JPH06292372A - パルスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、スイッチ、充電端子及び制御回
路を簡単化して小形化を実現したパルスレーザ装置を得
る。 【構成】 主放電電極１及び２に第１のパルス電圧
Ｖ₂′を印加する第１のパルス発生用４端子回路１４
と、主放電電極に第２のパルス電圧Ｖ₃′を印加する第
２のパルス発生用４端子回路１５と、各パルス発生用４
端子回路の入力端子Ａに接続された充電端子７Ａと、各
パルス発生用４端子回路の入力端子Ａ及びＢ間を短絡す
るスイッチ５Ａと、第１のパルス発生用４端子回路の一
方の入力端子Ａ側及び出力端子Ｃ側にそれぞれ挿入され
た第１及び第２の可飽和リアクトル１３及び８Ａとを備
え、スイッチ導通後、第１の可飽和リアクトルによる第
１のパルス発生用４端子回路の遮断中に第２のパルス電
圧で主放電電極間を放電させ、その後、第１のパルス電
圧を発生させて放電を持続させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、第１のパルス発生用
４端子回路と第２のパルス発生用４端子回路を用いて主
放電電極間にパルス放電を発生させるパルスレーザ装置
に関し、特に単一のスイッチのみで第１及び第２のパル
ス発生用４端子回路をシーケンス駆動させることにより
構成を簡略化したパルスレーザ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図２２は例えば「レーザ研究、第２０
巻、第１号」の第４０頁に記載されたエキシマレーザの
励起回路を示す回路図である。この励起回路は、スパイ
カーサステナ（放電回路及び放電持続回路）方式のレー
ザ励起回路と呼ばれ、放電部に効率よくエネルギーを注
入し、発振効率の向上を目的とした回路である。

【０００３】図において、１及び２はレーザ媒質を励起
するための相対する一対の主放電電極、３は主放電電極
１及び２に並列接続された第１のピーキングコンデン
サ、４は第１のピーキングコンデンサ３の一端に接続さ
れた第１のパルス発生用コンデンサ、５は第１のパルス
発生用コンデンサ４の他端と主放電電極２との間に挿入
された第１のスイッチ、６は第１のピーキングコンデン
サ３に並列接続された充電用回路素子、７は第１のパル
ス発生用コンデンサ４と第１のスイッチ５との接続点に
設けられた第１の充電端子である。

【０００４】８は主放電電極１と第１のピーキングコン
デンサ３との間に挿入された可飽和リアクトル、９は主
放電電極１及び２に並列接続された第２のピーキングコ
ンデンサ、１０は第２のピーキングコンデンサ９の一端
に接続された第２のパルス発生用コンデンサ、１１は第
２のパルス発生用コンデンサ１０の他端と主放電電極２
との間に挿入された第２のスイッチ、１２は第２のパル
ス発生用コンデンサ１０と第２のスイッチ１１との接続
点に設けられた第２の充電端子である。

【０００５】第１のピーキングコンデンサ３の両端は、
可飽和リアクトル８の他端と主放電電極２とに接続さ
れ、第２のピーキングコンデンサ９の両端は、主放電電
極１及び２に接続されている。第１のパルス発生用コン
デンサ４の一端は、可飽和リアクトル８と第１のピーキ
ングコンデンサ３との接続点に接続され、第２のパルス
発生用コンデンサ１０の一端は主放電電極１に接続され
ている。第１及び第２のスイッチ５及び１１は、この従
来例ではそれぞれサイラトロンよりなる。

【０００６】Ｖ₁は第１のパルス発生用コンデンサ４の
両端間電圧、Ｖ₂は第１のピーキングコンデンサ３の両
端間電圧、Ｖ₃は第２のピーキングコンデンサ９の両端
間電圧、Ｖ₄は第２のパルス発生用コンデンサ１０の両
端間電圧であり、各電圧Ｖ₁〜Ｖ₄の波形は図２３のよう
になる。

【０００７】第２のピーキングコンデンサ９、第２のパ
ルス発生用コンデンサ１０、第２のスイッチ１１及び第
２の充電端子１２から構成される第２の回路は、高電圧
パルスを発生し、主放電電極１及び２間で放電を開始さ
せることを目的とし、電圧源（スパイカー）として機能
する。

【０００８】又、第１のピーキングコンデンサ３、第１
のパルス発生用コンデンサ４、第１のスイッチ５及び第
１の充電端子７から構成される第１の回路は、低電圧且
つ大電流のパルスを放電部に効率よく、放電を乱さぬよ
う注入することを目的とし、電流源（サステナ）として
機能する。従って、第１の回路内の各コンデンサ３及び
４の静電容量は、第２の回路内の各コンデンサ９及び１
０の静電容量よりも大きく設定されている。

【０００９】次に、図２３の波形図を参照しながら、図
２２に示した従来のパルスレーザ装置の動作について説
明する。第２のピーキングコンデンサ９〜第２の充電端
子１２から構成される第２の回路は、高電圧（Ｖ₁）の
パルスを発生して、主放電電極１及び２間で放電を開始
させる。

【００１０】又、一旦、主放電電極１及び２間で放電が
開始すると、放電抵抗が低下するため、それに合わせ
て、低電圧且つ大電流のパルスを放電部に効率よく、放
電を乱さぬよう注入する必要がある。従って、第１のピ
ーキングコンデンサ３〜第１の充電端子７から構成され
る第１の回路は、低電圧且つ大電流のパルスを、放電部
に対して効率よく放電を乱さぬよう注入する。

【００１１】まず、レーザ媒質をパルス励起させるた
め、第１の充電端子７と第２の充電端子１２とに別の電
圧の正の高電圧が印加される。例えば、第２の充電端子
１２には２０ｋＶ、第１の充電端子７には１０ｋＶの電
圧が印加される。

【００１２】これにより、第１のパルス発生用コンデン
サ４は、第１の充電端子７から、充電用回路素子即ち充
電用抵抗６を通じて、グランドに向けて充電される。
又、第２のパルス発生用コンデンサ１０は、第２の充電
端子１２から、可飽和リアクトル８及び充電用抵抗６を
通じて、グランドに向けて充電される。このとき、第１
及び第２のピーキングコンデンサ３及び９は充電され
ず、電圧Ｖ₂及びＶ₃は０のままである。

【００１３】続いて、時刻ｔ₀において、第１のスイッ
チ５が閉じられると、第１のパルス発生用コンデンサ４
に充電された電荷は、第１のスイッチ５を通して第１の
ピーキングコンデンサ３に放電し、各電圧Ｖ₁及びＶ₂は
図２３のように変化する。

【００１４】図２３において、（ａ）は第１のスイッチ
５が時刻ｔ₀において閉じられた後の第１のパルス発生
用コンデンサ４の両端の電圧Ｖ₁の時間変化を示し、
（ｂ）はスイッチ５が時刻ｔ₀において閉じられた後の
第１のピーキングコンデンサ３の両端の電圧Ｖ₂の時間
変化を示している。第１のパルス発生用コンデンサ４の
電荷は、時刻ｔ₂′において第１のピーキングコンデン
サ３に完全に移行し、電圧Ｖ₁は０、電圧Ｖ₂はピークと
なる。

【００１５】このとき、可飽和リアクトル８によって、
第１のピーキングコンデンサ３、第１のパルス発生用コ
ンデンサ４及び第１のスイッチ５を含む回路は、第２の
ピーキングコンデンサ９、第２のパルス発生用コンデン
サ１０及び第２のスイッチ１１を含む回路から切り離さ
れているので、時刻ｔがｔ₀≦ｔ≦ｔ₂′の範囲内におい
て、第１のパルス発生用コンデンサ４に蓄えられた電荷
は、第１のピーキングコンデンサ３に移行する。

【００１６】又、時刻ｔ₁において、第２のスイッチ１
１が閉じられると、第２のパルス発生用コンデンサ１０
に充電された電荷は、第２のピーキングコンデンサ９に
放電し、各電圧Ｖ₃及びＶ₄は図２３のように変化する。
尚、第１及び第２のスイッチ５及び１１のオンタイミン
グは、互いに異なるが、第２のスイッチ１１が先にオン
されてもよい。

【００１７】図２３において、（ｃ）は第２のスイッチ
１１が時刻ｔ₁において閉じられた後の第２のパルス発
生用コンデンサ１０の両端の電圧Ｖ₄の時間変化を示
し、（ｄ）は第２のスイッチ１１が時刻ｔ₁において閉
じられた後の第２のピーキングコンデンサ９の両端の電
圧Ｖ₃の時間変化を示している。第２のパルス発生用コ
ンデンサ１０の電荷は、時刻ｔ₂において第２のピーキ
ングコンデンサ９に完全に移行し、電圧Ｖ₄は０、電圧
Ｖ₃はピークとなる。

【００１８】このとき、前述と同様に、可飽和リアクト
ル８によって、第２のピーキングコンデンサ９、第１の
パルス発生用コンデンサ１０及び第２のスイッチ１１を
含む回路は、第１のピーキングコンデンサ３、第１のパ
ルス発生用コンデンサ４及び第１のスイッチ５を含む回
路から切り離されているので、時刻ｔがｔ₁≦ｔ≦ｔ₂の
範囲内において、第２のパルス発生用コンデンサ１０に
蓄えられた電荷は、第２のピーキングコンデンサ９に移
行する。

【００１９】第２の回路内の各コンデンサ９及び１０の
静電容量が比較的小さく設定されているため、各コンデ
ンサ９及び１０の充放電に要する時間（ｔ₁〜ｔ₂）は、
第１の回路内の各コンデンサ３及び４の充放電に要する
時間（ｔ₀〜ｔ₂′）よりも短くなる。従って、第２のピ
ーキングコンデンサ９の電圧Ｖ₃は、第１のピーキング
コンデンサ３の電圧Ｖ₂がピークとなる時刻ｔ₂′よりも
早い時刻ｔ₂にピークとなる。

【００２０】時刻ｔ₂においては、主放電電極１及び２
間で放電が開始する。尚、エキシマレーザにおいては、
主放電に先立ち、予備電離放電が必要であるが、このた
めの電極及び回路は図２２では省略されている。時刻ｔ
がｔ₂≦ｔ≦ｔ₃の範囲においては、第２のピーキングコ
ンデンサ９から主放電電極１及び２間で発生する主放電
にエネルギーが注入され、これにより放電が維持され
る。

