JPH06347413A - 位置合せ装置 - Google Patents
位置合せ装置Info
- Publication number
- JPH06347413A JPH06347413A JP15808593A JP15808593A JPH06347413A JP H06347413 A JPH06347413 A JP H06347413A JP 15808593 A JP15808593 A JP 15808593A JP 15808593 A JP15808593 A JP 15808593A JP H06347413 A JPH06347413 A JP H06347413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illumination
- illuminated
- condensing
- illumination light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 煩雑な各部の位置関係の設定を要することな
く、かつより簡単な構成および方法によって位置合せが
行えるようにする。 【構成】 光源からの照明光１０１を集光手段１０３に
より集光させて被照明物１０５をその照明面１０７にほ
ぼ垂直な方向から照明する装置において照明光１０１と
被照明物１０５との位置関係を調整する位置合せ装置で
あって、光源から集光手段１０３までの光路中に介在し
光源からの照明光１０１を集光手段１０３の方へ反射す
る反射手段１０９と、照明面１０７で反射された照明光
部分のうち集光手段１０３を経て戻りそして反射手段１
０９を透過した光を検出する光電変換手段１１１と、光
電変換手段１１１の出力に基き照明光１０１と被照明物
１０５間の位置関係を調整するための位置調整手段とを
具備する。
く、かつより簡単な構成および方法によって位置合せが
行えるようにする。 【構成】 光源からの照明光１０１を集光手段１０３に
より集光させて被照明物１０５をその照明面１０７にほ
ぼ垂直な方向から照明する装置において照明光１０１と
被照明物１０５との位置関係を調整する位置合せ装置で
あって、光源から集光手段１０３までの光路中に介在し
光源からの照明光１０１を集光手段１０３の方へ反射す
る反射手段１０９と、照明面１０７で反射された照明光
部分のうち集光手段１０３を経て戻りそして反射手段１
０９を透過した光を検出する光電変換手段１１１と、光
電変換手段１１１の出力に基き照明光１０１と被照明物
１０５間の位置関係を調整するための位置調整手段とを
具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザトモグラフィ装置
や顕微鏡等において、被照明物と照明光間の位置関係を
調整する位置合せ装置に関する。
や顕微鏡等において、被照明物と照明光間の位置関係を
調整する位置合せ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハ等の被検物体の欠陥
等を評価するためのレーザトモグラフィ装置としては、
例えば図７に示すように、集光レンズ１０３で集光させ
たレーザ光１０１により試料１０５の内部を照明面１０
７を介して照明し、その集光点近傍部分９１３により照
明された部分からの散乱光を観察面１１３側から観察レ
ンズ１１５を介して顕微鏡により観察するものが知られ
ている（特開平１−１５１２４３号公報）。この装置で
は、レーザ光１０１の位置は固定とし、照明面１０７か
ら集光点までの距離Ｌ１については、レーザ光１０１に
対して位置が固定された精密位置検出器９１５によりあ
るいは顕微鏡の画像に基づいて位置合せが行われる。ま
た、観察面１１３から観察部分までの距離Ｌ２について
は、顕微鏡のオートフォーカス機能を用い、顕微鏡の焦
点が観察面１１３上にあるときの位置とレーザ光の集光
点にあるときの位置との距離をＬ２として位置合せが行
われる。
等を評価するためのレーザトモグラフィ装置としては、
例えば図７に示すように、集光レンズ１０３で集光させ
たレーザ光１０１により試料１０５の内部を照明面１０
７を介して照明し、その集光点近傍部分９１３により照
明された部分からの散乱光を観察面１１３側から観察レ
ンズ１１５を介して顕微鏡により観察するものが知られ
ている（特開平１−１５１２４３号公報）。この装置で
は、レーザ光１０１の位置は固定とし、照明面１０７か
