JP2945988B2 - Membrane filter integrity test equipment - Google Patents

Membrane filter integrity test equipment

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JP2945988B2
JP2945988B2 JP12774893A JP12774893A JP2945988B2 JP 2945988 B2 JP2945988 B2 JP 2945988B2 JP 12774893 A JP12774893 A JP 12774893A JP 12774893 A JP12774893 A JP 12774893A JP 2945988 B2 JP2945988 B2 JP 2945988B2
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pressure
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房雄 曽田
秀信 澤
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Fuiru Tetsuku Kk
YUU ESU FUIRUTAA JAPAN KK
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Fuiru Tetsuku Kk
YUU ESU FUIRUTAA JAPAN KK
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、メンブレンフィルタ完
全性試験装置の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a membrane filter integrity test apparatus.

【0002】[0002]

【従来技術およびその問題点】従来、メンブレンフィル
タを非破壊的に試験する完全性試験装置は、種々のタイ
プのものが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various types of integrity test apparatuses for nondestructively testing a membrane filter are known.

【0003】たとえば、従来のメンブレンフィルタ完全
性試験装置として、圧力上昇カーブをペンレコーダでチ
ャート式に記録するタイプのものがあり、これはバブル
ポイント・モードとプレッシャーホールド・モードで作
動する。バブルポイント・モードでは、任意のガス量を
メンブレンフィルタの一次側から供給し、圧力上昇チャ
ートからそのバブルポイントを読み取るようになってい
る。しかしながら、従来の装置では、フィルタ製造業者
の指定時点よりもかなり低い時点でバブルポイントが発
生している。一次側からのガス供給量およびフィルタの
拡散流量値によって圧力上昇曲線は異なる。したがっ
て、チャートからバブルポイントを判読することは非常
に困難であり、バリデーションは不可能である。
For example, as a conventional membrane filter integrity test apparatus, there is a type in which a pressure rise curve is charted by a pen recorder, and operates in a bubble point mode and a pressure hold mode. In the bubble point mode, an arbitrary amount of gas is supplied from the primary side of the membrane filter, and the bubble point is read from a pressure rise chart. However, in the conventional apparatus, the bubble point occurs at a time point much lower than the time point specified by the filter manufacturer. The pressure rise curve differs depending on the gas supply amount from the primary side and the diffusion flow rate value of the filter. Therefore, it is very difficult to decipher the bubble points from the chart, and no validation is possible.

【0004】また、プレッシャーホールド・モードで
は、任意のガス量を一次側から供給し、指定圧力まで加
圧した後に一次側からのガス供給を停止させる。一定の
平衡時間をおいた後、一次側圧力低下の様子をチャート
として出力し、それを測定者が判読する。この場合、た
だ単に圧力低下の様子をチャートで表示するだけであ
り、一次側の体積、温度等の要素は何も考慮していな
い。測定者が測定ラインの諸要素を追加考慮しなければ
ならないが、それでもなお、バクテリアチャレンジ試験
と相関性を持たせることはできない。したがって、バリ
デーションは不可能である。
In the pressure hold mode, an arbitrary amount of gas is supplied from the primary side, and after the gas is pressurized to a specified pressure, the supply of gas from the primary side is stopped. After a certain equilibrium time, the state of the primary side pressure drop is output as a chart, which is read by the measurer. In this case, the state of the pressure drop is simply displayed in a chart, and no consideration is given to factors such as the volume and the temperature on the primary side. The measurer must take into account additional elements of the measurement line, but nonetheless cannot be correlated with the bacterial challenge test. Therefore, validation is not possible.

【0005】さらに、プレッシャーホールド試験法を応
用したディフュージョンフロー式完全性試験装置が知ら
れており、これはバブルポイント、プレッシャーホール
ド、ディフュージョンフローの各試験モードで作動す
る。
[0005] Further, a diffusion flow type integrity test apparatus to which a pressure hold test method is applied is known, and operates in each of bubble point, pressure hold, and diffusion flow test modes.

