JPH06251703A - Formation of phosphor screen for plasma display substrate - Google Patents

Formation of phosphor screen for plasma display substrate

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Publication number
JPH06251703A
JPH06251703A JP5061219A JP6121993A JPH06251703A JP H06251703 A JPH06251703 A JP H06251703A JP 5061219 A JP5061219 A JP 5061219A JP 6121993 A JP6121993 A JP 6121993A JP H06251703 A JPH06251703 A JP H06251703A
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JP
Japan
Prior art keywords
phosphor
barrier
plasma display
glass substrate
display substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP5061219A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuto Shibuya
克人 渋谷
Motohiro Oka
素裕 岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP5061219A priority Critical patent/JPH06251703A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide phosphor screens not only on a glass substrate but also on the side surface of a barrier. CONSTITUTION:Each of the three kinds of phosphor pastes 3, R, G, B is filled into the space of a specific barrier 2 by screen printing, and after a liquid honing process is carried out through a subtracting mask 7, phosphor screens made of phosphor are formed on a glass substrate 1 and on the side surface of the barrier 2. As the subtracting mask 7, a photoresist is used for the material, while a desired pattern is provided by photo-lithography.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
基板における蛍光面の形成方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a phosphor screen on a plasma display substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プラズマディスプレイ基板の蛍光
面形成方法としては、蛍光体を分散した感光液をガラス
基板に塗布して乾燥させた後、該感光液の吸収波長を含
んだ光を所望パターンのマスクを介して照射することで
露光部を硬化させ、現像を行って未露光部分を除去する
ことにより所定の蛍光体のパターンを形成する方法が知
られている。そして、この方法では上記工程を赤
(R)、緑(G)、青(B)の3種類の蛍光体を用いて
繰り返すことにより所望の蛍光面を得るようにしてい
る。また、別の方法としては、R,G,Bの3種類から
なるスクリーン印刷用の蛍光体ペーストを用いて、スク
リーン印刷によりガラス基板上に所望の蛍光面を形成す
る方法も知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for forming a phosphor screen on a plasma display substrate, a photosensitive liquid in which a phosphor is dispersed is coated on a glass substrate and dried, and then light having an absorption wavelength of the photosensitive liquid is formed into a desired pattern. There is known a method of forming a predetermined phosphor pattern by irradiating through a mask to harden the exposed portion and performing development to remove the unexposed portion. In this method, the above steps are repeated using three types of phosphors of red (R), green (G), and blue (B) to obtain a desired phosphor screen. As another method, there is also known a method of forming a desired fluorescent screen on a glass substrate by screen printing using a screen printing phosphor paste composed of three types of R, G, and B.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、プラズマデ
ィスプレイにおいては、限られたエネルギーにより発光
効率を向上させるために、ガラス基板上のみならず障壁
側面も蛍光面とすることが望ましいが、上記した従来の
フォトリソグラフィー法或いはスクリーン印刷法では、
障壁側面に蛍光体を設けて蛍光面とするのが困難である
という問題点があった。
By the way, in the plasma display, it is desirable that not only the glass substrate but also the side wall of the barrier is a fluorescent screen in order to improve the luminous efficiency due to limited energy. In the photolithography method or screen printing method of
There is a problem that it is difficult to provide a phosphor on the side surface of the barrier to form a phosphor screen.

【0004】本発明は、上記のような従来技術の問題点
を解消するために創案されたものであり、その目的とす
るところは、ガラス基板上以外の障壁側面にも蛍光体を
設けることのできるプラズマディスプレイ基板の蛍光面
形成方法を提供することにある。
The present invention was devised in order to solve the above-mentioned problems of the prior art. The purpose of the present invention is to provide a phosphor on the side surface of the barrier other than on the glass substrate. Another object of the present invention is to provide a method of forming a fluorescent screen on a plasma display substrate.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプラズマディスプレイ基板の蛍光面形成方
法は、赤、緑、青の3種類の蛍光体ペーストをそれぞれ
所定の障壁空間内に充填し、障壁の横断パターンより小
さな目を備えたパターンからなるサブトラクト用マスク
を介して液体ホーニング処理を行った後、焼成工程を経
てガラス基板上及び障壁側面に蛍光体による蛍光面を形
成することを特徴としている。
In order to achieve the above object, in the method of forming a phosphor screen of a plasma display substrate of the present invention, three kinds of phosphor pastes of red, green and blue are respectively placed in predetermined barrier spaces. After filling and performing liquid honing through a subtractive mask consisting of a pattern having smaller eyes than the transverse pattern of the barrier, a phosphor screen is formed on the glass substrate and on the side of the barrier through a baking process. Is characterized by.

【0006】そして、上記サブトラクト用マスクとして
は、フォトレジストを材料としフォトリソグラフィー法
により所望パターンを形成してなるマスクを使用するこ
とができる。
As the subtract mask, it is possible to use a mask made of photoresist as a material and having a desired pattern formed by photolithography.

