JPH06333501A - Fluorescent screen exposing method and exposing device of color picture tube - Google Patents

Fluorescent screen exposing method and exposing device of color picture tube

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JPH06333501A
JPH06333501A JP5119398A JP11939893A JPH06333501A JP H06333501 A JPH06333501 A JP H06333501A JP 5119398 A JP5119398 A JP 5119398A JP 11939893 A JP11939893 A JP 11939893A JP H06333501 A JPH06333501 A JP H06333501A
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JP
Japan
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panel
exposing
screen forming
forming member
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP5119398A
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Japanese (ja)
Inventor
Shozo Takami
昭三 高見
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PURPOSE:To regulate the exposing light quantity of each position of a fluorescent screen forming material layer on the inner surface of a panel with high accuracy, by controlling the operating time of each segment of a liquid crystal element, and regulating the exposing quantity to the position of the fluorescent screen forming material layer. CONSTITUTION:By dividing the illuminances of each position on the inner surface of a panel 4 obtained by the measurement of the illuminance distribution, by the illuminance at the center of the inner surface of the panel 4, and multiplied by 100, so as to calculate a noncorrecting light distribution value. Then, the necessary light distribution values at the positions of the inner surface of the panel 4 are found. The light distribution values are found by exposing the fluorescent screen forming material layer 20 formed at the inner surface of the panel 4 by making the exposing light amount as a parameter, developing them to form the phosphor layer, and measuring the sizes. And then, the time ratios of the positions of the inner surface of the panel 4 are found. Then, the exposing time at the center of the inner surface of the panel 4 can be decided, and the necessary exposing light amounts can be given to the positions of the inner surface of the panel 4. Consequently, the exposing light amounts of the positions of the fluorescent screen forming material layer of the panel inner surface can be regulated at a high accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、カラー受像管の蛍光
面露光方法および露光装置に係り、特にパネルと光源と
の間に液晶表示素子からなる補正フィルターを配置した
カラー受像管の蛍光面露光方法および露光装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent screen exposure method and exposure apparatus for a color picture tube, and more particularly to a fluorescent screen exposure for a color picture tube in which a correction filter composed of a liquid crystal display element is arranged between a panel and a light source. A method and an exposure apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にカラー受像管は、パネルの内面
に、図3および図4に示すように、青、緑、赤に発光す
るドット状またはストライプ状の3色蛍光体層1B ,1
G ,1Rからなる蛍光面、あるいは図5および図6に示
すように、マトリックス状またはストライプ状の光吸収
層2の間隙部にドット状またはストライプ状の3色蛍光
体層1B ,1G ,1R が埋込まれるように設けられた蛍
光面を有する。
2. Description of the Related Art Generally, a color picture tube has a dot-shaped or stripe-shaped three-color phosphor layer 1B, 1 which emits blue, green, and red light on the inner surface of the panel as shown in FIGS.
A phosphor screen composed of G, 1R, or, as shown in FIGS. 5 and 6, dot-shaped or stripe-shaped three-color phosphor layers 1B, 1G, 1R are formed in gaps between matrix-shaped or stripe-shaped light-absorbing layers 2. The fluorescent screen is provided so as to be embedded.

【0003】このようなカラー受像管の蛍光面は、従来
より写真印刷法により形成されている。たとえば図5お
よび図6に示したマトリックス状またはストライプ状の
光吸収層2を有する蛍光面について説明すると、図7
(a)に示すように、パネル4の内面にポリビニルアル
コール(PVA)と重クロム酸アンモニウム(ADC)
を主成分とする感光剤を塗布して感光膜5を形成する。
そして同(b)に示すように、この感光膜5をシャドウ
マスク6を介して露光し、感光膜5にシャドウマスク6
の電子ビーム通過孔に対応するパターンを焼付ける。な
お、7は露光光源である。つぎにこの電子ビーム通過孔
に対応するパターンの焼付けられた感光膜5を現像して
未感光部を除去し、同(c)に示すように、ドット状ま
たはストライプ状のレジスト膜8を形成する。つぎに同
(d)に示すように、上記レジスト膜8の形成されたパ
ネル4の内面に黒色光吸収塗料を塗布して光吸収塗料層
9を形成する。つぎに上記レジスト膜8とともに、この
レジスト膜8上の光吸収塗料を除去して、同(e)に示
すように、パネル4の内面にレジスト膜の除去部分を間
隙部10とするマトリックス状またはストライプ状の光
吸収層2を形成する。
The fluorescent screen of such a color picture tube is conventionally formed by a photographic printing method. For example, the phosphor screen having the matrix-shaped or stripe-shaped light absorption layer 2 shown in FIGS. 5 and 6 will be described.
As shown in (a), polyvinyl alcohol (PVA) and ammonium dichromate (ADC) are provided on the inner surface of the panel 4.
The photosensitive film 5 is formed by applying a photosensitizer whose main component is.
Then, as shown in (b), the photosensitive film 5 is exposed through a shadow mask 6 to form a shadow mask 6 on the photosensitive film 5.
The pattern corresponding to the electron beam passage hole of is baked. In addition, 7 is an exposure light source. Then, the photosensitive film 5 having a pattern corresponding to the electron beam passage hole is developed to remove the unexposed portion, and a dot-shaped or stripe-shaped resist film 8 is formed as shown in FIG. . Next, as shown in (d), a black light absorbing paint is applied to the inner surface of the panel 4 having the resist film 8 formed thereon to form a light absorbing paint layer 9. Then, together with the resist film 8, the light absorbing paint on the resist film 8 is removed, and as shown in FIG. The stripe-shaped light absorption layer 2 is formed.

