JPH0642988A - Fluidic gas meter - Google Patents
Fluidic gas meterInfo
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- JPH0642988A JPH0642988A JP3302899A JP30289991A JPH0642988A JP H0642988 A JPH0642988 A JP H0642988A JP 3302899 A JP3302899 A JP 3302899A JP 30289991 A JP30289991 A JP 30289991A JP H0642988 A JPH0642988 A JP H0642988A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はフルイディックガスメー
タに関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a fluidic gas meter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図９と図１０に示すように、流路本体１
に形成されたフルイディック発振素子２を流れるガスの
流体振動を圧電膜センサ３で検出して流量を測定するフ
ルイディックガスメータが周知である。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 9 and FIG.
A fluidic gas meter is known in which the piezoelectric film sensor 3 detects fluid vibration of gas flowing through the fluidic oscillation element 2 formed in FIG.
【０００３】このガスメータは、フルイディック発振素
子２の流体振動が微小流量では発振しなかったり、発振
が不安定になったりして流量を計測しにくいことをカバ
ーするため、フルイディック発振素子２のノズル４に流
速検出用の熱式フローセンサ５を配置して、微小流量域
における流量を計測している。This gas meter covers the fact that the fluid vibration of the fluidic oscillation element 2 does not oscillate at a very small flow rate, or the oscillation becomes unstable, making it difficult to measure the flow rate. A thermal type flow sensor 5 for flow velocity detection is arranged in the nozzle 4 to measure the flow rate in a minute flow rate range.
【０００４】フローセンサによる計測範囲は、ガスメー
タの号数毎に異なっていて、３号メータでは０〜１５０
［ｌ／ｈ］、５号メータでは０〜２５０［ｌ／ｈ］、７
号メータでは０〜３５０［ｌ／ｈ］で、フローセンサで
計測するノズル４の流速は、流量に比例するものの、図
１１に示すようにメータ号数毎に異なっていた。The measurement range of the flow sensor differs depending on the number of gas meters, and the number of meters of No. 3 is 0 to 150.
[L / h], 0-250 [l / h], 7 for No. 5 meter
The flow rate of the nozzle 4 measured by the flow sensor was 0 to 350 [l / h] in the No. meter, but was different for each number of meters as shown in FIG. 11, although it was proportional to the flow rate.
【０００５】フローセンサ取付部は、ノズル内にフロー
センサ・センシングチップ５ａを突出させ、このチップ
表面を通過するガスの流速を検出していた。６と７は流
路本体１に形成された入口口金と出口口金、８はノズル
４のわずか上流に配設された整流部材、９は更にその上
流に配設された別の整流部材、１０は前ケース、１１は
後ケース、１２はフルイディック発振素子２の前面にパ
ッキン１３を介して取り付けた蓋である。In the flow sensor mounting portion, the flow sensor / sensing chip 5a is projected into the nozzle to detect the flow velocity of the gas passing through the surface of the chip. 6 and 7 are inlet and outlet caps formed in the flow path body 1, 8 is a rectifying member disposed slightly upstream of the nozzle 4, 9 is another rectifying member disposed further upstream thereof, and 10 is A front case, 11 is a rear case, and 12 is a lid attached to the front surface of the fluidic oscillation element 2 via a packing 13.
【０００６】１４は表示ユニットである。ノズル４の流
れに直角な断面は長方形で、３号メータでは幅Ｗが３．
１５ｍｍ、奥行Ｄが２２ｍｍ、ノズル断面積が３．１５
×２２ｍｍ2 で、ガスメータがセキュリティ機能を確保
するためには３［ｌ／ｈ］程度の内管漏洩を計測する必
要がある。Reference numeral 14 is a display unit. The cross section perpendicular to the flow of the nozzle 4 is rectangular, and the width W is 3.
15 mm, depth D is 22 mm, and nozzle cross-sectional area is 3.15.
At 22 mm 2 , the gas meter needs to measure the inner tube leakage of about 3 [l / h] in order to secure the security function.