ら集光点までの距離Ｌ１については、レーザ光１０１に
対して位置が固定された精密位置検出器９１５によりあ
るいは顕微鏡の画像に基づいて位置合せが行われる。ま
た、観察面１１３から観察部分までの距離Ｌ２について
は、顕微鏡のオートフォーカス機能を用い、顕微鏡の焦
点が観察面１１３上にあるときの位置とレーザ光の集光
点にあるときの位置との距離をＬ２として位置合せが行
われる。
【０００３】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、こ
の従来技術においては、長時間を経るうちに、温度の変
動による熱膨張等により、レーザ光の集光点位置の変
動、被検物体の固定治具や観察レンズの変形等が生じる
ため、位置合せ精度の劣化を防止するためには、装置の
使用前に各部の位置関係を設定し直さなければならない
という問題がある。
の従来技術においては、長時間を経るうちに、温度の変
動による熱膨張等により、レーザ光の集光点位置の変
動、被検物体の固定治具や観察レンズの変形等が生じる
ため、位置合せ精度の劣化を防止するためには、装置の
使用前に各部の位置関係を設定し直さなければならない
という問題がある。
【０００４】本発明の目的は、この従来技術の問題点に
鑑み、位置合せ装置において、煩雑な各部の位置関係の
設定を要することなく、かつより簡単な構成および方法
によって位置合せが行えるようにすることにある。
鑑み、位置合せ装置において、煩雑な各部の位置関係の
設定を要することなく、かつより簡単な構成および方法
によって位置合せが行えるようにすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の位置合せ装置は、光源からの照明光を集光手段
により集光させて被照明物をその照明面にほぼ垂直な方
向から照明する装置において照明光と被照明物との位置
関係を調整する位置合せ装置であって、光源から前記集
光手段までの光路中に介在し光源からの照明光を前記集
光手段の方へ反射する反射手段と、前記照明面で反射さ
れた照明光部分のうち前記集光手段を経て戻りそして前
記反射手段を透過した光を検出する光電変換手段と、こ
の光電変換手段の出力に基き照明光と被照明物間の位置
関係を調整するための位置調整手段とを具備することを
特徴とする。
本発明の位置合せ装置は、光源からの照明光を集光手段
により集光させて被照明物をその照明面にほぼ垂直な方
向から照明する装置において照明光と被照明物との位置
関係を調整する位置合せ装置であって、光源から前記集
光手段までの光路中に介在し光源からの照明光を前記集
光手段の方へ反射する反射手段と、前記照明面で反射さ
れた照明光部分のうち前記集光手段を経て戻りそして前
記反射手段を透過した光を検出する光電変換手段と、こ
の光電変換手段の出力に基き照明光と被照明物間の位置
関係を調整するための位置調整手段とを具備することを
特徴とする。
【０００６】ここで、例えば、光電変換手段は、前記照
明面を照明光に垂直な方向に移動させた場合、照明光の
前記集光手段による集光位置またはその近傍が該照明面
の端部を横切るとき、その出力が不連続に変動するもの
であり、また、前記集光位置が前記照明面上に位置して
いるときその出力が最大となるものである。また、反射
手段としては、例えば、誘電体膜を用いた反射ミラーを
用いることができる。また、前記反射手段と集光手段と
の間に偏光回転子を備え、前記反射手段は光の偏光方向
に応じて反射率が変化するプリズムであり、光源が発す
る照明光は所定の方向に偏光しており、前記プリズム
は、この照明光に対しては高い反射率を有し、前記偏光
回転子を経て照射され戻ってくることにより偏光方向が
回転された照明光部分に対しては低い反射率を有するも
のであるようにしても良い。
明面を照明光に垂直な方向に移動させた場合、照明光の
前記集光手段による集光位置またはその近傍が該照明面
の端部を横切るとき、その出力が不連続に変動するもの
であり、また、前記集光位置が前記照明面上に位置して
いるときその出力が最大となるものである。また、反射
手段としては、例えば、誘電体膜を用いた反射ミラーを
用いることができる。また、前記反射手段と集光手段と
の間に偏光回転子を備え、前記反射手段は光の偏光方向
に応じて反射率が変化するプリズムであり、光源が発す
る照明光は所定の方向に偏光しており、前記プリズム
は、この照明光に対しては高い反射率を有し、前記偏光
