JPH06243520A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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Publication number
JPH06243520A
JPH06243520A JP3076693A JP3076693A JPH06243520A JP H06243520 A JPH06243520 A JP H06243520A JP 3076693 A JP3076693 A JP 3076693A JP 3076693 A JP3076693 A JP 3076693A JP H06243520 A JPH06243520 A JP H06243520A
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JP
Japan
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magneto
layer
optical recording
substrate
recording medium
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Application number
JP3076693A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshimi Shimamori
巧美 島守
Yoko Ikeda
陽子 池田
Yoshinori Seki
義則 関
Takeshi Kuriwada
健 栗和田
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Mitsubishi Kasei Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
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Abstract

PURPOSE:To provide a magneto-optical recording medium adaptable to high density recording and having high C/N and high reliability. CONSTITUTION:At least a dielectric layer, a magneto-optical recording layer, an Ag-based reflecting layer and a protective layer of a UV-curing resin contg. a triazinethiol compd. are successively formed on a substrate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は熱磁気記録と磁気光学効
果を用いて光により情報の記録・再生を行う記録媒体、
光磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording medium for recording / reproducing information by light using thermo-magnetic recording and magneto-optical effect.
The present invention relates to a magneto-optical recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報量の飛躍的な増大に伴い、情
報記録媒体に対する記録密度向上の要求が高まってい
る。光ディスクは記録密度が高い上に、ランダムアクセ
ス性、可搬性に優れている。特に光磁気ディスクは繰り
返し記録が可能で、信頼性にも優れるため、コンピュー
タ用外部記憶装置、録音装置の記録媒体として既に商品
化されている。
2. Description of the Related Art In recent years, along with a dramatic increase in the amount of information, there is an increasing demand for improving the recording density of information recording media. The optical disc has a high recording density and is excellent in random accessibility and portability. In particular, a magneto-optical disk can be repeatedly recorded and has excellent reliability, so that it has already been commercialized as a recording medium for external storage devices for computers and recording devices.

【0003】現在商品化されている光磁気ディスクの記
録密度は直径5.25インチのディスク片面当り300
メガバイト(MByte)程度である。これを1ギガバ
イト(GByte)程度まで高めるために、トラックピ
ッチを短くすること、記録ビットの間隔を縮めること、
記録信号の変調方式を変更すること等が提案されてい
る。
The recording density of the magneto-optical disk currently commercialized is 300 per one side of a disk having a diameter of 5.25 inches.
It is about megabyte (MByte). In order to increase this to about 1 gigabyte (GByte), the track pitch is shortened, the recording bit interval is shortened,
It has been proposed to change the modulation method of the recording signal.

【0004】ところが、現行媒体と同じ記録媒体を用い
て、実際にビット間隔を縮めて記録したところ、再生信
号品質を表すキャリア対ノイズ比(以後C/Nと略記)
が低下してしまうことが判明した。C/Nが低いと言う
ことは信号再生の際の誤り率が高くなることを意味する
ため、記録ビット間隔を縮めて記録密度を高めるために
は現行媒体よりもC/Nを向上させる必要がある。
However, when the same recording medium as the current medium is used and the bit interval is actually shortened and recorded, the carrier-to-noise ratio (hereinafter abbreviated as C / N) indicating the reproduced signal quality.
Was found to decrease. Since the C / N being low means that the error rate at the time of signal reproduction becomes high, it is necessary to improve the C / N as compared with the existing medium in order to shorten the recording bit interval and increase the recording density. is there.

