【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はパターン形成装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、特公昭５０−３５
２７５号公報が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明に係るプリント
基板、高密度モジュール用配線パターン、フォトマスク
等の各種パターンの形成を図１に示す。図に於いて、レ
ーザ発振器１から発生したレーザ光２は凹レンズ３によ
って拡大され、コリメートレンズ４によって平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレーザ光は
投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照射される。こ
の際、投影レンズ６は原画５の像を試料７の表面に縮小
投影されるように配置されており、試料面には、原画５
の縮小像が瞬時にして焼付けられる。
【０００４】以上の技術では、試料面に加工したいと思
う像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセット
してやる必要があり、像が変ると、そのたびに原画を交
換してやらなければならない。
【０００５】本発明の目的は、光路中の原画を交換する
ことなく、即時新しい原画に入れかえて試料面上に照射
できるようにしたパターン形成装置を提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、レ−ザ
発振器からのレ−ザ光を拡大してほぼ平行に変換して原
画に照射する手段と、原画を通過した平行レ−ザ光を縮
小して刻印する手段とを有することにある。
【０００７】
【作用】レーザ光により透過形液晶表示装置が破損しな
く、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印すること
ができる効果を奏する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。
【０００９】即ち、図２は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶表示装
置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮像レンズ１
４、原画１３である。透過形液晶表示装置１０は、信号
制御部１１によって制御をうける。この際の制御は、透
過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示させ
るかということ、及びその表示時期の設定である。信号
制御部１１によって制御をうけた表示装置１０に対して
コリメータレンズ４を介して送出されてきた平行レーザ
光を入射する。
【００１０】この表示装置１０に入射したレーザ光は上
記画像パターンに対応する位置を介して該表示装置１０
の投影レンズ６側に出力する。この出力したレーザ光は
投影レンズ６を介して試料７に照射し、試料面上に画像
パターンを形成する。
【００１１】透過形液晶表示装置１０は、レーザ光の入
射面に対してガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラス−偏光板を一体化させて形成させた構造となっ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリックスにな
るように配置されている。このマトリックス構成の電極
によって表示位置の設定が行われる。マトリックス電極
の選択制御が信号制御部１１によってなされる。
【００１２】信号制御部１１への表示画像パターンは撮
像管１２で撮像された原画１３である。信号制御部１１
は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的にメモリ
に記憶させ、表示モードに該メモリから読出し表示装置
１０に表示させている。信号制御１１の具体的構成図を
図３に示す。
【００１３】先ず，撮像管１２からの映像信号を信号変
換部１１０に入力し、メモリ１１２に記憶可能なデー
タ、例えば２値信号に変換する。この変換された映像信
号を書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に送
り、アドレスに従ってメモリ１１２に記憶させる。メモ
リ１１２は、１つの表示パターン分の容量を持つもので
あっても、複数の表示パターン分の容量を持つものであ
ってもよい。表示に際しては、書込み読出し回路１１１
を読出しモードとしてメモリ１１２を駆動し信号変換部
１１３に必要なデータを読出す。
【００１４】この信号変換部１１３は、メモリ１１２か
ら読出された２値信号を液晶表示装置１０を駆動するに
必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号に変換する。このＸ，Ｙ信
号を表示装置１０に送り、必要な表示を行う。信号変換
部１１０、１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路
１１４の制御をうける。
【００１５】この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。
モニタ用テレビ１５については省略している。
【００１６】次に具体的数値事例に基づく説明を行う。
レーザ光のバワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。
例えば１０4Ｗ／cm2以下になるようにビーム径を約３０
０ｍｍとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過形液晶
表示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に縮少投
影するための投影レンズ１０に入り、液晶表示された平
面像を試料７の表面に１／１００の寸法で焼付けた。こ
の時の試料面上に最大パワー密度は約１０８Ｗ／cm2に
達した。試料７は、ガラス基板上に数１００Åの金属膜
を蒸着したものを使用し、レーザ光が照射すると、金属
膜が除去され、液晶パターンが１／１００の寸法でその
まま瞬時に転写できた。
【００１７】以上の実施例に於いて、表示パターンの種
類を光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパタ
ーン形成が可能になった。更に、パターンの拡大、縮少
もメモリのデータそのものを拡大、縮少可能なため、汎
用性が高まった。
【００１８】次に、他の実施例を説明する。上記実施例
では、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７から与
えたが、この他に図４、図５の如きやり方もある。
【００１９】図４は、ビデオ信号記録部１６を設け、該
ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情報として与え
てなるものである。
【００２０】図５は、ビデオ信号を無線方式によって伝
達してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無