【０００７】フローセンサの感度を考慮すると、この３
号メータでは、３［ｌ／ｈ］の計測を行なうのが限界
で、５号メータ、７号メータではノズル断面が３．２×
３６ｍｍ2 、３．２×６０ｍｍ2 と大きくなり、３［ｌ
／ｈ］における流速は図１１に示すように、３号メータ
の場合よりも小さくなるため、計測困難であるという問
題点があった。Considering the sensitivity of the flow sensor, this
No. 3 meter has a limit of measuring 3 [l / h], and No. 5 and No. 7 meters have a nozzle cross section of 3.2 ×.
36mm 2, increases the 3.2 × 60mm 2, 3 [l
As shown in FIG. 11, the flow velocity at / h] is smaller than that in the case of the No. 3 meter, so there is a problem that it is difficult to measure.
【０００８】又、フローセンサの０点ドリフト量や、流
量が３［ｌ／ｈ］のときの出力の変動が表１や表２の程
度であるため、この面からも５号メータや７号メータで
３［ｌ／ｈ］の流速を計測するのは困難であった。Further, since the zero point drift amount of the flow sensor and the output fluctuation when the flow rate is 3 [l / h] are as shown in Tables 1 and 2, from this aspect as well, the No. 5 meter and the No. 7 are provided. It was difficult to measure a flow rate of 3 [l / h] with a meter.
【０００９】[0009]
【表１】 [Table 1]
【００１０】[0010]
【表２】 [Table 2]
【００１１】これらの事柄は、図１２で、各号メータの
フローセンサの標準出力と、０点変動幅、３［ｌ／ｈ］
時の出力変動幅の関係をみることで容易に判る。例え
ば、３号メータでは３［ｌ／ｈ］の検出が可能である
が、５、７号メータでは検出が困難である。These matters are shown in FIG. 12, in which the standard output of the flow sensor of each meter, the zero point fluctuation range, and 3 [l / h].
It can be easily understood by looking at the relationship of the output fluctuation range over time. For example, the 3rd meter can detect 3 [l / h], but the 5th and 7th meters cannot detect it.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術では、
セキュリティ（内管漏洩）上必要な３［ｌ／ｈ］の流量
に対応するノズルの流速を計測するには、フローセンサ
のセンシングチップ部分の流速を、５号メータと７号メ
ータについても、３号メータの場合と同程度の流速に上
げてやればよい。SUMMARY OF THE INVENTION In the above conventional technique,
In order to measure the flow velocity of the nozzle corresponding to the flow rate of 3 [l / h] required for security (inner pipe leakage), the flow velocity of the sensing tip part of the flow sensor should be 3 for both No. 5 meter and No. 7 meter. The flow rate should be increased to the same level as the case of the No. meter.
【００１３】即ち、５号メータでは従来技術の５／３倍
に、７号メータでは従来技術の７／３倍にノズルのチッ
プに当るガスの流速を上げればよい。しかし、単にノズ
ルの断面積を小さくして流速を上げると、ノズルでの圧
損が上昇し、結果的にはガスメータの圧損が規定値をオ
ーバーすることになるため、この方法は実用的ではな
い。That is, the flow velocity of the gas hitting the tip of the nozzle may be increased to 5/3 times that of the prior art for the 5th meter and 7/3 times of the prior art for the 7th meter. However, if the cross-sectional area of the nozzle is simply reduced and the flow velocity is increased, the pressure loss at the nozzle increases and, as a result, the pressure loss of the gas meter exceeds the specified value, so this method is not practical.