【0004】その後、同(f)に示すように、上記光吸
収層2の形成されたパネル4の内面にPVA,ADCお
よび任意1色蛍光体、たとえば青蛍光体を主成分とする
蛍光体スラリを塗布して蛍光体スラリ層12を形成す
る。そして同(g)に示すように、その蛍光体スラリ層
12をシャドウマスク6を介して露光し、蛍光体スラリ
層12にシャドウマスク6の電子ビーム通過孔に対応す
るパターンを焼付ける。つぎにこの電子ビーム通過孔に
対応するパターンの焼付けられた蛍光体スラリ層12を
現像して未感光部を除去し、同(h)に示すように、光
吸収層2の間隙部にドット状またはストライプ状の蛍光
体層1B を形成する。この蛍光体層1B の形成方法を3
色蛍光体について繰返すことにより、同(i)に示すよ
うに、光吸収層2の間隙部に3色蛍光体層1B ,1G ,
1R を形成する。
Thereafter, as shown in (f), a phosphor slurry containing PVA, ADC and an arbitrary one-color phosphor such as a blue phosphor as a main component is formed on the inner surface of the panel 4 on which the light absorption layer 2 is formed. Is applied to form a phosphor slurry layer 12. Then, as shown in (g), the phosphor slurry layer 12 is exposed through the shadow mask 6, and a pattern corresponding to the electron beam passage hole of the shadow mask 6 is printed on the phosphor slurry layer 12. Next, the phosphor slurry layer 12 having a pattern corresponding to the electron beam passage hole is developed to remove the unexposed portion, and as shown in (h) of FIG. Alternatively, the stripe-shaped phosphor layer 1B is formed. The method for forming this phosphor layer 1B is 3
By repeating the procedure for the color phosphors, as shown in (i), the three-color phosphor layers 1B, 1G,
Form 1R.

【0005】また図3および図4に示した光吸収層をも
たない蛍光面については、上記蛍光体層を形成する工程
を繰返すことにより形成される。
Further, the phosphor screen having no light absorption layer shown in FIGS. 3 and 4 is formed by repeating the step of forming the phosphor layer.

【0006】ところで、上記蛍光面形成方法において
は、パネルの内面に形成された感光膜や蛍光体スラリ層
などの蛍光面形成部材層にシャドウマスクの電子ビーム
通過孔に対応するパターンを焼付けるとき、図8に示す
露光装置が用いられる。この露光装置は、パネル4を位
置決め支持する支持部14を有し、この支持部14の下
部に光源7が配置されている。そしてこの光源7から上
記支持部14に位置決め支持されたパネル4方向に、パ
ネル4の内面に形成された蛍光面形成部材層15に対し
て光源7からの放射光を遮断するランプシャッター1
6、光源7から放射される光の軌道をカラー受像管の電
子銃から放出される電子ビームの軌道に近似させる補正
レンズなどからなる光学レンズ系17、上記パネル内面
の蛍光面形成部材層15に対する照度分布を補正、すな
わち蛍光面形成部材層15の各部位に対する露光光量を
調整する補正フィルター18などが配置されている。
By the way, in the above-mentioned phosphor screen forming method, when a pattern corresponding to the electron beam passage hole of the shadow mask is printed on the phosphor screen forming member layer such as the photosensitive film or the phosphor slurry layer formed on the inner surface of the panel. The exposure apparatus shown in FIG. 8 is used. This exposure apparatus has a support portion 14 for positioning and supporting the panel 4, and a light source 7 is arranged below the support portion 14. Then, in the direction of the panel 4 positioned and supported by the support portion 14 from the light source 7, the lamp shutter 1 for blocking the light emitted from the light source 7 with respect to the fluorescent screen forming member layer 15 formed on the inner surface of the panel 4.
6, an optical lens system 17 including a correction lens for approximating the trajectory of the light emitted from the light source 7 to the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun of the color picture tube, and the phosphor screen forming member layer 15 on the inner surface of the panel A correction filter 18 for correcting the illuminance distribution, that is, for adjusting the amount of exposure light for each part of the phosphor screen forming member layer 15 is arranged.

