JPH0634526A - 顕微全反射減衰測定光学系 - Google Patents
顕微全反射減衰測定光学系Info
- Publication number
- JPH0634526A JPH0634526A JP18644892A JP18644892A JPH0634526A JP H0634526 A JPH0634526 A JP H0634526A JP 18644892 A JP18644892 A JP 18644892A JP 18644892 A JP18644892 A JP 18644892A JP H0634526 A JPH0634526 A JP H0634526A
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- Japan
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- objective lens
- measurement
- light
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- total reflection
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小試料の顕微ＡＴＲ測定において、簡単な
光学系により試料の測定位置を視差なく明瞭に観察して
位置決め可能な光学系。 【構成】 ＡＴＲ測定は、半球プリズム１の平面を試料
Ｓ表面に密着して、その平面での全反射光の減衰により
試料Ｓの全反射減衰特性を測定するもので、この光学系
においては、半球プリズム１の球面を通してその平面に
密着した試料Ｓ表面を拡大投影する対物レンズ２が配置
され、測定用照明光８が半球プリズム１の平面により全
反射されて対物レンズ２の光軸ａの左側の光路を経て対
物レンズ２に入射し、観察用照明光７が半球プリズム１
の平面に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射
光が光軸ａの右側の光路を経て対物レンズ２に入射する
ように配置されている。
光学系により試料の測定位置を視差なく明瞭に観察して
位置決め可能な光学系。 【構成】 ＡＴＲ測定は、半球プリズム１の平面を試料
Ｓ表面に密着して、その平面での全反射光の減衰により
試料Ｓの全反射減衰特性を測定するもので、この光学系
においては、半球プリズム１の球面を通してその平面に
密着した試料Ｓ表面を拡大投影する対物レンズ２が配置
され、測定用照明光８が半球プリズム１の平面により全
反射されて対物レンズ２の光軸ａの左側の光路を経て対
物レンズ２に入射し、観察用照明光７が半球プリズム１
の平面に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射
光が光軸ａの右側の光路を経て対物レンズ２に入射する
ように配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微全反射減衰測定光
学系に関し、特に、微小な試料の測定位置を視差なく明
瞭に観察して位置決めできる顕微全反射減衰測定光学系
に関する。
学系に関し、特に、微小な試料の測定位置を視差なく明
瞭に観察して位置決めできる顕微全反射減衰測定光学系
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、試料に屈折率の大きい半球プリズ
ム、三角プリズム、多重反射平行平面板等の全反射面を
密着させ、全反射光が試料の界面付近の不均一性により
敏感に減衰を受けることを利用して、透過法では測定が
困難な高分子膜、塗膜、紙等の表面の分光測定等を行う
全反射減衰測定法（以下、ＡＴＲ測定と言う。）が知ら
れている。
ム、三角プリズム、多重反射平行平面板等の全反射面を
密着させ、全反射光が試料の界面付近の不均一性により
敏感に減衰を受けることを利用して、透過法では測定が
困難な高分子膜、塗膜、紙等の表面の分光測定等を行う
全反射減衰測定法（以下、ＡＴＲ測定と言う。）が知ら
れている。
【０００３】微小な試料のＡＴＲ測定を行う場合、試料
の実際に測定を行う位置を試料観察によって正確に決定
をしないればならない。そのためには、従来、例えば米
国特許第５０９３５８０号に記載されているように、レ
ンズ状のＡＴＲ結晶を試料から離して、補助レンズと対
物レンズを通して試料を観察し、ＡＴＲ結晶に対する試
料位置を決め、次に、ＡＴＲ結晶を試料に密着し、その
後、ＡＴＲ測定の入射角と反射角位置で可視照明光を入