【0006】バブルポイント・テストモードは、機械に
よる測定なので、測定誤差は人間による測定誤差よりも
低いが、やはりプラスマイナス0.5kg/cm2 程度
は認められる。また、測定手法が製造業者によって異な
っているため、使用するフィルタの製造業者が数社に及
ぶ場合には混乱を生じる。また、完全性試験機を作動さ
せながら目視によるバリデーションを行うとき、目視に
よりバブルポイントの判断がカートリッジ式フィルタで
は困難なため、バブルポイントのバリデーションがディ
スク式フィルタ専用にすべき試験モードである。
In the bubble point test mode, since the measurement is performed by a machine, the measurement error is lower than the measurement error by a human, but about ± 0.5 kg / cm 2 is still recognized. In addition, since the measuring method is different depending on the manufacturer, confusion is caused when a plurality of filter manufacturers are used. In addition, when performing validation by visual inspection while operating the integrity tester, it is a test mode in which bubble point validation should be performed exclusively for a disc-type filter because it is difficult for a cartridge-type filter to visually determine a bubble point.

【0007】プレッシャーホールド・テストモードは、
機械による測定であり、測定誤差は極めて少ないが、プ
レッシャーホールド試験法自体、フィルタ製造業者が提
出するバクテリアチャレンジ試験との相関性の実証が困
難な試験法であり、厳密な意味ではバリデーションには
適さない。それは、プレッシャーホールド・テストモー
ド法は、被試験フィルタの一次側容積および一次側温度
の影響を大きく受けるからである。
[0007] The pressure hold test mode is
Although it is a mechanical measurement and the measurement error is extremely small, it is difficult to demonstrate the correlation with the bacterial challenge test submitted by the filter manufacturer itself, and it is not suitable for validation in the strict sense. Absent. This is because the pressure hold test mode method is greatly affected by the primary volume and the primary temperature of the filter under test.

【0008】従来のディフュージョンフロー・テストモ
ードは、上記のプレッシャーホールド試験法を用い、計
測ライン一次側に一定の圧力を加えて計測した一次側容
積と、圧力降下値等から拡散流量値を計算により求める
が、以下の点で問題がある。
In the conventional diffusion flow test mode, the diffusion flow rate is calculated from the primary volume measured by applying a constant pressure to the primary side of the measurement line and the pressure drop value using the above pressure hold test method. We ask, but there are problems in the following points.

【0009】a.一次側圧力を指定圧力に保持するとい
う測定手法を採用していない。
A. The measurement method of maintaining the primary pressure at the specified pressure is not adopted.

【0010】b.平衡時間を長く採る程に指定圧力から
低い圧力での測定となる。
B. The longer the equilibration time is, the more the measurement is performed from the specified pressure to a lower pressure.

【0011】c.測定ラインの温度が高くなると、ガス
膨張が起きるため、正確な測定が不可能となる。
C. When the temperature of the measurement line increases, gas expansion occurs, so that accurate measurement becomes impossible.

【0012】d.機械的に一次側の体積を求める機能を
標準装備しているが、体積測定時の誤差が大きい。この
数値を基礎とするために、測定誤差も大きくなり、再現
性に乏しい。
D. Although a function for mechanically calculating the volume of the primary side is provided as standard, there is a large error when measuring the volume. On the basis of this numerical value, the measurement error becomes large and the reproducibility is poor.

【0013】以上の観点から、このディフュージョンフ
ロー式完全性試験装置も、バクテリアチャレンジ試験と
の相関関係がとれていないという問題点がある。
From the above viewpoint, this diffusion flow type integrity test apparatus also has a problem that the correlation with the bacterial challenge test is not obtained.

【0014】[0014]

【発明の目的】したがって、本発明の目的は、バクテリ
アチャレンジテストのデータ作成時におけるディフュー
ジョンフロー試験の測定手法に基づき、測定ラインの一
次側容積および温度変化の影響を受けることなく、か
つ、一次側圧力を一定に保持しつつ一定時間内における
拡散流量を、マスフローコントロール方式を採用して極
めて高い精度で検知測定し、モニタおよび記録すること
のできるメンブレンフィルタ完全性試験装置を提供する
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for measuring a diffusion flow test at the time of preparing data for a bacterial challenge test, which is not affected by changes in the primary volume and temperature of the measurement line, and is not affected by the primary side. It is an object of the present invention to provide a membrane filter integrity test apparatus capable of detecting, measuring, monitoring, and recording the diffusion flow rate within a predetermined time with a very high accuracy while maintaining a constant pressure.

