JPH06273609A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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Publication number
JPH06273609A
JPH06273609A JP6524493A JP6524493A JPH06273609A JP H06273609 A JPH06273609 A JP H06273609A JP 6524493 A JP6524493 A JP 6524493A JP 6524493 A JP6524493 A JP 6524493A JP H06273609 A JPH06273609 A JP H06273609A
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JP
Japan
Prior art keywords
layer
electrodeposition
color filter
conductive layer
colored layer
Prior art date
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Application number
JP6524493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norikatsu Ono
典克 小野
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH06273609A publication Critical patent/JPH06273609A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide the process for production of the color filter capable of efficiently producing the color filter provided with a light shielding layer having a sufficient optical density with high accuracy. CONSTITUTION:A photosensitive resin compsn. layer 15 is formed via a conductive layer 13 on a substrate 12. This photosensitive resin compsn. layer 15 is exposed and developed via a photomask having prescribed patterns to expose the prescribed regions of the conductive layer 13. Nonconductive resin compsn. layers 17R are formed in a part of the exposed surfaces of the conductive layer 13. Desired colored layers 14R are formed by electrodeposition only on the exposed surfaces of the conductive layer 13 not provided with the nonconductive resin compsn. layers 17R and thereafter, only the nonconductive resin compsn. layers 17R are removed. The colored layers 14R consisting of a prescribed number of colors are formed by repeating these operations. Further, the colored layers 14R are formed by electrodeposition on the surface of the conductive layer on which neither the photosensitive resin compsn. layer 15 nor the colored layers 14R are formed and thereafter, the light shieldable colored layers are formed on the exposed surfaces of the conductive layers generated by removing only the photosensitive resin compsn. layer 15.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルタの製造方
法に係り、特に液晶ディスプレイ等に用いられるカラー
フィルタの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, and more particularly to a method for manufacturing a color filter used in a liquid crystal display or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイ(LCD)に
おいては、近年のカラー化の要請に対応するために、ア
クティブマトリックス方式および単純マトリックス方式
のいずれの方式においてもカラーフィルタが用いられて
いる。例えば、薄膜トランジスタ(TFT)を用いたア
クティブマトリックス方式の液晶ディスプレイでは、カ
ラーフィルタは赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色
が用いられ、R,G,Bのそれぞれの画素に対応する電
極をON、OFFさせることで液晶がシャッタとして作
動し、R,G,Bのそれぞれの画素を光が透過してカラ
ー表示が行われる。そして、色混合は2色以上の画素に
対応する液晶シャッタを開いて混色し別の色に見せる加
色混合の原理により網膜上で視覚的に行われる。
2. Description of the Related Art For example, in a liquid crystal display (LCD), a color filter is used in both an active matrix system and a simple matrix system in order to meet the recent demand for colorization. For example, in an active matrix type liquid crystal display using thin film transistors (TFTs), three primary colors of red (R), green (G), and blue (B) are used as color filters, and R, G, and B pixels are used. The liquid crystal operates as a shutter by turning on and off the electrodes corresponding to, and light is transmitted through each of the R, G, and B pixels to perform color display. Then, color mixing is visually performed on the retina based on the principle of additive color mixing in which liquid crystal shutters corresponding to pixels of two or more colors are opened to mix the colors to make them appear as different colors.

【0003】上記のカラーフィルタは、その形成方法に
より次のようなものがあり、要求されている特性として
は、パターン解像性、分光性、耐熱性、耐候性、耐薬品
性、低製造コスト、その他、欠陥がないこと、作業性の
高いこと等が挙げられる。 (A)染色法カラーフィルタ 染色法によりカラーフィルタを形成するには、ゼラチ
ン、カゼイン、ポリビニルアルコール等の親水性樹脂に
重クロム酸塩等の感光剤を添加した塗工液を、スピンコ
ート法等により透明ガラス基板表面に0.4〜2μm程
度の膜厚に塗布後、所定形状のマスクを介して露光・現
像して被染色層を形成し、この被染色層を酸性染料また
は反応性染料で染色して第1色目の着色層を形成する。
次に、第1色目の着色層上に二度染め防止のためのアク
リル、ウレタン、エポキシ等の防染層を形成してから第
2色目以降の着色層を同様の工程で形成し、R,G,B
の各着色層を備えたカラーフィルタを形成することがで
きる。 (B)分散法カラーフィルタ 分散法によりカラーフィルタを形成するには、透明感光
性樹脂に着色剤として染料、有機顔料、無機顔料等を分
散した感光液を、透明基板上に塗布して感光性樹脂層を
形成する。次に、この感光性樹脂層を所定形状のマスク
を介して露光・現像して第1色目の着色層を形成し、同
様にして第2色目以降の着色層を形成してR,G,Bの
各着色層を備えたカラーフィルタを形成することができ
る。
The above color filter has the following types depending on its forming method, and the required properties are pattern resolution, spectral property, heat resistance, weather resistance, chemical resistance, and low manufacturing cost. In addition, there are no defects and workability is high. (A) Dyeing method color filter To form a color filter by a dyeing method, a coating solution prepared by adding a photosensitizer such as dichromate to a hydrophilic resin such as gelatin, casein, or polyvinyl alcohol is spin-coated or the like. To a thickness of about 0.4 to 2 μm on the surface of the transparent glass substrate, and then exposed and developed through a mask having a predetermined shape to form a dyed layer, which is dyed with an acid dye or a reactive dye. Dyeing is performed to form the first color layer.
Next, after forming a dye-proof layer of acrylic, urethane, epoxy or the like on the first color layer to prevent double dyeing, the second and subsequent color layers are formed in the same process, and R, G, B
It is possible to form a color filter provided with each of the colored layers. (B) Dispersion Method Color Filter To form a color filter by the dispersion method, a photosensitive liquid in which a dye, an organic pigment, an inorganic pigment or the like as a colorant is dispersed in a transparent photosensitive resin is applied on a transparent substrate to form a photosensitive film. A resin layer is formed. Next, this photosensitive resin layer is exposed and developed through a mask having a predetermined shape to form a colored layer for the first color, and similarly, colored layers for the second and subsequent colors are formed to form R, G, B colors. It is possible to form a color filter provided with each of the colored layers.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の染色法
では、色変えの度にフォトリソグラフィ工程の処理を行
う必要があり、さらに二度染め防止用の防染層を形成す
る必要があるため、工程が煩雑となり、製造コスト面で
問題があった。また、着色剤として染料を用いているた
め耐熱性、耐候性、耐薬品性等が劣るという問題もあっ
た。
However, in the above-mentioned dyeing method, it is necessary to perform a photolithography process each time a color is changed, and it is necessary to form a dye-proof layer for preventing double dyeing. However, the process becomes complicated and there is a problem in manufacturing cost. Further, since a dye is used as a colorant, there is a problem that heat resistance, weather resistance, chemical resistance and the like are poor.