【００１４】そこで、本発明は、ガスメータの圧損を規
定値より上げることなく、フローセンサのセンシングチ
ップによる３［ｌ／ｈ］程度のセキュリティ機能に必要
な流量計測を５号、７号ガスメータにおいても、３号メ
ータと同様に計測可能なフルイディックガスメータを提
供することを目的とする。Therefore, according to the present invention, the flow rate measurement required for the security function of about 3 [l / h] by the sensing chip of the flow sensor can be applied to the No. 5 and No. 7 gas meters without increasing the pressure loss of the gas meter above the specified value. An object of the present invention is to provide a fluidic gas meter that can be measured similarly to the No. 3 meter.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、フルイディック発振素子（２）のノ
ズル（４）の奥行寸法（Ｄ）をフルイディック発振素子
を有しない分流流路（４Ｃ）とフルイディック発振素子
とを有する分流流路（４Ｂ）に分割し、このフルイディ
ック発振素子を有する分流流路（４Ｂ）内にフローセン
サ・センシングチップ（５ａ）を突出させ、このチップ
表面を通過するガスの流速をセンシングチップ（５ａ）
により計測すると共に、センシングチップ（５ａ）の前
方にわずか離れて分流板（１５）を配設してノズル
（４）の流路をセンシングチップ（５ａ）が突出してい
る第１の流路（４Ａ）と、残りの第２の流路（４Ｂ）と
に区画し、第１の流路（４Ａ）の上流を除いて第２の流
路（４Ｂ）の上流に整流部材（８）を配設し、前記フル
イディック発振素子を有しない分流流路（４Ｃ）にも整
流部材（８′）を配設したことを特徴とするものであ
る。In order to achieve the above object, a first aspect of the invention is to divide a depth dimension (D) of a nozzle (4) of a fluidic oscillator (2) into a shunt that does not have the fluidic oscillator. A flow dividing channel (4B) having a flow channel (4C) and a fluidic oscillation element, and a flow sensor / sensing chip (5a) protruding into the flow dividing channel (4B) having the fluidic oscillation element; Sensing tip (5a) for the flow velocity of gas passing through the tip surface
The first flow path (4A) in which the sensing chip (5a) projects from the flow path of the nozzle (4) by arranging the flow distribution plate (15) slightly ahead of the sensing chip (5a) and measuring the ) And the remaining second flow channel (4B), and a rectifying member (8) is provided upstream of the second flow channel (4B) except for upstream of the first flow channel (4A). However, the rectifying member (8 ') is also arranged in the flow dividing channel (4C) having no fluidic oscillation element.
【００１６】また、第２の発明は、整流部材（８）
（８′）をあみ（網）で構成したものである。The second aspect of the present invention is the straightening member (8).
(8 ') is composed of nets.
【００１７】[0017]
【作用】第１の流路（４Ａ）の上流には、整流部材
（８）が配設されてなく、第２の流路（４Ｂ）の上流に
整流部材（８）が配設されているため、第１の流路（４
Ａ）に分流するガスの流速が大きくなり、センシングチ
ップ（５ａ）による流速検出出力が大きくなり、フロー
センサの検出感度が向上する。The flow regulating member (8) is not arranged upstream of the first flow passage (4A), and the flow regulating member (8) is arranged upstream of the second flow passage (4B). Therefore, the first flow path (4
The flow velocity of the gas branched to A) is increased, the flow velocity detection output by the sensing chip (5a) is increased, and the detection sensitivity of the flow sensor is improved.
【００１８】フルイディック発振素子の発振は従来通
り、整流部材（８）で流れが整流されるため安定して発
振する。また、気体の一部は整流部材（８′）を通じて
フルイディック発振素子（２）を有しない分流流路（４
ｃ）を流通する。The oscillation of the fluidic oscillating element is stable as in the conventional case because the flow is rectified by the rectifying member (8). In addition, a part of the gas flows through the flow rectifying member (8 ') to the shunt flow path (4) which does not have the fluidic oscillation element (2).
c) is distributed.
【００１９】[0019]
【実施例】図１〜図５の実施例では、従来技術に比較し
て分流流路４ｃと分流板１５と整流部材８′を設けたこ
とと、整流部材８の形状（奥行）がわずかに異なるのみ
であり、他の符号１〜１４で示す部分は従来技術と変ら
ないので、説明を省略する。1 to 5, in comparison with the prior art, a diversion flow path 4c, a diversion plate 15 and a rectifying member 8'are provided, and the shape (depth) of the rectifying member 8 is slightly different. The only difference is that the other parts indicated by reference numerals 1 to 14 are the same as those of the conventional art, and therefore the description thereof is omitted.