射させ、測定試料面を観察する。
の実際に測定を行う位置を試料観察によって正確に決定
をしないればならない。そのためには、従来、例えば米
国特許第５０９３５８０号に記載されているように、レ
ンズ状のＡＴＲ結晶を試料から離して、補助レンズと対
物レンズを通して試料を観察し、ＡＴＲ結晶に対する試
料位置を決め、次に、ＡＴＲ結晶を試料に密着し、その
後、ＡＴＲ測定の入射角と反射角位置で可視照明光を入
射させ、測定試料面を観察する。
【０００４】また、試料に密着して全反射を行わせるＡ
ＴＲ結晶として、図４に示すような特殊形状のプリズム
Ｐを用い、試料Ｓに密着する面ＡにスケールＢを配置
し、プリズムＰの測定照明光入射面Ｃとは別の面Ｄを通
してスケールＢが重畳した試料Ｓを観察しながら、スケ
ールＢの目盛りによって測定位置を確認するものが知ら
れている。
ＴＲ結晶として、図４に示すような特殊形状のプリズム
Ｐを用い、試料Ｓに密着する面ＡにスケールＢを配置
し、プリズムＰの測定照明光入射面Ｃとは別の面Ｄを通
してスケールＢが重畳した試料Ｓを観察しながら、スケ
ールＢの目盛りによって測定位置を確認するものが知ら
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、米国特
許第５０９３５８０号のもののように、ＡＴＲ結晶の全
反射条件を満たす測定角度で測定試料面を観察すると、
反射率が高すぎて試料表面の様子が実際には観察できな
いと言う問題がある。また、図４のようなＡＴＲ結晶を
用いる場合、そのプリズム形状が複雑である上、スケー
ルを配置しなければならない問題がある。
許第５０９３５８０号のもののように、ＡＴＲ結晶の全
反射条件を満たす測定角度で測定試料面を観察すると、
反射率が高すぎて試料表面の様子が実際には観察できな
いと言う問題がある。また、図４のようなＡＴＲ結晶を
用いる場合、そのプリズム形状が複雑である上、スケー
ルを配置しなければならない問題がある。
【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、微小試料の顕微ＡＴＲ測定に
おいて、簡単な光学系により試料の測定位置を視差なく
明瞭に観察して位置決め可能な光学系を提供することで
ある。
ものであり、その目的は、微小試料の顕微ＡＴＲ測定に
おいて、簡単な光学系により試料の測定位置を視差なく
明瞭に観察して位置決め可能な光学系を提供することで
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の顕微全反射減衰測定光学系は、半球プリズムの平面
を試料表面に密着して、その平面での全反射光の減衰に
より試料の全反射減衰特性を測定する全反射減衰測定用
の光学系において、半球プリズムの球面を通してその平
面に密着した試料表面を拡大投影する対物レンズが配置
され、測定用照明光が半球プリズムの平面により全反射
されて対物レンズの光軸の一方の側の光路を経て前記対
物レンズに入射し、観察用照明光が半球プリズムの平面
に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射光が対
物レンズの光軸の他方の側の光路を経て前記対物レンズ
に入射するように、測定用照明光及び観察用照明光の対
物レンズ光軸に対する向き、及び、半球プリズムの平面
の対物レンズ光軸に対する傾きが設定されていることを
特徴とするものである。
明の顕微全反射減衰測定光学系は、半球プリズムの平面
を試料表面に密着して、その平面での全反射光の減衰に
より試料の全反射減衰特性を測定する全反射減衰測定用
の光学系において、半球プリズムの球面を通してその平
面に密着した試料表面を拡大投影する対物レンズが配置
され、測定用照明光が半球プリズムの平面により全反射
されて対物レンズの光軸の一方の側の光路を経て前記対
物レンズに入射し、観察用照明光が半球プリズムの平面
に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射光が対
物レンズの光軸の他方の側の光路を経て前記対物レンズ
に入射するように、測定用照明光及び観察用照明光の対
物レンズ光軸に対する向き、及び、半球プリズムの平面
の対物レンズ光軸に対する傾きが設定されていることを
特徴とするものである。
【０００８】この場合、半球プリズムと対物レンズの間
に、対物レンズの光軸の一方の側の光路と他方の側の光
路の何れかを選択して開口し、他方の光路を遮断する遮
光手段を配置すると、観察及び測定においてバックグラ
