JPH05182592A - Plasma display panel and manufacture thereof - Google Patents

Plasma display panel and manufacture thereof

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JPH05182592A
JPH05182592A JP4018361A JP1836192A JPH05182592A JP H05182592 A JPH05182592 A JP H05182592A JP 4018361 A JP4018361 A JP 4018361A JP 1836192 A JP1836192 A JP 1836192A JP H05182592 A JPH05182592 A JP H05182592A
Authority
JP
Japan
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display panel
plasma display
forming
female mold
phosphor
Prior art date
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Pending
Application number
JP4018361A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Fujii
英明 藤井
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve productivity of a plasma display panel to enhance its yield and to better luminance efficiency. CONSTITUTION:Cell barriers 9 are formed by a phosphor paste containing frit and discharge spaces are formed by independent cell barriers 9. A method of manufacturing a plasma display panel includes the process of forming on a base a mold corresponding to the area of the cell barriers 9, the process of filling the space of the mold with a phosphor paste containing frit, and the process of burning the mold out to form cell barriers 9 from phosphor. The method can greatly shorten the time required for processing as compared with conventional thick film pattern lamination methods. Since the barriers 9 themselves are excited and emit light, luminance efficiency is enhanced. Each of the discharge spaces is formed by independent red, green and blue cell barriers 9, whereby a color plasma display panel can readily be manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セル障壁により形成さ
れた複数の放電用空間を備えてなるプラズマディスプレ
イパネル(以下、PDPと記す)及びその製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) having a plurality of discharge spaces formed by cell barriers and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図9は従来のDC型PDPの1構成例を
示したものである。同図に示されるように、このDC型
PDPにおいては、ガラスからなる平板状の前面板31
と背面板32とが互いに平行にかつ対向して配設されて
いると共に、両者はその間に設けられたセル障壁33に
より一定の間隔に保持されている。また、前面板31の
背面側には陽極34が形成されていると共に、背面板3
2の前面側には陰極35が陽極34と直交して形成され
ており、さらに陽極34の両側には蛍光面36が隣接し
て形成されている。このPDPでは、陽極34と陰極3
5の間に直流電源から所定の電圧を印加して電場を形成
することにより、前面板31と背面板32とセル障壁3
3とで構成される表示要素としての各セル37の内部で
放電が行われる。そして、この放電により生じる紫外線
により前面板31裏側の蛍光面36が発光させられ、前
面板31を透過してくるこの光を観察者が視認するよう
になっている。
2. Description of the Related Art FIG. 9 shows one configuration example of a conventional DC PDP. As shown in the figure, in this DC type PDP, a flat front plate 31 made of glass is used.
The back plate 32 and the back plate 32 are arranged in parallel and opposite to each other, and both of them are held at a constant interval by a cell barrier 33 provided therebetween. Further, an anode 34 is formed on the back side of the front plate 31, and the back plate 3
A cathode 35 is formed on the front surface side of 2 perpendicularly to the anode 34, and a phosphor screen 36 is formed adjacent to both sides of the anode 34. In this PDP, the anode 34 and the cathode 3
A predetermined voltage is applied from a DC power supply between the two to form an electric field, whereby the front plate 31, the rear plate 32, the cell barrier 3
Discharge is performed inside each cell 37 as a display element composed of 3 and 3. Then, the ultraviolet rays generated by this discharge cause the fluorescent surface 36 on the back side of the front plate 31 to emit light, and the observer visually recognizes this light transmitted through the front plate 31.

【0003】上記の如きPDPにおける蛍光面36は、
一般に前面板の背面に蛍光体を含む感光性スラリー液を
塗布した後、蛍光面のパターンに対応したフォトマスク
を用いて露光し、さらに現像、焼成することによって形
成されている。感光性スラリーとしては、例えば蛍光
体、ポリビニルアルコール(PVA)及びジアゾニウム
塩を含む混合物が用いられ、場合によっては、消泡剤や
界面活性剤を添加することもある。
The fluorescent screen 36 of the PDP as described above is
Generally, it is formed by applying a photosensitive slurry liquid containing a phosphor on the back surface of the front plate, exposing it using a photomask corresponding to the pattern of the phosphor screen, and then developing and baking it. As the photosensitive slurry, for example, a mixture containing a phosphor, polyvinyl alcohol (PVA) and a diazonium salt is used, and a defoaming agent or a surfactant may be added depending on the case.

【0004】ところで、上記した構成のPDPにおいて
は、蛍光面36から発光した光は蛍光面36自身を透過
して観察者に視認されるため、蛍光面36の透過時に光
量が減少してしまうことになる。このため、輝度を高く
する目的で、セル障壁33の壁面に蛍光面を形成し、壁
面から発光した光の反射光を直接視認しようとするPD
Pが提案されている。そして、このようなPDPを得る
ための方法として、例えば特開平1−313837号公
報に記載されるような蛍光面形成方法が知られている。
In the PDP having the above-mentioned structure, the light emitted from the fluorescent screen 36 passes through the fluorescent screen 36 itself and is visually recognized by an observer. become. For this reason, for the purpose of increasing the brightness, a PD in which a fluorescent surface is formed on the wall surface of the cell barrier 33 and the reflected light of the light emitted from the wall surface is directly viewed
P is proposed. As a method for obtaining such a PDP, for example, a phosphor screen forming method described in Japanese Patent Laid-Open No. 1-313837 is known.

