JPH06262465A - Chuck device - Google Patents

Chuck device

Info

Publication number
JPH06262465A
JPH06262465A JP5894693A JP5894693A JPH06262465A JP H06262465 A JPH06262465 A JP H06262465A JP 5894693 A JP5894693 A JP 5894693A JP 5894693 A JP5894693 A JP 5894693A JP H06262465 A JPH06262465 A JP H06262465A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
pin
chuck device
suction
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5894693A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Chikakazu Ninomiya
千佳和 二宮
Takeji Shiokawa
武次 塩川
Kuninori Imai
邦典 今井
Mitsukiyo Tani
光清 谷
Hideaki Sasaki
佐々木秀昭
Susumu Mori
進 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP5894693A priority Critical patent/JPH06262465A/en
Publication of JPH06262465A publication Critical patent/JPH06262465A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

PURPOSE:To attain high accurate machining by preventing a workpiece from side slipping due to cutting force in machining, in the case of mounting the workpiece on a machine tool of milling machine, machining center, etc. CONSTITUTION:A device has a sucker pad 1 for chucking a workpiece 5, reference pin 3 for obtaining reference of the workpiece 5, guide pin 2 serving as a stopper, switching valve for arbitrarily up/down switching the reference pin 3 and the guide pin 2 and a sucker surface 6 of increasing height by one step. In this way, side slipping, which is a difficult point of vacuum suction, can be prevented, and the workpiece, even when warped, can be accurately machined.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被加工材をチャックす
る装置で、これを備えた加工装置(主に機械加工装置)
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for chucking a material to be processed, and a processing device (mainly a machining device) equipped with the device.
Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】被加工材をチャックする方法として、真
空吸着による方法がある。従来の真空吸着装置として
は、図15、図16に示すようなものがある。
2. Description of the Related Art As a method for chucking a workpiece, there is a method by vacuum suction. Conventional vacuum suction devices include those shown in FIGS. 15 and 16.

【0003】この真空吸着装置は、吸着面901の表面
に複数の真空孔902が設けられ、これら真空孔902
に真空配管903が接続されているもので、吸着面90
1の表面に被加工材を載せて、真空配管903から真空
を引き、この真空吸着力を用いて、被加工材を保持する
ものである。
In this vacuum suction device, a plurality of vacuum holes 902 are provided on the surface of a suction surface 901, and these vacuum holes 902 are provided.
Vacuum pipe 903 is connected to the suction surface 90.
The work piece is placed on the surface of No. 1, a vacuum is drawn from the vacuum pipe 903, and the work piece is held by using this vacuum suction force.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな真空吸着装置では、横方向の外力に弱く、例えばフ
ライス加工やマシニングセンタ加工等で被加工材を真空
吸着した場合、加工中に横ズレが発生するという問題点
がある。これは、被加工材と吸着パッドあるいは吸着面
との摩擦力が小さい結果、生ずるものである。これを防
止する方法として、ゴム弾性体を利用した真空吸着パッ
ドが考えられる。しかし、吸着力を強めても、衝撃的な
外力が掛かった場合にはズレてしまうという問題点があ
る。さらに、被加工材が十分な平面ではなく反っていた
場合、加工中に被加工材と吸着面との隙間に切粉等が侵
入してしまい、横ズレが起こり易くなる。この横ズレに
より、加工精度は悪くなる。最悪の場合、加工中に被加
工材が吸着面から外れることさえもある。
However, such a vacuum suction device is vulnerable to an external force in the lateral direction, and when a workpiece is vacuum-sucked by, for example, milling or machining center machining, a lateral displacement occurs during machining. There is a problem of doing. This is a result of a small frictional force between the workpiece and the suction pad or the suction surface. As a method of preventing this, a vacuum suction pad using a rubber elastic body can be considered. However, even if the suction force is increased, there is a problem in that when a shocking external force is applied, it is displaced. Furthermore, if the material to be processed is not a sufficiently flat surface and is warped, chips and the like enter the gap between the material to be processed and the suction surface during processing, and lateral deviation easily occurs. Due to this lateral displacement, the processing accuracy becomes poor. In the worst case, the workpiece may even come off the suction surface during processing.

