JPH06300685A - ガス検知器 - Google Patents
ガス検知器Info
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- JPH06300685A JPH06300685A JP9019193A JP9019193A JPH06300685A JP H06300685 A JPH06300685 A JP H06300685A JP 9019193 A JP9019193 A JP 9019193A JP 9019193 A JP9019193 A JP 9019193A JP H06300685 A JPH06300685 A JP H06300685A
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- light
- gas
- optical fiber
- fiber
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容易に長光路を得て光経路を自由に変更する
ことができ、装置の小型化を実現するガス検知器を提供
する。 【構成】 ガスを検知するための長光路として検出対象
物であるガスが内部に侵入することができる多孔性を有
する光ファイバ１２を用いる。したがって微量ガスの検
出を高精度に行うことが可能であるとともに、光エネル
ギの損失を最小限にして光路を自由に変更することがで
き、ガス検知器１０の構成を簡易にし、設計自由度を高
めることができる。
ことができ、装置の小型化を実現するガス検知器を提供
する。 【構成】 ガスを検知するための長光路として検出対象
物であるガスが内部に侵入することができる多孔性を有
する光ファイバ１２を用いる。したがって微量ガスの検
出を高精度に行うことが可能であるとともに、光エネル
ギの損失を最小限にして光路を自由に変更することがで
き、ガス検知器１０の構成を簡易にし、設計自由度を高
めることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体中に含まれる特定
のガス成分および濃度を検知するためのガス検知器に関
する。
のガス成分および濃度を検知するためのガス検知器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、気体中に含まれる微量のガス
不純物の検知、あるいはシラン、アルシン等の特殊ガス
のガス濃度を検知するため、たとえば環境計測用ガス検
知器などのガス検知器が用いられている。ガス検知器に
おいては、検出対象物であるガス中に、光源から出た光
を透過させると、ガス中に存在する特定の分子や原子が
ある波長の光を吸収し、あるいは吸収によって発光を生
じるため、透過光の吸収スペクトルあるいは発光スペク
トルの強度変化を測定することによって、ガスの成分や
濃度を知ることができる。
不純物の検知、あるいはシラン、アルシン等の特殊ガス
のガス濃度を検知するため、たとえば環境計測用ガス検
知器などのガス検知器が用いられている。ガス検知器に
おいては、検出対象物であるガス中に、光源から出た光
を透過させると、ガス中に存在する特定の分子や原子が
ある波長の光を吸収し、あるいは吸収によって発光を生
じるため、透過光の吸収スペクトルあるいは発光スペク
トルの強度変化を測定することによって、ガスの成分や
濃度を知ることができる。
【０００３】図８は典型的な従来技術のガス検知器の構
成を示すブロック図である。光源１は、半導体レーザや
気体レーザなどが用いられ、特に半導体レーザを用いた
場合は、レーザ結晶の寿命を延ばしたり、発振波長の安
定化のため液体窒素や液体ヘリウムで冷却される。光源
１から出た光は、凹面鏡９ａで反射され、回折格子２に
よって分光された後、凹面鏡９ａで反射され、ビームス
プリッタ３で２方向の光に分割される。１方向の光は測
定対象物であるガスが注入されるセル４中に透過光とし
て侵入する。セル４中には、ガスの光吸収に対して高感
度な検知が得られるように、多重反射をする長い光路が
設定される。ビームスプリッタ３で分割された他方の光
は、基準となるガスが満たされている標準セル５中に透
過光として侵入する。双方の光は、それぞれガス中を透
過した後、検出器６で検出され、ロックインアンプ７で
変調光成分が取出されて、コンピュータ８で処理され光
