JPH06331673A - Ａｅセンサの検査装置 - Google Patents
Ａｅセンサの検査装置Info
- Publication number
- JPH06331673A JPH06331673A JP11730193A JP11730193A JPH06331673A JP H06331673 A JPH06331673 A JP H06331673A JP 11730193 A JP11730193 A JP 11730193A JP 11730193 A JP11730193 A JP 11730193A JP H06331673 A JPH06331673 A JP H06331673A
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- Japan
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- signal
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で的確にＡＥセンサを検査する。
【構成】 駆動パルス発生回路３０は負極性の駆動パル
ス列信号を導線Ｌ１を介してＡＥセンサ１０に付与し
て、ＡＥセンサ１０及び加圧パンチ２０を励振する。判
定回路４０は、アナログ比較器４３にて導線Ｌ１を介し
た応答信号の瞬時値とポテンショメータ４４から正の基
準電圧Ｖref を比較する。応答信号の瞬時値が基準電圧
Ｖref を越えたとき、アナログ比較器４３はパルス信号
をカウンタ４５に供給し、同カウンタ４５はこのパルス
信号数をカウントする。ディジタル比較器４６はこのカ
ウント値と所定値とを比較し、表示器４７は、この比較
結果に基づいて、カウント値が所定値を越えたときＡＥ
センサ１０の正常を表示し、カウント値が所定値以下の
ときＡＥセンサ１０の異常を表示する。これにより、加
振用のＡＥセンサを別途設けることなく、ＡＥセンサ１
０の良否を判定できる。
ス列信号を導線Ｌ１を介してＡＥセンサ１０に付与し
て、ＡＥセンサ１０及び加圧パンチ２０を励振する。判
定回路４０は、アナログ比較器４３にて導線Ｌ１を介し
た応答信号の瞬時値とポテンショメータ４４から正の基
準電圧Ｖref を比較する。応答信号の瞬時値が基準電圧
Ｖref を越えたとき、アナログ比較器４３はパルス信号
をカウンタ４５に供給し、同カウンタ４５はこのパルス
信号数をカウントする。ディジタル比較器４６はこのカ
ウント値と所定値とを比較し、表示器４７は、この比較
結果に基づいて、カウント値が所定値を越えたときＡＥ
センサ１０の正常を表示し、カウント値が所定値以下の
ときＡＥセンサ１０の異常を表示する。これにより、加
振用のＡＥセンサを別途設けることなく、ＡＥセンサ１
０の良否を判定できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体に固定されて同固
体を伝播する振動を検出するためのＡＥセンサ（Acoust
ic Emission Sensor）の良否を検査するＡＥセンサの検
査装置に関する。
体を伝播する振動を検出するためのＡＥセンサ（Acoust
ic Emission Sensor）の良否を検査するＡＥセンサの検
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置は、例えば特開昭６
２−２５１６５８号公報に示されているように、固体を
伝播する振動を検出するための検出用ＡＥセンサと対向
する位置にて加振用ＡＥセンサを固体に固定し、加振用
ＡＥセンサに駆動パルス列信号を供給して同加振用ＡＥ
センサを励振させ、同励振によって固定を伝播する振動
を検出用ＡＥセンサで電気信号に変換して、同電気信号
の振幅、カウント数、イベント数、立ち上がり時間など
に基づいて検出用ＡＥセンサの良否を判定するようにし
ている。
２−２５１６５８号公報に示されているように、固体を
伝播する振動を検出するための検出用ＡＥセンサと対向
する位置にて加振用ＡＥセンサを固体に固定し、加振用
ＡＥセンサに駆動パルス列信号を供給して同加振用ＡＥ
センサを励振させ、同励振によって固定を伝播する振動
を検出用ＡＥセンサで電気信号に変換して、同電気信号
の振幅、カウント数、イベント数、立ち上がり時間など
に基づいて検出用ＡＥセンサの良否を判定するようにし
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置にあっては、加振用ＡＥセンサの取り付け方法、取り
付け位置などの相違によって変換された電気信号の特性
が変化するので、同信号の振幅、カウント数、イベント
数、立ち上がり時間などにばらつきが生じ、検出用ＡＥ
センサの良否を的確に判定することができなかった。本
発明は上記問題に対処するためになされたもので、その
目的は簡単な構成で的確に検出用のＡＥセンサの良否を
判定できるＡＥセンサの検査装置を提供することにあ
