JPH06314548A - X-ray image tube - Google Patents
X-ray image tubeInfo
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- JPH06314548A JPH06314548A JP10469193A JP10469193A JPH06314548A JP H06314548 A JPH06314548 A JP H06314548A JP 10469193 A JP10469193 A JP 10469193A JP 10469193 A JP10469193 A JP 10469193A JP H06314548 A JPH06314548 A JP H06314548A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線像を光学像に変換
するＸ線イメージ管に関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an X-ray image tube for converting an X-ray image into an optical image.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、Ｘ線イメージ管（Ｘ線イメージ
インテンシファイアーなど）は、図４に示すように、真
空外囲器１１０内に入力窓１２０，入力面１３０，集束
電極１４０，陽極１５０，および出力蛍光面１６０等を
備え（同図（ａ））、入力面１３０は入力基板１３０ａ
上に入力蛍光面１３０ｂおよび光電変換面１３０ｃが形
成された構造（同図（ｂ））を持つ。真空外囲器１１０
のガラス窓から入射された像は入力面１３０で電子ビー
ムに変換され、集束電極１４０等による電子レンズ系に
よって加速集束され出力蛍光面１６０に衝突し可視光像
に変換される。2. Description of the Related Art Generally, an X-ray image tube (such as an X-ray image intensifier) has an input window 120, an input surface 130, a focusing electrode 140, and an anode 150 in a vacuum envelope 110 as shown in FIG. , And an output phosphor screen 160 and the like ((a) in the figure), the input surface 130 is an input substrate 130a.
It has a structure in which an input phosphor screen 130b and a photoelectric conversion surface 130c are formed on the top (FIG. 2B). Vacuum envelope 110
The image incident from the glass window is converted into an electron beam on the input surface 130, is accelerated and focused by the electron lens system including the focusing electrode 140, collides with the output fluorescent surface 160, and is converted into a visible light image.
【０００３】ところで、一般的に、前述した入力窓と入
力基板が金属材料例えばアルミニウムで構成されている
ので、例えば医療用などのＸ線（７０ｋＶｐ以上）には
適しているが軟Ｘ線，低エネルギーγ線の場合には入力
窓と入力基板での透過特性が悪くなり十分な画像情報が
得られないという問題がある。By the way, since the input window and the input substrate are generally made of a metal material such as aluminum, they are suitable for X-rays (70 kVp or more) for medical use, but soft X-rays and low X-rays. In the case of energy γ rays, there is a problem in that the transmission characteristics at the input window and the input substrate become poor and sufficient image information cannot be obtained.
【０００４】これを解決するために、「実開平１−１７
６３５６」には、ガラスに代ってより軟Ｘ線の透過性が
よいベリリウムで入力面１３０を構成し、軟Ｘ線用のイ
メージインテンシファイアとし得る旨の示唆がある。ま
た、「実公平１−２５４１２」「特開平３−２８３２４
２」にあるように、炭素繊維を含む複号材料で構成し、
軟Ｘ線用としたものもある。In order to solve this, "Actual Kaihei 1-17
6356 ”suggests that instead of glass, the input surface 130 may be made of beryllium, which is more transparent to soft X-rays, and may be used as an image intensifier for soft X-rays. In addition, "Actual fairness 1-25412" and "JP-A-3-28324"
2 ”, it is composed of compound material containing carbon fiber,
Some are for soft X-rays.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線イメージ管は、医
療用、軟Ｘ線工業用非破壊検査などに用いられ、人間の
目では見ることのできないものを視覚化して観察できる
ようにしたものである。したがって、Ｘ線イメージ管で
得られる可視光像はより解像度が高いものが望ましい。
しかし、入力窓の部分を上記材料を用いれば、軟Ｘ線に
感度を持たせ得るであろうが、必ずしも良い解像度を得
られるとは限らない。特に、イメージインテンシファイ
ア内部にマイクロチャンネルプレートを設けると、分解
能や画質の面で限界がある。The X-ray image tube is used for non-destructive inspection for medical use, soft X-ray industry, and the like, and enables visual observation of things that cannot be seen by human eyes. Is. Therefore, it is desirable that the visible light image obtained by the X-ray image tube has a higher resolution.
However, if the material of the input window is made of the above material, it may be possible to make the soft X-ray sensitive, but it is not always possible to obtain good resolution. In particular, if a microchannel plate is provided inside the image intensifier, there is a limit in terms of resolution and image quality.