【0015】[0015]

【発明の構成】この目的を達成するために、本発明は、
被試験メンブレンフィルタの一次側に流体を送ることに
よって被試験メンブレンフィルタの完全性を試験するメ
ンブレンフィルタ完全性試験装置において、メンブレン
フィルタの一次側に急速に大量の流体を供給することの
できる大流量マスフロー・コントローラと、この大流量
マスフロー・コントローラによって供給された流体によ
ってメンブレンフィルタの一次側の圧力が所定レベルに
達したときにマスフロー・コントローラの作動を停止さ
せると同時に小流量の流体をメンブレンフィルタの一次
側に供給する小流量コントローラと、被試験メンブレン
フィルタの一次側の圧力を検出し、検出信号を発生する
圧力検出手段と、この圧力検出手段から検出信号を受け
取ってその値に応じて小流量コントローラを比例・積分
制御する主制御手段とを包含するメンブレンフィルタ完
全性試験装置を提供する。
In order to achieve this object, the present invention provides:
In a membrane filter integrity test device that tests the integrity of a membrane filter under test by sending fluid to the primary side of the membrane filter under test, a large flow rate capable of rapidly supplying a large amount of fluid to the primary side of the membrane filter When the pressure on the primary side of the membrane filter reaches a predetermined level by the mass flow controller and the fluid supplied by the mass flow controller, the operation of the mass flow controller is stopped, and at the same time, the small flow rate fluid is supplied to the membrane filter. A small flow rate controller for supplying to the primary side, a pressure detecting means for detecting a pressure on the primary side of the membrane filter under test and generating a detection signal, and a small flow rate corresponding to the value of the detection signal received from the pressure detecting means. Main controller for proportional / integral control of the controller Providing encompasses membrane filter integrity test system and.

【0016】以下、添付図面を参照しながら本発明を詳
しく説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0017】図を参照して、本発明によるメンブレンフ
ィルタ完全性試験装置は、試験に用いる流体を導入する
入口10と、この入口に接続した保護フィルタ12を介
して接続した安全弁14と、この安全弁14に接続した
遮断弁16とを包含する。この遮断弁の出口側には分岐
管路18、20が接続してある。一方の分岐管路18に
は、小流量マスフロー・コントローラ22が設けてあ
り、他方の分岐管路20には、大流量マスフロー・コン
トローラ24が設けてあり、この大流量マスフロー・コ
ントローラの下流側には別の遮断弁28が設けてある。
これらの分岐管路18、20は合流点30で合流し、出
口32に通じる排出管路34となる。この合流点30の
すぐ下流で、排出管路34に圧力センサ36が接続して
ある。また、さらに下流側では、排出管路34には切り
換え弁38が接続してあり、この切り換え弁38は排出
管路34を遮断し、出口32に排出口40を接続するこ
とができるようになっている。
Referring to the drawings, a membrane filter integrity test apparatus according to the present invention comprises an inlet 10 for introducing a fluid used for a test, a safety valve 14 connected through a protective filter 12 connected to the inlet, and a safety valve 14 14 and a shut-off valve 16 connected thereto. Branch lines 18 and 20 are connected to the outlet side of the shut-off valve. One branch line 18 is provided with a small flow mass flow controller 22, and the other branch line 20 is provided with a large flow mass flow controller 24, which is located downstream of the large flow mass flow controller. Is provided with another shut-off valve 28.
These branch conduits 18 and 20 join at a junction 30 to form a discharge conduit 34 leading to an outlet 32. Immediately downstream of the junction 30, a pressure sensor 36 is connected to the discharge line 34. Further, on the further downstream side, a switching valve 38 is connected to the discharge line 34, and the switching valve 38 can shut off the discharge line 34 and connect the discharge port 40 to the outlet 32. ing.

【0018】上記の可動部分は、すべて、主制御手段4
2によって制御されるようになっている。それによっ
て、フィルタケーシングとフィルタエレメント(ディス
クタイプとカートリッジタイプを含む)の一次側から流
体を供給したとき、完全性試験装置の内部圧力センサ3
6(拡散流量の緻密な測定と拡散中に発生する微細な圧
力降下の測定を行える)により拡散流量を高い精度で測
定しながら、プレッシャーホールド・テストモードおよ
びバブルポイント・テストモードでも同じように高い精
度で測定可能にし、フィルタ自体の完全性はもとよりシ
ステムにおける完全性確認をも可能にしている。
The above movable parts are all provided by the main control means 4
2 is controlled. Accordingly, when fluid is supplied from the primary side of the filter casing and the filter element (including the disk type and the cartridge type), the internal pressure sensor 3 of the integrity test apparatus is supplied.
6 (capable of precise measurement of diffusion flow rate and measurement of minute pressure drop generated during diffusion), while measuring diffusion flow rate with high accuracy, the same is true in pressure hold test mode and bubble point test mode. The measurement can be performed with high accuracy, and the integrity of the system as well as the integrity of the filter itself can be confirmed.