【0005】この蛍光面形成方法の手順を図10〜図1
4に示している。この方法では、まず図10に示すよう
に、背面板41上の陰極42を跨ぐようにして形成され
たセル障壁43の内部に蛍光体スラリー液44を充填し
た後、図11に示す如く背面板41を垂直に立てかけ
る。この状態で図12の如く蛍光体スラリー液44中に
含有される蛍光体44aがセル障壁43の壁面に沈降す
るまで静置し、次いで乾燥させることにより、図13に
示すようにセル障壁43の壁面に蛍光体44aを付着さ
せる。そして、蛍光体スラリー液44としてネガ型感光
液を用いておくことにより、図14に示す如くマスク4
5を介してセル障壁43の壁面だけに紫外線46が当た
るように斜めに露光し、セル障壁43の壁面上の蛍光体
44aだけを硬化させることができ、その後、現像する
ことにより壁面に蛍光面を形成することができる。これ
を4回行ってマトリクス状に区切られたセル障壁43の
4面に蛍光面を形成する。そして、この操作を赤
(R)、緑(G)、青(B)について行い3原色の蛍光
面を形成するものである。
The procedure of this phosphor screen forming method is shown in FIGS.
4 shows. In this method, first, as shown in FIG. 10, a phosphor slurry liquid 44 is filled into the inside of a cell barrier 43 formed so as to straddle the cathode 42 on the back plate 41, and then the back plate as shown in FIG. Lean 41 vertically. In this state, as shown in FIG. 12, the phosphor 44a contained in the phosphor slurry liquid 44 is allowed to stand until it settles on the wall surface of the cell barrier 43, and then dried, so that the cell barrier 43 of the cell barrier 43 as shown in FIG. The phosphor 44a is attached to the wall surface. Then, by using a negative photosensitive liquid as the phosphor slurry liquid 44, the mask 4 is formed as shown in FIG.
It is possible to perform oblique exposure so that only the wall surface of the cell barrier 43 is exposed to the ultraviolet rays 46 through 5, and to cure only the phosphor 44a on the wall surface of the cell barrier 43, and then to develop the phosphor screen on the wall surface. Can be formed. This is repeated four times to form fluorescent screens on the four surfaces of the cell barriers 43 partitioned in a matrix. Then, this operation is performed for red (R), green (G), and blue (B) to form a phosphor screen of three primary colors.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
蛍光面形成方法では、合計12回に及ぶ蛍光体スラリー
液の充填と斜めからマスクを介しての選択的露光を必要
とすることから、工程が長く複雑であり、しかも蛍光体
の沈降に要する時間が長くかかるため、蛍光面の完成ま
でに膨大な時間を要するという問題点があった。また、
セル障壁の高さの不揃いが斜めからの露光過程で反映さ
れ、安定した蛍光面のパターニングが難しいという問題
点もあり、紫外線による硬化方法を採るために、蛍光体
の膜厚は20μm弱迄であって輝度効率の点で満足のい
くものが得られないという問題点もあった。さらに、障
壁形成工程と蛍光面形成工程が完全に分かれており、生
産性が悪く歩留りを低下させる原因となっていた。
However, the above-described phosphor screen forming method requires a total of 12 times of filling of the phosphor slurry liquid and selective exposure through the mask from an oblique direction. Since the phosphor is long and complicated, and it takes a long time to settle the phosphor, there is a problem that it takes a huge amount of time to complete the phosphor screen. Also,
The unevenness of the cell barrier height is reflected in the oblique exposure process, and there is also a problem that it is difficult to pattern the stable fluorescent surface. In order to adopt a curing method using ultraviolet rays, the thickness of the fluorescent material is less than 20 μm. There is also a problem that a satisfactory luminance efficiency cannot be obtained. Furthermore, the barrier forming step and the phosphor screen forming step are completely separated, which is a cause of poor productivity and reduced yield.

【0007】一方、蛍光面が形成されるセル障壁は、通
常、スクリーン印刷によって形成されている。この場
合、セラミック材料をバインダー中に分散させたペース
トを複数回のスクリーン印刷による重ね刷りをして所定
の厚さにする必要があるが、この方法では、例えば50
〜100μmの膜厚を得るために5〜10回の重ね刷り
を必要とし、そのたびごとに乾燥工程が入ることとな
る。そして、この障壁形成工程と上記蛍光面形成工程が
別の工程からなっているため、工程の複雑化が生じて生
産性が極めて悪くなるという問題点があった。
On the other hand, the cell barrier on which the fluorescent screen is formed is usually formed by screen printing. In this case, a paste in which a ceramic material is dispersed in a binder needs to be overprinted by screen printing a plurality of times to obtain a predetermined thickness.
Overprinting is required 5 to 10 times to obtain a film thickness of ˜100 μm, and a drying step is required each time. Since the barrier forming step and the phosphor screen forming step are separate steps, there is a problem in that the steps are complicated and the productivity is extremely deteriorated.

