JPH06241847A - Fluidic flowmeter - Google Patents
Fluidic flowmeterInfo
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- JPH06241847A JPH06241847A JP2688493A JP2688493A JPH06241847A JP H06241847 A JPH06241847 A JP H06241847A JP 2688493 A JP2688493 A JP 2688493A JP 2688493 A JP2688493 A JP 2688493A JP H06241847 A JPH06241847 A JP H06241847A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、噴出ノズルから流路
内に噴出されるガス等の流体の振動現象によって生じる
交番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流
量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluidic flow meter which detects an alternating pressure wave generated by an oscillating phenomenon of a fluid such as a gas ejected from an ejection nozzle into a flow passage to detect a flow rate.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般家庭等に設置され、ガスの流量を計
量するフルイディック流量計は、例えば、特開昭63−
313018号公報、特開平1−250725号公報か
ら公知である。2. Description of the Related Art A fluidic flow meter for measuring the flow rate of gas, which is installed in a general household or the like, is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-63.
It is known from JP-A-313018 and JP-A-1-250725.
【0003】フルイディック流量計は、流路の入口側に
噴出ノズルが設けられ、この噴出ノズルから流路に流体
を噴出すると、コアンダ効果によって噴出流体は、例え
ば右側の側壁に沿って流れる。この右側の側壁に流れた
流体の一部は帰還流体となり、この帰還流体の流体エネ
ルギが噴出流体に付与され、噴出流体が左側の側壁に沿
って流れるようになり、今度は左側の側壁に流れた流体
の一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体エネルギ
が噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁に沿
って流れるようになる。The fluidic flowmeter has a jet nozzle provided on the inlet side of the flow passage. When a fluid is jetted from this jet nozzle into the flow passage, the jetted fluid flows along the side wall on the right side, for example, due to the Coanda effect. A part of the fluid that has flowed to the right side wall becomes the return fluid, the fluid energy of this return fluid is imparted to the ejected fluid, and the ejected fluid flows along the left side wall, which in turn flows to the left side wall. A part of the discharged fluid becomes a return fluid, the fluid energy of the return fluid is applied to the jet fluid, and the jet fluid again flows along the right side wall.
【0004】つまり、噴出ノズルから流路内に噴出され
る流体の振動現象によって交番圧力波が生じる。この交
番圧力波を圧電膜センサによって検出し、この周波数か
ら流量を算出して流体の流量を検出している。That is, an alternating pressure wave is generated by the vibration phenomenon of the fluid ejected from the ejection nozzle into the flow path. This alternating pressure wave is detected by the piezoelectric film sensor, the flow rate is calculated from this frequency, and the flow rate of the fluid is detected.
【0005】図6および図7は従来のフルイディック流
量計を示し、11はケースである。このケース11は矩
形箱状のケース本体12と、このケース本体12の開口
部を閉塞する蓋体13とから構成されている。6 and 7 show a conventional fluidic flow meter, and 11 is a case. The case 11 is composed of a rectangular box-shaped case body 12 and a lid 13 that closes an opening of the case body 12.
【0006】ケース本体12の下部にはガス流入口体1
4とガス流出口体15が並設され、上部には表示窓16
が設けられている。ケース11の内部における下部には
フルイディック素子17および遮断弁18が設置され、
上部には電子回路19、圧力スイッチ20および前記表
示窓16に対向する積算表示基板22が設置されてい
る。At the bottom of the case body 12, the gas inlet body 1 is provided.
4 and the gas outlet body 15 are arranged side by side, and a display window 16 is provided on the upper part.
Is provided. A fluidic element 17 and a shutoff valve 18 are installed in the lower part inside the case 11,
An electronic circuit 19, a pressure switch 20, and an integrated display substrate 22 facing the display window 16 are installed on the upper portion.