【０００６】そこで、本発明は、より解像度の良いＸ線
イメージ管を提供することをその目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide an X-ray image tube having a higher resolution.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のＸ線イメージ管は、蛍光体層及び光電変換
層で構成されＸ線像に応じた光電子に生成する入力面
と、光電子を電子光学的に偏向する電子レンズ系と、偏
向された光電子を光学像に変換する蛍光面とをその内部
が真空にされた外囲器内に有し、Ｘ線像を光学像に変換
するＸ線イメージ管において、入力面は、外囲器のＸ線
像の入力窓の内側に薄膜状に直接形成され、外囲器の入
力窓の部分は、２以上の曲率半径の曲面にてベリリウム
で形成されていることを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, an X-ray image tube of the present invention comprises an input surface for generating photoelectrons according to an X-ray image, which is composed of a phosphor layer and a photoelectric conversion layer. An electron lens system for electro-optically deflecting photoelectrons and a fluorescent screen for converting the deflected photoelectrons into an optical image are provided in an envelope whose inside is evacuated, and an X-ray image is converted into an optical image. In the X-ray image tube, the input surface is directly formed into a thin film inside the X-ray image input window of the envelope, and the input window portion of the envelope is a curved surface having a radius of curvature of 2 or more. It is characterized by being formed of beryllium.
【０００８】また、入力面の表面には、細かい凸凹が形
成されていることを特徴としても良い。Further, it may be characterized in that fine irregularities are formed on the surface of the input surface.
【０００９】具体的には、入力面が６インチの有効径な
らば、入力面が形成された部分の曲面は、その中心軸上
の点を中心として誤差±５％で１６０．５ｍｍ及び１０
０ｍｍの曲率半径で形成されていることを特徴としても
良い。或いは、入力面が９インチの有効径ならば、入力
面が形成された部分の曲面は、その中心軸上の点を中心
として誤差±５％で１７４．５ｍｍ、２４９．５ｍｍ及
び１５４．５ｍｍの曲率半径で形成されているのがのぞ
ましい。Specifically, if the input surface has an effective diameter of 6 inches, the curved surface of the portion where the input surface is formed is 160.5 mm and 10 with an error of ± 5% around the point on the central axis.
It may be characterized in that it is formed with a radius of curvature of 0 mm. Alternatively, if the input surface has an effective diameter of 9 inches, the curved surface of the part where the input surface is formed has an error of ± 5% with respect to a point on the central axis of 174.5 mm, 249.5 mm and 154.5 mm. It is desirable that it is formed with a radius of curvature.
【００１０】蛍光面は、外囲器の出力窓の内面に直接形
成されていることを特徴としても良い。The phosphor screen may be directly formed on the inner surface of the output window of the envelope.
【００１１】[0011]
【作用】本発明のＸ線イメージ管では、入力面へのＸ線
像により蛍光体層で蛍光を発し、これが光電変換層の光
電変換で光電子となって入力面から飛び出す。この光電
子は電子レンズ系で偏向され、電子光学的に蛍光面にＸ
線像に対応した電子像を結像する。この電子像が蛍光面
の蛍光体により光学像に変換されることによって、Ｘ線
像を変換した光学像がえられる。ここで、入力面が外囲
器の入力窓の内側に薄膜状に直接形成され、入力窓の部
分がベリリウムで形成されていることから、入射したＸ
線の減衰が少なく、入力面で光電子に変換される効率が
高くなるので、蛍光体層を薄く形成することができ、微
細にＸ線像−電子像の変換をなし得るようになる。入力
面の表面に細かい凸凹が形成されている場合は、より変
換効率が良くなる。In the X-ray image tube of the present invention, an X-ray image on the input surface causes fluorescence in the phosphor layer, which is converted into photoelectrons by photoelectric conversion in the photoelectric conversion layer and jumps out from the input surface. This photoelectron is deflected by the electron lens system and is electro-optically X-rayed on the fluorescent screen.
An electronic image corresponding to the line image is formed. This electron image is converted into an optical image by the phosphor on the phosphor screen, whereby an optical image obtained by converting the X-ray image is obtained. Here, since the input surface is directly formed in a thin film inside the input window of the envelope, and the portion of the input window is made of beryllium, the incident X
Since the line attenuation is small and the efficiency of conversion into photoelectrons on the input surface is high, the phosphor layer can be thinly formed, and the X-ray image-electron image can be finely converted. If the surface of the input surface is formed with fine irregularities, the conversion efficiency is further improved.