【００２１】時刻ｔ₂において放電が発生すると、可飽
和リアクトル８の漏れ電流による電位差により、時刻ｔ
₂′において可飽和リアクトル８が飽和し、第１のピー
キングコンデンサ３のエネルギーが主放電に効率よく且
つ放電を乱さぬように供給され、レーザ発振へと至る。
通常、パルスレーザ装置の場合、放電持続時間（ｔ₂〜
ｔ₃）は、１００ｎｓｅｃ以下である。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】従来のパルスレーザ装
置は以上のように、スパイカーサステナとなる第１及び
第２の回路に対して、個別に２個のスイッチ、即ち第１
及び第２のスイッチ５及び１１を用いているので、回路
規模が大きくなり構成が複雑になるという問題点があっ
た。

【００２３】又、第１及び第２のスイッチ５及び１１の
オンするタイミングが異なるため、それぞれのタイミン
グで各スイッチ５及び１１をトリガするためのパルスが
必要となり、制御回路（図示せず）が複雑になるという
問題点があった。

【００２４】更に、電圧レベルの異なる２つの充電回路
（図示せず）を用いて、それぞれ第１及び第２の充電端
子７及び１２から充電しなければならず、同様に回路規
模が大きくなり構成が複雑になるという問題点があっ
た。

【００２５】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、スイッチ及び充電端子をそれぞ
れ１個で構成することのできるパルスレーザ装置を得る
ことを目的とする。

【００２６】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るパルスレーザ励起回路は、互いに対向配置されたレー
ザ励起用の一対の主放電電極と、一対の主放電電極間に
第１のパルス電圧を印加する第１のパルス発生用４端子
回路と、第１のパルス発生用４端子回路に並列接続され
て主放電電極に第２のパルス電圧を印加する第２のパル
ス発生用４端子回路と、第１のパルス発生用４端子回路
及び第２のパルス発生用４端子回路の各一対の入力端子
の各一方に接続された充電端子と、第１のパルス発生用
４端子回路及び第２のパルス発生用４端子回路の各一対
の入力端子間をそれぞれ選択的に短絡するためのスイッ
チと、スイッチと第１のパルス発生用４端子回路の一方
の入力端子との間に挿入された第１の可飽和リアクトル
と、第１のパルス発生用４端子回路の一対の出力端子の
一方と主放電電極との間に挿入された第２の可飽和リア
クトルとを備え、スイッチを導通させることにより、第
２のパルス電圧を主放電電極に印加して一対の主放電電
極間に主放電を発生させると共に、第１のパルス電圧を
主放電電極に印加して、主放電を持続させるものであ
る。

【００２７】又、この発明の請求項２に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１において、第１のパルス発生用
４端子回路は、第１の可飽和リアクトル側に対応した入
力端子に一端が接続されたパルス発生用コンデンサと、
パルス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接続さ
れたパルス形成線路と、パルス形成線路の一対の入力端
間又は出力端間に挿入された充電用回路素子とを有し、
パルス形成線路の他方の入力端はスイッチ側に対応した
入力端子に接続され、パルス形成線路の一方の出力端は
第２の可飽和リアクトル側に対応した出力端子に接続さ
れ、パルス形成線路の他方の出力端は主放電電極側に対
応した出力端子に接続されたものである。

【００２８】又、この発明の請求項３に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１又は請求項２において、第２の
パルス発生用４端子回路は、スイッチの両端側に対応し
た一対の入力端子間に挿入された第１のパルス発生用コ
ンデンサと、スイッチの一端側に対応した入力端子に一
端が接続された第２のパルス発生用コンデンサと、主放
電電極側に対応した一対の出力端子間に挿入された充電
用回路素子と、充電用回路素子に並列接続されたピーキ
ングコンデンサとを有し、第２のパルス発生用コンデン
サの他端は出力端子の一方に接続され、ピーキングコン
デンサの一端は出力端子の一方に接続され、ピーキング
コンデンサの他端はスイッチの他端側に対応した入力端
子に接続されたものである。

【００２９】又、この発明の請求項４に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１又は請求項２において、第２の
パルス発生用４端子回路は、スイッチの一端側に対応し
た入力端子に一端が接続されたパルス発生用コンデンサ
と、パルス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接
続されたパルス伝送線路と、パルス伝送線路の一対の入
力端間又は出力端間に挿入された充電用回路素子とを有
し、パルス伝送線路の他方の入力端はスイッチの他端側
に対応した入力端子に接続され、パルス伝送線路の一対
の出力端は主放電電極側に対応した一対の出力端子にそ
れぞれ接続されたものである。

【００３０】又、この発明の請求項５に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１又は請求項２において、第２の
パルス発生用４端子回路は、スイッチの両端側に対応し
た一対の入力端子間に挿入された第１のパルス発生用コ
ンデンサと、スイッチの一端側に対応した入力端子に接
続された第２のパルス発生用コンデンサと、第２のパル
ス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接続された
パルス伝送線路と、パルス伝送線路の一対の入力端間又
は出力端間に挿入された充電用回路素子とを有し、パル
ス伝送線路の他方の入力端はスイッチの他端側に対応し
た入力端子に接続され、パルス伝送線路の一対の出力端
は主放電電極側に対応した一対の出力端子にそれぞれ接
続されたものである。

【００３１】又、この発明の請求項６に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１又は請求項２において、第２の
パルス発生用４端子回路は、スイッチの一端側に対応し
た入力端子に一端が接続されたパルス発生用コンデンサ
と、パルス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接
続された昇圧回路とを有し、昇圧回路の他方の入力端は
スイッチの他端側に対応した入力端子に接続され、昇圧
回路の一対の出力端は主放電電極側に対応した一対の出
力端子にそれぞれ接続されたものである。

【００３２】又、この発明の請求項７に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１又は請求項２において、第２の
パルス発生用４端子回路は、スイッチの両端側に対応し
た一対の入力端子間に挿入された第１のパルス発生用コ
ンデンサと、スイッチの一端側に対応した入力端子に接
続された第２のパルス発生用コンデンサと、第２のパル
ス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接続された
昇圧回路とを有し、昇圧回路の他方の入力端はスイッチ
の他端側に対応した入力端子に接続され、昇圧回路の一
対の出力端は主放電電極側に対応した一対の出力端子に
それぞれ接続されたものである。

【００３３】又、この発明の請求項８に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１乃至請求項５のいずれかにおい
て、第２のパルス発生用４端子回路は、一対の出力端子
間に挿入された昇圧回路を有するものである。

【００３４】又、この発明の請求項９に係るパルスレー
ザ励起回路は、請求項１乃至請求項８のいずれかにおい
て、第２のパルス発生用４端子回路は、一対の出力端子
間に挿入されたパルス電圧反転回路を有するものであ
る。

【００３５】又、この発明の請求項１０に係るパルスレ
ーザ励起回路は、請求項４乃至請求項９のいずれかにお
いて、第２のパルス発生用４端子回路は、一対の出力端
子間に挿入されたピーキングコンデンサを有するもので
ある。

【００３６】又、この発明の請求項１１に係るパルスレ
ーザ励起回路は、請求項１乃至請求項１０のいずれかに
おいて、第２のパルス発生用４端子回路は、遅延回路と
して構成されたパルス伝送線路を有するものである。

【００３７】又、この発明の請求項１２に係るパルスレ
ーザ励起回路は、請求項１において、第１のパルス発生
用４端子回路は、第１の可飽和リアクトル側とスイッチ
の一端側とに対応した一対の入力端子間に挿入された第
１のパルス発生用コンデンサと、第１の可飽和リアクト
ル側に対応した入力端子に一端が接続された第２のパル
ス発生用コンデンサと、主放電電極側に対応した一対の
出力端子間に挿入された充電用回路素子と、第２のパル
ス発生用コンデンサの他端と充電用回路素子の一端との
間に挿入された別の可飽和リアクトルとを有するもので
ある。

【００３８】又、この発明の請求項１３に係るパルスレ
ーザ励起回路は、請求項１、請求項２又は請求項１２に
おいて、第２のパルス発生用４端子回路は、スイッチの
両端側に対応した一対の入力端子間に挿入された第１の
パルス発生用コンデンサと、スイッチの一端側に対応し
た入力端子に一端が接続された第２のパルス発生用コン
デンサと、主放電電極側に対応した一対の出力端子間に
挿入された充電用回路素子と、第２のパルス発生用コン
デンサの他端と充電用回路素子の一端との間に挿入され
た別の可飽和リアクトルとを有するものである。

【００３９】

【作用】この発明の請求項１においては、スイッチと第
１のパルス発生用４端子回路との間に挿入された第１の
可飽和リアクトルが第１のパルス発生用４端子回路を遮
断している間に、第２のパルス発生用４端子回路から急
峻な立ち上がりの第２のパルス電圧を発生させ、この第
２のパルス電圧を主放電電極間に印加する。これによ
り、主放電電極間に第１のパルス発生用４端子回路から
エネルギーが注入されるのに先立って、主放電電極間に
予め均一な放電を発生させる。このとき、主放電電極と
第１のパルス発生用４端子回路との間に挿入された第２
の可飽和リアクトルは、第２のパルス発生用４端子回路
からの第２のパルス電圧により主放電電極間に均一な放
電が発生するまで、第１のパルス発生用４端子回路の出
力端子を主放電電極から切り離す。

【００４０】又、この発明の請求項２においては、第１
のパルス発生用４端子回路内にパルス形成線路を設ける
ことにより、放電開始後の放電部の抵抗とのインピーダ
ンスマッチングを容易にする。

【００４１】又、この発明の請求項３においては、第２
のパルス発生用４端子回路内に第１及び第２のパルス発
生用コンデンサを設けることにより、第２のパルス電圧
を充電電圧よりも大きくする。

【００４２】又、この発明の請求項４においては、第２
のパルス発生用４端子回路内にパルス伝送線路を設ける
ことにより、放電部とのインピーダンスマッチングを容
易にする。

【００４３】又、この発明の請求項５においては、第２
のパルス発生用４端子回路内に第１及び第２のパルス発
生用コンデンサを設け且つパルス伝送線路を設けること
により、放電部とのインピーダンスマッチングを容易に
すると共に、第２のパルス電圧を充電電圧よりも大きく
する。

【００４４】又、この発明の請求項６においては、第２
のパルス発生用４端子回路内に昇圧回路を設けることに
より、第２のパルス電圧を充電電圧よりも大きくする。

【００４５】又、この発明の請求項７においては、第２
のパルス発生用４端子回路内に第１及び第２のパルス発
生用コンデンサを設け且つ昇圧回路を設けることによ
り、第２のパルス電圧を充電電圧よりも更に大きくす
る。

【００４６】又、この発明の請求項８においては、第２
のパルス発生用４端子回路内の出力側に昇圧回路を設け
ることにより、第２のパルス電圧を充電電圧よりも大き
くする。

【００４７】又、この発明の請求項９においては、第２
のパルス発生用４端子回路内の出力側にパルス電圧反転
回路を設けることにより、第２のパルス電圧印加時に第
２の可飽和リアクトルを飽和させ、第１のパルス電圧の
立ち上がりを急峻にする。

