JPH06344575A - Liquid injecting head and liquid injecting device - Google Patents

Liquid injecting head and liquid injecting device

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JPH06344575A
JPH06344575A JP7624294A JP7624294A JPH06344575A JP H06344575 A JPH06344575 A JP H06344575A JP 7624294 A JP7624294 A JP 7624294A JP 7624294 A JP7624294 A JP 7624294A JP H06344575 A JPH06344575 A JP H06344575A
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JP
Japan
Prior art keywords
substrate
liquid
head
element substrates
substrates
Prior art date
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Pending
Application number
JP7624294A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Asao Saito
朝雄 斎藤
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP7624294A priority Critical patent/JPH06344575A/en
Publication of JPH06344575A publication Critical patent/JPH06344575A/en
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  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)

Abstract

PURPOSE:To compactly and favorally carry out the electrical connection between respective element substrates in a head made long by arranging a plurality of element substrates each constituted by forming a functional element and an electrothermal converter on the same substrate. CONSTITUTION:A plurality of element substrates 11 are provided on the upper surface of the aluminum base plate 10 of a recording head so as to be aligned with one end of a base plate 10 and arranged so as to be made same in emitting direction and a PCB substrate 16 having wiring patterns 17 or signal terminals 19 for performing the dispatching and receiving of signals with the outside is arranged. The element substrates 11 and the PCB substrate 16 are electrically connected through the pads 15 and bonding wires 18 on the element substrates. Each of the element substrates is constituted by forming a plurality of electrothermal conversion elements and the function elements corresponding thereto on the same substrate. A liquid chamber member 12 having nozzles 13 formed thereto and an ink supply pipe 14 are formed on each of the element substrates 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液体噴射方式の記録ヘ
ッド、および記録装置に係り、特に、電気熱変換素子
と、駆動用トランジスター、シフトレジスター等の機能
素子とが同一基板上に形成されてなる素子基板を用いた
インクジェット記録ヘッド、および記録装置に関する。
尚、以下の説明においては、液体として記録用インクを
用いて説明するが、これに限られるものではない。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid jet recording head and a recording apparatus, and more particularly, an electrothermal conversion element and a functional element such as a driving transistor and a shift register are formed on the same substrate. The present invention relates to an inkjet recording head and a recording device using the element substrate.
In the following description, the recording ink is used as the liquid, but the liquid is not limited to this.

【0002】[0002]

【従来の技術】図10は、ヘッド用基板を用いた従来の
インクジェット記録ヘッドの斜視図である。
2. Description of the Related Art FIG. 10 is a perspective view of a conventional ink jet recording head using a head substrate.

【0003】インクを吐出するための電気熱変換素子
(不図示)が設けられた素子基板33上にインクが流通
する液室部材82と、インクを供給するための供給パイ
プ84とが順に形成されて記録ヘッドが構成されてい
る。素子基板33に形成されたパット85と、IC基板
やPCB基板等の配線基板32に形成された配線パター
ン87は、ボンディングワイヤー38を介して電気的に
接続されている。
A liquid chamber member 82 through which ink flows and a supply pipe 84 for supplying ink are sequentially formed on an element substrate 33 provided with an electrothermal conversion element (not shown) for ejecting ink. A recording head. The pad 85 formed on the element substrate 33 and the wiring pattern 87 formed on the wiring substrate 32 such as an IC substrate or a PCB substrate are electrically connected via a bonding wire 38.

【0004】このようなインクジェット記録ヘッドで
は、外部からの信号は信号ラインである配線パターン8
7を通じ、ボンディングワイヤー38を介して基板側パ
ット85に伝わる。インクは供給パイプ84を介して液
室部材82に通じており、その外部信号によって電気熱
変換素子が駆動され、このときに生じた熱エネルギーに
よりインクが発砲し、その発砲時の圧力によりノズル8
3からインクが飛翔する。
In such an ink jet recording head, a signal from the outside is a wiring pattern 8 which is a signal line.
7 to the substrate side pad 85 through the bonding wire 38. The ink communicates with the liquid chamber member 82 via the supply pipe 84, and the electrothermal conversion element is driven by an external signal thereof, the thermal energy generated at this time causes the ink to fire, and the pressure at the time of firing fires the nozzle 8
Ink jets from 3.

【0005】図11は、このようなインクジェット記録
ヘッドに用いられる記録ヘッド用基板の一例を示すもの
で、このヘッド用基板は、アルミプレートの基台41を
有し、基台41上にはそれぞれ、電気熱変換素子をアレ
イ状に配置した電気熱変換素子基板44と、トランジス
タアレイ46、ラッチ47およびシフトレジスター48
等の機能素子とが同一基板上に形成されてなるIC基板
43と、外部からの信号を入力するための入力信号端子
49、外部へ信号を出力するための出力信号端子50、
および電源供給端子51の各々が配置されてなるPCB
基板42とが所定の位置に配置されている。
FIG. 11 shows an example of a recording head substrate used in such an ink jet recording head. The head substrate has an aluminum plate base 41, and each of the bases 41 has a base 41. , An electrothermal transducing element substrate 44 having electrothermal transducing elements arranged in an array, a transistor array 46, a latch 47 and a shift register 48.
An IC substrate 43 in which functional elements such as are formed on the same substrate, an input signal terminal 49 for inputting an external signal, an output signal terminal 50 for outputting a signal to the outside,
And a PCB in which each of the power supply terminals 51 is arranged
The substrate 42 is arranged at a predetermined position.

【0006】このような構成のヘッド用基板を用いる、
従来のインクジェット記録ヘッドは図12のヘッド側面
図に示すように構成される。
Using the head substrate having the above structure,
A conventional ink jet recording head is constructed as shown in the side view of the head in FIG.

【0007】電気熱変換素子基板44上には、インクが
流通する液室52とインクを供給するためのパイプ53
とが順に形成されている。電気熱変換素子基板44、I
C基板43、PCB基板42は、互いにボンディングワ
イヤー45を介して電気的に接続され、電気熱変換素子
基板44の素子に選択的に通電を行うことにより、イン
クが吐出される。
On the electrothermal conversion element substrate 44, a liquid chamber 52 in which ink flows and a pipe 53 for supplying ink.
And are formed in order. Electrothermal conversion element substrate 44, I
The C substrate 43 and the PCB substrate 42 are electrically connected to each other via bonding wires 45, and ink is ejected by selectively energizing the elements of the electrothermal conversion element substrate 44.

