JPH0638298A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPH0638298A JPH0638298A JP4186854A JP18685492A JPH0638298A JP H0638298 A JPH0638298 A JP H0638298A JP 4186854 A JP4186854 A JP 4186854A JP 18685492 A JP18685492 A JP 18685492A JP H0638298 A JPH0638298 A JP H0638298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lands
- probe
- divided
- divided electrodes
- land
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、接続工程における加工精度を
緩和することが可能であり、超音波を均一に発振させる
ことができるアニュラーアレイ型の超音波探触子を提供
することにある。 【構成】本発明に係る超音波探触子は、直径および幅が
異なる１２個のリング状の分割電極Ｅ1 〜Ｅ12を圧電材
表面に同心状に配設し、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ12の周上の
１箇所に、信号線を接続するためのランドＬ1 〜Ｌ12を
形成したアニュラーアレイ型超音波探触子１ａにおい
て、探触子１ａの中心から半径方向に配設された偶数番
目の各分割電極Ｅ2 〜Ｅ12に形成されるランドＬ2 〜Ｌ
12を１つの半径方向Ｒ1 に沿って互いに近接させて配置
する一方、奇数番目の各分割電極Ｅ3〜Ｅ11に形成され
るランドＬ3 〜Ｌ11を他の半径方向Ｒ2 に沿って互いに
近接させて配置して構成される。
緩和することが可能であり、超音波を均一に発振させる
ことができるアニュラーアレイ型の超音波探触子を提供
することにある。 【構成】本発明に係る超音波探触子は、直径および幅が
異なる１２個のリング状の分割電極Ｅ1 〜Ｅ12を圧電材
表面に同心状に配設し、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ12の周上の
１箇所に、信号線を接続するためのランドＬ1 〜Ｌ12を
形成したアニュラーアレイ型超音波探触子１ａにおい
て、探触子１ａの中心から半径方向に配設された偶数番
目の各分割電極Ｅ2 〜Ｅ12に形成されるランドＬ2 〜Ｌ
12を１つの半径方向Ｒ1 に沿って互いに近接させて配置
する一方、奇数番目の各分割電極Ｅ3〜Ｅ11に形成され
るランドＬ3 〜Ｌ11を他の半径方向Ｒ2 に沿って互いに
近接させて配置して構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波探触子に係り、
特に直径等が異なる複数のリング状の分割電極を圧電材
表面に同心状に配設した、いわゆるアニュラーアレイ型
の超音波探触子の改良に関する。
特に直径等が異なる複数のリング状の分割電極を圧電材
表面に同心状に配設した、いわゆるアニュラーアレイ型
の超音波探触子の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波診断装置は、その超音波探触子
（プローブ）から生体内のある断面内へ超音波を連続的
に発射し、その生体内からの反射信号を、同じ超音波探
触子にて検出することによって生体の断層像を得て医療
用診断情報を提供するものである。
（プローブ）から生体内のある断面内へ超音波を連続的
に発射し、その生体内からの反射信号を、同じ超音波探
触子にて検出することによって生体の断層像を得て医療
用診断情報を提供するものである。
【０００３】従来探触子としては、多数の圧電素子を直
線状に配列したリニアアレイ型探触子が一般に使用され
ているが、よりサイドローブレベルを低減でき、スライ
ス方向（断層面と直交する方向）に関しても焦点深度を
自在に変えることが可能なアニュラーアレイ型の超音波
探触子も広く利用されている。
線状に配列したリニアアレイ型探触子が一般に使用され
ているが、よりサイドローブレベルを低減でき、スライ
ス方向（断層面と直交する方向）に関しても焦点深度を