【００４８】又、この発明の請求項１０においては、第
２のパルス発生用４端子回路内の出力側にピーキングコ
ンデンサを設けることにより、第２のパルス電圧の立ち
上がりを急峻にする。

【００４９】又、この発明の請求項１１においては、第
２のパルス発生用４端子回路内に遅延回路を設けること
により、伝送タイミングを設定可能とし、第１のパルス
電圧に対する第２のパルス電圧の印加タイミングを設定
可能にする。

【００５０】又、この発明の請求項１２においては、第
１のパルス発生用４端子回路内に別の可飽和リアクトル
を設けることにより、別の可飽和リアクトルが飽和する
まで電荷の転送を遮断し、第１のパルス電圧の立ち上が
りを急峻にする。

【００５１】又、この発明の請求項１３においては、第
２のパルス発生用４端子回路内に別の可飽和リアクトル
を設けることにより、別の可飽和リアクトルが飽和する
まで電荷の転送を遮断し、第２のパルス電圧の立ち上が
りを急峻にする。

【００５２】

【実施例】実施例１．以下、この発明の実施例１（請求
項１に対応）を図について説明する。図１はこの発明の
実施例１を示す回路図であり、１及び２は前述と同様の
ものである。又、５Ａ、７Ａ及び８Ａは、第１のスイッ
チ５、第１の充電端子７及び可飽和リアクトル８にそれ
ぞれ対応している。

【００５３】この場合、スイッチ５Ａ及び充電端子７Ａ
は各１個ずつのみ設けられており、８Ａは第２の可飽和
リアクトルとなっている。

【００５４】１３は第１の可飽和リアクトル、１４は第
１のパルス発生用４端子回路であり、第１の可飽和リア
クトル１３は、スイッチ５Ａと第１のパルス発生用４端
子回路１４の入力端子Ａとの間に挿入されている。又、
第２の可飽和リアクトル８Ａは、主放電電極１と第１の
パルス発生用４端子回路１４の出力端子Ｃとの間に挿入
されている。

【００５５】１５は第２のパルス発生用４端子回路であ
り、入力端子Ａ及びＢがスイッチ５Ａの両端に接続さ
れ、出力端子Ｃ及びＤが主放電電極１及び２にそれぞれ
接続されている。Ｖ₂′は第１のパルス発生用４端子回
路１４の出力端子Ｃ及びＤ間に発生する電圧、Ｖ₃′は
第２のパルス発生用４端子回路１５の出力端子Ｃ及びＤ
間に発生する電圧であり、各電圧Ｖ₂′及びＶ₃′の波形
は図２に示されている。

【００５６】次に、図２の波形図を参照しながら、図１
に示した実施例１の動作について説明する。まず、時刻
ｔ₀においてスイッチ５Ａがオン（閉成）されると、第
１の可飽和リアクトル１３によるＶｔ（電圧×時間）積
で決まる時間（ｔ₀≦ｔ≦ｔ₀′)だけ、第１のパルス発
生用４端子回路１４の動作は妨げられる。

【００５７】その間に、第２のパルス発生用４端子回路
１５が動作することによって、急峻なパルス電圧Ｖ₃′
が出力端子Ｃ及びＤ間に発生し（図２（ｂ）参照）。こ
の電圧Ｖ₃′は主放電電極１及び２間に印加される。

【００５８】このとき、主放電電極１と第１のパルス発
生用４端子回路１４の出力端子Ｃとの間には第２の可飽
和リアクトル８が挿入されているため、主放電電極１と
パルス発生用４端子回路１４とは切り離されている。従
って、第２のパルス発生用４端子回路１５から発生した
急峻なパルス電圧Ｖ₃′は、主放電電極１及び２間にそ
のまま印加され、時刻ｔ₁において、主放電電極１及び
２間に均一な放電が発生する。

【００５９】続いて、時刻ｔ₀′において、第１の可飽
和リアクトル１３は飽和し、第１のパルス発生用４端子
回路１４の出力端子Ｃ及びＤ間からパルス電圧Ｖ₂′
（図２（ａ）が発生する。第１のパルス発生用４端子回
路１４の出力電圧Ｖ₂′は、第２の可飽和リアクトル８
Ａに妨げられ、第２の可飽和リアクトル８Ａに電圧を発
生させる。

【００６０】続いて、可飽和リアクトル８Ａの電圧×時
間積で決まる時間の後、第２の可飽和リアクトル８Ａは
飽和し、第２のパルス発生用４端子回路１５のパルス電
圧Ｖ₃′によって均一な放電が発生している主放電電極
１及び２に対し、時刻ｔ₂において、第１のパルス発生
用４端子回路１４からのパルス電圧Ｖ₂′が印加され
る。これにより、第１のパルス発生用４端子回路１４の
エネルギーが主放電部に供給される。

【００６１】この結果、従来例と同じように主放電電極
１及び２間で放電が発生し、レーザ発振の準備が整った
後、第１のパルス発生用４端子回路１４のエネルギーを
主放電電極１及び２に供給することができるので、エネ
ルギーを無駄なくレーザ発振に使用することができる。

【００６２】更に、２つの電圧パルスＶ₃′及びＶ₂′を
１個のスイッチ５Ａのオン動作に基づいて発生させてい
るので、装置構成が簡単となる。又、図中には記してい
ないが、充電端子７Ａに電圧を印加するための充電回路
が１つのみで済むので、装置が簡単になる。又、第１の
パルス発生用４端子回路１４からのエネルギー供給は、
主放電電極１及び２で均一な放電を起こした後に行われ
るので、均一な放電を容易に得ることができる。

【００６３】又、主放電電極１及び２に放電が起こる
と、主放電電極１及び２間の放電抵抗は急激に低下する
が、第２のパルス発生４端子回路１５によって放電抵抗
が下げられるので、第１のパルス発生４端子回路１４の
出力インピーダンスを放電抵抗に合あわせておくこと
で、効率よくエネルギーを注入することができる。

【００６４】実施例２．図３は図１内の第１のパルス発
生用４端子回路１４の第１構成例を示す回路図であり、
１６は一端が入力端子Ａに接続されたパルス発生用コン
デンサ、１７はパルス発生用コンデンサ１６の電荷が転
送されて両端が出力端子Ｃ及びＤとなるピーキングコン
デンサ、１８はパルス発生用コンデンサ１６を充電する
ための充電用回路素子（例えば、抵抗器）である。充電
用回路素子１８は、第１又は第２のパルス発生用４端子
回路１４又は１５内のいずれかに設置すればよく、第２
のパルス発生用４端子回路１５内に充電用回路素子が存
在する場合には省略することができる。

【００６５】次に、図１を参照しながら、図３に示した
この発明の実施例２による第１のパルス発生用４端子回
路１４の動作について説明する。第１の可飽和リアクト
ル１３が飽和すると、スイッチ５Ａ、飽和した可飽和リ
アクトル１３、パルス発生用コンデンサ１６及びピーキ
ングコンデンサ１７が閉回路となり、パルス発生用コン
デンサ１６の電荷は、ピーキングコンデンサ１７へと移
行する。

【００６６】これにより、第１のパルス発生４端子回路
１４の出力端子Ｃ及びＤ間にパルス電圧Ｖ₂′が発生す
る。このとき、主放電電極１及び２間は、第２のパルス
発生用４端子回路１５からのパルス電圧Ｖ₃′により放
電が発生し、放電抵抗が低くなっている。従って、第２
の可飽和リアクトル８Ａの両端に電圧がかかり、第２の
可飽和リアクトル８Ａが飽和するため、主放電電極１及
び２間の放電部に、ピーキングコンデンサ１７に蓄えら
れたエネルギーが投入される。

【００６７】実施例３．図４は図１内の第２のパルス発
生用４端子回路１５の第１構成例を示す回路図であり、
１９は入力端子Ａに接続されたパルス発生用コンデン
サ、２０はパルス発生用コンデンサ１９の電荷が転送さ
れて両端が出力端子Ｃ及びＤとなるピーキングコンデン
サ、２１はパルス発生用コンデンサ１９を充電するため
の充電用回路素子（例えば、抵抗器）である。充電用回
路素子２１は、パルス発生用４端子回路１４内に充電用
回路素子が存在する場合には省略することができる。

【００６８】次に、図１を参照しながら、図４に示した
この発明の実施例３による第２のパルス発生用４端子回
路１５の動作について説明する。図１のスイッチ５Ａが
投入されると、第１の可飽和リアクトル１３により第１
のパルス発生４端子回路１４が切り離されているため、
スイッチ５Ａ、パルス発生用コンデンサ１９及びピーキ
ングコンデンサ２０が閉回路となり、パルス発生用コン
デンサ１９の電荷は、ピーキングコンデンサ２０へと移
行する。

【００６９】ここで、各コンデンサ１９及び２０の容量
を小さく設定しておくと、電荷の移行周期が短くなるた
め、第２のパルス発生４端子回路１５の出力端子Ｃ及び
Ｄ間に急峻なパルス電圧Ｖ₃′が発生する。主放電電極
１及び２間は、第２の可飽和リアクトル８Ａにより第１
のパルス発生用４端子回路１４から切り離されているた
め、第２のパルス発生用４端子回路１５の出力端子Ｃ及
びＤ間に発生した急峻なパルス電圧Ｖ₃′は、主放電電
極１及び２間にそのまま印加されて均一な放電を発生さ
せる。そして、主放電電極１及び２間の放電にピーキン
グコンデンサ２０に蓄えられたエネルギーが投入され
る。

【００７０】実施例４．図５は図１内の第１のパルス発
生用４端子回路１４の第２構成例を示す回路図であり、
１６〜１８は図３に示したものと同様のものである。こ
の場合、１６は第２のパルス発生用コンデンサとなって
いる。２２は両端が入力端子Ａ及びＢに接続された第１
のパルス発生用コンデンサである。

【００７１】充電用回路素子１８は、各パルス発生用コ
ンデンサ２２及び１６を充電するためのものであり、第
２のパルス発生用４端子回路１５内に同様の充電用回路
素子が存在する場合には省略することができる。ピーキ
ングコンデンサ１７は、各パルス発生用コンデンサ２２
及び１６の電荷が転送されるようになっている。

【００７２】次に、図１を参照しながら、図５に示した
この発明の実施例４による第１のパルス発生用４端子回
路１４の動作について説明する。第１の可飽和リアクト
ル１３が飽和すると、スイッチ５Ａ、飽和した可飽和リ
アクトル１３及び第１のパルス発生用コンデンサ２２が
閉回路となり、第１のパルス発生用コンデンサ２２の電
圧は反転する。