【0008】本発明は、このような問題点を解消するた
めになされたものであり、生産性を改善し歩留りを向上
でき、かつ、輝度効率の良好なプラズマディスプレイパ
ネルを提供し、合わせてその製造方法を提供することを
目的としている。
The present invention has been made to solve the above problems, and provides a plasma display panel which can improve productivity and yield, and has good luminance efficiency. It is intended to provide a manufacturing method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のPDPは、前面板と、複数の放電用空間
を構成するセル障壁を備えた背面板とを互いに平行に対
向するように配設してなるプラズマディスプレイパネル
において、セル障壁をガラスフリットを含有する蛍光体
ペーストで形成することによってセル障壁自体を蛍光面
とし、しかも各放電空間を独立したセル障壁により形成
したことを特徴としている。
To achieve the above object, in a PDP of the present invention, a front plate and a rear plate having cell barriers forming a plurality of discharge spaces are opposed to each other in parallel. In the plasma display panel arranged as described above, by forming the cell barrier with a phosphor paste containing glass frit, the cell barrier itself serves as a phosphor screen, and each discharge space is formed by an independent cell barrier. It has a feature.

【0010】そして、カラー表示用とする場合には、カ
ラー表示の1画素を構成する複数のセル障壁を、赤、
緑、青の蛍光体を用いてパターン形成するものである。
In the case of color display, a plurality of cell barriers constituting one pixel for color display are connected with red,
A pattern is formed using green and blue phosphors.

【0011】上記構成のPDPの製造方法は、セル障壁
の領域に対応する雌型を基板上に形成する工程と、その
雌型の空間内にガラスフリットを含有する蛍光体ペース
トを充填する工程と、前記雌型を消失せしめることによ
り蛍光体によるセル障壁を形成する工程とを備えること
を特徴としている。そして、この製造方法において、前
記雌型を形成する工程は、基板上にフォトレジスト層を
設ける工程と、このフォトレジスト層に対してパターン
露光及び現像を行う工程とで達成することができる。
In the method of manufacturing a PDP having the above-mentioned structure, a step of forming a female mold corresponding to a cell barrier region on a substrate, and a step of filling the space of the female mold with a phosphor paste containing glass frit. And a step of forming a cell barrier made of a phosphor by eliminating the female mold. Then, in this manufacturing method, the step of forming the female mold can be achieved by a step of providing a photoresist layer on the substrate and a step of performing pattern exposure and development on the photoresist layer.

【0012】また、上記構成のPDPの別の製造方法
は、セル障壁と放電用空間を包含した領域に対応する雌
型を基板上に形成する工程と、その雌型の空間内にガラ
スフリットを含有する蛍光体ペーストを充填する工程
と、放電用空間に対応する窓部が設けられたサンドブラ
スト用マスクを介してサンドブラスト処理を行うことに
より放電用空間を形成する工程と、前記雌型を消失せし
めることにより蛍光体によるセル障壁を形成する工程と
を備えることを特徴としている。そして、この製造方法
において、前記雌型を形成する工程は、基板上にフォト
レジスト層を設ける工程と、このフォトレジスト層に対
してパターン露光及び現像を行う工程とで達成すること
ができ、前記サンドブラスト用マスクを形成する工程
は、前記雌型上にフォトレジスト層を設ける工程と、こ
のフォトレジスト層に対してパターン露光及び現像を行
う工程とで達成することができる。
Another method of manufacturing the PDP having the above structure is to form a female mold corresponding to a region including a cell barrier and a discharge space on a substrate, and to form a glass frit in the female mold space. Filling the containing phosphor paste, forming a discharge space by sandblasting through a sandblasting mask provided with a window corresponding to the discharge space, and disappearing the female mold Accordingly, a step of forming a cell barrier by a phosphor is provided. Further, in this manufacturing method, the step of forming the female mold can be achieved by a step of providing a photoresist layer on the substrate and a step of performing pattern exposure and development on the photoresist layer, The step of forming a sandblasting mask can be achieved by a step of providing a photoresist layer on the female mold and a step of performing pattern exposure and development on the photoresist layer.

【0013】[0013]

【作用】上述の本発明のPDPによれば、セル障壁がガ
ラスフリットを含有する蛍光体ペーストにより形成され
るので、セル障壁の壁面がそのまま蛍光面となり、その
結果、輝度効率が著しく高められる。
According to the above-described PDP of the present invention, since the cell barrier is formed of the phosphor paste containing the glass frit, the wall surface of the cell barrier directly serves as the phosphor screen, and as a result, the luminance efficiency is remarkably enhanced.

【0014】また、本発明の製造方法においては、蛍光
体によるセル障壁の作成方法が、フォトリソグラフィー
法によるレジスト雌型を形成し、その空間に蛍光体ペー
ストを充填することで行われるので、高膜厚のセル障壁
が簡単な工程で形成され、生産性が著しく向上させられ
る。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the method of forming the cell barrier by the phosphor is performed by forming the resist female mold by the photolithography method and filling the space with the phosphor paste. The cell barrier of the film thickness is formed by a simple process, and the productivity is remarkably improved.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0016】[実施例1]図1は本発明の一実施例とし
てのPDPにおけるセル障壁の形成工程を示すものであ
る。
[Embodiment 1] FIG. 1 shows a process of forming a cell barrier in a PDP as an embodiment of the present invention.