自在に変えることが可能なアニュラーアレイ型の超音波
探触子も広く利用されている。
【０００４】このアニュラーアレイ型の超音波探触子１
は、例えば図４に分解して示すように、使用する超音波
の波長（λ）の約１／４の厚さを有する高分子圧電膜２
の表面に、同じく約λ／４の厚さを有する銅箔等で形成
され、外径が異なる複数のリング状の分割電極Ｅ1 〜Ｅ
n を同心状に貼設する一方、圧電膜２の裏面に、同じく
銅箔等で形成されたアース３を貼設して形成される。各
分割電極Ｅ1 〜Ｅn の周上の１ヶ所にはそれぞれ信号線
４を接続するためのランドＬ1 〜Ｌn が形成されてい
る。
は、例えば図４に分解して示すように、使用する超音波
の波長（λ）の約１／４の厚さを有する高分子圧電膜２
の表面に、同じく約λ／４の厚さを有する銅箔等で形成
され、外径が異なる複数のリング状の分割電極Ｅ1 〜Ｅ
n を同心状に貼設する一方、圧電膜２の裏面に、同じく
銅箔等で形成されたアース３を貼設して形成される。各
分割電極Ｅ1 〜Ｅn の周上の１ヶ所にはそれぞれ信号線
４を接続するためのランドＬ1 〜Ｌn が形成されてい
る。
【０００５】そして出力端子（ＰＷＢ）から導出された
各信号線４は、バッキング材としての樹脂体５を貫通し
て、その先端が各ランドＬに半田付け等によって接合さ
れている。一方、アース３の外表面には、保護膜６が一
体に設けられている。実際の探触子においては、図４に
示す各構成要素は上下方向に密着した形態を有する。
各信号線４は、バッキング材としての樹脂体５を貫通し
て、その先端が各ランドＬに半田付け等によって接合さ
れている。一方、アース３の外表面には、保護膜６が一
体に設けられている。実際の探触子においては、図４に
示す各構成要素は上下方向に密着した形態を有する。
【０００６】そして各リング状分割電極Ｅ1 〜Ｅn と、
アース３との間に電圧を印加することにより、当該分割
電極に当接した高分子圧電膜２が振動し超音波を発振す
る。そして各分割電極Ｅ1 〜Ｅn における発振タイミン
グを遅延線等によって電気的に制御することにより、発
振した超音波ビームを特定の深度位置において集束せし
め、いわゆる電子フォーカスをかけることが可能とな
る。
アース３との間に電圧を印加することにより、当該分割
電極に当接した高分子圧電膜２が振動し超音波を発振す
る。そして各分割電極Ｅ1 〜Ｅn における発振タイミン
グを遅延線等によって電気的に制御することにより、発
振した超音波ビームを特定の深度位置において集束せし
め、いわゆる電子フォーカスをかけることが可能とな
る。
【０００７】ここで上記信号線４とランドＬとの接続
を、例えば半田付け法で行なう場合には、溶融した半田
が、隣接する分割電極Ｅに流れ込んで短絡を引き起こす
ことを防止する点、および各ランドＬに対向して樹脂体
５に穿設される信号線引出し用穴と各ランドＬとの位置
合せを容易にする点などを考慮して、各ランドはある一
定の面積を有することが要求されている。
を、例えば半田付け法で行なう場合には、溶融した半田
が、隣接する分割電極Ｅに流れ込んで短絡を引き起こす
ことを防止する点、および各ランドＬに対向して樹脂体
５に穿設される信号線引出し用穴と各ランドＬとの位置
合せを容易にする点などを考慮して、各ランドはある一
定の面積を有することが要求されている。
【０００８】ここで６個の分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 を備えた
従来の探触子の各ランドＬ1 〜Ｌ6の配置例を図５に示
す。すなわち従来のアニュラーアレイ型の探触子１ａの
各圧電素子を駆動するための分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 と信号
線４とを接続するためのランドＬ1 〜Ｌ6 は、隣接する
ランド同士が接近し過ぎないように中心位置から順に螺
旋状に振り分けた位置に形成する方法が一般に採用され
ている。例えば、図５に示す探触子１ａにおいては、中
央の分割電極Ｅ1 のランドＬ1 は探触子１ａの中心部に
配置する一方、各分割電極Ｅ2 〜Ｅ6 のランドＬ2 〜Ｌ
6 は、０°の基準位置から順次周方向に６０°，１２０
°，１８０°…と振り分けた方位にそれぞれ形成され
る。
従来の探触子の各ランドＬ1 〜Ｌ6の配置例を図５に示