【0007】上記補正フィルター18は、従来、透明ガ
ラス基板にNi 、Cr などの金属蒸着膜を形成し、図9
に示すような透過率分布曲線20が得られるように、そ
の金属蒸着膜の膜厚を中央部で厚く、周辺部になるにし
たがって薄くしたものとなっている。これは、パネル内
面の中央部の照度に対して周辺部の照度が急激に落込
み、かつ実際の露光では、シャドウマスクの光透過率の
分布も加味しなければならないためである。
The correction filter 18 is conventionally formed by depositing a metal vapor deposition film of Ni, Cr or the like on a transparent glass substrate as shown in FIG.
In order to obtain the transmittance distribution curve 20 as shown in (4), the film thickness of the metal vapor deposition film is thicker in the central portion and thinner in the peripheral portion. This is because the illuminance of the peripheral portion sharply drops with respect to the illuminance of the central portion of the inner surface of the panel, and the distribution of the light transmittance of the shadow mask must be taken into consideration in the actual exposure.

【0008】しかし最近カラー受像管は、パネルの内面
が従来のように単一球面でなく、高次式で表される曲面
となり、かつフラット化する傾向にある。一方、シャド
ウマスクの電子ビーム通過孔は、一定ピッチよりもバリ
ピッチのものが多く、かつカラー受像管の高精細化に対
応してファインピッチ化が進行している。それに対応し
て補正フィルターの透過率分布に対する要求が、同心
円、楕円、各軸非対称などと多岐にわたり、精度を高め
た複数種類の補正フィルターが要求されている。
However, recently, in the color picture tube, the inner surface of the panel is not a single spherical surface as in the prior art but a curved surface expressed by a high-order formula and tends to be flat. On the other hand, many of the electron beam passage holes of the shadow mask have a variable pitch rather than a fixed pitch, and the fine pitch is being advanced in response to the higher definition of the color picture tube. Correspondingly, there are various requirements for the transmittance distribution of the correction filter, such as concentric circles, ellipses, and asymmetry of each axis, and a plurality of types of correction filters with higher accuracy are required.

【0009】このような補正フィルターを従来のように
金属蒸着膜で形成すると、その透過率分布を所定の分布
にすることがむつかしく、特にパネルの内面がフラット
化しかつ偏向角の大きいカラー受像管では、わずかな光
源位置の変化でも、照度分布が不均一となり、露光むら
が発生しやすい。この露光むらは、マトリックス状また
はストライプ状の光吸収層の間隙部サイズあるいはドッ
ト状またはストライプ状の3色蛍光体層のサイズを変化
させ、画像品位、とりわけホワイトユニフォーミティを
劣化させる。いちじるしい場合は、外観品位も低下させ
る。また蛍光面形成工程において、3色蛍光体層の欠
け、脱落などの不良が発生し、歩留り低下の原因とな
る。
When such a correction filter is formed of a metal vapor deposition film as in the conventional case, it is difficult to make its transmittance distribution a predetermined distribution, especially in a color picture tube in which the inner surface of the panel is flat and the deflection angle is large. Even with a slight change in the position of the light source, the illuminance distribution becomes non-uniform, and uneven exposure is likely to occur. This exposure unevenness changes the size of the gaps in the matrix- or stripe-shaped light absorbing layer or the size of the dot-shaped or stripe-shaped three-color phosphor layer, thereby degrading the image quality, especially white uniformity. In the case of a sharp appearance, the appearance quality is also deteriorated. In addition, defects such as chipping and dropping of the three-color phosphor layer occur in the phosphor screen forming step, which causes a decrease in yield.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
受像管の蛍光面は、写真印刷法により形成され、その一
工程として、パネルの内面に形成された感光膜や蛍光体
スラリ層などの蛍光面形成部材層をシャドウマスクを介
して露光し、その蛍光面形成部材層にシャドウマスクの
電子ビーム通過孔に対応するパターンを焼付ける工程が
あり、その焼付けに露光装置が用いられている。
As described above, the fluorescent screen of the color picture tube is formed by the photo printing method, and as one of the steps, the photosensitive film and the phosphor slurry layer formed on the inner surface of the panel are formed. There is a step of exposing the phosphor screen forming member layer through a shadow mask and baking a pattern corresponding to the electron beam passage holes of the shadow mask on the phosphor screen forming member layer, and an exposure apparatus is used for the baking.