【００１２】また、入力面が形成された部分が２以上の
曲率半径の曲面にて形成されていることから、最適な電
子軌道をとることができるので、光電子による電子像の
解像度の低下が抑えられ、良好な電子像を蛍光面に結像
させることができる。そのため、解像度の高い良好な光
学像を得ることができる。Further, since the portion on which the input surface is formed is formed by a curved surface having a radius of curvature of 2 or more, an optimum electron orbit can be taken, so that deterioration of resolution of an electron image due to photoelectrons can be suppressed. Therefore, a good electronic image can be formed on the fluorescent screen. Therefore, a good optical image with high resolution can be obtained.
【００１３】具体的な例として、入力面の有効径が上記
値であれば、上記曲率半径の曲面で形成されていれば良
い。また、この形状等をとることによって、外囲器の内
外の圧力差で入力面が変形するのも抑えられる。また、
蛍光面が外囲器の出力側の内面に直接形成されている場
合は、より簡素な構成の上記Ｘ線イメージ管を得ること
ができる。As a concrete example, if the effective diameter of the input surface is the above value, it may be formed by a curved surface having the above radius of curvature. Further, by adopting this shape or the like, it is possible to suppress the deformation of the input surface due to the pressure difference between the inside and the outside of the envelope. Also,
When the fluorescent screen is directly formed on the output-side inner surface of the envelope, the X-ray image tube having a simpler configuration can be obtained.
【００１４】[0014]
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１は、本発明のＸ線イメージ管の構成を示したもので
ある。このＸ線イメージ管は、真空外囲器１１０内に入
力面１３０、収束電極Ｇ1 ，Ｇ2 ，Ｇ3 、陽極１５０、
および出力蛍光面１６０を有し、軸対称の構造となって
いる。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows the construction of the X-ray image tube of the present invention. This X-ray image tube includes an input surface 130, focusing electrodes G 1 , G 2 and G 3 , an anode 150 in a vacuum envelope 110,
It has an output phosphor screen 160 and has an axially symmetrical structure.
【００１５】真空外囲器１１０は、ガラス製の外枠１１
０ａ，入力窓１１０ｂ，出力窓１１０ｃで構成される。
真空外囲器１１０の出力側をなす出力窓の面板１１０ｃ
内面には、蛍光面１６０が直接形成されている。これに
よって構成を簡素化している。また、収束電極Ｇ1 がバ
ルブ内壁に金属を蒸着して形成されている。The vacuum envelope 110 is an outer frame 11 made of glass.
0a, an input window 110b, and an output window 110c.
Face plate 110c of the output window forming the output side of the vacuum envelope 110
A fluorescent screen 160 is directly formed on the inner surface. This simplifies the configuration. Further, the focusing electrode G 1 is formed by depositing metal on the inner wall of the bulb.
【００１６】入力窓１１０ｂは、軽金属（ベリリウム）
で構成され、その内面には、入力面１３０が形成されて
いる。この入力面１３０は、蛍光体の層１３０ｂおよび
光電変換の層１３０ｃで形成される。入力窓１１０ｂ
は、２以上の曲率半径を持つ球面をなし、電子軌道が最
適になるような球面形状としている。また、入力窓１１
０ｂは、その内面が細かな凹凸形状となっており、これ
によって蛍光体層１３０ｂの入力蛍光体の初期の結晶性
が良好なものになり、蛍光体層１３０ｂの厚さを薄くし
ている。とくに、軟Ｘ線，低エネルギーγ線の検出の場
合、従来の医療用などの硬Ｘ線の検出に比べ、蛍光体層
１３０ｂの厚さを薄くすることができ、より高分解能が
実現できるようになる。The input window 110b is a light metal (beryllium).
And an input surface 130 is formed on the inner surface thereof. The input surface 130 is formed of a phosphor layer 130b and a photoelectric conversion layer 130c. Input window 110b
Is a spherical surface having a radius of curvature of 2 or more, and has a spherical shape that optimizes the electron orbit. Also, the input window 11
The inner surface of 0b has a fine uneven shape, which improves the initial crystallinity of the input phosphor of the phosphor layer 130b and reduces the thickness of the phosphor layer 130b. In particular, in the case of detecting soft X-rays and low-energy γ-rays, the thickness of the phosphor layer 130b can be made thinner, and higher resolution can be realized, as compared with conventional detection of hard X-rays for medical use. become.