【0019】メンブレンフィルタ完全性試験機が作動す
ると、10秒毎に圧力値がサンプリングされ、メモリに
保存される(図4のテーブル1)。たとえば、Pn 点を
基準にした場合、まず、前後のΣP1 〜ΣP4 の各合計
を求め、Pn ×{(ΣP2 −ΣP1 )/(ΣP4 −ΣP
3 )}からPn ′を求める。順次nを増加させて同じ計
算を繰り返し、図4のテーブル2を作成する。図2、3
のシュミレーショングラフを参考にすると、テーブル2
の最小値がBP点と等しくなる(図2)。次に、テーブ
ル2から、Pn ′=−((ΣP2 ′−ΣP1 ′)を計算
し、図4のテーブル3を作成する。テーブル2からテー
ブル3への変換は、実機のデータ精度(分解能)からく
るばらつきを平均化する効果があり、テーブル3が暴れ
なくなる。BP値は、テーブル3の正の最大値に対応す
る圧力値として検出されるが、実際には5ポイント分だ
けテーブル3を右にシフトした後に検索されている(図
3)。
When the membrane filter integrity tester is activated, pressure values are sampled every 10 seconds and stored in memory (Table 1 in FIG. 4). For example, on the basis of the Pn point, first, the sum of the preceding and following ΣP1 to ΣP4 is calculated, and Pn × {(ΣP2−ΣP1) / (ΣP4−ΣP
3) Find Pn 'from}. The same calculation is repeated by sequentially increasing n to create Table 2 in FIG. Figures 2 and 3
According to the simulation graph of Table 2, Table 2
Is equal to the BP point (FIG. 2). Next, Pn '=-((ΣP2'-ΣP1') is calculated from Table 2 to create Table 3 in Table 4. Conversion from Table 2 to Table 3 is based on the data precision (resolution) of the actual machine. This has the effect of averaging the fluctuations that occur and prevents the table 3 from running out.The BP value is detected as a pressure value corresponding to the positive maximum value in the table 3, but in practice the table 3 is moved rightward by 5 points. It is searched after shifting (FIG. 3).

【0020】この他に注意すべき点としては、圧力上昇
は、0.1bar/分なる供給流量が初期設定される。
また、グラフ出力時、テーブル3のマイナス値は、プリ
ントされない。さらに、テスト開始時とテスト終了前の
各13サンプルは、計算に必要な前後のデータが揃わな
いため、BP値の範囲から外す。さらにまた、BPテス
トの終了条件は2つある。(1)最大加圧圧力に達した
ときに終了する。そして、(2)10秒間に0.004
bar以下の圧力上昇率まで落ちた場合には、13さん
ぷるをさんぷりんぐした後に終了する(テスト開始時は
0.016bar/10秒で上昇)。
Another point to note is that the pressure rise is initially set at a supply flow rate of 0.1 bar / min.
Further, at the time of graph output, a negative value of Table 3 is not printed. Further, the 13 samples before and after the test are excluded from the range of the BP value because the data required before and after the calculation are not prepared. Furthermore, there are two conditions for terminating the BP test. (1) It ends when the maximum pressurizing pressure is reached. And (2) 0.004 for 10 seconds
When the pressure rise rate falls below the bar, the test is terminated after sampling 13 samples (the test starts at 0.016 bar / 10 seconds).