【0005】また、分散法では、耐熱性、耐候性、耐薬
品性等に優れた微細パターンを備えるカラーフィルタの
製造が可能であるが、染色法と同様に色変えの度にフォ
トリソグラフィ工程の処理を行う必要があり、工程が煩
雑となり製造コスト面で問題があった。
Further, the dispersion method can produce a color filter having a fine pattern having excellent heat resistance, weather resistance, chemical resistance, etc., but like the dyeing method, a photolithography process is performed every time a color change occurs. It is necessary to carry out the treatment, which complicates the process and causes a problem in manufacturing cost.

【0006】このような問題を解決する方法として、電
着によるカラーフィルタの製造方法が開発されている。
電着法では、例えば、基板上に形成された透明導電膜を
パターニングして透明電極を形成し、パターン化された
透明電極のうち同色の着色層を形成する箇所にのみ選択
的に電圧を印加し、着色電着浴中で電着を行って第1色
目の着色層が形成される。次に、別の色の着色層を形成
する箇所にのみ選択的に電圧を印加し、同様にして第2
色目以降の着色層を形成してR,G,Bの各着色層を備
えたカラーフィルタを形成することができる。
As a method for solving such a problem, a method for manufacturing a color filter by electrodeposition has been developed.
In the electrodeposition method, for example, a transparent conductive film formed on a substrate is patterned to form a transparent electrode, and a voltage is selectively applied only to a portion of the patterned transparent electrode where a colored layer of the same color is formed. Then, electrodeposition is performed in the colored electrodeposition bath to form the first colored layer. Next, a voltage is selectively applied only to a portion where a colored layer of another color is formed, and the second
By forming the colored layers after the color, it is possible to form a color filter including the R, G, and B colored layers.

【0007】電着法により形成されたカラーフィルタ
は、画素の平滑性に優れ、非画像線部でのレジストの残
渣が少ないという利点があるが、電着用の透明電極の形
成に高精度のパターニングを必要とするため、工程が煩
雑で製造コストが高くなるという問題があった。また、
形成された電着用の透明電極は微細なパターンであるた
め断線等の欠陥が発生し易く、この欠陥はそのままカラ
ーフィルタの欠陥につながり、修正も困難であった。
The color filter formed by the electrodeposition method has the advantages of excellent pixel smoothness and less residue of resist in the non-image line area, but highly precise patterning for forming the transparent electrode for electrodeposition. Therefore, there is a problem that the process is complicated and the manufacturing cost is high. Also,
Since the formed transparent electrode for electrodeposition has a fine pattern, a defect such as a disconnection is likely to occur, and this defect directly leads to a defect of the color filter and is difficult to correct.

【0008】さらに、各着色層のパターンが基本的に連
続したラインとなるため、パターン設計の自由度が少な
いという問題もあった。また、カラーフィルタに遮光層
(ブラックマトリックス)を形成する場合、通常、着色
層の形成前に金属クロム等で遮光層を形成するが、電着
法においては、同じように着色層形成前に遮光層を形成
すると、着色層形成時に透明電極上に導電性材料からな
る遮光層が存在することになり、遮光層上にも着色層が
形成されてしまうという問題があった。この問題は、黒
色顔料を分散させた材料を用いて遮光層を形成する場合
であっても、黒色顔料としてカーボンブラック等の導電
性材料を使用したときに、同様に生じる問題である。
Furthermore, since the pattern of each colored layer is basically a continuous line, there is a problem that the degree of freedom in pattern design is low. When a light-shielding layer (black matrix) is formed on the color filter, the light-shielding layer is usually formed of metallic chromium or the like before the formation of the coloring layer. When the layer is formed, the light-shielding layer made of a conductive material is present on the transparent electrode when the colored layer is formed, which causes a problem that the colored layer is also formed on the light-shielding layer. This problem is also a problem that occurs when a conductive material such as carbon black is used as the black pigment, even when the light-shielding layer is formed using a material in which a black pigment is dispersed.

【0009】更に、R,G,Bからなる着色層を形成し
た後に、黒色顔料を分散させたフォトレジストを塗布し
露光・現像して遮光層を形成する方法が提案されている
が、遮光性材料に光反応を利用することに相反関係があ
り、結果としてカラーフィルタとして十分な光学濃度を
得ることが困難であった。
Further, there has been proposed a method of forming a light-shielding layer by coating a photoresist in which a black pigment is dispersed and exposing and developing it after forming a colored layer of R, G and B. There is a reciprocal relationship in utilizing photoreaction in the material, and as a result, it is difficult to obtain a sufficient optical density as a color filter.

【0010】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、十分な光学濃度を有する遮光層を備え
たカラーフィルタを高精度かつ効率よく得ることのでき
るカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method of manufacturing a color filter, which is capable of highly accurately and efficiently obtaining a color filter having a light-shielding layer having a sufficient optical density. The purpose is to provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は基板上に導電層を形成し、該導電層
上に感光性樹脂組成物層を形成し、所定のパターンを有
するフォトマスクを介して前記感光性樹脂組成物層を露
光した後、現像により前記導電層の表面の所定領域を露
出する第1の工程と、露出した前記導電層の表面の一部
に非導電性樹脂組成物層をスクリーン印刷により形成
し、前記非導電性樹脂組成物層が形成されずに露出した
状態にある前記導電層上に電着により着色層を形成した
後、前記非導電性樹脂組成物層のみを除去すること、を
繰り返すことにより所定の色数からなる着色層を形成す
る第2の工程と、前記第2の工程終了時に露出している
導電層に電着により着色層を形成する第3の工程と、前
記感光性樹脂組成物層のみを除去して露出した導電層上
に遮光性着色層を形成する第4の工程と、を有するよう
な構成とした。
In order to achieve such an object, the present invention forms a conductive layer on a substrate, forms a photosensitive resin composition layer on the conductive layer, and forms a predetermined pattern. After exposing the photosensitive resin composition layer through a photomask that has, a first step of exposing a predetermined region of the surface of the conductive layer by development, and non-conductive on a part of the exposed surface of the conductive layer. A conductive resin composition layer by screen printing, and after forming a colored layer by electrodeposition on the conductive layer in an exposed state where the non-conductive resin composition layer is not formed, the non-conductive resin A second step of forming a colored layer having a predetermined number of colors by repeating removal of only the composition layer, and a colored layer by electrodeposition on the conductive layer exposed at the end of the second step. Third step of forming and the photosensitive resin composition A fourth step of forming a light-shielding colored layer only removed on the conductive layer exposed by the, was such as to have configure.