【0008】上記構造の記録ヘッドは、素子基板と外部
との電気的接続を行なうワイヤーの数が電気熱変換素子
の素子数に比例し、一般的に数百に及ぶワイヤーボンデ
ィングが行なわれている。このような多数点におけるワ
イヤーボンディングは、実装上の不良発生を増やす要因
となり、製品歩留り低下、コストアップをもたらしてい
る。このため、特開昭57−72867号公報、特開昭
57−72868号公報に開示されているような、電気
熱変換素子と駆動用トランジスタ等の機能素子とを同一
基板上に組み込んだ構成の記録ヘッドが近年開発されて
いる。
In the recording head having the above structure, the number of wires for electrically connecting the element substrate to the outside is proportional to the number of elements of the electrothermal conversion element, and generally wire bonding of several hundreds is performed. . The wire bonding at such a large number of points becomes a factor of increasing the occurrence of defective mounting, resulting in a decrease in product yield and an increase in cost. Therefore, as disclosed in JP-A-57-72867 and JP-A-57-72868, an electrothermal conversion element and a functional element such as a driving transistor are incorporated on the same substrate. Recording heads have been developed in recent years.

【0009】図13は、このような機能素子と電気熱変
換素子とが同一基板上に形成されてなる素子基板を用い
たヘッド用基板の模式的構造図である。
FIG. 13 is a schematic structural diagram of a head substrate using an element substrate in which such a functional element and an electrothermal converting element are formed on the same substrate.

【0010】上記課題を鑑みて構成された図13に示す
記録ヘッド用基板は、前述と同様にアルミプレートの基
台31を有する。基台31上にはそれぞれ、アレイ状に
配置された電気熱変換素子34と、電気熱変換素子34
を駆動するための機能素子、すなわちトランジスタアレ
イ35、ラッチ36およびシフトレジスター37とが同
一基板上に形成されてなる素子基板33と、外部からの
信号を入力するための入力信号端子39、外部へ信号を
出力するための出力信号端子40、電源供給端子41の
各々が形成されてなるPCB基板32とが所定の位置に
配置されている。そして、素子基板33とPCB基板3
2とはボンディングワイヤー38を介して電気的に接続
されている。
The recording head substrate shown in FIG. 13 constructed in view of the above problem has the aluminum plate base 31 as described above. An electrothermal conversion element 34 and an electrothermal conversion element 34 arranged in an array are provided on the base 31, respectively.
A functional element for driving the device, that is, an element substrate 33 in which a transistor array 35, a latch 36 and a shift register 37 are formed on the same substrate, and an input signal terminal 39 for inputting a signal from the outside, to the outside. An output signal terminal 40 for outputting a signal and a PCB board 32 on which a power supply terminal 41 is formed are arranged at predetermined positions. Then, the element substrate 33 and the PCB substrate 3
2 is electrically connected via a bonding wire 38.

【0011】上記構成では、PCB基板32上の入力信
号端子39に外部から画像信号が入力され、画像信号は
シフトレジスター37に転送された後、ラッチ36に蓄
えられる。この画像信号をもとに、トランジスターアレ
イ35がスイッチングされ、トランジスター37に接続
された電気熱変換素子34に流れる電流が制御される。
このとき、電気変換素子34への電流供給は電源供給端
子41を介して外部より行なわれる。尚、図中、GND
端子は表示していない。
In the above structure, an image signal is input to the input signal terminal 39 on the PCB substrate 32 from the outside, the image signal is transferred to the shift register 37 and then stored in the latch 36. The transistor array 35 is switched based on this image signal, and the current flowing through the electrothermal conversion element 34 connected to the transistor 37 is controlled.
At this time, the electric current is supplied to the electric conversion element 34 from the outside through the power supply terminal 41. In the figure, GND
Terminals are not shown.

【0012】上記のような機能素子と電気熱変換素子と
を同一基板上に形成してなる素子基板を用いることによ
り、数百に及ぶワイヤーボンディングに起因する実装上
の不良から生じる歩留り低下は大幅に防ぐことが可能と
なった。しかしながら、トランジスタやシフトレジスタ
等の機能素子が電気熱変換素子と同一基板上に形成され
る為、基板プロセスの歩留りは機能素子と電気熱変換素
子の各々の歩留りの積となる。従って、ヘッドが長尺化
し、電気熱変換素子の数に対応して、トランジスタ数、
シフトレジスターやラッチのビット数が増加するにつれ
て、基板プロセスの歩留りが低下してしまい大きな問題
となってきた。
By using the element substrate in which the functional element and the electrothermal conversion element as described above are formed on the same substrate, the yield reduction caused by mounting defects due to hundreds of wire bondings is greatly reduced. It became possible to prevent it. However, since functional elements such as transistors and shift registers are formed on the same substrate as the electrothermal conversion element, the yield of the substrate process is the product of the functional element and the electrothermal conversion element. Therefore, the head becomes long, and the number of transistors corresponding to the number of electrothermal conversion elements,
As the number of bits of the shift register and the latch increases, the yield of the substrate process decreases, which is a big problem.

【0013】この素子歩留りについては、従来、種々の
研究がなされており、ポアソンモデル等の指数関数で歩
留りをシュミレートできることがわかっているが、これ
らのシュミレートによると、例えば、ビット数を2倍に
することにより、当初歩留り80%のものが、50%以
下に落ちることがわかっている。
Various studies have been conducted on the device yield, and it is known that the yield can be simulated by an exponential function such as the Poisson model. However, according to these simulations, for example, the number of bits is doubled. By doing so, it is known that the initial yield of 80% falls to 50% or less.

【0014】このような観点から、シフトレジスターや
ラッチといった機能素子を作り込んだ素子基板を用いて
長尺のヘッドを作成する場合、一つの基板で長尺な素子
基板を作成するのではなく、小さな素子基板を複数並べ
ることで、長尺ヘッドを作成していた。
From this point of view, when a long head is formed using an element substrate having functional elements such as shift registers and latches, a long element substrate is not formed by one substrate, A long head was created by arranging multiple small element substrates.