【0021】ディフュージョンフロー・テストモードで
は、設定圧力到達後、小流量コントローラの出力が比例
・積分制御によって設定圧力を常に一定に保つようにし
てるため、流体供給量と拡散流量のバランスを高い精度
で保てる。たとえば、大容量フィルタハウジングや拡散
流量の多いフィルタに対しては、流体供給量を増加し、
小容量フィルタハウジングや拡散流量の小さいフィルタ
に対しては、流体供給量を減少させることによって圧力
を保持できる。比例制御は、設定圧力と現在の圧力との
差を比例増幅し、流体供給量を制御する。積分制御は、
比例制御による発振(データの乱れ)を防ぐ役目をし、
制御量の平均化処理を行う。この2種類の制御方法を組
み合わせることによって、流体供給量はやがて収束し、
流体拡散流量値と等しくなり、その値が出力される。
In the diffusion flow test mode, after the set pressure is reached, the output of the small flow rate controller always keeps the set pressure constant by proportional / integral control, so that the balance between the fluid supply amount and the diffusion flow rate can be adjusted with high precision. I can keep it. For example, for large filter housings or filters with high diffusion flow rates, increase the fluid supply,
For small capacity filter housings and filters with low diffusion rates, pressure can be maintained by reducing the fluid supply. In the proportional control, the difference between the set pressure and the current pressure is proportionally amplified to control the fluid supply amount. Integral control is
It serves to prevent oscillation (data disturbance) due to proportional control,
The control amount is averaged. By combining these two control methods, the fluid supply will eventually converge,
It becomes equal to the fluid diffusion flow rate value, and that value is output.

【0022】この組み合わせの制御方法のポイントは、
比例、積分の各定数の設定にある。その実証として、種
々の実験をそれぞれ異なったフィルタエレメントおよび
ハウジング(容積差による影響を調べるため)により求
め、拡散流量値とその容積差による変化に関係なく安定
したデータが得られることを確認した。ただし、フィル
タハウジングの容積が大きいほど、流体供給量の収束に
時間を要する。極めて大きい容量のフィルタハウジング
の場合には、マスフロー・コントローラをさらに大きな
ものに変更することによって対処できる。要は、収束判
断を約1分間の制御量変化で1cc/分以内に納まった
ときとし、その他電気的精度の関与も防ぐように設計し
てあり、測定誤差を極めて小さいくしてある。
The point of the control method of this combination is as follows.
It is in the setting of each constant of proportional and integral. As a proof of this, various experiments were performed using different filter elements and housings (to examine the effect of the volume difference), and it was confirmed that stable data could be obtained regardless of the diffusion flow rate value and the change due to the volume difference. However, the larger the volume of the filter housing, the longer it takes to converge the fluid supply amount. Extremely large filter housings can be addressed by changing the mass flow controller to a larger one. The point is that the convergence is determined when the control amount changes within 1 cc / min with a change in the control amount of about 1 minute, and the design is designed so as to prevent the involvement of other electrical precision, so that the measurement error is extremely small.

【0023】したがって、この方法によれば、フィルタ
ハウジングの容積計算または測定の必要性がまったくな
くなる。その測定値は絶対流量値(含システムリーク)
として測定可能である。
Thus, this method eliminates the need for calculating or measuring the volume of the filter housing. The measured value is the absolute flow value (including system leak)
It can be measured as

【0024】バブルポイント・テストモードでは、ディ
フュージョンフロー・テストモードと同様にして、ま
ず、大流量マスフロー・コントローラで適量の流体供給
を行い、毎分約0.1Kg/cm2 の圧力上昇を行って
圧力上昇カーブが得られるように制御する。これに基づ
いて、バブルポイント測定時には、ケーシングの容積に
かかわらず、微細な圧力上昇を行うように一定量の流体
供給を行う。やがてバブルポイントに到達すると、急速
に流体のメンブレン通過量が増加するため、単位時間あ
たりの圧力上昇率が減少する。この一連の変化と、測定
開始から終了までの圧力上昇カーブとを正確な時間間隔
でサンプリングすることにより、単位時間あたりの圧力
上昇率の変化点を算出することができる。マスフローコ
ントローラを制御することによって、一定流体量をメン
ブレンフィルタの一次側に供給すれば、圧力上昇率が時
間と完全に比例することを、その理論と実験により確か
めてある。
In the bubble point test mode, similarly to the diffusion flow test mode, first, an appropriate amount of fluid is supplied by a large flow rate mass flow controller, and the pressure is increased by about 0.1 kg / cm 2 per minute. Control is performed to obtain an ascending curve. Based on this, at the time of the bubble point measurement, a fixed amount of fluid is supplied so as to perform a minute pressure rise regardless of the volume of the casing. When the bubble point is reached, the amount of fluid passing through the membrane rapidly increases, and the rate of pressure rise per unit time decreases. By sampling this series of changes and the pressure rise curve from the start to the end of the measurement at accurate time intervals, it is possible to calculate the change point of the pressure rise rate per unit time. It has been confirmed by theory and experiment that the pressure rise rate is completely proportional to time when a constant fluid amount is supplied to the primary side of the membrane filter by controlling the mass flow controller.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明によれば、ディフュージョンフロ
ー・テストモードおよびバブルポイント・テストモード
で高い精度をもってメンブレンフィルタの完全性を検証
できるメンブレンフィルタ完全性試験装置を得ることが
できる。
According to the present invention, it is possible to obtain a membrane filter integrity test apparatus capable of verifying the integrity of a membrane filter with high accuracy in the diffusion flow test mode and the bubble point test mode.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるメンブレンフィルタ完全性試験装
置の概略図である。
FIG. 1 is a schematic view of a membrane filter integrity test apparatus according to the present invention.