【0005】光磁気ディスクのC/Nを支配するのは反
射率と磁気カー回転角であり、より具体的には反射率の
平方根と磁気カー回転角との積という形で表される。こ
れを性能指数と呼ぶこととする。従って、記録ビット間
隔を縮めて記録密度を高めるためには光磁気記録媒体の
反射率、あるいは磁気カー回転角を増大させることが必
要不可欠である。
The C / N of the magneto-optical disk is governed by the reflectance and the magnetic Kerr rotation angle, and more specifically, it is represented by the product of the square root of the reflectance and the magnetic Kerr rotation angle. This is called a figure of merit. Therefore, in order to reduce the recording bit interval and increase the recording density, it is essential to increase the reflectance of the magneto-optical recording medium or the magnetic Kerr rotation angle.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】光磁気ディスクは一般
的には、透明基板上に、光磁気記録層、光干渉層、光反
射層、保護層等、複数の層を設けることにより構成され
る。C/Nを支配する性能係数はこれらの全ての層を総
合して考慮しなければならない。本発明は全ての層を構
成する材料、層厚、及び層構成を最適化することによ
り、優れた性能指数を示し、且つ信頼性の高い光磁気記
録媒体を提供することを目的とする。
A magneto-optical disk is generally constructed by providing a plurality of layers such as a magneto-optical recording layer, a light interference layer, a light reflecting layer and a protective layer on a transparent substrate. . The figure of merit governing C / N must be considered collectively for all these layers. An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium exhibiting an excellent figure of merit and having high reliability by optimizing the materials constituting all layers, the layer thickness, and the layer constitution.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に少な
くとも、誘電体層、光磁気記録層、Agを主成分とする
反射層、トリアジンチオール系化合物を含有する紫外線
硬化樹脂からなる保護層を順次有することを特徴とする
光磁気記録媒体である。以下に本発明を詳細に説明す
る。
The present invention provides a protective layer comprising at least a dielectric layer, a magneto-optical recording layer, a reflective layer containing Ag as a main component, and a UV-curable resin containing a triazine thiol compound on a substrate. It is a magneto-optical recording medium characterized by sequentially having. The present invention will be described in detail below.

【0008】本発明にて用いられる光磁気記録媒体の基
板としては、ガラス、ポリカーボネート等のプラスチッ
ク、あるいはガラス上に光ヘッド案内用の溝付き樹脂を
形成した基板などが挙げられる。基板の厚みは1〜2m
m程度が一般的である。誘電体層は光を干渉させる層で
あり、基板と光磁気記録層との間に設けられ、基板と光
磁気記録層との間で光を多重反射させ、見かけ上の磁気
カー回転角を増大させる役割、干渉効果を担う。
Examples of the substrate for the magneto-optical recording medium used in the present invention include glass, plastic such as polycarbonate, or a substrate having a grooved resin for guiding an optical head formed on glass. The thickness of the substrate is 1-2 m
m is common. The dielectric layer is a layer that interferes with light, is provided between the substrate and the magneto-optical recording layer, multiple-reflects light between the substrate and the magneto-optical recording layer, and increases the apparent magnetic Kerr rotation angle. Plays a role of causing an interference effect.

【0009】また、誘電体層は基板と光磁気記録層との
密着性を高める役割、光磁気記録層と基板を断熱する役
割、プラスチック基板を通して侵入してくる水分から光
磁気記録層を保護する役割等を併せ持つ。誘電体層は更
に光磁気記録層と反射層の間にも設けることができる。
これにより更に光の干渉効果を高め、磁気カー回転角を
増大させることが可能である。光磁気記録層と反射膜と
の間に設けられる誘電体層は光を干渉させる役割の他
に、光磁気記録層と反射層を断熱する役割等を担う。
Further, the dielectric layer serves to enhance the adhesion between the substrate and the magneto-optical recording layer, to insulate the magneto-optical recording layer and the substrate, and to protect the magneto-optical recording layer from moisture penetrating through the plastic substrate. Also has roles. The dielectric layer can be further provided between the magneto-optical recording layer and the reflective layer.
This makes it possible to further enhance the light interference effect and increase the magnetic Kerr rotation angle. The dielectric layer provided between the magneto-optical recording layer and the reflecting film plays a role of insulating light between the magneto-optical recording layer and the reflecting layer in addition to the role of interfering light.