線によりビデオ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更
に信号制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ずしも必
要としない。前者の実施例によれば、パターン情報をビ
デオ記録部にストックしておくことにより、必要なパタ
ーンを必要な時に形成することができる利点を持つ。後
者の実施例によれば、パターン形成を行う部所とそのパ
ターン供給部所とが離れている場合の遠隔操作に好適で
ある。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したいうに本発明によれば、電
気信号として原画を扱うことができ，原画の入れ換えを
容易にし、しかも透過形液晶表示装置５の表示とレ−ザ
発振器１のレ−ザ発振とのタイミングが制御できるの
で、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印すること
ができる効果を奏する。
【００２２】また本発明によれば、透過形液晶表示装置
を損傷することなく、鮮明で正確なパターンを試料上に
転写刻印することができる効果を奏する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pattern forming apparatus. [0002] As a conventional technique, Japanese Patent Publication No. 50-35
No. 275 is known. FIG. 1 shows the formation of various patterns such as a printed circuit board, a high-density module wiring pattern, and a photomask according to the present invention. In the figure, a laser beam 2 generated from a laser oscillator 1 is expanded by a concave lens 3, collimated by a collimator lens 4 and irradiated onto an original image 5. The laser light that has passed through the original image 5 is condensed and irradiated onto the surface of the sample 7 through the projection lens 6. At this time, the projection lens 6 is arranged so as to reduce and project the image of the original image 5 on the surface of the sample 7, and the original image 5 is placed on the sample surface.
The reduced image of is instantly printed. In the above technique, it is necessary to once form an enlarged image of the image to be processed on the sample surface in the original image and set it in the optical path. If the image changes, the original image must be replaced each time. I won't. An object of the present invention is to provide a pattern forming apparatus capable of irradiating a new original image on the sample surface immediately without exchanging the original image in the optical path. SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the present invention is to enlarge a laser beam from a laser oscillator, convert the laser beam into a substantially parallel beam, and irradiate the original image with a parallel beam that passes through the original image. And a means for reducing and marking the laser light. The laser type liquid crystal display device has an effect that a clear and accurate pattern can be transferred and imprinted on a sample without damaging the transmission type liquid crystal display device. Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. That is, FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. What is newly provided in the figure is a transmissive liquid crystal display device 10, a signal controller 11, an image pickup tube 12, and an image pickup lens 1.
4, the original picture 13. The transmissive liquid crystal display device 10 is controlled by the signal control unit 11. The control at this time is to set which image pattern is to be displayed on the transmissive liquid crystal display device and the display timing. The parallel laser light transmitted through the collimator lens 4 is incident on the display device 10 controlled by the signal control unit 11. The laser light incident on the display device 10 passes through the position corresponding to the image pattern.