す。すなわち従来のアニュラーアレイ型の探触子１ａの
各圧電素子を駆動するための分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 と信号
線４とを接続するためのランドＬ1 〜Ｌ6 は、隣接する
ランド同士が接近し過ぎないように中心位置から順に螺
旋状に振り分けた位置に形成する方法が一般に採用され
ている。例えば、図５に示す探触子１ａにおいては、中
央の分割電極Ｅ1 のランドＬ1 は探触子１ａの中心部に
配置する一方、各分割電極Ｅ2 〜Ｅ6 のランドＬ2 〜Ｌ
6 は、０°の基準位置から順次周方向に６０°，１２０
°，１８０°…と振り分けた方位にそれぞれ形成され
る。
【０００９】図５に示す探触子１ａのように、電極の分
割数が少なく、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 の幅が比較的に広
い場合には、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 に設けられるランド
Ｌ1 〜Ｌ6 が隣接する分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 に及ぼす影響
も少ない。
割数が少なく、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 の幅が比較的に広
い場合には、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 に設けられるランド
Ｌ1 〜Ｌ6 が隣接する分割電極Ｅ1 〜Ｅ6 に及ぼす影響
も少ない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
超音波診断の精度向上を図るべく、長い被写深度に亘っ
て高精度の診断画像が得られるような超音波探触子が求
められている。そのために使用する超音波の高周波数化
や電極の分割数を増大しフォーカルレンジの拡大を図る
ことが実施されている。すなわち超音波の周波数を増大
させることにより被検体の浅い部分における鮮明な画像
を得ることが可能となり、また電極の分割数を増し、各
分割電極の内周縁および外周縁からそれぞれフォーカス
位置に至るまでの距離差を低減することによりサイドロ
ーブの発生が防止でき高品質の超音波画像を得ることが
できる。
超音波診断の精度向上を図るべく、長い被写深度に亘っ
て高精度の診断画像が得られるような超音波探触子が求
められている。そのために使用する超音波の高周波数化
や電極の分割数を増大しフォーカルレンジの拡大を図る
ことが実施されている。すなわち超音波の周波数を増大
させることにより被検体の浅い部分における鮮明な画像
を得ることが可能となり、また電極の分割数を増し、各
分割電極の内周縁および外周縁からそれぞれフォーカス
位置に至るまでの距離差を低減することによりサイドロ
ーブの発生が防止でき高品質の超音波画像を得ることが
できる。
【００１１】しかしながら、上記のように電極の分割数
を増すことに比例して、超音波探触子の外周部分に位置
する圧電素子を駆動するための各分割電極の幅が極めて
狭くなる。
を増すことに比例して、超音波探触子の外周部分に位置
する圧電素子を駆動するための各分割電極の幅が極めて
狭くなる。
【００１２】この場合各分割電極の幅に等しい直径を有
するランドを各分割電極の周上に形成すると、探触子の
外周縁に位置するランドの面積が微小化してしまい、信
号線と分割電極との接続位置の調整が困難となり、位置
調整を容易とするためには、電極等の機械的加工精度を
大幅に高める必要がある。またランド面積の微小化に伴
い、分割電極と信号線との接続が不確実になってしまう
問題点があった。
するランドを各分割電極の周上に形成すると、探触子の
外周縁に位置するランドの面積が微小化してしまい、信
号線と分割電極との接続位置の調整が困難となり、位置
調整を容易とするためには、電極等の機械的加工精度を
大幅に高める必要がある。またランド面積の微小化に伴
い、分割電極と信号線との接続が不確実になってしまう
問題点があった。
【００１３】一方、図６に示すように、加工精度を緩和
し、各信号線と分割電極Ｅ1 〜Ｅ12との接合強度を高め
るために、一定の大きさ（面積）を有するランドＬ1 〜
