JPH06249915A - Contact and positioning apparatus of qfp-type ic with ic socket - Google Patents

Contact and positioning apparatus of qfp-type ic with ic socket

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JPH06249915A
JPH06249915A JP6277593A JP6277593A JPH06249915A JP H06249915 A JPH06249915 A JP H06249915A JP 6277593 A JP6277593 A JP 6277593A JP 6277593 A JP6277593 A JP 6277593A JP H06249915 A JPH06249915 A JP H06249915A
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qfp
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行康 高野
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田中  透
Hidefumi Toda
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Abstract

PURPOSE:To provide an apparatus wherein a QFP-type IC is conveyed to, positioned precisely with, and brought into contact with an IC socket. CONSTITUTION:A state that a hand 2 has sucked a QFP-type IC and that the IC has been brought normally into contact with an IC socket 3 is confirmed by a monitor camera 4. A reference subject 6 is imaged by an image processing camera 5A, and it is stored in a memory 7A as first positional data. The QFP- type IC 1 is imaged by an image processing camera 5B, and it is stored in a memory 7B as second positional data. The QFP-type IC 1 is moved onto the image processing camera 5B, third positional data which has been imaged by the image processing camera 5B is compared with the second positional data in the memory 7B, first correctional data is computed, the QFP-type IC 1 is moved onto the IC socket 3, fourth positional data which has been imaged by the image processing camera 5A is compared with the first positional data in the memory 7A, second correctional data is computed, the first correctional data and the second correctional data are compared, and the hand 2 is corrected to a normal position.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、QFP型ICを搬送
してICソケットに接触させる場合の位置決め装置につ
いてのものである。この発明の接触・位置決め装置が組
み入れられる機械には、例えば、オートハンドラがあ
り、ICソケットはICテスタに接続され、ICが電気
試験される。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning device for carrying a QFP type IC and bringing it into contact with an IC socket. A machine in which the contact / positioning device of the present invention is incorporated has, for example, an auto handler, an IC socket is connected to an IC tester, and the IC is electrically tested.

【0002】[0002]

【従来の技術】次に、従来技術による接触・位置決め装
置の構成を図8により説明する。図8の1はQFP型I
C、3はICソケット、5Aと5B画像処理用カメラ、
9AはXステージ、9EはYステージ、10は位置決め
台、12はハンドである。
2. Description of the Related Art Next, the structure of a contact / positioning device according to the prior art will be described with reference to FIG. 1 in FIG. 8 is a QFP type I
C and 3 are IC sockets, 5A and 5B image processing cameras,
9A is an X stage, 9E is a Y stage, 10 is a positioning table, and 12 is a hand.

【0003】図8では、Xステージ9A上にYステージ
9Eが搭載され、Yステージ9Eにはモータ2Aとシリ
ンダ10Bと画像処理用カメラ5Aが配置される。テー
ブル21には、ICソケット3と画像処理用カメラ5B
と位置決め台10が配置される。
In FIG. 8, a Y stage 9E is mounted on an X stage 9A, and a motor 2A, a cylinder 10B and an image processing camera 5A are arranged on the Y stage 9E. The table 21 has an IC socket 3 and an image processing camera 5B.
The positioning table 10 is arranged.

【0004】画像処理用カメラ5Aは画像処理部17の
メモリ17Aに接続し、画像処理用カメラ5Bは画像処
理部17の比較演算部17Bに接続する。画像処理部1
7は装置動作制御部8に接続し、機構動作制御部8はモ
ータ2Aとモータ9Cとモータ9Dに接続する。
The image processing camera 5A is connected to the memory 17A of the image processing unit 17, and the image processing camera 5B is connected to the comparison calculation unit 17B of the image processing unit 17. Image processing unit 1
7 is connected to the device operation control unit 8, and the mechanism operation control unit 8 is connected to the motors 2A, 9C and 9D.

【0005】図9は図8の平面図である。図9では、X
ステージ9Aはボールねじ9Fに接続される。ボールね
じ9Fと連結するモータ9Cが回転すると、Xステージ
9Aはリニアガイド9Gに案内され、X軸方向に移動す
る。
FIG. 9 is a plan view of FIG. In FIG. 9, X
The stage 9A is connected to the ball screw 9F. When the motor 9C coupled to the ball screw 9F rotates, the X stage 9A is guided by the linear guide 9G and moves in the X axis direction.

【0006】Yステージ9EはXステージ9A上に配置
され、Yステージ9Aはボールねじ9Hに接続される。
ボールねじ9Hと連結するモータ9Dが回転すると、Y
ステージ9Dはリニアガイド9Jに案内され、Y軸方向
に移動する。
The Y stage 9E is arranged on the X stage 9A, and the Y stage 9A is connected to the ball screw 9H.
When the motor 9D connected to the ball screw 9H rotates, Y
The stage 9D is guided by the linear guide 9J and moves in the Y-axis direction.