ウンド光が遮断され、観察しやすくなり、また、測定精
度の低下が起きない。
に、対物レンズの光軸の一方の側の光路と他方の側の光
路の何れかを選択して開口し、他方の光路を遮断する遮
光手段を配置すると、観察及び測定においてバックグラ
ウンド光が遮断され、観察しやすくなり、また、測定精
度の低下が起きない。
【０００９】
【作用】本発明においては、半球プリズムの球面を通し
てその平面に密着した試料表面を拡大投影する対物レン
ズが配置され、測定用照明光が半球プリズムの平面によ
り全反射されて対物レンズの光軸の一方の側の光路を経
て対物レンズに入射し、観察用照明光が半球プリズムの
平面に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射光
が対物レンズの光軸の他方の側の光路を経て対物レンズ
に入射するように、測定用照明光及び観察用照明光の対
物レンズ光軸に対する向き、及び、半球プリズムの平面
の対物レンズ光軸に対する傾きが設定されているので、
対物レンズを通して観察される試料の位置と、測定系の
光検知器で測定される試料の位置との同一性が保証さ
れ、視差がない。しかも、測定光のたどる光路は、全反
射減衰測定の全反射条件を満足し、一方、観察光のたど
る光路は、臨界角より小さい角度で正反射条件を満たす
角度で観察されるので、試料表面が明瞭に観察できるこ
とになる。
てその平面に密着した試料表面を拡大投影する対物レン
ズが配置され、測定用照明光が半球プリズムの平面によ
り全反射されて対物レンズの光軸の一方の側の光路を経
て対物レンズに入射し、観察用照明光が半球プリズムの
平面に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射光
が対物レンズの光軸の他方の側の光路を経て対物レンズ
に入射するように、測定用照明光及び観察用照明光の対
物レンズ光軸に対する向き、及び、半球プリズムの平面
の対物レンズ光軸に対する傾きが設定されているので、
対物レンズを通して観察される試料の位置と、測定系の
光検知器で測定される試料の位置との同一性が保証さ
れ、視差がない。しかも、測定光のたどる光路は、全反
射減衰測定の全反射条件を満足し、一方、観察光のたど
る光路は、臨界角より小さい角度で正反射条件を満たす
角度で観察されるので、試料表面が明瞭に観察できるこ
とになる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明のＡＴＲ測定光学系の実施例に
ついて説明する。ＡＴＲ結晶を介してそれに密着された
微小試料の測定位置を観察するには、上記したように、
ＡＴＲ結晶の全反射条件を満たす測定角度で観察する
と、反射率が高すぎて試料表面の様子が明瞭には観察で
きない。そこで、全反射しない角度から散乱光により試
料表面を観察することが考えられる。しかしながら、こ
の場合、試料の段差のある部分等からの散乱が強すぎて
試料表面が見難い問題がある。
ついて説明する。ＡＴＲ結晶を介してそれに密着された
微小試料の測定位置を観察するには、上記したように、
ＡＴＲ結晶の全反射条件を満たす測定角度で観察する
と、反射率が高すぎて試料表面の様子が明瞭には観察で
きない。そこで、全反射しない角度から散乱光により試
料表面を観察することが考えられる。しかしながら、こ
の場合、試料の段差のある部分等からの散乱が強すぎて
試料表面が見難い問題がある。
【００１１】そこで、試料面に対してＡＴＲ結晶の臨界
角より小さい角度で、かつ、照明角と観察角が同じ正反
射条件を満たす角度で観察照明光を入射させて微小試料
の測定位置を観察したところ、試料表面が明瞭に観察で
きることを見出した。本発明においては、このような観
察条件を満足し、しかも、測定光の出射位置と常に同じ
位置を視差なく観察できるように測定光学系を構成し
た。
角より小さい角度で、かつ、照明角と観察角が同じ正反
射条件を満たす角度で観察照明光を入射させて微小試料
の測定位置を観察したところ、試料表面が明瞭に観察で
きることを見出した。本発明においては、このような観
察条件を満足し、しかも、測定光の出射位置と常に同じ
位置を視差なく観察できるように測定光学系を構成し
た。
【００１２】図１は、本発明に基づくＡＴＲ測定光学系
の１実施例の光路図であり、ＡＴＲ結晶として半球プリ
ズム１を用い、これを試料Ｓに密着した状態で固定し
て、同じ対物レンズ２で拡大して観察と測定を行うもの
である。すなわち、顕微鏡光学系の光軸ａに対して試料
Ｓを斜めに配置し、この試料Ｓの面に高屈折率の半球プ