【0015】図14にそのような長尺用基板の例を示
す。
FIG. 14 shows an example of such a long substrate.

【0016】ここでは、三つの素子基板1003を並べ
て長尺ヘッド化した例を示しており、符号1005は各
素子基板での電気熱変換体を設けた領域を示している。
個々の素子基板1003は、互いの電極パッド1004
にてワイヤボンディング等を行なうことにより、接続さ
れている。
Here, an example is shown in which three element substrates 1003 are arranged side by side to form a long head, and reference numeral 1005 indicates a region where an electrothermal converter is provided in each element substrate.
The individual element substrates 1003 are arranged on the respective electrode pads 1004.
Are connected by wire bonding or the like.

【0017】図15は、図14で示した長尺ヘッド用基
板を構成する素子基板上での各素子の配置を示したもの
である。
FIG. 15 shows the arrangement of each element on the element substrate which constitutes the long head substrate shown in FIG.

【0018】符号1025は素子基板に入力されるシリ
アル画像データを各電気熱変換体に対応したパラレル信
号に変換するためのラッチ、シフトレジスター等の機能
素子を配した領域を示している。符号1015は電気熱
変換体への通電を制御するための機能素子であり、この
制御機能素子1015によって選択された電気熱変換体
1005に対して、電圧供給側の共通電極1014から
電圧が印加される。
Reference numeral 1025 denotes an area in which functional elements such as latches and shift registers for converting serial image data input to the element substrate into parallel signals corresponding to each electrothermal converter are arranged. Reference numeral 1015 is a functional element for controlling energization to the electrothermal converter, and a voltage is applied from the common electrode 1014 on the voltage supply side to the electrothermal converter 1005 selected by the control functional element 1015. It

【0019】このような長尺ヘッド用基板においては、
上述の各素子基板の各パッドをワイヤボンディング等で
接続することで、各素子基板を介して信号が伝達されて
いる。
In such a long head substrate,
A signal is transmitted through each element substrate by connecting each pad of each element substrate described above by wire bonding or the like.

【0020】[0020]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように素子基板同士を接続する形態においては、次のよ
うな解決すべき課題があった。
However, in the mode in which the element substrates are connected to each other as described above, there are the following problems to be solved.

【0021】素子基板同士の電気的接続は、ワイヤボン
ディング等で行なわれるが、Au等の材質のワイヤーで
接続する場合、ワイヤーの一端部の接続時に基板に大き
な力が作用する。このため、ワイヤーが接続される両側
が共に素子基板である場合には、素子基板を傷つけてし
まう虞がある。
The element substrates are electrically connected to each other by wire bonding or the like. However, when connecting with a wire made of a material such as Au, a large force acts on the substrates when connecting one end portion of the wire. Therefore, when both sides to which the wires are connected are element substrates, the element substrate may be damaged.

【0022】一方、ヘッドの長尺化だけでなく、ヘッド
の小型化、ノズルの高密度配列を図ることがヘッドの開
発上望まれている。このため、各素子基板間の間隔を狭
くし、ノズルピッチに対応すべく素子基板を並べる必要
があるが、ワイヤボンディングで接続を行なう場合、接
続点の間隔が最低でも300μm程度必要であるため、
70μmピッチで電気熱変換体を配するように素子基板
を密に並べることは困難である。
On the other hand, it is desired in the development of the head not only to increase the length of the head but also to downsize the head and arrange the nozzles at a high density. For this reason, it is necessary to narrow the distance between the element substrates and arrange the element substrates so as to correspond to the nozzle pitch. However, when connecting by wire bonding, the distance between the connection points is at least about 300 μm.
It is difficult to arrange the element substrates densely so as to arrange the electrothermal converters at a pitch of 70 μm.

【0023】また、この接続を行なうためにパッドを素
子基板の端部に設けない場合には、素子基板の大型化を
招いたり、素子基板上の素子に害を与えてしまう虞があ
る。本発明は上述の課題を解決すべくなされたもので、
機能素子と電気熱変換体とを同一基板上に形成してなる
素子基板を複数並べて長尺化を図ったヘッドにおいて、
各素子基板間の電気的接続をコンパクトに、かつ良好に
行なうことができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
を提供することを目的としている。
If the pads are not provided at the ends of the element substrate for making this connection, the element substrate may be upsized or the elements on the element substrate may be damaged. The present invention has been made to solve the above problems,
In a head in which a plurality of element substrates each having a functional element and an electrothermal converter formed on the same substrate are arranged side by side to increase the length,
An object of the present invention is to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that can make electrical connection between respective element substrates compactly and satisfactorily.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の液体噴射ヘッドは、液体を吐出するための熱
エネルギーを発生する電気熱変換体と該電気熱変換体を
駆動させるための機能素子とが同一基板上に形成されて
なる複数の素子基板と、前記機能素子が外部と信号の入
出力を行なうための配線が設けられてなる配線基板とを
有しており、前記素子基板からの出力信号が前記配線基
板を介して隣接する素子基板に入力されるように電気的
接続がなされていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a liquid jet head of the present invention has an electrothermal converter for generating thermal energy for ejecting a liquid and an electrothermal converter for driving the electrothermal converter. The element substrate includes a plurality of element substrates each having a functional element formed on the same substrate, and a wiring board provided with wirings for the functional element to input and output signals to and from the outside. The electrical connection is made so that the output signal from the device is input to the adjacent element substrate via the wiring substrate.

【0025】また、前記液体噴射ヘッドにおいて、前記
液体はインクであることを特徴とするものや、前記機能
素子は、基板外部からシリアル画像信号を受け、電気熱
変換体側にパラレル画像信号として出力する機能素子で
あることを特徴とするものや、前記複数の素子基板と前
記配線基板は、基台上に配置されており、素子基板と配
線基板との電気的接続を行なう面の高さは、同じか若し
くは素子基板の方が高いことを特徴とするものであって
もよい。
In the liquid jet head, the liquid is ink, and the functional element receives a serial image signal from the outside of the substrate and outputs it as a parallel image signal to the electrothermal converter side. What is characterized by a functional element, the plurality of element substrates and the wiring board are arranged on the base, the height of the surface for electrical connection between the element substrate and the wiring board, It may be the same or the element substrate may be higher.

