JPH06292989A - Laser beam processing - Google Patents
Laser beam processingInfo
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- JPH06292989A JPH06292989A JP5084324A JP8432493A JPH06292989A JP H06292989 A JPH06292989 A JP H06292989A JP 5084324 A JP5084324 A JP 5084324A JP 8432493 A JP8432493 A JP 8432493A JP H06292989 A JPH06292989 A JP H06292989A
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- clamp jig
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はクランプ治具を用いて固
定した２枚以上の金属板にレーザビームを集光照射する
と共にシールドガスを噴射してレーザ溶接するレーザ加
工装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus for concentrating and irradiating a laser beam on two or more metal plates fixed by using a clamp jig and for injecting a shield gas for laser welding.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、レーザによる溶接では、溶接箇所
から酸素を除去するためのシールドガスを加工ヘッドに
付随したノズルなどで導いていた。この方法によると、
レーザビームとシールドガスは一つの加工ヘッドから同
一方向に出射するので、常にレーザビームの集光点にシ
ールドガスを供給できる。2. Description of the Related Art Conventionally, in laser welding, a shielding gas for removing oxygen from a welded portion has been guided by a nozzle attached to a processing head. According to this method,
Since the laser beam and the shield gas are emitted in the same direction from one processing head, the shield gas can be always supplied to the converging point of the laser beam.
【０００３】一方、薄い金属板を重ね合わせてレーザ溶
接する場合には、金属板を密着させて置く必要がある。
これは、図５に示すように、重ね合わせた薄い金属板２
１及び２２へのレーザ溶接が母材をレーザビーム２０で
溶融固化させて行われるために、金属板２１と金属板２
２の間に隙間があると、溶融した金属が金属板２１、２
２間を埋め、アンダーカット２３やブローホールを誘発
するからである。On the other hand, when thin metal plates are stacked and laser-welded, the metal plates must be placed in close contact with each other.
As shown in FIG. 5, this is a stack of thin metal plates 2
Since the laser welding to 1 and 22 is performed by melting and solidifying the base material with the laser beam 20, the metal plate 21 and the metal plate 2 are welded.
If there is a gap between the two, the molten metal is
This is because the gap between the two is filled and the undercut 23 and the blow hole are induced.
【０００４】このような隙間は溶接の熱歪みによっても
発生するので、金属板２１及び２２の溶接箇所近傍を強
い力で密着させることが必要になる。そのためのクラン
プ治具について図６を用いて説明する。Since such a gap is also generated by the thermal strain of welding, it is necessary to bring the metal plates 21 and 22 into close contact with each other with a strong force in the vicinity of the welded portion. A clamp jig for that purpose will be described with reference to FIG.
【０００５】図６は従来のクランプ治具を示す図であ
る。図において、クランプ治具３００は、基礎部材３１
０と抑え部材３２０とから成る。２枚の薄い金属板２１
ａ及び２２ａは、そのクランプ治具３００の基礎部材３
１０と抑え部材３２０との間に挟み込まれ、ボルト３３
０で締めつけられ固定される。レーザ加工装置の加工ヘ
ッド１１はその締めつけ部分２５に沿って紙面に垂直方
向に移動しつつ、２枚の金属板２１ａ及び２２ａにレー
ザ溶接を施す。FIG. 6 is a view showing a conventional clamp jig. In the figure, the clamp jig 300 is a base member 31.
It consists of 0 and the restraining member 320. Two thin metal plates 21
a and 22a are the base members 3 of the clamp jig 300.
10 is sandwiched between the holding member 320 and the holding member 320, and the bolt 33
It is tightened and fixed at 0. The processing head 11 of the laser processing apparatus moves along the fastening portion 25 in the direction perpendicular to the paper surface and performs laser welding on the two metal plates 21a and 22a.