Ｌ12を、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ12にそれぞれ確保すべく配
置すると、例えば図６の斜線部で示すようにランドＬ8
〜Ｌ11を有する分割電極Ｅ8 〜Ｅ11は、そのリング状の
周上において２ヶ所で切断されてしまう。すなわち隣接
した分割電極Ｅ7 〜Ｅ12およびランドＬ7 〜Ｌ12が相互
に干渉し、さらには隣接する分割電極Ｅ8 〜Ｅ11の一部
を２ヶ所以上に亘って切断してしまう結果、分割電極Ｅ
8 〜Ｅ11の全周のうちランドＬ8 〜Ｌ11に接続した斜線
部のみにしか駆動電圧を印加することができず、結果と
して斜線部以外の部分からは超音波が発振されないこと
になる。そのため、超音波の集束精度が低下して鮮明で
高精度の画像が得られないという問題点がある。
し、各信号線と分割電極Ｅ1 〜Ｅ12との接合強度を高め
るために、一定の大きさ（面積）を有するランドＬ1 〜
Ｌ12を、各分割電極Ｅ1 〜Ｅ12にそれぞれ確保すべく配
置すると、例えば図６の斜線部で示すようにランドＬ8
〜Ｌ11を有する分割電極Ｅ8 〜Ｅ11は、そのリング状の
周上において２ヶ所で切断されてしまう。すなわち隣接
した分割電極Ｅ7 〜Ｅ12およびランドＬ7 〜Ｌ12が相互
に干渉し、さらには隣接する分割電極Ｅ8 〜Ｅ11の一部
を２ヶ所以上に亘って切断してしまう結果、分割電極Ｅ
8 〜Ｅ11の全周のうちランドＬ8 〜Ｌ11に接続した斜線
部のみにしか駆動電圧を印加することができず、結果と
して斜線部以外の部分からは超音波が発振されないこと
になる。そのため、超音波の集束精度が低下して鮮明で
高精度の画像が得られないという問題点がある。
【００１４】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたものであり、所定の大きさ（面積）を有するラン
ドを、幅が小さい各分割電極に形成した場合において
も、各分割電極が２ヶ所以上に亘って切断されることが
なく、超音波を均一に発振することが可能であり、ま
た、各分割電極と信号線との接続工程における加工精度
を緩和できる超音波探触子を提供することを目的とす
る。
されたものであり、所定の大きさ（面積）を有するラン
ドを、幅が小さい各分割電極に形成した場合において
も、各分割電極が２ヶ所以上に亘って切断されることが
なく、超音波を均一に発振することが可能であり、ま
た、各分割電極と信号線との接続工程における加工精度
を緩和できる超音波探触子を提供することを目的とす
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明に係る超音波探触子は、直径および幅が異なる複
数のリング状の分割電極を圧電膜表面に同心状に配設
し、各分割電極の周上の１箇所に、信号線を接続するた
めのランドを形成したアニュラーアレイ型超音波探触子
において、探触子の中心から半径方向に配設された偶数
番目の各分割電極に形成されるランドを１つの半径方向
に沿って互いに近接させて配置する一方、奇数番目の各
分割電極に形成されるランドを他の半径方向に沿って互
いに近接させて配置したことを特徴とする。
本発明に係る超音波探触子は、直径および幅が異なる複
数のリング状の分割電極を圧電膜表面に同心状に配設
し、各分割電極の周上の１箇所に、信号線を接続するた
めのランドを形成したアニュラーアレイ型超音波探触子
において、探触子の中心から半径方向に配設された偶数
番目の各分割電極に形成されるランドを１つの半径方向
に沿って互いに近接させて配置する一方、奇数番目の各
分割電極に形成されるランドを他の半径方向に沿って互
いに近接させて配置したことを特徴とする。
【００１６】
【作用】上記構成に係る超音波探触子によれば、探触子
の中心から半径方向に配設された偶数番目の各分割電極
に形成されるランドと、奇数番目の各分割電極に形成さ
れるランドとに２つのグループに分け、各グループに属
するランドを別の半径方向に沿って互いに近接して配置
しているため、あるランドを形成した分割電極のの両側
が、隣接する他の分割電極のランドによって切断させる
おそれがない。すなわち信号線と分割電極とを接続する
ためのランドによって隣接するリング状の分割電極の切
断箇所が１ヶ所のみとなるようにランドが配置されるた
め、リング状の各分割電極の全周に対応する圧電膜から