【0012】[0012]

【作用】基板上に導電層を介して形成された感光性樹脂
組成物層は、所定のパターンを有するフォトマスクを介
して露光・現像され、上記導電層の所定領域が露出さ
れ、この導電層の露出された表面は、一部に非導電性樹
脂組成物層が形成され、非導電性樹脂組成物層が設けら
れていない導電層の露出表面に電着により所望の着色層
が形成され、その後、非導電性樹脂組成物層のみが除去
され、これを繰り返すことにより所定の色数からなる着
色層が形成され、さらに、感光性樹脂組成物層および着
色層が共に形成されていない導電層表面に電着により着
色層が形成された後に、感光性樹脂組成物層のみが除去
され生じた導電層露出表面に遮光性着色層が形成され
る。これにより、従来法に比べて高精度の微細パターン
が形成され、十分な光学濃度の遮光層を備えたカラーフ
ィルタを簡便かつ効率的に製造することが可能となる。
The photosensitive resin composition layer formed on the substrate via the conductive layer is exposed and developed through a photomask having a predetermined pattern to expose a predetermined region of the conductive layer. The exposed surface of the non-conductive resin composition layer is formed in part, a desired colored layer is formed by electrodeposition on the exposed surface of the conductive layer on which the non-conductive resin composition layer is not provided, Then, only the non-conductive resin composition layer is removed, a colored layer having a predetermined number of colors is formed by repeating this, and further, the conductive layer in which neither the photosensitive resin composition layer nor the colored layer is formed. After the colored layer is formed on the surface by electrodeposition, only the photosensitive resin composition layer is removed, and the light-shielding colored layer is formed on the exposed surface of the conductive layer. As a result, a highly precise fine pattern is formed as compared with the conventional method, and it becomes possible to easily and efficiently manufacture a color filter provided with a light shielding layer having a sufficient optical density.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明により製造されたカラーフ
ィルタを用いたアクティブマトリックス方式による液晶
ディスプレイ(LCD)の一例を示す斜視図であり、図
2は同じく概略断面図である。図1および図2におい
て、LCD1はカラーフィルタ10と透明ガラス基板2
0とをシール部材30を介して対向させ、その間に捩れ
ネマティック(TN)液晶からなる厚さ約5〜10μm
程度の液晶層40を形成し、さらにカラーフィルタ10
と透明ガラス基板20の外側に偏光板50,51が配設
され構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display (LCD) using a color filter manufactured according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view of the same. 1 and 2, the LCD 1 includes a color filter 10 and a transparent glass substrate 2.
0 is made to face each other via a seal member 30, and a twisted nematic (TN) liquid crystal has a thickness of about 5 to 10 μm therebetween.
The liquid crystal layer 40 is formed to a certain degree, and the color filter 10
The polarizing plates 50 and 51 are arranged outside the transparent glass substrate 20.

【0014】図3はカラーフィルタ10の拡大部分断面
図であり、カラーフィルタ10は透明基板12と、この
透明基板12上に形成された透明導電層13、着色層1
4と、着色層14を覆うように設けられた保護層18と
透明共通電極19とを備えている。このカラーフィルタ
10は、透明共通電極19が液晶層40側に位置するよ
うに配設されている。そして、着色層14は赤色着色層
14R、緑色着色層14G、青色着色層14Bおよび遮
光性着色層(ブラックマトリックス)14BMからな
り、各着色層14R,14G,14Bの配列は図1に示
されるようにモザイク配列となっている。尚、着色層の
配列パターンはこれに限定されるものではなく、三角配
列、ストライプ配列等としてもよい。
FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of the color filter 10. The color filter 10 includes a transparent substrate 12, a transparent conductive layer 13 formed on the transparent substrate 12, and a coloring layer 1.
4, a protective layer 18 provided so as to cover the colored layer 14, and a transparent common electrode 19. The color filter 10 is arranged such that the transparent common electrode 19 is located on the liquid crystal layer 40 side. The colored layer 14 is composed of a red colored layer 14R, a green colored layer 14G, a blue colored layer 14B and a light-shielding colored layer (black matrix) 14BM, and the arrangement of each colored layer 14R, 14G, 14B is as shown in FIG. It has a mosaic arrangement. The arrangement pattern of the colored layers is not limited to this, and may be triangular arrangement, stripe arrangement, or the like.

【0015】また、透明ガラス基板20上には表示電極
22が各着色層14R,14G,14Bに対応するよう
に設けられ、各表示電極22は薄膜トランジスタ(TF
T)24を有している。また、各表示電極22間にはブ
ラックマトリックス14BMに対応するように走査線
(ゲート電極母線)26aとデータ線26bが配設され
ている。
Display electrodes 22 are provided on the transparent glass substrate 20 so as to correspond to the respective colored layers 14R, 14G and 14B, and each display electrode 22 is a thin film transistor (TF).
T) 24. Further, a scanning line (gate electrode busbar) 26a and a data line 26b are arranged between the respective display electrodes 22 so as to correspond to the black matrix 14BM.

【0016】このようなLCD1では、着色層14を構
成する各着色層14R,14G,14Bが画素をなし、
偏光板51側から照明光を照射した状態で各画素に対応
する表示電極をON、OFFさせることで液晶層40が
シャッタとして作動し、各着色層14R,14G,14
Bのそれぞれの画素を照射光が透過してカラー表示が行
われる。
In such an LCD 1, each colored layer 14R, 14G, 14B constituting the colored layer 14 constitutes a pixel,
The liquid crystal layer 40 operates as a shutter by turning on and off the display electrodes corresponding to each pixel while illuminating light from the polarizing plate 51 side, and each of the colored layers 14R, 14G, 14
The irradiation light is transmitted through each of the B pixels to perform color display.

【0017】カラーフィルタ10の透明基板12として
は、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の
可撓性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、
光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材を用い
ることができる。この中で特にコーニング社製7059
ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり、寸法安定性お
よび高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス
中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであるた
め、アクティブマトリックス方式によるLCD用のカラ
ーフィルタに適している。
The transparent substrate 12 of the color filter 10 is a rigid material such as quartz glass, Pyrex glass, or synthetic quartz plate, or a transparent resin film.
A flexible material having flexibility such as an optical resin plate can be used. 7059 manufactured by Corning
Glass is a material with a small coefficient of thermal expansion, has excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is a non-alkali glass that does not contain an alkali component in the glass, so it is a color filter for LCDs using an active matrix method Suitable for