リズム１を押しつける。そして、半球プリズム１を経て
出てくる試料Ｓからの光は、この場合、カセグレン対物
レンズ２を経てマスク３位置に結像し、マスク３で測定
位置が限定され、ハーフミラー又は切り換えミラー４に
より２つの光路に分けられ、観察光は接眼鏡６で拡大さ
れ、試料Ｓの測定位置が観察される。また、測定光は光
検知器５により光電変換され、フーリエ分光のときはフ
ーリエ変換されて、分光分析が行われる。
の１実施例の光路図であり、ＡＴＲ結晶として半球プリ
ズム１を用い、これを試料Ｓに密着した状態で固定し
て、同じ対物レンズ２で拡大して観察と測定を行うもの
である。すなわち、顕微鏡光学系の光軸ａに対して試料
Ｓを斜めに配置し、この試料Ｓの面に高屈折率の半球プ
リズム１を押しつける。そして、半球プリズム１を経て
出てくる試料Ｓからの光は、この場合、カセグレン対物
レンズ２を経てマスク３位置に結像し、マスク３で測定
位置が限定され、ハーフミラー又は切り換えミラー４に
より２つの光路に分けられ、観察光は接眼鏡６で拡大さ
れ、試料Ｓの測定位置が観察される。また、測定光は光
検知器５により光電変換され、フーリエ分光のときはフ
ーリエ変換されて、分光分析が行われる。
【００１３】さて、本発明において、ＡＴＲ測定の原理
から、対物レンズ２に入射する測定光として、半球プリ
ズム１の臨界角θc （半球プリズム１の屈折率をｎ1 、
試料Ｓの屈折率をｎ2 とするとき、ｓｉｎθc ＝ｎ2 ／
ｎ1 となる。）より大きい角度β（図２参照。図２のＮ
は試料Ｓ面の法線を表す。）で試料Ｓ表面から出る光を
用いるようにし、また、対物レンズ２に入射する観測光
として、上記の発見から、臨界角θc より小さい角度α
（図２）で試料Ｓ表面から出る光を用いるようにする。
そのためには、図１に示すように、測定光（二重矢符）
は顕微鏡光学系の光軸ａの一方の側（図の場合、左側）
のみをたどって対物レンズ２に入射し、観察光（一重矢
符）は光軸ａの反対側（図の場合、右側）の光路のみを
たどって対物レンズ２に入射するようする。そして、こ
のような角度関係を満たし、かつ、正反射条件を満たす
ように、測定用照明光８及び観察用照明光７の試料Ｓに
対する入射方向を設定すると共に、試料Ｓの光軸ａに対
する傾きを設定する。
から、対物レンズ２に入射する測定光として、半球プリ
ズム１の臨界角θc （半球プリズム１の屈折率をｎ1 、
試料Ｓの屈折率をｎ2 とするとき、ｓｉｎθc ＝ｎ2 ／
ｎ1 となる。）より大きい角度β（図２参照。図２のＮ
は試料Ｓ面の法線を表す。）で試料Ｓ表面から出る光を
用いるようにし、また、対物レンズ２に入射する観測光
として、上記の発見から、臨界角θc より小さい角度α
（図２）で試料Ｓ表面から出る光を用いるようにする。
そのためには、図１に示すように、測定光（二重矢符）
は顕微鏡光学系の光軸ａの一方の側（図の場合、左側）
のみをたどって対物レンズ２に入射し、観察光（一重矢
符）は光軸ａの反対側（図の場合、右側）の光路のみを
たどって対物レンズ２に入射するようする。そして、こ
のような角度関係を満たし、かつ、正反射条件を満たす
ように、測定用照明光８及び観察用照明光７の試料Ｓに
対する入射方向を設定すると共に、試料Ｓの光軸ａに対
する傾きを設定する。
【００１４】このようにＡＴＲ測定光学系を配置したの
で、対物レンズ２及びマスク３を通して、接眼鏡６から
観察される試料Ｓの位置と、光検知器５で測定される試
料Ｓの位置との同一性は保証される（視差がない。）。
しかも、測定光のたどる光路は、ＡＴＲ測定の全反射条
件を満足し、一方、観察光のたどる光路は、臨界角より
小さい角度で正反射条件を満たす角度で観察されるの
で、試料表面が明瞭に観察できることになる。
で、対物レンズ２及びマスク３を通して、接眼鏡６から
観察される試料Ｓの位置と、光検知器５で測定される試
料Ｓの位置との同一性は保証される（視差がない。）。
しかも、測定光のたどる光路は、ＡＴＲ測定の全反射条
件を満足し、一方、観察光のたどる光路は、臨界角より
小さい角度で正反射条件を満たす角度で観察されるの
で、試料表面が明瞭に観察できることになる。
【００１５】ところで、観察及び測定の際、他方の光路
が開いていると、その光路を経て入ってくる光がバック
グラウンドとなり、観察し難くなったり、測定精度が低
下する。そこで、図３（ａ）に示すように、観察の際に
は、開口１０を有する遮光板１１を対物レンズ２の前に
挿入し、開口１０を通って観察光のみが対物レンズ２に
入射するようにし、また、測定の際は、図３（ｂ）に示
すように、遮光板１１の開口１０が測定光の光路に位置