超音波を均一に発振させることができる。
の中心から半径方向に配設された偶数番目の各分割電極
に形成されるランドと、奇数番目の各分割電極に形成さ
れるランドとに２つのグループに分け、各グループに属
するランドを別の半径方向に沿って互いに近接して配置
しているため、あるランドを形成した分割電極のの両側
が、隣接する他の分割電極のランドによって切断させる
おそれがない。すなわち信号線と分割電極とを接続する
ためのランドによって隣接するリング状の分割電極の切
断箇所が１ヶ所のみとなるようにランドが配置されるた
め、リング状の各分割電極の全周に対応する圧電膜から
超音波を均一に発振させることができる。
【００１７】またこのような配置によれば、各分割電極
の連続性を確保するためにランド自体の大きさ（面積）
を小さくする必要がない。したがって、分割電極と信号
線との接合の信頼性が低下することなく、この接合工程
における加工精度を緩和することができ、探触子の製造
工程が簡素化される。
の連続性を確保するためにランド自体の大きさ（面積）
を小さくする必要がない。したがって、分割電極と信号
線との接合の信頼性が低下することなく、この接合工程
における加工精度を緩和することができ、探触子の製造
工程が簡素化される。
【００１８】
【実施例】次に本発明の一実施例について添付図面を参
照して説明する。本発明に係る超音波探触子は、細かく
分割された分割電極とそのランドとの位置関係に特徴を
有し、他の構成要素については図４に示す従来の探触子
と同様である。図１は本発明に係る超音波探触子の第１
実施例を示す平面図であり、１２個の分割電極とそのラ
ンドとの位置関係を示している。
照して説明する。本発明に係る超音波探触子は、細かく
分割された分割電極とそのランドとの位置関係に特徴を
有し、他の構成要素については図４に示す従来の探触子
と同様である。図１は本発明に係る超音波探触子の第１
実施例を示す平面図であり、１２個の分割電極とそのラ
ンドとの位置関係を示している。
【００１９】すなわち本実施例に係る超音波探触子は、
直径および幅が異なる１２個のリング状の分割電極Ｅ1
〜Ｅ12を圧電膜表面に同心状に配設し、各分割電極Ｅ1
〜Ｅ12の周上の１箇所に、信号線を接続するためのラン
ドＬ1 〜Ｌ12を形成したアニュラーアレイ型超音波探触
子１ｂにおいて、探触子１ｂの中心から半径方向に配設
された偶数番目の各分割電極Ｅ2 〜Ｅ12に形成されるラ
ンドＬ2 〜Ｌ12を１つの半径方向Ｒ1 に沿って互いに近
接させて配置する一方、奇数番目の各分割電極Ｅ3 〜Ｅ
11に形成されるランドＬ3 〜Ｌ11を他の半径方向Ｒ2 に
沿って互いに近接させて配置して構成される。
直径および幅が異なる１２個のリング状の分割電極Ｅ1
〜Ｅ12を圧電膜表面に同心状に配設し、各分割電極Ｅ1
〜Ｅ12の周上の１箇所に、信号線を接続するためのラン
ドＬ1 〜Ｌ12を形成したアニュラーアレイ型超音波探触
子１ｂにおいて、探触子１ｂの中心から半径方向に配設
された偶数番目の各分割電極Ｅ2 〜Ｅ12に形成されるラ
ンドＬ2 〜Ｌ12を１つの半径方向Ｒ1 に沿って互いに近
接させて配置する一方、奇数番目の各分割電極Ｅ3 〜Ｅ
11に形成されるランドＬ3 〜Ｌ11を他の半径方向Ｒ2 に
沿って互いに近接させて配置して構成される。
【００２０】また中心部の分割電極Ｅ1 にはその中心に
ランドＬ1 が形成されている。隣接する分割電極間には
所定間隔のギャップ７がそれぞれ形成され、両者間の絶
縁状態を保持している。また偶数番目および奇数番目に
グループ分けされたランド群Ｌ2 〜Ｌ12およびランド群
Ｌ3 〜Ｌ11は、それぞれ、互いに向きが１８０度異なる
半径方向Ｒ1 ，Ｒ2 に相当する半径線の両側に交互に配
設されている。各ランドＬ1 〜Ｌ12には図示しない信号
線がそれぞれ半田付け等によって接合される。上記実施
例に係る超音波探触子１ｂによれば、探触子の中心から
半径方向に配設された偶数番目の各分割電極Ｅ2 〜Ｅ12
に形成されるランドＬ2 〜Ｌ12と、奇数番目の各分割電
極Ｅ3 〜Ｅ11に形成されるランドＬ3 〜Ｌ11との２つの
グループに分け、各グループに属する各ランドを別の半
径方向Ｒ1 ，Ｒ2 に沿って互いに近接して配置している
ため、図６に示す従来例の場合と異なり、あるランドを
形成した分割電極のの両側が、隣接する他の分割電極の