【0017】まず、図1の(a)に示すように、背面板
となるガラス基板1上にスクリーン印刷によりピッチ5
00μm、ライン幅200μmのNi電極を印刷し、乾
燥及び焼成を行って陰極2を形成した。そして、当該ガ
ラス基板を洗浄した後、(b)に示すようにフォトレジ
スト層3を膜厚160μmで形成した。本実施例におい
ては、フォトレジスト層3を構成するフォトレジストと
して光硬化型ドライフィルム(サンノプコ社製、ノプコ
キュアーF−5040)を使用し、これを4層積層して
所定の膜厚とした。しかしながら、この選択は本発明を
限定するものではなく目的とするパターン寸法、パター
ン形成材料の種類、雌型としての適正に応じて適切なフ
ォトレジストを適宜選択すればよいものである。
First, as shown in FIG. 1A, pitches 5 are formed by screen printing on a glass substrate 1 to be a back plate.
A Ni electrode having a size of 00 μm and a line width of 200 μm was printed, dried and fired to form a cathode 2. Then, after cleaning the glass substrate, a photoresist layer 3 having a film thickness of 160 μm was formed as shown in (b). In this example, a photo-curable dry film (Nopco Cure F-5040 manufactured by San Nopco Ltd.) was used as the photoresist forming the photoresist layer 3, and four layers were laminated to a predetermined film thickness. However, this selection does not limit the present invention, and an appropriate photoresist may be appropriately selected depending on the desired pattern size, the type of pattern forming material, and the suitability as a female mold.

【0018】次いで、(c)に示すように、超高圧水銀
灯を光源とする平行光プリンターを用い、所望パターン
に応じたフォトマスク4を介して紫外線5によりパター
ン露光を行った。使用したフォトマスク4のパターンは
図2に示すもので、斜線を施したマスク部分4aがセル
障壁の形状に対応しており、白抜き部分4bが雌型の形
状に対応している。なお、マスク部分4aと白抜き部分
4bの幅はそれぞれ100μmであり、露光時において
フォトマスク4は点線で示す陰極2と図示のように整合
する状態で配設される。露光条件は、365nmで測定
した時に強度800μW/cm2 、照射量200mJ/
cm2 である。続く(d)に示す現像工程では、1,
1,1−トリクロロエタンにより液温25〜30℃でス
プレー現像を行った。以上の工程によりレジストによる
所望パターンの雌型3aが得られた。その後、乾燥工程
を経てから、雌型3a内への蛍光体ペースト6の充填を
行った。
Then, as shown in (c), a parallel light printer using an ultrahigh pressure mercury lamp as a light source was used to perform pattern exposure with ultraviolet rays 5 through a photomask 4 corresponding to a desired pattern. The pattern of the photomask 4 used is shown in FIG. 2, in which the shaded mask portion 4a corresponds to the shape of the cell barrier, and the white portion 4b corresponds to the female shape. The widths of the mask portion 4a and the white portion 4b are each 100 μm, and the photomask 4 is arranged in alignment with the cathode 2 shown by the dotted line as shown in the drawing at the time of exposure. The exposure conditions are an intensity of 800 μW / cm 2 and an irradiation amount of 200 mJ / when measured at 365 nm.
cm 2 . In the subsequent developing step shown in (d), 1,
Spray development was performed with 1,1-trichloroethane at a liquid temperature of 25 to 30 ° C. Through the above steps, the female mold 3a having a desired pattern was obtained with the resist. Then, after a drying step, the phosphor paste 6 was filled into the female mold 3a.

【0019】ここで、モノクロPDP作成の場合は、
(e)に示すように、スキージ7を用いて蛍光体ペース
ト6を充填することにより単色のセル障壁を形成するこ
とができるが、カラーPDPの場合には、R,G,B3
色の蛍光体を刷り分ける必要がある。例えば、図3に示
す如きパターニングを行う場合には、図4に示すように
スクリーン版8R,8G,8Bを用いてR,G,Bの刷
り分けを行う。すなわち、まず(a)に示す工程で、R
の蛍光体ペースト6Rを雌型3aの開口部パターンに対
応したスクリーン版8Rを用いてスキージ7により充填
する。次に乾燥工程を経て(b)に示すようにGの蛍光
体ペースト6G、同じく乾燥工程を経て(c)に示すよ
うにBの蛍光体ペースト6Bを充填乾燥し、R,G,B
の蛍光体ペーストのパターン形成を行った。
Here, in the case of creating a monochrome PDP,
As shown in (e), a squeegee 7 is used to fill the phosphor paste 6 to form a monochromatic cell barrier. In the case of a color PDP, R, G, B3 are used.
It is necessary to print different color phosphors. For example, when performing patterning as shown in FIG. 3, R, G, and B are separately printed using screen plates 8R, 8G, and 8B as shown in FIG. That is, first, in the step shown in (a), R
The phosphor paste 6R is filled with a squeegee 7 using a screen plate 8R corresponding to the opening pattern of the female mold 3a. Next, after a drying step, the G phosphor paste 6G as shown in (b) and the B phosphor paste 6B as shown in (c) are similarly filled and dried to show R, G, and B.
The phosphor paste pattern was formed.