【００７３】又、第１のパルス発生用コンデンサ２２、
第２のパルス発生用コンデンサ１６及びピーキングコン
デンサ１７も閉回路になっており、ピーキングコンデン
サ１７の両端には、第１のパルス発生用コンデンサ２２
の電圧が反転したことによりパルス電圧が印加され、ピ
ーキングコンデンサ１７に電荷が転送される。又、同時
に、第１のパルス発生４端子回路１４の出力端子Ｃ及び
Ｄ間にもパルス電圧Ｖ₂′が発生する。

【００７４】このとき、主放電電極１及び２間には、第
２のパルス発生用４端子回路１５からのパルス電圧
Ｖ₃′により放電が起こっており、第２の可飽和リアク
トル８Ａに電圧がかかり、第２の可飽和リアクトル８Ａ
が飽和して、主放電電極１及び２間の放電部に対し、ピ
ーキングコンデンサ１７に蓄えられたエネルギーが投入
される。この場合、第１のパルス発生用４端子回路１４
は、充電電圧の２倍の電圧を主放電電極１及び２に供給
することができる。

【００７５】 実施例５．（請求項３に対応）図６は図１内の第２のパ
ルス発生用４端子回路１５の第２構成例を示す回路図で
あり、１９〜２１は図４に示したものと同様のものであ
る。この場合、１９は第２のパルス発生用コンデンサと
なっている。２３は両端が入力端子Ａ及びＢに接続され
た第１のパルス発生用コンデンサである。

【００７６】充電用回路素子２１は、各パルス発生用コ
ンデンサ２３及び１９を充電するためのものであり、第
１のパルス発生用４端子回路１４内に同様の充電用回路
素子が存在する場合には省略することができる。ピーキ
ングコンデンサ２０は、各パルス発生用コンデンサ２３
及び１９の電荷が転送されるようになっている。

【００７７】次に、図１を参照しながら、図６に示した
この発明の実施例５（請求項３に対応）による第２のパ
ルス発生用４端子回路１５の動作について説明する。ス
イッチ５Ａが投入されると、第１の可飽和リアクトル１
３により第１のパルス発生４端子回路１４が切り離され
ているため、スイッチ５Ａ及び第１のパルス発生用コン
デンサ２３の閉回路となり、第１のパルス発生用コンデ
ンサ２３の電圧は急激に反転する。

【００７８】又、第１のパルス発生用コンデンサ２３、
第２のパルス発生用コンデンサ１９及びピーキングコン
デンサ２０も閉回路になっており、ピーキングコンデン
サ２０の両端には、第１のパルス発生用コンデンサ２３
の電圧が急激に反転したことにより急峻なパルス電圧が
印加され、ピーキングコンデンサ２０に電荷が転送され
る。

【００７９】又、同時に、第２のパルス発生４端子回路
１５の出力端子Ｃ及びＤ間にも急峻なパルス電圧Ｖ₃′
が発生する。主放電電極１及び２間は、第２の可飽和リ
アクトル８Ａにより第１のパルス発生用４端子回路１４
と切り離されているため、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に発生した急峻なパルス電
圧Ｖ₃′が主放電電極１及び２間にそのまま印加され均
一な放電が起こる。

【００８０】そして、主放電電極１及び２間の放電部
に、ピーキングコンデンサ２０に蓄えられたエネルギー
が投入される。この場合、第２のパルス発生用４端子回
路１５は、充電電圧の２倍の電圧を放電開始電圧Ｖ₃′
として主放電電極１及び２間に印加することができる。
従って、低い充電電圧により放電開始に必要なパルス電
圧を発生することができる。又、第２のパルス発生用４
端子回路１５と放電部の放電抵抗とのマッチングを損な
うこともない。

【００８１】 実施例６．（請求項２に対応）図７は図１内の第１のパ
ルス発生用４端子回路１４の第３構成例を示す回路図で
あり、１６及び１８は図３に示したものと同様のもので
ある。充電用回路素子１８は第２のパルス発生用４端子
回路１５にも同様の充電用回路素子が存在する場合には
省略することができる。２４はパルス形成線路として用
いられる同軸線路であり、パルス発生用コンデンサ１６
の電荷が転送される。

【００８２】次に、図１を参照しながら、図７に示した
この発明の実施例６（請求項２に対応）による第１のパ
ルス発生用４端子回路１４の動作について説明する。第
１の可飽和リアクトル１３が飽和すると、スイッチ５
Ａ、飽和した可飽和リアクトル１３、パルス発生用コン
デンサ１６及びパルス形成線路２４が閉回路となり、パ
ルス発生用コンデンサ１６の電荷は、パルス形成線路２
４へと移行する。

【００８３】これにより、第１のパルス発生用４端子回
路１４の出力端子Ｃ及びＤ間にパルス電圧Ｖ₂′が発生
する。このとき、主放電電極１及び２間には、第２のパ
ルス発生用４端子回路１５からのパルス電圧Ｖ₃′によ
り放電が起こっており、第２の可飽和リアクトル８Ａに
電圧がかかり、第２の可飽和リアクトル８Ａが飽和して
主放電電極１及び２間の放電部にパルス形成線路２４に
蓄えられたエネルギーが投入される。この場合、パルス
形成線路２４のインピーダンスは、設定が容易なため、
放電部のインピーダンスと同一に選ぶことができ、エネ
ルギーの注入効率を著しく向上させることができる。

【００８４】 実施例７．（請求項４に対応）図８は図１内の第２のパ
ルス発生用４端子回路１５の第３構成例を示す回路図で
あり、１９及び２１は図４に示したものと同様のもので
ある。充電用回路素子２１は、第１のパルス発生用４端
子回路１４内に同様の充電用回路素子が存在する場合に
は省略することができる。２５はパルス伝送線路として
用いられる同軸線路であり、パルス発生用コンデンサ１
９の電荷が転送される。

【００８５】次に、図１を参照しながら、図８に示した
この発明の実施例７（請求項４に対応）による第２のパ
ルス発生用４端子回路１５の動作について説明する。ス
イッチ５Ａが投入されると、第１の可飽和リアクトル１
３により第１のパルス発生用４端子回路１４が切り離さ
れているため、スイッチ５Ａ、パルス発生用コンデンサ
１９、パルス伝送線路２５が閉回路となり、パルス発生
用コンデンサ１９によって急峻なパルス電圧Ｖ₃が発生
し、パルス伝送線路２５によって伝送される。

【００８６】これにより、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に急峻なパルス電圧Ｖ₃′
が発生する。主放電電極１及び２間は、第２の可飽和リ
アクトル８Ａにより第１のパルス発生用４端子回路１４
が切り離されているため、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に発生した急峻なパルス電
圧Ｖ₃′がそのまま主放電電極１及び２間に印加され、
均一な放電が起こる。

【００８７】そして、主放電電極１及び２間の放電部
に、パルス伝送線路２５からのエネルギーが投入され
る。このように、パルス伝送線路２５でエネルギーを投
入することにより、パルス発生用コンデンサ１９を主放
電電極１及び２付近に取り付ける必要がなくなり、回路
構成の密集を防ぐことができる。

【００８８】実施例８．図９は図１内の第１のパルス発
生用４端子回路１４の第４構成例を示す回路図であり、
１６、１８及び２２は図５に示したものと同様のもの、
又、２４は図７に示したものと同様のものである。充電
用回路素子１８は、第２のパルス発生用４端子回路１５
内に同様の充電用回路素子が存在する場合には省略する
ことができる。パルス形成線路となる同軸線路２４に
は、第１のパルス発生用コンデンサ２２の電荷と、第２
のパルス発生用コンデンサ１６の電荷とが転送される。

【００８９】次に、図１を参照しながら、図９に示した
この発明の実施例８による第１のパルス発生用４端子回
路１４の動作について説明する。第１の可飽和リアクト
ル１３が飽和すると、スイッチ５Ａ、飽和した可飽和リ
アクトル１３、第１のパルス発生用コンデンサ２２が閉
回路となり、第１のパルス発生用コンデンサ２２の電圧
は反転する。

【００９０】又、第１のパルス発生用コンデンサ２２、
第２のパルス発生用コンデンサ１６及びパルス形成線路
２４も閉回路になっており、パルス形成線路２４には、
第１のパルス発生用コンデンサ２２の電圧が反転したこ
とによりパルス電圧が印加され、パルス形成線路２４に
電荷が転送される。

【００９１】又、第１のパルス発生用４端子回路１４の
出力端子Ｃ及びＤ間にもパルス電圧Ｖ₂′が発生する。
このとき、主放電電極１及び２間には、第２のパルス発
生用４端子回路１５からのパルス電圧Ｖ₃′により放電
が起こっており、第２の可飽和リアクトル８Ａに電圧が
印加され、第２の可飽和リアクトル８Ａが飽和して主放
電電極１及び２間の放電部にパルス形成線路２４に蓄え
られたエネルギーが投入される。

【００９２】この場合、パルス形成線路２４のインピー
ダンスは、放電部のインピーダンスと同一に選ばれるの
で、エネルギーの注入効率が著しく向上する。

【００９３】 実施例９．（請求項５に対応）図１０は図１内の第２の
パルス発生用４端子回路１５の第４構成例を示す回路図
であり、１９、２１及び２３は図６に示したものと同
様、又、２５は図８に示したものと同様のものである。
充電用回路素子２１は、第１のパルス発生用４端子回路
１４内に同様の充電用回路素子が存在する場合には省略
することができる。パルス伝送線路となる同軸線路２５
には、第１のパルス発生用コンデンサ２３の電荷と、第
２のパルス発生用コンデンサ１９の電荷とが転送され
る。

【００９４】次に、図１を参照しながら、図１０に示し
たこの発明の実施例９（請求項５に対応）による第２の
パルス発生用４端子回路１５の動作について説明する。
スイッチ５Ａが投入されると、第１の可飽和リアクトル
１３により第１のパルス発生用４端子回路１４が切り離
されているため、スイッチ５Ａ及びパルス発生用コンデ
ンサ２３が閉回路となり、第１のパルス発生用コンデン
サ２３の電圧は急激に反転する。

【００９５】又、第１のパルス発生用コンデンサ２３、
第２のパルス発生用コンデンサ１９及びパルス伝送線路
２５も閉回路になっており、パルス伝送線路２５には、
第１のパルス発生用コンデンサ２３の電圧が急激に反転
したことにより急峻なパルス電圧が印加され、パルス伝
送線路２３によって急峻なパルス電荷が伝送される。こ
れにより、第２のパルス発生用４端子回路１５の出力端
子Ｃ及びＤ間に急峻なパルス電圧Ｖ₃′が発生する。