【００１７】収束電極Ｇ1 ，Ｇ2 ，Ｇ3 陽極１５０は、
高電圧が印加されており、この高電圧によって電位分布
（電界強度分布）が形成される。また、光電変換の層１
３０ｃ（カソードＫ）、出力蛍光面１６０にも電圧がか
けられ、こうして入力窓１１０ｂ，出力窓１１０ｃの間
で電子レンズ系を構成する。The focusing electrodes G 1 , G 2 and G 3 anode 150 are
A high voltage is applied, and this high voltage forms a potential distribution (electric field strength distribution). Also, the photoelectric conversion layer 1
A voltage is also applied to 30c (cathode K) and the output phosphor screen 160, thus forming an electron lens system between the input window 110b and the output window 110c.
【００１８】図２は、入力面１３０の有効径を６インチ
（φ＝１５３mm（範囲１４５〜１６１））とした場合の
具体的形状を示したものであり、±５％の寸法誤差とな
っている。単位をｍｍとすれば、Ｌ＝２３１．５（範囲
２２０〜２４３），Ｒ１＝１６０．５（範囲１５２〜１
６９），Ｒ２＝１００（範囲９５〜１０５），ｔ＝１．
０（範囲０．５〜１．５），ｌ1 ＝１４３．５（範囲１
３６〜１５１）、ｌ2＝１７２．０（範囲１６３〜１８
１）、ｌ3 ＝２０９（範囲１９８〜２２０）の設定値
（括弧内は範囲）としている。またカソードＫを基準電
圧０Ｖとすると、集束電極Ｇ1 には１７０〜２５０Ｖ、
Ｇ2 には５５０〜７５０Ｖ、Ｇ3 には２〜３ｋＶ、陽極
（アノード）１５０には２５〜３０ｋＶ、出力蛍光面１
６０には２５〜３０ｋＶの電圧を与える。FIG. 2 shows a concrete shape when the effective diameter of the input surface 130 is 6 inches (φ = 153 mm (range 145 to 161)), and a dimensional error of ± 5% occurs. There is. If the unit is mm, L = 231.5 (range 220 to 243), R1 = 160.5 (range 152 to 1)
69), R2 = 100 (range 95 to 105), t = 1.
0 (range 0.5 to 1.5), l 1 = 143.5 (range 1
36-151), l 2 = 172.0 (range 163-18)
1), l 3 = 209 (range 198 to 220) is set (range in parentheses). If the reference voltage of the cathode K is 0V, 170 to 250V is applied to the focusing electrode G 1 .
550 to 750 V for G 2 , 2-3 kV for G 3 , 25 to 30 kV for anode (anode) 150, output phosphor screen 1
A voltage of 25 to 30 kV is applied to 60.
【００１９】入力窓１１０ｂへのＸ線が入射し、入力窓
１１０ｂを透過して入力面１３０に達すると、このＸ線
により入力面１３０の蛍光体層１３０ｂが蛍光を発し、
これが光電変換層１３０ｃで光電変換され、光電子とな
って飛び出す。すなわち入力窓１１０ｂでＸ線像に対応
した光電子の像になる。When X-rays enter the input window 110b, pass through the input window 110b and reach the input surface 130, the X-rays cause the phosphor layer 130b of the input surface 130 to emit fluorescence,
This is photoelectrically converted by the photoelectric conversion layer 130c and becomes photoelectrons and jumps out. That is, a photoelectron image corresponding to the X-ray image is formed on the input window 110b.
【００２０】ここで、入力窓１１０ｂをベリリウムで構
成していることから、軟Ｘ線，低エネルギーγ線が透過
しやすくなっており、入力面１３０での検出がしやすい
ものになっている。また、従来の入力窓・入力基板の２
枚タイプ（図４）に比べると、入力基板がなく、入力窓
１１０ｂの内面に蛍光体層１３０ｂおよび光電変換層１
３０ｃを形成しているので、より透過特性が良くなって
いる。さらに、蛍光体層１３０ｂの厚さを薄くしている
ことから、１つのＸ線光子によって蛍光が生じる範囲が
小さくなるため、画素が細かく、入力面１３０で得られ
る光電子の像の解像度は非常に高いものになる。Since the input window 110b is made of beryllium, soft X-rays and low-energy γ-rays are easily transmitted, and the input surface 130 can be easily detected. Also, 2 of the conventional input window and input board
Compared to the single type (FIG. 4), there is no input substrate, and the phosphor layer 130b and the photoelectric conversion layer 1 are provided on the inner surface of the input window 110b.