【００２０】１５は分流板で、図４に示すように金属の
薄板を折曲げて構成してあり、この板面１５ａが、ノズ
ル４の奥の面４ａからｄだけ離れて、センシングチップ
５ａの前方に配設されている。板面１５ａは、この状態
で、ノズル４の奥の面４ａと並行である。A flow dividing plate 15 is formed by bending a thin metal plate as shown in FIG. 4, and the plate surface 15a is separated from the inner surface 4a of the nozzle 4 by d, and the sensing chip 5a is formed. It is arranged in the front. In this state, the plate surface 15a is parallel to the inner surface 4a of the nozzle 4.
【００２１】このように分流板１５を設けることで、ノ
ズル４は、分流板１５の板面１５ａより奥の部分の第１
の流路４Ａと、残りの第２の流路４Ｂとに区画され、第
１の流路４Ａにセンシングチップ５ａが突出する。By providing the flow dividing plate 15 in this manner, the nozzle 4 is provided with the first portion of the portion deeper than the plate surface 15a of the flow dividing plate 15.
4A and the remaining second channel 4B, and the sensing chip 5a projects into the first channel 4A.
【００２２】整流板８は、第１の流路４Ａの上流を除い
て第２の流路４Ｂの上流にだけ図１、図２に示すように
配設される。なお、分流板１５の上流端は、図１〜図３
に示すように、整流部材８の上流まで延長配設されてい
る。The rectifying plate 8 is arranged as shown in FIGS. 1 and 2 only on the upstream side of the second flow path 4B except for the upstream side of the first flow path 4A. In addition, the upstream end of the flow dividing plate 15 is shown in FIGS.
As shown in FIG.
【００２３】なお、分流板１５と整流部材８とは、流路
本体１にはめ合わせて固定される。フルイディック発振
素子２の奥行寸法Ｄ1 はノズル４の奥行寸法Ｄより短く
なっており、フルイディック発振素子２の蓋１６をノズ
ル４内に延長して、フルイディック発振素子を有するＤ
1 寸法の分流流路４Ｂとフルイディック発振素子を有し
ないＤ0 寸法の分流流路４ｃにノズル４を区画してい
る。The flow dividing plate 15 and the rectifying member 8 are fitted and fixed to the flow path body 1. The depth dimension D 1 of the fluidic oscillation element 2 is shorter than the depth dimension D of the nozzle 4, and the lid 16 of the fluidic oscillation element 2 is extended into the nozzle 4 so that the fluidic oscillation element D is provided.
The nozzle 4 is divided into a diversion flow passage 4B of 1 size and a diversion flow passage 4c of D 0 size without a fluidic oscillation element.
【００２４】また、該分流流路４ｃにはあみからなる整
流部材８′が設置されている。上流の整流部材９を通過
したガスは図２に示すように、分流板１５で分けられ、
その一部分は第１の流路４Ａを矢印Ａのように通過し、
センシングチップ５ａでその流速が計測される。他の大
部分のガスは矢印Ｂのように整流部材８を通過して第２
の流路４Ｂを流れ、両流路のガスはフルイディック発振
素子２に流れて流体振動を生じる。In addition, a rectifying member 8'consisting of a net is installed in the branch flow passage 4c. The gas that has passed through the flow regulating member 9 on the upstream side is divided by the flow dividing plate 15 as shown in FIG.
A part thereof passes through the first flow path 4A as shown by an arrow A,
The flow velocity is measured by the sensing chip 5a. Most of the other gas passes through the rectifying member 8 as shown by an arrow B and then is discharged to the second position.
Flowing through the flow path 4B of the above, the gas of both flow paths flows into the fluidic oscillation element 2 to generate fluid vibration.