る。
置にあっては、加振用ＡＥセンサの取り付け方法、取り
付け位置などの相違によって変換された電気信号の特性
が変化するので、同信号の振幅、カウント数、イベント
数、立ち上がり時間などにばらつきが生じ、検出用ＡＥ
センサの良否を的確に判定することができなかった。本
発明は上記問題に対処するためになされたもので、その
目的は簡単な構成で的確に検出用のＡＥセンサの良否を
判定できるＡＥセンサの検査装置を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成上の特徴は、ＡＥセンサに接続されて
正負一方の極性を有する駆動パルス列信号を発生して同
ＡＥセンサに供給する駆動パルス発生回路と、ＡＥセン
サに接続されて同ＡＥセンサからの応答信号のうちの正
負の他方の極性の信号に基づいてＡＥセンサの良否を判
定する判定回路とを備えたことにある。
に、本発明の構成上の特徴は、ＡＥセンサに接続されて
正負一方の極性を有する駆動パルス列信号を発生して同
ＡＥセンサに供給する駆動パルス発生回路と、ＡＥセン
サに接続されて同ＡＥセンサからの応答信号のうちの正
負の他方の極性の信号に基づいてＡＥセンサの良否を判
定する判定回路とを備えたことにある。
【０００５】
【発明の作用・効果】上記のように構成した本発明にお
いては、駆動パルス発生回路が正（又は負）の極性の駆
動パルス列信号を発生すると、ＡＥセンサ及び固体が前
記駆動パルス列信号によって励振される。この励振によ
り、ＡＥセンサは正負に変化する応答信号を発生し、判
定回路が前記応答信号のうちの負（又は正）の極性の信
号に基づいてＡＥセンサの良否を判定する。このよう
に、本発明によれば、固体を伝播する振動を検出するた
めのＡＥセンサに駆動パルス列信号を付与するとともに
同センサからの応答信号でＡＥセンサの良否を判定する
ので、前記従来装置のように加振用のＡＥセンサの取り
付けに起因する応答信号のばらつきがなくなり、ＡＥセ
ンサの良否が常に的確に判定されるようになる。また、
本発明によれば、加振用ＡＥセンサのような格別のＡＥ
センサを必要としないので、装置全体を簡単に構成でき
る。
いては、駆動パルス発生回路が正（又は負）の極性の駆
動パルス列信号を発生すると、ＡＥセンサ及び固体が前
記駆動パルス列信号によって励振される。この励振によ
り、ＡＥセンサは正負に変化する応答信号を発生し、判
定回路が前記応答信号のうちの負（又は正）の極性の信
号に基づいてＡＥセンサの良否を判定する。このよう
に、本発明によれば、固体を伝播する振動を検出するた
めのＡＥセンサに駆動パルス列信号を付与するとともに
同センサからの応答信号でＡＥセンサの良否を判定する
ので、前記従来装置のように加振用のＡＥセンサの取り
付けに起因する応答信号のばらつきがなくなり、ＡＥセ
ンサの良否が常に的確に判定されるようになる。また、
本発明によれば、加振用ＡＥセンサのような格別のＡＥ
センサを必要としないので、装置全体を簡単に構成でき
る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
すると、図１は同実施例に係るＡＥセンサ１０の検査装
置の全体をブロック図により示している。
すると、図１は同実施例に係るＡＥセンサ１０の検査装
置の全体をブロック図により示している。
【０００７】ＡＥセンサ１０は圧電素子により構成され
ていて、本発明における振動を伝播する固体としての加
圧パンチ２０の上面に密着性を良くするためにグリース
１１を介して取り付けられている。加圧パンチ２０は図
示しないワークを加圧固定するもので、通常の使用状態
では、ＡＥセンサ１０はワークの破壊の有無を加圧パン
チ２０を介して伝播される超音波により検出するもので
ある。
ていて、本発明における振動を伝播する固体としての加
圧パンチ２０の上面に密着性を良くするためにグリース
１１を介して取り付けられている。加圧パンチ２０は図
示しないワークを加圧固定するもので、通常の使用状態
では、ＡＥセンサ１０はワークの破壊の有無を加圧パン
チ２０を介して伝播される超音波により検出するもので
ある。
【０００８】検査装置は、共に導線Ｌ１を介してＡＥセ
ンサ１０に接続された駆動パルス発生回路３０及び判定
回路４０を備えている。駆動パルス発生回路３０はパル
ス発振器３１及びドライブアンプ３２からなり、パルス
発振器３１は、ワンショット回路５１から出力されるパ
ルス信号がハイレベルにある間、負極性の駆動パルス列
信号を出力する。駆動パルス列信号のパルス幅は例えば
１０μｓ程度に設定され、その周期は例えば１００ｍｓ
程度に設定されている。ドライブアンプ３２はパルス発
振器３１からの駆動パルス列信号を増幅してＡＥセンサ
１０に出力する。ワンショット回路５１はスタートスイ
ッチ５２のオン動作に同期して立ち上がり、所定時間
（例えば、数１００ｍｓ〜数ｓに設定）だけハイレベル
を維持した後にローレベルに変化するパルス信号を出力
する。