Since 30c is formed, the transmission characteristics are better. Furthermore, since the thickness of the phosphor layer 130b is thin, the range in which fluorescence is generated by one X-ray photon is small, so that the pixels are fine and the resolution of the photoelectron image obtained on the input surface 130 is very high. It will be expensive.
【００２１】そして、入力面１３０からの光電子は、電
子レンズ系で収束され、蛍光面１６０に光電子による電
子像を結像する。Then, the photoelectrons from the input surface 130 are converged by the electron lens system to form an electron image by the photoelectrons on the fluorescent screen 160.
【００２２】ここで、電子レンズ系の電界は、入力面１
３０及び蛍光面１６０において必ずしも均等なものでな
く、電子レンズ系の光軸からの距離に応じて異なったも
のになっている。しかし、入力窓１１０ｂは所定の２以
上の曲率半径を持つ球面をなしていることから、入力面
１３０と蛍光面１６０とを横切る電気力線の位置を対応
させることができるようになる。すなわち、蛍光面１６
０のＸ線像と蛍光面１６０の電子像とを対応させた最適
な電子軌道をとることができるようになる。そのため、
入力面１３０で得られる光電子の像の解像度の低下を抑
えて蛍光面１６０に光電子による電子像が結像される。
これが、蛍光面１６０の蛍光体により光学像に変換さ
れ、解像度の高い可視光像が得られる。Here, the electric field of the electron lens system is the input surface 1
30 and the phosphor screen 160 are not necessarily uniform, but differ according to the distance from the optical axis of the electron lens system. However, since the input window 110b is a spherical surface having a predetermined radius of curvature of 2 or more, the positions of the lines of electric force crossing the input surface 130 and the fluorescent surface 160 can be made to correspond to each other. That is, the fluorescent screen 16
It becomes possible to take an optimum electron trajectory in which the X-ray image of 0 and the electron image of the phosphor screen 160 are associated with each other. for that reason,
An electron image by photoelectrons is formed on the fluorescent screen 160 while suppressing a decrease in resolution of the photoelectron image obtained on the input surface 130.
This is converted into an optical image by the phosphor of the phosphor screen 160, and a visible light image with high resolution is obtained.
【００２３】ここで、図４のように、出力蛍光体層を形
成したガラス面板を真空外囲器内に納めて出力面を構成
した場合と比較して、面板１１０ｃの内面に出力面１６
０である出力蛍光体層を直接形成する構造としているの
で、より高分解能なものになっている。図２の形状にす
れば、従来４６ライン／ｃｍであったのが、６０ライン
／ｃｍの解像度に大幅に向上した。また、この形状をと
ることで、入手しやすい１ｍｍ厚のベリリウムを用いる
ことができ、高温では展性，延性に富むが、常温では脆
い点をカバーし、圧力差による変形が抑え得る。Here, as shown in FIG. 4, as compared with the case where the glass face plate on which the output phosphor layer is formed is housed in the vacuum envelope to form the output face, the output face 16 is formed on the inner face of the face plate 110c.
Since the output phosphor layer of 0 is directly formed, the resolution is higher. In the case of the shape shown in FIG. 2, the resolution of 60 lines / cm was significantly improved from the conventional 46 lines / cm. Further, by adopting this shape, beryllium having a thickness of 1 mm that is easily available can be used, and it is rich in malleability and ductility at high temperature, but it can cover a brittle point at normal temperature and suppress deformation due to a pressure difference.