回転子を経て照射され戻ってくることにより偏光方向が
回転された照明光部分に対しては低い反射率を有するも
のであるようにしても良い。
【０００７】また、レーザトモグラフィへ適用した場合
は、例えば、被照明物はその前記照明面の端部を介して
隣接する観察面を介してその内部が観察されるものであ
り、照明光はその観察される内部をその集光位置近傍に
おいて照明するレーザ光であり、前記調整手段は、該照
明面および観察面から所望の深さに前記集光位置を位置
させるように照明光と被照明物間の位置関係を調整する
ためのものである。
は、例えば、被照明物はその前記照明面の端部を介して
隣接する観察面を介してその内部が観察されるものであ
り、照明光はその観察される内部をその集光位置近傍に
おいて照明するレーザ光であり、前記調整手段は、該照
明面および観察面から所望の深さに前記集光位置を位置
させるように照明光と被照明物間の位置関係を調整する
ためのものである。
【０００８】
【作用】この構成において、光源からの照明光が、反射
手段によって反射され集光手段により集光されて被照明
物の照明面をほぼ垂直な方向から照明すると、その照明
光の一部は、照明面で反射され集光手段を逆に経てから
反射手段を透過する。この透過光の強度は、照明光の集
光位置が照明面に一致しているとき最大となる。また、
照明面を照明光に垂直な方向に移動させた場合において
照明光の集光位置近傍が照明面の端部を横切るとき、不
連続に変動する。そして、これら透過光強度の最大値お
よび不連続変動点を光電変換手段を介して検出すること
によって、集光位置と照明面および集光位置と照明面端
部とが一致するような照明光と被照明物間の位置関係が
認識され、それを基準にして照明光と被照明物間の位置
関係が調整される。以下、実施例を通じて本発明をより
詳細に説明する。
手段によって反射され集光手段により集光されて被照明
物の照明面をほぼ垂直な方向から照明すると、その照明
光の一部は、照明面で反射され集光手段を逆に経てから
反射手段を透過する。この透過光の強度は、照明光の集
光位置が照明面に一致しているとき最大となる。また、
照明面を照明光に垂直な方向に移動させた場合において
照明光の集光位置近傍が照明面の端部を横切るとき、不
連続に変動する。そして、これら透過光強度の最大値お
よび不連続変動点を光電変換手段を介して検出すること
によって、集光位置と照明面および集光位置と照明面端
部とが一致するような照明光と被照明物間の位置関係が
認識され、それを基準にして照明光と被照明物間の位置
関係が調整される。以下、実施例を通じて本発明をより
詳細に説明する。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の一実施例に係る位置合せ装置
を適用したレーザトモグラフィ装置の構成を示す模式図
である。同図に示すように、この位置合せ装置は、光源
からのレーザ光１０１を集光レンズ１０３により集光さ
せて試料１０５をその照明面１０７にほぼ垂直な方向か
ら照明する装置においてレーザ光１０１と試料１０５と
の位置関係を調整するものであり、光源から集光レンズ
１０３までの光路中に介在し光源からのレーザ光１０１
を集光レンズ１０３の方へ反射する誘電体ミラー１０９
と、照明面１０７で反射されたレーザ光部分のうち集光
レンズ１０３を経て戻りそして誘電体ミラー１０９を透
過した光を検出する受光素子１１１と、受光素子１１１
の出力に基きレーザ光１０１と試料１０５間の位置関係
を調整するための位置調整手段とを備える。誘電体ミラ
ー１０９は、適当な反射率をもったものが良く、ここで
は９９％の反射率を有する誘電体膜で構成したものを用
いている。レーザ光１０１の集光位置におけるビーム径
は数μｍ程度である。
を適用したレーザトモグラフィ装置の構成を示す模式図
である。同図に示すように、この位置合せ装置は、光源
からのレーザ光１０１を集光レンズ１０３により集光さ
せて試料１０５をその照明面１０７にほぼ垂直な方向か
ら照明する装置においてレーザ光１０１と試料１０５と
の位置関係を調整するものであり、光源から集光レンズ
１０３までの光路中に介在し光源からのレーザ光１０１
を集光レンズ１０３の方へ反射する誘電体ミラー１０９
と、照明面１０７で反射されたレーザ光部分のうち集光
レンズ１０３を経て戻りそして誘電体ミラー１０９を透
過した光を検出する受光素子１１１と、受光素子１１１
の出力に基きレーザ光１０１と試料１０５間の位置関係