ンサ１０に接続された駆動パルス発生回路３０及び判定
回路４０を備えている。駆動パルス発生回路３０はパル
ス発振器３１及びドライブアンプ３２からなり、パルス
発振器３１は、ワンショット回路５１から出力されるパ
ルス信号がハイレベルにある間、負極性の駆動パルス列
信号を出力する。駆動パルス列信号のパルス幅は例えば
１０μｓ程度に設定され、その周期は例えば１００ｍｓ
程度に設定されている。ドライブアンプ３２はパルス発
振器３１からの駆動パルス列信号を増幅してＡＥセンサ
１０に出力する。ワンショット回路５１はスタートスイ
ッチ５２のオン動作に同期して立ち上がり、所定時間
（例えば、数１００ｍｓ〜数ｓに設定）だけハイレベル
を維持した後にローレベルに変化するパルス信号を出力
する。
【０００９】判定回路４０は、順方向のダイオード４１
及びアンプ４２を介して導線Ｌ１に正側入力を接続して
なるアナログ比較器４３を備えている。アナログ比較器
４３の負側入力は正の基準電圧Ｖref を発生するポテン
ショメータ４４に接続されており、同比較器４３はアン
プ４２からの電圧が基準電圧Ｖref を越えたときパルス
信号を発生する。アナログ比較器４３の出力はカウンタ
４５のクロック入力に接続されており、カウンタ４５は
ワンショット回路５１からのパルス信号の立ち上がりに
同期してリセットされてアナログ比較器４３からのパル
ス信号によりそのカウント値をカウントアップさせる。
カウンタ４５の出力はディジタル比較器４６に接続され
ており、同比較器４６はワンショット回路５１からのパ
ルス信号の立ち下がり時にカウンタ４５の出力値と所定
値とを比較して比較結果を表示器４７に出力する。表示
器４７は、前記比較結果に基づいて、カウンタ４５の出
力値が所定値より大きいときＡＥセンサ１０が正常であ
ることを表示し、それ以外のときＡＥセンサ１０が異常
であることを表示する。
及びアンプ４２を介して導線Ｌ１に正側入力を接続して
なるアナログ比較器４３を備えている。アナログ比較器
４３の負側入力は正の基準電圧Ｖref を発生するポテン
ショメータ４４に接続されており、同比較器４３はアン
プ４２からの電圧が基準電圧Ｖref を越えたときパルス
信号を発生する。アナログ比較器４３の出力はカウンタ
４５のクロック入力に接続されており、カウンタ４５は
ワンショット回路５１からのパルス信号の立ち上がりに
同期してリセットされてアナログ比較器４３からのパル
ス信号によりそのカウント値をカウントアップさせる。
カウンタ４５の出力はディジタル比較器４６に接続され
ており、同比較器４６はワンショット回路５１からのパ
ルス信号の立ち下がり時にカウンタ４５の出力値と所定
値とを比較して比較結果を表示器４７に出力する。表示
器４７は、前記比較結果に基づいて、カウンタ４５の出
力値が所定値より大きいときＡＥセンサ１０が正常であ
ることを表示し、それ以外のときＡＥセンサ１０が異常
であることを表示する。
【００１０】次に、上記のように構成した実施例の動作
を説明する。スタートスイッチ５２が操作されると、ワ
ンショット回路５１は所定幅のパルス信号を発生し、パ
ルス発振器３１は前記パルス信号がハイレベルにある期
間に渡って図２に示すような負極性の駆動パルス列信号
をドライブアンプ３２を介してＡＥセンサ１０に出力す
る。これにより、ＡＥセンサ１０及び加圧パンチ２０は
前記各駆動パルス信号により励振され、同センサ１０は
この励振に対する応答信号として図２に示すような正負
に振動する振動波形信号を出力する。この振動波形信号
の正の部分のみがダイオード４１を通してアンプ４２に
供給され、同アンプ４２はこの振動波形信号を増幅して
比較器４３に供給する。比較器４３は、振動波形信号の
瞬時値が基準電圧Ｖref を越える毎にパルス信号をカウ
ンタ４５に出力する。カウンタ４５はスタートスイッチ
５２の操作時に「０」にリセットされているので、ワン
ショット回路５１から出力されるパルス信号がハイレベ
ルにある間のアナログ比較器４３からのパルス信号数を
カウントして出力し、ディジタル比較器４６は前記パル
ス信号数を表すカウント値と所定値とを比較して比較結
果を表示器４７に出力する。
を説明する。スタートスイッチ５２が操作されると、ワ
ンショット回路５１は所定幅のパルス信号を発生し、パ
ルス発振器３１は前記パルス信号がハイレベルにある期
間に渡って図２に示すような負極性の駆動パルス列信号
をドライブアンプ３２を介してＡＥセンサ１０に出力す
る。これにより、ＡＥセンサ１０及び加圧パンチ２０は
前記各駆動パルス信号により励振され、同センサ１０は
この励振に対する応答信号として図２に示すような正負
に振動する振動波形信号を出力する。この振動波形信号
の正の部分のみがダイオード４１を通してアンプ４２に
供給され、同アンプ４２はこの振動波形信号を増幅して
比較器４３に供給する。比較器４３は、振動波形信号の
瞬時値が基準電圧Ｖref を越える毎にパルス信号をカウ
