーエムベーハー Method and apparatus for performing a validity test on a filter element
CN110621998A (en) * 2017-05-19 2019-12-27 哈希公司 Membrane integrity monitoring in water treatment
US10617603B2 (en) 2016-01-22 2020-04-14 Baxter International Inc. Sterile solutions product bag
US11021275B2 (en) 2016-01-22 2021-06-01 Baxter International Inc. Method and machine for producing sterile solution product bags
JP2023517129A (en) * 2020-03-23 2023-04-21 プレスティージ バイオロジクス カンパニー リミテッド Sterilization filter system for antibody drug manufacturing process and its operation method

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012107930A (en) * 2010-11-16 2012-06-07 Fuirutetsuku Kk Integrity test method for membrane filter
JP2014128780A (en) * 2012-12-27 2014-07-10 Nihon Medi Physics Co Ltd Chemical dispenser having mechanism for testing filter completeness
JP2017533081A (en) * 2014-08-29 2017-11-09 ザトーリウス ステディム ビオテーク ゲーエムベーハー Method and apparatus for performing a validity test on a filter element
US10617603B2 (en) 2016-01-22 2020-04-14 Baxter International Inc. Sterile solutions product bag
US11021275B2 (en) 2016-01-22 2021-06-01 Baxter International Inc. Method and machine for producing sterile solution product bags
US11564867B2 (en) 2016-01-22 2023-01-31 Baxter International Inc. Sterile solutions product bag
US11623773B2 (en) 2016-01-22 2023-04-11 Baxter International Inc. Method and machine for producing sterile solution product bags
CN106289997A (en) * 2016-11-07 2017-01-04 新乡市万和过滤技术股份公司 A kind of pressure test detection device
CN110621998A (en) * 2017-05-19 2019-12-27 哈希公司 Membrane integrity monitoring in water treatment
JP2023517129A (en) * 2020-03-23 2023-04-21 プレスティージ バイオロジクス カンパニー リミテッド Sterilization filter system for antibody drug manufacturing process and its operation method

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