【0018】次に、本発明によるカラーフィルタの製造
例を図4および図5を参照して説明する。まず、透明基
板12上に酸化インジウムスズ(ITO)等の透明導電
性物質をスパッタリング法等により成膜して、厚さ20
0〜2000Å程度の透明導電層13を形成する。そし
て、この透明導電層13上に感光性樹脂組成物をスピン
コート法等により塗布して感光性樹脂組成物層15を形
成する(図4(A))。ここで用いる感光性樹脂組成物
は、例えば酸可溶性(酸現像性)・非導電性樹脂組成物
を用いることができ、ネガ型レジストとして光重合開始
剤を含有させた日本石油(株)製のLDN−27をプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルで1:1(重量
比)に希釈したもの等を用いることができる。その他の
感光性樹脂組成物としては、アクリロイル基、メタクリ
ロイル基、シンナモイル基等の感光性基を有するアクリ
ル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン
樹脂等にアミノ基、アンモニウム基、スルホニウム基等
を導入した樹脂の単独または混合物が挙げられ、必要に
応じてヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、ネオペンチルグリコールアクリ
レート等のアクリル系モノマーを混合し粘度、塗膜性状
等を調整しても良い。
Next, an example of manufacturing the color filter according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) is formed on the transparent substrate 12 by a sputtering method or the like to have a thickness of 20.
The transparent conductive layer 13 having a thickness of 0 to 2000 Å is formed. Then, a photosensitive resin composition is applied onto the transparent conductive layer 13 by a spin coating method or the like to form a photosensitive resin composition layer 15 (FIG. 4 (A)). The photosensitive resin composition used here may be, for example, an acid-soluble (acid developable) / non-conductive resin composition, and is manufactured by Nippon Oil Co., Ltd. containing a photopolymerization initiator as a negative resist. LDN-27 diluted with propylene glycol monomethyl ether at a ratio of 1: 1 (weight ratio) can be used. As the other photosensitive resin composition, an amino group, an ammonium group, a sulfonium group or the like is introduced into an acrylic resin, an epoxy resin, a urethane resin, a polybutadiene resin or the like having a photosensitive group such as an acryloyl group, a methacryloyl group or a cinnamoyl group. Resins may be used alone or in a mixture, and if necessary, acrylic monomers such as hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and neopentyl glycol acrylate may be mixed to adjust the viscosity and coating properties. You may adjust it.

【0019】また光開始剤は市販試薬として広く考えら
れ、ベンゾイン系、ベンゾインエーテル系、アントラキ
ノン系、ベンゾフェノン系、チオキサンソン系等を用い
ることができる。
The photoinitiator is widely considered as a commercially available reagent, and benzoin-based, benzoin ether-based, anthraquinone-based, benzophenone-based, thioxanthone-based and the like can be used.

【0020】また希釈溶剤としてはエチレングリコール
モノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグ
リコールエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン等
のケトン類、イソプロピルアルコール、エタノール等の
アルコール類等を単独または混合溶剤として使用するこ
とができる。
As the diluting solvent, glycol ethers such as ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether and propylene glycol monomethyl ether, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, alcohols such as isopropyl alcohol and ethanol are used alone or as a mixed solvent. Can be used.

【0021】次に、ブラックマトリックス用のパターン
を有するフォトマスク30を介して上記の感光性樹脂組
成物層15を露光し、露光部分15BMを硬化させる
(図4(B))。その後、現像し未露光部分を除去して
ブラックマトリックス用のポジパターンを有する感光性
樹脂組成物層(第1レジスト層)16を形成する(図4
(C))。一方、ポジパターンが形成されずに透明導電
層13がR,G,Bの着色画素形状に露出している部分
13R,13G,13Bには、後述する工程で着色層1
4R,14G,14Bが形成される。
Next, the above-mentioned photosensitive resin composition layer 15 is exposed through a photomask 30 having a black matrix pattern to cure the exposed portion 15BM (FIG. 4 (B)). Then, it is developed and the unexposed portion is removed to form a photosensitive resin composition layer (first resist layer) 16 having a positive pattern for a black matrix (FIG. 4).
(C)). On the other hand, in the portions 13R, 13G and 13B where the transparent conductive layer 13 is exposed in the R, G and B colored pixel shapes without forming the positive pattern, the colored layer 1
4R, 14G and 14B are formed.

【0022】上述のような第1レジスト層16の厚さは
0.5〜2μm程度が好ましい。ここまでが、本発明の
カラーフィルタ製造方法の第1工程である。次に、R,
G,Bの着色画素形状に露出している透明導電層13の
露出面13R,13G,13Bのうち、例えば着色層1
4R,14G,14Bをこの順序で形成する場合、最初
に着色層(この場合、着色層14R)が形成される画素
部分13Rを除く他の画素部分13G,13B上に非導
電性樹脂組成物をスクリーン印刷法で選択的に印刷し、
乾燥して溶剤を除去することにより非導電性樹脂組成物
層(第2レジスト層)17Rを形成する(図4
(D))。非導電性樹脂組成物としては、上記の感光性
樹脂組成物のうち光重合開始剤を含有しないもの等を使
用することができ、例えば上記のネガ型レジストとして
の日本石油(株)製のLDN−27をプロピレングリコ
ールモノメチルエーテルで1:1(重量比)に希釈した
もの等を用いることができる。また、その他の非導電性
樹脂組成物としては、アクリロイル基、メタクリロイル
基、シンナモイル基等の感光性基を有するアクリル樹
脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂
等にアミノ基、アンモニウム基、スルホニウム基等を導
入した樹脂の単独または混合物が挙げられ、必要に応じ
てヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトール
トリアクリレート、ネオペンチルグリコールアクリレー
ト等のアクリル系モノマーを混合し粘度、塗膜性状等を
調整しても良い。
The thickness of the first resist layer 16 as described above is preferably about 0.5 to 2 μm. The above is the first step of the color filter manufacturing method of the present invention. Then R,
Of the exposed surfaces 13R, 13G, and 13B of the transparent conductive layer 13 exposed in the G and B colored pixel shapes, for example, the colored layer 1
When 4R, 14G, and 14B are formed in this order, a non-conductive resin composition is provided on the other pixel portions 13G and 13B except the pixel portion 13R where the colored layer (the colored layer 14R in this case) is formed first. Selective printing by screen printing method,
By drying and removing the solvent, a non-conductive resin composition layer (second resist layer) 17R is formed (FIG. 4).
(D)). As the non-conductive resin composition, those which do not contain a photopolymerization initiator among the above-mentioned photosensitive resin compositions can be used. For example, LDN manufactured by Nippon Oil Co., Ltd. as the negative resist can be used. A product obtained by diluting -27 with propylene glycol monomethyl ether at a ratio of 1: 1 (weight ratio) can be used. Further, as other non-conductive resin composition, acryloyl group, methacryloyl group, acrylic resin having a photosensitive group such as cinnamoyl group, epoxy resin, urethane resin, polybutadiene resin, etc. amino group, ammonium group, sulfonium group, etc. Examples of the resin that has been introduced include a single or a mixture thereof, and if necessary, an acrylic monomer such as hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, or neopentyl glycol acrylate is mixed to obtain a viscosity and a coating film. Properties may be adjusted.