ンタ４５に出力する。カウンタ４５はスタートスイッチ
５２の操作時に「０」にリセットされているので、ワン
ショット回路５１から出力されるパルス信号がハイレベ
ルにある間のアナログ比較器４３からのパルス信号数を
カウントして出力し、ディジタル比較器４６は前記パル
ス信号数を表すカウント値と所定値とを比較して比較結
果を表示器４７に出力する。
【００１１】ＡＥセンサ１０が正常であって適正な応答
信号を出力していれば、同信号の瞬時値は所定回数より
多く基準電圧Ｖref を越える。したがって、この場合に
は、前記比較されるカウント値は所定値より大きくなる
ので、表示器４７はＡＥセンサ１０が正常である旨を表
示する。一方、ＡＥセンサ１０に異常が発生していて不
適正な応答信号しか出力されていなければ、同信号の瞬
時値が基準電圧Ｖrefを越える回数は所定値以下とな
る。したがって、この場合には、前記比較されるカウン
ト値は所定値以下となるので、表示器４７はＡＥセンサ
が異常である旨を表示する。
信号を出力していれば、同信号の瞬時値は所定回数より
多く基準電圧Ｖref を越える。したがって、この場合に
は、前記比較されるカウント値は所定値より大きくなる
ので、表示器４７はＡＥセンサ１０が正常である旨を表
示する。一方、ＡＥセンサ１０に異常が発生していて不
適正な応答信号しか出力されていなければ、同信号の瞬
時値が基準電圧Ｖrefを越える回数は所定値以下とな
る。したがって、この場合には、前記比較されるカウン
ト値は所定値以下となるので、表示器４７はＡＥセンサ
が異常である旨を表示する。
【００１２】上記作動説明からも理解できるとおり、上
記実施例によれば、ＡＥセンサ１０に負極性の駆動パル
ス列信号を付与するとともに同センサ１０からの正極性
の応答信号に基づいて同センサ１０の良否を判定して、
加振用のＡＥセンサを格別に設けなくてもＡＥセンサ１
０を検査できるようにしたので、加振用のＡＥセンサの
取り付けに起因する応答信号のばらつきの問題も解消さ
れて的確にＡＥセンサ１０の良否が検査される。また、
加振用のＡＥセンサを省略したので、検査装置全体の構
成が簡単になる。
記実施例によれば、ＡＥセンサ１０に負極性の駆動パル
ス列信号を付与するとともに同センサ１０からの正極性
の応答信号に基づいて同センサ１０の良否を判定して、
加振用のＡＥセンサを格別に設けなくてもＡＥセンサ１
０を検査できるようにしたので、加振用のＡＥセンサの
取り付けに起因する応答信号のばらつきの問題も解消さ
れて的確にＡＥセンサ１０の良否が検査される。また、
加振用のＡＥセンサを省略したので、検査装置全体の構
成が簡単になる。
【００１３】なお、上記実施例においては、負極性の駆
動パルス列信号をＡＥセンサ１０に付与するとともに同
センサ１０からの正極性の応答信号に基づいて同センサ
１０の良否を判定するようにしたが、これとは逆に、正
極性の駆動パルス列信号をＡＥセンサ１０に付与すると
ともに同センサ１０からの負極性の応答信号に基づいて
同センサ１０の良否を判定するようにしてもよい。この
場合、パルス発振器３１は正極性の駆動パルス列信号を
発生し、ダイオード４１を逆方向に接続し、かつアナロ
グ比較器４３はアンプ４２からの信号を負側入力にて入
力するとともに正側入力に負の基準電圧−Ｖref を入力
するようにすればよい。
動パルス列信号をＡＥセンサ１０に付与するとともに同
センサ１０からの正極性の応答信号に基づいて同センサ
１０の良否を判定するようにしたが、これとは逆に、正
極性の駆動パルス列信号をＡＥセンサ１０に付与すると
ともに同センサ１０からの負極性の応答信号に基づいて
同センサ１０の良否を判定するようにしてもよい。この
場合、パルス発振器３１は正極性の駆動パルス列信号を
発生し、ダイオード４１を逆方向に接続し、かつアナロ
グ比較器４３はアンプ４２からの信号を負側入力にて入
力するとともに正側入力に負の基準電圧−Ｖref を入力
するようにすればよい。
【００１４】また、上記実施例においては、応答信号が
基準電圧Ｖref を越えた回数によりＡＥセンサ１０の良
否を検査するようにしたが、応答信号の振幅、イベント
数、立ち上がり時間などを考慮してＡＥセンサ１０の良
否を検査するようにしてもよい。
基準電圧Ｖref を越えた回数によりＡＥセンサ１０の良
否を検査するようにしたが、応答信号の振幅、イベント
数、立ち上がり時間などを考慮してＡＥセンサ１０の良
否を検査するようにしてもよい。
【図１】 本発明の一実施例を示すＡＥセンサの検査装
置のブロック図である。
置のブロック図である。
【図２】 前記ブロック図の各部の信号波形図である。
１０…ＡＥセンサ、２０…加圧パンチ、３０…駆動パル
ス発生回路、３１…パルス発振器、４０…判定回路、４
３…アナログ比較器、４４…ポテンショメータ、４５…
カウンタ、４６…ディジタル比較器、４７…表示器。
ス発生回路、３１…パルス発振器、４０…判定回路、４
３…アナログ比較器、４４…ポテンショメータ、４５…