【0007】前記フルイディック素子17について説明
すると、23はダイキャスト等によって形成された流路
本体であり、この流路本体23の開口部をパッキング2
4を介して蓋体13によって閉塞することにより、流路
26が構成されている。The fluidic element 17 will be described. Reference numeral 23 is a flow path body formed by die casting or the like, and the opening of the flow path body 23 is packed 2
The flow path 26 is formed by closing the cover body 13 via the lid 4.
【0008】この流路26の上流側はガス流入口体14
に連通し、下流側はフルイディック素子17を経てガス
流出口体15に連通している。流路26の途中には弁座
27が設けられ、この弁座27には前記遮断弁18の弁
体28が対向している。すなわち、前記圧力スイッチ2
0が異常を感知したとき、遮断弁18によって流路26
を遮断することができるように構成されている。The gas inlet port 14 is located upstream of the flow path 26.
, And the downstream side communicates with the gas outlet body 15 via the fluidic element 17. A valve seat 27 is provided in the middle of the flow path 26, and the valve body 28 of the shutoff valve 18 faces the valve seat 27. That is, the pressure switch 2
0 detects an abnormality, the shut-off valve 18 causes the flow path 26
It is configured to be able to shut off.
【0009】前記遮断弁18について説明すると、30
はベースであり、このベース30には一対のロッド31
が突設され、これらロッド31には自己保持形のソレノ
イド32が前記弁座27に対して進退自在に支持されて
いる。すなわち、ソレノイド32の両側部にはロッド3
1に嵌合する支持片33が突設され、この支持片33は
ロッド31に嵌合されたコイルスプリング34によって
弁座27から後退する方向に付勢されている。The shutoff valve 18 will be described below.
Is a base, and the base 30 has a pair of rods 31
A self-holding solenoid 32 is supported on these rods 31 so as to be movable back and forth with respect to the valve seat 27. That is, the rod 3 is provided on both sides of the solenoid 32.
A support piece 33 that fits in 1 is provided in a protruding manner, and the support piece 33 is urged by a coil spring 34 that is fitted in the rod 31 in a direction of retracting from the valve seat 27.
【0010】ソレノイド32のプランジャ35には前記
弁体28が設けられ、この弁体28とベース30との間
には弁体28を弁座27方向に付勢するコイルスプリン
グ36が設けられている。The valve body 28 is provided on the plunger 35 of the solenoid 32, and a coil spring 36 for urging the valve body 28 toward the valve seat 27 is provided between the valve body 28 and the base 30. .
【0011】そして、ソレノイド32のコイルに無通電
状態ではプランジャ35がコイルスプリング36に打ち
勝ってマグネットに吸着され、弁体28は弁座27から
離間して開弁状態にあるが、コイルに瞬間的に通電して
逆磁場を与えると、コイルスプリング36の復元力によ
って弁体28を弁座27に圧接して閉弁状態を保持する
ようになっている。When the coil of the solenoid 32 is in a non-energized state, the plunger 35 overcomes the coil spring 36 and is attracted to the magnet, and the valve element 28 is separated from the valve seat 27 and is in the valve open state. When a reverse magnetic field is applied by energizing the valve body 28, the restoring force of the coil spring 36 presses the valve body 28 against the valve seat 27 to maintain the valve closed state.
【0012】また、ソレノイド32の背面に対向するケ
ース本体12の側壁には復帰操作部としての復帰ボタン
37が設けられ、この復帰ボタン37にはソレノイド3
2の背面に当接する復帰軸38が連結され、この復帰軸
38には復帰軸38を後退方向に付勢するコイルスプリ
ング39が設けられている。Further, a return button 37 as a return operation portion is provided on the side wall of the case body 12 facing the back surface of the solenoid 32, and the return button 37 is provided on the return button 37.
A return shaft 38 that comes into contact with the rear surface of 2 is connected, and a coil spring 39 that biases the return shaft 38 in the backward direction is provided on the return shaft 38.