【0010】誘電体層として用いられる材料としては窒
化シリコン、酸化タンタル、酸化シリコン、酸化アルミ
ニウム、酸化チタン、硫化亜鉛等やこれらの混合物から
なるアモルファス薄膜が一般的である。誘電体層の厚さ
は通常500〜1000Å程度とされる。光磁気記録層
はレーザ光を集光させて加熱し、熱磁気記録を行う層で
ある。記録が行われるためには、磁化が膜面に対して垂
直に向かなければならないので、光磁気記録層としては
垂直磁気異方性の大きいことが望ましい。
As a material used for the dielectric layer, an amorphous thin film made of silicon nitride, tantalum oxide, silicon oxide, aluminum oxide, titanium oxide, zinc sulfide or the like or a mixture thereof is generally used. The thickness of the dielectric layer is usually about 500 to 1000Å. The magneto-optical recording layer is a layer for condensing and heating laser light to perform thermomagnetic recording. Since the magnetization must be perpendicular to the film surface for recording, it is desirable that the magneto-optical recording layer has a large perpendicular magnetic anisotropy.

【0011】光磁気記録層としてはTbFeCoをはじ
めとする希土類−遷移金属アモルファス合金が一般的で
あり、光磁気記録層の膜厚は10nm〜40nm程度が
好ましい。反射層は光磁気記録層を透過した光を反射し
て再び光磁気記録層に戻す役割を担う。これにより光の
利用効率を高めると共に、反射率と磁気カー回転角が増
大し、性能係数が増大する。
As the magneto-optical recording layer, a rare earth-transition metal amorphous alloy such as TbFeCo is generally used, and the magneto-optical recording layer preferably has a film thickness of about 10 nm to 40 nm. The reflective layer plays a role of reflecting the light transmitted through the magneto-optical recording layer and returning it to the magneto-optical recording layer again. As a result, the efficiency of light utilization is increased, the reflectance and the magnetic Kerr rotation angle are increased, and the coefficient of performance is increased.

【0012】また、反射膜は光磁気記録媒としての熱伝
導率に影響を与える。現在商品化されている光磁気ディ
スクの反射層としてはアルミニウムあるいはアルミニウ
ム合金が使用されているのに対し、本発明ではAgを主
体とする反射層が使用されるのが特徴的である。従来の
アルミニウム、アルミニウム合金の代わりにAgを主体
とする反射層を用いることにより良好な性能係数を得る
ことが可能になった。Ag単体では硫化ガスにより腐食
されやすいため、腐食防止効果を持つ元素、例えば、A
u、Pt、Pd等をAgに添加して反射層としてもよ
い。
The reflective film also affects the thermal conductivity of the magneto-optical recording medium. While aluminum or aluminum alloy is used as the reflective layer of the magneto-optical disk currently commercialized, the present invention is characterized in that a reflective layer mainly containing Ag is used. By using a reflective layer mainly containing Ag instead of conventional aluminum or aluminum alloy, a good performance coefficient can be obtained. Since a simple substance of Ag is easily corroded by sulfide gas, an element having a corrosion prevention effect, for example, A
u, Pt, Pd, etc. may be added to Ag to form a reflective layer.

【0013】添加される元素の添加量としては通常0.
5〜15原子%程度とされる。Ag以外に、Auあるい
はAu合金、CuあるいはCu合金を反射層として使用
することによっても良好な性能係数を得ることが可能で
ある。しかしながら、AuやAu合金は高価なために媒
体のコストの上で問題があり、CuやCu合金は非常に
腐食され易いために信頼性の点で問題がある。
The added amount of the added element is usually 0.
It is set to about 5 to 15 atom%. It is possible to obtain a good performance coefficient by using Au or Au alloy, Cu or Cu alloy other than Ag as the reflective layer. However, since Au and Au alloys are expensive, there is a problem in terms of the cost of the medium, and Cu and Cu alloys are very susceptible to corrosion, so there is a problem in terms of reliability.