【００２５】更に、気体の一部は整流部材８′を通じて
分流流部４ｃを流通する。このようにすることで、第１
の流路４Ａに流入するガスが整流部材８の流体抵抗を受
けなく、従来技術と比較してセンシングチップ５ａの表
面に当たって流れるガスの流速が大きくなって、フロー
センサ５の出力パルスが増大した実験結果を図７に示
す。Further, a part of the gas flows through the flow dividing member 4'through the flow dividing portion 4c. By doing this, the first
An experiment in which the gas flowing into the flow path 4A is not subjected to the fluid resistance of the rectifying member 8 and the flow velocity of the gas flowing against the surface of the sensing chip 5a is higher than that in the conventional technique, and the output pulse of the flow sensor 5 is increased. The results are shown in Fig. 7.
【００２６】図７の実験で２本の曲線（１）（２）の条
件は、分流板の前記寸法ｄと、センシチングチップ５ａ
の中央から分流板１５の下流端までの寸法Ｌ1が表３の
ように定めてある。In the experiment of FIG. 7, the conditions of the two curves (1) and (2) are as follows: the dimension d of the flow distribution plate and the sensitizing tip 5a.
The dimension L 1 from the center of the to the downstream end of the flow distribution plate 15 is defined as shown in Table 3.
【００２７】[0027]
【表３】 [Table 3]
【００２８】なお、ノズル４の幅Ｗは３．２ｍｍ、奥行
Ｄは３３ｍｍ、フルイディック素子の奥行Ｄ1 は２２ｍ
ｍである。図７で明らかなような曲線（１）と（２）の
出力パルスが従来技術の２に比較して大幅に改善されて
いる。The width W of the nozzle 4 is 3.2 mm, the depth D is 33 mm, and the depth D 1 of the fluidic element is 22 m.
m. The output pulses of curves (1) and (2) as apparent in FIG. 7 are greatly improved as compared with 2 of the prior art.
【００２９】因みに、流量３［ｌ／ｈ］におけるフロー
センサの出力パルスは、曲線（１）、（２）の場合で、
それぞれ１２パルス、及び７パルスで、曲線（１）の場
合が良い結果を示している。Incidentally, the output pulse of the flow sensor at the flow rate of 3 [l / h] is the case of the curves (1) and (2),
In the case of the curve (1), good results are shown with 12 pulses and 7 pulses, respectively.
【００３０】なお、このとき、ノズル４におけるＤ1部
の流れ方向の長さＬは２５ｍｍ、整流部材８にはＳ．
Ｗ．Ｇ．♯３０のステンレス線を用いた３５メッシュの
金網を用い、分流流路４ｃ部のノズル幅は６ｍｍ、整流
部材８′はＳ．Ｗ．Ｇ．♯３０Ｂのステンレス線を用い
た３０メッシュの金網を用いている。At this time, the D 1 portion of the nozzle 4
The length L in the flow direction of the S.
W. G. A 35 mesh wire net made of # 30 stainless wire was used, the nozzle width of the flow dividing channel 4c was 6 mm, and the rectifying member 8'was S.M. W. G. A 30-mesh wire net made of # 30B stainless wire is used.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明のフルイディックガスメータは上
述のように構成されているので、フローセンサのセンシ
ングチップの表面に当たって通過する第１の流路のガス
流速が大きくなり、フローセンサの出力パルスが増大す
るから、セキュリティ機能に必要な３［ｌ／ｈ］程度の
微小流量の検出を確実に行なえる。Since the fluidic gas meter of the present invention is configured as described above, the gas flow velocity of the first flow path which passes through by hitting the surface of the sensing chip of the flow sensor is increased, and the output pulse of the flow sensor is Since the number increases, it is possible to reliably detect a minute flow rate of about 3 [l / h] required for the security function.