【0013】また、前記電子回路19とソレノイド32
とはリード線40によって電気的に接続されており、さ
らに電子回路19はフルイディック素子17に設けられ
微小流量域の計測を行うためのフローセンサ41および
大流量域の計測を行うための圧電膜センサ42ともリー
ド線40によって電気的に接続されている。The electronic circuit 19 and the solenoid 32 are also provided.
Are electrically connected by a lead wire 40, and the electronic circuit 19 is provided in the fluidic element 17 and a flow sensor 41 for measuring a minute flow rate region and a piezoelectric film for measuring a large flow rate region. The sensor 42 is also electrically connected by the lead wire 40.
【0014】[0014]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
に構成されたフルイディック流量計は、電子回路19と
遮断弁18および電子回路19とフローセンサ41、圧
電膜センサ42、圧力センサ20とをリード線40によ
って電気的に接続している。したがって、ケース11の
内部に配線用のスペースが必要となり、その分だけケー
ス11が大型化し、また狭い空間での配線作業となり、
作業性が悪い。By the way, the fluidic flowmeter configured as described above includes the electronic circuit 19, the shutoff valve 18, the electronic circuit 19, the flow sensor 41, the piezoelectric film sensor 42, and the pressure sensor 20. It is electrically connected by a lead wire 40. Therefore, a space for wiring is required inside the case 11, and the case 11 is accordingly increased in size, and wiring work is performed in a narrow space.
Workability is poor.
【0015】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、狭い空間であっても
配線が容易に行え、周辺の部品と干渉することがなく、
周辺の部品を損傷させたり、断線の虞のない信頼性の高
いフルイディック流量計を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and the purpose thereof is to easily perform wiring even in a narrow space without causing interference with peripheral parts.
An object of the present invention is to provide a highly reliable fluidic flowmeter that does not have a risk of damaging peripheral parts or disconnection.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段及び作用】この発明は、前
記目的を達成するために、電子回路を内蔵したケース
と、このケースの内部に設けられ流路を構成する流路本
体と、この流路本体内に組込まれたフルイディック素子
と、このフルイディック素子に設けられ微小流量域の計
測を行うためのフローセンサおよび大流量域の計測を行
うための圧電膜センサとからなるフルイディック流量計
において、前記電子回路および前記フローセンサおよび
圧電膜センサのそれぞれに端子ピンを設けるとともに、
フレキシブルプリント配線板の両端部に前記端子ピンに
挿入接続されるピン孔を設け、電子回路とフローセンサ
および圧電膜センサとを電気的に接続したことにある。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a case containing an electronic circuit, a flow path main body which is provided inside the case and constitutes a flow path, and this flow path. A fluidic flowmeter consisting of a fluidic element incorporated in the channel body, a flow sensor provided in the fluidic element for measuring a minute flow rate range, and a piezoelectric film sensor for measuring a large flow rate range. In, while providing a terminal pin to each of the electronic circuit and the flow sensor and the piezoelectric film sensor,
The flexible printed wiring board is provided with pin holes inserted into and connected to the terminal pins at both ends thereof to electrically connect the electronic circuit to the flow sensor and the piezoelectric film sensor.
【0017】フレキシブルプリント配線板の両端部に設
けられたピン孔を電子回路およびフローセンサおよび圧
電膜センサのそれぞれに突設された端子ピンに挿入接続
することにより電気的に接続され、狭い空間であっても
配線が容易に行える。Pin holes provided at both ends of the flexible printed wiring board are electrically connected to each other by inserting and connecting terminal pins provided on the electronic circuit, the flow sensor and the piezoelectric film sensor, respectively, in a narrow space. Even if there is, wiring can be done easily.
【0018】[0018]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づいて
説明するが、従来と同一構成部分は同一番号を付して説
明を省略する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0019】図1〜図5に示すように、ケース11の内
部に設置された電子回路19は、その回路基板45がケ
ース本体12の前面に対向しており、この端面には多数
の端子ピン46が一列に突設されている。As shown in FIGS. 1 to 5, the electronic circuit 19 installed inside the case 11 has its circuit board 45 facing the front surface of the case body 12, and a large number of terminal pins are provided on this end surface. 46 are projected in a line.