【0020】なお、本発明において使用し得る蛍光体と
しては、赤色としてY2 3 :Eu,Y2 SiO5 :E
u,Y3 Al5 12:Eu,Zn3 (PO4 2 :M
n,YBO3 :Eu,(Y,Gd)BO3 :Eu,Gd
BO3 :Eu,ScBO3 :Eu,LuBO3 :Eu等
があり、青色としてY2 SiO5 :Ce,CaWO4
Pb,BaMgAl1423:Eu等があり、緑色として
Zn2 SiO4 :Mn,BaAl1219:Mn,SrA
1319:Mn,CaAl1219:Mn,YBO3 :T
b,BaMgAl1423:Mn,LuBO3 :Tb,G
dBO3 :Tb,ScBO3 :Tb,Sr6 Si3 3
Cl4 :Eu等がある。
The phosphors usable in the present invention include red Y 2 O 3 : Eu and Y 2 SiO 5 : E.
u, Y 3 Al 5 O 12 : Eu, Zn 3 (PO 4) 2: M
n, YBO 3 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, Gd
BO 3: Eu, ScBO 3: Eu, LuBO 3: There is Eu or the like, Y 2 SiO 5 as a blue: Ce, CaWO 4:
Pb, BaMgAl 14 O 23 : Eu and the like, and green as Zn 2 SiO 4 : Mn, BaAl 12 O 19 : Mn, SrA.
l 13 O 19: Mn, CaAl 12 O 19: Mn, YBO 3: T
b, BaMgAl 14 O 23 : Mn, LuBO 3 : Tb, G
dBO 3 : Tb, ScBO 3 : Tb, Sr 6 Si 3 O 3
Cl 4 : Eu, etc.

【0021】また、蛍光体ペーストに用いるバインダー
としては、エチルセルロース、ロジン等が使用でき、ま
た溶媒としては、ブチルカルビトールアセテート(BC
A)等が使用できる。そして、ペースト中の蛍光体量は
40〜80重量%であり、ガラスフリットは5〜15重
量%、残部はバインダーと溶媒である。ここで、バイン
ダーと溶媒の比率は2:8〜1:9(重量比)が望まし
い。
As the binder used in the phosphor paste, ethyl cellulose, rosin, etc. can be used, and as the solvent, butyl carbitol acetate (BC
A) etc. can be used. The amount of phosphor in the paste is 40 to 80% by weight, the glass frit is 5 to 15% by weight, and the balance is binder and solvent. Here, the ratio of the binder to the solvent is preferably 2: 8 to 1: 9 (weight ratio).

【0022】本実施例に用いた蛍光体ペーストは、蛍光
体としてZn2 SiO4 :Mn(緑色)を65重量%、
低融点タイプのガラスフリットを10重量%、エチルセ
ルロースとBCAを1:9(重量比)で混合した溶液を
25重量%の組成とし、青色及び赤色については、蛍光
体のみを青色はBaMgAl1423:Euに、赤色は
(Y,Gd)BO3 :Euにそれぞれ替えたペーストを
用いた。
The phosphor paste used in this example is 65% by weight of Zn 2 SiO 4 : Mn (green) as a phosphor.
A low melting point type glass frit is 10% by weight, and a solution of ethyl cellulose and BCA mixed at a ratio of 1: 9 (weight ratio) has a composition of 25% by weight. For blue and red, only the phosphor is blue and BaMgAl 14 O 23 : Eu, and red for (Y, Gd) BO 3 : Eu.

【0023】次に、モノクロPDP,カラーPDPの場
合も同様であるが、図1の(f)に示すように、ピーク
温度440℃、保持時間10〜20分の条件で焼成を行
い、蛍光体をガラス基板1上に密着させると同時に、雌
型3aとなっているレジストを焼失せしめて蛍光体によ
る所望パターンのセル障壁9を得た。このようにして得
られたセル障壁9のパターンを図5に示している。
Next, as in the case of a monochrome PDP and a color PDP, as shown in FIG. 1 (f), firing is performed under the conditions of a peak temperature of 440 ° C. and a holding time of 10 to 20 minutes to obtain a phosphor. At the same time as the glass substrate 1 was brought into close contact with the glass substrate 1, the resist forming the female mold 3a was burned off to obtain a cell barrier 9 having a desired pattern of the phosphor. The pattern of the cell barrier 9 thus obtained is shown in FIG.

【0024】[実施例2]図6は本発明の他の実施例と
してのPDPにおけるセル障壁の形成工程を示すもので
ある。
[Embodiment 2] FIG. 6 shows a step of forming a cell barrier in a PDP as another embodiment of the present invention.