【００３２】更に、フルイディック素子の奥行を短くで
きるため、該素子部のダイキャストによる成型が容易に
なる。更に、フルイディック素子を有しない分流流部に
整流部材を設けたので、この分流流部に入る気体に流通
抵抗を与え、フルイディック素子を有する分流流部への
最適な流量を確保できる。Further, since the depth of the fluidic element can be shortened, the molding of the element portion by die casting becomes easy. Further, since the flow rectifying member is provided in the diversion section having no fluidic element, flow resistance is given to the gas entering the diversion section, and an optimum flow rate to the diversion section having the fluidic element can be secured.
【図１】図３のＡ−Ａ断面図。1 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
【図２】図１の一部を拡大した図。FIG. 2 is an enlarged view of a part of FIG.
【図３】本発明の実施例の前ケースとフルイディック発
振素子の蓋を取外した状態の正面図。FIG. 3 is a front view of the embodiment of the present invention with the front case and the lid of the fluidic oscillator removed.
【図４】図３よりフルイディック発振素子の分流流路を
取外した図。FIG. 4 is a diagram in which the shunt flow path of the fluidic oscillator is removed from FIG.
【図５】本発明の実施例に使う分流板の斜視図。FIG. 5 is a perspective view of a flow dividing plate used in an embodiment of the present invention.
【図６】整流部材の斜視図。FIG. 6 is a perspective view of a flow regulating member.
【図７】フローセンサの流量対出力特性線図。FIG. 7 is a flow rate vs. output characteristic diagram of a flow sensor.
【図８】フルイディック発振素子の器差特性線図。FIG. 8 is an instrumental characteristic diagram of a fluidic oscillator.
【図９】従来技術の前ケースとフルイディック発振素子
の蓋を取外した状態の正面図。FIG. 9 is a front view of a conventional case in which a front case and a lid of the fluidic oscillator are removed.
【図１０】図９のＢ−Ｂ断面図。10 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【図１１】流量対流速特性線図。FIG. 11 is a flow rate versus flow velocity characteristic diagram.
【図１２】フローセンサの出力変動を説明する図。FIG. 12 is a diagram for explaining output fluctuations of the flow sensor.
２ フルイディック発振素子 ４ ノズル ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ 流路 ５ａ フローセンサ・センシングチップ（センシングチ
ップ） ８、８′ 整流部材 １５ 分流板2 Fluidic oscillator 4 Nozzle 4A, 4B, 4C Flow path 5a Flow sensor / sensing chip (sensing chip) 8, 8'Rectifying member 15 Flow dividing plate
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─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年６月３０日[Submission date] June 30, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１[Name of item to be corrected] Figure 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１】 [Figure 1]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図２[Name of item to be corrected] Figure 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図２】 [Fig. 2]
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年６月３０日[Submission date] June 30, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項１[Name of item to be corrected] Claim 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１５[Name of item to be corrected] 0015
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、フルイディック発振素子（２）のノ
ズル（４）の奥行寸法（Ｄ）をフルイディック発振素子
を有しない分流流路（４Ｃ）とフルイディック発振素子
とを有する分流流路（４Ｂ）に分割し、このフルイディ
ック発振素子を有する分流流路（４Ｂ）内にフローセン
サ・センシングチップ（５ａ）を突出させ、このチップ
表面を通過するガスの流速をセンシングチップ（５ａ）
により計測すると共に、センシングチップ（５ａ）の前
方にわずか離れて分流板（１５）を配設してノズル
（４）の分流流路（４Ｂ）をセンシングチップ（５ａ）
が突出している第１の流路（４Ａ）と、残りの第２の流
路（４Ｂ′）とに区画し、第１の流路（４Ａ）の上流を
除いて第２の流路（４Ｂ′）の上流に整流部材（８）を
配設し、前記フルイディック発振素子を有しない分流流
路（４Ｃ）にも整流部材（８′）を配設したことを特徴
とするものである。In order to achieve the above object, a first aspect of the invention is to divide a depth dimension (D) of a nozzle (4) of a fluidic oscillator (2) into a shunt that does not have the fluidic oscillator. A flow dividing channel (4B) having a flow channel (4C) and a fluidic oscillation element, and a flow sensor / sensing chip (5a) protruding into the flow dividing channel (4B) having the fluidic oscillation element; Sensing tip (5a) for the flow velocity of gas passing through the tip surface
In addition to the measurement, the flow dividing plate (15) is disposed slightly in front of the sensing chip (5a) and the flow dividing flow path (4B) of the nozzle (4) is detected by the sensing chip (5a).