【0007】図10は図8の要部断面拡大図である。図
10では、モータ2Aにはハンド12が取り付けられ、
ハンド12の先端に吸着パッド2Bをもち、吸着パッド
2BはQFP型IC1を吸着または脱着する。モータ2
Aは、例えばパルスモータであり、XY平面上でハンド
12を微小角度θ分回転させる。シリンダ11は例えば
エアシリンダであり、シリンダ11のピストンロッドは
ハンド12と連結してハンド12を上下動させる。ま
た、テーブル21に保持されたICソケット3はICテ
スタ30に接続され、ICテスタ30はICソケット3
に接触するQFP型IC1を電気試験する。
FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. In FIG. 10, the hand 12 is attached to the motor 2A,
The hand 12 has a suction pad 2B at its tip, and the suction pad 2B adsorbs or desorbs the QFP type IC1. Motor 2
A is a pulse motor, for example, and rotates the hand 12 by a minute angle θ on the XY plane. The cylinder 11 is, for example, an air cylinder, and the piston rod of the cylinder 11 is connected to the hand 12 to move the hand 12 up and down. Further, the IC socket 3 held on the table 21 is connected to the IC tester 30, and the IC tester 30 uses the IC socket 3
The QFP type IC1 that comes into contact with is electrically tested.

【0008】次に、図8の作用を説明する。図8の位置
決め台10は、図示されないハンドによって搬送された
QFP型IC1をICソケット3に接触させるのに先立
ち、位置決めするためのものである。位置決め台10は
QFP型IC1の外形に合わせ、外形よりわずかに大き
な凹部が形成され、QFP型IC1が入り易い構造にな
っている。なお、位置決め台10と同様なものが実願平
4-66261号の明細書に記載されている。
Next, the operation of FIG. 8 will be described. The positioning table 10 shown in FIG. 8 is for positioning the QFP type IC 1 carried by a hand (not shown) before bringing it into contact with the IC socket 3. The positioning table 10 has a structure in which a concave portion slightly larger than the outer shape is formed in conformity with the outer shape of the QFP type IC 1, so that the QFP type IC 1 can be easily inserted. It should be noted that an application similar to the positioning table 10
It is described in the specification of 4-66261.

【0009】画像処理用カメラ5Aはテーブル21に取
り付けられたICソケット3を上から画像認識するため
のものであり、画像処理用カメラ5Bは図10のように
ハンド12に吸着されたQFP型IC1を下から画像認
識するためのものである。
The image processing camera 5A is for recognizing the image of the IC socket 3 attached to the table 21 from above, and the image processing camera 5B is the QFP type IC 1 attached to the hand 12 as shown in FIG. Is for recognizing the image from below.

【0010】図11は図8のICソケット3の拡大平面
図である。ICソケット3は図11に示されるように、
対角線上に円筒形のマーク3Aが圧入されている。マー
ク3Aは接触子3Bとの位置関係を画像処理用カメラ5
Aで認識するためのものであり、マーク3Aの地色は、
ICソケット3の地色と画像処理用カメラ5Aで識別で
きる程度に変えてある。画像処理用カメラ5Aでマーク
3Aを認識し、画像処理データからICソケット3の重
心Gを算出することができる。なお、図11の接触子3
Bは図10のICテスタ30と接続されている。
FIG. 11 is an enlarged plan view of the IC socket 3 of FIG. The IC socket 3 is, as shown in FIG.
A cylindrical mark 3A is press-fitted on a diagonal line. The mark 3A indicates the positional relationship with the contactor 3B by the image processing camera 5
It is for recognition by A, and the ground color of mark 3A is
The ground color of the IC socket 3 and the image processing camera 5A are changed so that they can be distinguished from each other. The mark 3A can be recognized by the image processing camera 5A, and the center of gravity G of the IC socket 3 can be calculated from the image processing data. The contact 3 of FIG.
B is connected to the IC tester 30 of FIG.

【0011】次に、図8の動作を図12のフローチャー
トにより説明する。ステップ301では、画像処理用カ
メラ5AがICソケット3上に移動し、ステップ302
では画像処理用カメラ5AでICソケット3のマーク3
Aを認識し、ICソケット3の重心Gを算出する。
Next, the operation of FIG. 8 will be described with reference to the flowchart of FIG. In step 301, the image processing camera 5A moves onto the IC socket 3, and step 302
Then, mark 3 of IC socket 3 with image processing camera 5A
A is recognized, and the center of gravity G of the IC socket 3 is calculated.