【0005】このような横ズレを防止する一つの方法と
して、基準ピン等のピンに被加工材を押し当てたまま加
工する方法もある。しかし、ピンが工具と干渉する可能
性があるため、被加工材とピンが接触している近辺は加
工できないという問題点があった。本発明は、このよう
な従来の問題点に着目してなされたもので、加工中に横
ズレが発生するような横方向の外力が働いても、横ズレ
を確実に防止でき、またピンと工具が干渉しないような
チャック装置を提供することを目的とする。更に、これ
を備えた加工装置、及び、このようなチャック装置の製
造方法を提供することを目的とする。
As one method for preventing such a lateral displacement, there is also a method in which a workpiece is pressed against a pin such as a reference pin while the workpiece is pressed. However, since the pin may interfere with the tool, there is a problem that the work cannot be processed in the vicinity of the contact between the work and the pin. The present invention has been made in view of such a conventional problem, and even if an external force in the lateral direction acts such that a lateral displacement occurs during processing, the lateral displacement can be reliably prevented, and the pin and the tool It is an object of the present invention to provide a chuck device that does not interfere with each other. Furthermore, it aims at providing the processing apparatus provided with this and the manufacturing method of such a chuck apparatus.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のチャック装置は、複数個のピンを保有し、
個別に任意に上下させることが可能なこと、また吸着面
が他の面よりも一段高くなっていることを特徴とするも
のである。
In order to achieve the above object, the chuck device of the present invention has a plurality of pins,
It is characterized in that it can be individually moved up and down arbitrarily, and that the suction surface is one step higher than the other surfaces.

【0007】ここで、ピンの上下動作は簡便なテコ式の
切り換え弁を使い、エアーとバネで駆動させることが好
ましい。NC工作機械等に本発明のチャック装置を装着
した場合、ピンを上下させるテコ式切り換え弁の操作
は、機械に押し下げ用の工具を把持させ、NCプログラ
ムで操作させる等、自動的に行うのが好適である。
Here, it is preferable to use a simple lever type switching valve to move the pin up and down by air and a spring. When the chuck device of the present invention is mounted on an NC machine tool or the like, the operation of the lever type switching valve for moving the pin up and down is automatically performed by causing the machine to hold a pressing tool and operating it by an NC program. It is suitable.

【0008】真空によるチャック装置の吸着面は他の面
よりも一段高く5mm程度にすることが好ましい。一段
高くなっている吸着面は、被加工材の外周寸法よりも2
mm程度一回り小さくすることが好ましい。
The vacuum chucking surface of the chucking device is preferably one step higher than the other surfaces and is about 5 mm. The suction surface, which is one step higher, is 2 times larger than the outer circumference of the workpiece.
It is preferable to reduce the size by about 1 mm.

【0009】[0009]

【作用】被加工材を真空吸着によりチャックしフライス
加工やマシニングセンタ加工を行う際、ピンを上昇させ
ておきストッパーとしての役目をさせておけば、加工中
の横ズレを防止できる。また、ピンが工具等と干渉する
場合は、ピンを下降させて干渉を防止することができ
る。
When the workpiece is chucked by vacuum suction and milling or machining center is performed, the pins can be raised to serve as stoppers to prevent lateral displacement during processing. When the pin interferes with a tool or the like, the pin can be lowered to prevent the interference.

【0010】真空吸着によるチャック装置の吸着面を他
の面よりも一段高くすることにより被加工材が平面でな
い場合でも接触面との隙間への切粉等の異物の浸入を防
止でき、加工中の横ズレがなく精度の良い加工が可能と
なる。
By making the suction surface of the chuck device by vacuum suction one step higher than the other surface, it is possible to prevent foreign matter such as chips from entering the gap between the contact surface and the workpiece even when the workpiece is not flat. It is possible to perform highly accurate processing without horizontal displacement.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1から図14に基
づき説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 14.

【0012】本発明のチャック装置をフライス盤やマシ
ニングセンタ等のような工作機械に装着した場合につい
て説明する。
A case where the chuck device of the present invention is mounted on a machine tool such as a milling machine or a machining center will be described.

【0013】図1に真空吸着によるチャック装置の外観
を示す。
FIG. 1 shows the appearance of a chuck device by vacuum suction.

【0014】被加工材5を4つの吸着パッド1を用いて
真空吸着させる。吸着パッド1はOリングまたはベロー
ズ状ゴム、シート状ゴム等のようなシール性の良いもの
が好適である。
The workpiece 5 is vacuum-sucked by using the four suction pads 1. It is preferable that the suction pad 1 has a good sealing property such as an O-ring, a bellows rubber, a sheet rubber or the like.