【００９６】主放電電極１及び２間は、第２の可飽和リ
アクトル８Ａにより第１のパルス発生用４端子回路１４
が切り離されているため、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に発生した急峻なパルス電
圧Ｖ₃′がそのまま主放電電極１及び２間に印加され、
主放電電極１及び２間に均一な放電が起こる。そして、
主放電電極１及び２間の放電部にパルス伝送線路２５か
らのエネルギーが投入される。

【００９７】このように、パルス伝送線路２５を用いて
エネルギーを投入することにより、第１のパルス発生用
コンデンサ２３と第２のパルス発生用コンデンサ１９と
を主放電電極１及び２の付近に取り付ける必要がなくな
り、回路構成の密集を防ぐことができる。

【００９８】又、この場合、第２のパルス発生用４端子
回路１５は、充電電圧の２倍の電圧を放電開始電圧
Ｖ₃′として主放電電極１及び２に印加することができ
るので、第１のパルス発生用４端子回路１４と放電抵抗
とのマッチングが取り易い。即ち、第１のパルス発生用
４端子回路１４は、安定に放電を維持するための低い電
圧Ｖ₂′を出力すればよく、回路インピーダンスを放電
部の抵抗値に予め整合させることができる。

【００９９】 実施例１０．（請求項６に対応）図１１は図１内の第２
のパルス発生用４端子回路１５の第５構成例を示す回路
図であり、１９は前述と同様のものである。２６はパル
ス発生用コンデンサ１９に接続された昇圧回路として用
いられるパルストランスであり、両端が出力端子Ｃ及び
Ｄに接続されており、パルス発生用コンデンサ１９の電
荷が転送される。

【０１００】次に、図１を参照しながら、図１１に示し
たこの発明の実施例１０（請求項６に対応）による第２
のパルス発生用４端子回路１５の動作について説明す
る。スイッチ５Ａが投入されると、第１の可飽和リアク
トル１３により第１のパルス発生用４端子回路１４が切
り離されているため、スイッチ５Ａ、パルス発生用コン
デンサ１９及び昇圧回路２６が閉回路となり、パルス発
生用コンデンサ１９によって急峻なパルス電圧が発生
し、昇圧回路２６に印加される。

【０１０１】これにより、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧された急峻なパルス
電圧Ｖ₃′が発生する。主放電電極１及び２間は、第２
の可飽和リアクトル８Ａにより第１のパルス発生用４端
子回路１４から切り離されているため、第２のパルス発
生用４端子回路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧されて
発生した急峻なパルス電圧Ｖ₃′がそのまま主放電電極
１及び２間に印加され、均一な放電が起こる。

【０１０２】そして、主放電電極１及び２間の放電部に
昇圧回路２６からのエネルギーが投入される。この場
合、第２のパルス発生用４端子回路１５によって、主放
電電極１及び２間に放電可能な電圧Ｖ₃′を印加するこ
とができるので、第１のパルス発生用４端子回路１４の
出力電圧Ｖ₂′を放電維持電圧まで低くすることができ
る。従って、放電部とのインピーダンスマッチングが取
り易い。

【０１０３】 実施例１１．（請求項７に対応）図１２は図１内の第２
パルス発生用４端子回路１５の第６構成例を示す回路図
であり、１９及び２３は前述と同様のものである。２６
は各パルス発生用コンデンサ１９及び２３に接続された
昇圧回路として用いられるパルストランスであり、両端
が出力端子Ｃ及びＤに接続されており、第１のパルス発
生用コンデンサ２３の電荷と、第２のパルス発生用コン
デンサ１９の電荷とが転送される。

【０１０４】次に、図１を参照しながら、図１２に示し
たこの発明の実施例１１（請求項７に対応）による第２
のパルス発生用４端子回路１５の動作について説明す
る。スイッチ５Ａが投入されると、第１の可飽和リアク
トルにより第１のパルス発生用４端子回路１４が切り離
されているため、スイッチ５Ａ及び第１のパルス発生用
コンデンサ２３が閉回路となり、第１のパルス発生用コ
ンデンサ２３の電圧は急激に反転する。

【０１０５】又、第１のパルス発生用コンデンサ２３、
第２のパルス発生用コンデンサ１９及び昇圧回路２６も
閉回路になっているため、昇圧回路２６には、第１のパ
ルス発生用コンデンサ２３の電圧が急激に反転したこと
により、急峻なパルス電圧が印加され、昇圧回路２６に
よって昇圧された急峻なパルス電荷が発生する。

【０１０６】これにより、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間にも昇圧された急峻なパル
ス電圧が発生する。主放電電極１及び２間は、第２の可
飽和リアクトル８Ａにより第１のパルス発生用４端子回
路１４から切り離されているため、第２のパルス発生用
４端子回路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧されて発生
した急峻なパルス電圧Ｖ₃′がそのまま主放電電極１及
び２間に印加され、均一な放電が起こる。

【０１０７】そして、主放電電極１及び２間の放電部に
昇圧回路２６からのエネルギーが投入される。この場
合、第２のパルス発生用４端子回路１５によって主放電
電極１及び２間に放電可能な電圧を加えることができる
ので、第１のパルス発生用４端子回路１４の出力電圧Ｖ
₂′を放電維持電圧まで低くすることができる。従っ
て、放電部とのインピーダンスマッチングが取り易い。

【０１０８】 実施例１２．（請求項８に対応）図１３は図１内の第２
パルス発生用４端子回路１５の第７構成例を示す回路図
であり、１９、２１、２５及び２６は前述と同様のもの
である。この場合、昇圧回路２６は、パルス伝送線路と
なる同軸線路２５を介してパルス発生用コンデンサ１９
に接続されると共に、両端が出力端子Ｃ及びＤに接続さ
れている。

【０１０９】次に、図１を参照しながら、図１３に示し
たこの発明の実施例１２（請求項８に対応）による第２
のパルス発生用４端子回路１５の動作について説明す
る。スイッチ５Ａが投入されると、第１の可飽和リアク
トル１３により第１のパルス発生用４端子回路１４が切
り離されているため、スイッチ５Ａ、パルス発生用コン
デンサ１９及びパルス伝送線路２５が閉回路となり、パ
ルス発生用コンデンサ１９によって急峻なパルス電圧が
発生し、パルス伝送線路２５によって伝送される。

【０１１０】パルス伝送線路２５に伝送されたパルス電
圧は、昇圧回路であるパルストランス２６に印加され
る。これにより、第２のパルス発生用４端子回路１５の
出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧された急峻なパルス電圧が発
生する。主放電電極１及び２間は、第２の可飽和リアク
トル８Ａにより第１のパルス発生用４端子回路１４から
切り離されているため、第２のパルス発生用４端子回路
１５の出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧されて発生した急峻な
パルス電圧がそのまま主放電電極１及び２間に印加さ
れ、均一な放電が起こる。

【０１１１】そして、主放電電極１及び２間の放電部に
昇圧回路２６からのエネルギーが投入される。この場
合、第２のパルス発生用４端子回路１５によって主放電
電極１及び２間に放電可能な電圧を印加することができ
るので、第１のパルス発生用４端子回路１４の出力電圧
Ｖ₂′を放電維持電圧まで低くすることができる。従っ
て、放電部とのインピーダンスマッチングが取り易い。

【０１１２】又、このようにパルス伝送線路２５を介し
てエネルギーを投入することにより、パルス発生用コン
デンサ１９を主放電電極１及び２の付近に取り付ける必
要がなくなり、回路構成の密集を防ぐことができる。

【０１１３】実施例１３．図１４は図１内の第２パルス
発生用４端子回路１５の第８構成例を示す回路図であ
り、１９、２１、２３、２５及び２６は前述と同様のも
のである。この場合、昇圧回路２６は、パルス伝送線路
２５を介して、第１のパルス発生用コンデンサ２３及び
第２のパルス発生用コンデンサ１９に接続されている。

【０１１４】次に、図１を参照しながら、図１４に示し
たこの発明の実施例１３による第２のパルス発生用４端
子回路１５の動作について説明する。スイッチ５Ａが投
入されると、第１の可飽和リアクトル１３により第１の
パルス発生用４端子回路１４が切り離されているため、
スイッチ５Ａ及び第１のパルス発生用コンデンサ２３が
閉回路となり、第１のパルス発生用コンデンサ２３の電
圧は急激に反転する。

【０１１５】又、第１のパルス発生用コンデンサ２３、
第２のパルス発生用コンデンサ１９及びパルス伝送線路
２５も閉回路になっているため、パルス伝送線路２５に
は、第１のパルス発生用コンデンサ２３の電圧が急激に
反転したことにより、急峻なパルス電圧が印加される。
従って、パルス伝送線路２５に介して伝送された急峻な
パルス電圧は、昇圧回路であるパルストランス２６に印
加される。

【０１１６】これにより、第２のパルス発生用４端子回
路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧された急峻なパルス
電圧が発生する。主放電電極１及び２間は、第２の可飽
和リアクトル８Ａにより第１のパルス発生用４端子回路
１４から切り離されているため、第２のパルス発生用４
端子回路１５の出力端子Ｃ及びＤ間に昇圧されて発生し
た急峻なパルス電圧がそのまま主放電電極１及び２間に
印加され、均一な放電が起こる。

【０１１７】そして、主放電電極１及び２間の放電部に
パルス伝送線路２５からのエネルギーが投入される。こ
の場合、第２のパルス発生用４端子回路１５によって主
放電電極１及び２間に放電可能な電圧Ｖ₃′を印加する
ことができるので、第１のパルス発生用４端子回路１４
の出力電圧Ｖ₂′を放電維持電圧まで低くすることがで
きる。従って放電部とのインピーダンスマッチングが取
り易い。

【０１１８】又、このようにパルス伝送線路２５を介し
てエネルギーを投入することにより、第１のパルス発生
用コンデンサ２３及び第２のパルス発生用コンデンサ１
９を主放電電極１及び２の付近に取り付ける必要がなく
なり、回路構成の密集を防ぐことができる。

【０１１９】 実施例１４．（請求項９に対応）尚、図１１〜図１４に
示した上記実施例１０〜実施例１３では、第２のパルス
発生用４端子回路１５内に昇圧回路２６を設け、昇圧回
路２６の両端を出力端子Ｃ及びＤに接続したが、昇圧回
路２６と同一構成のパルス電圧反転回路（図示せず）を
挿入し、最初に放電電極１及び２間に第１のパルス発生
用４端子回路１４の出力電圧Ｖ₂′とは逆極性の電圧
Ｖ₃′が印加されるようにしてもよい。