【0011】この露光装置は、パネルを位置決め支持す
る支持部の下部に光源が配置され、この光源から支持部
に位置決め支持されたパネル方向に、順次光源からの放
射光を遮断するランプシャッター、光源から放射される
光の軌道をカラー受像管の電子銃から放出される電子ビ
ームの軌道に近似させる補正レンズなどからなる光学レ
ンズ系、パネル内面の蛍光面形成部材層に対する照度分
布を補正する補正フィルターなどが配置された構造に形
成されている。
In this exposure apparatus, a light source is arranged below a supporting portion for positioning and supporting the panel, and a lamp shutter and a light source are provided for sequentially blocking the light emitted from the light source in the direction of the panel positioned and supported by the supporting portion from the light source. The optical lens system consisting of a correction lens that approximates the trajectory of the light emitted from the electron beam emitted from the electron gun of the color picture tube, the correction filter that corrects the illuminance distribution to the phosphor screen forming member layer on the inner surface of the panel. Etc. are formed in a structure in which they are arranged.

【0012】その補正フィルターは、従来透明ガラス基
板にNi 、Cr などの金属蒸着膜を形成し、所定の透過
率分布が得られるように、その金属蒸着膜の膜厚を中央
部で厚く、周辺部になるにしたがって薄くしたものとな
っている。
In the correction filter, a metal vapor deposition film of Ni, Cr or the like is conventionally formed on a transparent glass substrate, and the metal vapor deposition film is thick at the central portion and at the periphery so that a predetermined transmittance distribution can be obtained. It becomes thinner as it becomes a part.

【0013】しかし最近カラー受像管は、パネルの内面
が従来のように単一球面でなく、高次式で表される曲面
となり、かつフラット化の傾向にある。一方、シャドウ
マスクの電子ビーム通過孔は、一定ピッチよりもバリピ
ッチのものが多く、かつカラー受像管の高精細化に対応
してファインピッチ化が進行している。それに対応して
補正フィルターの透過率分布に対する要求が、同心円、
楕円、各軸非対称などと多岐にわたり、精度を高めた複
数種類の補正フィルターが要求されている。このような
補正フィルターを従来のように金属蒸着膜で形成する
と、その透過率分布を所定の分布にすることがむつかし
く、特にパネルの内面がフラット化しかつ偏向角の大き
いカラー受像管では、わずかな光源位置の変化でも、照
度分布が不均一となり、露光むらが発生しやすく、この
露光むらが光吸収層の間隙部のサイズあるいは3色蛍光
体層のサイズを変化させ、画像品位、とりわけホワイト
ユニフォーミティを劣化させる。いちじるしい場合は、
外観品位も低下させる。また蛍光面形成工程において、
3色蛍光体層の欠け、脱落などの不良が発生し、歩留り
低下の原因となるなどの問題がある。
However, recently, in the color picture tube, the inner surface of the panel is not a single spherical surface as in the prior art but a curved surface expressed by a high-order formula and tends to be flat. On the other hand, many of the electron beam passage holes of the shadow mask have a variable pitch rather than a fixed pitch, and the fine pitch is being advanced in response to the higher definition of the color picture tube. Correspondingly, the requirement for the transmittance distribution of the correction filter is
There is a wide variety of elliptical and asymmetrical axes, and multiple types of highly accurate correction filters are required. When such a correction filter is formed of a metal vapor deposition film as in the conventional case, it is difficult to make its transmittance distribution a predetermined distribution. Especially, in a color picture tube with a flat inner surface and a large deflection angle, a slight Even if the position of the light source changes, the illuminance distribution becomes non-uniform, and uneven exposure is likely to occur. This uneven exposure changes the size of the gap portion of the light absorption layer or the size of the three-color phosphor layer, resulting in image quality, especially white uniform. Deteriorates Miti. If you want to
It also reduces the appearance quality. Also, in the fluorescent screen forming step,
There is a problem that defects such as chipping and dropping of the three-color phosphor layer occur, which causes a decrease in yield.