【0015】まず、3本の基準ピン3に被加工材5の側
面を押し当て、被加工材5を正しく設置する。ピン3が
切削時に干渉しない間は、このまま切削加工すれば、横
ズレ防止に役立つ。しかし、更に確実に防止するには、
図3、図4のような方法が効果的である。
First, the side surface of the work piece 5 is pressed against the three reference pins 3 to properly install the work piece 5. If the pins 3 do not interfere with each other during the cutting, the cutting work as it is helps to prevent the lateral displacement. However, to be more certain,
The methods shown in FIGS. 3 and 4 are effective.

【0016】すなわち、図3のように基準ピン3に押し
当てられ、吸着パッド1により真空吸着された被加工材
5に、ガイドピン2の真上(中心軸が一致)にくるよう
なガイド孔7を明ける。このガイド孔7はガイドピン2
よりも直径で10〜20μm大きいことが好ましい。し
かし、この寸法に限ることはなく、被加工材の要求精度
にもよるが5〜50μmの範囲でもかまわない。
That is, as shown in FIG. 3, the workpiece 5 is pressed against the reference pin 3 and vacuum-sucked by the suction pad 1, and the guide hole is located right above the guide pin 2 (the center axis is aligned). Open seven This guide hole 7 is a guide pin 2
It is preferable that the diameter is larger by 10 to 20 μm. However, the size is not limited to this, and may be in the range of 5 to 50 μm depending on the required accuracy of the work material.

【0017】真空配管10aから真空吸引して、ガイド
ピン2を上昇させ、ガイドピン2の先端をガイド孔7に
入れる。これにより、切削加工中の被加工材5の横ズレ
を確実に防止できる。(工具等と干渉しない時は基準ピ
ン3も上昇させておき、さらなる横ズレを防止でき
る。)また、基準ピン3とガイドピン2を上下動させる
切り換えの仕組みは図5のようになっている。切り換え
弁15aの押しボタン4aを押すと、真空ポンプ16と
の回路がつながり、シリンダ9aは真空吸引され4個の
ガイドピン2が上昇する。押しボタン4bを押すと、シ
リンダ9aは開放されガイドピン2がバネ8aにより下
降する。基準ピン3は、切り換え弁15bの押しボタン
4cを押すとシリンダ9bが真空吸引され、下降する。
押しボタン4dを押すと、シリンダ9bは開放され基準
ピン3がバネ8bにより上昇する。
Vacuum suction is performed from the vacuum pipe 10a, the guide pin 2 is raised, and the tip of the guide pin 2 is inserted into the guide hole 7. As a result, lateral displacement of the workpiece 5 during cutting can be reliably prevented. (When it does not interfere with a tool or the like, the reference pin 3 can also be raised to prevent further lateral displacement.) The mechanism for switching the reference pin 3 and the guide pin 2 up and down is as shown in FIG. . When the push button 4a of the switching valve 15a is pushed, the circuit with the vacuum pump 16 is connected, the cylinder 9a is vacuumed, and the four guide pins 2 are raised. When the push button 4b is pushed, the cylinder 9a is opened and the guide pin 2 is lowered by the spring 8a. When the push button 4c of the switching valve 15b is pushed, the reference pin 3 is moved down by vacuum suction of the cylinder 9b.
When the push button 4d is pushed, the cylinder 9b is opened and the reference pin 3 is raised by the spring 8b.