【0012】ステップ303ではハンド12を位置決め
台10上に移動させ、ステップ304ではハンド12が
降下し、位置決め台10に置かれたQFP型IC1を吸
着する。ステップ305では、ハンド12はQFP型I
C1を吸着した状態で、画像処理用カメラ5B上に移動
する。
At step 303, the hand 12 is moved onto the positioning table 10, and at step 304, the hand 12 descends to adsorb the QFP IC 1 placed on the positioning table 10. In step 305, the hand 12 is the QFP type I.
In the state where C1 is adsorbed, it moves onto the image processing camera 5B.

【0013】ステップ306では、画像処理用カメラ5
BはQFP型IC1を撮像し、QFP型IC1の重心G
と、モータ2Aの回転角度θを算出する。ステップ30
7では、ステップ302で得られたICソケット3の重
心Gと、ステップ307で得られたQFP型IC1の重
心Gが一致するようXステージ9A、Yステージ9Eを
移動させ、更に、ICソケット3とQFP型IC1の回
転角度が一致するまで、ハンド12を回転する。
In step 306, the image processing camera 5
B images the QFP type IC1, and the center of gravity G of the QFP type IC1
Then, the rotation angle θ of the motor 2A is calculated. Step 30
In step 7, the X stage 9A and the Y stage 9E are moved so that the center of gravity G of the IC socket 3 obtained in step 302 and the center of gravity G of the QFP type IC 1 obtained in step 307 coincide with each other. The hand 12 is rotated until the rotation angles of the QFP type IC 1 match.

【0014】ステップ308では、シリンダ11でハン
ド12を降下し、QFP型IC1をICソケット3に接
触させ、一連の動作を終了する。
In step 308, the hand 12 is lowered by the cylinder 11, the QFP type IC 1 is brought into contact with the IC socket 3, and a series of operations is completed.

【0015】次に、図8の制御系を説明する。図8で
は、画像処理用カメラ5Aで撮像した映像データ5Cは
画像処理部17に送出され、ICソケット3の位置デー
タを算出し、前記位置データをメモリ17Aに書き込
む。画像処理用カメラ5Bで撮像した映像データ5Dは
比較演算部17Bに送出され、QFP型IC1の位置デ
ータを算出する。比較演算部17Bはメモリ17Aから
ICソケット3の位置データを読み込み、QFP型IC
1の位置データと比較演算し、補正データを機構動作制
御部8に送出する。
Next, the control system of FIG. 8 will be described. In FIG. 8, the video data 5C captured by the image processing camera 5A is sent to the image processing unit 17, the position data of the IC socket 3 is calculated, and the position data is written in the memory 17A. The video data 5D picked up by the image processing camera 5B is sent to the comparison calculation unit 17B, and the position data of the QFP type IC 1 is calculated. The comparison calculation unit 17B reads the position data of the IC socket 3 from the memory 17A, and the QFP type IC
The position data of No. 1 is compared and calculated, and the correction data is sent to the mechanism operation control unit 8.

【0016】駆動制御部8は前記補正データから、モー
タ2A・9C・9Dの回転数を指令する。モータ2A・
9C・9Dに例えば、パルスモータを使用した場合は補
正に必要な駆動パルス数をモータ2A・9C・9Dに与
え、ハンド12のXY座標および回転角度θを決定す
る。
The drive control unit 8 commands the number of rotations of the motors 2A, 9C, 9D from the correction data. Motor 2A
For example, when a pulse motor is used for 9C and 9D, the number of drive pulses required for correction is given to the motors 2A, 9C, and 9D to determine the XY coordinates and the rotation angle θ of the hand 12.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】QFP型ICは多ピン
化、狭ピッチ化の傾向が強くなっている。したがってQ
FP型ICとICソケットの位置合わせする場合に、よ
り精密な位置合わせが求められる。図8の位置合せ装置
では、図11に示されるようにマーク3AをICソケッ
ト3に打ち込むのでマーク3Aの打ち込み精度によって
マーク3Aと接触子3Bの距離Lがばらつくという問題
がある。また、図8では画像処理用カメラ5BでQFP
型IC1の位置補正量を求めた後、ICソケット3上に
QFP型IC1を移動しているので、ハンドをXY方向
に精密に送る必要がある。
The QFP type IC has a strong tendency to have a large number of pins and a narrow pitch. Therefore Q
When aligning the FP type IC with the IC socket, more precise alignment is required. In the alignment device of FIG. 8, since the mark 3A is driven into the IC socket 3 as shown in FIG. 11, there is a problem that the distance L between the mark 3A and the contact 3B varies depending on the precision of driving the mark 3A. Further, in FIG. 8, the QFP is used by the image processing camera 5B.
Since the QFP type IC1 is moved onto the IC socket 3 after the position correction amount of the type IC1 is obtained, it is necessary to precisely feed the hand in the XY directions.