の波長に対する吸収スペクトルが得られ、ガスの成分な
どが測定できる。検出器６は、ノイズを抑制して感度を
高めるため液体窒素や液体ヘリウムなどで冷却される。
成を示すブロック図である。光源１は、半導体レーザや
気体レーザなどが用いられ、特に半導体レーザを用いた
場合は、レーザ結晶の寿命を延ばしたり、発振波長の安
定化のため液体窒素や液体ヘリウムで冷却される。光源
１から出た光は、凹面鏡９ａで反射され、回折格子２に
よって分光された後、凹面鏡９ａで反射され、ビームス
プリッタ３で２方向の光に分割される。１方向の光は測
定対象物であるガスが注入されるセル４中に透過光とし
て侵入する。セル４中には、ガスの光吸収に対して高感
度な検知が得られるように、多重反射をする長い光路が
設定される。ビームスプリッタ３で分割された他方の光
は、基準となるガスが満たされている標準セル５中に透
過光として侵入する。双方の光は、それぞれガス中を透
過した後、検出器６で検出され、ロックインアンプ７で
変調光成分が取出されて、コンピュータ８で処理され光
の波長に対する吸収スペクトルが得られ、ガスの成分な
どが測定できる。検出器６は、ノイズを抑制して感度を
高めるため液体窒素や液体ヘリウムなどで冷却される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のガス検知器で
は、ガスの光吸収に対して高感度の検知が得られるよう
にするため、セル４中の光経路は長光路にしなければな
らず、広い空間が必要である。したがって、設備が複雑
となりガス検知器が大型化してしまう課題がある。ま
た、光の経路変更を行うためのミラーが多数必要とな
り、経路の複雑化を招くとともに、光学系全体が大型化
し、さらに自由に経路変更を行い難い。また、経路の途
中で反射回数が増えることによって、光エネルギ損失が
増大するという課題がある。
は、ガスの光吸収に対して高感度の検知が得られるよう
にするため、セル４中の光経路は長光路にしなければな
らず、広い空間が必要である。したがって、設備が複雑
となりガス検知器が大型化してしまう課題がある。ま
た、光の経路変更を行うためのミラーが多数必要とな
り、経路の複雑化を招くとともに、光学系全体が大型化
し、さらに自由に経路変更を行い難い。また、経路の途
中で反射回数が増えることによって、光エネルギ損失が
増大するという課題がある。
【０００５】本発明の目的は、前述した課題を解決する
ため、容易に長い光路を得ることができ、光エネルギの
損失を抑制し、光経路を自由に変更することが可能で、
しかも装置の小型化を実現することができるガス検知器
を提供することである。
ため、容易に長い光路を得ることができ、光エネルギの
損失を抑制し、光経路を自由に変更することが可能で、
しかも装置の小型化を実現することができるガス検知器
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、光源と、前記
光源から出た光を伝達し、かつ検出対象物であるガスが
内部に侵入することができる光ファイバと、前記光ファ
イバから出た光を検出する光検出手段とを備えることを
特徴とするガス検知器である。
光源から出た光を伝達し、かつ検出対象物であるガスが
内部に侵入することができる光ファイバと、前記光ファ
イバから出た光を検出する光検出手段とを備えることを
特徴とするガス検知器である。
【０００７】
【作用】本発明に従えば、検出対象物であるガスは、た
とえば多孔性に形成された光ファイバの内部に侵入し
て、ガス粒子が光吸収あるいは発光を生じるので、光フ
ァイバから出た光の強度変化を検出する光検出手段を設
けることによって、微量ガスの成分および濃度を定量的
または定性的に測定することが可能となる。また、光フ
ァイバは、光源から出た光を効率良く伝達するので、ガ
スを検知するための長い光路を得ることができ、しかも
光路を自由に変更することができる。したがって、従来
と比べて、ガス検知器の構成が簡単になり、装置の小型
化を図ることができる。
とえば多孔性に形成された光ファイバの内部に侵入し
て、ガス粒子が光吸収あるいは発光を生じるので、光フ
ァイバから出た光の強度変化を検出する光検出手段を設
けることによって、微量ガスの成分および濃度を定量的
または定性的に測定することが可能となる。また、光フ
ァイバは、光源から出た光を効率良く伝達するので、ガ