【0026】そして、上記いずれかの液体噴射ヘッド
と、被記録媒体搬送手段とを有し、液体を吐出して記録
を行なう液体噴射装置も本発明に属する。
A liquid ejecting apparatus which has any one of the above liquid ejecting heads and a recording medium conveying means and ejects liquid to perform recording also belongs to the present invention.

【0027】[0027]

【作用】上記のとおりに構成された本発明では、液体噴
射ヘッドを複数の素子基板に分け、各素子基板を同一基
台上に配置することにより、同一基板上に機能素子およ
び電気熱変換素子が形成されてなる素子基板の歩留りを
下げることなく、記録ヘッドの多ノズル化およびカラー
化への対応が可能となる。
In the present invention configured as described above, the liquid jet head is divided into a plurality of element substrates, and each element substrate is arranged on the same base, so that the functional element and the electrothermal conversion element are arranged on the same substrate. It is possible to deal with the increase in the number of nozzles of the recording head and the colorization without lowering the yield of the element substrate on which the ink is formed.

【0028】さらに、素子基板どうしの接続をこれらと
同一基台上の配線基板を介して行うことにより、ワイヤ
ーボンディングにおいて、ボンディング方向の一方向化
が可能となり、ワイヤー接続時の作業の効率化が図れ
る。また、前段の素子基板からの出力信号が配線基板を
介して、次段の素子基板への入力信号となるように接続
されていることで、ワイヤーボンディング時の素子基板
への悪影響は少なくなる。
Furthermore, by connecting the element substrates to each other via the wiring substrate on the same base as those, it becomes possible to make the bonding direction unidirectional in the wire bonding, and the work efficiency at the time of wire connection is improved. Can be achieved. Further, since the output signal from the element substrate of the previous stage is connected via the wiring board so as to be the input signal to the element substrate of the next stage, the adverse effect on the element substrate during wire bonding is reduced.

【0029】[0029]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。また、以下の説明においては、液体噴射ヘ
ッドおよび液体噴射装置としてインクジェット記録ヘッ
ドおよびインクジェット記録装置を例に採る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Further, in the following description, an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus will be taken as examples of the liquid ejecting head and the liquid ejecting apparatus.

【0030】図1は、本発明の液体噴射ヘッドの一実施
例の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing the schematic construction of an embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【0031】本実施例のインクジェット記録ヘッドは、
図1に示すようにアルミプレートの基台支持体10を有
しており、アルミプレートの基台10上面には、複数個
の素子基板11が基台10の一端に揃えられ、かつ吐出
方向が同一となるように配置されるとともに、配線パタ
ーン17や外部と信号を授受するための信号端子19が
形成されたPCB基板16が配置されている。素子基板
11と配線基板であるPCB基板16とは、素子基板1
1上のパッド15とボンディングワイヤー18を介して
電気的に接続されている。素子基板11は、複数の電気
熱変換素子とこれらに対応する機能素子とを同一基板上
に形成したものである。素子基板11上には、ノズル1
3が形成された液室部材12、インクを供給する供給パ
イプ14がこの順で形成されている。インクは、供給パ
イプ14を通じて液室内に供給されており、PCB基板
16の信号端子19を通じて素子基板11の機能素子お
よび電気熱変換素子が駆動され、その電気熱変換素子が
熱エネルギーを発生することにより、インクは膨張して
ノズル13より吐出される。
The ink jet recording head of this embodiment is
As shown in FIG. 1, it has an aluminum plate base support 10, and on the upper surface of the aluminum plate base 10, a plurality of element substrates 11 are aligned with one end of the base 10 and the discharge direction is The PCB boards 16 are arranged so as to be the same, and the wiring patterns 17 and the signal terminals 19 for exchanging signals with the outside are formed. The element substrate 11 and the PCB substrate 16 which is a wiring substrate are the element substrate 1
It is electrically connected to the pad 15 on 1 through the bonding wire 18. The element substrate 11 is formed by forming a plurality of electrothermal conversion elements and functional elements corresponding thereto on the same substrate. The nozzle 1 is provided on the element substrate 11.
The liquid chamber member 12 in which 3 is formed and the supply pipe 14 for supplying ink are formed in this order. The ink is supplied into the liquid chamber through the supply pipe 14, the functional element and the electrothermal conversion element of the element substrate 11 are driven through the signal terminal 19 of the PCB board 16, and the electrothermal conversion element generates heat energy. As a result, the ink expands and is ejected from the nozzle 13.

【0032】図2は、本発明の液体噴射ヘッドの一実施
例に用いられるヘッド用基板の構成を示す概略構成図で
ある。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing the configuration of a head substrate used in one embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【0033】図2に示す記録ヘッド用基板は、アルミプ
レートの基台101を有し、基台101上には、アレイ
状に配置された電気熱変換素子104、および電気熱変
換素子104を駆動するための機能素子、すなわちトラ
ンジスタアレイ105、ラッチ106およびシフトレジ
スター107が同一基板上に形成されてなる複数の素子
基板103と、外部からの信号を入力するための入力信
号端子110、外部へ信号を出力するための出力信号端
子112、電源供給端子113および配線パターン11
1が形成されてなるPCB基板102とが所定の位置に
それぞれ配置されている。そして、素子基板103とP
CB基板102とはボンディングワイヤー108を介し
て電気的に接続されている。
The recording head substrate shown in FIG. 2 has an aluminum plate base 101 on which electrothermal conversion elements 104 arranged in an array and the electrothermal conversion elements 104 are driven. Functional elements, namely, a plurality of element substrates 103 in which a transistor array 105, a latch 106 and a shift register 107 are formed on the same substrate, an input signal terminal 110 for inputting a signal from the outside, and a signal to the outside. Output signal terminal 112, power supply terminal 113 and wiring pattern 11 for outputting
1 and the PCB substrate 102 on which they are formed are respectively arranged at predetermined positions. Then, the element substrate 103 and P
The CB substrate 102 is electrically connected via a bonding wire 108.