【0018】この発明は、ハンドでQFP型ICを吸着
してICソケットに正常に接触した状態をモニタカメラ
で確認し、前記の状態で基準被写体を第1の画像処理用
カメラで撮像して第1のメモリに第1の位置データとし
て記憶し、前記の状態でQFP型ICを第2の画像処理
用カメラで撮像して第2のメモリに第2の位置データと
して記憶し、QFP型ICを第2の画像処理用カメラ上
に移動し、第2の画像処理用カメラで撮像した第3の位
置データを第2のメモリの第2の位置データと比較して
第1の補正データを算出し、QFP型ICをICソケッ
ト上に移動し、第1の画像処理用カメラで撮像した第4
の位置データを第1のメモリの第1の位置データと比較
して、第2の補正データを算出し、第1の補正データと
第2の補正データを合成し、ハンドが正常位置でICソ
ケットに接触するようハンドを微小回転またはX方向お
よびY方向に位置補正するQFP型ICのICソケット
への接触・位置決め装置の提供を目的とする。
According to the present invention, the state in which the QFP type IC is adsorbed by the hand and normally contacted with the IC socket is confirmed by the monitor camera, and the reference object is imaged by the first image processing camera in the above state. The first position data is stored in the first memory, the QFP IC is imaged by the second image processing camera in the above state, and the second position data is stored in the second memory. Moving to the second image processing camera, the third position data captured by the second image processing camera is compared with the second position data in the second memory to calculate the first correction data. , QFP type IC was moved to the IC socket, and the fourth image was taken by the first image processing camera.
Position data of the first memory is compared with the first position data of the first memory to calculate the second correction data, and the first correction data and the second correction data are combined so that the hand is in the normal position and the IC socket is in the normal position. It is an object of the present invention to provide a contact / positioning device for an IC socket of a QFP type IC that slightly rotates a hand or corrects a position in the X direction and the Y direction so that the hand comes into contact with the IC socket.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、位置決め台10に置かれたQFP型
IC1をハンド2で吸着し、ICソケット3上に搬送
し、QFP型IC1をICソケット3に接触させ、QF
P型IC1を電気試験する接触・位置決め装置におい
て、QFP型IC1のリードとICソケット3の接触子
との接触状態を確認するモニタカメラ4と、ハンド2と
ともに移動する画像処理用カメラ5Aと、画像処理用カ
メラ5Aで撮像される基準被写体6と、位置決め台10
とICソケット3の間に配置され、ハンド2に吸着され
たQFP型IC1の保持位置を撮像する画像処理用カメ
ラ5Bと、画像処理用カメラ5Aと接続し、QFP型I
C1がICソケット3に正常に接触する状態で基準被写
体6の位置を記憶するメモリ7Aと、画像処理用カメラ
5Bと接続し、QFP型IC1がICソケット3に正常
に接触する状態でハンド2に吸着されたQFP型IC1
の正常の保持状態を記憶するメモリ7Aとを備え、ハン
ド2が画像処理用カメラ5B上に移動すると、比較演算
部7Cは、画像処理用カメラ5Bで撮像するQFP型I
C1の保持状態の情報が入力され、前記保持状態の情報
はメモリ7Bの正常状態と比較され、第1の補正データ
を算出し、ハンド2がICソケット3上に移動すると、
比較演算部7Cは、画像処理用カメラ5Aで撮像するの
基準被写体6の情報が入力され、前記基準被写体6の情
報はメモリ7Aの保持位置と比較され、第2の補正デー
タを算出し、比較演算部7Cは前記第1の補正データと
前記第2の補正データを合成して、ハンド2を微小回転
またはX方向およびY方向に位置補正する。
In order to achieve this object, according to the present invention, the QFP type IC1 placed on the positioning table 10 is adsorbed by the hand 2 and conveyed to the IC socket 3 to transfer the QFP type IC1 to the IC. QF in contact with socket 3
In the contact / positioning device for electrically testing the P-type IC1, a monitor camera 4 for checking the contact state between the lead of the QFP-type IC1 and the contactor of the IC socket 3, an image processing camera 5A moving with the hand 2, and an image. The reference object 6 imaged by the processing camera 5A and the positioning table 10
The image processing camera 5B, which is arranged between the IC socket 3 and the IC socket 3, and which picks up the holding position of the QFP type IC 1 adsorbed to the hand 2, is connected to the image processing camera 5A, and the QFP type I
The memory 7A for storing the position of the reference subject 6 in a state where the C1 normally contacts the IC socket 3 and the image processing camera 5B are connected to the hand 2 while the QFP type IC1 normally contacts the IC socket 3. Adsorbed QFP type IC1
When the hand 2 moves onto the image processing camera 5B, the comparison operation unit 7C causes the image processing camera 5B to capture an image by the QFP type I.
When the information on the holding state of C1 is input, the information on the holding state is compared with the normal state of the memory 7B, the first correction data is calculated, and when the hand 2 moves onto the IC socket 3,
Information of the reference subject 6 to be imaged by the image processing camera 5A is input to the comparison calculation unit 7C, the information of the reference subject 6 is compared with the holding position of the memory 7A, and the second correction data is calculated and compared. The arithmetic unit 7C synthesizes the first correction data and the second correction data to finely rotate the hand 2 or correct the position of the hand 2 in the X and Y directions.