【0023】また希釈溶剤としてはエチレングリコール
モノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグ
リコールエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン等
のケトン類、イソプロピルアルコール、エタノール等の
アルコール類等を単独または混合溶剤として使用するこ
とができる。
As the diluting solvent, glycol ethers such as ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether and propylene glycol monomethyl ether, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, alcohols such as isopropyl alcohol and ethanol are used alone or as a mixed solvent. Can be used.

【0024】そして、赤色顔料を分散させた電着浴中に
上記の基板12を浸漬し、画素部分13Rにのみ赤色電
着材を析出させ、十分に水洗した後に乾燥してピンホー
ルのない着色層14Rが形成される(図4(E))。こ
のように着色層14Rが形成された画素部分13R上に
は、着色層14Rの絶縁作用により、以降の電着工程に
おいて他の電着材が析出することはない。その後、第2
レジスト剥離液中に基板を浸漬し、第2レジスト層17
Rを溶解除去して透明導電層13の画素部分13G,1
3Bを露出させる(図4(F))。この際、ブラックマ
トリックス用のポジパターンを形成している第1レジス
ト層16は、光硬化されているため第2レジスト剥離液
によって溶解されることはない。尚、第2レジスト剥離
液は、例えば非導電性樹脂組成物として日本石油(株)
製のLDN−27をプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルで1:1(重量比)に希釈したものを用いている
場合、0.25wt%乳酸水溶液等を使用することができ
る。
Then, the above-mentioned substrate 12 is immersed in an electrodeposition bath in which a red pigment is dispersed, and the red electrodeposition material is deposited only on the pixel portion 13R, washed thoroughly with water and then dried to obtain a pinhole-free coloring. The layer 14R is formed (FIG. 4E). On the pixel portion 13R in which the colored layer 14R is formed in this manner, another electrodeposition material does not deposit in the subsequent electrodeposition process due to the insulating function of the colored layer 14R. Then the second
The substrate is dipped in a resist stripper to remove the second resist layer 17
Pixel portions 13G, 1 of the transparent conductive layer 13 by dissolving and removing R
3B is exposed (FIG. 4 (F)). At this time, since the first resist layer 16 forming the positive pattern for the black matrix is photo-cured, it is not dissolved by the second resist stripping solution. The second resist stripper is, for example, a non-conductive resin composition produced by Nippon Oil Co., Ltd.
In the case of using LDN-27 manufactured by diluting it with propylene glycol monomethyl ether at a ratio of 1: 1 (weight ratio), a 0.25 wt% lactic acid aqueous solution or the like can be used.

【0025】次に、G,Bの着色画素形状に露出してい
る透明導電層13の露出面13G,13Bのうち、着色
層14Gが形成される画素部分13Gを除く他の画素部
分13B上に、上記と同様に非導電性樹脂組成物層(第
2レジスト層)17Gを形成する(図5(A))。そし
て、緑色顔料を分散させた電着浴中に上記の基板12を
浸漬し、画素部分13Gにのみ緑色電着材を析出させ、
十分に水洗した後に乾燥してピンホールのない着色層1
4Gを形成する(図5(B))。その後、第2レジスト
剥離液中に基板を浸漬し、第2レジスト層17Gを溶解
除去して透明導電層13の画素部分13Bを露出させる
(図5(C))。ここまでが、本発明のカラーフィルタ
製造方法の第2工程である。
Next, on the exposed surfaces 13G and 13B of the transparent conductive layer 13 exposed in the G and B colored pixel shapes, on the other pixel portions 13B except the pixel portion 13G where the colored layer 14G is formed. Then, similarly to the above, the non-conductive resin composition layer (second resist layer) 17G is formed (FIG. 5A). Then, the substrate 12 is immersed in an electrodeposition bath in which a green pigment is dispersed, and a green electrodeposition material is deposited only on the pixel portion 13G,
Colored layer 1 without pinholes after being thoroughly washed with water and then dried
4G is formed (FIG. 5 (B)). After that, the substrate is dipped in the second resist stripping solution to dissolve and remove the second resist layer 17G to expose the pixel portion 13B of the transparent conductive layer 13 (FIG. 5C). The above is the second step of the color filter manufacturing method of the present invention.

【0026】次に、上記の第2工程が終了した基板12
を青色顔料を分散させた電着浴中に浸漬し、第2工程終
了時に露出している透明導電層13の画素部分13Bに
のみ青色電着材を析出させ、十分に水洗した後に乾燥し
てピンホールのない着色層14Bを形成する(図5
(D))。これにより、R,G,Bの着色画素形状に露
出している透明導電層13の露出面13R,13G,1
3Bには、それぞれ着色層14R,14G,14Bが形
成される。ここまでが、本発明のカラーフィルタ製造方
法の第3工程である。
Next, the substrate 12 on which the above second step has been completed
Is immersed in an electrodeposition bath in which a blue pigment is dispersed, the blue electrodeposition material is deposited only on the pixel portion 13B of the transparent conductive layer 13 exposed at the end of the second step, washed thoroughly with water, and then dried. A colored layer 14B having no pinhole is formed (FIG. 5).
(D)). Thereby, the exposed surfaces 13R, 13G, 1 of the transparent conductive layer 13 exposed in the R, G, B colored pixel shapes.
Colored layers 14R, 14G, and 14B are formed on 3B, respectively. The above is the third step of the color filter manufacturing method of the present invention.

【0027】次に、第4工程として第1レジスト剥離液
中に基板を浸漬し、ブラックマトリックス用のポジパタ
ーンを形成している第1レジスト層16を除去して透明
導電層13を露出させる(図5(E))。第1レジスト
剥離液は、例えば感光性樹脂組成物として光重合開始剤
を含有する日本石油(株)製のLDN−27をプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルで1:1(重量比)に
希釈したものを用いている場合、20wt%乳酸水溶液等
を使用することができる。そして、黒色顔料を分散させ
た電着浴中に上記の基板12を浸漬し、ブラックマトリ
ックス用のポジパターン形状に露出している透明導電層
13上に黒色電着材を析出させ、十分に水洗した後に乾
燥してピンホールのない遮光性着色層(ブラックマトリ
ックス)14BMが形成される(図5(F))。尚、こ
の遮光性着色層14BMの所定箇所には、アライメント
用のマーク形状に非電着部(透明導電層13が露出して
いる部分)を形成してもよい。
Next, as a fourth step, the substrate is dipped in a first resist stripping solution to remove the first resist layer 16 forming a positive pattern for the black matrix to expose the transparent conductive layer 13 ( FIG. 5 (E)). For the first resist stripping solution, for example, LDN-27 manufactured by Nippon Oil Co., Ltd. containing a photopolymerization initiator as a photosensitive resin composition is diluted with propylene glycol monomethyl ether at a ratio of 1: 1 (weight ratio). In this case, a 20 wt% lactic acid aqueous solution or the like can be used. Then, the above substrate 12 is immersed in an electrodeposition bath in which a black pigment is dispersed, and a black electrodeposition material is deposited on the transparent conductive layer 13 exposed in the positive pattern shape for the black matrix, and washed sufficiently with water. After that, it is dried to form a light-shielding colored layer (black matrix) 14BM without pinholes (FIG. 5 (F)). A non-electrodeposition portion (a portion where the transparent conductive layer 13 is exposed) may be formed in a mark shape for alignment at a predetermined portion of the light shielding colored layer 14BM.