【0007】[0007]

【作用】上記構成の蛍光面形成方法によれば、各色の蛍
光体ペーストがそれぞれ所定の障壁内に充填された後、
サブトラクト用マスクを介して液体ホーニング処理が行
われ、この処理により蛍光体ペーストの不要部分が除去
される結果、ガラス基板上及び障壁側面に蛍光体ペース
トが残り、この残った蛍光体ペーストによりガラス基板
上のみならず障壁側面にも蛍光面が形成される。
According to the method of forming a phosphor screen having the above structure, after the phosphor pastes of the respective colors are filled in the predetermined barriers, respectively,
Liquid honing is performed through the subtract mask, and as a result of removing unnecessary portions of the phosphor paste by this treatment, the phosphor paste remains on the glass substrate and on the side surfaces of the barrier, and the remaining phosphor paste causes the glass substrate to disappear. A fluorescent screen is formed not only on the upper surface but also on the side surface of the barrier.

【0008】[0008]

【実施例】図1及び図2は本発明に係るプラズマディス
プレイ基板の蛍光面形成方法の実施例を示す連続した工
程図であり、以下、同図の各工程を順を追って本実施例
を説明する。
1 and 2 are continuous process diagrams showing an embodiment of a method for forming a phosphor screen of a plasma display substrate according to the present invention. Hereinafter, the present embodiment will be described step by step. To do.

【0009】まず、(a)に示すように、ガラス基板1
の上に予め形成された障壁2(本実施例においては、ピ
ッチ500μm、ライン幅100μmのマトリクス状パ
ターンのものを使用した)によって囲まれる放電空間と
しての障壁空間内に、R,G,Bの3種類の蛍光体ペー
スト3をスクリーン印刷法により、各色が所定の配列状
態となるようにして充填した。次いで、蛍光体ペースト
3を乾燥させ、有機バインダーに含まれる溶剤を除去し
てから、(b)に示すように、基板1を50〜80℃に
加熱し、フォトレジスト4としての光硬化型ドライフィ
ルム(東京応化工業製、OSBRフィルム)をラミネー
トした後、(c)に示すように、ピッチ500μm、幅
300μmのドットパターンマスク5を介して紫外線6
によりパターン露光を行った。露光条件は、365nm
で測定した時に強度200μW/cm2 、照射量70m
J/cm2 である。続いて、(d)に示す現像工程で、
無水炭酸ナトリウム0.2wt%水溶液により液温30
〜50℃でスプレー現像を行った。以上の工程により、
障壁2及び蛍光体ペースト3上に、ピッチ500μm、
ライン幅200μmの格子パターンのサブトラクト用マ
スク7を得た。
First, as shown in (a), the glass substrate 1
R, G, and B are placed in a barrier space surrounded by a barrier 2 (in this embodiment, a matrix pattern having a pitch of 500 μm and a line width of 100 μm) formed in advance. Three kinds of phosphor pastes 3 were filled by screen printing so that each color had a predetermined arrangement state. Then, the phosphor paste 3 is dried to remove the solvent contained in the organic binder, and then the substrate 1 is heated to 50 to 80 ° C. as shown in FIG. After laminating a film (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., OSBR film), as shown in (c), ultraviolet rays 6 are passed through a dot pattern mask 5 having a pitch of 500 μm and a width of 300 μm.
Then, pattern exposure was performed. Exposure condition is 365 nm
Intensity of 200μW / cm 2 and irradiation dose of 70m
J / cm 2 . Then, in the developing step shown in (d),
Liquid temperature 30 with 0.2 wt% anhydrous sodium carbonate solution
Spray development was carried out at -50 ° C. By the above process,
On the barrier 2 and the phosphor paste 3, a pitch of 500 μm,
A mask 7 for subtraction having a grid pattern with a line width of 200 μm was obtained.

【0010】その後、乾燥工程を経て、(e)に示すよ
うに、液体ホーニング8により蛍光体の不要部分の除去
を行った。この工程では、研磨材として褐色溶融アルミ
ナ#1500を水に分散させ、ノズル径5mm、噴出圧
力1kg/cm2 の条件で液体ホーニング処理を行っ
た。処理後、サブトラクト用マスク7を剥離し、水洗、
乾燥を行うことにより、(f)に示すように膜厚50μ
mの蛍光体ペースト3がガラス基板1上及び障壁2の側
面に付着してなる蛍光体のパターン形成を行うことがで
きた。ガラス基板1に付着する蛍光体ペースト3の膜厚
に関しては、液体ホーニング処理の条件及び時間により
制御することができる。次に(g)に示す焼成工程で
は、ピーク温度450℃、保持時間10〜20分の条件
で蛍光体ペースト3の焼成を行い、蛍光体をガラス基板
1上及び障壁の側面に結着させた。以上の工程により、
膜厚40μmのR,G,Bの蛍光体がそれぞれ所定のガ
ラス基板1上及び障壁2の側面にパターニングされたプ
ラズマディスプレイ基板を得ることができた。
Then, after a drying step, unnecessary portions of the phosphor were removed by liquid honing 8 as shown in (e). In this step, brown fused alumina # 1500 as an abrasive was dispersed in water, and a liquid honing treatment was performed under the conditions of a nozzle diameter of 5 mm and an ejection pressure of 1 kg / cm 2 . After the treatment, the subtractive mask 7 is peeled off, washed with water,
By drying, the film thickness is 50μ as shown in (f).
It was possible to perform pattern formation of a phosphor formed by depositing the phosphor paste 3 of m on the glass substrate 1 and the side surface of the barrier 2. The film thickness of the phosphor paste 3 attached to the glass substrate 1 can be controlled by the conditions and time of the liquid honing process. Next, in the firing step shown in (g), the phosphor paste 3 was fired under conditions of a peak temperature of 450 ° C. and a holding time of 10 to 20 minutes to bind the phosphor on the glass substrate 1 and the side surfaces of the barrier. . By the above process,
It was possible to obtain a plasma display substrate in which R, G, and B phosphors having a film thickness of 40 μm were patterned on the predetermined glass substrate 1 and on the side surface of the barrier 2, respectively.