を調整するための位置調整手段とを備える。誘電体ミラ
ー１０９は、適当な反射率をもったものが良く、ここで
は９９％の反射率を有する誘電体膜で構成したものを用
いている。レーザ光１０１の集光位置におけるビーム径
は数μｍ程度である。
【００１０】試料１０５はその照明面１０７の端部を介
して隣接する観察面１１３を介してその内部が観察され
るものであり、その際、レーザ光１０１はその観察され
る内部をその集光位置近傍において照明するように、照
明面１０７および観察面１１３から所望の深さに集光位
置を位置させるようにレーザ光１０１と試料１０５間の
位置関係が調整される。観察は、レーザ光１０１によっ
て照明される集光位置近傍からの散乱光を、観察面１１
３を介し、観察レンズ１１５および結像レンズ１１７を
経て撮像素子１１９により検出することによって行われ
る。この観察系は、その光軸がレーザ光１０１の照明方
向とほぼ直角となるように配置される。
して隣接する観察面１１３を介してその内部が観察され
るものであり、その際、レーザ光１０１はその観察され
る内部をその集光位置近傍において照明するように、照
明面１０７および観察面１１３から所望の深さに集光位
置を位置させるようにレーザ光１０１と試料１０５間の
位置関係が調整される。観察は、レーザ光１０１によっ
て照明される集光位置近傍からの散乱光を、観察面１１
３を介し、観察レンズ１１５および結像レンズ１１７を
経て撮像素子１１９により検出することによって行われ
る。この観察系は、その光軸がレーザ光１０１の照明方
向とほぼ直角となるように配置される。
【００１１】この構成において、試料１０５とレーザ光
１０１とを位置合せする際には、まず、照明方向に対し
照明面１０７がほぼ垂直となるように、かつ照明面１０
７の端部近傍にレーザ光１０１の集光位置が来るよう
に、試料１０５を配置する。次に、試料１０５を観察レ
ンズ１１５の方向へ、レーザ光１０１の集光されたビー
ム径による解析能より数段小さな所定距離毎にステップ
移動させる。そして、レーザ光１０１が照明面１０７上
を照射する位置まで到達すると、レーザ光１０１の一部
は照明面１０７で反射され、集光レンズ１０３を経て誘
電体ミラー１０９へ戻り、さらに一部が誘電体ミラー１
０９を透過する。
１０１とを位置合せする際には、まず、照明方向に対し
照明面１０７がほぼ垂直となるように、かつ照明面１０
７の端部近傍にレーザ光１０１の集光位置が来るよう
に、試料１０５を配置する。次に、試料１０５を観察レ
ンズ１１５の方向へ、レーザ光１０１の集光されたビー
ム径による解析能より数段小さな所定距離毎にステップ
移動させる。そして、レーザ光１０１が照明面１０７上
を照射する位置まで到達すると、レーザ光１０１の一部
は照明面１０７で反射され、集光レンズ１０３を経て誘
電体ミラー１０９へ戻り、さらに一部が誘電体ミラー１
０９を透過する。
【００１２】このとき、誘電体ミラー１０９の透過率を
ｔ、照明面１０７での反射率をλとすると、光源からの
レーザ光１０１の入射光量Ｉ0 に対し、誘電体ミラー１
０９を透過する光量Ｉは、Ｉ＝Ｉ0 ｔ（１−ｔ）λとな
る。したがって、例えば、ｔ＝１％、λ＝３０％、Ｉ0
＝３００ｍＷとすると、Ｉ＝Ｉ0 ０．０１（０．９９）
×０．３＝２．９７×１０-3Ｉ0 ＝約１ｍＷとなる。
ｔ、照明面１０７での反射率をλとすると、光源からの
レーザ光１０１の入射光量Ｉ0 に対し、誘電体ミラー１
０９を透過する光量Ｉは、Ｉ＝Ｉ0 ｔ（１−ｔ）λとな
る。したがって、例えば、ｔ＝１％、λ＝３０％、Ｉ0
＝３００ｍＷとすると、Ｉ＝Ｉ0 ０．０１（０．９９）
×０．３＝２．９７×１０-3Ｉ0 ＝約１ｍＷとなる。
【００１３】この光量は、受光素子１１１によって検出
されるに十分なものであるため、誘電体ミラー１０９を
透過した光は、受光素子１１１によって検出される。こ
の検出があったときの試料１０５の位置が、レーザ光１
０１の集光位置が試料１０５の端部すなわち観察面１１
３に一致している位置である。したがって、次に、この
位置を基準にして試料１０５をさらに観察レンズ１１５
の方向へ、観察を行いたい位置の観察面１１３からの深
さＤだけ移動させることにより、レーザ光１０１と試料
１０５間の観察面１１３に平行な方向の位置合せが完了
する。
されるに十分なものであるため、誘電体ミラー１０９を
透過した光は、受光素子１１１によって検出される。こ
の検出があったときの試料１０５の位置が、レーザ光１