【0020】[0020]

【作用】次に、この発明による接触・位置決め装置の構
成を図1により説明する。図1の2はハンド、4はモニ
タカメラ、6は基準被写体、7は画像処理部、9BはY
ステージであり、その他は図8と同じものである。図1
では、画像処理用カメラ5Aは画像処理部7のメモリ7
Aに接続し、画像処理部7の比較演算部7Cに接続す
る。画像処理用カメラ5Bは画像処理部7のメモリ7B
と画像処理部7の比較演算部7Cに接続する。
Next, the structure of the contact / positioning device according to the present invention will be described with reference to FIG. 1, 2 is a hand, 4 is a monitor camera, 6 is a reference subject, 7 is an image processing unit, and 9B is Y.
The stage is the same as the stage shown in FIG. Figure 1
Then, the image processing camera 5A is the memory 7 of the image processing unit 7.
It is connected to A and to the comparison operation unit 7C of the image processing unit 7. The image processing camera 5B is a memory 7B of the image processing unit 7.
And the comparison calculation unit 7C of the image processing unit 7.

【0021】図2は図1の平面図であり、従来技術の図
9に対応する図である。図2ではテーブル20上に基準
被写体6が取り付けられ、基準被写体6はICソケット
3の近傍に配置される。基準被写体6には図11のマー
ク3Aと同様の識別用マーク6Cが配置される。また、
モニタカメラ4はICソケット3の近傍に配置され、Q
FP型IC1のリードとICソケット3の接触子3Bと
の接触状態を確認する。
FIG. 2 is a plan view of FIG. 1 and corresponds to FIG. 9 of the prior art. In FIG. 2, the reference subject 6 is mounted on the table 20, and the reference subject 6 is arranged near the IC socket 3. On the reference subject 6, an identification mark 6C similar to the mark 3A of FIG. 11 is arranged. Also,
The monitor camera 4 is arranged near the IC socket 3 and
The contact state between the lead of the FP type IC 1 and the contactor 3B of the IC socket 3 is confirmed.

【0022】図3は図1の要部断面拡大図であり、従来
技術の図10に対応する図である。図10では図の左方
から、ハンド2、画像処理用カメラ5AがYステージ9
Eに配置されていたのに対し、図3では図の左方から、
画像処理用カメラ5A、ハンド2がYステージ9Bに配
置されている。
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of an essential part of FIG. 1 and is a view corresponding to FIG. 10 of the prior art. In FIG. 10, the hand 2 and the image processing camera 5A are arranged on the Y stage 9 from the left side of the drawing.
Although it was placed at E, in FIG. 3, from the left side of the figure,
The image processing camera 5A and the hand 2 are arranged on the Y stage 9B.

【0023】次に、ハンド2の作用を図4により説明す
る。図4は、ハンド2がQFP型IC1を吸着している
状態を画像処理用カメラ5Bが撮像した図である。図4
の2Cはハンド2の下面に表示される認識用マークであ
る。図4の映像が画像処理用カメラ5Bより入力される
と、画像処理部7ではハンド2上の2個のマーク2Cの
位置を認識する。次に、2個のマーク2Cの中点P0 を
算出し、ハンド2の中心とする。ハンド2の中点P0 と
QFP型IC1の中心P1 の距離mを求め、距離mをQ
FP型IC1をICソケット3に接触させるときの補正
量とする。
Next, the operation of the hand 2 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a diagram in which the image processing camera 5B captures an image of the state in which the hand 2 adsorbs the QFP type IC 1. Figure 4
2C is a recognition mark displayed on the lower surface of the hand 2. When the image of FIG. 4 is input from the image processing camera 5B, the image processing unit 7 recognizes the positions of the two marks 2C on the hand 2. Next, the midpoint P0 of the two marks 2C is calculated and used as the center of the hand 2. Find the distance m between the midpoint P0 of the hand 2 and the center P1 of the QFP type IC1, and set the distance m to Q.
It is the correction amount when the FP type IC 1 is brought into contact with the IC socket 3.

【0024】次に、この発明による動作を図5と図6の
フローチャートより説明する。図5はこの発明による装
置の初期設定のフローチャートであり、図6はこの発明
による装置が稼動しているときのフローチャートであ
る。
Next, the operation according to the present invention will be described with reference to the flow charts of FIGS. FIG. 5 is a flowchart of initial setting of the device according to the present invention, and FIG. 6 is a flowchart when the device according to the present invention is in operation.