【0034】上記構成では、PCB基板102上の入力
信号端子109,110に外部から画像信号が入力さ
れ、画像信号はボンディングワイヤー108を介して、
シフトレジスター107に転送された後、ラッチ106
に蓄えられる。この画像信号をもとに、トランジスター
アレイ105がスイッチングされ、トランジスターに接
続された電気熱変換素子104に流れる電流が制御され
る。このとき、電気熱変換素子104への電流供給は電
源供給端子113を介して外部より行なわれる。また、
各素子基板103の機能素子どうしは、PCB基板10
2上の配線パターン111を介して、前段の素子基板1
03からの出力信号が次段の素子基板103への入力信
号となるように接続されている。このように、各素子基
板103のシフトレジスター107はそれぞれシリアル
接続されている。もちろん各電気熱変換素子を駆動する
ための機能素子ごとに印字データなどの画像信号を並列
に入力することも可能であるが、このような接続は信号
ラインが増えるため、ここでは実装上の利点を考慮して
シリアル接続している。尚、図中、電気熱変換素子を駆
動する為の機能素子以外、例えば温度センサー等は図示
されていない。また、GND端子も表示していないが、
これらは通常のレイアウト設計により配置可能なことは
明白である。
In the above structure, an image signal is input from the outside to the input signal terminals 109 and 110 on the PCB substrate 102, and the image signal is transferred via the bonding wire 108.
After being transferred to the shift register 107, the latch 106
Stored in. The transistor array 105 is switched based on this image signal, and the current flowing through the electrothermal conversion element 104 connected to the transistor is controlled. At this time, the electric current is supplied to the electrothermal converting element 104 from the outside through the power supply terminal 113. Also,
The functional elements of each element substrate 103 are connected to the PCB substrate 10
2 through the wiring pattern 111 on the element substrate 1 of the previous stage
It is connected so that the output signal from 03 becomes an input signal to the element substrate 103 of the next stage. In this way, the shift registers 107 of each element substrate 103 are serially connected. Of course, it is also possible to input image signals such as print data in parallel for each functional element for driving each electrothermal conversion element, but this type of connection increases the signal lines, so here is the advantage in mounting. Considering that the serial connection is made. In the figure, other than the functional element for driving the electrothermal conversion element, for example, a temperature sensor or the like is not shown. Also, the GND terminal is not shown,
Obviously, these can be arranged by the usual layout design.

【0035】このように本発明においては、隣接した素
子基板どうしの接続は、PCB基板102上の配線パタ
ーン111を介してなされている。
As described above, in the present invention, the adjacent element substrates are connected to each other through the wiring pattern 111 on the PCB substrate 102.

【0036】したがって、素子基板とワイヤーとの接続
時に基板に荷重がかからない側の接続を行ない、ワイヤ
ーとPCB基板との接続を行なう時に荷重がかかる側の
接続を行なうことができるので、素子基板を傷つける虞
がない。
Therefore, it is possible to connect the element substrate and the wire on the side where no load is applied to the substrate and to connect the wire and the PCB substrate on the side where the load is applied. There is no danger of hurt.

【0037】また、素子基板の両端に電気的接続用パッ
ドを設ける必要がないので、素子基板を小型化でき、ま
た、素子基板上の発熱抵抗体ピッチを維持したまま、複
数の素子基板を配列し、電気的に接続することができ
る。
Further, since it is not necessary to provide electrical connection pads on both ends of the element substrate, the element substrate can be downsized, and a plurality of element substrates can be arranged while maintaining the heating resistor pitch on the element substrate. And can be electrically connected.

【0038】特に、外部からシリアル画像データを受
け、電気熱変換体側へこの電気熱変換体に対応したパラ
レルデータに変換する、シフトレジスターやラッチとい
ったデータ変換機能素子を有する素子基板では、従来技
術の説明の欄で述べたように、素子基板どうしを直接接
続した方がデータの転送上好ましいが、上述のように、
あえてPCB基板を介して接続することで上述のような
効果を得ることができる。
In particular, in the element substrate having a data conversion function element such as a shift register or a latch which receives serial image data from the outside and converts it into parallel data corresponding to this electrothermal converter on the electrothermal converter side, As described in the explanation column, it is preferable to directly connect the element substrates to each other in terms of data transfer, but as described above,
By intentionally connecting via a PCB board, the above-mentioned effects can be obtained.

【0039】また、本発明においては、PCB基板と各
素子基板との電気的接続を行なうパッドの高さを等しく
したが、PCB基板と素子基板のパッドの高さが等しい
か、もしくは素子基板の方が高くなっていればよい。た
だ、この高低差も1.7mm以下であることが望まし
い。
Further, in the present invention, the height of the pads for electrically connecting the PCB substrate and each element substrate is made equal, but the height of the pads of the PCB substrate and the element substrate is equal, or the height of the pad of the element substrate is equal. It should be higher. However, it is desirable that this height difference is also 1.7 mm or less.

【0040】次に、基台への上記素子基板の配置につい
て説明する。図3は、本発明の液体噴射ヘッドの一実施
例が有する素子基板の配置寸法を示す図である。
Next, the arrangement of the element substrate on the base will be described. FIG. 3 is a diagram showing arrangement dimensions of an element substrate included in an embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【0041】上述と同様、図3に示すように、基台12
1上には複数の素子基板123とPCB基板112とが
配置されている。各素子基板123はそれぞれ第1ノズ
ルから第nノズルまでの配列長をL1とし、素子基板1
23どうしの間隔を端部ノズル間隔で定義し、L2とし
ている。
Similar to the above, as shown in FIG.
A plurality of element substrates 123 and a PCB substrate 112 are arranged on the substrate 1. In each element substrate 123, the array length from the first nozzle to the nth nozzle is L 1 , and the element substrate 1
The interval between the two 23 is defined as the end nozzle interval, and is L 2 .

【0042】次に、上記の記録ヘッドを用いて、印字す
る場合の動作を説明する。
Next, the operation for printing using the above recording head will be described.

【0043】図4は、本発明の液体噴射ヘッドの一実施
例を用いた場合の印字動作を示す摸式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a printing operation when an embodiment of the liquid jet head of the present invention is used.