And There first channel protruding (4A), partitioned second flow path remaining and (4B '), the second flow path with the exception of the upstream of the first channel (4A) (4B The rectifying member (8) is disposed upstream of the ′ ′) , and the rectifying member (8 ′) is also disposed in the shunt flow path (4C) having no fluidic oscillation element.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１７[Correction target item name] 0017
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１７】[0017]
【作用】第１の流路（４Ａ）の上流には、整流部材
（８）が配設されてなく、第２の流路（４Ｂ′）の上流
に整流部材（８）が配設されているため、第１の流路
（４Ａ）に分流するガスの流速が大きくなり、センシン
グチップ（５ａ）による流速検出出力が大きくなり、フ
ローセンサの検出感度が向上する。The flow regulating member (8) is not arranged upstream of the first flow passage (4A), and the flow regulating member (8) is arranged upstream of the second flow passage (4B '). Therefore, the flow velocity of the gas branched into the first flow passage (4A) is increased, the flow velocity detection output by the sensing chip (5a) is increased, and the detection sensitivity of the flow sensor is improved.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２０[Correction target item name] 0020
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２０】１５は分流板で、図５に示すように金属の
薄板を折曲げて構成してあり、この板面１５ａが、図２
に示すようにノズル４の奥の面４ａからｄだけ離れて、
センシングチップ５ａの前方に配設されている。板面１
５ａは、この状態で、ノズル４の奥の面４ａと並行であ
る。A flow dividing plate 15 is formed by bending a thin metal plate as shown in FIG. 5 , and this plate surface 15a is shown in FIG.
As shown in, a distance d from the inner surface 4a of the nozzle 4
It is arranged in front of the sensing chip 5a. Board surface 1
In this state, 5a is parallel to the inner surface 4a of the nozzle 4.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２１[Correction target item name] 0021
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２１】このように分流板１５を設けることで、ノ
ズル４の分流流路４Ｂは、分流板１５の板面１５ａより
奥の部分の第１の流路４Ａと、残りの第２の流路４Ｂ′
とに区画され、第１の流路４Ａにセンシングチップ５ａ
が突出する。By providing the flow dividing plate 15 in this way, the flow dividing flow passage 4B of the nozzle 4 has the first flow passage 4A at a portion deeper than the plate surface 15a of the flow dividing plate 15 and the remaining second flow passage. 4B '
And the sensing chip 5a in the first channel 4A.
Protrudes.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２２[Name of item to be corrected] 0022
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２２】整流板８は、第１の流路４Ａの上流を除い
て第２の流路４Ｂ′の上流にだけ図１、図２に示すよう
に配設される。なお、分流板１５の上流端は、図１〜図
３に示すように、整流部材８の上流まで延長配設されて
いる。The rectifying plate 8 is arranged as shown in FIGS. 1 and 2 only in the upstream of the second flow path 4B ' except for the upstream of the first flow path 4A. The upstream end of the flow dividing plate 15 is extended to the upstream of the flow regulating member 8 as shown in FIGS.
【手続補正６】[Procedure correction 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２４[Name of item to be corrected] 0024
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２４】また、該分流流路４ｃにはあみからなる整
流部材８′が設置されている。上流の整流部材９を通過
したガスは図２に示すように、分流板１５で分けられ、
その一部分は第１の流路４Ａを矢印Ａのように通過し、
センシングチップ５ａでその流速が計測される。他の大
部分のガスは矢印Ｂのように整流部材８を通過して第２
の流路４Ｂ′を流れ、両流路のガスはフルイディック発
振素子２に流れて流体振動を生じる。In addition, a rectifying member 8'consisting of a net is installed in the branch flow passage 4c. The gas that has passed through the flow regulating member 9 on the upstream side is divided by the flow dividing plate 15 as shown in FIG.