スを検知するための長い光路を得ることができ、しかも
光路を自由に変更することができる。したがって、従来
と比べて、ガス検知器の構成が簡単になり、装置の小型
化を図ることができる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例であるガス検知器
１０ａの構成を示すブロック図である。ガス検知器１０
ａは、光源１１と、光源１１から出た光が進行できる多
孔性の光ファイバ１２と、光ファイバ１２から出た透過
光を集光するレンズ１３と、透過光強度を検出する検出
器１４と、入射光に対応する光の変調光成分を取り出す
ロックインアンプ１５と、透過光強度のデータ処理を行
うコンピュータ１６と、データ処理された測定結果を表
示する表示装置１６ａとで構成されている。光源１１と
して、常温で発振する半導体レーザを用いることが好ま
しく、これによって冷却装置が不用となる。なお、光源
１１における光は外乱光と区別するため所定の周波数で
変調されている。
１０ａの構成を示すブロック図である。ガス検知器１０
ａは、光源１１と、光源１１から出た光が進行できる多
孔性の光ファイバ１２と、光ファイバ１２から出た透過
光を集光するレンズ１３と、透過光強度を検出する検出
器１４と、入射光に対応する光の変調光成分を取り出す
ロックインアンプ１５と、透過光強度のデータ処理を行
うコンピュータ１６と、データ処理された測定結果を表
示する表示装置１６ａとで構成されている。光源１１と
して、常温で発振する半導体レーザを用いることが好ま
しく、これによって冷却装置が不用となる。なお、光源
１１における光は外乱光と区別するため所定の周波数で
変調されている。
【０００９】光源１１から出た光は、光ファイバ１２中
を進行することができるため、光の経路を容易に変更す
ることが可能である。注目すべきは、光ファイバ１２が
多孔性を有し、その内部に検出対象物であるガスが侵入
することができる性質を利用することである。したがっ
て、光ファイバ１２の内部にガスを導入しつつ、光ファ
イバ１２から出た光をレンズ１３などを介して集光した
後、検出器１４によって検出し、ロックインアンプ１５
で変調光成分が取出されてコンピュータ１６でデータ処
理され、光の波長に対する吸収スペクトルからガスの成
分および濃度を測定することができる。このようにして
得られた測定結果を表示するため液晶表示装置（略称
「ＬＣＤ」）などの表示装置１６ａを設けてもよい。あ
るいは、ガスの測定濃度が一定値以上になると、警報を
発生させる警報器を設けることにしてもよい。また、検
出器１４について好ましくはフォトダイオードを用いる
ことによって冷却設備を設けることなく、常温において
も比較的高感度を得ることができる。
を進行することができるため、光の経路を容易に変更す
ることが可能である。注目すべきは、光ファイバ１２が
多孔性を有し、その内部に検出対象物であるガスが侵入
することができる性質を利用することである。したがっ
て、光ファイバ１２の内部にガスを導入しつつ、光ファ
イバ１２から出た光をレンズ１３などを介して集光した
後、検出器１４によって検出し、ロックインアンプ１５
で変調光成分が取出されてコンピュータ１６でデータ処
理され、光の波長に対する吸収スペクトルからガスの成
分および濃度を測定することができる。このようにして
得られた測定結果を表示するため液晶表示装置（略称
「ＬＣＤ」）などの表示装置１６ａを設けてもよい。あ
るいは、ガスの測定濃度が一定値以上になると、警報を
発生させる警報器を設けることにしてもよい。また、検
出器１４について好ましくはフォトダイオードを用いる
ことによって冷却設備を設けることなく、常温において
も比較的高感度を得ることができる。
【００１０】図２は、本発明の他の実施例であるガス検
知器１０ｂの構成を示すブロック図である。図１と類似
し、対応する個所には同一の参照符号を付す。図２に示
される実施例では、光ファイバ１２をセル１７中に設置
し、セル１７の一端から測定すべきガスを注入し、セル
１７の他端からガスを放出している。光源１１において
変調された光は、光源１１と接続される光ファイバ１２
中を進行する。セル１７中に注入されるガスを光ファイ
バ１２の内部に導入しつつ、セル１７及び光ファイバ１
２から出た光は、レンズ１３で集光された後、検出器１
４で検出され、ロックインアンプ１５で変調光成分が取