０１の集光位置が試料１０５の端部すなわち観察面１１
３に一致している位置である。したがって、次に、この
位置を基準にして試料１０５をさらに観察レンズ１１５
の方向へ、観察を行いたい位置の観察面１１３からの深
さＤだけ移動させることにより、レーザ光１０１と試料
１０５間の観察面１１３に平行な方向の位置合せが完了
する。
【００１４】次に、集光レンズ１０３を光軸方向に移動
させ、受光素子１１１の出力が最大となる位置に合わせ
る。このとき、照明面１０７からの反射光の外形は図２
に破線で示すように変化する。同図（ｂ）は集光位置が
照明面１０７に一致している場合を示し、このとき、反
射光は集光レンズ１０３を介し、入射時と同様に平行光
となって戻り、誘電体ミラー１０９を透過する。同図
（ａ）は試料１０５と集光レンズ１０３間の距離が同図
（ｂ）の場合よりも大きい場合を示し、このときは、反
射光のうちのかなりの部分は誘電体ミラー１０９まで戻
らずに失われ、かつ受光素子１１１は誘電体ミラー１０
９から十分離れているため、誘電体ミラー１０９を透過
した光は発散され、受光素子１１１における光強度は図
（ｂ）の場合よりも小さい。同図（ｃ）は試料１０５と
集光レンズ１０３間の距離が同図（ｂ）の場合よりも小
さい場合を示し、このときも同様に、受光素子１１１に
おける光強度は図（ｂ）の場合よりも小さい。したがっ
て、受光素子１１１の出力Ｏは、試料１０５と集光レン
ズ１０３間の距離Ｌに対して図３に示すように変化す
る。図３において、（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ図２
（ａ）〜（ｃ）の場合に対応する距離を示す。（ｂ）の
距離は、集光レンズ１０３の焦点距離ｆに対応する。
させ、受光素子１１１の出力が最大となる位置に合わせ
る。このとき、照明面１０７からの反射光の外形は図２
に破線で示すように変化する。同図（ｂ）は集光位置が
照明面１０７に一致している場合を示し、このとき、反
射光は集光レンズ１０３を介し、入射時と同様に平行光
となって戻り、誘電体ミラー１０９を透過する。同図
（ａ）は試料１０５と集光レンズ１０３間の距離が同図
（ｂ）の場合よりも大きい場合を示し、このときは、反
射光のうちのかなりの部分は誘電体ミラー１０９まで戻
らずに失われ、かつ受光素子１１１は誘電体ミラー１０
９から十分離れているため、誘電体ミラー１０９を透過
した光は発散され、受光素子１１１における光強度は図
（ｂ）の場合よりも小さい。同図（ｃ）は試料１０５と
集光レンズ１０３間の距離が同図（ｂ）の場合よりも小
さい場合を示し、このときも同様に、受光素子１１１に
おける光強度は図（ｂ）の場合よりも小さい。したがっ
て、受光素子１１１の出力Ｏは、試料１０５と集光レン
ズ１０３間の距離Ｌに対して図３に示すように変化す
る。図３において、（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ図２
（ａ）〜（ｃ）の場合に対応する距離を示す。（ｂ）の
距離は、集光レンズ１０３の焦点距離ｆに対応する。
【００１５】なお、試料１０５と観察レンズ１１５との
間の距離設定は、通常のオートフォーカス機構を用いて
行うことができる。
間の距離設定は、通常のオートフォーカス機構を用いて
行うことができる。
【００１６】図４は本発明の他の実施例に係る位置合せ
装置を示す模式図である。また、図５はこの装置におけ
るレーザ光の偏光の様子を示す説明図である。この装置
では誘電対ミラー１０９の代わりに、光の偏光方向に応
じて反射率が変化するプリズム１２１、およびプリズム
１２１と集光レンズ１０３との間に偏光回転子１２３を
備える。光源が発するレーザ光１０１は図中のｘ方向に
偏光している。プリズム１２１は、この光源からのレー
ザ光１０１に対してはほぼ１００％の反射率を有すると
ともに、偏光回転子１２３を経て照射され戻ってくるこ
とにより偏光方向が回転された光に対してはほぼ１００
％の透過率を有するものである。偏光回転子１２３とし
ては、ファラデー素子等を用いることができる。
装置を示す模式図である。また、図５はこの装置におけ
るレーザ光の偏光の様子を示す説明図である。この装置
では誘電対ミラー１０９の代わりに、光の偏光方向に応
じて反射率が変化するプリズム１２１、およびプリズム
１２１と集光レンズ１０３との間に偏光回転子１２３を
備える。光源が発するレーザ光１０１は図中のｘ方向に