【0028】上記の製造工程において用いられる電着材
料は、一般に有機材料(高分子材料)からなり、その原
形は電着塗装法としてよく知られている。電着塗装で
は、電気化学的な主電極との反応によりカチオン電着と
アニオン電着とがある。電着に用いられる有機高分子物
質としては、天然油脂系、合成油脂系、アルキッド樹脂
系、ポリエステル樹脂系、アクリル樹脂系、エポキシ樹
脂系等の種々の有機高分子物質が挙げられる。このよう
な電着材料の中では、特にアクリル樹脂、ポリエステル
樹脂、ポリブタジエン樹脂などを単独あるいは混合して
用い、更にメラミン樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹
脂等の架橋性樹脂と併用した熱硬化タイプのアニオン型
の電着材料が好ましい。このような熱硬化タイプ・アニ
オン型の電着材料を用いる場合、透明導電層13が陽極
とされ、白金電極が陰極とされる。そして、本発明のカ
ラーフィルタの製造では、微粉砕された色剤(顔料)を
分散させた電着液をアニオン型電着浴中に保持し、イオ
ン性高分子材料とともに透明導電層13の露出部に析出
させる。
The electrodeposition material used in the above manufacturing process is generally made of an organic material (polymer material), and its original form is well known as an electrodeposition coating method. In electrodeposition coating, there are cation electrodeposition and anion electrodeposition due to electrochemical reaction with the main electrode. Examples of the organic polymer substance used for electrodeposition include various organic polymer substances such as natural fats and oils, synthetic fats and oils, alkyd resins, polyester resins, acrylic resins and epoxy resins. Among such electrodeposition materials, a thermosetting anion is used, in particular, an acrylic resin, a polyester resin, a polybutadiene resin or the like is used alone or as a mixture, and is further used in combination with a crosslinkable resin such as a melamine resin, a urethane resin or a phenol resin. Molded electrodeposition materials are preferred. When such a thermosetting / anionic electrodeposition material is used, the transparent conductive layer 13 serves as an anode and the platinum electrode serves as a cathode. Then, in the production of the color filter of the present invention, the electrodeposition liquid in which the finely pulverized colorant (pigment) is dispersed is held in the anion type electrodeposition bath to expose the transparent conductive layer 13 together with the ionic polymer material. Precipitate on the part.

【0029】上述のように形成された着色層14R,1
4G,14B、ブラックマトリックス14BMを覆うよ
うに設けられる保護層18は、カラーフィルタ10の表
面平滑化、信頼性の向上および液晶層40への汚染防止
等を目的とするものであり、アクリル系樹脂、エポキシ
系樹脂、ポリイミド系樹脂等の透明樹脂、あるいは二酸
化ケイ素等の透明無機化合物等を用いて形成することが
できる。このような保護層の厚さは0.5〜50μm程
度が好ましい。
Colored layers 14R, 1 formed as described above
The protective layer 18 provided so as to cover the 4G and 14B and the black matrix 14BM is for the purpose of smoothing the surface of the color filter 10, improving reliability, preventing contamination of the liquid crystal layer 40, and the like, and is made of an acrylic resin. , A transparent resin such as an epoxy resin or a polyimide resin, or a transparent inorganic compound such as silicon dioxide. The thickness of such a protective layer is preferably about 0.5 to 50 μm.

【0030】また、透明共通電極19としては、酸化イ
ンジウムスズ(ITO)膜等を用いることができる。I
TO膜は蒸着法、スパッタリング法等の公知の方法によ
り形成することができ、厚さは200〜2000Å程度
が好ましい。
As the transparent common electrode 19, an indium tin oxide (ITO) film or the like can be used. I
The TO film can be formed by a known method such as a vapor deposition method or a sputtering method, and the thickness thereof is preferably about 200 to 2000Å.

【0031】尚、上述の実施例では遮光性着色層14B
Mの形成を電着によって行っているが、本発明では遮光
性着色層14BMの形成を金属メッキ、あるいは無電解
メッキにより行うこともできる。金属メッキ、あるいは
無電解メッキによる遮光性着色層14BMの形成は、従
来のCr金属メッキ、Ni無電解メッキ等の公知の技術
に従って行うことができる。このように導電性材料によ
り遮光性着色層14BMを形成することが可能なのは、
本発明では赤、緑、青等の着色層の形成後に遮光性着色
層14BMが形成されるためである。
In the above embodiment, the light-shielding colored layer 14B is used.
Although M is formed by electrodeposition, in the present invention, the light-shielding colored layer 14BM can be formed by metal plating or electroless plating. The light-shielding colored layer 14BM can be formed by metal plating or electroless plating according to known techniques such as conventional Cr metal plating and Ni electroless plating. As described above, it is possible to form the light-shielding colored layer 14BM with the conductive material.
This is because the light-shielding colored layer 14BM is formed after the colored layers of red, green, blue and the like are formed in the present invention.

【0032】次に、実験例を示して本発明を更に詳細に
説明する。 (実験例)ガラス基板上に酸化インジウムスズ(IT
O)をスパッタリング法により成膜してITO層を形成
し、このITO層上に感光性の酸現像性ネガ型レジスト
(光重合開始剤を含有させた日本石油(株)製のLDN
−27をプロピレングリコールモノメチルエーテルで
1:1(重量比)に希釈したもの)をスピンコート法に
より塗布(膜厚6μm)した。次に、ブラックマトリッ
クス用のパターンを有するフォトマスクを介して上記の
レジスト塗布物を露光した。この露光は超高圧水銀ラン
プ(6mW/cm2 、100mJ/cm2 )を用いて行った。次
に、室温に維持された0.25wt%乳酸水溶液中に基板
を1分間浸漬して未露光部分を現像除去し、ブラックマ
トリックス用のポジパターンを有する第1レジスト層を
形成した。
Next, the present invention will be described in more detail by showing experimental examples. (Experimental example) Indium tin oxide (IT
O) is formed by a sputtering method to form an ITO layer, and a photosensitive acid-developable negative resist (LDN manufactured by Nippon Oil Co., Ltd. containing a photopolymerization initiator) on the ITO layer.
-27 was diluted to 1: 1 (weight ratio) with propylene glycol monomethyl ether) and applied (film thickness 6 μm) by spin coating. Next, the resist coating material was exposed through a photomask having a black matrix pattern. This exposure was performed using an ultrahigh pressure mercury lamp (6 mW / cm 2 , 100 mJ / cm 2 ). Next, the substrate was immersed in a 0.25 wt% lactic acid aqueous solution maintained at room temperature for 1 minute to develop and remove the unexposed portion to form a first resist layer having a positive pattern for a black matrix.