【0025】図5のステップ101では、位置決め台1
0に置かれたQFP型IC1をハンド2で吸着し、ステ
ップ102では、QFP型IC1を保持した状態でハン
ド2ICソケット3上に移動する。ステップ103で
は、シリンダ11を駆動し、ハンド2を下降させる。
In step 101 of FIG. 5, the positioning table 1
The QFP type IC 1 placed at 0 is attracted by the hand 2, and in step 102, the QFP type IC 1 is moved to the hand 2 IC socket 3 while holding the QFP type IC 1. In step 103, the cylinder 11 is driven and the hand 2 is lowered.

【0026】ステップ104では、モニタカメラ4でQ
FP型IC1のリードとICソケット3の接触子3Bの
接触状態を確認する。ステップ105で、QFP型IC
1のリードと接触子3Bが正常状態で位置合わせされて
いない場合は、ステップ106に進む。ステップ106
ではハンド2を上昇させ、ステップ107ではハンド2
を微小回転またはX方向あるいはY方向に移動し、ステ
ップ103の前段に戻る。
In step 104, the monitor camera 4 sets Q
The contact state between the lead of the FP type IC 1 and the contactor 3B of the IC socket 3 is confirmed. In step 105, the QFP type IC
If the lead 1 and the contactor 3B are not aligned in the normal state, the process proceeds to step 106. Step 106
Then raises hand 2 and in step 107 hand 2
Is slightly rotated or moved in the X direction or the Y direction, and returns to the previous stage of step 103.

【0027】ステップ105では、QFP型IC1のリ
ードと接触子3Bが正常状態で位置合わせされた場合
は、ステップ108に進む。ステップ108ではリード
と接触子3Bの位置があった状態で、画像処理用カメラ
5Aが基準被写体6を撮像し、基準被写体6のマーク6
Cの映像位置をメモリ7Aに記憶する。
In step 105, if the lead of the QFP type IC 1 and the contactor 3B are aligned in a normal state, the process proceeds to step 108. In step 108, the image processing camera 5A images the reference subject 6 with the lead and the contactor 3B positioned, and the mark 6 of the reference subject 6 is detected.
The image position of C is stored in the memory 7A.

【0028】ステップ109では、ハンド2を上昇さ
せ、ステップ110では、QFP型IC1を画像処理用
カメラ5B上に移動する。ステップ111では、画像処
理用カメラ5Bでハンド2の中心に対するQFP型IC
1の中心の相対位置を算出し、メモリ7Bに記憶し、初
期設定を終了する。
At step 109, the hand 2 is raised, and at step 110, the QFP type IC 1 is moved onto the image processing camera 5B. In step 111, the QFP type IC for the center of the hand 2 by the image processing camera 5B.
The relative position of the center of 1 is calculated and stored in the memory 7B, and the initial setting is completed.

【0029】次に、稼動しているときの手順を図6のフ
ローチャートにより説明する。図6のステップ201で
は、位置決め台10に置かれたQFP型IC1をハンド
2で吸着する。ステップ202では、ハンド2は画像処
理用カメラ5B上に移動する。ステップ203では、画
像処理用カメラ5BでQFP型IC1を撮像し、保持状
態の情報を比較演算部7Cに入力する。ステップ204
では、比較演算部7Cはメモリ7Bから正常位置の情報
を読み込み、保持状態の情報と比較し、ハンド2の第1
の補正データを算出する。
Next, the procedure during operation will be described with reference to the flowchart of FIG. In step 201 of FIG. 6, the QFP IC 1 placed on the positioning table 10 is sucked by the hand 2. In step 202, the hand 2 moves onto the image processing camera 5B. In step 203, the QFP IC 1 is imaged by the image processing camera 5B, and information on the holding state is input to the comparison calculation unit 7C. Step 204
Then, the comparison calculation unit 7C reads the information of the normal position from the memory 7B, compares it with the information of the holding state,
The correction data of is calculated.

【0030】ステップ205では、ハンド2はICソケ
ット3上に移動する。ステップ206では、画像処理用
カメラ5Aは基準被写体6を撮像し、撮像情報を比較演
算部7Cに入力する。ステップ207では、比較演算部
7Cはメモリ7Aから正常位置の情報を読み込み、撮像
情報と比較し、ハンド2の第2の補正データを算出す
る。ステップ208では、比較演算部7Cは第1の補正
データと第2の補正データを合成し、合成の補正データ
を機構動作制御部8に送出する。
In step 205, the hand 2 moves onto the IC socket 3. In step 206, the image processing camera 5A images the reference subject 6 and inputs the image pickup information to the comparison calculation unit 7C. In step 207, the comparison calculation unit 7C reads the information of the normal position from the memory 7A, compares the information with the imaging information, and calculates the second correction data of the hand 2. In step 208, the comparison operation unit 7C combines the first correction data and the second correction data, and sends the combined correction data to the mechanism operation control unit 8.