【0011】なお、本実施例においては、サブトラクト
用マスクを構成するフォトレジストとして、上記の光硬
化型ドライフィルムを用いたが、この選択は本発明を限
定するものではなく、本発明の実施に際し、目的とする
パターン寸法、液体ホーニング処理のマスクとしての適
性等に応じて適宜なフォトレジストを選択すればよいも
のである。
In the present embodiment, the photo-curable dry film was used as the photoresist forming the subtract mask, but this selection does not limit the present invention, and the present invention is not limited thereto. A suitable photoresist may be selected depending on the desired pattern size, suitability as a mask for liquid honing treatment, and the like.

【0012】また、蛍光体ペーストを障壁空間内に充填
するに際しては、上記実施例で述べたスクリーン印刷法
による以外に、スプレー法等その他の手段で充填するよ
うにしてもよい。
Further, when the phosphor paste is filled in the barrier space, other than the screen printing method described in the above embodiment, other means such as a spray method may be used.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
ディスプレイ基板の蛍光面形成方法は、蛍光体ペースト
をスクリーン印刷法により障壁空間内に充填した後、サ
ブトラクト用マスクを介して液体ホーニング処理を行う
ことによりガラス基板上及び障壁側面に蛍光体ペースト
による蛍光面を形成するようにしたので、これまでのフ
ォトリソグラフィー法やスクリーン印刷法では困難とさ
れるガラス基板上以外の場所に蛍光体をパターニングす
ることが容易に行うことができ、これにより発光効率の
優れたプラズマディスプレイを容易に作成することがで
きる。
As described above, in the method of forming a phosphor screen of the plasma display substrate of the present invention, the phosphor paste is filled in the barrier space by the screen printing method, and then the liquid honing process is performed through the subtract mask. By doing so, a phosphor screen was formed on the glass substrate and on the side surface of the barrier by the phosphor paste.Therefore, patterning the phosphor on a place other than the glass substrate, which is difficult with the conventional photolithography method or screen printing method, is performed. This makes it easy to produce a plasma display with excellent luminous efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るプラズマディスプレイ基板の蛍光
面形成方法の実施例を説明するための工程図である。
FIG. 1 is a process chart for explaining an embodiment of a method for forming a phosphor screen of a plasma display substrate according to the present invention.

【図2】図1に連続する工程図である。FIG. 2 is a process diagram that is continuous with FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 障壁 3 蛍光体ペースト 4 フォトレジスト 7 サブトラクト用マスク 8 液体ホーニング 1 Glass Substrate 2 Barrier 3 Phosphor Paste 4 Photoresist 7 Subtract Mask 8 Liquid Honing

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 赤、緑、青の3種類の蛍光体ペーストを
それぞれ所定の障壁空間内に充填し、障壁の横断パター
ンより小さな目を備えたパターンからなるサブトラクト
用マスクを介して液体ホーニング処理を行った後、焼成
工程を経てガラス基板上及び障壁側面に蛍光体による蛍
光面を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ
基板の蛍光面形成方法。
1. A liquid honing process in which three kinds of phosphor pastes of red, green, and blue are filled in predetermined barrier spaces, respectively, and a subtraction mask having a pattern having eyes smaller than a transverse pattern of the barrier is used. After the above step, a phosphor screen of a plasma display substrate is formed on the glass substrate and on the side surface of the barrier through a firing step.
【請求項2】 フォトレジストを材料としフォトリソグ
ラフィー法により所望パターンを形成してなるサブトラ
クト用マスクを使用することを特徴とする請求項1記載
のプラズマディスプレイ基板の蛍光面形成方法。
2. The method for forming a phosphor screen on a plasma display substrate according to claim 1, wherein a mask for subtraction, which is formed by forming a desired pattern by a photolithography method, using a photoresist as a material is used.
JP5061219A 1993-02-26 1993-02-26 Formation of phosphor screen for plasma display substrate Pending JPH06251703A (en)

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JP (1) JPH06251703A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6051368A (en) * 1997-03-17 2000-04-18 Jsr Corporation Radiation sensitive composition containing a dispersed phosphor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6051368A (en) * 1997-03-17 2000-04-18 Jsr Corporation Radiation sensitive composition containing a dispersed phosphor

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