【0020】また、遮断弁18のソレノイド32の側面
で、ケース本体12の前面に対向する面には複数本の端
子ピン47が突設されている。また、フルイディック素
子17に設けられたフローセンサ41および圧電膜セン
サ42の側面で、ケース本体12の前面に対向する面に
は複数本の端子ピン48,49が突設されている。A plurality of terminal pins 47 are projectingly provided on the side surface of the solenoid 32 of the shutoff valve 18 which faces the front surface of the case body 12. In addition, a plurality of terminal pins 48 and 49 are provided on the side surfaces of the flow sensor 41 and the piezoelectric film sensor 42 provided on the fluidic element 17 so as to face the front surface of the case body 12.
【0021】すなわち、電子回路19,ソレノイド3
2,フローセンサ41および圧電膜センサ42にはそれ
ぞれ同一方向に揃えた端子ピン46〜49が突設されて
いる。そして、ケース本体12の前面側において配線が
できるようになっている。That is, the electronic circuit 19 and the solenoid 3
2. The flow sensor 41 and the piezoelectric film sensor 42 are provided with terminal pins 46 to 49 aligned in the same direction. Wiring can be made on the front side of the case body 12.
【0022】また、前記電子回路19の端子ピン46と
ソレノイド32の端子ピン47とは第1のフレキシブル
プリント配線板(以下、第1のFPCという)50によ
って電気的に接続されている。また、電子回路19の端
子ピン46とフローセンサ41および圧電膜センサ42
の端子ピン48,49とは第2のフレキシブルプリント
配線板(以下、第2のFPCという)51によって電気
的に接続されている。The terminal pin 46 of the electronic circuit 19 and the terminal pin 47 of the solenoid 32 are electrically connected by a first flexible printed wiring board (hereinafter referred to as a first FPC) 50. In addition, the terminal pin 46 of the electronic circuit 19, the flow sensor 41, and the piezoelectric film sensor 42.
The terminal pins 48 and 49 are electrically connected by a second flexible printed wiring board (hereinafter referred to as a second FPC) 51.
【0023】第1のFPC50は、絶縁材料からなる帯
状のフレキシブルフイルム52に対して導電膜53がプ
リント配線されており、フレキシブルフイルム52の両
端部には導電膜53に対して穿設したピン孔54が設け
られている。さらに、フレキシブルフイルム52の中途
部には切欠部52aを有する撓み部55が設けられてい
る。また、フレキシブルフイルム52の両端部および中
途部には薄板からなる絶縁補強板56が接着されてお
り、フレキシブルフイルム52を部分的に補強して腰を
強くし、自動実装機等のハンドによって第1のFPC5
0を把持することを可能としている。In the first FPC 50, a conductive film 53 is printed on a strip-shaped flexible film 52 made of an insulating material, and pin holes formed in the conductive film 53 at both ends of the flexible film 52. 54 is provided. Further, a flexible portion 55 having a cutout portion 52a is provided in the middle of the flexible film 52. In addition, an insulating reinforcing plate 56 made of a thin plate is adhered to both ends and a middle portion of the flexible film 52, and the flexible film 52 is partially reinforced to strengthen the waist, and the flexible film 52 is first reinforced by a hand such as an automatic mounting machine. FPC5
It is possible to hold 0.
【0024】そして、第1のFPC50の一端側のピン
孔54は電子回路19の端子ピン46の挿入され、他端
側のピン孔54はソレノイド32の端子ピン47に挿入
され、この端子ピン46,47は導電膜53に対して半
田付け等によって接続されている。The pin hole 54 on the one end side of the first FPC 50 is inserted into the terminal pin 46 of the electronic circuit 19, and the pin hole 54 on the other end side is inserted into the terminal pin 47 of the solenoid 32. , 47 are connected to the conductive film 53 by soldering or the like.