【0033】次に、ITO層の露出面のうち、赤色の着
色層を形成する画素部分を除く他の画素部分上に酸現像
性ネガ型レジスト(日本石油(株)製のLDN−27を
プロピレングリコールモノメチルエーテルで1:1(重
量比)に希釈したもの)をスクリーン印刷法により選択
的に印刷し、80℃、10分間の乾燥により溶剤を除去
して赤色の着色層形成用の第2レジスト層を形成した。
Next, an acid-developable negative resist (LDN-27 manufactured by Nippon Oil Co., Ltd.) was used as propylene on the pixel surface of the exposed surface of the ITO layer except for the pixel portion forming the red colored layer. A second resist for forming a red colored layer by selectively printing (diluted 1: 1 (weight ratio) with glycol monomethyl ether) by a screen printing method and removing the solvent by drying at 80 ° C. for 10 minutes. Layers were formed.

【0034】一方、熱硬化タイプ・アニオン型の電着材
料(日本石油化学(株)製オリゴーED)を残留固体分
が13.5重量%となるように純水で希釈したものに赤
色顔料(ナフトールレッド)を5重量%の割合で添加し
て赤色着色層用の電着液を調製した。そして、この電着
液中に、ITO層を陽極、白金電極を陰極とし、電極間
隔30mmとなるように基板を浸漬し、10mAの定電流を
60秒間通電して電着を行った。次に、電着液から取り
出した基板を十分に水洗した後、80℃、10分間の乾
燥を行って透明性の良好な赤色の着色層を形成した。
On the other hand, a thermosetting type / anion type electrodeposition material (Oligo-ED manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd.) diluted with pure water to a residual solid content of 13.5% by weight was mixed with a red pigment ( Naphthol red) was added at a ratio of 5% by weight to prepare an electrodeposition liquid for the red colored layer. Then, in this electrodeposition liquid, the ITO layer was used as an anode and the platinum electrode was used as a cathode, the substrate was immersed so that the electrode interval was 30 mm, and a constant current of 10 mA was applied for 60 seconds for electrodeposition. Next, the substrate taken out from the electrodeposition liquid was thoroughly washed with water and then dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a red colored layer having good transparency.

【0035】その後、室温に維持された0.25wt%乳
酸水溶液中に基板を2分間浸漬し、スクリーン印刷で塗
布形成した赤色の着色層形成用の第2レジスト層を溶解
除去した。
Then, the substrate was immersed in a 0.25 wt% lactic acid aqueous solution maintained at room temperature for 2 minutes to dissolve and remove the second resist layer for forming the red colored layer formed by screen printing.

【0036】次に、ITO層の露出面のうち、緑色の着
色層を形成する画素部分を除く他の画素部分(青色の着
色層を形成する画素部分)上に上記と同じ酸現像性ネガ
型レジストをスクリーン印刷法により選択的に印刷し、
80℃、10分間の乾燥により溶剤を除去して緑色の着
色層形成用の第2レジスト層を形成した。
Next, on the exposed surface of the ITO layer, except for the pixel portion forming the green colored layer (pixel portion forming the blue colored layer), the same acid-developable negative mold as described above is formed. Selectively print the resist by screen printing,
The solvent was removed by drying at 80 ° C. for 10 minutes to form a second resist layer for forming a green colored layer.

【0037】また、赤色顔料の代りに緑色顔料(フタロ
シアニングリーン)を用いた他は上記の赤色着色層用の
電着液と同様にして緑色着色層用の電着液を調製した。
そして、この緑色着色層用の電着液を用いて上記の赤色
着色層の形成と同一条件で電着を行った。次に、電着液
から取り出した基板を十分に水洗した後、80℃、10
分間の乾燥を行って透明性の良好な緑色の着色層を形成
した。
An electrodeposition solution for the green colored layer was prepared in the same manner as the above-mentioned electrodeposition solution for the red colored layer except that a green pigment (phthalocyanine green) was used instead of the red pigment.
Then, the electrodeposition liquid for this green colored layer was used to perform electrodeposition under the same conditions as the above-mentioned formation of the red colored layer. Next, the substrate taken out from the electrodeposition solution was thoroughly washed with water, and then at 80 ° C. for 10
It was dried for a minute to form a green colored layer having good transparency.

【0038】その後、室温に維持された0.25wt%乳
酸水溶液中に基板を2分間浸漬し、スクリーン印刷で塗
布形成した緑色の着色層形成用の第2レジスト層を溶解
除去した。
Then, the substrate was immersed in a 0.25 wt% lactic acid aqueous solution maintained at room temperature for 2 minutes to dissolve and remove the second resist layer for forming a green colored layer formed by screen printing.

【0039】次に、赤色顔料の代りに青色顔料(銅フタ
ロシアニンブルー)を用いた他は上記の赤色着色層用の
電着液と同様にして青色着色層用の電着液を調製した。
そして、この青色着色層用の電着液を用いて上記の赤色
着色層の形成と同一条件で電着を行った。次に、電着液
から取り出した基板を十分に水洗した後、80℃、10
分間の乾燥を行って透明性の良好な青色の着色層を形成
した。
Next, an electrodeposition solution for a blue colored layer was prepared in the same manner as the above-mentioned electrodeposition solution for a red colored layer except that a blue pigment (copper phthalocyanine blue) was used instead of the red pigment.
Then, the electrodeposition liquid for the blue colored layer was used to carry out electrodeposition under the same conditions as the formation of the red colored layer. Next, the substrate taken out from the electrodeposition solution was thoroughly washed with water, and then at 80 ° C. for 10
It was dried for a minute to form a blue colored layer having good transparency.