するように移動して、測定光のみが対物レンズ２に入射
するようにするとよい。
が開いていると、その光路を経て入ってくる光がバック
グラウンドとなり、観察し難くなったり、測定精度が低
下する。そこで、図３（ａ）に示すように、観察の際に
は、開口１０を有する遮光板１１を対物レンズ２の前に
挿入し、開口１０を通って観察光のみが対物レンズ２に
入射するようにし、また、測定の際は、図３（ｂ）に示
すように、遮光板１１の開口１０が測定光の光路に位置
するように移動して、測定光のみが対物レンズ２に入射
するようにするとよい。
【００１６】以上においては、半球プリズム１は屈折率
の高いものとしたが、具体的には、セレン化亜鉛、硫化
亜鉛、チタニウム・ブロマイド・アイオダイド（ＫＲＳ
−５）等が用いられる。また、対物レンズ２としはカセ
グレン対物レンズを用いているが、これに限定されず、
種々の公知の反射対物レンズ、屈折対物レンズを用いる
ことができる。さらに、測定用照明光は通常赤外光を用
いるが、これに限定されず、可視光あるいは紫外光であ
ってもよい。
の高いものとしたが、具体的には、セレン化亜鉛、硫化
亜鉛、チタニウム・ブロマイド・アイオダイド（ＫＲＳ
−５）等が用いられる。また、対物レンズ２としはカセ
グレン対物レンズを用いているが、これに限定されず、
種々の公知の反射対物レンズ、屈折対物レンズを用いる
ことができる。さらに、測定用照明光は通常赤外光を用
いるが、これに限定されず、可視光あるいは紫外光であ
ってもよい。
【００１７】以上、本発明のＡＴＲ測定光学系を実施例
に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限
定されず種々の変形が可能である。
に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限
定されず種々の変形が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のＡＴＲ測定光学系によると、半球プリズムの球面を通
してその平面に密着した試料表面を拡大投影する対物レ
ンズが配置され、測定用照明光が半球プリズムの平面に
より全反射されて対物レンズの光軸の一方の側の光路を
経て対物レンズに入射し、観察用照明光が半球プリズム
の平面に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射
光が対物レンズの光軸の他方の側の光路を経て対物レン
ズに入射するように、測定用照明光及び観察用照明光の
対物レンズ光軸に対する向き、及び、半球プリズムの平
面の対物レンズ光軸に対する傾きが設定されているの
で、対物レンズを通して観察される試料の位置と、測定
系の光検知器で測定される試料の位置との同一性が保証
され、視差がない。しかも、測定光のたどる光路は、Ａ
ＴＲ測定の全反射条件を満足し、一方、観察光のたどる
光路は、臨界角より小さい角度で正反射条件を満たす角
度で観察されるので、試料表面が明瞭に観察できること
になる。
のＡＴＲ測定光学系によると、半球プリズムの球面を通
してその平面に密着した試料表面を拡大投影する対物レ
ンズが配置され、測定用照明光が半球プリズムの平面に
より全反射されて対物レンズの光軸の一方の側の光路を
経て対物レンズに入射し、観察用照明光が半球プリズム
の平面に全反射角より小さい角度で入射し、その正反射
光が対物レンズの光軸の他方の側の光路を経て対物レン
ズに入射するように、測定用照明光及び観察用照明光の
対物レンズ光軸に対する向き、及び、半球プリズムの平
面の対物レンズ光軸に対する傾きが設定されているの
で、対物レンズを通して観察される試料の位置と、測定
系の光検知器で測定される試料の位置との同一性が保証
され、視差がない。しかも、測定光のたどる光路は、Ａ
ＴＲ測定の全反射条件を満足し、一方、観察光のたどる
光路は、臨界角より小さい角度で正反射条件を満たす角
度で観察されるので、試料表面が明瞭に観察できること
になる。
【図１】本発明に基づくＡＴＲ測定光学系の１実施例の
光路図である。
光路図である。
【図２】図１の試料近傍の拡大図である。
【図３】他の実施例の要部を示す光路図である。
【図４】従来例を説明するための図である。