ランドによって切断させるおそれがない。すなわち信号
線と分割電極Ｅ1 〜Ｅ12とを接続するためのランドＬ1
〜Ｌ12によって隣接するリング状の分割電極の切断箇所
が１ヶ所のみか、あるいはゼロとなるようにランドＬ1
〜Ｌ12が配置されるため、リング状の各分割電極Ｅ1 〜
Ｅ12の全周に対応する圧電膜から超音波を均一に発振さ
せることができる。
ランドＬ1 が形成されている。隣接する分割電極間には
所定間隔のギャップ７がそれぞれ形成され、両者間の絶
縁状態を保持している。また偶数番目および奇数番目に
グループ分けされたランド群Ｌ2 〜Ｌ12およびランド群
Ｌ3 〜Ｌ11は、それぞれ、互いに向きが１８０度異なる
半径方向Ｒ1 ，Ｒ2 に相当する半径線の両側に交互に配
設されている。各ランドＬ1 〜Ｌ12には図示しない信号
線がそれぞれ半田付け等によって接合される。上記実施
例に係る超音波探触子１ｂによれば、探触子の中心から
半径方向に配設された偶数番目の各分割電極Ｅ2 〜Ｅ12
に形成されるランドＬ2 〜Ｌ12と、奇数番目の各分割電
極Ｅ3 〜Ｅ11に形成されるランドＬ3 〜Ｌ11との２つの
グループに分け、各グループに属する各ランドを別の半
径方向Ｒ1 ，Ｒ2 に沿って互いに近接して配置している
ため、図６に示す従来例の場合と異なり、あるランドを
形成した分割電極のの両側が、隣接する他の分割電極の
ランドによって切断させるおそれがない。すなわち信号
線と分割電極Ｅ1 〜Ｅ12とを接続するためのランドＬ1
〜Ｌ12によって隣接するリング状の分割電極の切断箇所
が１ヶ所のみか、あるいはゼロとなるようにランドＬ1
〜Ｌ12が配置されるため、リング状の各分割電極Ｅ1 〜
Ｅ12の全周に対応する圧電膜から超音波を均一に発振さ
せることができる。
【００２１】またこのような配置によれば、各分割電極
Ｅ1 〜Ｅ12の連続性を確保するためにランドＬ自体の大
きさ（面積）を小さくする必要がない。したがって電極
の分割数が増加し、各分割電極Ｅの幅が狭くなった場合
においても、各ランドから容易に信号線を引き出すこと
が可能であり、また分割電極Ｅと信号線との接合の信頼
性が低下することなく、この接合工程における加工工作
精度を緩和することができ、探触子の製造工程が簡素化
される。
Ｅ1 〜Ｅ12の連続性を確保するためにランドＬ自体の大
きさ（面積）を小さくする必要がない。したがって電極
の分割数が増加し、各分割電極Ｅの幅が狭くなった場合
においても、各ランドから容易に信号線を引き出すこと
が可能であり、また分割電極Ｅと信号線との接合の信頼
性が低下することなく、この接合工程における加工工作
精度を緩和することができ、探触子の製造工程が簡素化
される。
【００２２】次に本発明の第２実施例について図２を参
照して説明する。すなわち本実施例における超音波探触
子１ｃは、その中央付近に位置するところの幅が広い分
割電極Ｅ2 〜Ｅ5 については、図６に示すように順次配
設角度を変えるようにランドＬ2 〜Ｌ5 を螺旋状に配置
する一方、幅が狭くなる外周近くの分割電極Ｅ6 〜Ｅ12
のランドＬ6 〜Ｌ12については、偶数番目のランド
Ｅ6 ，Ｅ8 ，Ｅ10，Ｅ12と奇数番目のランドＥ7 ，
Ｅ9 ，Ｅ11とにグループ分けしてそれぞれ異なる半径方
向に沿って近接するように配置している。
照して説明する。すなわち本実施例における超音波探触
子１ｃは、その中央付近に位置するところの幅が広い分
割電極Ｅ2 〜Ｅ5 については、図６に示すように順次配
設角度を変えるようにランドＬ2 〜Ｌ5 を螺旋状に配置
する一方、幅が狭くなる外周近くの分割電極Ｅ6 〜Ｅ12
のランドＬ6 〜Ｌ12については、偶数番目のランド
Ｅ6 ，Ｅ8 ，Ｅ10，Ｅ12と奇数番目のランドＥ7 ，
Ｅ9 ，Ｅ11とにグループ分けしてそれぞれ異なる半径方
向に沿って近接するように配置している。
【００２３】本実施例においても、各分割電極はＥ1 〜
Ｅ12は、最大１ヶ所で切断されるのみであるため、超音
波が発振されない領域は極めて少なく、第１実施例の場
合と同等の効果が得られる。
Ｅ12は、最大１ヶ所で切断されるのみであるため、超音
波が発振されない領域は極めて少なく、第１実施例の場
合と同等の効果が得られる。
【００２４】また各ランドの配列方法は図１に示すよう
に、各半径方向Ｒ1 ，Ｒ2 に対応する半径線の両側に交