【0044】図4に示すように、印字用紙151の送り
方向を主走査方向(Y方向)とし、この方向と直交する
図中X方向を副走査方向として、インクジェット記録ヘ
ッドは走査される。ここで、アルミプレート基台上の素
子基板はY方向に配置される。モノクロプリンターにお
いて、このような配置および走査方向をとる場合、図3
に示した寸法L1、L2の関係をL1=L2とし、紙送り量
をL1(=L2)とすることにより、全ノズルが駆動可能
となり、印字処理能力が向上する。
As shown in FIG. 4, the ink jet recording head is scanned with the feeding direction of the printing paper 151 as the main scanning direction (Y direction), and the X direction orthogonal to this direction as the sub scanning direction. Here, the element substrate on the aluminum plate base is arranged in the Y direction. In a monochrome printer, when the arrangement and scanning direction are set as shown in FIG.
By setting the relationship between the dimensions L 1 and L 2 shown in ( 1 ) to L 1 = L 2 and the paper feed amount to L 1 (= L 2 ), all nozzles can be driven, and the print processing capability is improved.

【0045】また、数種類のインクを利用するカラープ
リンターの場合には、L1、L2を一致させる必要がな
い。
Also, in the case of a color printer using several kinds of ink, it is not necessary to match L 1 and L 2 .

【0046】ここで、基台に素子基板を前記L2の値が
ノズルピッチと同一となるように復数個配設することに
より、各素子基板からなるインクジェット記録ヘッドの
全ノズルが同一ピッチとなる。このため、紙送りのため
に複雑なコントロールが必要ないのでさらに高速な印字
が可能となる。
Here, by arranging several element substrates on the base so that the value of L 2 is the same as the nozzle pitch, all nozzles of the ink jet recording head composed of each element substrate have the same pitch. Become. Therefore, since complicated control is not required for feeding the paper, higher speed printing is possible.

【0047】図5は、本発明の液体噴射ヘッドの一実施
例をカラープリンターとして使用する場合の素子基板の
配置寸法を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing the arrangement dimensions of the element substrate when an embodiment of the liquid jet head of the present invention is used as a color printer.

【0048】図5に示すように、基台141上には複数
の素子基板143とPCB基板142とが配置されてお
り、カラープリンターの場合、素子基板どうしの配置間
隔L 3、L4およびノズル配列長L1、L2が各々異なるこ
とも可能である。
As shown in FIG. 5, a plurality of bases 141 are provided.
The element substrate 143 and the PCB substrate 142 of
In the case of a color printer, between the arrangement of the element boards
Distance L 3, LFourAnd nozzle array length L1, L2Each is different
Both are possible.

【0049】上述した図2に示す構成に加えて、電気検
査用パターンを設けたものが考えられる。図6は、図2
に示したヘッド用基板に電気検査用パターンを設けた構
成を示す概略構成図である。
It is conceivable that an electrical inspection pattern is provided in addition to the configuration shown in FIG. FIG. 6 shows FIG.
It is a schematic block diagram which shows the structure which provided the electrical inspection pattern in the board | substrate for heads shown in FIG.

【0050】図6に示すように、上述した図2に示す構
成に加えて、PCB基板102上に形成された、各機能
素子103どうしをシリアル接続する配線パターン11
1には、電気検査用パターン174が設けられている。
このような電気検査用パターン174を設けることによ
り、多数の素子基板103をシリアル接続した構成で、
機能素子が不良になった場合、どの素子が不良かの検査
が可能となる。そして、実装ヘッドの検査、不良ブロッ
クの交換による修正を行なうことにより、不良品数の低
下が可能となる。
As shown in FIG. 6, in addition to the structure shown in FIG. 2 described above, a wiring pattern 11 formed on the PCB substrate 102 for serially connecting the functional elements 103 to each other.
1 is provided with an electrical inspection pattern 174.
By providing such an electric test pattern 174, a large number of element substrates 103 are serially connected,
When a functional element becomes defective, it is possible to inspect which element is defective. Then, the number of defective products can be reduced by inspecting the mounting head and correcting the defective blocks by exchanging them.

【0051】次に、他の実施例について説明する。Next, another embodiment will be described.

【0052】図7は、本発明の液体噴射ヘッドの他の実
施例の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing the schematic construction of another embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【0053】本実施例のインクジェット記録ヘッドにお
いて、図7に示すように基台180上には、複数の素子
基板183、PCB基板184がそれぞれ所定の位置に
配置され、PCB基板184と各素子基板183とは、
ボンディングワイヤー185により電気的に接続されて
いる。各基板素子183上には液室部材186が形成さ
れ、液室部材186の上面にはインクを吐出するための
ノズル開口部182が形成されている。この構造は、い
わゆるサイドシューター構造と呼ばれているものであ
る。
In the ink jet recording head of this embodiment, as shown in FIG. 7, a plurality of element substrates 183 and a PCB substrate 184 are arranged at predetermined positions on a base 180, and the PCB substrate 184 and each element substrate are arranged. What is 183?
It is electrically connected by a bonding wire 185. A liquid chamber member 186 is formed on each substrate element 183, and a nozzle opening 182 for ejecting ink is formed on the upper surface of the liquid chamber member 186. This structure is a so-called side shooter structure.

【0054】液室部材186へのインクの供給は、素子
基板183に基台180と液室部材186とを貫通する
孔を設け、基台186内に設けたインクタンクより孔を
通じて行なわれる。
The ink is supplied to the liquid chamber member 186 by providing a hole that penetrates the base 180 and the liquid chamber member 186 in the element substrate 183 and through an ink tank provided in the base 186 through the hole.

【0055】上述した各実施例は、各素子基板とPCB
基板とをワイヤーボンディングにて接続した構成を示し
たが、本発明はこれに限られるものではなく、フィルム
を用いたTAB方式などのワイヤレスボンディングや導
電性部材を圧着したもの等、その接続は電気的接続が満
足されれば、方法はいずれでもよい。
In each of the above-described embodiments, each element substrate and PCB are
Although the configuration is shown in which the substrate and the substrate are connected by wire bonding, the present invention is not limited to this, and the connection may be performed by wireless bonding such as a TAB method using a film or by crimping a conductive member. Any method can be used as long as the physical connection is satisfied.