【0014】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、パネル内面の蛍光面形成部材層の
各部位に対して最適な露光光量が得られる補正フィルタ
ーを構成し、常に最適な露光をおこなうことができるよ
うにすることを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and constitutes a correction filter which can obtain an optimum exposure light amount for each part of the phosphor screen forming member layer on the inner surface of the panel, and is always optimum. The purpose is to be able to perform various exposures.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】カラー受像管のパネル内
面に形成された蛍光面形成部材層とこの蛍光面形成部材
層を露光する光源との間に蛍光面形成部材層の各部位に
対して露光光量を調整する補正フィルターを配置し、こ
の補正フィルターを介して蛍光面形成部材層を露光する
カラー受像管の蛍光面露光方法において、補正フィルタ
ーをマトリックス状に配列された多数のセグメントを有
する液晶表示素子で構成し、この液晶表示素子の各セグ
メントの動作時間を制御して蛍光面形成部材層の各部位
に対する露光光量を調整するようにした。
A phosphor screen forming member layer formed on the inner surface of a panel of a color picture tube and a light source for exposing the phosphor screen forming member layer to each part of the phosphor screen forming member layer. In a fluorescent screen exposure method of a color picture tube, in which a correction filter for adjusting the amount of exposure light is arranged, and the fluorescent screen forming member layer is exposed through the correction filter, a liquid crystal having a large number of segments in which the correction filters are arranged in a matrix. The liquid crystal display element is composed of a display element, and the operating time of each segment of the liquid crystal display element is controlled to adjust the exposure light amount for each part of the phosphor screen forming member layer.

【0016】またその露光装置を、内面に蛍光面形成部
材層の形成されたパネルを位置決め支持する支持部と、
この支持部に位置決め支持されたパネル内面の蛍光面形
成部材層を露光する光源と、パネル内面の蛍光面形成部
材層の各部位に対する露光光量を調整するため、光源と
支持部に位置決め支持されたパネルとの間に配置された
マトリックス状に配列された多数のセグメントを有する
液晶表示素子からなる補正フィルターと、この液晶表示
素子の各セグメントの動作時間を制御する手段を有する
液晶制御装置とを有する構造に形成した。
Further, the exposure apparatus includes a support portion for positioning and supporting a panel having a phosphor screen forming member layer formed on the inner surface thereof.
The light source for exposing the phosphor screen forming member layer on the inner surface of the panel, which is positioned and supported by the supporting portion, and the exposure light amount for each part of the phosphor screen forming member layer on the inner surface of the panel, are positioned and supported by the light source and the supporting portion. A correction filter including a liquid crystal display element having a large number of segments arranged in a matrix arranged between a panel and a liquid crystal control device having means for controlling the operating time of each segment of the liquid crystal display element. Formed into a structure.

【0017】[0017]

【作用】上記のように、補正フィルターをマトリックス
状に配列された多数のセグメントをもつ液晶表示素子で
構成し、この液晶表示素子の各セグメントの動作時間を
制御して蛍光面形成部材層の各部位に対する露光光量を
調整するようにすると、蛍光面形成部材層の各部位を最
適な露光光量で露光することができる。
As described above, the correction filter is composed of a liquid crystal display element having a large number of segments arranged in a matrix, and the operation time of each segment of the liquid crystal display element is controlled to control each of the phosphor screen forming member layers. By adjusting the amount of exposure light for each part, each part of the phosphor screen forming member layer can be exposed with an optimum amount of exposure light.

【0018】[0018]

【実施例】以下、図面を参照してこの発明を実施例に基
づいて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described based on embodiments with reference to the drawings.

【0019】図1にその一実施例に係る露光装置を示
す。この露光装置は、パネル4を位置決め支持する支持
部14を有し、この支持部14の下部に光源7が配置さ
れ、この光源7から上記支持部14に位置決め支持され
たパネル4方向に、順次支持部14に位置決め支持され
たパネル4に対して光源7からの放射光を遮断するラン
プシャッター16、光源7からの放射光の軌道をカラー
受像管の電子銃から放出される電子ビームの軌道に近似
させる補正レンズなどからなるレンズ光学系17および
支持部14に位置決め支持されたパネル4の内面に形成
された感光剤層または蛍光体スラリ層などの蛍光面形成
部材層20の各部位に対するる露光光量を補正する後述
する補正フィルター21が配置されている。
FIG. 1 shows an exposure apparatus according to the embodiment. This exposure apparatus has a supporting portion 14 for positioning and supporting the panel 4, a light source 7 is arranged below the supporting portion 14, and the light source 7 is sequentially positioned in the direction of the panel 4 positioned and supported by the supporting portion 14. A lamp shutter 16 for blocking the emitted light from the light source 7 with respect to the panel 4 positioned and supported by the support portion 14 and an orbit of the emitted light from the light source 7 are set to the orbit of the electron beam emitted from the electron gun of the color picture tube. Exposure to each part of the phosphor screen forming member layer 20 such as a photosensitizer layer or a phosphor slurry layer formed on the inner surface of the panel 4 positioned and supported by the lens optical system 17 including a correction lens to be approximated and the supporting portion 14. A correction filter 21, which will be described later, that corrects the amount of light is arranged.