【0025】まず、図6の(a)に示すように、背面板
となるガラス基板11上にスクリーン印刷によりピッチ
300μm、ライン幅100μmのNi電極を印刷し、
乾燥及び焼成を行って陰極12を形成し、次いで、実施
例1と同様の方法でフォトレジスト層13を膜厚160
μmで形成した後、フォトマスク14を介して紫外線1
5によりパターン露光を行ってから現像を行い、(b)
に示すようにフォトレジストによる所望パターンの雌型
13aを得た。露光時に使用したフォトマスク14のパ
ターンは図7に示すもので、斜線を施したマスク部分1
4aがセル障壁と放電用空間を包含した領域に対応して
おり、白抜き部分14bが雌型13aの形状に対応して
いる。なお、マスク部分14aの一辺は200μmで、
白抜き部分14bの幅は100μmであり、露光時にお
いてフォトマスク14は点線で示す陰極12と図示のよ
うに整合する状態で配設される。この実施例において
は、雌型13aのピッチが短いことと、雌型13a内に
充填する蛍光体ペーストの粘度等との関係から、実施例
1と同様に電極22上に雌型を形成すると蛍光体ペース
トが完全に充填できない。このため、図7に示すフォト
マスク14においては、電極12上に雌型が形成されな
いようなパターン形状としている。次に、(c)に示す
ように、蛍光体ペースト16を前述の図4に示す如きス
クリーン版を用いてR,G,Bのパターニングをした状
態で雌型13a内に充填した。使用する3色の蛍光体の
組成は実施例1と同様である。
First, as shown in FIG. 6A, a Ni electrode having a pitch of 300 μm and a line width of 100 μm is printed on the glass substrate 11 to be a back plate by screen printing.
The cathode 12 is formed by drying and baking, and then a photoresist layer 13 having a film thickness of 160 is formed in the same manner as in Example 1.
1 μm thick, and then UV light 1
5 pattern exposure and then development, (b)
As shown in (3), a female mold 13a having a desired pattern with a photoresist was obtained. The pattern of the photomask 14 used at the time of exposure is shown in FIG.
4a corresponds to the region including the cell barrier and the discharge space, and the white portion 14b corresponds to the shape of the female mold 13a. The side of the mask portion 14a is 200 μm,
The white portion 14b has a width of 100 μm, and the photomask 14 is arranged so as to be aligned with the cathode 12 shown by a dotted line as shown in the drawing at the time of exposure. In this embodiment, due to the relationship between the short pitch of the female mold 13a and the viscosity of the phosphor paste filled in the female mold 13a, when the female mold is formed on the electrode 22 as in the first embodiment, the Body paste cannot be filled completely. Therefore, the photomask 14 shown in FIG. 7 has a pattern shape such that the female mold is not formed on the electrode 12. Next, as shown in (c), the phosphor paste 16 was filled in the female mold 13a in a state where R, G, and B were patterned using the screen plate as shown in FIG. The composition of the three color phosphors used is the same as in Example 1.

【0026】蛍光体ペースト16を乾燥させた後、
(d)に示すように、その上部にサンドブラスト用マス
ク17を形成する。本実施例では、フォトレジストを用
いてサンドブラスト用マスク17を形成した。そして、
このフォトレジストとして、光硬化型ドライフィルム
(東京応化工業社製、OSBRフィルム)を用いた。し
かしながら、この選択は本発明を限定するものではな
く、目的とするパターン寸法、パターン形成材料の種
類、サンドブラスト処理のマスクとしての適正に応じて
適切なフォトレジストを適宜選択すればよいものであ
る。
After the phosphor paste 16 is dried,
As shown in (d), a sandblasting mask 17 is formed on the top thereof. In this embodiment, the mask 17 for sandblast is formed using photoresist. And
A photocurable dry film (OSBR film manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was used as the photoresist. However, this selection does not limit the present invention, and an appropriate photoresist may be appropriately selected depending on the desired pattern size, type of pattern forming material, and suitability as a mask for sandblasting.

【0027】本実施例におけるサンドブラスト用マスク
17の作成手順は次のようである。まず、蛍光体ペース
ト16を充填した後の基板11を50〜80℃に加熱
し、フォトレジストとしての前記ドライフィルムをラミ
ネートした後、図8に示すフォトマスク18を介して紫
外線によりパターン露光を行った。図8において斜線を
施した一辺100μmのマスク部分18aが放電空間に
対応しており、露光時においてはこのマスク部分18a
が点線で示す陰極12と整合するように且つ点線で格子
状に示す雌型13aの中央に位置するようにして重ねら
れる。露光条件は、365nmで測定した時に強度80
0μW/cm2 、照射量70mJ/cm2 である。続い
て、現像工程では、無水炭酸ナトリウム0.2wt/%
水溶液により液温30〜50℃でスプレー現像を行っ
た。以上の工程により(d)に示すサンドブラスト用マ
スク17が得られた。
The procedure for making the sandblasting mask 17 in this embodiment is as follows. First, the substrate 11 after being filled with the phosphor paste 16 is heated to 50 to 80 ° C., the dry film as a photoresist is laminated, and then pattern exposure is performed with ultraviolet rays through the photomask 18 shown in FIG. It was In FIG. 8, the shaded mask portion 18a having a side of 100 μm corresponds to the discharge space, and during exposure, this mask portion 18a is formed.
Are aligned so as to be aligned with the cathode 12 shown by the dotted line and are located in the center of the female mold 13a shown in the lattice form by the dotted line. The exposure condition is an intensity of 80 when measured at 365 nm.
The irradiation amount is 0 μW / cm 2 , and the irradiation dose is 70 mJ / cm 2 . Subsequently, in the developing step, anhydrous sodium carbonate 0.2 wt /%
Spray development was performed with an aqueous solution at a liquid temperature of 30 to 50 ° C. Through the above steps, the sandblasting mask 17 shown in (d) was obtained.