【０００６】ところで、この加工ヘッド１１は、レーザ
ビーム１０とシールドガスを同時に出射するように構成
されているため、全体的に大きなものになる。一方、レ
ーザ溶接はクランプ治具３００に近い位置で行うため、
加工ヘッド１１とクランプ治具３００とは互いに干渉し
てしまう。加工ヘッド１１からシールドガスも噴射させ
るため、この点からも、加工ヘッドをクランプ治具３０
０に接近させる必要があり、加工ヘッド１１とクランプ
治具３００とは互いに干渉しやすくなる。この干渉を避
けるために、クランプ治具３００の抑え部材３２０に面
取りを施し、加工ヘッド１１もその面に沿って傾けて溶
接するなどの工夫が必要であった。By the way, since the processing head 11 is constructed so as to emit the laser beam 10 and the shield gas at the same time, it becomes large as a whole. On the other hand, since laser welding is performed at a position close to the clamp jig 300,
The processing head 11 and the clamp jig 300 interfere with each other. Since the shielding gas is also sprayed from the processing head 11, the processing head is also clamped from this point.
Since it is necessary to approach 0, the machining head 11 and the clamp jig 300 easily interfere with each other. In order to avoid this interference, it was necessary to chamfer the holding member 320 of the clamp jig 300 and incline the processing head 11 along the surface to weld it.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにク
ランプ治具３００の抑え部材３２０の形状を変更する
と、クランプ力の不足につながり、２枚の金属板２１ａ
及び２２ａの抑えが不十分となり、金属板２１ａ及び２
２ａ間に隙間が生じてしまう。したがって、レーザ溶接
を行っても、上述したようなアンダーカット２３やブロ
ーホール等の不具合が発生していた。また、レーザビー
ムを斜めから入射させることにより、溶接速度も低くな
ってしまっていた。However, if the shape of the restraining member 320 of the clamp jig 300 is changed in this way, the clamping force becomes insufficient, and the two metal plates 21a.
And 22a are insufficiently suppressed, and the metal plates 21a and 2a
A gap is created between the 2a. Therefore, even if the laser welding is performed, the above-mentioned problems such as the undercut 23 and the blow hole have occurred. Further, the welding speed has also been reduced by making the laser beam obliquely incident.
【０００８】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、レーザ溶接時に金属板を固定するクランプ力
を十分に確保することができるようにしたレーザ加工装
置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a laser processing apparatus capable of sufficiently securing a clamping force for fixing a metal plate during laser welding. To do.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、クランプ治具を用いて固定した２枚以上
の金属板にレーザビームを集光照射すると共にシールド
ガスを噴射してレーザ溶接するレーザ加工装置におい
て、前記シールドガスを噴射させるシールドガス噴射口
を前記クランプ治具に設けたことを特徴とするレーザ加
工装置が、提供される。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention condenses and irradiates a laser beam onto two or more metal plates fixed by using a clamp jig and jets a shield gas to emit a laser beam. In a laser processing apparatus for welding, there is provided a laser processing apparatus characterized in that a shield gas injection port for injecting the shield gas is provided in the clamp jig.
【００１０】[0010]
【作用】クランプ治具にシールドガス噴射口を設け、レ
ーザ溶接時には、そのシールドガス噴射口からシールド
ガスを溶接箇所に吹きつけるようにした。このため、加
工ヘッドはレーザビームだけを集光照射させればよく、
全体的に小型化することができる。また、その先端のノ
ズルそのものを省略することもできる。したがって、加
工ヘッドとクランプ治具との干渉を回避するためのクラ
ンプ治具の形状を変更させる必要もなく、その分クラン
プ力を強めて金属板同士を強く締めつけることができ
る。[Function] The clamp gas is provided with the shield gas injection port, and at the time of laser welding, the shield gas injection port is used to blow the shield gas to the welding location. Therefore, the processing head only needs to focus and irradiate the laser beam,
The size can be reduced as a whole. Further, the nozzle itself at the tip can be omitted. Therefore, it is not necessary to change the shape of the clamp jig for avoiding the interference between the processing head and the clamp jig, and the clamping force can be strengthened by that amount and the metal plates can be strongly tightened together.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明に係るクランプ治具の構成を示す
図である。図において、クランプ治具３は、基礎部材３
ａと抑え部材３ｂとから成る。基礎部材３ａの一端面側
には、その縁端側に突出部分３ｅを残すようにして切り
欠いた切り欠き部分３ｄが形成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a clamp jig according to the present invention. In the figure, the clamp jig 3 is a base member 3
It is composed of a and a restraining member 3b. On one end face side of the base member 3a, a notch portion 3d is formed so as to leave a protruding portion 3e on the edge side thereof.