【0020】なお、図1において、6はパネル4に装着
されたシャドウマスクである。
In FIG. 1, 6 is a shadow mask mounted on the panel 4.

【0021】上記光源7は、支持部14に位置決め支持
されたパネル4に対して、カラー受像管の偏向中心に対
応する位置において、光源シフト機構により電子銃から
放出される3電子ビームに対応する位置に移動可能、か
つカラー受像管の偏向角に対応して、上下機構によりレ
ンズ光学系17とともに上下移動可能となっている。
The light source 7 corresponds to the three electron beams emitted from the electron gun by the light source shift mechanism at a position corresponding to the deflection center of the color picture tube with respect to the panel 4 positioned and supported by the support portion 14. It can be moved to the position and can be moved up and down together with the lens optical system 17 by the up-and-down mechanism according to the deflection angle of the color picture tube.

【0022】この例の露光装置では、上記補正フィルタ
ー21は、透過型液晶表示素子で構成され、図2に示す
ように、液晶を挟んで対向する一対の透明基板22a ,
22b の対向面に、それぞれ並列形成された多数の透明
電極素子からなるX電極23X およびY電極23Y が形
成され、これらX、Y電極23X ,23Y の各交点を1
画素とする多数のセグメントからなるマトリックス状に
構成されている。そしてこの補正フィルター21は、制
御装置(図示せず)に接続され、この制御装置に格納さ
れたプログラムにより動作が制御されるようになってい
る。
In the exposure apparatus of this example, the correction filter 21 is composed of a transmissive liquid crystal display element, and as shown in FIG. 2, a pair of transparent substrates 22a, 22a,
An X electrode 23X and a Y electrode 23Y composed of a large number of transparent electrode elements formed in parallel are formed on the facing surface of 22b, and each intersection point of these X, Y electrodes 23X, 23Y is set to 1
The pixels are arranged in a matrix composed of a large number of segments. The correction filter 21 is connected to a control device (not shown), and its operation is controlled by a program stored in the control device.

【0023】すなわち、非露光時には、X、Y電極23
X ,23Y のすべての電極素子に電圧を印加し、オン状
態にして光を遮断し、露光開始時にランプシャッター1
6を開くとともに、すべての電極素子をオフ状態にして
光源7からの放射光を透過させ、シャドウマスク6を介
してパネル4の内面に形成された蛍光面形成部材層20
を照射する。そしてあらかじめ設定された時間に達した
とき、制御装置に格納されているプログラムにしたがっ
て、X、Y電極23X ,23Y により構成される多数の
セグメントから選択された中央部のセグメントから順次
オン状態にして、上記蛍光面形成部材層20を照射する
放射光を順次中央部から遮断する。そして蛍光面形成部
材層20の周辺部が所定の露光光量に達したとき、ラン
プシャッター16を閉じるとともに、すべての電極素子
をオン状態にして光を遮断し、露光を終了する。
That is, at the time of non-exposure, the X and Y electrodes 23
A voltage is applied to all X and 23Y electrode elements to turn them on to block light, and the lamp shutter 1
6 is opened, all the electrode elements are turned off to allow the radiated light from the light source 7 to pass therethrough, and the phosphor screen forming member layer 20 formed on the inner surface of the panel 4 through the shadow mask 6
Irradiate. Then, when a preset time is reached, according to a program stored in the control device, the central segment selected from a large number of segments composed of the X and Y electrodes 23X and 23Y is sequentially turned on. The radiant light that irradiates the phosphor screen forming member layer 20 is sequentially blocked from the central portion. When the peripheral portion of the phosphor screen forming member layer 20 reaches a predetermined amount of exposure light, the lamp shutter 16 is closed and all the electrode elements are turned on to block the light, and the exposure is completed.

【0024】すなわち、上記のように液晶表示素子の各
セグメントの動作時間を制御すると、パネル4の内面の
蛍光面形成部材層20の各部位に対する露光光量が制御
され、パネル4の内面の全域に所定サイズの蛍光体層を
形成することができる。
That is, when the operating time of each segment of the liquid crystal display element is controlled as described above, the exposure light amount for each portion of the phosphor screen forming member layer 20 on the inner surface of the panel 4 is controlled, and the entire inner surface of the panel 4 is controlled. A phosphor layer having a predetermined size can be formed.

【0025】上記制御装置に格納されるプログラム、す
なわち液晶表示素子の各セグメントの動作時間は、つぎ
のように設定される。
The program stored in the control device, that is, the operating time of each segment of the liquid crystal display element is set as follows.

