JPH06261562A - Oscillation-wave actuator - Google Patents

Oscillation-wave actuator

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JPH06261562A
JPH06261562A JP5049064A JP4906493A JPH06261562A JP H06261562 A JPH06261562 A JP H06261562A JP 5049064 A JP5049064 A JP 5049064A JP 4906493 A JP4906493 A JP 4906493A JP H06261562 A JPH06261562 A JP H06261562A
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JP
Japan
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conductor
wave actuator
conductors
actuator
vibration
Prior art date
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Pending
Application number
JP5049064A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Nakanishi
徹 中西
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH06261562A publication Critical patent/JPH06261562A/en
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an oscillation-wave actuator wherein its cost is low, its working property is good, its durability is high and its reliability is high by eliminating a drawback that a flexible printed-circuit board as a connecting conductor which connects a piezoelectric element to a drive circuit is expensive, easily breakable and the like in an oscillation-wave actuator (an ultrasonic motor) in conventional cases. CONSTITUTION:Conductive conductors 17a to 17d (thin sheetlike conductors) which are not insulated and covered are used instead of a flexible printed-circuit board, and a base stand 19 which fixes an oscillation body 3 and a case 20 which surrounds the whole are constituted of an insulating material. A rotor is represented by 4, a vibration-proof rubber by 5, a spring by 6, and a shaft which is fixed to the rotor 4 by 11, respectively. Thereby, since the metal conductors are used instead of the flexible printed-circuit board as connecting wires which connect a piezoelectric element 2 to a drive circuit, the attachment working property of the title actuator is improved, its cost is lowered. and its reliability and its durability are improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は振動数アクチュエータ
(もしくは超音波モータ)に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a frequency actuator (or ultrasonic motor).

【0002】[0002]

【従来の技術】図8乃至図11を参照して従来公知の振
動波アクチュエータの構造について説明する。
2. Description of the Related Art The structure of a conventionally known vibration wave actuator will be described with reference to FIGS.

【0003】図8及び図9において、1は円盤状もしく
は車輪状の振動体本体であり、該振動体本体1は弾性の
ある金属で構成されており、その外周縁の肉厚部が振動
発生部となっている。2は振動体本体1の環状の肉厚部
(すなわち振動発生部)の下面に接着された環状の圧電
素子であり、該圧電素子2の下面には該素子と不図示の
制御回路(駆動回路)とを電気的に接続するフレキシブ
ルプリント基板12(以下にはフレキと略記する)が接
着されている。振動体3は該振動体本体1と圧電素子
(振動発生素子)2とで構成されており、該振動体本体
1はそれ自身の中心部においてモータ基台9の中心のボ
ス部9a上に固着されている。
In FIGS. 8 and 9, reference numeral 1 denotes a disc-shaped or wheel-shaped vibrating body, which is made of elastic metal, and a thick portion of its outer peripheral edge causes vibration. It is a division. Reference numeral 2 denotes an annular piezoelectric element adhered to the lower surface of the annular thick portion (that is, the vibration generating portion) of the vibrating body main body 1. On the lower surface of the piezoelectric element 2, the element and a control circuit (drive circuit not shown) are provided. ) Is bonded to the flexible printed circuit board 12 (hereinafter abbreviated as “flexible”). The vibrating body 3 is composed of the vibrating body 1 and a piezoelectric element (vibration generating element) 2, and the vibrating body 1 is fixed on the boss portion 9a at the center of the motor base 9 at the center of itself. Has been done.

【0004】4は振動体本体1の環状の振動発生部にバ
ネ6によって圧接された移動体(すなわちロータ)であ
り、該移動体4は外周縁部において振動体本体1の振動
発生部に押し付けられている。
Reference numeral 4 denotes a moving body (that is, a rotor) which is pressed against an annular vibration generating portion of the vibrating body 1 by a spring 6, and the moving body 4 is pressed against the vibrating portion of the vibrating body 1 at its outer peripheral edge. Has been.