【００１２】２枚の薄い金属板２ａ及び２ｂは、基礎部
材３ａの切り欠き部分３ｄと抑え部材３ｂの端面３ｂ1
との間に挟み込まれ、ボルト３ｃで締めつけられ固定さ
れる。その際に、基礎部材３ａの突出部分３ｅと抑え部
材３ｂの端面３ｂ1 とが接合するようになっている。The two thin metal plates 2a and 2b are a cutout portion 3d of the base member 3a and an end face 3b 1 of the restraining member 3b.
It is sandwiched between and and is fixed by being tightened with the bolt 3c. At that time, the end face 3b 1 of the projecting portion 3e and the pressing member 3b of the base member 3a is adapted to be joined.
【００１３】抑え部材３ｂには、シールドガス導入通路
４が設けられている。このシールドガス導入通路４の構
成を図２を用いて説明する。図２は図１のＡ−Ａ断面を
示す図である。図において、抑え部材３ｂの内部には、
その長手方向に沿ってシールドガス導入通路４が設けら
れ、そのシールドガス導入通路４からはさらにシールド
ガス噴射口４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄが分岐して設けら
れている。シールドガス５は、ここでは図示されていな
いガスボンベから供給され、ガス管５ａ及びガス導入口
５ｂを経由してシールドガス導入通路４に入った後、各
シールドガス噴射口４ａ等から噴射される。A shield gas introduction passage 4 is provided in the restraining member 3b. The configuration of the shield gas introduction passage 4 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a view showing the AA cross section of FIG. In the figure, inside the restraining member 3b,
A shield gas introduction passage 4 is provided along the longitudinal direction, and shield gas injection ports 4a, 4b, 4c, and 4d are further branched from the shield gas introduction passage 4. The shield gas 5 is supplied from a gas cylinder (not shown), enters the shield gas introduction passage 4 via the gas pipe 5a and the gas introduction port 5b, and then is injected from each shield gas injection port 4a and the like.
【００１４】また、レーザビーム１０は、加工ヘッド
（図示せず）で集光され、クランプ治具３で固定された
２枚の金属板２ａ及び２ｂの溶接箇所２ｈに照射され
る。このレーザ溶接は、クランプ治具３の側壁に沿って
矢印６０方向に行われ、各シールドガス噴射口４ａ等か
ら噴射されるシールドガスは、その溶接箇所２ｈに吹き
つけられる。The laser beam 10 is focused by a processing head (not shown) and is applied to the welding spot 2h of the two metal plates 2a and 2b fixed by the clamp jig 3. This laser welding is performed along the side wall of the clamp jig 3 in the direction of the arrow 60, and the shield gas injected from each shield gas injection port 4a or the like is blown to the welding location 2h.
【００１５】このように、本実施例では、クランプ治具
３にシールドガス導入通路４及びシールドガス噴射口４
ａ等を設け、シールドガス５をクランプ治具３側から供
給できるようにした。このため、加工ヘッドにシールド
ガスを供給するための機構を設ける必要がなく、全体的
に加工ヘッドを小型化することができる。また、その先
端のノズルそのものも省略することができる。したがっ
て、溶接箇所２ｈがクランプ治具３の側壁に接近してい
て狭い部分に溶接しなければならない場合でも、図１に
示すように、その狭い溶接箇所２ｈにレーザビーム１０
だけを照射できる。As described above, in this embodiment, the clamp jig 3 is provided with the shield gas introduction passage 4 and the shield gas injection port 4.
A and the like are provided so that the shield gas 5 can be supplied from the clamp jig 3 side. Therefore, it is not necessary to provide a mechanism for supplying the shield gas to the processing head, and the processing head can be downsized as a whole. Also, the nozzle itself at the tip can be omitted. Therefore, even if the welding portion 2h is close to the side wall of the clamp jig 3 and a narrow portion needs to be welded, the laser beam 10 is applied to the narrow welding portion 2h as shown in FIG.