【0014】AgやAg合金は従来の反射層の材料であ
るAlやAl合金あるいはAu等に比べると比較的腐食
され易いため、保護層としてはAg合金等の腐食を抑制
する効果を持たなければならない。トリアジンチオール
系化合物を含有する紫外線硬化剤をAgを主体とする反
射層の外側にコートし、紫外線照射により効果さて保護
層とすることにより、反射層の腐食が著しく抑えられ、
記録媒体としての信頼性が高まる。
Since Ag and Ag alloy are relatively corroded as compared with Al, Al alloy, Au, etc., which are conventional materials for the reflective layer, the protective layer must have the effect of suppressing the corrosion of Ag alloy, etc. I won't. By coating an ultraviolet curing agent containing a triazine thiol-based compound on the outside of the reflective layer mainly composed of Ag, and by effectively irradiating ultraviolet rays to form a protective layer, corrosion of the reflective layer is significantly suppressed,
The reliability as a recording medium is enhanced.

【0015】トリアジンチオール化合物としては、下記
の一般式[1]で示される化合物が好適に挙げられる。
Preferred examples of the triazine thiol compound include compounds represented by the following general formula [1].

【0016】[0016]

【化1】 [Chemical 1]

【0017】一般式[1]中の−Rは、−SR1、−N
23 を表し、R1、R2、R3は水素原子または炭化
水素基であるが、炭化水素基としては、アルキル基、ア
ルケニル基、アリール基が好ましく挙げられる。紫外線
硬化樹脂としてはアクリル系紫外線効果樹脂を用いるの
が好適であり、トリアジンチオール系化合物を0.00
1〜0.05重量%、好ましくは0.01〜0.03重
量%の割合で溶かし込み、反射層上にスピンコート法等
によって塗布される。保護層の厚みは任意に設定できる
が2〜20μm程度とするのが好ましい。
-R in the general formula [1] is -SR 1 , -N.
It represents R 2 R 3, but R 1, R 2, R 3 is a hydrogen atom or a hydrocarbon group, the hydrocarbon group, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group are preferably exemplified. As the UV curable resin, it is preferable to use an acrylic UV effect resin, and the triazine thiol compound is used as 0.00
It is melted in a proportion of 1 to 0.05% by weight, preferably 0.01 to 0.03% by weight, and applied on the reflective layer by spin coating or the like. The thickness of the protective layer can be set arbitrarily, but is preferably about 2 to 20 μm.

【0018】[0018]

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限
り、以下の実施例に限定されるものではない。 実施例1 基板としては厚さ1.2mmのガラス基板を用いた。基
板上に誘電体層として、酸化タンタル薄膜を反応性スパ
ッタリング法により形成した。その後、その表面を高周
波プラズマで5分間エッチングし、表面を平滑化した。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples unless it exceeds the gist. Example 1 A 1.2 mm thick glass substrate was used as the substrate. A tantalum oxide thin film was formed as a dielectric layer on the substrate by the reactive sputtering method. After that, the surface was etched with high frequency plasma for 5 minutes to smooth the surface.

【0019】エッチング後の酸化タンタル層の厚みが約
65nmとなるように初期の膜厚を設定した。次にこの
酸化タンタル層の上にTb20Fe72Co8 (原子%)ア
モルファス合金、厚さ約20nmを直流マグネトロンス
パッタリング法により形成し、光磁気記録層とした。そ
の上にAgを約50nmの厚さに直流マグネトロンスパ
ッタリング法により形成し、反射層とした。
The initial film thickness was set so that the thickness of the tantalum oxide layer after etching was about 65 nm. Next, a Tb 20 Fe 72 Co 8 (atomic%) amorphous alloy with a thickness of about 20 nm was formed on this tantalum oxide layer by a DC magnetron sputtering method to form a magneto-optical recording layer. Ag was formed thereon to a thickness of about 50 nm by a DC magnetron sputtering method to form a reflective layer.

【0020】反射層の上に、下記構造式[2]で示され
るトリアジンチオール系化合物の対溶媒0.02重量%
の割合で紫外線硬化剤SD−318(大日本インキ化学
社製)に溶解したものをスピン塗布し、紫外線を照射し
て硬化させ厚さ約3μの保護層とした。
On the reflective layer, 0.02% by weight of the triazine thiol compound represented by the following structural formula [2] against the solvent.
What was melt | dissolved in the ultraviolet curing agent SD-318 (made by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) in the ratio of this was spin-coated, and it ultraviolet-irradiated and hardened, and it was set as the protective layer of about 3 micrometers in thickness.