【0056】また、上述した各実施例は基板上に機能素
子としてシフトレジスターを形成して素子基板とした
が、本発明は素子基板に限られるものでなく、ダイオー
ドマトリックス基板でも同様の歩留り向上が期待でき
る。以下にダイオードマトリックス基板について説明す
る。
Further, in each of the above-described embodiments, the shift register is formed as a functional element on the substrate to form the element substrate. However, the present invention is not limited to the element substrate, and the same yield improvement can be achieved by the diode matrix substrate. Can be expected. The diode matrix substrate will be described below.

【0057】図8は、本発明の液体噴射ヘッドが有する
素子基板の他の変形例を示す概略構成図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing another modification of the element substrate included in the liquid jet head of the present invention.

【0058】前記ダイオードマトリックス基板上には、
図8に示すようにN個の各セグメント(S)に電気熱変
換素子191およびダイオード192をそれぞれ直列接
続したものがM個のブロック(B)に並列に構成されて
いる。各電気熱変換素子191にそれぞれ流す電流は、
ブロックMーセグメントN間の通電が任意に切り換えら
れることで制御される。このようなダイオードマトリッ
クス基板を有する記録ヘッドでも、本実施例と同様に基
板プロセスの歩留りを下げることなく製造できる。
On the diode matrix substrate,
As shown in FIG. 8, an electrothermal conversion element 191 and a diode 192 connected in series to each of the N segments (S) are configured in parallel with the M blocks (B). The electric currents flowing in the respective electrothermal conversion elements 191 are
It is controlled by arbitrarily switching the energization between the block M and the segment N. Even a recording head having such a diode matrix substrate can be manufactured without lowering the yield of the substrate process as in the present embodiment.

【0059】図9は、本発明における、数十個の半導体
チップに相当する記録素子、機能素子、および駆動用集
積回路を同一基板上表面内部に構造的に設けることによ
りフルライン液体噴射記録装置を構成し、これら4本の
ライン記録装置にそれぞれシアン、イエロー、マゼン
ダ、ブラックを対応させて構成した、高品位なフルカラ
ー記録装置である。符号201Aおよび201Bは、記
録媒体Rを副走査方向V Sに狭持搬送するために設けた
搬送手段としてのローラ対を示している。符号202B
K、202Y、202Mおよび202Cは、それぞれ、
記録媒体Rの全幅にわたってノズルを配列したブラッ
ク、イエロー、マゼンダおよびシアンの記録を行なうフ
ルラインタイプの記録装置を示し、ブラック、イエロ
ー、マゼンダ、シアンの順に記録媒体搬送方向上流側よ
り配置されて記録装置集合体を構成している。符号20
0は吐出回復手段を示し、吐出回復処理にあたっては記
録媒体Rに代って記録装置集合体に対向する構成で、キ
ャップ、インク吸収体、ワイピングブレード等を含む。
FIG. 9 shows several tens of semiconductors according to the present invention.
Recording element corresponding to chip, functional element, and drive collection
By providing a product circuit structurally inside the upper surface of the same substrate,
A full line liquid jet recording device
Cyan, yellow, magenta on line recorder
High-quality full color with black and black
-It is a recording device. Reference numerals 201A and 201B indicate
Recording medium R in sub-scanning direction V SIt was provided to carry the paper
The roller pair as a conveyance means is shown. Reference numeral 202B
K, 202Y, 202M and 202C are respectively
A black block in which nozzles are arranged over the entire width of the recording medium R
Black, yellow, magenta and cyan.
It shows a recording device of the line type, black, yellow
-, Magenta, and cyan in this order from the upstream side in the recording medium transport direction.
Are arranged to form a recording device assembly. Code 20
Reference numeral 0 indicates a discharge recovery means, which will be described in the discharge recovery process.
Instead of the recording medium R, the recording device assembly faces the recording device assembly.
Cap, ink absorber, wiping blade, etc.

【0060】尚、以上の実施例において、各機能素子や
電気熱変換体は素子基板上に設けられていると説明した
が、ここでの基板上とは、基板の表面、表面上、基板の
内部等をも含めて指し示している。
In the above embodiments, it was explained that each functional element and the electrothermal converter were provided on the element substrate, but the term "on the substrate" here means the surface of the substrate, the surface of the substrate and the surface of the substrate. It indicates the inside and so on.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、液体噴射
ヘッドであるインクジェット記録ヘッドを複数の素子基
板に分け、各素子基板を同一基台上に配置することによ
り、同一基板上に機能素子および電気熱変換素子が形成
された記録ヘッド用基板の歩留りを下げることなく、記
録ヘッドの多ノズル化およびカラー化への対応が可能と
なり、記録ヘッドのコストが低減できる。
As described above, according to the present invention, the ink jet recording head which is a liquid jet head is divided into a plurality of element substrates, and each element substrate is arranged on the same base, so that the functional elements are formed on the same substrate. Further, it is possible to cope with the increase in the number of nozzles of the recording head and the colorization without lowering the yield of the recording head substrate on which the electrothermal conversion element is formed, and the cost of the recording head can be reduced.

【0062】さらに、素子基板どうしの接続をこれらと
同一基台上の配線基板を介して行うことにより、ワイヤ
ーボンディングにおいて、チップどうしの接続を必要と
せず、ボンディング方向の一方向化が可能となり、ワイ
ヤー接続時の作業の効率化が図れる。また、前段の素子
基板からの出力信号が回路基板を介して、次段の素子基
板への入力信号となるように接続されていることで、ワ
イヤーボンディング時の素子基板への悪影響を防止する
ことができる。また、素子基板およびヘッドの小型化を
達成することができると共に、長尺ヘッドにおける高密
度ノズル配置を達成することができる。
Further, by connecting the element substrates to each other via the wiring substrate on the same base as those, it is possible to make the bonding direction unidirectional without the need to connect the chips to each other in wire bonding. Work efficiency can be improved when connecting wires. In addition, the output signal from the element board at the previous stage is connected via the circuit board so as to be the input signal to the element board at the next stage, so that adverse effects on the element board during wire bonding can be prevented. You can In addition, miniaturization of the element substrate and the head can be achieved, and high-density nozzle arrangement in a long head can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の液体噴射ヘッドの一実施例の構成を示
す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an embodiment of a liquid jet head of the present invention.