【0005】移動体4の上には防振ゴム5が貼られてお
り、バネ6は該ゴム5を介して移動体4を押している。
該移動体4は円盤状もしくは車輪状であり、その中心の
孔には駆動軸11が嵌着されており、該軸11は基台9
に固定された軸受8とモータケース10に取付けられた
軸受7とに回転可能に支持されている。
An anti-vibration rubber 5 is attached on the moving body 4, and the spring 6 pushes the moving body 4 through the rubber 5.
The moving body 4 has a disk shape or a wheel shape, and a drive shaft 11 is fitted in a hole at the center thereof, and the shaft 11 is a base 9
It is rotatably supported by a bearing 8 fixed to the motor and a bearing 7 attached to the motor case 10.

【0006】フレキ12は図8及び図10に示すような
平面形状を有しており、配線となる導電パターン13及
び該導電パターン上の電極14及び15を有している。
図9に示された16は電極14の位置の基板を強化する
補強板である。
The flex 12 has a planar shape as shown in FIGS. 8 and 10, and has a conductive pattern 13 to be wiring and electrodes 14 and 15 on the conductive pattern.
Reference numeral 16 shown in FIG. 9 is a reinforcing plate that strengthens the substrate at the position of the electrode 14.

【0007】図11にフレキ12の拡大断面図を示す。
図11において、12aはベースフィルム、12bはカ
バーフィルム、であり、それぞれ一般的には25μm厚
さのポリイミドフィルムでできている。13はプリント
配線(すなわち導電パターン)であり、通常は35μm
厚さの銅箔でできている。12cは接着剤層であり、導
電パターン13は接着剤層12cによりベースフィルム
12aとカバーフィルム12bとに挟み込まれている。
電極14及び15の位置ではカバーフィルム12aと接
着剤層12cには開口が形成され、該開口内に露出した
導電パターン13上に電極が形成されている。
FIG. 11 shows an enlarged sectional view of the flexible cable 12.
In FIG. 11, reference numeral 12a is a base film and 12b is a cover film, which are generally made of a polyimide film having a thickness of 25 μm. 13 is a printed wiring (that is, a conductive pattern), which is usually 35 μm
Made of thick copper foil. Reference numeral 12c is an adhesive layer, and the conductive pattern 13 is sandwiched between the base film 12a and the cover film 12b by the adhesive layer 12c.
An opening is formed in the cover film 12a and the adhesive layer 12c at the position of the electrodes 14 and 15, and an electrode is formed on the conductive pattern 13 exposed in the opening.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】前述した従来の振動波
アクチュエータには次のような欠点があった。
The conventional vibration wave actuator described above has the following drawbacks.

【0009】フレキは機械的強度が極めて低く、従っ
て取扱いには細心の注意が必要であるが、そのような注
意をしても組立て作業中に破いたり傷付けたりする危険
性が高い。
The flex has extremely low mechanical strength and therefore requires great care in handling, but even with such caution, there is a high risk of breaking or damaging during the assembly work.

【0010】フレキは価格が非常に高いので、振動波
アクチュエータのコストを高くする一因になっている。
Since the price of flex is very high, it is one of the factors that increase the cost of the vibration wave actuator.

【0011】フレキの電極14はハンダ付けにより外
部回路に接続されるが、ハンダ付けの熱により接着剤層
12cが溶けて導電パターン13やカバーフィルム12
bが剥れてしまうことがあった。
The flexible electrode 14 is connected to an external circuit by soldering, but the adhesive layer 12c is melted by the heat of soldering and the conductive pattern 13 and the cover film 12 are melted.
Sometimes b was peeled off.

【0012】該振動波アクチュエータを搭載している
光学機器を高温環境や高湿環境で使用することが重なる
と接着剤層12cが剥離したり、接着強度が低下した
り、あるいは、接着剤層の吸湿により隣り合う導電パタ
ーン間の絶縁抵抗の低下を招き、その結果、配線間で短
絡を生じてモータが損傷されたりする恐れがあった。
When the optical equipment equipped with the vibration wave actuator is used in a high temperature environment or a high humidity environment, the adhesive layer 12c may be peeled off, the adhesive strength may be lowered, or the adhesive layer Due to the moisture absorption, the insulation resistance between adjacent conductive patterns is reduced, and as a result, a short circuit may occur between the wirings, possibly damaging the motor.