【００２４】こうして、従来のものよりも解像度が高い
Ｘ線像を変換した光学像がえられる。特に、軟Ｘ線、低
エネルギーγ線の検出が高分解能で可能であり、従来医
療用として使われている像増強管に比べて分解能を向上
させたものになっているので、乳ガン検診の軟Ｘ線（２
０ｋＶｐ〜５０ｋＶｐ、およそ２０ｋｅＶ弱）の像の検
出や、プラスチック，紙，センイなどの工業用非破壊検
査の際の軟Ｘ線（数ｋｅＶ〜）の像の検出、ＳＯＲ光に
よるＸ線回折（数ｋｅＶ〜２０ｋｅＶ）の像の検出に用
いるのに好適である。Thus, an optical image obtained by converting an X-ray image having a higher resolution than the conventional one can be obtained. In particular, it is possible to detect soft X-rays and low-energy γ-rays with high resolution, and the resolution is improved compared to the image intensifier tubes that have been conventionally used for medical purposes. X-ray (2
Detection of an image of 0 kVp to 50 kVp, about 20 keV or less, detection of an image of soft X-ray (several keV to) at the time of non-destructive industrial inspection of plastic, paper, sensor, etc., X-ray diffraction by SOR light (several) It is suitable for use in detecting an image of keV to 20 keV).
【００２５】図３は、入力面１３０の有効径を９インチ
（φ＝２４０．５mm（範囲２２８〜２５３）とした場合
の具体的形状を示したものであり、±５％の寸法誤差と
なっている。単位をｍｍとすれば、Ｌ＝３１２（範囲２
９６〜３２８），Ｒ１＝１７４．５（範囲１６６〜１８
３），Ｒ２＝２４９．５（範囲２３７〜２６２），Ｒ３
＝１５４．５（範囲１４７〜１６２），ｔ＝１．０（範
囲０．５〜１．５），ｌ1 ＝１４９（範囲１４１〜１５
７）、ｌ2 ＝２２３（範囲２１１〜２３５）、ｌ3 ＝２
７５．５（範囲２６１〜２９０）の設定値（括弧内は範
囲）としている。またカソードＫを基準電圧０Ｖとする
と、集束電極Ｇ1 には２００〜３００Ｖ、Ｇ2 には５０
０〜７００Ｖ、Ｇ3 には３〜４ｋＶ、陽極１５０には２
５〜３５ｋＶ、出力蛍光面１６０には２５〜３０ｋＶの
電圧を与える。FIG. 3 shows a concrete shape when the effective diameter of the input surface 130 is 9 inches (φ = 240.5 mm (range 228 to 253), and the dimensional error is ± 5%. If the unit is mm, L = 312 (range 2
96-328), R1 = 174.5 (range 166-18)
3), R2 = 249.5 (range 237-262), R3
= 154.5 (range 147 to 162), t = 1.0 (range 0.5 to 1.5), l 1 = 149 (range 141 to 15)
7), l 2 = 223 (ranges 211-235), l 3 = 2
The set value is 75.5 (range 261 to 290) (range in parentheses). Further, when the reference voltage of the cathode K is 0 V, the focusing electrode G 1 has a voltage of 200 to 300 V, and G 2 has a voltage of 50 V.
0~700V, 3~4kV the G 3, the anode 150 2
A voltage of 5 to 35 kV and a voltage of 25 to 30 kV are applied to the output phosphor screen 160.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上の通り本発明のＸ線イメージ管によ
れば、入力面が外囲器の内側に薄膜状に直接形成され、
外囲器の入力面が形成された部分が２以上の曲率半径の
曲面にてベリリウムで形成されていることにより、入力
面の蛍光体層を薄く形成でき、最適な電子軌道をとって
電子像を結像し光学像に変換するので、より解像度の高
いＸ線イメージ管を得ることができる。As described above, according to the X-ray image tube of the present invention, the input surface is directly formed in a thin film inside the envelope,
Since the portion of the envelope on which the input surface is formed is formed of beryllium with a curved surface having a radius of curvature of 2 or more, the phosphor layer on the input surface can be thinly formed, and an optimal electron orbit is taken to obtain an electron image. Is imaged and converted into an optical image, so that an X-ray image tube with higher resolution can be obtained.
【図１】本発明のＸ線イメージ管の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of an X-ray image tube of the present invention.
【図２】具体的な形状を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a specific shape.
【図３】具体的な形状を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a specific shape.
【図４】従来の構成例を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a conventional configuration example.
１１０…外囲器、１１０ｂ…入力窓、１１０ｃ…出力
窓、１３０…入力面、１３０ｂ…蛍光体層、１３０ｃ…
光電変換層、１４０，１４２…収束電極、１５０…陽
極、１６０…蛍光面110 ... Envelope, 110b ... Input window, 110c ... Output window, 130 ... Input surface, 130b ... Phosphor layer, 130c ...