【図2】本発明の液体噴射ヘッドの一実施例に用いられ
るヘッド用基板の構成を示す概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a configuration of a head substrate used in an embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【図3】本発明の液体噴射ヘッドの一実施例が有する素
子基板の配置寸法を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing arrangement dimensions of an element substrate included in an embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【図4】本発明の液体噴射ヘッドの一実施例を用いた場
合の印字動作を示す摸式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a printing operation when an embodiment of the liquid jet head of the present invention is used.

【図5】本発明の液体噴射ヘッドの一実施例をカラープ
リンターとして使用する場合の素子基板の配置寸法を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram showing arrangement dimensions of an element substrate when an embodiment of the liquid jet head of the present invention is used as a color printer.

【図6】図2に示したヘッド用基板に電気検査用パター
ンを設けた構成を示す概略構成図である。
6 is a schematic configuration diagram showing a configuration in which an electrical inspection pattern is provided on the head substrate shown in FIG.

【図7】本発明の液体噴射ヘッドの他の実施例の概略構
成を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a schematic configuration of another embodiment of the liquid jet head of the present invention.

【図8】本発明の液体噴射ヘッドの有する素子基板の他
の変形例を示す概略構成図である。
FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing another modification of the element substrate included in the liquid jet head of the present invention.

【図9】本発明の液体噴射ヘッドを用いた記録装置を示
す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a recording apparatus using the liquid jet head of the present invention.

【図10】液体噴射ヘッドを示す摸式図である。FIG. 10 is a schematic view showing a liquid jet head.

【図11】記録ヘッド用基板の構成を示す摸式図であ
る。
FIG. 11 is a schematic diagram showing a configuration of a recording head substrate.

【図12】記録ヘッドの側面図である。FIG. 12 is a side view of the recording head.

【図13】ヘッド基板の構造を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a structure of a head substrate.

【図14】素子基板を複数接続したヘッドの形態を説明
するための図である。
FIG. 14 is a diagram for explaining a form of a head in which a plurality of element substrates are connected.

【図15】素子基板を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram illustrating an element substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,101,121,141,180 基台 11,103,123,143,183 素子基板 12,186 液室部材 13 ノズル 14 供給パイプ 15 パッド 16,102,122,142,184 PCB基板 17,111 配線パターン 18,108,185 ボンディングワイヤー 19 信号端子 104,191 電気熱変換素子 105 トランジスタアレイ 106 ラッチ 107 シフトレジスター 108 ボンディングワイヤー 109,110 入力信号端子 112 出力信号端子 113 電源供給端子 150 インクジェット記録ヘッド 151 印字用紙 174 電気検査用パターン 182 ノズル開口部 192 ダイオード 200 吐出回復手段 201A,201B ローラ対 202C,202M,202Y,202Bk 記録装
10, 101, 121, 141, 180 Base 11, 103, 123, 143, 183 Element substrate 12, 186 Liquid chamber member 13 Nozzle 14 Supply pipe 15 Pad 16, 102, 122, 142, 184 PCB substrate 17, 111 Wiring Patterns 18, 108, 185 Bonding wire 19 Signal terminal 104, 191 Electrothermal conversion element 105 Transistor array 106 Latch 107 Shift register 108 Bonding wire 109, 110 Input signal terminal 112 Output signal terminal 113 Power supply terminal 150 Ink jet recording head 151 Printing paper 174 Electrical inspection pattern 182 Nozzle opening 192 Diode 200 Ejection recovery means 201A, 201B Roller pair 202C, 202M, 202Y, 202Bk Recording device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B41J 29/00 C ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI technical display location B41J 29/00 C

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液体を吐出するための熱エネルギーを発
生する電気熱変換体と該電気熱変換体を駆動させるため
の機能素子とが同一基板上に形成されてなる複数の素子
基板と、前記機能素子が外部と信号の入出力を行なうた
めの配線が設けられてなる配線基板とを有しており、 前記素子基板からの出力信号が前記配線基板を介して隣
接する素子基板に入力されるように電気的接続がなされ
ていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
1. A plurality of element substrates in which an electrothermal converter that generates thermal energy for ejecting a liquid and a functional element for driving the electrothermal converter are formed on the same substrate, The functional element has a wiring board provided with wiring for inputting / outputting signals to / from the outside, and an output signal from the element board is input to an adjacent element board via the wiring board. The liquid ejecting head is characterized by being electrically connected as described above.
【請求項2】 前記液体はインクであることを特徴とす
る請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
2. The liquid jet head according to claim 1, wherein the liquid is ink.
【請求項3】 前記機能素子は、基板外部からシリアル
画像信号を受け、電気熱変換体側にパラレル画像信号と
して出力する機能素子であることを特徴とする請求項1
に記載の液体噴射ヘッド。
3. The functional element is a functional element which receives a serial image signal from the outside of the substrate and outputs it as a parallel image signal to the electrothermal converter side.
The liquid jet head according to item 1.
【請求項4】 前記複数の素子基板と前記配線基板は、
基台上に配置されており、素子基板と配線基板との電気
的接続を行なう面の高さは、同じか若しくは素子基板の
方が高いことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘ
ッド。
4. The plurality of element substrates and the wiring substrate,
The liquid jet head according to claim 1, wherein the liquid jet head is arranged on the base and has the same height or a higher height on the surface for electrically connecting the element substrate and the wiring substrate. .
【請求項5】 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の
液体噴射ヘッドと、被記録媒体搬送手段とを有し、液体
を吐出して記録を行なう液体噴射装置。
5. A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1 and a recording medium transporting means, and ejecting liquid to perform recording.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003034032A (en) * 2001-07-25 2003-02-04 Sony Corp Printing head
JP2010069890A (en) * 2000-07-10 2010-04-02 Canon Inc Inkjet recording head
JP2012000834A (en) * 2010-06-16 2012-01-05 Fujifilm Corp Head controller and inkjet recorder

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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