出されてコンピュータ１６のデータ処理を経て、測定結
果が表示装置１６ａに表示される。
知器１０ｂの構成を示すブロック図である。図１と類似
し、対応する個所には同一の参照符号を付す。図２に示
される実施例では、光ファイバ１２をセル１７中に設置
し、セル１７の一端から測定すべきガスを注入し、セル
１７の他端からガスを放出している。光源１１において
変調された光は、光源１１と接続される光ファイバ１２
中を進行する。セル１７中に注入されるガスを光ファイ
バ１２の内部に導入しつつ、セル１７及び光ファイバ１
２から出た光は、レンズ１３で集光された後、検出器１
４で検出され、ロックインアンプ１５で変調光成分が取
出されてコンピュータ１６のデータ処理を経て、測定結
果が表示装置１６ａに表示される。
【００１１】図３は、本発明の他の実施例であるガス検
知器１０ｃの構成を示すブロック図である。図３では、
光ファイバ１２が自由に経路変更を行えることを利用し
て、光源１１と検出器１４とを同位置に設置している。
光源１１から出た変調された光は、光源１１と接続され
る光ファイバ１２中を進行する。光ファイバ１２の内部
に検出対象物であるガスを導入しつつ、光ファイバ１２
から出た光はレンズ１３で集光された後、光源１１と同
位置に設置された検出器１４によって検出される。その
後図１で説明される動作と同様に、ロックインアンプ１
５，コンピュータ１６を介して表示装置１６ａに測定結
果が表示され、ガスの成分及び濃度を知ることができ
る。
知器１０ｃの構成を示すブロック図である。図３では、
光ファイバ１２が自由に経路変更を行えることを利用し
て、光源１１と検出器１４とを同位置に設置している。
光源１１から出た変調された光は、光源１１と接続され
る光ファイバ１２中を進行する。光ファイバ１２の内部
に検出対象物であるガスを導入しつつ、光ファイバ１２
から出た光はレンズ１３で集光された後、光源１１と同
位置に設置された検出器１４によって検出される。その
後図１で説明される動作と同様に、ロックインアンプ１
５，コンピュータ１６を介して表示装置１６ａに測定結
果が表示され、ガスの成分及び濃度を知ることができ
る。
【００１２】図４は、本発明の他の実施例であるガス検
知器１０ｄの構成を示すブロック図である。図４に示さ
れるように、光ファイバ１２とビームスプリッタ１８と
を併用することによって光の進行経路を構成することも
できる。光源１１から出た変調された光は、光ファイバ
１２ａ中を矢符方向に進行する。ビームスプリッタ１８
において２方向の光に分割され、一方向の光は光ファイ
バ１２ｂ中を矢符方向に進行し、ミラー１９において反
射され、折り返された後、再び光ファイバ１２ｂ中を進
行してもどってくる。この光及びビームスプリッタ１８
で分割された光は、合成され光ファイバ１２ｃ中を矢符
方向に進行する。光ファイバ１２ｂ，１２ｃにおいて、
外部から測定対象物であるガスが導入される。光ファイ
バ１２ｂから出た光は図１，図２，図３と同様にレンズ
１３で集光され、検出器１４，ロックインアンプ１５，
コンピュータ１６を介して表示装置１６ａに表示される
測定結果からガス成分及び濃度を知ることができる。
知器１０ｄの構成を示すブロック図である。図４に示さ
れるように、光ファイバ１２とビームスプリッタ１８と
を併用することによって光の進行経路を構成することも
できる。光源１１から出た変調された光は、光ファイバ
１２ａ中を矢符方向に進行する。ビームスプリッタ１８
において２方向の光に分割され、一方向の光は光ファイ
バ１２ｂ中を矢符方向に進行し、ミラー１９において反
射され、折り返された後、再び光ファイバ１２ｂ中を進
行してもどってくる。この光及びビームスプリッタ１８
で分割された光は、合成され光ファイバ１２ｃ中を矢符
方向に進行する。光ファイバ１２ｂ，１２ｃにおいて、
外部から測定対象物であるガスが導入される。光ファイ
バ１２ｂから出た光は図１，図２，図３と同様にレンズ
１３で集光され、検出器１４，ロックインアンプ１５，
コンピュータ１６を介して表示装置１６ａに表示される
測定結果からガス成分及び濃度を知ることができる。
【００１３】次に、光ファイバ１２を使った測定原理に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１４】図５は、ガスの粒子２１が光ファイバ１２
中へ侵入していく様子を示す光ファイバ１２の側断面図