Photoelectric conversion layer, 140, 142 ... Focusing electrode, 150 ... Anode, 160 ... Phosphor screen
Claims (5)
像に応じた光電子に生成する入力面と、前記光電子を電
子光学的に偏向する電子レンズ系と、偏向された光電子
を光学像に変換する蛍光面とをその内部が真空にされた
外囲器内に有し、前記Ｘ線像を前記光学像に変換するＸ
線イメージ管において、 前記入力面は、前記外囲器のＸ線像の入力窓の内側に薄
膜状に直接形成され、 前記外囲器の前記入力窓の部分は、２以上の曲率半径の
曲面にてベリリウムで形成されていることを特徴とする
Ｘ線イメージ管。1. An input surface formed of a phosphor layer and a photoelectric conversion layer for generating photoelectrons according to an X-ray image, an electron lens system for electro-optically deflecting the photoelectrons, and an optical image of the deflected photoelectrons. And a fluorescent screen for converting into an X inside for converting the X-ray image into the optical image in an envelope whose inside is evacuated.
In the line image tube, the input surface is directly formed as a thin film inside an X-ray image input window of the envelope, and the input window portion of the envelope has a curved surface with a radius of curvature of 2 or more. X-ray image tube characterized by being made of beryllium.
成されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線イメ
ージ管。2. The X-ray image tube according to claim 1, wherein fine irregularities are formed on the surface of the input surface.
し、 前曲面は、その中心軸上の点を中心として誤差±５％で
１６０．５ｍｍ及び１００ｍｍの曲率半径で形成されて
いることを特徴とする請求項１記載のＸ線イメージ管。3. The input surface has an effective diameter of 6 inches, and the front curved surface is formed with a radius of curvature of 160.5 mm and 100 mm with an error of ± 5% about a point on its central axis. The X-ray image tube according to claim 1, wherein:
し、 前曲面は、その中心軸上の点を中心として誤差±５％で
１７４．５ｍｍ、２４９．５ｍｍ及び１５４．５ｍｍの
曲率半径で形成されていることを特徴とする請求項１記
載のＸ線イメージ管。4. The input surface has an effective diameter of 9 inches, and the front surface has a curvature of 174.5 mm, 249.5 mm and 154.5 mm with an error of ± 5% about a point on the central axis. The X-ray image tube according to claim 1, wherein the X-ray image tube has a radius.
面に直接形成されていることを特徴とする請求項１記載
のＸ線イメージ管。5. The X-ray image tube according to claim 1, wherein the fluorescent screen is directly formed on an inner surface of an output window of the envelope.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP5104691A JP2798867B2 (en) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | X-ray image tube |
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| JP5104691A JP2798867B2 (en) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | X-ray image tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH06314548A true JPH06314548A (en) | 1994-11-08 |
| JP2798867B2 JP2798867B2 (en) | 1998-09-17 |
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ID=14387502
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|---|---|---|---|
| JP5104691A Expired - Lifetime JP2798867B2 (en) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | X-ray image tube |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2798867B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101586342B1 (en) * | 2014-07-28 | 2016-01-20 | (주)엑스엘 | Soft x-ray generator with improved neutralizing range and heat-dissipating function |
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| JPS5324769A (en) * | 1976-08-20 | 1978-03-07 | Toshiba Corp | X-ray fluorescence intensifier |
| JPS54120576A (en) * | 1978-03-13 | 1979-09-19 | Toshiba Corp | Input screen of image multiplication tube |
| JPS55113241A (en) * | 1979-02-22 | 1980-09-01 | Toshiba Corp | Image doubling tube |
| JPS55150535A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-22 | Shimadzu Corp | Input fluorescent screen for x-ray image tube |
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| JPH01176356U (en) * | 1988-06-01 | 1989-12-15 |
-
1993
- 1993-04-30 JP JP5104691A patent/JP2798867B2/en not_active Expired - Lifetime
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| WO2016017847A1 (en) * | 2014-07-28 | 2016-02-04 | 주식회사엑스엘 | Soft x-ray generation apparatus having improved anti-static range and heat-dissipation function |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2798867B2 (en) | 1998-09-17 |
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