【0013】一般的にフレキのメーカー側保証耐熱温
度は260℃で10秒以下であり、従って、ハンダごて
の温度管理とハンダ付け作業には制約があり、作業性が
悪かった。
Generally, the manufacturer's guaranteed heat resistance temperature of the flexi is 260 ° C. for 10 seconds or less. Therefore, the temperature management of the soldering iron and the soldering work are restricted, and the workability is poor.

【0014】本発明の目的は前記欠点を持たない、改良
された振動波アクチュエータを提供することである。
It is an object of the present invention to provide an improved oscillatory wave actuator that does not have the above drawbacks.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】前述の欠点を有しない振
動波アクチュエータを実現するために、本発明では次の
ような基本方針に基ずいてモータ構造を設計することに
した。
In order to realize a vibration wave actuator that does not have the above-mentioned drawbacks, the present invention decides to design a motor structure based on the following basic principle.

【0016】すなわち、圧電素子と外部回路との電気的
接続にフレキを使用することを廃し、その代りに燐青銅
やステンレス等の金属薄板等の導電体を使用することに
した。また、モータの基台やケースの構成素材として樹
脂等の絶縁材を使用して配線側の絶縁被覆を不用にして
構造を簡単化した。
That is, the use of flex for the electrical connection between the piezoelectric element and the external circuit is abolished, and a conductor such as a thin metal plate of phosphor bronze or stainless steel is used instead. Further, an insulating material such as a resin is used as a constituent material of the motor base and the case, and the insulating coating on the wiring side is not required, thereby simplifying the structure.

【0017】[0017]

【実施例】以下に図1乃至図7を参照して本発明の実施
例について説明する。なお、以下に示す実施例におい
て、従来技術の構成要素と同じものは同じ符号で表し、
且つ、同じ構成要素については必要がないかぎり説明を
省略する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the embodiments described below, the same components as those of the prior art are represented by the same reference numerals,
Moreover, description of the same components will be omitted unless necessary.

【0018】図1乃至図4は本発明の第一の実施例の振
動波アクチュエータの構造を示したものである。本実施
例のアクチュエータでは、基台19とケース20が樹脂
等の絶縁材料で構成されており、従来のアクチュエータ
で使用されていたフレキの代りに燐青銅製の薄板電極板
導体17a〜17dが使用されている。導体17aは圧
電素子2のA相電極に接続するように基台19の面に固
定されており、導体17bは圧電素子のB相電極に接続
するように配置されており、圧電素子2の振動検出のた
めのセンサー相の領域にはセンサー用の導体17cが配
置されている。また、図1に示すように、導体17a〜
17cの外部接続用端子部の配置位置に対して180度
隔たった位置には基準電位用の導体17dが配置され、
該導体17dの先端の円環状部分は基台19の円筒形の
ボス部(振動体支持部)19aの上に配置されて振動体
本体1と基台19のボス部19aとの間に挟持されるよ
うになっている。該導体17dは振動体本体1の電位を
駆動回路の基準電位に落とすための導体であり、該導体
17dの外部接続端子は該駆動回路の基準電位部に接続
される。
1 to 4 show the structure of the vibration wave actuator of the first embodiment of the present invention. In the actuator of this embodiment, the base 19 and the case 20 are made of an insulating material such as resin, and thin plate electrode conductors 17a to 17d made of phosphor bronze are used in place of the flex used in the conventional actuator. Has been done. The conductor 17a is fixed to the surface of the base 19 so as to be connected to the A-phase electrode of the piezoelectric element 2, and the conductor 17b is arranged so as to be connected to the B-phase electrode of the piezoelectric element. The conductor 17c for the sensor is arranged in the area of the sensor phase for the detection. Moreover, as shown in FIG.
A conductor 17d for reference potential is arranged at a position 180 degrees away from the arrangement position of the external connection terminal portion of 17c,
An annular portion at the tip of the conductor 17d is disposed on the cylindrical boss portion (vibration body support portion) 19a of the base 19 and is sandwiched between the vibration body 1 and the boss portion 19a of the base 19. It has become so. The conductor 17d is a conductor for dropping the potential of the vibrating body 1 to the reference potential of the drive circuit, and the external connection terminal of the conductor 17d is connected to the reference potential portion of the drive circuit.