【0028】その後、乾燥工程を経て、(e)に示すよ
うに、サンドブラスト19により不要部分の除去処理を
行った。ここでは、研磨材としてガラスビーズ#600
を用いて噴出圧力1kg/cm2 でサンドブラスト処理
を行うことにより、(f)に示すように、陰極12の放
電空間を形成することができた。なお、この条件下で
は、陰極12は既に焼成されているため、表面にダメー
ジを受けることなく処理が行える。続く(g)の工程で
は、ピーク温度440℃、保持時間10〜20分の条件
で焼成を行い、蛍光体をガラス基板11上に結着させる
と同時に雌型13a及びサンドブラスト用マスク17を
焼失せしめ、所望パターンの蛍光体によるセル障壁20
が得られた。
Then, after a drying step, as shown in (e), an unnecessary portion is removed by sandblasting 19. Here, glass beads # 600 is used as an abrasive.
By carrying out sandblasting treatment with a jet pressure of 1 kg / cm 2 , a discharge space of the cathode 12 could be formed as shown in (f). Under this condition, since the cathode 12 has already been fired, the surface can be treated without damage. In the subsequent step (g), firing is performed under conditions of a peak temperature of 440 ° C. and a holding time of 10 to 20 minutes to bind the phosphor onto the glass substrate 11 and at the same time burn out the female mold 13a and the sandblasting mask 17. , A cell barrier 20 made of a phosphor having a desired pattern
was gotten.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次に記載する効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0030】本発明のプラズマディスプレイパネルは、
ガラスフリットを含有する蛍光体ペーストでセル障壁を
形成するようにしたので、セル障壁自体がプラズマ放電
による紫外線によってせる障壁自体が励起されて発光す
ることから、観察者は蛍光面の反射光を視認することに
なり、輝度効率の向上を図ることができる。そして、各
放電用空間は独立したセル障壁によりそれぞれ形成され
ているので、障壁を赤、緑、青の蛍光体により形成で
き、これによりカラーPDPを容易に作成することがで
きる。
The plasma display panel of the present invention is
Since the cell barrier is formed with a phosphor paste containing glass frit, the cell barrier itself is excited by the ultraviolet rays generated by plasma discharge, and the barrier itself is excited to emit light. Therefore, the luminance efficiency can be improved. Since each discharge space is formed by an independent cell barrier, the barrier can be formed of red, green, and blue phosphors, and thus a color PDP can be easily manufactured.

【0031】本発明のプラズマディスプレイパネルの製
造方法によれば、簡単な工程により高さ100μm以上
の厚膜パターンが得られるため、これまでのスクリーン
印刷法による厚膜パターン積層法に比べ、処理時間が短
縮されるとともに、フォトリソグラフィー法を採用して
いるため、パターンの寸法精度、整合性の向上を図るこ
とができる。また、セル障壁と蛍光面の形成工程が一度
に行えるため、工程が大幅に短縮され、生産性の向上を
図ることができる。
According to the method for manufacturing a plasma display panel of the present invention, a thick film pattern having a height of 100 μm or more can be obtained by a simple process. Since the photolithography method is adopted, the dimensional accuracy and consistency of the pattern can be improved. Moreover, since the process of forming the cell barrier and the phosphor screen can be performed at the same time, the process can be significantly shortened and the productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例としてのプラズマディスプレ
イパネルにおけるセル障壁を形成する工程図である。
FIG. 1 is a process diagram of forming a cell barrier in a plasma display panel as an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す工程においてフォトレジストによる
雌型形成に使用するフォトマスクのパターンを示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing a pattern of a photomask used for forming a female mold with a photoresist in the step shown in FIG.

【図3】赤、緑、青の蛍光体のパターン例を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing an example of patterns of red, green, and blue phosphors.

【図4】スクリーン版を用いて蛍光体ペーストを刷り分
ける方法を説明する工程図である。
FIG. 4 is a process diagram illustrating a method of printing a phosphor paste by using a screen plate.

【図5】セル障壁の一部を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a part of a cell barrier.

【図6】本発明の別の実施例としてのプラズマディスプ
レイパネルにおけるセル障壁を形成する工程図である。
FIG. 6 is a process drawing of forming a cell barrier in a plasma display panel as another embodiment of the present invention.

【図7】図6に示す工程においてフォトレジストによる
雌型形成に使用するフォトマスクのパターンを示す図で
ある。
7 is a diagram showing a pattern of a photomask used for forming a female mold with a photoresist in the step shown in FIG.

【図8】図6に示す工程においてフォトレジストによる
サンドブラスト用マスク形成に使用するフォトマスクの
パターンを示す図である。
8 is a diagram showing a pattern of a photomask used for forming a mask for sandblasting with a photoresist in the step shown in FIG.