【0021】[0021]

【化2】 [Chemical 2]

【0022】以上のようにして作製された光磁気記録媒
体について800nmの波長での光磁気記録再生特性を
調べた。記録特性、及び再生特性は磁気カーヒステリシ
ス曲線と反射率を測定することにより確認した。即ち、
ヒステリシス曲線の角型比が1で、保磁力が大きけれ
ば、良好な記録特性を示すことが分かり、反射率の平方
根と磁気カー回転角との積が使用する波長で大きければ
良好な再生特性を示すことが分かる。
The magneto-optical recording / reproducing characteristics at a wavelength of 800 nm were examined for the magneto-optical recording medium manufactured as described above. The recording characteristic and the reproducing characteristic were confirmed by measuring the magnetic Kerr hysteresis curve and the reflectance. That is,
It can be seen that if the squareness ratio of the hysteresis curve is 1 and the coercive force is large, good recording characteristics are exhibited, and if the product of the square root of reflectance and the magnetic Kerr rotation angle is large at the wavelength used, good reproduction characteristics are obtained. You can see that.

【0023】反射率の測定は、ディスクの鏡面部分で基
板を通して行った。まず入射角2度として分光光度計で
アルミニウム膜に対する相対反射率を測定し、予め測定
したアルミニウム膜の絶対反射率を用いて校正した。実
際のドライブでは、基板表面で反射した光は信号に寄与
しないので、ガラス基板の光学定数から基板表面で反射
する光を計算し、測定値から差し引いて反射率とした。
磁気カーヒステリシス曲線の測定は偏光面変調法によ
り、反射率の場合と同様、ディスクの鏡面部分で基板を
通して行った。
The reflectance was measured through the substrate at the mirror surface portion of the disk. First, the relative reflectance with respect to the aluminum film was measured with a spectrophotometer at an incident angle of 2 degrees, and the absolute reflectance of the aluminum film measured in advance was used for calibration. In an actual drive, the light reflected on the substrate surface does not contribute to the signal. Therefore, the light reflected on the substrate surface was calculated from the optical constants of the glass substrate, and the reflectance was subtracted from the measured value.
The measurement of the magnetic Kerr hysteresis curve was carried out by the polarization plane modulation method through the substrate at the mirror surface portion of the disk as in the case of the reflectance.

【0024】磁気カー回転角の決定は、ヒステリシス曲
線とグラントムソンプリズム検光子を単位角度回転させ
た場合の出力変化とを比較して行った。ただし、この場
合も基板表面で反射した偏光面の回転のない光を含んで
いるため、見かけ上実際よりも小さな回転角が得られ
る。そこで、得られた回転角に基板表面での反射光を考
慮して補正を加えることにより、実際の磁気カー回転角
を決定した。
The magnetic Kerr rotation angle was determined by comparing the hysteresis curve with the output change when the Glan-Thompson prism analyzer was rotated by a unit angle. However, in this case as well, since the light reflected by the surface of the substrate and having no rotation of the plane of polarization is included, a rotation angle smaller than the actual rotation angle can be obtained. Therefore, the actual rotation angle of the magnetic Kerr is determined by correcting the obtained rotation angle in consideration of the light reflected on the substrate surface.

【0025】ヒステリシス曲線の形状より角型比が1で
保磁力は800kA/m程度であることが分かった。こ
れは現在商品化されている光磁気ディスクと同等のレベ
ルであり、何等差がみられなかったから、良好な記録特
性を示していると言える。また、反射率は20.4%、
磁気カー回転角は1.30度であり、反射率の平方根と
磁気カー回転角の積で与えられる性能係数としては5.
9という値が得られた。
From the shape of the hysteresis curve, it was found that the squareness ratio was 1 and the coercive force was about 800 kA / m. This is at a level equivalent to that of magneto-optical disks currently commercialized, and no difference was observed, so it can be said that the recording characteristics are good. Also, the reflectance is 20.4%,
The magnetic Kerr rotation angle is 1.30 degrees, and the performance coefficient given by the product of the square root of reflectance and the magnetic Kerr rotation angle is 5.
A value of 9 was obtained.