【0040】その後、45℃に維持された20wt%乳酸
水溶液中に基板を2分間浸漬し、ブラックマトリックス
用のポジパターンを有する第1レジスト層を溶解除去し
た。次に、赤色顔料の代わりに黒色顔料(カーボンブラ
ック)を用いた他は上記の赤色着色層用の電着液と同様
にしてブラックマトリックス用の電着液を調製した。そ
して、この電着液を用いて上記の赤色着色層の形成と同
一条件で電着を行った。次に、電着液から取り出した基
板を十分に水洗した後、80℃、10分間の乾燥をして
ブラックマトリックスを形成し、カラーフィルタを得
た。
Then, the substrate was dipped in a 20 wt% lactic acid aqueous solution maintained at 45 ° C. for 2 minutes to dissolve and remove the first resist layer having a positive pattern for the black matrix. Next, an electrodeposition solution for a black matrix was prepared in the same manner as the above-mentioned electrodeposition solution for the red colored layer except that a black pigment (carbon black) was used instead of the red pigment. Then, using this electrodeposition solution, electrodeposition was performed under the same conditions as the above-mentioned formation of the red colored layer. Next, the substrate taken out from the electrodeposition liquid was thoroughly washed with water and then dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a black matrix, and a color filter was obtained.

【0041】得られたカラーフィルタを用いて液晶ディ
スプレイ(LCD)を作成し、カラー画像を表示させた
ところ、色ずれや滲みのない良好なカラー画像が表示さ
れた。
A liquid crystal display (LCD) was prepared using the obtained color filter and a color image was displayed. As a result, a good color image without color shift or bleeding was displayed.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば電
着材料として耐熱性、耐溶剤性、耐候性に優れる樹脂、
着色剤を選定することができ、フォトリソプロセスは感
光性樹脂組成物層の露光時の1回のみで済むので工程が
簡便となり、また、カラーフィルタとしての画素、トー
タルピッチ等の寸法精度は、感光性樹脂組成物層で補償
されるため、高微細化が可能であるとともに、マスキン
グとしての非導電性樹脂組成物層形成時のアライメント
精度は従来の方法に比べてラフでよく、さらに導電層の
パターニングが不要であるとともに、遮光層(ブラック
マトリックス)の形成が赤、緑、青等の着色層の形成と
同一のプロセスで行えるため、製造の効率化、低コスト
化が可能である。また、着色層のパターンの自由度が大
きいとともに、遮光層(ブラックマトリックス)の形成
を最後に行うことができるので、金属、カーボンブラッ
ク等の導電性材料を遮光層に使用することができ、光学
濃度の大きい遮光層を形成することが可能である。
As described in detail above, according to the present invention, a resin having excellent heat resistance, solvent resistance and weather resistance as an electrodeposition material,
The colorant can be selected, and the photolithography process can be performed only once when the photosensitive resin composition layer is exposed, so the process is simple and the dimensional accuracy of pixels such as a color filter and total pitch is Since it is compensated for by the conductive resin composition layer, high fineness is possible, and the alignment accuracy at the time of forming the non-conductive resin composition layer as masking may be rougher than the conventional method. Since patterning is not necessary and the formation of the light-shielding layer (black matrix) can be performed in the same process as the formation of the colored layers of red, green, blue, etc., manufacturing efficiency and cost can be reduced. Further, since the degree of freedom of the pattern of the colored layer is large and the light-shielding layer (black matrix) can be formed last, a conductive material such as metal or carbon black can be used for the light-shielding layer. It is possible to form a light-shielding layer having a high concentration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明により製造されたカラーフィルタを用い
たアクティブマトリックス方式による液晶ディスプレイ
の一例を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix liquid crystal display using a color filter manufactured according to the present invention.

【図2】図1に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of the liquid crystal display shown in FIG.

【図3】図1に示される液晶ディスプレイに用いられて
いるカラーフィルタの拡大部分断面図である。
FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of a color filter used in the liquid crystal display shown in FIG.

【図4】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。
FIG. 4 is a process drawing for explaining the method of manufacturing a color filter according to the present invention.

【図5】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。
FIG. 5 is a process drawing for explaining the manufacturing method of the color filter according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…カラーフィルタ 12…透明基板 13…透明導電層 14…着色層 15…感光性樹脂組成物層 17…非導電性樹脂組成物層 10 ... Color filter 12 ... Transparent substrate 13 ... Transparent conductive layer 14 ... Colored layer 15 ... Photosensitive resin composition layer 17 ... Non-conductive resin composition layer

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に導電層を形成し、該導電層上に
感光性樹脂組成物層を形成し、所定のパターンを有する
フォトマスクを介して前記感光性樹脂組成物層を露光し
た後、現像により前記導電層の表面の所定領域を露出す
る第1の工程と、 露出した前記導電層の表面の一部に非導電性樹脂組成物
層をスクリーン印刷により形成し、前記非導電性樹脂組
成物層が形成されずに露出した状態にある前記導電層上
に電着により着色層を形成した後、前記非導電性樹脂組
成物層のみを除去すること、を繰り返すことにより所定
の色数からなる着色層を形成する第2の工程と、 前記第2の工程終了時に露出している導電層に電着によ
り着色層を形成する第3の工程と、 前記感光性樹脂組成物層のみを除去して露出した導電層
上に遮光性着色層を形成する第4の工程と、 を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
1. A conductive layer is formed on a substrate, a photosensitive resin composition layer is formed on the conductive layer, and the photosensitive resin composition layer is exposed through a photomask having a predetermined pattern. A first step of exposing a predetermined area on the surface of the conductive layer by development, and forming a non-conductive resin composition layer on a part of the exposed surface of the conductive layer by screen printing, After forming the colored layer by electrodeposition on the conductive layer in the exposed state without forming the composition layer, removing only the non-conductive resin composition layer, a predetermined number of colors by repeating A second step of forming a colored layer consisting of, a third step of forming a colored layer by electrodeposition on the conductive layer exposed at the end of the second step, and only the photosensitive resin composition layer. Form a light-shielding colored layer on the exposed conductive layer after removal And a fourth step, which comprises:
【請求項2】 前記第4の工程において、電着により黒
色の遮光性着色層を形成することを特徴とする請求項1
記載のカラーフィルタの製造方法。
2. The black light-shielding colored layer is formed by electrodeposition in the fourth step.
A method for manufacturing the described color filter.
【請求項3】 前記第4の工程において、金属メッキま
たは無電解メッキにより遮光性着色層を形成することを
特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。
3. The method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein in the fourth step, the light-shielding colored layer is formed by metal plating or electroless plating.
【請求項4】 前記基板がガラス基板であることを特徴
とする請求項1乃至3記載のカラーフィルタの製造方
法。
4. The method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the substrate is a glass substrate.
【請求項5】 前記導電層が透明導電層であることを特
徴とする請求項1乃至4記載のカラーフィルタの製造方
法。
5. The method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the conductive layer is a transparent conductive layer.
【請求項6】 前記電着が熱硬化型・アニオン型電着性
高分子と色素とを含む電着浴中で行われることを特徴と
する請求項1乃至5記載のカラーフィルタの製造方法。
6. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the electrodeposition is performed in an electrodeposition bath containing a thermosetting / anionic electrodeposition polymer and a dye.
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