である。たとえば、コア２３がポリメチルメタクリレー
ト（略称ＰＭＭＡ）で形成され、クラッド２２がフッ素
樹脂で形成される光ファイバ１２の表面は多孔性である
ため、ガスに含まれる水などの分子を侵入させることが
できる。ガス分子などの粒子２１は、光ファイバのクラ
ッド２２およびコア２３内部にガス拡散によって侵入す
ることによって、コア２３中を伝播し、またはコア２３
内部からクラッド２２へ漏れ出す光を吸収する。これ
は、ガス中の分子あるいは原子の励起エネルギや振動、
回転等の運動エネルギとして光エネルギが用いられるこ
とによる。あるいは、光を吸収することによって、励起
準位が崩壊し新たな発光を生じる。そこで、光ファイバ
１２から出て来る透過光の吸収スペクトルまたは発光ス
ペクトルを検出することによって、ガスに含まれる成分
および濃度を測定することができる。なお、ファイバ表
面近傍での発光光は再度ファイバ内部に進入できる。
中へ侵入していく様子を示す光ファイバ１２の側断面図
である。たとえば、コア２３がポリメチルメタクリレー
ト（略称ＰＭＭＡ）で形成され、クラッド２２がフッ素
樹脂で形成される光ファイバ１２の表面は多孔性である
ため、ガスに含まれる水などの分子を侵入させることが
できる。ガス分子などの粒子２１は、光ファイバのクラ
ッド２２およびコア２３内部にガス拡散によって侵入す
ることによって、コア２３中を伝播し、またはコア２３
内部からクラッド２２へ漏れ出す光を吸収する。これ
は、ガス中の分子あるいは原子の励起エネルギや振動、
回転等の運動エネルギとして光エネルギが用いられるこ
とによる。あるいは、光を吸収することによって、励起
準位が崩壊し新たな発光を生じる。そこで、光ファイバ
１２から出て来る透過光の吸収スペクトルまたは発光ス
ペクトルを検出することによって、ガスに含まれる成分
および濃度を測定することができる。なお、ファイバ表
面近傍での発光光は再度ファイバ内部に進入できる。
【００１５】ガスの濃度は、ガスの光吸収係数αに比例
するため、光ファイバ１２を使った測定原理によって、
ガスの光吸収係数αを以下の手順で求める。図６で示さ
れるように、セル１７ａ中の測定対象物であるサンプル
ガス３１中を透過して光ファイバ１２から出て来る透過
光強度をＩｔａ、入射光強度をＩｉａ、光がサンプルガ
ス中を透過する距離をＬ１、サンプルガス３１による光
吸収係数をα１とすると、式（１）が成立する。
するため、光ファイバ１２を使った測定原理によって、
ガスの光吸収係数αを以下の手順で求める。図６で示さ
れるように、セル１７ａ中の測定対象物であるサンプル
ガス３１中を透過して光ファイバ１２から出て来る透過
光強度をＩｔａ、入射光強度をＩｉａ、光がサンプルガ
ス中を透過する距離をＬ１、サンプルガス３１による光
吸収係数をα１とすると、式（１）が成立する。
【００１６】 Ｉｔａ＝Ｉｉａ×ｅｘｐ（−α１×Ｌ１） …（１） セル１７ｂの標準となるガスたとえば、不純物を含まな
い清浄ガス３２を透過する光についても同様に式（２）
が成立する。
い清浄ガス３２を透過する光についても同様に式（２）
が成立する。
【００１７】 Ｉｔｂ＝Ｉｉｂ×ｅｘｐ（−α２×Ｌ２） …（２） 式（１）、式（２）の辺々を割算すると式（３）が得ら
れる。
れる。
【００１８】 Ｉｔａ／Ｉｔｂ＝Ｉｉａ／Ｉｉｂ×ｅｘｐ（α２×Ｌ２−α１×Ｌ１） …（３） 光の透過光および入射光強度Ｉｔａ,Ｉｔｂ，Ｉｉａ,Ｉ
ｉｂは光ファイバ端部に設置した検出器１４の電気信号
としてロックインアンプ１５などで検出し、その出力か
ら求まる。また、セル１７ａ，１７ｂ中に侵入する入射
光強度比Ｉｉａ／Ｉｉｂ、光がガス中を透過する距離Ｌ
１，Ｌ２および清浄ガス３２の光吸収係数α２は一定値
として予め求めることができるので、測定対象物である
サンプルガス３１の光吸収係数α１を求めることができ
る。
ｉｂは光ファイバ端部に設置した検出器１４の電気信号
としてロックインアンプ１５などで検出し、その出力か
ら求まる。また、セル１７ａ，１７ｂ中に侵入する入射
光強度比Ｉｉａ／Ｉｉｂ、光がガス中を透過する距離Ｌ
１，Ｌ２および清浄ガス３２の光吸収係数α２は一定値
として予め求めることができるので、測定対象物である
サンプルガス３１の光吸収係数α１を求めることができ
る。
【００１９】ガスの成分自体を調査するときは、白色光