Can only illuminate.
【００１６】従来は、加工ヘッドからシールドガスも吹
きつけていたために、その加工ヘッドを溶接箇所に接近
させる必要があったが、上述したように、レーザビーム
１０だけを照射すればよく、加工ヘッドをクランプ治具
３から離れた位置に設置してもレーザ溶接を行える。こ
のため、クランプ治具３に面取り等の形状変更をする必
要がなく、その分クランプ力を強めて金属板同士を強く
締めつけることができる。したがって、金属板２ａ、２
ｂ間に隙間が生じたりせず、アンダーカットやブローホ
ール等も発生しない。また、加工ヘッドをクランプ治具
３から離れた位置に設置することができるので、加工ヘ
ッドを斜めにする必要もなく、レーザビーム１０を溶接
箇所２ｈの真上から照射できるので、溶接速度を低くす
る必要もない。Conventionally, since the shielding gas was also blown from the processing head, it was necessary to bring the processing head close to the welding location. However, as described above, it is sufficient to irradiate only the laser beam 10 and the processing head Laser welding can be performed even if is installed at a position apart from the clamp jig 3. For this reason, it is not necessary to change the shape of the clamp jig 3 such as chamfering, and the clamping force can be strengthened by that amount and the metal plates can be firmly tightened. Therefore, the metal plates 2a, 2
There is no gap between b and no undercut or blow hole. Further, since the processing head can be installed at a position away from the clamp jig 3, it is not necessary to incline the processing head, and the laser beam 10 can be irradiated from directly above the welding location 2h, so that the welding speed is low. You don't even have to.
【００１７】図３はクランプ治具を複数設けた場合を示
す図である。図において、クランプ治具３１，３２，３
３及び３４は、上記クランプ治具３と同一構成のもので
あり、重ね合わせた２枚の金属板２ｃ及び２ｄをその周
囲で挟み込んで固定している。これらのクランプ治具３
１，３２，３３及び３４には、ガスボンベ５０からのシ
ールドガスが電磁弁５１，５２，５３及び５４を経由し
て供給される。FIG. 3 is a diagram showing a case where a plurality of clamp jigs are provided. In the figure, the clamp jigs 31, 32, 3
Reference numerals 3 and 34 have the same structure as that of the clamp jig 3, and sandwich and fix two metal plates 2c and 2d which are superposed on each other. These clamp jigs 3
The shield gas from the gas cylinder 50 is supplied to 1, 32, 33, and 34 via the solenoid valves 51, 52, 53, and 54.
【００１８】この金属板２ｃ及び２ｄに対して、始点Ｐ
からスタートして破線で示した矢印６１に沿ってレーザ
溶接を行う場合を想定する。このようなレーザ溶接を行
う場合、クランプ治具３１等へのシールドガスの供給を
レーザビームの移動と共に順次行うようにする。すなわ
ち、先ずレーザビームが始点Ｐからスタートして矢印６
１に沿ってクランプ治具３１に対応する溶接箇所を通過
しているときは、電磁弁５１をオンしてシールドガスを
クランプ治具３１に供給し、次にレーザビームがクラン
プ治具３２に対応する溶接箇所を通過するときは、電磁
弁５２をオンしてシールドガスをクランプ治具３２に供
給する。このように、レーザビームの移動に合わせてシ
ールドガスを供給するクランプ治具を変えていく。これ
によって、クランプ治具を複数設けた場合のシールドガ
ス供給を無駄なく効率よく行うことができる。A starting point P is applied to the metal plates 2c and 2d.
It is assumed that the laser welding is performed along the arrow 61 indicated by the broken line, starting from 1. When performing such laser welding, the shield gas is sequentially supplied to the clamp jig 31 and the like along with the movement of the laser beam. That is, first, the laser beam starts from the starting point P and the arrow 6
When passing through the welding point corresponding to the clamp jig 31 along 1, the solenoid valve 51 is turned on to supply the shield gas to the clamp jig 31, and then the laser beam corresponds to the clamp jig 32. When passing through the welding point, the solenoid valve 52 is turned on to supply the shield gas to the clamp jig 32. In this way, the clamp jig that supplies the shield gas is changed according to the movement of the laser beam. As a result, the shield gas can be efficiently supplied without waste when a plurality of clamp jigs are provided.