互に配置する必要はなく、図３に示すように配置するこ
ともできる。すなわち図３に示す第３実施例に係る超音
波探触子１ｄにおいては、偶数番目に位置する分割電極
Ｅ2 〜Ｅ12に設けたランドＬ2 〜Ｌ12および奇数番目に
位置する各分割電極Ｅ3 〜Ｅ11に設けたランドＬ3 〜Ｌ
11を、それぞれグループ別に、隣接するランドが接触し
ないように、ある半径方向から周方向に順次配置して構
成される。
に、各半径方向Ｒ1 ，Ｒ2 に対応する半径線の両側に交
互に配置する必要はなく、図３に示すように配置するこ
ともできる。すなわち図３に示す第３実施例に係る超音
波探触子１ｄにおいては、偶数番目に位置する分割電極
Ｅ2 〜Ｅ12に設けたランドＬ2 〜Ｌ12および奇数番目に
位置する各分割電極Ｅ3 〜Ｅ11に設けたランドＬ3 〜Ｌ
11を、それぞれグループ別に、隣接するランドが接触し
ないように、ある半径方向から周方向に順次配置して構
成される。
【００２５】本実施例においてもリング状の各分割電極
Ｅ1 〜Ｅ12が隣接するランドによって切断される箇所は
最大１ヶ所だけであり、超音波の発振に関与しない領域
の形成を効果的に防止することができる。
Ｅ1 〜Ｅ12が隣接するランドによって切断される箇所は
最大１ヶ所だけであり、超音波の発振に関与しない領域
の形成を効果的に防止することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明の通り、本発明に係る超音波探
触子によれば、探触子の中心から半径方向に配設された
偶数番目の各分割電極に形成されるランドと、奇数番目
の各分割電極に形成されるランドとを２つのグループに
分け、各グループに属するランドを別の半径方向に沿っ
て互いに近接して配置しているため、あるランドを形成
した分割電極のの両側が、隣接する他の分割電極のラン
ドによって切断させるおそれがない。すなわち信号線と
分割電極とを接続するためのランドによって隣接するリ
ング状の分割電極の切断箇所が１ヶ所のみ、またはゼロ
となるようにランドが配置されるため、リング状の各分
割電極の全周に対応する圧電膜から超音波を均一に発振
させることができる。
触子によれば、探触子の中心から半径方向に配設された
偶数番目の各分割電極に形成されるランドと、奇数番目
の各分割電極に形成されるランドとを２つのグループに
分け、各グループに属するランドを別の半径方向に沿っ
て互いに近接して配置しているため、あるランドを形成
した分割電極のの両側が、隣接する他の分割電極のラン
ドによって切断させるおそれがない。すなわち信号線と
分割電極とを接続するためのランドによって隣接するリ
ング状の分割電極の切断箇所が１ヶ所のみ、またはゼロ
となるようにランドが配置されるため、リング状の各分
割電極の全周に対応する圧電膜から超音波を均一に発振
させることができる。
【００２７】またこのような配置によれば、各分割電極
の連続性を確保するためにランド自体の大きさ（面積）
を小さくする必要がない。したがって、分割電極と信号
線との接合の信頼性が低下することなく、この接合工程
における加工精度を緩和することができ、探触子の製造
工程が大幅に簡素化される。
の連続性を確保するためにランド自体の大きさ（面積）
を小さくする必要がない。したがって、分割電極と信号
線との接合の信頼性が低下することなく、この接合工程
における加工精度を緩和することができ、探触子の製造
工程が大幅に簡素化される。
【図１】本発明に係る超音波探触子の第１実施例であ
り、分割電極とランドとの位置関係を示す平面図。
り、分割電極とランドとの位置関係を示す平面図。
【図２】本発明の第２実施例における分割電極とランド
との位置関係を示す平面図。
との位置関係を示す平面図。
【図３】本発明の第３実施例における分割電極とランド
との位置関係を示す平面図。
との位置関係を示す平面図。
【図４】アニュラーアレイ型超音波探触子の構造を分解
して示す断面図。
して示す断面図。
【図５】従来の探触子における分割電極およびランドの
位置関係を示す平面図。
位置関係を示す平面図。
【図６】従来の他の探触子における分割電極およびラン
ドの位置関係を示す平面図。
ドの位置関係を示す平面図。
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ アニュラーアレイ型超音