Ｓ…試料 １…半球プリズム ２…対物レンズ ３…マスク ４…ハーフミラー又は切り換えミラー ５…光検知器 ６…接眼鏡 ７…観察用照明光 ８…測定用照明光 １０…開口 １１…遮光板 ａ…光軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 服部裕允 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号日本電 子株式会社内 (72)発明者 寺嶋 博 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号日本電 子株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 半球プリズムの平面を試料表面に密着し
て、その平面での全反射光の減衰により試料の全反射減
衰特性を測定する全反射減衰測定用の光学系において、
半球プリズムの球面を通してその平面に密着した試料表
面を拡大投影する対物レンズが配置され、測定用照明光
が半球プリズムの平面により全反射されて対物レンズの
光軸の一方の側の光路を経て前記対物レンズに入射し、
観察用照明光が半球プリズムの平面に全反射角より小さ
い角度で入射し、その正反射光が対物レンズの光軸の他
方の側の光路を経て前記対物レンズに入射するように、
測定用照明光及び観察用照明光の対物レンズ光軸に対す
る向き、及び、半球プリズムの平面の対物レンズ光軸に
対する傾きが設定されていることを特徴とする顕微全反
射減衰測定光学系。 - 【請求項２】 前記半球プリズムと対物レンズの間に、
対物レンズの光軸の一方の側の光路と他方の側の光路の
何れかを選択して開口し、他方の光路を遮断する遮光手
段を配置してなることを特徴とする請求項１記載の顕微
全反射減衰測定光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18644892A JP3034382B2 (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 顕微全反射減衰測定光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18644892A JP3034382B2 (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 顕微全反射減衰測定光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634526A true JPH0634526A (ja) | 1994-02-08 |
| JP3034382B2 JP3034382B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=16188636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18644892A Expired - Fee Related JP3034382B2 (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 顕微全反射減衰測定光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3034382B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3438647A4 (en) * | 2016-03-28 | 2019-11-06 | Jasco Corporation | OPTICAL INSTRUMENT FOR MEASURING TOTAL REFLECTION ABSORPTION SPECTRUM AND MEASURING DEVICE |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP18644892A patent/JP3034382B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3438647A4 (en) * | 2016-03-28 | 2019-11-06 | Jasco Corporation | OPTICAL INSTRUMENT FOR MEASURING TOTAL REFLECTION ABSORPTION SPECTRUM AND MEASURING DEVICE |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3034382B2 (ja) | 2000-04-17 |
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