【００１９】図４は２枚の金属板を突き合わせて溶接す
る場合を示す図である。図において、２枚の金属板２ｅ
及び２ｆの各側端を突き合わせてレーザ溶接する。この
場合は、クランプ治具３５の基礎部材３５ａを、図に示
すように、略「コ」字状に形成し、その２つの端部３５
ａ1 及び３５ａ2 に合わせて抑え部材３５ｂ及び３５ｃ
を設ける。抑え部材３５ｂには、シールドガス導入通路
４１及びシールドガス噴射口４１ａが形成される。FIG. 4 is a view showing a case where two metal plates are butted against each other and welded. In the figure, two metal plates 2e
And 2f are laser welded by abutting the respective side ends. In this case, the base member 35a of the clamp jig 35 is formed in a substantially "U" shape as shown in the figure, and its two end portions 35 are formed.
The restraining members 35b and 35c according to a 1 and 35a 2
To provide. A shield gas introduction passage 41 and a shield gas injection port 41a are formed in the suppressing member 35b.
【００２０】２枚の金属板２ｅ及び２ｆは、その側端同
士が突き合わされた状態で、基礎部材３５ａの端部３５
ａ1 と抑え部材３５ｂとの間、及び基礎部材３５ａの端
部３５ａ2 と抑え部材３５ｃとの間に挟まれ、ここでは
図示されていないボルトで固定されている。その突き合
わせ部分２ｇに溶接する場合は、レーザビーム１０をそ
の突き合わせ部分２ｇに照射し、かつ抑え部材３５ｂの
シールドガス導入通路４１及びシールドガス噴射口４１
ａからシールドガスをその突き合わせ部分２ｇの近傍に
吹きつける。The two metal plates 2e and 2f, with their side edges abutted to each other, end 35 of the base member 35a.
It is sandwiched between a 1 and the restraining member 35b and between the end portion 35a 2 of the base member 35a and the restraining member 35c, and is fixed by a bolt (not shown). When welding to the abutting portion 2g, the laser beam 10 is applied to the abutting portion 2g, and the shield gas introduction passage 41 and the shield gas injection port 41 of the suppressing member 35b are provided.
The shielding gas is blown from a in the vicinity of the butted portion 2g.
【００２１】このように、２枚の金属板２ｅ及び２ｆを
突き合わせて溶接する場合にも、クランプ治具３５側か
らシールドガスを供給できるようにした。このため、加
工ヘッド側からはその突き合わせ部分２ｇにレーザビー
ム１０だけを照射すればよく、抑え部材３５ｂと抑え部
材３５ｃの間は、そのレーザビーム１０を通過させるだ
けのスペースを確保すればよいので、抑え部材３５ｂ及
び３５ｃの横幅をそれぞれ広くとることができる。した
がって、その分だけクランプ力を強めることができ、ま
たそれに応じて突き合わせ部分２ｇでの密着力も増し
て、突き合わせ部分２ｇでの隙間も生じなくなる。その
結果、その突き合わせ部分２ｇでのアンダーカットやブ
ローホール等の発生を防止することができる。As described above, the shield gas can be supplied from the clamp jig 35 side even when the two metal plates 2e and 2f are butt-welded together. Therefore, it is sufficient to irradiate only the laser beam 10 to the abutting portion 2g from the processing head side, and a space for passing the laser beam 10 may be secured between the suppressing members 35b and 35c. The widths of the restraining members 35b and 35c can be widened. Therefore, the clamping force can be increased by that amount, and the adhesion force at the abutting portion 2g is also increased accordingly, so that no gap is generated at the abutting portion 2g. As a result, it is possible to prevent the occurrence of undercuts, blow holes, and the like at the butted portion 2g.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、レーザ
溶接時に、シールドガスをクランプ治具側から溶接箇所
に吹きつけるようにした。このため、加工ヘッドはレー
ザビームだけを集光照射させればよく、全体的に小型化
することができる。また、その先端のノズルそのものを
省略することもできる。As described above, in the present invention, at the time of laser welding, the shield gas is blown from the clamp jig side to the welding spot. Therefore, the processing head only needs to focus and irradiate the laser beam, and the overall size can be reduced. Further, the nozzle itself at the tip can be omitted.