【0018】押しボタン4a〜4dと切り換え弁15
a、15bの内部構造は図7、図8のようになってい
る。図7で押しボタン4a、4cが押されるとピストン
が下降し封止部27aが封止される。真空ポンプ接続ポ
ート25とシリンダー接続ポート26とがつながり、基
準ピン3とつながれている場合は基準ピン3が下降し、
ガイドピン2とつながれている場合はガイドピン2が上
昇する。図8で押しボタン4b、4dが押されるとピス
トンが上昇し封止部27bが封止される。大気開放ポー
ト24とシリンダー接続ポート26とがつながり、基準
ピン3とつながれている場合は基準ピン3が上昇し、ガ
イドピン2とつながれている場合はガイドピン2が下降
する。ガイドピン2と基準ピン3の上下動作はそれぞれ
個別に行えるようになっている。
Push buttons 4a-4d and switching valve 15
The internal structure of a and 15b is as shown in FIGS. When the push buttons 4a and 4c are pushed in FIG. 7, the piston descends and the sealing portion 27a is sealed. When the vacuum pump connection port 25 and the cylinder connection port 26 are connected and connected to the reference pin 3, the reference pin 3 descends,
When connected to the guide pin 2, the guide pin 2 moves up. When the push buttons 4b and 4d are pushed in FIG. 8, the piston rises and the sealing portion 27b is sealed. When the atmosphere release port 24 and the cylinder connection port 26 are connected and connected to the reference pin 3, the reference pin 3 moves up, and when connected to the guide pin 2, the guide pin 2 moves down. The guide pin 2 and the reference pin 3 can be individually moved up and down.

【0019】なお、上記の説明では、ガイドピン2が4
個同時に上下動する例について述べた。しかし、4個に
限ることはなく、任意の数にすることも可能である。ま
た、図6に示すようにそれぞれのピンに切り換え弁15
を対応させれば必要に応じて、複数個を個別に上下動す
ることも可能である。すなわち、ガイドピン2や基準ピ
ン3以外にも、更に多数個のピンを設けてもよい。ここ
で、ガイドピン2と基準ピン3の上下動作は真空吸引を
使わずに図9のように圧縮エアーを用いてもよい。すな
わち、切り換え弁15aの押しボタン4aを押すと、圧
縮ポンプ38との回路がつながり、シリンダ9aに圧縮
エアーが入り4個のガイドピン2が上昇する。押しボタ
ン4bを押すと、シリンダ9aは開放されガイドピン2
がバネ8aにより下降する。基準ピン3は、切り換え弁
15bの押しボタン4cを押すとシリンダ9bに圧縮エ
アーが入り下降する。押しボタン4dを押すと、シリン
ダ9bは開放され基準ピン3がバネ8bにより上昇す
る。
In the above description, the guide pin 2 is 4
The example of moving up and down at the same time was described. However, the number is not limited to four and can be any number. In addition, as shown in FIG. 6, the switching valve 15 is attached to each pin.
If necessary, it is possible to move a plurality of units up and down individually. That is, in addition to the guide pin 2 and the reference pin 3, more pins may be provided. Here, the vertical movement of the guide pin 2 and the reference pin 3 may use compressed air as shown in FIG. 9 without using vacuum suction. That is, when the push button 4a of the switching valve 15a is pushed, the circuit with the compression pump 38 is connected, compressed air enters the cylinder 9a, and the four guide pins 2 rise. When the push button 4b is pressed, the cylinder 9a is released and the guide pin 2
Is lowered by the spring 8a. When the push button 4c of the switching valve 15b is pressed, compressed air enters the cylinder 9b and moves down the reference pin 3. When the push button 4d is pushed, the cylinder 9b is opened and the reference pin 3 is raised by the spring 8b.

【0020】また、基準ピン3は、図3のようにネジ1
7で固定されており、基準ピン3が変形あるいは損傷し
た場合、容易に取外し交換可能である。
The reference pin 3 has a screw 1 as shown in FIG.
It is fixed at 7, and can be easily removed and replaced if the reference pin 3 is deformed or damaged.

【0021】NC装置が付いている機械であれば、これ
らの押しボタン4a〜4dを押し下げる操作は、ATC
(自動工具交換)で、押しボタン4a〜4dを押すため
の図10に示すような工具をホルダーに把持させ、NC
を用いて押し下げることが可能である。図10の工具は
シャンク29をホルダーに把持させ、ピストン31の先
端で押しボタン4a〜4dを押す。ピストン31に力が
加わるとシリンダー内にバネ32が入っており、機械の
スピンドルに衝撃力が加わらないようになっている。こ
れらの操作は自動的に行うことができる。
In the case of a machine equipped with an NC device, the operation of pushing down these push buttons 4a-4d is ATC.
In (automatic tool change), a tool for pushing the push buttons 4a to 4d as shown in FIG.
It is possible to push down with. The tool of FIG. 10 causes the holder to grip the shank 29, and pushes the push buttons 4a to 4d with the tip of the piston 31. When a force is applied to the piston 31, a spring 32 is contained in the cylinder so that an impact force is not applied to the machine spindle. These operations can be performed automatically.