【0031】ステップ209では、機構動作制御部8は
モータ2A・9C・9Dの回転数を指令し、ハンド2を
回転あるいは移動する。ステップ210では、ハンド2
を降下し、QFP型IC1をICソケット3に接触さ
せ、一連の動作を終了する。
In step 209, the mechanism operation control section 8 commands the number of rotations of the motors 2A, 9C and 9D to rotate or move the hand 2. In step 210, hand 2
Down to bring the QFP type IC 1 into contact with the IC socket 3 to end a series of operations.

【0032】[0032]

【実施例】図7は、Xステージ9A・Yステージ9Bの
実施例による外観図である。モータ2A・9C・9Dに
は高分解能のパルスモータが使用され、リニアガイド9
G・9Jには、あり溝型のリニアガイドが使用される。
また、シリンダ11はエアシリンダである。
EXAMPLE FIG. 7 is an external view of an example of the X stage 9A and the Y stage 9B. A high resolution pulse motor is used for the motors 2A, 9C and 9D, and the linear guide 9
A dovetail groove type linear guide is used for G-9J.
The cylinder 11 is an air cylinder.

【0033】[0033]

【発明の効果】この発明は、ハンドでQFP型ICを吸
着してICソケットに正常に接触した状態をモニタカメ
ラで確認し、前記の状態で基準被写体を第1の画像処理
用カメラで撮像して第1のメモリに第1の位置データと
して記憶し、前記の状態でQFP型ICを第2の画像処
理用カメラで撮像して第2のメモリに第2の位置データ
として記憶し、QFP型ICを第2の画像処理用カメラ
上に移動し、第2の画像処理用カメラで撮像した第3の
位置データを第2のメモリの第2の位置データと比較し
て第1の補正データを算出し、QFP型ICをICソケ
ット上に移動し、第1の画像処理用カメラで撮像した第
4の位置データを第1のメモリの第1の位置データと比
較して、第2の補正データを算出し、第1の補正データ
と第2の補正データを合成し、ハンドが正常位置でIC
ソケットに接触するようハンドを微小回転またはX方向
およびY方向に位置補正するので、ICソケットに取り
付けられた識別マークでハンドを位置補正するより補正
精度が高い。また、Xステージ、Yステージの補正精度
が向上する。
According to the present invention, the state in which the QFP IC is adsorbed by the hand and normally contacted with the IC socket is confirmed by the monitor camera, and the reference subject is imaged by the first image processing camera in the above state. Stored in the first memory as the first position data, the QFP IC in the above state is imaged by the second image processing camera, and stored in the second memory as the second position data. The IC is moved onto the second image processing camera, and the third position data captured by the second image processing camera is compared with the second position data in the second memory to obtain the first correction data. The second correction data is calculated by moving the QFP IC to the IC socket and comparing the fourth position data captured by the first image processing camera with the first position data in the first memory. To calculate the first correction data and the second correction data. To synthesize, IC hand is in the normal position
Since the hand is finely rotated or the position is corrected in the X direction and the Y direction so as to come into contact with the socket, the correction accuracy is higher than the position correction of the hand with the identification mark attached to the IC socket. Further, the correction accuracy of the X stage and the Y stage is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明による接触・位置決め装置の構成図で
ある。
FIG. 1 is a configuration diagram of a contact / positioning device according to the present invention.

【図2】図1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG.

【図3】図1の要部断面拡大図である。3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.

【図4】ハンド2の作用を説明した図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an operation of the hand 2.

【図5】この発明による装置の初期設定のフローチャー
トである。
FIG. 5 is a flow chart of the initialization of the device according to the invention.

【図6】この発明による装置が稼動しているときのフロ
ーチャートである。
FIG. 6 is a flow chart when the device according to the present invention is in operation.

【図7】Xステージ9A・Yステージ9Bの実施例によ
る外観図である。
FIG. 7 is an external view of an X stage 9A / Y stage 9B according to an embodiment.

【図8】従来技術による接触・位置決め装置の構成図で
ある。
FIG. 8 is a configuration diagram of a contact / positioning device according to a conventional technique.

【図9】図8の平面図である。9 is a plan view of FIG. 8. FIG.

【図10】図8の要部断面拡大図である。10 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.

【図11】図8のICソケット3の拡大平面図である。11 is an enlarged plan view of the IC socket 3 of FIG.

