JPH06311721A - リニアモータ装置 - Google Patents
リニアモータ装置Info
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- JPH06311721A JPH06311721A JP5094409A JP9440993A JPH06311721A JP H06311721 A JPH06311721 A JP H06311721A JP 5094409 A JP5094409 A JP 5094409A JP 9440993 A JP9440993 A JP 9440993A JP H06311721 A JPH06311721 A JP H06311721A
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- linear motor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コイルを支持する支持部材を介して前記コイ
ルで発生する熱を回収するようなしたリニアモータ装置
において、コイルから発生する熱の回収効率を向上させ
ること。 【構成】 コイル１と支持部材２とを接着剤４やボルト
５等で固定する際に、熱伝導率の高い材料３をコイル１
と支持部材２との間の空間に充填し、コイル１と支持部
材２との間の熱抵抗を減少させる。また、コイル１また
は支持部材２に適当に凹凸形状を設ける。
ルで発生する熱を回収するようなしたリニアモータ装置
において、コイルから発生する熱の回収効率を向上させ
ること。 【構成】 コイル１と支持部材２とを接着剤４やボルト
５等で固定する際に、熱伝導率の高い材料３をコイル１
と支持部材２との間の空間に充填し、コイル１と支持部
材２との間の熱抵抗を減少させる。また、コイル１また
は支持部材２に適当に凹凸形状を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、構造体の熱変形や環境
の温度分布が精度悪化要因となるような高精度位置決め
装置や、超精密加工機、高精度計測器等の高い精度が必
要な装置に適用されるリニアモータ装置に関するもので
ある。
の温度分布が精度悪化要因となるような高精度位置決め
装置や、超精密加工機、高精度計測器等の高い精度が必
要な装置に適用されるリニアモータ装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、コイル冷却を実施しているリニア
モータ装置は、例えば特開平１−２７０７６３号公報に
記載されているように、冷却装置またはその一部をなし
ている支持部材にコイルが固定されている。
モータ装置は、例えば特開平１−２７０７６３号公報に
記載されているように、冷却装置またはその一部をなし
ている支持部材にコイルが固定されている。
【０００３】図１２は従来のコイル固定構造の一例を示
した要部断面図であり、コイル１と支持部材（冷却装
置）２は接着剤４により固定されている。また、コイル
１が不図示のボルト等で支持部材２に固定されている場
合もある。
した要部断面図であり、コイル１と支持部材（冷却装
置）２は接着剤４により固定されている。また、コイル
１が不図示のボルト等で支持部材２に固定されている場
合もある。
【０００４】冷却装置に関しては、支持部材２が冷却装
置を兼ね熱を回収するものと、冷却装置が支持部材２に
接触し支持部材２を介して熱を回収するものとがある。
置を兼ね熱を回収するものと、冷却装置が支持部材２に
接触し支持部材２を介して熱を回収するものとがある。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記した従来例では、コイルと支持部材（冷却装置）の間
において固定用の接着剤やボルトが存在しない部分には
熱伝導性の低い空気が存在する、接着剤そのものの熱伝
導性が低い等の理由により、接着剤やボルトだけでは熱
が十分に支持部材（冷却装置）に伝達されずにコイルが
冷却されないという欠点があった。
記した従来例では、コイルと支持部材（冷却装置）の間
において固定用の接着剤やボルトが存在しない部分には
熱伝導性の低い空気が存在する、接着剤そのものの熱伝
導性が低い等の理由により、接着剤やボルトだけでは熱
が十分に支持部材（冷却装置）に伝達されずにコイルが
冷却されないという欠点があった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、その目的は、コイルから発生する熱の回収効率
を向上させたリニアモータ装置を提供することにある。
もので、その目的は、コイルから発生する熱の回収効率
を向上させたリニアモータ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】上述の目的を達
成するために、本発明は、コイルを支持する支持部材を
介して前記コイルで発生する熱を回収するようなしたリ
ニアモータ装置において、前記コイルと前記支持部材を
固定物質を用いて固定すると共に、両者の隙間には前記
固定物質と異なる充填物質を充填したことを特徴として
いる。
成するために、本発明は、コイルを支持する支持部材を
介して前記コイルで発生する熱を回収するようなしたリ
ニアモータ装置において、前記コイルと前記支持部材を
固定物質を用いて固定すると共に、両者の隙間には前記
固定物質と異なる充填物質を充填したことを特徴として
いる。
【０００８】本発明によれば、コイルを支持部材に固定
する際に高い熱伝導材料を併用することが可能となるの
で、コイルから支持部材（または冷却装置の一部）へ流
れ込む熱の量を増加させることができる。
する際に高い熱伝導材料を併用することが可能となるの
で、コイルから支持部材（または冷却装置の一部）へ流
れ込む熱の量を増加させることができる。
【０００９】このため、本発明によれば、コイルから支
持部材（冷却装置）以外へ流出する熱が減少し、その熱
によってリニアモータが載置された高精度位置決め装置
や超精密加工機等が熱変形を起こすのを抑制することが
でき、高い精度を有するそれらの装置の提供が可能とな
る。
持部材（冷却装置）以外へ流出する熱が減少し、その熱
によってリニアモータが載置された高精度位置決め装置
や超精密加工機等が熱変形を起こすのを抑制することが
でき、高い精度を有するそれらの装置の提供が可能とな
る。
【００１０】
【実施例】以下、図示の実施例に従って本発明を詳細に
説明する。図１は本発明のリニアモータ装置のコイル支
持部の拡大断面図、図２、図３はリニアモータ装置のコ
イル支持部の外形図であり、図２はコイル１の端部を支
持部材２で固定した例を、図３はコイル１の中央部を支
持部材２で固定した例を示している。
説明する。図１は本発明のリニアモータ装置のコイル支
持部の拡大断面図、図２、図３はリニアモータ装置のコ
イル支持部の外形図であり、図２はコイル１の端部を支
持部材２で固定した例を、図３はコイル１の中央部を支
持部材２で固定した例を示している。
【００１１】これらの図において、１はリニアモータの
コイル（複数）、２は各コイル１を支持すると共に、コ
イル１に流れる電流により発生する熱をコイル１の外へ
導く支持部材（冷却装置または冷却装置の一部）、３は
コイル１の熱を効率よく支持部材２へ伝えるための高熱
伝導材料（複数箇所）、４はコイル１を支持部材２に固
定するための接着剤（複数箇所）である。
コイル（複数）、２は各コイル１を支持すると共に、コ
イル１に流れる電流により発生する熱をコイル１の外へ
導く支持部材（冷却装置または冷却装置の一部）、３は
コイル１の熱を効率よく支持部材２へ伝えるための高熱
伝導材料（複数箇所）、４はコイル１を支持部材２に固
定するための接着剤（複数箇所）である。
【００１２】リニアモータ装置を駆動するためにコイル
１に電流を流した際にコイル１から発生する熱は、不図
示の冷却装置に接続されている支持部材２に伝わる。本
実施例では、接着剤４の各層の間でコイル１と支持部材
２の隙間９に高熱伝導材料３の層を設け、ここを高熱伝
導材料３で満たすことにより、コイル１から支持部材２
への熱伝達効率を向上させている。
１に電流を流した際にコイル１から発生する熱は、不図
示の冷却装置に接続されている支持部材２に伝わる。本
実施例では、接着剤４の各層の間でコイル１と支持部材
２の隙間９に高熱伝導材料３の層を設け、ここを高熱伝
導材料３で満たすことにより、コイル１から支持部材２
への熱伝達効率を向上させている。
【００１３】この実施例は、コイル１と支持部材２の間
（隙間９）に、高熱伝導材料３と接着剤４を交互に充填
し、高熱伝導材料３に熱伝導、接着剤４に支持という機
能を持たせ、熱回収効率を向上させている。
（隙間９）に、高熱伝導材料３と接着剤４を交互に充填
し、高熱伝導材料３に熱伝導、接着剤４に支持という機
能を持たせ、熱回収効率を向上させている。
【００１４】図４は本発明の他の実施例の要部を示す図
である。この実施例では、支持部材２のコイル１と対向
する面、即ち接着剤４もしくは高熱伝導材３と接触する
側の面２ａに多数の切り欠き部（切り欠き溝）２ｂを設
け凹凸形状にしている。同図では、切り欠き部２ｂのそ
れぞれの部分に高熱伝導材料３の層を、切り欠き部２ｂ
の部分以外に接着剤４の層を配置している。
である。この実施例では、支持部材２のコイル１と対向
する面、即ち接着剤４もしくは高熱伝導材３と接触する
側の面２ａに多数の切り欠き部（切り欠き溝）２ｂを設
け凹凸形状にしている。同図では、切り欠き部２ｂのそ
れぞれの部分に高熱伝導材料３の層を、切り欠き部２ｂ
の部分以外に接着剤４の層を配置している。
【００１５】この実施例も、前述の実施例と同様に、コ
イル１から支持部材２への熱伝達効率を向上させること
ができる。また、この実施例のように切り欠き部２ｂを
設ければ、コイル１と支持部材２の組立の際に、接着剤
４と高熱伝導材料３の位置が外見上判別できる。
イル１から支持部材２への熱伝達効率を向上させること
ができる。また、この実施例のように切り欠き部２ｂを
設ければ、コイル１と支持部材２の組立の際に、接着剤
４と高熱伝導材料３の位置が外見上判別できる。
【００１６】更に、この実施例によれば、コイル１と支
持部材２を接着剤４で固定した後、高熱伝導材料３を切
り欠き部２ｂの隙間に流し込むという手順の組立が容易
になる。
持部材２を接着剤４で固定した後、高熱伝導材料３を切
り欠き部２ｂの隙間に流し込むという手順の組立が容易
になる。
【００１７】図４の実施例において、切り欠き部２ｂと
切り欠き部外における接着剤４と高熱伝導材３の配置を
反対にし、切り欠き部２ｂのそれぞれの部分に接着剤４
を配置し、切り欠き部２ｂ以外の部分に高熱伝導材料３
を配置してもよい。
切り欠き部外における接着剤４と高熱伝導材３の配置を
反対にし、切り欠き部２ｂのそれぞれの部分に接着剤４
を配置し、切り欠き部２ｂ以外の部分に高熱伝導材料３
を配置してもよい。
【００１８】図５は本発明の更に他の実施例の要部を示
す図である。この実施例では、高熱伝導材料３と接着剤
４の層を分割する、即ち仕切るように支持部材２に切り
欠き部２ｂ（複数）を設け、各切り欠き部２ｂに交互に
高熱伝導材料３と接着剤４を充填している。そして、コ
イル１と支持部材２の固定を接着剤４が、熱伝達を高熱
伝導材料３が受け持っている。
す図である。この実施例では、高熱伝導材料３と接着剤
４の層を分割する、即ち仕切るように支持部材２に切り
欠き部２ｂ（複数）を設け、各切り欠き部２ｂに交互に
高熱伝導材料３と接着剤４を充填している。そして、コ
イル１と支持部材２の固定を接着剤４が、熱伝達を高熱
伝導材料３が受け持っている。
【００１９】この実施例も、前述の実施例と同様に、コ
イル１から支持部材２への熱伝達効率を向上させる効果
を有する。また、図４の実施例と同様に、切り欠き部２
ｂを設けることにより、コイル１と支持部材２の組立の
際に、接着剤４と高熱伝導材料４の位置が外見上判別で
きる。
イル１から支持部材２への熱伝達効率を向上させる効果
を有する。また、図４の実施例と同様に、切り欠き部２
ｂを設けることにより、コイル１と支持部材２の組立の
際に、接着剤４と高熱伝導材料４の位置が外見上判別で
きる。
【００２０】更に、コイル１と支持部材２を接着剤で固
定した後、高熱伝導材料３を切り欠き部２ｂの隙間に流
し込むという手順の組立が容易になる。
定した後、高熱伝導材料３を切り欠き部２ｂの隙間に流
し込むという手順の組立が容易になる。
【００２１】この実施例では、高熱伝導材料３と接着剤
４との間を各切り欠き部２ｂ間に設けられた仕切り２ｃ
で仕切っているので、両者が混じり合うことを最小限に
抑えることができる。また、仕切２ｃの位置を適当に調
節すれば、固定や熱伝達等の機能を発揮するのに最低限
必要な材料の位置や量を選択できるため、効率よく固定
や熱伝達の向上等が実現できる。
４との間を各切り欠き部２ｂ間に設けられた仕切り２ｃ
で仕切っているので、両者が混じり合うことを最小限に
抑えることができる。また、仕切２ｃの位置を適当に調
節すれば、固定や熱伝達等の機能を発揮するのに最低限
必要な材料の位置や量を選択できるため、効率よく固定
や熱伝達の向上等が実現できる。
【００２２】図６は本発明の更に他の実施例の要部を示
す図であり、コイル１と支持部材２の固定をボルト５に
よって行った例である。コイル１と支持部材２との隙間
９、及び支持部材２に設けた切り欠き部２ｂに高熱伝導
材料３が充填されている。
す図であり、コイル１と支持部材２の固定をボルト５に
よって行った例である。コイル１と支持部材２との隙間
９、及び支持部材２に設けた切り欠き部２ｂに高熱伝導
材料３が充填されている。
【００２３】コイル１と支持部材２との固定をボルト５
が担うと共に、コイル１と支持部材２間の熱伝達をボル
ト５と高熱伝導材料３とが担って、冷却効率を向上させ
ながらコイル１の固定を行っている。
が担うと共に、コイル１と支持部材２間の熱伝達をボル
ト５と高熱伝導材料３とが担って、冷却効率を向上させ
ながらコイル１の固定を行っている。
【００２４】図７は本発明の更に他の実施例の要部を示
す図であり、コイル１と支持部材２とを接着剤４を用い
て固定し、コイル１と支持部材２の隙間９の接着剤４が
ない空間４ａ（複数）のそれぞれに高熱伝導材３を充填
し、コイル１から支持部材２への熱伝達効率を向上させ
ている。
す図であり、コイル１と支持部材２とを接着剤４を用い
て固定し、コイル１と支持部材２の隙間９の接着剤４が
ない空間４ａ（複数）のそれぞれに高熱伝導材３を充填
し、コイル１から支持部材２への熱伝達効率を向上させ
ている。
【００２５】固定のために接着剤４を用いると、コイル
１と支持部材２との間に空間４ａが残る。この場合、図
７の実施例のように、空気より熱伝導のよい物質、例え
ば高熱伝導材料３をその空間４ａに充填することによ
り、コイル１からの熱を回収する効率を上げつつコイル
１を支持部材２に固定している。
１と支持部材２との間に空間４ａが残る。この場合、図
７の実施例のように、空気より熱伝導のよい物質、例え
ば高熱伝導材料３をその空間４ａに充填することによ
り、コイル１からの熱を回収する効率を上げつつコイル
１を支持部材２に固定している。
【００２６】図８は本発明の更に他の実施例の要部を示
す図で、この実施例は、支持部材２に支持片６（複数）
を設置し、支持部材２の接着剤３側の面を凹凸の形状に
したものである。支持片６のない凹の部分が図４の実施
例における切り欠き部２ｂに相当し、支持片６による凸
の部分が図４の実施例における切り欠き部２ｂ以外の部
分に相当している。コイル１と支持部材２の間の形状は
図４の実施例と同様であり、その効果も同様である。
す図で、この実施例は、支持部材２に支持片６（複数）
を設置し、支持部材２の接着剤３側の面を凹凸の形状に
したものである。支持片６のない凹の部分が図４の実施
例における切り欠き部２ｂに相当し、支持片６による凸
の部分が図４の実施例における切り欠き部２ｂ以外の部
分に相当している。コイル１と支持部材２の間の形状は
図４の実施例と同様であり、その効果も同様である。
【００２７】図９は本発明の更に他の実施例の要部を示
す図で、コイル１に複数の支持片６を設置して凹凸形状
にしたものである。図８の実施例の凹凸形状をコイル側
に設けたことを特徴としている。効果は図８の実施例と
同様である。
す図で、コイル１に複数の支持片６を設置して凹凸形状
にしたものである。図８の実施例の凹凸形状をコイル側
に設けたことを特徴としている。効果は図８の実施例と
同様である。
【００２８】図１０は本発明の更に他の実施例の要部を
示す図で、支持部材２に多数の支持片６を設置し、２種
の材料を分割する仕切りをつくったもので、図５の実施
例における切り欠き部２ｂが、図１０の支持片６と支持
片６の間の部分に相当し、コイル１と支持部材２の間の
形状は図５の実施例と同様である。効果も図５の実施例
と同様である。
示す図で、支持部材２に多数の支持片６を設置し、２種
の材料を分割する仕切りをつくったもので、図５の実施
例における切り欠き部２ｂが、図１０の支持片６と支持
片６の間の部分に相当し、コイル１と支持部材２の間の
形状は図５の実施例と同様である。効果も図５の実施例
と同様である。
【００２９】図１１は本発明の更に他の実施例の要部を
示す図で、コイル１に多数の支持片６を設置し、２種の
材料を分割する仕切りをつくったもので、図１０の実施
例の支持片６による仕切りをコイル側に設けたことを特
徴としている。効果は図１０の実施例と同様である。
示す図で、コイル１に多数の支持片６を設置し、２種の
材料を分割する仕切りをつくったもので、図１０の実施
例の支持片６による仕切りをコイル側に設けたことを特
徴としている。効果は図１０の実施例と同様である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コイルを支持する支持部材を介して前記コイルで発生す
る熱を回収するようなしたリニアモータ装置において、
コイルから発生する熱の回収効率を向上させることが可
能となる。このため、本発明によれば、コイルからの熱
によってリニアモータが載置された高精度位置決め装置
や超精密加工機が熱変形を起こすのを抑制することがで
き、それらの装置の高精度化を図ることができる。
コイルを支持する支持部材を介して前記コイルで発生す
る熱を回収するようなしたリニアモータ装置において、
コイルから発生する熱の回収効率を向上させることが可
能となる。このため、本発明によれば、コイルからの熱
によってリニアモータが載置された高精度位置決め装置
や超精密加工機が熱変形を起こすのを抑制することがで
き、それらの装置の高精度化を図ることができる。
【００３１】また、本発明において、コイルと支持部材
の接合面に凹凸や仕切りを設け、固定用材料と熱伝達材
料とを分離するようにすれば、それぞれの材料が機能を
果たすのに必要な位置や量を調節することが可能とな
り、より望ましい構造にすることができる。
の接合面に凹凸や仕切りを設け、固定用材料と熱伝達材
料とを分離するようにすれば、それぞれの材料が機能を
果たすのに必要な位置や量を調節することが可能とな
り、より望ましい構造にすることができる。
【図１】本発明のリニアモータ装置の一実施例の要部を
示す断面図。
示す断面図。
【図２】図１の実施例の外形の一例を示す図。
【図３】図１の実施例の外形の他の例を示す図。
【図４】本発明の他の実施例を示す図。
【図５】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図６】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図７】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図８】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図９】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図１０】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図１１】本発明の更に他の実施例を示す図。
【図１２】従来例を示す断面図。
１ コイル ２ 支持部材 ２ｂ 切り欠き部 ２ｃ 仕切り ３ 高熱伝導材料 ４ 接着剤 ５ ボルト ６ 支持片 ９ 隙間
Claims (5)
- 【請求項１】 コイルを支持する支持部材を介して前記
コイルで発生する熱を回収するようなしたリニアモータ
装置において、前記コイルと前記支持部材を固定物質を
用いて固定すると共に、両者の隙間には前記固定物質と
異なる充填物質を充填したことを特徴とするリニアモー
タ装置。 - 【請求項２】 前記充填物質が前記コイルと前記支持部
材間の熱伝達効率を上げるものであることを特徴とする
請求項１に記載のリニアモータ装置。 - 【請求項３】 前記固定物質がボルトと接着剤の少なく
とも一方を含むものであることを特徴とする請求項１に
記載のリニアモータ装置。 - 【請求項４】 前記コイルと前記支持部材の少なくとも
一方の前記充填物質が充填される側の面には凹凸形状が
設けられていることを特徴する請求項１〜３のいずれか
１つに記載のリニアモータ装置。 - 【請求項５】 前記凹凸形状が前記充填物質を分離して
いることを特徴とする請求項４に記載のリニアモータ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09440993A JP3167059B2 (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | リニアモータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09440993A JP3167059B2 (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | リニアモータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06311721A true JPH06311721A (ja) | 1994-11-04 |
| JP3167059B2 JP3167059B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=14109451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09440993A Expired - Fee Related JP3167059B2 (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | リニアモータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3167059B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020066604A (ko) * | 2001-02-12 | 2002-08-21 | 주명자 | 리니어 모터의 가동자 구조 |
| WO2005124979A1 (ja) * | 2004-06-21 | 2005-12-29 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | リニアモータ及びリニアモータの製造方法 |
| CN112436710A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-03-02 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种圆筒型动磁式直线电机的动子结构 |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP09440993A patent/JP3167059B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020066604A (ko) * | 2001-02-12 | 2002-08-21 | 주명자 | 리니어 모터의 가동자 구조 |
| WO2005124979A1 (ja) * | 2004-06-21 | 2005-12-29 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | リニアモータ及びリニアモータの製造方法 |
| CN112436710A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-03-02 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种圆筒型动磁式直线电机的动子结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3167059B2 (ja) | 2001-05-14 |
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