【0022】反っている被加工材5を切削加工する際、
図12のように吸着面13を被加工材5の外周寸法より
一回り(2mm程度)小さくし、一段高く(5mm程
度)することにより、被加工材5と吸着面13との隙間
に切粉等の異物が浸入しにくくなる。図11のように吸
着面と治具面の高さが同じである場合、切粉等が切削液
に流されて隙間に侵入してくる。それを図12のように
することにより切削液は吸着面まで侵入せず切粉の侵入
が防止できる。しかし、吸着面の寸法はこれらに限るこ
とはない。被加工材やチャック装置の大きさにもよる
が、高さは3〜10mmの範囲でもかまわず、被加工材
の外周寸法より2〜5mm小さい範囲でもかまわない。
When cutting the warped workpiece 5,
As shown in FIG. 12, the suction surface 13 is made smaller (about 2 mm) than the outer peripheral dimension of the work material 5 and made higher (about 5 mm) by one step, so that chips are generated in the gap between the work material 5 and the suction surface 13. It becomes difficult for foreign matter such as to enter. When the suction surface and the jig surface have the same height as shown in FIG. 11, chips and the like flow into the cutting fluid and enter the gap. By making it as shown in FIG. 12, the cutting fluid can be prevented from entering the suction surface and the invasion of cutting chips. However, the size of the suction surface is not limited to these. Depending on the size of the work material and the chuck device, the height may be in the range of 3 to 10 mm, or may be in the range of 2 to 5 mm smaller than the outer peripheral dimension of the work material.

【0023】上記の実施例では真空吸着によるチャック
装置を説明したが、真空吸着に限ることはなく、図1
3、図14に示すようなメカ的に保持するチャック装置
にも応用できる。被加工材5がクランパー35で上方向
からチャックされている場合、真空吸着と同様に横方向
の外力には弱い。基準ピン3とガイドピン2を前述した
ようにストッパーとして用いれば横ズレはなくなる。す
なわち、本発明を用いれば、メカ的にチャックする場合
でも弱いチャック力で被加工材を保持することが可能に
なり、チャック力による変形を嫌うような被加工材に
は、非常に有効である。
In the above embodiment, the chuck device by vacuum suction has been described, but the chuck device is not limited to vacuum suction.
3, it can also be applied to a chuck device for mechanically holding as shown in FIG. When the workpiece 5 is chucked by the clamper 35 from above, it is weak against external force in the lateral direction like vacuum suction. If the reference pin 3 and the guide pin 2 are used as stoppers as described above, the lateral displacement is eliminated. That is, by using the present invention, it is possible to hold a work piece with a weak chucking force even when mechanically chucking, and it is very effective for a work piece that is not susceptible to deformation due to the chucking force. .

【0024】[0024]

【発明の効果】図15、図16に示すような従来の真空
吸着装置を用いてフライス盤やマシニングセンタ等で加
工を行った場合、吸着力が弱く、切削加工はほとんど不
可能であった。またできても、加工精度は100〜20
0μmが限界であった。これに対し、本発明の真空吸着
によるチャック装置によれば、被加工材の横ズレを確実
に防止でき、加工精度は20μm以内となる。この結
果、別機械による仕上げ加工工程等を省略することがで
きる。また、各ピンが工具等と干渉する時は、NCを用
いて切り換え弁を操作することで任意に上下動作がで
き、人手を使わず自動的に行える。真空吸着は、被加工
材のチャックが極めて簡単であることから、これらの機
能を組み合わせることにより容易に自動化することこと
ができ、量産に適用した場合、極めて効果が大きい。
When a conventional vacuum suction device as shown in FIGS. 15 and 16 is used to perform processing with a milling machine, a machining center or the like, the suction force is weak and cutting is almost impossible. Even if it can be done, the processing accuracy is 100 to 20.
The limit was 0 μm. On the other hand, according to the chuck device by vacuum suction of the present invention, the lateral displacement of the workpiece can be reliably prevented, and the processing accuracy is within 20 μm. As a result, it is possible to omit the finishing process by a separate machine. Also, when each pin interferes with a tool or the like, the NC can be used to operate the switching valve to arbitrarily move up and down, and this can be automatically performed without using human hands. The vacuum suction can be easily automated by combining these functions because the chucking of the material to be processed is extremely simple, and is extremely effective when applied to mass production.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るチャック装置の上面図である。FIG. 1 is a top view of a chuck device according to the present invention.