を入射光として光ファイバ中に入射し、ガス中を透過さ
せた後に透過光の波長を走査することによって図７に示
されるような吸収スペクトルが得られる。吸収スペクト
ルのピーク値に対応する波長を有するガスの成分は予め
定まっているため、ガス中に含まれる成分を測定するこ
とができる。一例としてガスに含まれる成分が水分子で
ある場合について述べる。一般に水分子は７８０ｎｍの
波長の光を吸収する性質を有する。測定対象物である成
分不明のガス粒子を光ファイバ中に侵入させ、図７に示
されるように、波長が７８０ｎｍにおいて吸収ピークを
有する吸収スペクトルが得られる場合には、ガスの成分
として水分子が含まれていることが理解できる。
を入射光として光ファイバ中に入射し、ガス中を透過さ
せた後に透過光の波長を走査することによって図７に示
されるような吸収スペクトルが得られる。吸収スペクト
ルのピーク値に対応する波長を有するガスの成分は予め
定まっているため、ガス中に含まれる成分を測定するこ
とができる。一例としてガスに含まれる成分が水分子で
ある場合について述べる。一般に水分子は７８０ｎｍの
波長の光を吸収する性質を有する。測定対象物である成
分不明のガス粒子を光ファイバ中に侵入させ、図７に示
されるように、波長が７８０ｎｍにおいて吸収ピークを
有する吸収スペクトルが得られる場合には、ガスの成分
として水分子が含まれていることが理解できる。
【００２０】以上説明したように、本発明では、ガスの
粒子が内部に侵入することができる多孔性の光ファイバ
を用いてガスの成分および濃度を検出するので、長光路
を容易に得ることができ、ガス検知器の構成が簡単にな
り、設備の小型化を図ることができる。また光路を容易
に自由変更することができるので、設計自由度が高ま
る。
粒子が内部に侵入することができる多孔性の光ファイバ
を用いてガスの成分および濃度を検出するので、長光路
を容易に得ることができ、ガス検知器の構成が簡単にな
り、設備の小型化を図ることができる。また光路を容易
に自由変更することができるので、設計自由度が高ま
る。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、検出対象物であるガス
が光ファイバの内部に侵入することができるので、光フ
ァイバから出た光を検出する光検出手段を設けることに
よって、微量ガスの検出を高精度に行うことが可能とな
る。また、光ファイバを用いて光源から出た光を伝達す
るので、光エネルギの損失を最小にして光路を自由に変
更することができ、設計自由度が高まる。さらには、ガ
ス検知器の構成が簡単になり、装置の小形化および簡易
化を図ることができる。
が光ファイバの内部に侵入することができるので、光フ
ァイバから出た光を検出する光検出手段を設けることに
よって、微量ガスの検出を高精度に行うことが可能とな
る。また、光ファイバを用いて光源から出た光を伝達す
るので、光エネルギの損失を最小にして光路を自由に変
更することができ、設計自由度が高まる。さらには、ガ
ス検知器の構成が簡単になり、装置の小形化および簡易
化を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例であるガス検知器１０ａの構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】本発明の他の実施例であるガス検知器１０ｂの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の他の実施例であるガス検知器１０ｃの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の他の実施例であるガス検知器１０ｄの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図５】ガス粒子２１が内部に侵入していく様子を示す
光ファイバ１２の側断面図である。
光ファイバ１２の側断面図である。
【図６】光ファイバ１２を使ったガス成分の測定原理を
示す図である。
示す図である。
【図７】測定結果として得られるガスの吸収スペクトル
を示す図である。
を示す図である。