【0019】基台19の外周縁部に配置された前記各導
体17a〜17dの外部接続用端子部には、図3に示す
ように孔17eが貫設されている。該孔に対応する位置
の基台19上に突設されたピン状突起19bが該孔17
eに挿通された後に該突起19bの先端を加熱して押し
潰すことにより該導体17a〜17dが基台19に固定
されている。そして、このようにして基台19に固定さ
れた各導体の端部に不図示のリード線をハンダ付けして
該リード線を介して各導体17a〜17dを不図示の駆
動回路に接続する。
As shown in FIG. 3, holes 17e are formed through the external connection terminals of the conductors 17a to 17d arranged on the outer peripheral edge of the base 19. The pin-shaped projection 19b projectingly provided on the base 19 at a position corresponding to the hole is
The conductors 17a to 17d are fixed to the base 19 by heating and crushing the tips of the protrusions 19b after the conductors 17a to 17d are inserted into the base plate 19. Then, lead wires (not shown) are soldered to the end portions of the conductors fixed to the base 19 in this manner, and the conductors 17a to 17d are connected to the drive circuit (not shown) via the lead wires.

【0020】以上に説明した本実施例の振動波アクチュ
エータでは、フレキの代りに燐青銅製の帯状導体を全く
絶縁被覆せずに使用し、基台19とケース20を樹脂等
の絶縁材で構成しているので、導体17a〜17dの
取付けに際して該導体に切断や損傷が生じる恐れがな
く、しかも取付けに際して接着剤を使用する必要がない
ので作業性がよく、その結果、製造能率及び製造コスト
を向上させることができ、しかも該アクチュエータの信
頼性及び耐久性も向上する。
In the vibration wave actuator of this embodiment described above, a band conductor made of phosphor bronze is used in place of the flexible member without any insulating coating, and the base 19 and the case 20 are made of an insulating material such as resin. Since the conductors 17a to 17d are attached, there is no risk of cutting or damage to the conductors, and since it is not necessary to use an adhesive at the time of attachment, workability is good, and as a result, manufacturing efficiency and manufacturing cost are reduced. It is possible to improve the reliability and durability of the actuator.

【0021】図5は各導体17a〜17dと基台19及
び振動体3との接続部分における変形実施例を示したも
のであり、基台19における導体固定部と振動体3の導
体固定部との間で該導体17a〜17dに基台19のく
ぼみ方向に曲がる湾曲部17fを形成し、該湾曲部17
fで振動体3による振動を吸収し、振動体3の振動特性
に影響を与えないようにした。
FIG. 5 shows a modification of the connecting portion between the conductors 17a to 17d and the base 19 and the vibrating body 3. The conductor fixing portion of the base 19 and the conductor fixing portion of the vibrating body 3 are shown in FIG. Between the conductors 17a to 17d, a curved portion 17f that bends in the concave direction of the base 19 is formed.
The vibration of the vibrating body 3 is absorbed by f so that the vibration characteristics of the vibrating body 3 are not affected.

【0022】図6は本発明の第二の実施例を示したもの
である。本実施例では、基台19及びケース20が絶縁
材製であることは前記実施例と同じであるが、基台19
における前記導体17a〜17dの固定部と、基台19
における外部接続構造が前記実施例と異なっている。す
なわち、本実施例では、図6(b)に示すように、基台
19の外周縁部には予めL字形のピン18が該基台19
に埋め込み成形されており、基台19の端面には該ピン
18の一方の端部18aが突出し、基台19の外周面に
は該ピン18の他方の端部18bが突出している。
FIG. 6 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the base 19 and the case 20 are made of an insulating material, which is the same as the previous embodiment, but the base 19
Fixed portions of the conductors 17a to 17d in FIG.
The external connection structure in is different from the above embodiment. That is, in this embodiment, as shown in FIG. 6B, an L-shaped pin 18 is previously provided on the outer peripheral edge portion of the base 19.
One end 18a of the pin 18 projects from the end surface of the base 19, and the other end 18b of the pin 18 projects from the outer peripheral surface of the base 19.