【図12】図8の動作を説明するフローチャートであ
る。
FIG. 12 is a flowchart illustrating the operation of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 QFP型IC 2 ハンド 2C マーク 3 ICソケット 4 モニタカメラ 5A 画像処理用カメラ 5B 画像処理用カメラ 6 基準被写体 7A メモリ 7B メモリ 7C 比較演算部 10 位置決め台 1 QFP type IC 2 hand 2C mark 3 IC socket 4 monitor camera 5A image processing camera 5B image processing camera 6 reference subject 7A memory 7B memory 7C comparison operation unit 10 positioning base

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 位置決め台(10)に置かれたQFP型IC
(1) をハンド(2) で吸着し、ICソケット(3) 上に搬送
し、QFP型IC(1) をICソケット(3) に接触させ、
QFP型IC(1) を電気試験する接触・位置決め装置に
おいて、 QFP型IC(1) のリードとICソケット(3) の接触子
との接触状態を確認するモニタカメラ(4) と、 ハンド(2) とともに移動する第1の画像処理用カメラ(5
A)と、 第1の画像処理用カメラ(5A)で撮像される基準被写体
(6) と、 位置決め台(10)とICソケット(3) の間に配置され、ハ
ンド(2) に吸着されたQFP型IC(1) の保持位置を撮
像する第2の画像処理用カメラ(5B)と、 第1の画像処理用カメラ(5A)と接続し、QFP型IC
(1) がICソケット(3)に正常に接触する状態で基準被
写体(6) の位置を記憶する第1のメモリ(7A)と、 第2の画像処理用カメラ(5B)と接続し、QFP型IC
(1) がICソケット(3)に正常に接触する状態でハンド
(2) に吸着されたQFP型IC(1) の正常の保持状態を
記憶する第2のメモリ(7B)とを備え、 ハンド(2) が第2の画像処理用カメラ(5B)上に移動する
と、比較演算部(7C)は、第2の画像処理用カメラ(5B)で
撮像するQFP型IC(1) の保持状態の情報が入力さ
れ、前記保持状態の情報は第2のメモリ(7B)の正常状態
と比較され、第1の補正データを算出し、 ハンド(2) がICソケット(3) 上に移動すると、比較演
算部(7C)は、第1の画像処理用カメラ(5A)で撮像するの
基準被写体(6) の情報が入力され、前記基準被写体(6)
の情報は第1のメモリ(7A)の保持位置と比較され、第2
の補正データを算出し、 比較演算部(7C)は前記第1の補正データと前記第2の補
正データを合成して、ハンド(2) を微小回転またはX方
向およびY方向に位置補正することを特徴とするQFP
型ICのICソケットへの接触・位置決め装置。
1. A QFP type IC placed on a positioning table (10)
Adsorb (1) with the hand (2), convey it onto the IC socket (3), bring the QFP type IC (1) into contact with the IC socket (3),
In the contact / positioning device for electrically testing the QFP type IC (1), the monitor camera (4) for checking the contact state between the lead of the QFP type IC (1) and the contact of the IC socket (3), and the hand (2 ) With the first image processing camera (5
A) and a reference subject imaged by the first image processing camera (5A)
A second image processing camera (6), which is arranged between the positioning table (10) and the IC socket (3), and which captures an image of the holding position of the QFP type IC (1) sucked by the hand (2) ( 5B) and the first image processing camera (5A) are connected, and a QFP type IC
Connect the first memory (7A) that stores the position of the reference subject (6) to the second image processing camera (5B) while (1) normally contacts the IC socket (3), and connect the QFP Type IC
Hold hand (1) in normal contact with IC socket (3).
It is equipped with a second memory (7B) that stores the normal holding state of the QFP type IC (1) adsorbed on (2), and the hand (2) moves onto the second image processing camera (5B). Then, the comparison calculation unit (7C) receives the information on the holding state of the QFP type IC (1) imaged by the second image processing camera (5B), and the holding state information is stored in the second memory (7B). ), The first correction data is calculated, and when the hand (2) moves onto the IC socket (3), the comparison operation unit (7C) causes the first image processing camera (5A) to move. The information of the reference subject (6) in
Information is compared with the holding position of the first memory (7A) and the second
Comparing the first correction data and the second correction data, the comparison calculation unit (7C) combines the first correction data and the second correction data to finely rotate the hand (2) or correct the position in the X and Y directions. Characterized by QFP
Contact / positioning device for IC socket of type IC.
【請求項2】 ハンド(2) は下面に対角線上に対向する
識別用マーク(2C)をもち、識別用マーク(2C)を第2の画
像処理用カメラ(5B)で撮像してハンド(2) の中心を求め
ることを特徴とする請求項1記載のQFP型ICのIC
ソケットへの接触・位置決め装置。
2. The hand (2) has an identification mark (2C) diagonally opposed to the bottom surface thereof, and the identification mark (2C) is imaged by a second image processing camera (5B) to obtain the hand (2C). 3. The IC of the QFP type IC according to claim 1, wherein the center of
Contact / positioning device for sockets.
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