To the projection lens 6 side. The output laser light is applied to the sample 7 via the projection lens 6 to form an image pattern on the sample surface. The transmissive liquid crystal display device 10 has a structure in which glass-transparent electrode-liquid crystal main body-transparent electrode-glass-polarizing plate is integrally formed on the incident surface of laser light. The two transparent electrodes are arranged so as to form a matrix with each other. The display position is set by the electrodes having the matrix structure. The signal control unit 11 controls the selection of the matrix electrodes. The display image pattern on the signal control unit 11 is the original image 13 imaged by the image pickup tube 12. Signal controller 11
Causes a video signal obtained from the image pickup tube 12 to be temporarily stored in a memory, read out from the memory in the display mode, and displayed on the display device 10. A concrete configuration diagram of the signal control 11 is shown in FIG. First, the video signal from the image pickup tube 12 is input to the signal conversion unit 110 and converted into data that can be stored in the memory 112, for example, a binary signal. The converted video signal is sent to the memory 112 via the writing / reading circuit 111 and stored in the memory 112 according to the address. The memory 112 may have a capacity for one display pattern or a capacity for a plurality of display patterns. At the time of display, the writing / reading circuit 111
Is set as a read mode to drive the memory 112 to read necessary data to the signal conversion unit 113. The signal converter 113 converts the binary signal read from the memory 112 into a signal necessary for driving the liquid crystal display device 10, that is, an X, Y signal. The X and Y signals are sent to the display device 10 to perform the necessary display. The signal conversion units 110 and 113 and the read / write circuit 111 are controlled by the control circuit 114. The control by the control circuit 114 is firstly mode designation and secondly timing designation. The control circuit 114 also controls the laser oscillator 1.
The monitor TV 15 is omitted. Next, a description will be given based on specific numerical examples.
The laser beam power density is selected so that the liquid crystal is not damaged.
For example, the beam diameter is about 30 so that it is 10 4 W / cm 2 or less.
The laser output was 0 mm and the laser output was 7 MW. The laser light passing through the transmissive liquid crystal display device 5 entered a projection lens 10 for projecting a reduction of about 1/100, and a plane image displayed on the liquid crystal was printed on the surface of the sample 7 with a size of 1/100. The maximum power density reached about 10 8 W / cm 2 on the sample surface at this time. As the sample 7, a glass substrate having a metal film of several hundred liters deposited thereon was used, and when irradiated with laser light, the metal film was removed, and the liquid crystal pattern could be instantly transferred as it was with a dimension of 1/100. In the above embodiment, the type of the display pattern can be set other than the optical path, so that the pattern can be formed with extremely high versatility. Furthermore, since the data itself in the memory can be expanded or reduced even when the pattern is expanded or reduced, versatility is enhanced. Next, another embodiment will be described. In the above-described embodiment, the input information to the signal control unit 11 is given from the image pickup tube 17, but other methods such as those shown in FIGS. 4 and 5 are also available. In FIG. 4, a video signal recording section 16 is provided and the information from the video signal recording section 16 is given as original image information. FIG. 5 shows that a video signal is transmitted by a radio system, and the video signal is transmitted from the video signal transmitter 18 to the video signal receiver 17 by radio and is further transmitted to the signal control unit 11 as original image information. I'm typing.
However, the memory 112 is not always necessary in these two embodiments. According to the former embodiment, by storing the pattern information in the video recording portion, it is possible to form a required pattern at a required time. The latter embodiment is suitable for remote operation when the pattern forming part and the pattern supply part are separated. As described above, according to the present invention, the original image can be handled as an electric signal, the original image can be easily replaced, and the display of the transmissive liquid crystal display device 5 and the laser oscillator can be performed. Since the timing with the laser oscillation of No. 1 can be controlled, a clear and accurate pattern can be transferred and imprinted on the sample. Further, according to the present invention, a clear and accurate pattern can be transferred and imprinted on a sample without damaging the transmissive liquid crystal display device.
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す図である。
【図２】本発明の実施例を示す図である。
【図３】本発明の実施例を示す図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す図である。
【図５】図は本発明の他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
１…レ−ザ発信器、７…試料、１０…透過型液晶表示装
置、１１…信号制御部、１２…撮象管。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing an example of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing an example of the present invention. FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the present invention. [Explanation of Codes] 1 ... Laser oscillator, 7 ... Sample, 10 ... Transmission type liquid crystal display device, 11 ... Signal control unit, 12 ... Imaging tube.