【0026】まず補正フィルター21を配置しない状態
で支持部14に位置決め支持されたパネル4の内面に対
する照度分布を測定する。そしてこの照度分布の測定に
より得られたパネル4の内面の各部位の照度をパネル4
の内面の中央部の照度で除算して100倍し、非補正配
光値を算出する。つぎに上記パネル4の内面の各部位の
所要配光値を求める。この所要配光値は、露光光量をパ
ラメータとして、実際にパネル4の内面に形成された蛍
光面形成部材層20を露光し、現像して蛍光体層を形成
し、その蛍光体層のサイズを測定することにより得られ
る。つぎにこのようにして得られる所要配光値を上記非
補正配光値で除算して、パネル4の内面の中央部に対す
る各部位の時間比率を求める。そこで、パネル4の内面
の中央部の露光時間を決定して、上記パネル4の内面の
各部位の時間比率にしたがって液晶表示素子の各セグメ
ントの動作時間を設定する。それによりパネル4の内面
の各部位に所要の露光光量を与えることができる。
First, the illuminance distribution on the inner surface of the panel 4 positioned and supported by the support portion 14 is measured without the correction filter 21 being arranged. Then, the illuminance of each part on the inner surface of the panel 4 obtained by the measurement of the illuminance distribution is measured by the panel 4
An uncorrected light distribution value is calculated by dividing by 100 times the illuminance of the central part of the inner surface of. Next, the required light distribution value of each part on the inner surface of the panel 4 is obtained. This required light distribution value is obtained by exposing and developing the phosphor screen forming member layer 20 actually formed on the inner surface of the panel 4 using the amount of exposure light as a parameter to form a phosphor layer, and determine the size of the phosphor layer. Obtained by measuring. Next, the required light distribution value thus obtained is divided by the non-corrected light distribution value to obtain the time ratio of each part to the central portion of the inner surface of the panel 4. Therefore, the exposure time of the central portion of the inner surface of the panel 4 is determined, and the operating time of each segment of the liquid crystal display element is set according to the time ratio of each portion of the inner surface of the panel 4. As a result, a desired amount of exposure light can be given to each part of the inner surface of the panel 4.

【0027】なお、上記実施例では、パネル4の内面の
各部位の露光光量を調整するために、液晶表示素子のセ
グメント単位で動作させる場合について説明したが、こ
の露光光量の調整は、液晶表示素子の複数個のセグメン
トを1ブロックとしてブロック単位で動作させても同様
の効果が得られる。
In the above embodiment, the case where the liquid crystal display element is operated in segment units in order to adjust the exposure light amount of each portion of the inner surface of the panel 4 has been described. The same effect can be obtained by operating a plurality of segments of the device as a block and operating in a block unit.

【0028】[0028]

【発明の効果】補正フィルターをマトリックス状に配列
された多数のセグメントからなる液晶表示素子で構成
し、この液晶表示素子の各セグメントの動作時間を制御
して蛍光面形成部材層の各部位に対する露光光量を調整
すると、パネル内面の蛍光面形成部材層の各部位の露光
光量を高精度に調整することができ、高品位の蛍光面を
形成することができる。また従来は、管種ごとに異なる
補正フィルターを必要とし、かつその補正フィルターを
上下左右に動かす機構およびその調整作業が必要であっ
たが、その補正フィルターを液晶表示素子で構成し、そ
のセグメントの動作を制御して、パネル内面の各部位の
露光光量を調整すると、1個の液晶表示素子で各管種に
必要なパネル内面の各部位の露光光量を最適に調整する
ことができる。
EFFECTS OF THE INVENTION The correction filter is composed of a liquid crystal display element consisting of a large number of segments arranged in a matrix, and the operating time of each segment of the liquid crystal display element is controlled to expose each part of the phosphor screen forming member layer. When the light amount is adjusted, the exposure light amount of each part of the phosphor screen forming member layer on the inner surface of the panel can be adjusted with high precision, and a high quality phosphor screen can be formed. In the past, a different correction filter was required for each tube type, and a mechanism for moving the correction filter vertically and horizontally and its adjustment work were required, but the correction filter was composed of a liquid crystal display element and By controlling the operation and adjusting the exposure light amount of each part on the inner surface of the panel, it is possible to optimally adjust the exposure light amount of each part on the inner surface of the panel required for each tube type with one liquid crystal display element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例に係る露光装置の構成を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2(a)および(b)はそれぞれその補正フ
ィルターとして用いられる液晶表示素子の構成を示す図
である。
FIG. 2A and FIG. 2B are diagrams showing a configuration of a liquid crystal display element used as a correction filter thereof.