【０１２０】パルス電圧反転回路としてパルストランス
を用いた場合、回路図は図１１〜図１４と同一になる
が、発生する出力電圧Ｖ₃′の極性が逆になるようにパ
ルストランスが構成される。この場合、出力電圧Ｖ₃′
としては、パルストランスの組み方により、等倍の電圧
を発生することも、昇圧された電圧を発生することも可
能である。

【０１２１】このように、主放電電極１及び２間に第１
のパルス発生用４端子回路１４のパルス電圧Ｖ₂′とは
逆極性のパルス電圧Ｖ₃′を印加すると、第２の可飽和
リアクトル８Ａを飽和させる方向に電圧Ｖ₃′が印加さ
れるので、主放電電極１及び２間に放電が起こる前に、
第２の可飽和リアクトル８Ａが飽和する。

【０１２２】これにより、第２の可飽和リアクトル８Ａ
によるロスを小さくすることができ、主放電電極１及び
２間の電圧は急激に逆方向に引かれていき、放電開始電
圧に達する。従って、第１のパルス発生用４端子回路１
４のみで主放電電極１及び２間に電圧Ｖ₂′を印加した
ときの２倍以上の急峻さで電圧パルスＶ₂′を主放電電
極１及び２に印加することができる。

【０１２３】 実施例１５．（請求項１０に対応）上記実施例７及び実
施例９〜実施例１４では、第２のパルス発生用４端子回
路１５内にパルス伝送線路２５及び昇圧回路２６（又
は、パルス電圧反転回路）を用い、昇圧回路２６の両端
から出力電圧Ｖ₃′を発生させたが、最終段に更にピー
キングコンデンサを追加してもよい。

【０１２４】図１５〜図２０は、図８（実施例７）、図
１０〜図１４（実施例９〜実施例１３）の回路の最終段
にピーキングコンデンサを追加した場合の、この発明の
実施例１５（請求項１０に対応）を示す回路図である。
各図において、２０は昇圧回路２６に並列接続されて両
端が出力端子Ｃ及びＤに接続されたピーキングコンデン
サである。

【０１２５】この場合、ピーキングコンデンサ２０を挿
入することにより、パルス伝送線路２５及び昇圧回路２
６（又は、パルス電圧反転回路）の出力電圧は、一旦、
ピーキングコンデンサ２０に蓄えられてから主放電電極
１及び２に印加される。従って、放電部に対してエネル
ギーの注入を迅速に行うことができる。

【０１２６】 実施例１６．（請求項１１に対応）尚、上記各実施例に
示したパルス伝送線路２５を使用した第２のパルス発生
用４端子回路１５において、第１のパルス発生用４端子
回路１４からパルス電圧Ｖ₂′が発生するタイミング
と、主放電電極１及び２間に放電を起こし、第２の可飽
和リアクトル８Ａが飽和するタイミングとを調整するた
めに、パルス伝送線路２５を遅延回路として用いてもよ
い。これにより、放電部に最もエネルギーが注入され易
いタイミングで、主放電電極１及び２間に放電を起こす
ことができる。

【０１２７】ここでは、パルス伝送線路２５を遅延回路
として用いたこの発明の実施例１６による第２のパルス
発生用４端子回路１５を図８の回路構成とし、又、第１
のパルス発生用４端子回路１４を図７の回路構成とした
場合を例にとり、その動作について図２１の波形図を参
照しながら説明する。

【０１２８】図２１において、Ｖ₁′は第１のパルス発
生用４端子回路１４内のパルス発生用コンデンサ１６
（図７参照）の両端間電圧、Ｖ₂′は第１のパルス発生
用４端子回路１４の出力電圧、Ｖ₃′は第２のパルス発
生用４端子回路１５の出力電圧である。

【０１２９】まず、時刻ｔ₀においてスイッチ５Ａがオ
ンすると、第１の可飽和リアクトル１３によって電圧×
時間積で決まる時間（ｔ₀≦ｔ≦ｔ₀′）だけ、第１のパ
ルス発生用４端子回路１４の動作は妨げられる。その間
に、第２のパルス発生用４端子回路１５内のパルス発生
用コンデンサ１９によって、急峻なパルス電圧Ｖ₃（図
２１（ｃ）参照）が生成され、パルス伝送線路即ち遅延
回路２５にパルスが転送される。

【０１３０】続いて、時刻ｔ₀′において、第１の可飽
和リアクトル１５は飽和し、第１のパルス発生用４端子
回路１４内のパルス発生用コンデンサ１６の電圧Ｖ₁′
が放電することによって、第１のパルス発生用４端子回
路１４からパルス電圧Ｖ₂′（図２１（ｂ）参照）が発
生する。

【０１３１】更に、時刻ｔ₁において、遅延回路２５か
らパルス電圧が発生し、第２のパルス発生用４端子回路
１５の出力端子Ｃ及びＤ間に急峻なパルス電圧Ｖ₃′
（図２１（ｃ）参照）が発生する。

【０１３２】このパルス電圧Ｖ₃′は、主放電電極１及
び２間に印加される。このとき、第２の可飽和リアクト
ル８Ａが主放電電極１と第１のパルス発生用４端子回路
１４とを切り離しているので、第２のパルス発生用４端
子回路１５から発生した急峻なパルス電圧Ｖ₃′がその
まま主放電電極１及び２間に印加される。

【０１３３】そして、時刻ｔ₂において、主放電電極１
及び２間に放電が発生する。このとき、急峻なパルス電
圧Ｖ₃′が印加されるので、主放電電極１及び２間に均
一な放電が形成される。放電が発生した後、主放電電極
１及び２の間の電圧が下がってくると、第２の可飽和リ
アクトル８Ａの漏れ電流による電位差によって、第２の
可飽和リアクトル８Ａは、時刻ｔ₂において飽和し、第
１のパルス発生用４端子回路１４のエネルギーが主放電
電極１及び２間に供給される。

【０１３４】この結果、従来例と同じように主放電が発
生し、レーザ発振の準備が整った後で、第１のパルス発
生用４端子回路１４のエネルギーを主放電に供給するこ
とができるので、エネルギーを無駄なくレーザ発振に使
用することができる。

【０１３５】又、２つの電圧パルスＶ₃′及びＶ₂′を１
個のスイッチ５Ａの動作に基づいて発生させているの
で、動作回路（図示せず）を含む装置構成が簡単とな
る。又、第１のパルス発生用４端子回路１４のエネルギ
ーは、主放電電極１及び２間で均一な放電を起こした後
に供給されるので、均一な放電を容易に得ることができ
る。

【０１３６】実施例１７．又、上記実施例６〜実施例１
６では、パルス形成線路２４及び遅延回路２５等として
同軸線路を用いたが、ストリップ線路やＬＣ線路等を用
いても同様の効果を奏することができる。

【０１３７】実施例１８．又、上記実施例１０〜実施例
１５では、昇圧回路２６としてパルストランスを用いた
が、テーパ線路や積み重ね線路等を用いても同様の効果
を奏することができる。この場合、例えば、テーパ線路
を第２のパルス発生用４端子回路１５に用いれば、パル
ス伝送線路（又は、遅延回路）２５及び昇圧回路２６の
組み合わせをテーパ線路のみで構成することができるた
め、回路構成が簡単化される。

【０１３８】実施例１９．又、上記実施例１４では、パ
ルス電圧反転回路としてパルストランス２６を用いた
が、パルス電圧反転線路等を用いても同様の効果を奏す
ることができる。この場合、例えば、パルス電圧反転線
路を第２のパルス発生用４端子回路１５に用いれば、パ
ルス伝送線路（又は、遅延回路）２５及び昇圧回路２６
の組み合わせをパルス電圧反転線路のみで構成すること
ができるため、回路構成が簡単化される。

【０１３９】又、例えば、パルストランス２６（又は、
テーパ線路）を第２のパルス発生用４端子回路１５に用
いれば、昇圧回路２６及びパルス電圧反転回路の組み合
わせをパルストランス２６のみ（又は、テーパ線路の
み）で構成することができるため、回路構成が簡単化さ
れる。

【０１４０】又、例えば、テーパ線路を第２のパルス発
生用４端子回路１５に用いれば、昇圧回路２６、パルス
電圧反転回路及びパルス伝送線路（又は、遅延回路）２
５の組み合わせをテーパ線路のみで構成することができ
るため、回路構成が簡単化される。

【０１４１】実施例２０．又、上記実施例１のように第
１のパルス発生用４端子回路１４及び第２のパルス発生
用４端子回路１５を組み合わせて使用した場合、双方が
充電用回路素子１８及び２１を備えていれば、どちらか
一方の充電用回路素子１８又は２１を省略することがで
きる。

【０１４２】実施例２１．又、上記実施例１において、
第２のパルス発生用４端子回路１５を、パルストランス
２６（図１１参照）と、積み重ね線路（又は、パルス電
圧反転回路）として使用する同軸線路（又は、パルス電
圧反転回路として併用するテーパ線路）とのいずれかで
構成した場合、充電用回路素子１５を設置しなくてもパ
ルス発生用コンデンサ１９を充電することができる。

【０１４３】実施例２２．又、上記各実施例では、スイ
ッチ５Ａをサイラトロンにより構成したが、半導体スイ
ッチ（サイリスタ、ＳＩＴトランジスタ、ＦＥＴ、ＤＧ
ＢＴ等）の直並列体により構成してもよく、又、火花ギ
ャップ、レールスイッチのようなスイッチにより構成し
てもよい。

【０１４４】又、図１内の充電端子７Ａから正極性の電
圧を印加して充電するようにしたが、負極性の電圧を印
加しても上記実施例と同様の効果を奏することは言うま
でもない。

【０１４５】実施例２３．又、上記各実施例では、充電
用回路素子１８及び２１として抵抗器を用いたが、抵抗
器の代わりに、リアクトルやダイオード等を用いても同
様の効果を奏することができる。

【０１４６】実施例２４．又、上記各実施例では、パル
スレーザ装置としてエキシマレーザの場合を例にとって
説明したが、他の放電励起パルスレーザ装置でも実施可
能であり、上記各実施例と同様の効果を奏する。

【０１４７】 実施例２５．（請求項１２及び請求項１３に対応）又、
上記各実施例において、図５、図６、図９、図１０、図
１２、図１４、図１６、図１８及び図２０に示すよう
に、各パルス発生用４端子回路１４及び１５内にそれぞ
れ第１のパルス発生用コンデンサ２２及び２３を有する
場合は、第２のパルス発生用コンデンサ１６及び１９
の、入力端子Ａとは反対側の端子に直列に別の可飽和リ
アクトル（図示せず）を接続してもよい。