偏光している。プリズム１２１は、この光源からのレー
ザ光１０１に対してはほぼ１００％の反射率を有すると
ともに、偏光回転子１２３を経て照射され戻ってくるこ
とにより偏光方向が回転された光に対してはほぼ１００
％の透過率を有するものである。偏光回転子１２３とし
ては、ファラデー素子等を用いることができる。
【００１７】この構成において、試料１０５とレーザ光
１０１との位置合せは、上述と同様にして行われる。そ
の場合、偏光方向１２５が図中のｘ方向である光源から
のレーザ光１０１は、ほとんどがプリズム１２１により
反射され、その後、偏光回転子１２３を通過するが、そ
の際、偏光方向が４５°回転する。そして、その後、集
光レンズ１０３を経て、照明面１０７で反射され、再び
集光レンズ１０３を経てから偏光回転子１２３を逆方向
に通過するするが、その際、偏光方向がさらに４５°回
転する。そして、これによって偏光方向がｙ方向となっ
た光のほとんどがプリズム１２１を透過し、受光素子１
１１によって検出される。
１０１との位置合せは、上述と同様にして行われる。そ
の場合、偏光方向１２５が図中のｘ方向である光源から
のレーザ光１０１は、ほとんどがプリズム１２１により
反射され、その後、偏光回転子１２３を通過するが、そ
の際、偏光方向が４５°回転する。そして、その後、集
光レンズ１０３を経て、照明面１０７で反射され、再び
集光レンズ１０３を経てから偏光回転子１２３を逆方向
に通過するするが、その際、偏光方向がさらに４５°回
転する。そして、これによって偏光方向がｙ方向となっ
た光のほとんどがプリズム１２１を透過し、受光素子１
１１によって検出される。
【００１８】これによれば、プリズム１２１における光
の損失が殆どないため、受光素子１１１による検出感度
が向上する。また、反射光がプリズム１２１を経てすべ
て光路上から排除されて光源方向に戻らないため、多重
反射等による迷光発生等の悪影響が防止される。
の損失が殆どないため、受光素子１１１による検出感度
が向上する。また、反射光がプリズム１２１を経てすべ
て光路上から排除されて光源方向に戻らないため、多重
反射等による迷光発生等の悪影響が防止される。
【００１９】なお、図６に示すように、誘電体ミラー１
０９やプリズム１２１等の反射手段の位置は、上述に限
らず、受光素子１１１等の位置を対応させれば、照明光
の光路上のどこでも良い。また、この位置合せ装置は、
レーザトモグラフィに限らず、通常の顕微鏡に対しても
適用することができる。また、照明光としてレーザ光を
用いる場合に限らず、通常のランプからの光を用いる場
合にも適用することができる。
０９やプリズム１２１等の反射手段の位置は、上述に限
らず、受光素子１１１等の位置を対応させれば、照明光
の光路上のどこでも良い。また、この位置合せ装置は、
レーザトモグラフィに限らず、通常の顕微鏡に対しても
適用することができる。また、照明光としてレーザ光を
用いる場合に限らず、通常のランプからの光を用いる場
合にも適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、被照明物や照明光の位
置を計測することなく、被照明物と照明光間の位置合せ
を直接的に行うことができる。したがって、特別な測定
器を用いる必要や、煩雑な各部の位置関係の設定を行う
必要もなく、受光素子や誘電体ミラー等の簡単で安価な
素子を用いるだけで、簡単に位置合せを行うことができ
る。したがって、装置のコストを最小限に抑えることが
できる。また、照明光そのものを用いて直接的に位置合
せを行うため、各部の位置計測のためのセンサ用プロー
ブなどを用いたときに生じる相互誤差を生じることもな
い。
置を計測することなく、被照明物と照明光間の位置合せ
を直接的に行うことができる。したがって、特別な測定
器を用いる必要や、煩雑な各部の位置関係の設定を行う
必要もなく、受光素子や誘電体ミラー等の簡単で安価な
素子を用いるだけで、簡単に位置合せを行うことができ
る。したがって、装置のコストを最小限に抑えることが
できる。また、照明光そのものを用いて直接的に位置合
せを行うため、各部の位置計測のためのセンサ用プロー
ブなどを用いたときに生じる相互誤差を生じることもな
い。
【図１】 本発明の一実施例に係る位置合せ装置を適用
したレーザトモグラフィ装置の構成を示す模式図であ
る。
したレーザトモグラフィ装置の構成を示す模式図であ
る。