【図3】図3(a)は3色蛍光体層がドットからなる蛍
光面の構成を示す平面図、図3(b)はそのb−b断面
図である。
FIG. 3 (a) is a plan view showing the structure of a phosphor screen in which a three-color phosphor layer is composed of dots, and FIG. 3 (b) is a bb sectional view thereof.

【図4】図4(a)は3色蛍光体層がストライプからな
る蛍光面の構成を示す平面図、図4(b)はそのb−b
断面図である。
FIG. 4 (a) is a plan view showing the structure of a phosphor screen in which a three-color phosphor layer is a stripe, and FIG. 4 (b) is its bb.
FIG.

【図5】図5(a)は3色蛍光体層がドットからなる光
吸収層を備える蛍光面の構成を示す平面図、図5(b)
はそのb−b断面図である。
FIG. 5 (a) is a plan view showing the structure of a phosphor screen including a light absorption layer formed of dots in a three-color phosphor layer, FIG. 5 (b).
Is a bb sectional view thereof.

【図6】図6(a)は3色蛍光体層がストライプからな
る光吸収層を備える蛍光面の構成を示す平面図、図6
(b)はそのb−b断面図である。
6 (a) is a plan view showing the structure of a phosphor screen including a light absorption layer in which a three-color phosphor layer is a stripe, FIG.
(B) is the bb sectional drawing.

【図7】図7(a)乃至(i)はそれぞれカラー受像管
の蛍光面形成方法を説明するための図である。
7 (a) to 7 (i) are views for explaining a phosphor screen forming method of a color picture tube.

【図8】従来の露光装置の構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a conventional exposure apparatus.

【図9】露光装置の補正フィルターの透過率分布を示す
図である。
FIG. 9 is a diagram showing a transmittance distribution of a correction filter of the exposure apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4…パネル 7…光源 20…蛍光面形成部材層 21…補正フィルター 22a ,22b …透明基板 23X …X電極 23Y …Y電極 4 ... Panel 7 ... Light source 20 ... Phosphor screen forming member layer 21 ... Correction filter 22a, 22b ... Transparent substrate 23X ... X electrode 23Y ... Y electrode

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カラー受像管のパネル内面に形成された
蛍光面形成部材層とこの蛍光面形成部材層を露光する光
源との間に上記蛍光面形成部材層の各部位に対する露光
光量を調整する補正フィルターを配置し、この補正フィ
ルターを介して上記蛍光面形成部材層を露光するカラー
受像管の蛍光面露光方法において、 上記補正フィルターをマトリックス状に配列された多数
のセグメントを有する液晶表示素子で構成し、この液晶
表示素子の各セグメントの動作時間を制御して上記蛍光
面形成部材層の各部位に対する露光光量を調整するよう
にしたことを特徴とするカラー受像管の蛍光面露光方
法。
1. An exposure light amount for each part of the phosphor screen forming member layer is adjusted between a phosphor screen forming member layer formed on the inner surface of the panel of the color picture tube and a light source for exposing the phosphor screen forming member layer. In a fluorescent screen exposure method of a color picture tube, in which a correction filter is arranged and the fluorescent screen forming member layer is exposed through the correction filter, the correction filter is a liquid crystal display device having a large number of segments arranged in a matrix. A method of exposing a fluorescent screen of a color picture tube, wherein the operating time of each segment of the liquid crystal display device is controlled to adjust the amount of exposure light to each site of the fluorescent screen forming member layer.
【請求項2】 内面に蛍光面形成部材層の形成されたパ
ネルを位置決め支持する支持部と、 この支持部に位置決め支持されたパネル内面の蛍光面形
成部材層を露光する光源と、 上記パネル内面の蛍光面形成部材層の各部位に対する露
光光量を調整するため、上記光源と上記支持部に位置決
め支持されたパネルとの間に配置されたマトリックス状
に配列された多数のセグメントを有する液晶表示素子か
らなる補正フィルターと、 上記液晶表示素子の各セグメントの動作時間を制御する
手段を有する液晶制御装置とを有することを特徴とする
カラー受像管の蛍光面露光装置。
2. A support part for positioning and supporting a panel having a phosphor screen forming member layer formed on the inner surface thereof, a light source for exposing the phosphor screen forming member layer on the inner surface of the panel positioned and supported by the supporting part, and the panel inner surface. A liquid crystal display device having a large number of segments arranged in a matrix arranged between the light source and a panel positioned and supported by the supporting part in order to adjust the amount of exposure light to each part of the phosphor screen forming member layer. And a liquid crystal control device having means for controlling the operation time of each segment of the liquid crystal display element, and a fluorescent screen exposure device for a color picture tube.
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