【０１４８】即ち、第２のパルス発生用コンデンサ１６
と充電用回路素子１８との間に別の可飽和リアクトルを
挿入し、又、第２のパルス発生用コンデンサ１９と充電
用回路素子２１との間に別の可飽和リアクトルを挿入し
てもよい。この場合、第２のパルス発生用コンデンサ１
６及び１９の電荷が転送されるまでに遅延時間を有する
が、パルス電圧の立ち上がりを更に急峻にすることがで
きる。パルス電圧の立ち上がりを急峻にすることは、効
率の向上につながる。

【０１４９】実施例２６．又、上記実施例１０〜実施例
１５では、第２のパルス発生用４端子回路１５のみの回
路構成を示したが、第１のパルス発生用４端子回路１４
を同様に構成することもでき、特に支障が生じることは
ない。

【０１５０】実施例２７．更に、上記各実施例では、充
電用回路素子１８及び２１を、各パルス発生用４端子回
路１４及び１５の入力側に設けた場合を示したが、出力
側に設けてもよい。同様に、昇圧回路又はパルス電圧反
転回路を、第２のパルス発生用４端子回路１５の出力側
に設けた場合を示したが、入力側に設けてもよく、同様
の作用効果を奏することは言うまでもない。

【０１５１】

【発明の効果】以上のようにこの発明の請求項１によれ
ば、互いに対向配置されたレーザ励起用の一対の主放電
電極と、一対の主放電電極間に第１のパルス電圧を印加
する第１のパルス発生用４端子回路と、第１のパルス発
生用４端子回路に並列接続されて主放電電極に第２のパ
ルス電圧を印加する第２のパルス発生用４端子回路と、
第１のパルス発生用４端子回路及び第２のパルス発生用
４端子回路の各一対の入力端子の各一方に接続された充
電端子と、第１のパルス発生用４端子回路及び第２のパ
ルス発生用４端子回路の各一対の入力端子間をそれぞれ
選択的に短絡するためのスイッチと、スイッチと第１の
パルス発生用４端子回路の一方の入力端子との間に挿入
された第１の可飽和リアクトルと、第１のパルス発生用
４端子回路の一対の出力端子の一方と主放電電極との間
に挿入された第２の可飽和リアクトルとを備え、単一の
スイッチを導通させることにより、第１の可飽和リアク
トルが第１のパルス発生用４端子回路を遮断している間
に、第２のパルス発生用４端子回路から急峻な第２のパ
ルス電圧を発生させて主放電電極に印加し、一対の主放
電電極間に均一な放電を発生させた後、第１のパルス発
生用４端子回路から第１のパルス電圧を発生させて主放
電電極に印加し、放電を持続させるようにしたので、ス
イッチ及び充電端子が各１個で済み、制御回路を含む回
路構成が簡単化されて小形化を実現したパルスレーザ装
置が得られる効果がある。

【０１５２】又、この発明の請求項２によれば、請求項
１において、第１のパルス発生用４端子回路内に、第１
の可飽和リアクトル側に対応した入力端子に一端が接続
されたパルス発生用コンデンサと、パルス発生用コンデ
ンサの他端に一方の入力端が接続されたパルス形成線路
と、パルス形成線路の一対の入力端間又は出力端間に挿
入された充電用回路素子とを設け、パルス形成線路の他
方の入力端をスイッチ側に対応した入力端子に接続し、
パルス形成線路の一方の出力端を第２の可飽和リアクト
ル側に対応した出力端子に接続し、パルス形成線路の他
方の出力端を主放電電極側に対応した出力端子に接続し
たので、回路構成を小形化すると共に、第１のパルス発
生用４端子回路と放電開始後の放電部の抵抗とのインピ
ーダンスマッチングを容易にしたパルスレーザ装置が得
られる効果がある。

【０１５３】又、この発明の請求項３によれば、請求項
１又は請求項２において、第２のパルス発生用４端子回
路内に、スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間
に挿入された第１のパルス発生用コンデンサと、スイッ
チの一端側に対応した入力端子に一端が接続された第２
のパルス発生用コンデンサと、主放電電極側に対応した
一対の出力端子間に挿入された充電用回路素子と、充電
用回路素子に並列接続されたピーキングコンデンサとを
設け、第２のパルス発生用コンデンサの他端を出力端子
の一方に接続し、ピーキングコンデンサの一端を出力端
子の一方に接続し、ピーキングコンデンサの他端をスイ
ッチの他端側に対応した入力端子に接続し、第２のパル
ス電圧を充電電圧よりも大きくするようにしたので、回
路構成を小形化すると共に、充電電圧を低く設定するこ
とのできるパルスレーザ装置が得られる効果がある。

【０１５４】又、この発明の請求項４によれば、請求項
１又は請求項２において、第２のパルス発生用４端子回
路内に、スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が
接続されたパルス発生用コンデンサと、パルス発生用コ
ンデンサの他端に一方の入力端が接続されたパルス伝送
線路と、パルス伝送線路の一対の入力端間又は出力端間
に挿入された充電用回路素子とを設け、パルス伝送線路
の他方の入力端をスイッチの他端側に対応した入力端子
に接続し、パルス伝送線路の一対の出力端を主放電電極
側に対応した一対の出力端子にそれぞれ接続したので、
回路構成を小形化すると共に、第２のパルス発生用４端
子回路と放電部の抵抗とのインピーダンスマッチングを
容易にしたパルスレーザ装置が得られる効果がある。

【０１５５】又、この発明の請求項５によれば、請求項
１又は請求項２において、第２のパルス発生用４端子回
路内に、スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間
に挿入された第１のパルス発生用コンデンサと、スイッ
チの一端側に対応した入力端子に接続された第２のパル
ス発生用コンデンサと、第２のパルス発生用コンデンサ
の他端に一方の入力端が接続されたパルス伝送線路と、
パルス伝送線路の一対の入力端間又は出力端間に挿入さ
れた充電用回路素子とを設け、パルス伝送線路の他方の
入力端をスイッチの他端側に対応した入力端子に接続
し、パルス伝送線路の一対の出力端を主放電電極側に対
応した一対の出力端子にそれぞれ接続したので、回路構
成を小形化すると共に、第２のパルス発生用４端子回路
と放電部の抵抗とのインピーダンスマッチングを容易に
し且つ充電電圧を低く設定することのできるパルスレー
ザ装置が得られる効果がある。

【０１５６】又、この発明の請求項６によれば、請求項
１又は請求項２において、第２のパルス発生用４端子回
路内に、スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が
接続されたパルス発生用コンデンサと、パルス発生用コ
ンデンサの他端に一方の入力端が接続された昇圧回路と
を設け、昇圧回路の他方の入力端をスイッチの他端側に
対応した入力端子に接続し、昇圧回路の一対の出力端を
主放電電極側に対応した一対の出力端子にそれぞれ接続
し、第２のパルス電圧を充電電圧よりも大きくするよう
にしたので、回路構成を小形化すると共に、充電電圧を
低く設定することのできるパルスレーザ装置が得られる
効果がある。

【０１５７】又、この発明の請求項７によれば、請求項
１又は請求項２において、第２のパルス発生用４端子回
路内に、スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間
に挿入された第１のパルス発生用コンデンサと、スイッ
チの一端側に対応した入力端子に接続された第２のパル
ス発生用コンデンサと、第２のパルス発生用コンデンサ
の他端に一方の入力端が接続された昇圧回路とを設け、
昇圧回路の他方の入力端をスイッチの他端側に対応した
入力端子に接続し、昇圧回路の一対の出力端を主放電電
極側に対応した一対の出力端子にそれぞれ接続し、第２
のパルス電圧を充電電圧よりも更に大きくするようにし
たので、回路構成を小形化すると共に、充電電圧を更に
低く設定することのできるパルスレーザ装置が得られる
効果がある。

【０１５８】又、この発明の請求項８によれば、請求項
１乃至請求項５のいずれかにおいて、第２のパルス発生
用４端子回路内に、一対の出力端子間に挿入された昇圧
回路を設け、第２のパルス電圧を充電電圧よりも大きく
するようにしたので、回路構成を小形化すると共に、充
電電圧を低く設定することのできるパルスレーザ装置が
得られる効果がある。

【０１５９】又、この発明の請求項９によれば、請求項
１乃至請求項８のいずれかにおいて、第２のパルス発生
用４端子回路内に、一対の出力端子間に挿入されたパル
ス電圧反転回路を設け、第２のパルス電圧印加時に第２
の可飽和リアクトルを飽和させるようにしたので、回路
構成を小形化すると共に、第１のパルス電圧の立ち上が
りを急峻にしたパルスレーザ装置が得られる効果があ
る。

【０１６０】又、この発明の請求項１０によれば、請求
項４乃至請求項９のいずれかにおいて、第２のパルス発
生用４端子回路内に、一対の出力端子間に挿入されたピ
ーキングコンデンサを設けたので、回路構成を小形化す
ると共に、第２のパルス電圧の立ち上がりを急峻にした
パルスレーザ装置が得られる効果がある。第２のパルス
電圧の立ち上がりを急峻にする。

【０１６１】又、この発明の請求項１１によれば、請求
項１乃至請求項１０のいずれかにおいて、第２のパルス
発生用４端子回路内に、遅延回路として構成されたパル
ス伝送線路を設け、伝送タイミングを設定可能にしたの
で、回路構成を小形化すると共に、第１のパルス電圧に
対する第２のパルス電圧の印加タイミングを設定するこ
とのできるパルスレーザ装置が得られる効果がある。

【０１６２】又、この発明の請求項１２によれば、請求
項１において、第１のパルス発生用４端子回路内に、第
１の可飽和リアクトル側とスイッチの一端側とに対応し
た一対の入力端子間に挿入された第１のパルス発生用コ
ンデンサと、第１の可飽和リアクトル側に対応した入力
端子に一端が接続された第２のパルス発生用コンデンサ
と、主放電電極側に対応した一対の出力端子間に挿入さ
れた充電用回路素子と、第２のパルス発生用コンデンサ
の他端と充電用回路素子の一端との間に挿入された別の
可飽和リアクトルとを設け、別の可飽和リアクトルが飽
和するまで電荷の転送を遮断するようにしたので、回路
構成を小形化すると共に、第１のパルス電圧の立ち上が
りを急峻にしたパルスレーザ装置が得られる効果があ
る。

【０１６３】又、この発明の請求項１３によれば、請求
項１、請求項２又は請求項１２において、第２のパルス
発生用４端子回路は、スイッチの両端側に対応した一対
の入力端子間に挿入された第１のパルス発生用コンデン
サと、スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が接
続された第２のパルス発生用コンデンサと、主放電電極
側に対応した一対の出力端子間に挿入された充電用回路
素子と、第２のパルス発生用コンデンサの他端と充電用
回路素子の一端との間に挿入された別の可飽和リアクト
ルとを設け、別の可飽和リアクトルが飽和するまで電荷
の転送を遮断するようにしたので、回路構成を小形化す
ると共に、第２のパルス電圧の立ち上がりを急峻にした
パルスレーザ装置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１を示す構成図である。