【図２】 図１の装置において照明面１０７からの反射
光の様子を示す説明図である。
光の様子を示す説明図である。
【図３】 図１の装置において受光素子１１１の出力Ｏ
が試料１０５と集光レンズ１０３間の距離Ｌに対してど
のように変化するかを示すグラフである。
が試料１０５と集光レンズ１０３間の距離Ｌに対してど
のように変化するかを示すグラフである。
【図４】 本発明の他の実施例に係る位置合せ装置を示
す模式図である。
す模式図である。
【図５】 図４の装置におけるレーザ光の偏光の様子を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図６】 複数のミラーによる照明の場合の計測法を示
す模式図である。
す模式図である。
【図７】 従来例に係るレーザトモグラフィ装置を説明
するための説明図である。
するための説明図である。
１０１：レーザ光、１０３：集光レンズ、１０５：試
料、１０７：照明面、１０９：誘電体ミラー、１１１：
受光素子、１１３：観察面、１１５：観察レンズ、１１
７：結像レンズ、１１９：撮像素子、１２１：プリズ
ム、１２３：偏光回転子。
料、１０７：照明面、１０９：誘電体ミラー、１１１：
受光素子、１１３：観察面、１１５：観察レンズ、１１
７：結像レンズ、１１９：撮像素子、１２１：プリズ
ム、１２３：偏光回転子。
Claims (5)
- 【請求項１】 光源からの照明光を集光手段により集光
させて被照明物をその照明面にほぼ垂直な方向から照明
する装置において照明光と被照明物との位置関係を調整
する位置合せ装置であって、光源から前記集光手段まで
の光路中に介在し光源からの照明光を前記集光手段の方
へ反射する反射手段と、前記照明面で反射された照明光
部分のうち前記集光手段を経て戻りそして前記反射手段
を透過した光を検出する光電変換手段と、この光電変換
手段の出力に基き照明光と被照明物間の位置関係を調整
するための位置調整手段とを具備することを特徴とする
位置合せ装置。 - 【請求項２】 光電変換手段は、前記照明面を照明光に
垂直な方向に移動させた場合、照明光の前記集光手段に
よる集光位置またはその近傍が該照明面の端部を横切る
とき、その出力が不連続に変動するものであり、また、
前記集光位置が前記照明面上に位置しているときその出
力が最大となるものであることを特徴とする請求項１記
載の位置合せ装置。 - 【請求項３】 反射手段は、誘電体膜を用いた反射ミラ
ーであることを特徴とする請求項１記載の位置合せ装
置。 - 【請求項４】 前記反射手段と集光手段との間に偏光回
転子を備え、前記反射手段は光の偏光方向に応じて反射
率が変化するプリズムであり、光源が発する照明光は所
定の方向に偏光しており、前記プリズムは、この照明光
に対しては高い反射率を有し、前記偏光回転子を経て照
射され戻ってくることにより偏光方向が回転された照明
光部分に対しては低い反射率を有するものであることを
特徴とする請求項１記載の位置合せ装置。 - 【請求項５】 被照明物はその前記照明面の端部を介し
て隣接する観察面を介してその内部が観察されるもので
あり、照明光はその観察される内部をその集光位置近傍
において照明するレーザ光であり、前記調整手段は、該
照明面および観察面から所望の深さに前記集光位置を位
置させるように照明光と被照明物間の位置関係を調整す
るためのものであることを特徴とする請求項２記載の位
置合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5158085A JP2989995B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5158085A JP2989995B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 位置合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347413A true JPH06347413A (ja) | 1994-12-22 |
| JP2989995B2 JP2989995B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=15663976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5158085A Expired - Lifetime JP2989995B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989995B2 (ja) |