波探触子 ２ 高分子圧電膜 ３ アース ４ 信号線 ５ 樹脂体 ６ 保護膜 ７ ギャップ Ｅ，Ｅ1 〜Ｅn 分割電極 Ｌ，Ｌ1 〜Ｌn ランド Ｒ1 ，Ｒ2 半径方向
波探触子 ２ 高分子圧電膜 ３ アース ４ 信号線 ５ 樹脂体 ６ 保護膜 ７ ギャップ Ｅ，Ｅ1 〜Ｅn 分割電極 Ｌ，Ｌ1 〜Ｌn ランド Ｒ1 ，Ｒ2 半径方向
Claims (1)
- 【請求項１】 直径および幅が異なる複数のリング状の
分割電極を圧電材表面に同心状に配設し、各分割電極の
周上の１箇所に、信号線を接続するためのランドを形成
したアニュラーアレイ型超音波探触子において、探触子
の中心から半径方向に配設された偶数番目の各分割電極
に形成されるランドを１つの半径方向に沿って互いに近
接させて配置する一方、奇数番目の各分割電極に形成さ
れるランドを他の半径方向に沿って互いに近接させて配
置したことを特徴とする超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186854A JPH0638298A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186854A JPH0638298A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0638298A true JPH0638298A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16195817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4186854A Pending JPH0638298A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638298A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1127798A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | S C:Kk | 超音波振動の発生方法 |
| JP2009105762A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Aloka Co Ltd | アニュラーアレイ振動子 |
| WO2016129829A1 (ko) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 경북대학교 산학협력단 | 초음파 트랜스듀서, 이를 포함하는 초음파 장치 및 이의 제조 방법 |
| WO2019008833A1 (ja) | 2017-07-03 | 2019-01-10 | 株式会社Ｉｈｉ検査計測 | フェーズドアレイ探傷装置と方法 |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP4186854A patent/JPH0638298A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1127798A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | S C:Kk | 超音波振動の発生方法 |
| JP2009105762A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Aloka Co Ltd | アニュラーアレイ振動子 |
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| WO2019008833A1 (ja) | 2017-07-03 | 2019-01-10 | 株式会社Ｉｈｉ検査計測 | フェーズドアレイ探傷装置と方法 |
| US11293905B2 (en) | 2017-07-03 | 2022-04-05 | Ihi Inspection And Instrumentation Co., Ltd. | Phased-array flaw-detection device and method |
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