【図2】図1における側面図である。FIG. 2 is a side view of FIG.

【図3】図1におけるI−I線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line I-I in FIG.

【図4】図1におけるI−I線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along the line I-I in FIG. 1.

【図5】本発明に係るチャック装置の内部配管図であ
る。
FIG. 5 is an internal piping diagram of the chuck device according to the present invention.

【図6】本発明に係るチャック装置を応用した場合の内
部配管図である。
FIG. 6 is an internal piping diagram when the chuck device according to the present invention is applied.

【図7】真空吸引時のテコ式切り換え弁の内部構造図で
ある。
FIG. 7 is an internal structure diagram of a lever type switching valve during vacuum suction.

【図8】大気開放時のテコ式切り換え弁の内部構造図で
ある。
FIG. 8 is an internal structural diagram of a lever type switching valve when the atmosphere is opened.

【図9】圧縮エアーを用いたチャック装置の内部配管図
である。
FIG. 9 is an internal piping diagram of a chuck device using compressed air.

【図10】切り換えボタン15を押すための工具の図で
ある。
FIG. 10 is a view of a tool for pressing a switching button 15.

【図11】反った被加工材を吸着面と治具面とが同じ高
さのチャック装置にセットした場合の側面図である。
FIG. 11 is a side view showing a case where a warped work material is set in a chuck device in which a suction surface and a jig surface have the same height.

【図12】反った被加工材を吸着面が治具面より一段高
いチャック装置にセットした場合の側面図である。
FIG. 12 is a side view showing a case where a warped work material is set in a chuck device in which a suction surface is one step higher than a jig surface.

【図13】本発明のチャック装置にメカ的なクランパー
方式を応用した場合の上面図である。
FIG. 13 is a top view when a mechanical clamper system is applied to the chuck device of the present invention.

【図14】本発明のチャック装置にメカ的なクランパー
方式を応用した場合の側面図である。
FIG. 14 is a side view when a mechanical clamper system is applied to the chuck device of the present invention.

【図15】従来の真空吸着によるチャック装置の上面図
である。
FIG. 15 is a top view of a conventional chuck device using vacuum suction.

【図16】従来の真空吸着によるチャック装置の側面図
である。
FIG. 16 is a side view of a conventional chuck device using vacuum suction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…吸着パッド、2…ガイドピン、3…基準ピン、4
a、4b、4c、4d…押しボタン、5…被加工材、6
…吸着面、7…ガイド孔、8a、8b…バネ、9a、9
b…シリンダ、10a、10b、10c…真空配管、1
1…シール材、12…Oリング、13a、13b…ピス
トン、14…中継継手、15a、15b…切り換え弁、
16…真空ポンプ、17…ネジ、18…ボルト、19…
位置決めピン、20…バネ、21…テコ、22…ピスト
ン、23…バネ、24…大気開放ポート、25…真空ポ
ンプ接続ポート、26…シリンダー接続ポート、27
a、27b…封止部、28…支点、29…シャンク、3
0…ナット、31…ピストン、32…バネ、33…エア
ー抜き孔、34…切削液面、35…クランパー、36…
締め付けボルト、37…支えコマ、38…圧縮ポンプ 39…治具面
1 ... suction pad, 2 ... guide pin, 3 ... reference pin, 4
a, 4b, 4c, 4d ... push button, 5 ... work material, 6
... Suction surface, 7 ... Guide holes, 8a, 8b ... Spring, 9a, 9
b ... cylinder, 10a, 10b, 10c ... vacuum piping, 1
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Seal material, 12 ... O ring, 13a, 13b ... Piston, 14 ... Relay joint, 15a, 15b ... Switching valve,
16 ... Vacuum pump, 17 ... Screw, 18 ... Bolt, 19 ...
Positioning pin, 20 ... Spring, 21 ... Lever, 22 ... Piston, 23 ... Spring, 24 ... Atmosphere opening port, 25 ... Vacuum pump connection port, 26 ... Cylinder connection port, 27
a, 27b ... sealing part, 28 ... fulcrum, 29 ... shank, 3
0 ... Nut, 31 ... Piston, 32 ... Spring, 33 ... Air vent hole, 34 ... Cutting fluid level, 35 ... Clamper, 36 ...
Tightening bolts, 37 ... Support pieces, 38 ... Compression pump 39 ... Jig surface