【0023】導体17a〜17dを取付ける場合には、
各導体の外部端子部の孔17eをピン18の突出部18
aに嵌装し、該ピンの突出部18a上にハンダ21を肉
盛りして該ピン18と各導体17a〜17dとを電気的
に接続する。そして、基台19の外周面に突出したピン
突出部18bには不図示のリード線等をハンダ付けする
ことにより圧電素子2を駆動回路に接続する。
When mounting the conductors 17a to 17d,
The hole 17e of the external terminal portion of each conductor is provided with the protruding portion 18 of the pin 18.
It is fitted to a, and the solder 21 is built up on the protruding portion 18a of the pin to electrically connect the pin 18 and the conductors 17a to 17d. Then, the piezoelectric element 2 is connected to the drive circuit by soldering a lead wire (not shown) or the like to the pin protruding portion 18b protruding on the outer peripheral surface of the base 19.

【0024】図7は前述の薄板導体の代りに細線導体2
2を使用する場合を示したものであり、該導体22a〜
22dと圧電素子2との相対位置のみを示す。22aは
圧電素子2のA相に接続される導体、22bは圧電素子
2のB相に接続される導体、22cは圧電素子2のセン
サー相に接続される導体、22dは基台19の電位を駆
動回路の基準電位に落とすための導体、であり、前述の
導体17a〜17dに対応している。
FIG. 7 shows a thin wire conductor 2 instead of the above-mentioned thin plate conductor.
2 shows the case where 2 is used, and the conductors 22a ...
Only the relative position of 22d and the piezoelectric element 2 is shown. 22a is a conductor connected to the A phase of the piezoelectric element 2, 22b is a conductor connected to the B phase of the piezoelectric element 2, 22c is a conductor connected to the sensor phase of the piezoelectric element 2, and 22d is the potential of the base 19. It is a conductor for dropping to the reference potential of the drive circuit, and corresponds to the above-mentioned conductors 17a to 17d.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の振動波
アクチュエータでは、圧電素子と駆動回路との電気的接
続を行なうための接続導体として、従来のフレキの代り
に金属製の(導電性の)導体を絶縁被覆をせずに使用す
るように構成したので次のような効果を得ることができ
る。
As described above, in the vibration wave actuator of the present invention, as a connecting conductor for electrically connecting the piezoelectric element and the drive circuit, a metal (conductive Since the conductor is used without an insulating coating, the following effects can be obtained.

【0026】(1)金属等から成る導体はフレキにくら
べて非常に安価であるとともに切断や損傷の恐れがない
ため、作業性がよいため振動波アクチュエータの製造能
率が向上し、製造コストを大幅に低減できる。
(1) The conductor made of metal or the like is much cheaper than the flexible one and is free from the risk of cutting or damage. Therefore, the workability is good and the manufacturing efficiency of the vibration wave actuator is improved, resulting in a large manufacturing cost. Can be reduced to

【0027】(2)機械的強度の高い導体を使用し、ハ
ンダで固定するため、高温環境や高湿環境における使用
が重なっても導体の損傷が生じる恐れがなく、従って、
該アクチュエータの電気的故障を生じる恐れがなく、ま
た、該アクチュエータを搭載している機器の信頼性及び
耐久性を向上することができる。
(2) Since a conductor having high mechanical strength is used and fixed by soldering, there is no risk of damage to the conductor even if it is repeatedly used in a high temperature environment or a high humidity environment.
There is no risk of electrical failure of the actuator, and the reliability and durability of the device equipped with the actuator can be improved.

【0028】(3)導体に対して温度の制約が殆どない
のでハンダ付け作業の効率化が図れ、該アクチュエータ
の組立て作業の能率が向上する。
(3) Since there is almost no temperature restriction on the conductor, the efficiency of the soldering work can be improved and the efficiency of the assembling work of the actuator can be improved.

【0029】(4)導体の取付けに接着剤を使用しない
ので、接着剤の垂れ落ちにる作業環境の汚染がなく、従
って、品質管理精度が向上し、該アクチュエータの信頼
性が向上する。
(4) Since the adhesive is not used for attaching the conductor, there is no contamination of the work environment due to the dripping of the adhesive, and therefore the quality control accuracy is improved and the reliability of the actuator is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第一実施例の振動波アクチュエータの
分解斜視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a vibration wave actuator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の該アクチュエータにおける圧電素子2に
対する導体の配置を示した平面図。
FIG. 2 is a plan view showing an arrangement of conductors with respect to a piezoelectric element 2 in the actuator of FIG.