【図2】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置に
よる値の変化を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a change in a value by a membrane filter integrity test apparatus of the present invention.

【図3】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置に
よる値の変化を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing changes in values obtained by the membrane filter integrity test apparatus of the present invention.

【図4】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置に
おける計算法を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a calculation method in the membrane filter integrity test apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・入口 12・・・保護フィルタ 14・・・安全弁 16・・・遮断弁 18・・・分岐管路 20・・・分岐管路 22・・・小流量コントローラ 24・・・マスフロー・コントローラ 26・・・遮断弁 28・・・遮断弁 30・・・合流点 32・・・出口 34・・・排出管路 36・・・圧力センサ 38・・・遮断弁 40・・・排出口 42・・・主制御手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Inlet 12 ... Protective filter 14 ... Safety valve 16 ... Shut-off valve 18 ... Branch line 20 ... Branch line 22 ... Small flow controller 24 ... Mass flow controller 26 ... shutoff valve 28 ... shutoff valve 30 ... junction 32 ... outlet 34 ... discharge line 36 ... pressure sensor 38 ... shutoff valve 40 ... discharge port 42 ・..Main control means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−110445(JP,A) 実開 昭63−200748(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 15/08 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-3-110445 (JP, A) JP-A 63-200748 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01N 15/08 JICST file (JOIS)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被試験メンブレンフィルタの一次側に流
体を送って被試験メンブレンフィルタを試験するメンブ
レンフィルタ完全性試験装置において、メンブレンフィ
ルタの一次側に急速に大量の流体を供給することのでき
る大流量コントローラと、この大流量コントローラによ
って供給された流体によってメンブレンフィルタの一次
側の圧力が所定レベルに達したときに大流量コントロー
ラの作動を停止させると同時に小流量の流体をメンブレ
ンフィルタの一次側に供給する小流量コントローラと、
被試験メンブレンフィルタの一次側の圧力を検出し、検
出信号を発生する圧力検出手段と、この圧力検出手段か
ら検出信号を受け取ってその値に応じて小流量コントロ
ーラを比例・積分制御する主制御手段とを包含するメン
ブレンフィルタ完全性試験装置。
1. A membrane filter integrity test apparatus for testing a membrane filter under test by sending a fluid to a primary side of the membrane filter under test, wherein a large amount of fluid can be rapidly supplied to the primary side of the membrane filter. When the pressure on the primary side of the membrane filter reaches a predetermined level by the flow rate controller and the fluid supplied by the large flow rate controller, the operation of the large flow rate controller is stopped, and at the same time, the small flow rate fluid is fed to the primary side of the membrane filter. A small flow controller to supply,
Pressure detection means for detecting the pressure on the primary side of the membrane filter under test and generating a detection signal, and main control means for receiving a detection signal from the pressure detection means and performing proportional / integral control of the small flow rate controller in accordance with the value. And a membrane filter integrity test apparatus.
JP12774893A 1992-05-01 1993-05-06 Membrane filter integrity test equipment Expired - Lifetime JP2945988B2 (en)

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JP4-139831 1992-05-01
JP13983192 1992-05-01
JP12774893A JP2945988B2 (en) 1992-05-01 1993-05-06 Membrane filter integrity test equipment

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