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 光清 神奈川県秦野市堀山下1番地株式会社日立 製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 佐々木秀昭 神奈川県秦野市堀山下1番地株式会社日立 製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 森 進 茨城県日立市会瀬町二丁目9番1号日立設 備エンジニアリング株式会社 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Mitsuyoshi Tani 1 Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. General-purpose computer division (72) Inventor Hideaki Sasaki 1 Horiyamashita, Hadano, Kanagawa Hitachi, Ltd. General-purpose computer division (72) Inventor Susumu Mori 2-9-1, Aize-cho, Hitachi-shi, Ibaraki Hitachi Equipment Engineering Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被加工材をチャックする装置において、ピ
ンを必要に応じて任意に上下動作可能にしたことを特徴
とするチャック装置。
1. A chucking device for chucking a workpiece, wherein a pin can be arbitrarily moved up and down as needed.
【請求項2】前記チャック装置において、押しボタンを
押すことによりピンを上下動作させることを特徴とする
請求項1記載のチャック装置。
2. The chuck device according to claim 1, wherein in the chuck device, a pin is moved up and down by pushing a push button.
【請求項3】前記押しボタンは、チャック装置をNC工
作機械等に装着し、工具によりNCプログラムで自動的
に操作できることを特徴とする請求項2記載のチャック
装置。
3. The chuck device according to claim 2, wherein the push button is mounted on an NC machine tool or the like, and can be automatically operated by an NC program by a tool.
【請求項4】前記押しボタンは、複数のピンにそれぞれ
対応しており、それぞれのピンを個別に動作可能なこと
を特徴とする請求項3記載のチャック装置。
4. The chuck device according to claim 3, wherein each of the push buttons corresponds to a plurality of pins, and each pin can be operated individually.
【請求項5】被加工材をチャックする接触面は、他の面
よりも一段高く形成されていることを特徴とする請求項
1記載のチャック装置。
5. The chuck device according to claim 1, wherein a contact surface for chucking the workpiece is formed to be one step higher than the other surface.
【請求項6】上下動作可能なピンにおいて、ピンの頭部
は取り外し可能なことを特徴とする請求項1記載のチャ
ック装置。
6. The chuck device according to claim 1, wherein the head of the pin that can be moved up and down is removable.
JP5894693A 1993-03-18 1993-03-18 Chuck device Pending JPH06262465A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5894693A JPH06262465A (en) 1993-03-18 1993-03-18 Chuck device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5894693A JPH06262465A (en) 1993-03-18 1993-03-18 Chuck device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06262465A true JPH06262465A (en) 1994-09-20

Family

ID=13099001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5894693A Pending JPH06262465A (en) 1993-03-18 1993-03-18 Chuck device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06262465A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2768867B2 (en) Vacuum chuck device
JPH08155770A (en) Seating device for pallet or the like
JPH06262465A (en) Chuck device
JP3576207B2 (en) Pallet clamping device
KR19990013371A (en) Die Bonding Device
JPH05299492A (en) Wafer positioning apparatus
US20020175458A1 (en) Workpiece holder
JPH02160442A (en) Chuck and support device for work
JPH0724775A (en) Suction chuck
KR0150704B1 (en) A semiconductor separation apparatus and separation method
JPS58114832A (en) Precision cutting jig of turn table for video disc
JP2005096015A (en) Automatic six-face machining system
JPH08323586A (en) Index position detector of pallet changer return table
CN218904473U (en) Multi-point type sealing strip-free vacuum chuck
JPH03202291A (en) Robot hand
KR200286755Y1 (en) Wire Bonding Inspection Device for Semiconductor Package Manufacturing
JPS6021764Y2 (en) Hole depth inspection device for workpiece
KR100655321B1 (en) Table clamp/unclamp motion sensing device of maching center
JPH0751232Y2 (en) Spindle positioning device for precision dial type base machine
JPH0338063B2 (en)
KR900008003Y1 (en) Device for workpiece
JP3224201B2 (en) Clamping device
JPH06142798A (en) Method for handling work of press
JPH05104473A (en) Floating component
JPH0434984Y2 (en)