【００２３】したがって、溶接箇所がクランプ治具の側
壁に接近していて狭い部分に溶接しなければならない場
合でも、その狭い溶接箇所にレーザビームだけを照射で
きる。Therefore, even if the welding portion is close to the side wall of the clamp jig and a narrow portion needs to be welded, only the laser beam can be applied to the narrow welding portion.
【００２４】また、加工ヘッドを小型化することができ
るので、クランプ治具に面取り等の形状変更をする必要
がなく、その分クランプ力を強めて金属板同士を強く締
めつけることができ、金属板間に隙間が生じたりせず、
アンダーカットやブローホール等を防止できる。Further, since the machining head can be downsized, it is not necessary to change the shape of the clamping jig such as chamfering, and the clamping force can be strengthened accordingly and the metal plates can be strongly tightened. There is no gap between them,
Undercuts and blow holes can be prevented.
【００２５】さらに、加工ヘッドをクランプ治具から離
れた位置に設置することができるので、加工ヘッドを斜
めにする必要もなく、レーザビームを溶接箇所の真上か
ら照射できるので、溶接速度を向上できる。Further, since the processing head can be installed at a position apart from the clamp jig, it is not necessary to incline the processing head, and the laser beam can be irradiated from directly above the welding location, thus improving the welding speed. it can.
【図１】本発明に係るクランプ治具の構成を示す図であ
る。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a clamp jig according to the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ断面を示す図である。FIG. 2 is a view showing a cross section taken along the line AA of FIG.
【図３】クランプ治具を複数設けた場合を示す図であ
る。FIG. 3 is a diagram showing a case where a plurality of clamp jigs are provided.
【図４】２枚の金属板を突き合わせて溶接する場合を示
す図である。FIG. 4 is a view showing a case where two metal plates are butted and welded to each other.
【図５】重ね合わせた金属板へのレーザ溶接の説明図で
ある。FIG. 5 is an explanatory diagram of laser welding on metal plates that are overlapped.
【図６】従来のクランプ治具を示す図である。FIG. 6 is a view showing a conventional clamp jig.
２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｅ，２ｆ 金属板 ２ｇ 突き合わせ部分 ２ｈ 溶接箇所 ３，３１，３２，３３，３４，３５ クランプ治具 ４，４１ シールドガス導入通路 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４１ シールドガス噴射口 ５ シールドガス １０ レーザビーム 2a, 2b, 2d, 2e, 2f Metal plate 2g Butt portion 2h Welding place 3, 31, 32, 33, 34, 35 Clamp jig 4,41 Shield gas introduction passage 4a, 4b, 4c, 4d, 41 Shield gas injection Mouth 5 Shield gas 10 Laser beam
Claims (2)
の金属板にレーザビームを集光照射すると共にシールド
ガスを噴射してレーザ溶接するレーザ加工装置におい
て、 前記シールドガスを噴射させるシールドガス噴射口を前
記クランプ治具に設けたことを特徴とするレーザ加工装
置。1. A laser processing apparatus for concentrating and irradiating a laser beam onto two or more metal plates fixed by using a clamp jig, and ejecting a shield gas to perform laser welding, wherein the shield gas is ejected. A laser processing apparatus, wherein an injection port is provided in the clamp jig.
シールドガスの前記クランプ治具への供給を前記レーザ
ビームの移動と共に順次行うように構成したことを特徴
とする請求項１記載のレーザ加工装置。2. The laser processing according to claim 1, wherein when a plurality of the clamp jigs are provided, the shielding gas is supplied to the clamp jigs sequentially with the movement of the laser beam. apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5084324A JPH06292989A (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Laser beam processing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5084324A JPH06292989A (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Laser beam processing |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06292989A true JPH06292989A (en) | 1994-10-21 |
Family
ID=13827339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5084324A Pending JPH06292989A (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Laser beam processing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06292989A (en) |
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