【0026】ちなみに現在商品化されているAl合金の
反射層を有する光磁気ディスクの800nmでの性能を
測定したところ、反射率:23.1%、磁気カー回転
角:1.00、性能係数:4.8程度であった。現在商
品化されている光磁気ディスクよりもはるかに優れた再
生特性を示していると言える。信頼性を調べるために、
上記媒体を85℃、85%RHの条件で高温高湿劣化加
速試験を500時間行い、腐食が発生しているかどうか
を観察した。加速試験による腐食の発生は見られず、反
射率にも有意の差は見られなかったことから、信頼性に
優れると言える。
By the way, when the performance at 800 nm of a magneto-optical disk having a reflective layer of an Al alloy currently commercialized was measured, the reflectance was 23.1%, the magnetic Kerr rotation angle was 1.00, and the coefficient of performance was: It was about 4.8. It can be said that it has much better reproduction characteristics than the magneto-optical disks currently commercialized. To check the reliability,
The medium was subjected to a high temperature and high humidity deterioration accelerated test for 500 hours under the conditions of 85 ° C. and 85% RH, and it was observed whether corrosion occurred. Corrosion did not occur in the accelerated test, and no significant difference was observed in the reflectance, so it can be said that the reliability is excellent.

【0027】実施例2 反射層の表面処理に使用するトリアジンチオール系化合
物を下記構造式[3]で示される化合物とした以外は実
施例1と同様の方法でディスクを作製した。
Example 2 A disk was prepared in the same manner as in Example 1 except that the triazine thiol compound used for the surface treatment of the reflective layer was a compound represented by the following structural formula [3].

【0028】[0028]

【化3】 [Chemical 3]

【0029】実施例1と同じ方法で、記録特性、再生特
性、信頼性を評価したが、評価結果に実施例1と有意の
差は見られず、良好な特性を示した。 比較例1 反射層表面のトリアジンチオール系化合物処理を行わな
かったこと以外は実施例1と同様の方法でディスクを作
製した。
The recording characteristics, the reproducing characteristics and the reliability were evaluated by the same method as in Example 1, but no significant difference was found in the evaluation results from Example 1, showing good characteristics. Comparative Example 1 A disk was prepared in the same manner as in Example 1 except that the surface of the reflective layer was not treated with the triazine thiol compound.

【0030】実施例1と同様の方法で記録特性、再生特
性、信頼性を評価した。記録特性、再生特性の評価結果
については実施例1と有意の差は見られず、良好な特性
を示した。しかしながら、実施例1と同じにして劣化加
速試験を行ったところ反射層に腐食が発生しており、
信頼性に問題があることが分かった。
Recording characteristics, reproduction characteristics, and reliability were evaluated in the same manner as in Example 1. Regarding the evaluation results of the recording characteristics and the reproducing characteristics, no significant difference from Example 1 was observed, and good characteristics were shown. However, when a deterioration acceleration test was performed in the same manner as in Example 1, corrosion occurred in the reflective layer,
It turned out to be a reliability issue.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、高
密度記録に対応した高C/Nで信頼性の高い光磁気記録
媒体が提供される。
As described above in detail, according to the present invention, there is provided a magneto-optical recording medium having a high C / N and a high reliability, which corresponds to high density recording.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗和田 健 神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地 三 菱化成株式会社総合研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Ken Kuriwada 1000 Kamoshida-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Sanryo Kasei Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に少なくとも、誘電体層、光磁気
記録層、Agを主成分とする反射層、トリアジンチオー
ル系化合物を含有する紫外線硬化樹脂からなる保護層を
順次有することを特徴とする光磁気記録媒体。
1. A substrate having at least a dielectric layer, a magneto-optical recording layer, a reflective layer containing Ag as a main component, and a protective layer made of an ultraviolet curable resin containing a triazine thiol-based compound. Magneto-optical recording medium.
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