A part thereof passes through the first flow path 4A as shown by an arrow A,
The flow velocity is measured by the sensing chip 5a. Most of the other gas passes through the rectifying member 8 as shown by an arrow B and then is discharged to the second position.
Flow through the flow path 4B ' , and the gas in both flow paths flows into the fluidic oscillation element 2 to cause fluid vibration.
【手続補正７】[Procedure Amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】符号の説明[Correction target item name] Explanation of code
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【符号の説明】 ２ フルイディック発振素子 ４ ノズル ４Ａ、４Ｂ、４Ｂ′、４Ｃ 流路 ５ａ フローセンサ・センシングチップ（センシングチ
ップ） ８、８′ 整流部材 １５ 分流板[Explanation of Codes] 2 Fluidic Oscillator 4 Nozzle 4A, 4B, 4B ' , 4C Flow Path 5a Flow Sensor / Sensing Chip (Sensing Chip) 8, 8'Rectifier 15 Flow Divider
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 稔彦 愛知県名古屋市熱田区千年一丁目２番70号 愛知時計電機株式会社内 (72)発明者 水越 靖 富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメー ター株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshihiko Ito 1-270, Sennaku, Atsuta-ku, Nagoya, Aichi Aichi Clock Electric Co., Ltd. Tar Co., Ltd.
Claims (2)
（４）の奥行寸法（Ｄ）をフルイディック発振素子を有
しない分流流路（４Ｃ）とフルイディック発振素子とを
有する分流流路（４Ｂ）に分割し、このフルイディック
発振素子を有する分流流路（４Ｂ）内にフローセンサ・
センシングチップ（５ａ）を突出させ、このチップ表面
を通過するガスの流速をセンシングチップ（５ａ）によ
り計測すると共に、センシングチップ（５ａ）の前方に
わずか離れて分流板（１５）を配設してノズル（４）の
流路をセンシングチップ（５ａ）が突出している第１の
流路（４Ａ）と、残りの第２の流路（４Ｂ）とに区画
し、第１の流路（４Ａ）の上流を除いて第２の流路（４
Ｂ）の上流に整流部材（８）を配設し、前記フルイディ
ック発振素子を有しない分流流路（４Ｃ）にも整流部材
（８′）を配設したことを特徴とするフルイディックガ
スメータ。1. A shunt flow path (4B) having a depth dimension (D) of a nozzle (4) of a fluidic oscillator (2) and a shunt flow channel (4C) having no fluidic oscillator and a fluidic oscillator (4B). ), And a flow sensor in the diversion flow path (4B) having this fluidic oscillation element.
The sensing chip (5a) is projected, the flow velocity of the gas passing through the surface of the chip is measured by the sensing chip (5a), and the flow dividing plate (15) is arranged slightly apart in front of the sensing chip (5a). The flow path of the nozzle (4) is divided into a first flow path (4A) from which the sensing chip (5a) projects and a remaining second flow path (4B), and the first flow path (4A) Except the upstream of the second channel (4
A fluidic gas meter, characterized in that a rectifying member (8) is arranged upstream of B), and a rectifying member (8 ') is also arranged in the flow dividing channel (4C) having no fluidic oscillating element.
た請求項１記載のフルイディックガスメータ。2. The fluidic gas meter according to claim 1, wherein the rectifying members (8), (8 ') are composed of ridges.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3302899A JP3066144B2 (en) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | Fluidic gas meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3302899A JP3066144B2 (en) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | Fluidic gas meter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0642988A true JPH0642988A (en) | 1994-02-18 |
| JP3066144B2 JP3066144B2 (en) | 2000-07-17 |
Family
ID=17914450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3302899A Expired - Fee Related JP3066144B2 (en) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | Fluidic gas meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3066144B2 (en) |
-
1991
- 1991-11-19 JP JP3302899A patent/JP3066144B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3066144B2 (en) | 2000-07-17 |
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