【図２】この発明の実施例１の動作を説明するための波
形図である。

【図３】この発明の実施例２による第１のパルス発生用
４端子回路の第１構成例を示す回路図である。

【図４】この発明の実施例３による第２のパルス発生用
４端子回路の第１構成例を示す回路図である。

【図５】この発明の実施例４による第１のパルス発生用
４端子回路の第２構成例を示す回路図である。

【図６】この発明の実施例５による第２のパルス発生用
４端子回路の第２構成例を示す回路図である。

【図７】この発明の実施例６による第１のパルス発生用
４端子回路の第３構成例を一部図式的に示す回路図であ
る。

【図８】この発明の実施例７による第２のパルス発生用
４端子回路の第３構成例を一部図式的に示す回路図であ
る。

【図９】この発明の実施例８による第１のパルス発生用
４端子回路の第４構成例を一部図式的に示す回路図であ
る。

【図１０】この発明の実施例９による第２のパルス発生
用４端子回路の第４構成例を一部図式的に示す回路図で
ある。

【図１１】この発明の実施例１０による第２のパルス発
生用４端子回路の第５構成例を示す回路図である。

【図１２】この発明の実施例１１による第２のパルス発
生用４端子回路の第６構成例を示す回路図である。

【図１３】この発明の実施例１２による第２のパルス発
生用４端子回路の第７構成例を一部図式的に示す回路図
である。

【図１４】この発明の実施例１３による第２のパルス発
生用４端子回路の第８構成例を一部図式的に示す回路図
である。

【図１５】この発明の実施例１５による第２のパルス発
生用４端子回路の第９構成例を一部図式的に示す回路図
である。

【図１６】この発明の実施例１５による第２のパルス発
生用４端子回路の第１０構成例を一部図式的に示す回路
図である。

【図１７】この発明の実施例１５による第２のパルス発
生用４端子回路の第１１構成例を示す回路図である。

【図１８】この発明の実施例１５による第２のパルス発
生用４端子回路の第１２構成例を示す回路図である。

【図１９】この発明の実施例１５による第２のパルス発
生用４端子回路の第１３構成例を一部図式的に示す回路
図である。

【図２０】この発明の実施例１５による第２のパルス発
生用４端子回路の第１４構成例を一部図式的に示す回路
図である。

【図２１】この発明の実施例１６の動作を説明するため
の波形図である。

【図２２】従来のパルスレーザ装置を示す回路図であ
る。

【図２３】従来のパルスレーザ装置の動作を説明するた
めの波形図である。

【符号の説明】

１、２ 主放電電極 ５Ａ スイッチ ７Ａ 充電端子 ８Ａ 第２の可飽和リアクトル １３ 第１の可飽和リアクトル １４ 第１のパルス発生用４端子回路 １５ 第２のパルス発生用４端子回路 １６、１９ パルス発生用コンデンサ（第２のパルス発
生用コンデンサ） １７、２０ ピーキングコンデンサ １８、２１ 充電用回路素子 ２２、２３ 第１のパルス発生用コンデンサ ２４ パルス形成線路 ２５ パルス伝送線路（遅延回路） ２６ 昇圧回路（パルス電圧反転回路） Ａ、Ｂ 入力端子 Ｃ、Ｄ 出力端子 Ｖ₂′ 第１のパルス電圧 Ｖ₃′ 第２のパルス電圧

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに対向配置されたレーザ励起用の一
   対の主放電電極と、 前記一対の主放電電極間に第１のパルス電圧を印加する
   第１のパルス発生用４端子回路と、 前記第１のパルス発生用４端子回路に並列接続されて前
   記主放電電極に第２のパルス電圧を印加する第２のパル
   ス発生用４端子回路と、 前記第１のパルス発生用４端子回路及び前記第２のパル
   ス発生用４端子回路の各一対の入力端子の各一方に接続
   された充電端子と、 前記第１のパルス発生用４端子回路及び前記第２のパル
   ス発生用４端子回路の各一対の入力端子間をそれぞれ選
   択的に短絡するためのスイッチと、 前記スイッチと前記第１のパルス発生用４端子回路の一
   方の入力端子との間に挿入された第１の可飽和リアクト
   ルと、 前記第１のパルス発生用４端子回路の一対の出力端子の
   一方と前記主放電電極との間に挿入された第２の可飽和
   リアクトルとを備え、 前記スイッチを導通させることにより、前記第２のパル
   ス電圧を前記主放電電極に印加して前記一対の主放電電
   極間に主放電を発生させると共に、前記第１のパルス電
   圧を前記主放電電極に印加して、前記主放電を持続させ
   ることを特徴とするパルスレーザ装置。
2. 【請求項２】 前記第１のパルス発生用４端子回路は、 前記第１の可飽和リアクトル側に対応した入力端子に一
   端が接続されたパルス発生用コンデンサと、 前記パルス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接
   続されたパルス形成線路と、 前記パルス形成線路の一対の入力端間又は出力端間に挿
   入された充電用回路素子とを有し、 前記パルス形成線路の他方の入力端は前記スイッチ側に
   対応した入力端子に接続され、 前記パルス形成線路の一方の出力端は前記第２の可飽和
   リアクトル側に対応した出力端子に接続され、 前記パルス形成線路の他方の出力端は前記主放電電極側
   に対応した出力端子に接続されたことを特徴とする請求
   項１のパルスレーザ装置。
3. 【請求項３】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、 前記スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間に挿
   入された第１のパルス発生用コンデンサと、 前記スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が接続
   された第２のパルス発生用コンデンサと、 前記主放電電極側に対応した一対の出力端子間に挿入さ
   れた充電用回路素子と、 前記充電用回路素子に並列接続されたピーキングコンデ
   ンサとを有し、 前記第２のパルス発生用コンデンサの他端は前記出力端
   子の一方に接続され、 前記ピーキングコンデンサの一端は前記出力端子の一方
   に接続され、 前記ピーキングコンデンサの他端は前記スイッチの他端
   側に対応した入力端子に接続されたことを特徴とする請
   求項１又は請求項２のパルスレーザ装置。
4. 【請求項４】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、 前記スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が接続
   されたパルス発生用コンデンサと、 前記パルス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接
   続されたパルス伝送線路と、 前記パルス伝送線路の一対の入力端間又は出力端間に挿
   入された充電用回路素子とを有し、 前記パルス伝送線路の他方の入力端は前記スイッチの他
   端側に対応した入力端子に接続され、 前記パルス伝送線路の一対の出力端は前記主放電電極側
   に対応した一対の出力端子にそれぞれ接続されたことを
   特徴とする請求項１又は請求項２のパルスレーザ装置。
5. 【請求項５】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、 前記スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間に挿
   入された第１のパルス発生用コンデンサと、 前記スイッチの一端側に対応した入力端子に接続された
   第２のパルス発生用コンデンサと、 前記第２のパルス発生用コンデンサの他端に一方の入力
   端が接続されたパルス伝送線路と、 前記パルス伝送線路の一対の入力端間又は出力端間に挿
   入された充電用回路素子とを有し、 前記パルス伝送線路の他方の入力端は前記スイッチの他
   端側に対応した入力端子に接続され、 前記パルス伝送線路の一対の出力端は前記主放電電極側
   に対応した一対の出力端子にそれぞれ接続されたことを
   特徴とする請求項１又は請求項２のパルスレーザ装置。
6. 【請求項６】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、 前記スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が接続
   されたパルス発生用コンデンサと、 前記パルス発生用コンデンサの他端に一方の入力端が接
   続された昇圧回路とを有し、 前記昇圧回路の他方の入力端は前記スイッチの他端側に
   対応した入力端子に接続され、 前記昇圧回路の一対の出力端は前記主放電電極側に対応
   した一対の出力端子にそれぞれ接続されたことを特徴と
   する請求項１又は請求項２のパルスレーザ装置。
7. 【請求項７】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、 前記スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間に挿
   入された第１のパルス発生用コンデンサと、 前記スイッチの一端側に対応した入力端子に接続された
   第２のパルス発生用コンデンサと、 前記第２のパルス発生用コンデンサの他端に一方の入力
   端が接続された昇圧回路とを有し、 前記昇圧回路の他方の入力端は前記スイッチの他端側に
   対応した入力端子に接続され、 前記昇圧回路の一対の出力端は前記主放電電極側に対応
   した一対の出力端子にそれぞれ接続されたことを特徴と
   する請求項１又は請求項２のパルスレーザ装置。
8. 【請求項８】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、
   前記一対の出力端子間に挿入された昇圧回路を有するこ
   とを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかのパル
   スレーザ装置。
9. 【請求項９】 前記第２のパルス発生用４端子回路は、
   前記一対の出力端子間に挿入されたパルス電圧反転回路
   を有することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいず
   れかのパルスレーザ装置。
10. 【請求項１０】 前記第２のパルス発生用４端子回路
    は、前記一対の出力端子間に挿入されたピーキングコン
    デンサを有することを特徴とする請求項第４乃至請求項
    ９のいずれかのパルスレーザ装置。
11. 【請求項１１】 前記第２のパルス発生用４端子回路
    は、遅延回路として構成されたパルス伝送線路を有する
    ことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかの
    パルスレーザ装置。
12. 【請求項１２】 前記第１のパルス発生用４端子回路
    は、 前記第１の可飽和リアクトル側と前記スイッチの一端側
    とに対応した一対の入力端子間に挿入された第１のパル
    ス発生用コンデンサと、 前記第１の可飽和リアクトル側に対応した入力端子に一
    端が接続された第２のパルス発生用コンデンサと、 前記主放電電極側に対応した一対の出力端子間に挿入さ
    れた充電用回路素子と、 前記第２のパルス発生用コンデンサの他端と前記充電用
    回路素子の一端との間に挿入された別の可飽和リアクト
    ルとを有することを特徴とする請求項１のパルスレーザ
    装置。
13. 【請求項１３】 前記第２のパルス発生用４端子回路
    は、 前記スイッチの両端側に対応した一対の入力端子間に挿
    入された第１のパルス発生用コンデンサと、 前記スイッチの一端側に対応した入力端子に一端が接続
    された第２のパルス発生用コンデンサと、 前記主放電電極側に対応した一対の出力端子間に挿入さ
    れた充電用回路素子と、 前記第２のパルス発生用コンデンサの他端と前記充電用
    回路素子の一端との間に挿入された別の可飽和リアクト
    ルとを有することを特徴とする請求項１、請求項２又は
    請求項１２のパルスレーザ装置。