-
1993
- 1993-06-04 JP JP5158085A patent/JP2989995B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989995B2 (ja) | 1999-12-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10488348B2 (en) | Wafer inspection | |
| US5159412A (en) | Optical measurement device with enhanced sensitivity | |
| US6734967B1 (en) | Focused beam spectroscopic ellipsometry method and system | |
| US7245375B2 (en) | Optical measurement device and method | |
| US7511816B2 (en) | Methods and systems for determining drift in a position of a light beam with respect to a chuck | |
| JPH06188172A (ja) | 結像装置 | |
| JPS5999304A (ja) | 顕微鏡系のレーザ光による比較測長装置 | |
| KR20130030686A (ko) | 광학 현미경의 자동 초점 조절 장치 | |
| JPS58145911A (ja) | 反射光照明による透過光顕微鏡試験のための光学系 | |
| JPS61247944A (ja) | 反射率測定装置 | |
| WO2010147300A2 (en) | Ellipsometer using half mirror | |
| WO2003060589A1 (en) | Auto focussing device and method | |
| JP2008026049A (ja) | フランジ焦点距離測定装置 | |
| JP3120885B2 (ja) | 鏡面の測定装置 | |
| US6486942B1 (en) | Method and system for measurement of a characteristic of lens | |
| CN115031629A (zh) | 一种检测立方体分光棱镜胶合前定位的装置和方法 | |
| JP2989995B2 (ja) | 位置合せ装置 | |
| JP2571859B2 (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
| US10761398B2 (en) | Imaging ellipsometer system utilizing a tunable acoustic gradient lens | |
| JPH08334317A (ja) | 測定顕微鏡 | |
| JPS62502421A (ja) | 二次元の対象物を整向、検査及び／または測定するための装置 | |
| JPH08261734A (ja) | 形状測定装置 | |
| JP2002090302A (ja) | 光量測定装置 | |
| JP4066629B2 (ja) | ３次元形状測定光学系 | |
| JPH0943862A (ja) | 投影露光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071008 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111008 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111008 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121008 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121008 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |