JPH06309636A - Method for inspecting magnetic head and magnetic disk - Google Patents
Method for inspecting magnetic head and magnetic diskInfo
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- JPH06309636A JPH06309636A JP12217893A JP12217893A JPH06309636A JP H06309636 A JPH06309636 A JP H06309636A JP 12217893 A JP12217893 A JP 12217893A JP 12217893 A JP12217893 A JP 12217893A JP H06309636 A JPH06309636 A JP H06309636A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの電磁変換特
性、浮上量および磁気ディスクの電磁変換特性、欠陥、
並びに浮上量補償等を調べる検査方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetic conversion characteristic of a magnetic head, a flying height and an electromagnetic conversion characteristic of a magnetic disk, a defect,
Also, it relates to an inspection method for checking the flying height compensation.
【０００２】[0002]
【従来の技術と問題点】磁気ディスク装置の小型化、高
密度化にともない、信号対ノイズ比いわゆるＳ／Ｎ比を
いかに保持するかが大きな技術課題となってきている。
磁気ヘッド技術（中村慶久、武笠幸一監修、トリケップ
ス、ｐ．３４）によれば磁気記録の無損失再生過程にお
ける孤立波出力Ｅは次式の様に表される。 Ｅ＝ηＮＷｖＢｍ・１０-8・（２π／λ） ここで η：ヘッド効率 Ｎ：再生ヘッドのコイル巻数 Ｗ：トラック幅 ｖ：メディア走行速度 Ｂｍ：メディア磁性層内部長手残留磁束密度 λ：記録波長2. Description of the Related Art With the miniaturization and high density of magnetic disk devices, how to maintain the signal-to-noise ratio, so-called S / N ratio, has become a major technical issue.
According to the magnetic head technology (Yoshihisa Nakamura, Koichi Takegasa, Trikeps, p.34), the solitary wave output E in the lossless reproduction process of magnetic recording is expressed by the following equation. E = ηNWvBm · 10 - 8 · (2π / λ) where eta: Head Efficiency N: number of turns of the coils W of the read head: track width v: Media speed Bm: Media magnetic layer internal longitudinal remanence lambda: recording wavelength
【０００３】理想的にはヘッドからの出力は上式のよう
に表されるが実際には多くの損失が起こる。この損失に
はギャップ損失、分離損失、アジマス損失、媒体厚み損
失、などがあるが、磁気ディスク装置の設計において
は、この中でも特に分離損失をどの程度に抑えるか、す
なわち浮上量をどの程度に設計するかということが非常
に重要となる。Ideally, the output from the head is expressed by the above equation, but in reality a lot of loss occurs. This loss includes gap loss, separation loss, azimuth loss, medium thickness loss, etc. In designing a magnetic disk device, in particular, how much the separation loss should be suppressed, that is, how much the flying height should be designed. It is very important to do it.
【０００４】従来浮上量を減少させると出力が増加する
ことは知られているが、浮上量の効果のみを調べること
は困難であった。例えば同緒元で浮上量のみが異なるヘ
ッドを用意したとしても作成上ギャップ深さ等個体差が
必ず生じてしまうため浮上量の効果のみを見ることはむ
ずかしい。また浮上量は出力のみならず、重ね書き特性
など記録過程にも影響するため、磁気ヘッド、ディスク
の設計においては、浮上量の電磁変換特性に与える影響
が見積もれるような検査方法が望まれている。Although it has been known that the output increases when the flying height is reduced, it has been difficult to investigate only the effect of the flying height. For example, even if heads with different flying heights are prepared for the same purpose, it is difficult to see only the effect of the flying height because individual differences such as the gap depth will always occur in production. Further, the flying height affects not only the output but also the recording process such as overwriting characteristics. Therefore, in designing a magnetic head and a disk, an inspection method that can estimate the influence of the flying height on the electromagnetic conversion characteristics is desired. There is.
【０００５】次に浮上のメカニズムについて説明する。
ディスクの回転により、ディスクとスライダ間に空気が
流入し、圧力いわゆる動圧が発生する。これによりヘッ
ドには揚力が作用することになる。この揚力はディスク
とスライダのすき間量やディスクの回転数等によって変
化する。一方、ヘッドはサスペンションと称するバネに
より、ディスク側に所定の荷重で押し付けられる。この
バネ荷重は、サスペンションのたわみ量と剛性によって
変化させることができる。ヘッドが使用される時のサス
ペンションのたわみ量は、サスペンションのアクチュエ
ータ側取り付け部とヘッド浮上面との高さの差で表すこ
とができ、これをＺハイトと呼ぶ。ヘッドはこの揚力と
バネ荷重とが釣り合う位置で浮上することになる。Next, the floating mechanism will be described.
Due to the rotation of the disk, air flows between the disk and the slider, and a pressure, so-called dynamic pressure is generated. This causes lift to act on the head. This lift varies depending on the clearance between the disc and the slider, the number of revolutions of the disc, and the like. On the other hand, the head is pressed against the disk with a predetermined load by a spring called a suspension. This spring load can be changed by the flexure amount and rigidity of the suspension. The amount of deflection of the suspension when the head is used can be expressed by the difference in height between the actuator-side mounting portion of the suspension and the air bearing surface of the head, and this is called the Z height. The head floats at a position where the lift and the spring load are balanced.
【０００６】磁気ヘッドおよび磁気ディスク検査におい
て、浮上量を変化させる場合には、（１）ディスクの回
転数を変化させる、（２）Ｚハイトを変化させる、
（３）Ｚハイト位置でのバネ荷重を変化させる、（４）
スライダレール幅を変化させる、などいくつかの方法が
ある。しかし各方法とも問題があり、前記（２）では強
制的にピッチ角がつけられることにより浮上量や浮上姿
勢が不安定になる。前記（３）ではサスペンションのフ
リー状態における折り曲げ角度を調整してバネ荷重を変
化させるものであるが、荷重調整を行った後に残留歪や
スプリングバック等によって、荷重値が変動してしまう
などの問題がある。また前記（４）では同一仕様のヘッ
ドでレール幅の異なるいくつかのヘッドを用意するもの
であるが磁気素子間に個体差があるため、浮上量のみの
影響をみることはできない。In the magnetic head and magnetic disk inspection, when the flying height is changed, (1) the rotation speed of the disk is changed, (2) the Z height is changed,
(3) Change the spring load at the Z height position, (4)
There are several methods such as changing the slider rail width. However, there is a problem with each method, and in the above (2), the pitch angle is forcibly provided, so that the flying height and the flying posture become unstable. In the above (3), the spring load is changed by adjusting the bending angle of the suspension in the free state, but there is a problem that the load value varies due to residual strain or springback after the load adjustment. There is. In the above (4), several heads having the same specifications and different rail widths are prepared. However, since there are individual differences between the magnetic elements, it is not possible to see the effect of the flying height alone.
【０００７】上述した理由から、現存する測定機のほと
んどは（１）の方法で浮上量を変化させている。所定の
回転数でヘッドが浮上しているとき、ディスクの回転数
が増加すると、ヘッドとディスクの間に流入する空気流
も増加し、そのために揚力が増し、浮上量は増加する。
また逆にディスクの回転数を減少させると浮上量は減少
する。このように、ディスクの回転数をコントロールす
ることにより、浮上量を変化させている。所定の浮上量
にセットするためには、あらかじめディスクの回転数と
浮上量の関係を測定しておき、この結果からディスクの
回転数を決定する。For the above-mentioned reason, most of the existing measuring machines change the flying height by the method (1). When the head is levitating at a predetermined number of revolutions, as the number of revolutions of the disk increases, the airflow flowing between the head and the disc also increases, which increases lift and increases the flying height.
On the contrary, when the rotation speed of the disk is reduced, the flying height is reduced. In this way, the flying height is changed by controlling the rotation speed of the disk. In order to set a predetermined flying height, the relationship between the rotational speed of the disk and the flying height is measured in advance, and the rotational speed of the disk is determined from this result.
【０００８】この方法は比較的簡便であるが、浮上量の
電磁変換特性へ与える影響を評価することはできない。
例えば、所定の線記録密度におけるヘッドの出力を測定
する場合、線記録密度を一定にするために、回転数の変
化に応じて書き込み周波数を調整する必要が生じる。ヘ
ッドは周波数特性を有するために、このようにして書き
込み周波数を変化させた場合、得られた測定値には浮上
量のみの影響だけではなく、周波数特性の影響を含むこ
とになる。このような理由から、ディスクの回転数を変
化させて浮上量を調整し、浮上量の電磁変換特性に与え
る影響を評価するのは適当ではない。Although this method is relatively simple, it is not possible to evaluate the effect of the flying height on the electromagnetic conversion characteristics.
For example, when measuring the output of the head at a predetermined linear recording density, it is necessary to adjust the writing frequency according to the change in the number of rotations in order to keep the linear recording density constant. Since the head has a frequency characteristic, when the writing frequency is changed in this way, the obtained measured value includes not only the influence of the flying height but also the influence of the frequency characteristic. For this reason, it is not appropriate to adjust the flying height by changing the rotational speed of the disk and evaluate the effect of the flying height on the electromagnetic conversion characteristics.
【０００９】またディスク表面の突起高さを測定する浮
上量補償測定方法において、従来は次のような方式をと
っている。ディスク回転数と浮上量の関係を測定したヘ
ッドを検査用ヘッドとして使用し、ディスクの回転数を
変化させながらヘッドがディスクに接触したか否かを判
断し、接触したときの回転数からその時の浮上量を求
め、ディスク表面の突起高さとする。検査用ヘッドに
は、ピエゾ素子またはＡＥセンサが取り付けられてお
り、これらの出力値から接触状態を推定している。In the flying height compensation measuring method for measuring the height of protrusions on the surface of the disk, the following method has been conventionally used. The head that measured the relationship between the disk rotation speed and the flying height was used as an inspection head.While changing the disk rotation speed, it was determined whether or not the head was in contact with the disk. Find the flying height and use it as the height of the protrusion on the disk surface. A piezo element or an AE sensor is attached to the inspection head, and the contact state is estimated from these output values.
【００１０】しかし、このような従来の方法では、回転
数によってピエゾ素子やＡＥセンサの出力値が変化して
しまうこと等の理由により、正確に接触状態を検出する
ことは困難であった。However, in such a conventional method, it is difficult to accurately detect the contact state because the output value of the piezo element or the AE sensor changes depending on the rotation speed.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、浮上量を変化させる手段としてディスク回転数を変
化させるため、電磁変換特性の評価においては線記録密
度の差異が生じ、重要なパラメーターである浮上量の効
果を見ることができなかった。また浮上量補償の測定に
おいては、センサー出力のばらつきにより、得られたデ
ータの信頼性が低いなどの問題があった。そこで本発明
の目的はディスクの回転数とは独立して浮上量を調整し
得る手段を導入することにより、信頼性の高い浮上量補
償測定、および電磁変換特性に与える浮上量の影響を測
定可能にすることである。In the above prior art, since the disk rotation speed is changed as a means for changing the flying height, a difference in linear recording density occurs in the evaluation of electromagnetic conversion characteristics, which is an important parameter. I couldn't see the effect of flying height. Further, in the measurement of the flying height compensation, there is a problem that the reliability of the obtained data is low due to the variation in the sensor output. Therefore, the object of the present invention is to introduce a means capable of adjusting the flying height independently of the number of revolutions of the disk, whereby the flying height compensation measurement with high reliability and the influence of the flying height on the electromagnetic conversion characteristics can be measured. Is to
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ヘッドおよびディスクを収納する真空槽
と、真空度を調整するための排気手段と、真空槽内の真
空度を制御するマイコンから構成される。真空度と浮上
量の関係をあらかじめ実測または計算しておき、このデ
ータを基に所要の浮上量となるよう、真空槽内の真空度
を調整し、電磁変換特性または浮上量補償の測定を行う
ようにした。In order to achieve the above object, the present invention provides a vacuum chamber for accommodating a head and a disk, exhaust means for adjusting the degree of vacuum, and control of the degree of vacuum in the vacuum chamber. It is composed of a microcomputer. The relationship between the degree of vacuum and the flying height is measured or calculated in advance, and based on this data, the degree of vacuum in the vacuum chamber is adjusted to obtain the required flying height, and the electromagnetic conversion characteristics or flying height compensation are measured. I did it.
【００１３】[0013]
【実施例１】本発明の構成を図１を用いて説明する。磁
気ディスク４はスピンドルモータ５にとりつけられモー
タ回転数はパソコン１０から制御回路１１を通して制御
される。リニアアクチュエータ３０には記録再生ヘッド
１、リニアアクチュエータ３１にはピエゾ素子を搭載し
たヘッド２がとりつけられ、各々のリニアアクチュエー
タはパソコン１０から制御回路１１を通して所定のトラ
ックへ位置決めされる。ヘッド−ディスク周りは真空槽
６内に設置され、排気系により真空度を制御できる。槽
内の真空度は真空計７によりパソコンへデータとして入
力される。First Embodiment The configuration of the present invention will be described with reference to FIG. The magnetic disk 4 is attached to a spindle motor 5, and the motor rotation speed is controlled by a personal computer 10 through a control circuit 11. A recording / reproducing head 1 is attached to the linear actuator 30, and a head 2 having a piezoelectric element is attached to the linear actuator 31, and each linear actuator is positioned on a predetermined track from the personal computer 10 through the control circuit 11. The head-disk periphery is installed in the vacuum chamber 6, and the degree of vacuum can be controlled by the exhaust system. The degree of vacuum in the tank is input as data to the personal computer by the vacuum gauge 7.
【００１４】検査方法について、図２のフローチャート
を基に説明する。始めに測定する項目を選択し、各測定
項目に対して、記録密度、浮上量等の測定条件を設定す
る。これに基づいて、トラック半径、スピンドルモータ
の回転数、真空度等をセットし、電磁変換特性を測定す
る。これらの測定項目／測定条件の設定、およびトラッ
ク半径／スピンドルモータの回転数／真空度等のコント
ロールは全てパソコンによって管理される。測定条件を
入力する際に、測定対象とするヘッドの、例えば大気圧
状態における浮上量を入力しておく。この値から、希望
する浮上量にセットするための真空度が浮上量計算プロ
グラムによって算出される。電磁変換特性を測定するに
は、ＤＣ消去を行った後に、信号処理回路に記録信号を
与えてディスク上に書き込みを行う。その後記録再生ヘ
ッドより読み込まれる信号について、信号処理回路を通
してパソコンに取り込み、データ処理を行って電磁変換
特性、欠陥等をディスプレー上に表示する。浮上量を変
化させながら、電磁変換特性を測定する場合には、浮上
量計算プログラムによって算出された真空度にセットし
ながら、電磁変換特性を測定すればよい。浮上量計算プ
ログラムについては後で述べる。The inspection method will be described with reference to the flowchart of FIG. First, select the item to be measured and set the measurement conditions such as recording density and flying height for each item. Based on this, the track radius, the rotation number of the spindle motor, the degree of vacuum, etc. are set and the electromagnetic conversion characteristics are measured. The setting of these measurement items / measurement conditions and control of the track radius / rotation speed of the spindle motor / vacuum degree are all managed by the personal computer. When inputting the measurement conditions, the flying height of the head to be measured, for example, in the atmospheric pressure state is input. From this value, the flying height calculation program calculates the degree of vacuum for setting the desired flying height. To measure the electromagnetic conversion characteristics, after DC erasing, a recording signal is given to the signal processing circuit to write on the disc. After that, the signal read from the recording / reproducing head is taken into a personal computer through a signal processing circuit, data processing is performed, and electromagnetic conversion characteristics, defects, etc. are displayed on the display. When measuring the electromagnetic conversion characteristics while changing the flying height, the electromagnetic conversion characteristics may be measured while setting the degree of vacuum calculated by the flying height calculation program. The flying height calculation program will be described later.
【００１５】次にディスク表面突起の検査方法について
説明する。パソコンに入力された命令に従ってスピンド
ルモーターの回転数、ピエゾヘッドのトラック位置が制
御回路により設定され、ヘッドはディスク上を浮上す
る。この状態ではヘッドとディスクは接触を起こさない
ためピエゾヘッドからは出力は得られない。ここで排気
系により真空槽内を減圧していき、各気圧におけるピエ
ゾヘッドから生じる出力を検知し、ピエゾヘッドから出
力が生じる真空度を求める。浮上量は予め他の浮上量測
定機においてある気圧（大気圧）での浮上量を測定して
おきパソコン上に入力すれば、後述する浮上量計算プロ
グラムにより各真空度における浮上量は推定され、磁気
ディスク表面の突起高さを求めることができる。Next, a method of inspecting the disk surface protrusion will be described. According to the instruction input to the personal computer, the rotation speed of the spindle motor and the track position of the piezo head are set by the control circuit, and the head floats above the disk. In this state, the head and the disk do not come into contact with each other, so no output can be obtained from the piezo head. Here, the pressure inside the vacuum chamber is reduced by the exhaust system, the output generated from the piezo head at each atmospheric pressure is detected, and the degree of vacuum at which the output is generated from the piezo head is obtained. For the levitation amount, if you measure the levitation amount at a certain atmospheric pressure (atmospheric pressure) in another levitation amount measuring device in advance and input it on the personal computer, the levitation amount at each vacuum degree will be estimated by the levitation amount calculation program described later, The height of protrusions on the surface of the magnetic disk can be obtained.
【００１６】浮上量計算プログラムについて述べる。磁
気ヘッドの浮上量は、ヘッドに作用する揚力とヘッドの
ディスク側への押し付け荷重の釣合によって決定され
る。このとき、ヘッドに作用する揚力は、一般にレイノ
ルズ方程式を用いて求めることができる。これは、ヘッ
ドとディスク間のすき間形状に関して、ディスク速度、
圧力、空気の粘性の関係を表したものである。対象とす
る浮上量が０．１（μｍ）よりも小さくなった場合に
は、壁面における分子のスリップを考慮した修正レイノ
ルズ方程式が用いられ、浮上量が０．０５（μｍ）以下
になった場合には分子運動論に基づくボルツマン方程式
を用いるのが望ましい。A flying height calculation program will be described. The flying height of the magnetic head is determined by the balance between the lift force acting on the head and the pressing load of the head on the disk side. At this time, the lift force acting on the head can be generally obtained by using the Reynolds equation. This is related to the shape of the gap between the head and the disc, the disc speed,
It represents the relationship between pressure and air viscosity. When the target flying height becomes smaller than 0.1 (μm), the modified Reynolds equation that takes into account the molecular slip on the wall surface is used, and when the flying height becomes 0.05 (μm) or less It is desirable to use the Boltzmann equation based on molecular kinetic theory.
【００１７】上述した流体力に関する方程式と、ヘッド
の支持系に関する釣合方程式を解くことにより浮上量を
算出することができる。このようにして算出した浮上量
は、実際の浮上量とかなりよい精度で一致することが確
認されている。The flying height can be calculated by solving the above equation relating to the fluid force and the balance equation relating to the support system of the head. It has been confirmed that the flying height calculated in this way matches the actual flying height with fairly good accuracy.
【００１８】ヘッド周りの気圧を変化させた時の浮上量
の変化について、ヘッド押し付け荷重が６（ｇｆ）のマ
イクロスライダーを対象とし、計算値と比較した結果を
図３に示す。この図より、たとえば標準気圧１０１３
（ミリバール）における浮上量が７４．５（ｎｍ）であ
る場合、気圧が７００（ミリバール）まで低下すること
により、浮上量は標準気圧時の８６％程度に減少し、ま
た標準気圧１０１３（ミリバール）における浮上量が６
６．１（ｎｍ）である場合、気圧が７００（ミリバー
ル）まで低下することにより、浮上量は標準気圧時の７
８％程度に減少することがわかる。このような気圧の低
下による浮上量の減少割合はヘッドの形状にほとんど左
右されないが、標準気圧における浮上量に依存する。こ
のため、任意の浮上ヘッドに対する気圧と浮上量の関係
については、標準気圧における浮上量の異なるいくつか
のケースについて気圧と浮上量の関係を求めておき、補
間式により算出する。FIG. 3 shows the results of comparison of the change in the flying height when the atmospheric pressure around the head is changed, with a microslider having a head pressing load of 6 (gf) as a target. From this figure, for example, standard atmospheric pressure 1013
When the flying height in (mbar) is 74.5 (nm), the atmospheric pressure drops to 700 (mbar), and the flying height decreases to about 86% of the standard pressure, and the standard pressure is 1013 (mbar). The flying height at 6
When it is 6.1 (nm), the atmospheric pressure drops to 700 (mbar), so that the flying height is 7 at the standard atmospheric pressure.
It can be seen that it decreases to about 8%. The rate of decrease in the flying height due to the decrease in the atmospheric pressure is hardly influenced by the shape of the head, but depends on the flying height at the standard atmospheric pressure. Therefore, regarding the relationship between the atmospheric pressure and the flying height for an arbitrary flying head, the relationship between the atmospheric pressure and the flying height is obtained in some cases in which the flying height is different at the standard atmospheric pressure, and is calculated by an interpolation formula.
【００１９】整理すると、浮上量計算プログラムでは標
準気圧における浮上量から希望する浮上量を実現するた
めの真空度を算出する。このため、標準気圧におけるい
くつかのヘッドについて、その気圧（真空度）と浮上量
の関係をデータベースとして蓄えておき、対象とする浮
上ヘッドに対する気圧と浮上量の関係はデータベースを
基に補間式によって算出する。In summary, the flying height calculation program calculates the degree of vacuum for realizing the desired flying height from the flying height at standard atmospheric pressure. Therefore, for some heads at standard atmospheric pressure, the relation between the atmospheric pressure (vacuum degree) and the flying height is stored as a database, and the relation between the atmospheric pressure and the flying height for the target flying head is interpolated based on the database. calculate.
【００２０】データベースの構築において気圧と浮上量
の関係は、レイノルズ方程式または修正レイノルズ方程
式、ボルツマン方程式等により流体力を算出し、これと
ヘッドの支持系に関する釣合方程式を解くことによって
求める。In the construction of the database, the relationship between the atmospheric pressure and the flying height is obtained by calculating the fluid force by the Reynolds equation, the modified Reynolds equation, the Boltzmann equation, etc., and solving the balance equation concerning this and the head support system.
【００２１】[0021]
【実施例２】実施例１において、浮上量と気圧の関係は
いくつかのケースについて予め求めておき、データベー
ス化されている。そして、任意の浮上量にセットする場
合には、浮上量計算プログラムにより設定する気圧を算
出し、真空度を調整することで行っている。実施例２
は、浮上量計算プログラムに代わり、実際のヘッドを使
用して、気圧と浮上量の関係をモニタしながら電磁変換
特性および浮上量補償測定を行うものである。本実施例
について図４を用いて説明する。Second Embodiment In the first embodiment, the relationship between the flying height and the atmospheric pressure is obtained in advance for some cases and is stored in a database. When the flying height is set to an arbitrary value, the atmospheric pressure set by the flying height calculation program is calculated, and the degree of vacuum is adjusted. Example 2
Is to perform electromagnetic conversion characteristics and flying height compensation measurement while monitoring the relationship between atmospheric pressure and flying height using an actual head instead of the flying height calculation program. This embodiment will be described with reference to FIG.
【００２２】図４において、真空槽内には電磁変換特性
および浮上量補償を測定する系と浮上量を測定する系の
２つを収めている。前者については実施例１で述べたと
おりである。後者について説明する。浮上量を測定する
ためのヘッド３は、アクチュエータ３２に取り付けられ
ており、ディスク上の任意の半径に位置決めすることが
できる。一方、スピンドルモータ１５にはガラスディス
ク１４が取り付けられている。浮上測定ヘッドはガラス
ディスク上を浮上し、そのときの浮上量はレーザー光を
使用した光干渉法によって検出する。スピンドルモータ
の回転数およびアクチュエータのコントロールは全てパ
ソコン１０によって管理される。In FIG. 4, a vacuum chamber accommodates two systems, a system for measuring electromagnetic conversion characteristics and flying height compensation, and a system for measuring flying height. The former is as described in Example 1. The latter will be described. The head 3 for measuring the flying height is attached to the actuator 32 and can be positioned at an arbitrary radius on the disk. On the other hand, a glass disk 14 is attached to the spindle motor 15. The levitation measuring head flies over the glass disk, and the levitation amount at that time is detected by an optical interferometry method using laser light. The rotation speed of the spindle motor and the control of the actuator are all managed by the personal computer 10.
【００２３】電磁変換特性を浮上量を変化させながら測
定する場合、浮上量測定系にて、浮上量をモニタしなが
ら希望する浮上量が得られるように真空槽内の真空度を
調整する。浮上量を測定するヘッドは、電磁変換特性／
浮上量補償測定をするヘッドと同一仕様のものであるこ
とが望ましいが、標準気圧における浮上量が同程度のも
のであればよい。When measuring the electromagnetic conversion characteristics while changing the flying height, the flying height measuring system adjusts the degree of vacuum in the vacuum chamber so that the desired flying height can be obtained while monitoring the flying height. The head that measures the flying height has electromagnetic conversion characteristics /
It is desirable that the head has the same specifications as the head for which the flying height compensation measurement is performed, but the flying height at standard atmospheric pressure may be about the same.
【００２４】このようにして真空槽内の真空度を調整し
たとき、電磁変換を測定するためのヘッドは希望する浮
上量にセットされていることになる。ここで電磁変換特
性を測定することにより、所定の浮上量における電磁変
換特性を得ることができる。When the degree of vacuum in the vacuum chamber is adjusted in this way, the head for measuring electromagnetic conversion is set to the desired flying height. By measuring the electromagnetic conversion characteristic here, the electromagnetic conversion characteristic at a predetermined flying height can be obtained.
【００２５】浮上量補償測定については、ピエゾヘッド
の出力をモニタしながら、真空槽内の真空度を徐々に下
げていき、接触が検出されたときの浮上量を浮上測定ヘ
ッドから得る。With respect to the flying height compensation measurement, while monitoring the output of the piezo head, the degree of vacuum in the vacuum chamber is gradually lowered, and the flying height when contact is detected is obtained from the flying measurement head.
【００２６】上述においては、浮上測定ヘッドと電磁変
換特性／浮上量補償を測定するヘッドは別のものを使用
したが、同一のヘッドを使用し、浮上測定系にて予め気
圧と浮上量の関係を測定しておき、そのデータを基に電
磁変換特性／浮上補償測定を行ってもよい。In the above description, the levitation measuring head and the head for measuring the electromagnetic conversion characteristics / flying amount compensation are different from each other. May be measured in advance, and the electromagnetic conversion characteristics / levitation compensation measurement may be performed based on the data.
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、ヘッド−ディスク周り
の気圧を変化させることにより浮上量を変化させ、また
ある気圧での浮上量が既知であれば、気圧を変化させた
ときの浮上量が推定できる浮上量計算プログラムを備え
ることで、ヘッド−ディスクの検査装置において電磁変
換特性、欠陥を検査する場合に浮上量の影響を見積もる
ことができ、有用なデータを与える。また該装置でディ
スク表面の突起高さを検査する場合従来に比較して高速
に同様な検査を行うことができる。According to the present invention, the flying height is changed by changing the atmospheric pressure around the head-disk, and if the flying height at a certain atmospheric pressure is known, the flying height when the atmospheric pressure is changed. By providing a flying height calculation program capable of estimating the above, it is possible to estimate the influence of the flying height when inspecting electromagnetic conversion characteristics and defects in the head-disk inspection device, and to provide useful data. Further, when the projection height of the disk surface is inspected by the apparatus, the same inspection can be performed at a higher speed than in the conventional case.
【図１】本発明の実施例１における検査方法の構成を示
す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of an inspection method according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例１における検査方法のフローチ
ャートを示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a flowchart of an inspection method according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明における浮上量計算プログラムの計算値
と実測値の比較を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a comparison between a calculated value and a measured value of a flying height calculation program according to the present invention.
【図４】本発明の実施例２における浮上量測定系を具備
した磁気ヘッドおよびディスク検査方法の構成を示す説
明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of a magnetic head and a disk inspection method including a flying height measuring system according to a second embodiment of the present invention.
１ 記録再生用ヘッド ２ ピエゾヘッド ３ 浮上測定ヘッド ４ 磁気ディスク ５ スピンドルモ−タ ６ 真空槽 ７ 真空計 １０ パソコン、ディスプレイ １１ 制御回路、信号処理回路 １４ ガラスディスク １５ スピンドルモータ ３０ アクチュエータ ３１ アクチュエータ ３２ アクチュエータ 1 Recording / Reproducing Head 2 Piezo Head 3 Float Measuring Head 4 Magnetic Disk 5 Spindle Motor 6 Vacuum Chamber 7 Vacuum Gauge 10 Personal Computer, Display 11 Control Circuit, Signal Processing Circuit 14 Glass Disk 15 Spindle Motor 30 Actuator 31 Actuator 32 Actuator
Claims (1)
の内部に配設し、前記磁気ディスクを回転させた状態で
前記真空槽の内部の気圧を大気圧以下に変化させること
により、前記磁気ディスクの所定の回転数における前記
磁気ヘッドの浮上量を変化させながら諸特性を検査する
ことを特徴とする磁気ヘッドおよび磁気ディスクの検査
方法。1. A magnetic head and a magnetic disk are provided inside a vacuum chamber, and the atmospheric pressure inside the vacuum chamber is changed to below atmospheric pressure while the magnetic disk is rotated. A method of inspecting a magnetic head and a magnetic disk, wherein various characteristics are inspected while changing the flying height of the magnetic head at a predetermined rotation speed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12217893A JPH06309636A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Method for inspecting magnetic head and magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12217893A JPH06309636A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Method for inspecting magnetic head and magnetic disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06309636A true JPH06309636A (en) | 1994-11-04 |
Family
ID=14829512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12217893A Pending JPH06309636A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Method for inspecting magnetic head and magnetic disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06309636A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5824920A (en) * | 1995-10-27 | 1998-10-20 | Fujitsu Limited | Apparatus for evaluating magnetic recording medium |
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| US6965229B2 (en) | 2003-08-01 | 2005-11-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of detecting polarity reversal in a magnetoresistive sensor |
| US7288935B2 (en) | 2005-04-15 | 2007-10-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | System, method, and apparatus for dynamic electrical testing of workpieces by multiplexing test sites with shared electronics |
| US7636217B2 (en) | 2006-09-12 | 2009-12-22 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Defect inspection method of magnetic disk, device therefor, and magnetic disk drive device |
| JP2017188178A (en) * | 2016-04-04 | 2017-10-12 | Ａｏｓテクノロジーズ株式会社 | Reading method and reading device of data stored in platter built in hard disc drive |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP12217893A patent/JPH06309636A/en active Pending
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