カウンタ、４６…ディジタル比較器、４７…表示器。
Claims (1)
- 【請求項１】 固体に固定されて同固体を伝播する振動
を検出するためのＡＥセンサの検査装置において、前記
ＡＥセンサに接続されて正負一方の極性を有する駆動パ
ルス列信号を発生して同ＡＥセンサに供給する駆動パル
ス発生回路と、前記ＡＥセンサに接続されて同ＡＥセン
サからの応答信号のうちの正負の他方の極性の信号に基
づいてＡＥセンサの良否を判定する判定回路とを備えた
ことを特徴とするＡＥセンサの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05117301A JP3089893B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | Ａｅセンサの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05117301A JP3089893B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | Ａｅセンサの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331673A true JPH06331673A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3089893B2 JP3089893B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=14708369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05117301A Expired - Fee Related JP3089893B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | Ａｅセンサの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3089893B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007080692A1 (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Aeセンサ及びaeセンサの動作状態確認方法 |
| CN110261480A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-09-20 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种快速测试压电材料声发射响应性能的系统及方法 |
| CN114025938A (zh) * | 2019-07-02 | 2022-02-08 | 芝浦机械株式会社 | 挤压成形机的异常检测装置 |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP05117301A patent/JP3089893B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007080692A1 (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Aeセンサ及びaeセンサの動作状態確認方法 |
| JPWO2007080692A1 (ja) * | 2006-01-12 | 2009-06-11 | 株式会社東京精密 | Ａｅセンサ及びａｅセンサの動作状態確認方法 |
| CN114025938A (zh) * | 2019-07-02 | 2022-02-08 | 芝浦机械株式会社 | 挤压成形机的异常检测装置 |
| CN114025938B (zh) * | 2019-07-02 | 2023-09-19 | 芝浦机械株式会社 | 挤压成形机的异常检测装置 |
| CN110261480A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-09-20 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种快速测试压电材料声发射响应性能的系统及方法 |
| CN110261480B (zh) * | 2019-07-16 | 2024-03-12 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种快速测试压电材料声发射响应性能的系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3089893B2 (ja) | 2000-09-18 |
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