【図3】図2における一部の拡大縦断面図。3 is an enlarged vertical sectional view of a part of FIG.

【図4】図1に示した振動波アクチュエータの組立て状
態の半部縦断面図。
FIG. 4 is a half longitudinal sectional view of the vibration wave actuator shown in FIG. 1 in an assembled state.

【図5】該アクチュエータにおける導体の形状に関する
変形実施例を示した図。
FIG. 5 is a view showing a modified example regarding the shape of a conductor in the actuator.

【図6】(a)は本発明の第二実施例の振動波アクチュ
エータの半部縦断面図。(b)は図(a)の一部の拡大
図。
FIG. 6A is a half longitudinal sectional view of a vibration wave actuator according to a second embodiment of the present invention. (B) is an enlarged view of a part of FIG.

【図7】導体として細線を用いる場合を示した変形実施
例を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a modified example showing a case where a thin wire is used as a conductor.

【図8】従来の振動波アクチュエータの一例を示す分解
斜視図。
FIG. 8 is an exploded perspective view showing an example of a conventional vibration wave actuator.

【図9】図8の振動波アクチュエータの半部縦断面図。FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a half portion of the vibration wave actuator of FIG.

【図10】図8のアクチュエータに使用されているフレ
キシブルプリント基板の平面図。
10 is a plan view of a flexible printed circuit board used in the actuator of FIG.

【図11】該フレキシブルプリント基板の拡大断面図。FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of the flexible printed board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1;振動体本体 2;圧電素子 3;振動体 4;移動体 5;防振ゴム 6;バネ 7,8;軸受 9,19;基台 10,20;ケース 11;軸 12;フレキシブルプリント基板 14,15;電
極 16;補強板 17a〜17
d;薄板導体 17e;孔 18;ピン 21:ハンダ 22a〜22
d;細線導体
1; Vibrating body 2; Piezoelectric element 3; Vibrating body 4; Moving body 5; Anti-vibration rubber 6; Springs 7, 8; Bearings 9, 19; Base 10, 20; Case 11; Shaft 12; Flexible printed circuit board 14 , 15; electrodes 16; reinforcing plates 17a to 17
d; thin conductor 17e; hole 18; pin 21: solder 22a to 22
d; Fine wire conductor

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電素子等の振動発生素子が固着されて
いる振動体と、該振動体の振動面に圧接されて該振動体
の振動により移動する移動体と、該振動発生素子と制御
回路とを接続する電気的接続部材と、を有して成る振動
波アクチュエータにおいて、 該電気的接続部材が導電性薄板で構成され、電気的に絶
縁されたケースの中に該振動体及び該移動体が収容され
ていることを特徴とする振動波アクチュエータ。
1. A vibrating body to which a vibration generating element such as a piezoelectric element is fixed, a moving body that is pressed against a vibrating surface of the vibrating body to move by vibration of the vibrating body, the vibration generating element and a control circuit. And an electrical connection member for connecting the electrical connection member to the vibrator and the moving body in an electrically insulated case in which the electrical connection member is formed of a conductive thin plate. A vibration wave actuator, wherein:
【請求項2】 該電気的接続部材が導電性細線であるこ
とを特徴とする請求項1の振動波アクチュエータ。
2. The vibration wave actuator according to claim 1, wherein the electrical connection member is a conductive thin wire.
【請求項3】 該ケースが導体製であり、該ケースの内
面に絶縁コーティングが施されていることを特徴とする
請求項1の振動波アクチュエータ。
3. The vibration wave actuator according to claim 1, wherein the case is made of a conductor, and an insulating coating is applied to an inner surface of the case.
【請求項4】 該ケースが導体製であり、該ケースの内
面に絶縁被覆が施されていることを特徴とする請求項1
の振動波アクチュエータ。
4. The case is made of a conductor, and an insulating coating is applied to the inner surface of the case.
Vibration wave actuator.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1998045933A1 (en) * 1997-04-09 1998-10-15 Seiko Instruments Inc. Ultrasonic motor and electronic apparatus with ultrasonic motor
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