【図８】典型的な従来技術のガス検知器の構成を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ ガス検知器 １１ 光源 １２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ 光ファイバ １３ レンズ １４ 検出器 １５ ロックインアンプ １６ コンピュータ １７，１７ａ，１７ｂ セル １８ ビームスプリッタ １９ ミラー ２２ クラッド ２３ コア
Claims (1)
- 【請求項１】 光源と、 前記光源から出た光を伝達し、かつ検出対象物であるガ
スを内部に導入することによって当該光の強度を変化さ
せる光ファイバと、 前記光ファイバから出た光を検出する光検出手段とを備
えることを特徴とするガス検知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9019193A JPH06300685A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | ガス検知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9019193A JPH06300685A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | ガス検知器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300685A true JPH06300685A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13991597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9019193A Withdrawn JPH06300685A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | ガス検知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06300685A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6362005B1 (en) | 1997-08-29 | 2002-03-26 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Nitrogen dioxide gas sensing method, nitrogen dioxide gas sensor element, and nitrogen dioxide gas sensor using the same |
| CN102590092A (zh) * | 2012-03-07 | 2012-07-18 | 哈尔滨工业大学 | 用于激光吸收光谱技术的吸收光程延长的装置及方法 |
| JP2020521122A (ja) * | 2017-05-17 | 2020-07-16 | ラジオメーター・メディカル・アー・ペー・エス | 流体中の検体を検出するための多孔質光ファイバ |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP9019193A patent/JPH06300685A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6362005B1 (en) | 1997-08-29 | 2002-03-26 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Nitrogen dioxide gas sensing method, nitrogen dioxide gas sensor element, and nitrogen dioxide gas sensor using the same |
| CN102590092A (zh) * | 2012-03-07 | 2012-07-18 | 哈尔滨工业大学 | 用于激光吸收光谱技术的吸收光程延长的装置及方法 |
| JP2020521122A (ja) * | 2017-05-17 | 2020-07-16 | ラジオメーター・メディカル・アー・ペー・エス | 流体中の検体を検出するための多孔質光ファイバ |
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