【図9】従来のプラズマディスプレイパネルの一構成例
を示す一部断面図である。
FIG. 9 is a partial cross-sectional view showing a configuration example of a conventional plasma display panel.

【図10】従来の蛍光面形成方法による第1段階の工程
を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a first step of a conventional phosphor screen forming method.

【図11】図10に続く工程を示す説明図である。11 is an explanatory diagram showing a step that follows FIG. 10. FIG.

【図12】図11に続く工程を示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram showing a step that follows FIG. 11.

【図13】図12に続く工程を示す説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram showing a step that follows the step of FIG.

【図14】図13に続く工程を示す説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram showing a step that follows FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 3 フォトレジスト層 3a 雌型 6 蛍光体ペースト 9 セル障壁 11 基板 13 フォトレジスト層 13a 雌型 16 蛍光体ペースト 17 サンドブラスト用マスク 19 サンドブラスト 20 セル障壁 1 Substrate 3 Photoresist Layer 3a Female 6 Phosphor Paste 9 Cell Barrier 11 Substrate 13 Photoresist Layer 13a Female 16 Phosphor Paste 17 Sandblast Mask 19 Sandblast 20 Cell Barrier

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 前面板と、複数の放電用空間を構成する
セル障壁を備えた背面板とを互いに平行に対向するよう
に配設してなるプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記セル障壁がガラスフリットを含有する蛍光体ペース
トで形成されているとともに、各放電用空間は独立した
セル障壁によりそれぞれ形成されていることを特徴とす
るプラズマディスプレイパネル。
1. A plasma display panel in which a front plate and a rear plate having cell barriers forming a plurality of discharge spaces are arranged so as to face each other in parallel.
The plasma display panel, wherein the cell barrier is formed of a phosphor paste containing glass frit, and each discharge space is formed by an independent cell barrier.
【請求項2】 カラー表示の1画素を構成する複数のセ
ル障壁が、赤、緑、青の蛍光体を用いてパターン形成さ
れていることを特徴とする請求項1記載のプラズマディ
スプレイパネル。
2. The plasma display panel according to claim 1, wherein a plurality of cell barriers constituting one pixel for color display are patterned using phosphors of red, green and blue.
【請求項3】 請求項1又は2記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法であって、セル障壁の領域に対応
する雌型を基板上に形成する工程と、その雌型の空間内
にガラスフリットを含有する蛍光体ペーストを充填する
工程と、前記雌型を消失せしめることにより蛍光体によ
るセル障壁を形成する工程とを備えることを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの製造方法。
3. A method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein a step of forming a female mold corresponding to the region of the cell barrier on the substrate, and a glass frit in the space of the female mold. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising: a step of filling a phosphor paste contained therein; and a step of forming a cell barrier of the phosphor by eliminating the female mold.
【請求項4】 前記雌型を形成する工程が、基板上にフ
ォトレジスト層を設ける工程と、このフォトレジスト層
に対してパターン露光及び現像を行う工程とからなるこ
とを特徴とする請求項3記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。
4. The step of forming the female mold comprises the steps of providing a photoresist layer on a substrate and performing pattern exposure and development on the photoresist layer. A method for manufacturing the plasma display panel described.
【請求項5】 請求項1又は2記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法であって、セル障壁と放電用空間
を包含した領域に対応する雌型を基板上に形成する工程
と、その雌型の空間内にガラスフリットを含有する蛍光
体ペーストを充填する工程と、放電用空間に対応する窓
部が設けられたサンドブラスト用マスクを介してサンド
ブラスト処理を行うことにより放電用空間を形成する工
程と、前記雌型を消失せしめることにより蛍光体による
セル障壁を形成する工程とを備えることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。
5. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein a step of forming a female mold on a substrate corresponding to a region including a cell barrier and a discharge space, and the female mold of the female mold. A step of filling a phosphor paste containing a glass frit in the space, a step of forming a discharge space by performing a sandblasting process through a sandblasting mask provided with a window corresponding to the discharge space, And a step of forming a cell barrier made of a phosphor by eliminating the female mold.
【請求項6】 前記雌型を形成する工程が、基板上にフ
ォトレジスト層を設ける工程と、このフォトレジスト層
に対してパターン露光及び現像を行う工程とからなるこ
とを特徴とする請求項5記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。
6. The step of forming the female mold comprises the steps of providing a photoresist layer on a substrate and performing pattern exposure and development on the photoresist layer. A method for manufacturing the plasma display panel described.
【請求項7】 前記サンドブラスト用マスクを形成する
工程が、前記雌型上にフォトレジスト層を設ける工程
と、このフォトレジスト層に対してパターン露光及び現
像を行う工程とからなることを特徴とする請求項5又は
6記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
7. The step of forming the sandblasting mask comprises a step of providing a photoresist layer on the female mold, and a step of performing pattern exposure and development on the photoresist layer. A method for manufacturing a plasma display panel according to claim 5.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100490966B1 (en) * 2001-09-10 2005-05-24 파이오니아 플라즈마 디스플레이 가부시키가이샤 Plasma display panel and method of fabrication thereof
US7767753B2 (en) 2004-06-21 2010-08-03 Sekisui Chemical Co., Ltd. Binder resin composition, paste and green sheet

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