【0025】また、第2のFPC51も基本的には第1
のFPC50と同一構造であり、絶縁材料からなる帯状
のフレキシブルフイルム52に対して導電膜53がプリ
ント配線されており、フレキシブルフイルム52の両端
部には導電膜53に対して穿設したピン孔57が設けら
れている。The second FPC 51 is also basically the first
The FPC 50 has the same structure as that of the FPC 50, and a conductive film 53 is printed and printed on a strip-shaped flexible film 52 made of an insulating material. Pin holes 57 formed in the conductive film 53 at both ends of the flexible film 52. Is provided.
【0026】さらに、フレキシブルフイルム52の両端
部および中途部には薄板からなる絶縁補強板56が接着
されており、フレキシブルフイルム52を部分的に補強
して腰を強くし、自動実装機等のハンドによって第2の
FPC51を把持することを可能としている。Further, an insulating reinforcing plate 56 made of a thin plate is adhered to both ends and a middle portion of the flexible film 52, and the flexible film 52 is partially reinforced to strengthen the waist, and a hand such as an automatic mounting machine is provided. This makes it possible to grip the second FPC 51.
【0027】そして、第2のFPC51の一端側のピン
孔57は電子回路19およびフローセンサ41の端子ピ
ン48の挿入され、他端側のピン孔54は圧電膜センサ
42の端子ピン49に挿入され、この端子ピン46,4
8,49は導電膜53に対して半田付け等によって接続
されている。The pin hole 57 on the one end side of the second FPC 51 is inserted into the terminal pin 48 of the electronic circuit 19 and the flow sensor 41, and the pin hole 54 on the other end side is inserted into the terminal pin 49 of the piezoelectric film sensor 42. This terminal pin 46,4
Reference numerals 8 and 49 are connected to the conductive film 53 by soldering or the like.
【0028】また、ケース11の内部に設けられた圧力
スイッチ20はその上部に一対の端子ピン59が突設さ
れ、この端子ピン59と電子回路19とは第3のFPC
60によって電気的に接続されている。すなわち、第3
のFPC60の両端部にはピン孔61が設けられ、一方
のピン孔61は電子回路19の端子ピン46に挿入接続
され、他方のピン孔61は第3のFPC60を二つ折り
して導電膜を上にした上で、圧力スイッチ20の端子ピ
ン59に挿入接続されている。Further, the pressure switch 20 provided inside the case 11 has a pair of terminal pins 59 projectingly provided on the upper portion thereof, and the terminal pins 59 and the electronic circuit 19 form a third FPC.
It is electrically connected by 60. That is, the third
Of the FPC 60 is provided with pin holes 61, one of the pin holes 61 is inserted and connected to the terminal pin 46 of the electronic circuit 19, and the other of the pin holes 61 is formed by folding the third FPC 60 in two. Then, it is inserted and connected to the terminal pin 59 of the pressure switch 20.
【0029】このように構成されたフルイディック流量
計によれば、電子回路19とフローセンサ41および圧
電膜センサ42が1枚の第2のFPC51によって電気
的に接続される。電子回路19およびフローセンサ41
および圧電膜センサ42にはそれぞれ同一方向に揃えた
端子ピン46〜49が突設されているため、流路本体2
3の前面側から第2のFPC51を実装することがで
き、自動実装機による実装が可能となる。According to the fluidic flowmeter having such a structure, the electronic circuit 19, the flow sensor 41 and the piezoelectric film sensor 42 are electrically connected by the second FPC 51. Electronic circuit 19 and flow sensor 41
Since the terminal pins 46 to 49 aligned in the same direction are provided on the piezoelectric film sensor 42 and the piezoelectric film sensor 42, respectively, the flow path main body 2
The second FPC 51 can be mounted from the front side of 3, and mounting by an automatic mounting machine becomes possible.
【0030】また、電子回路19、フローセンサ41お
よび圧電膜センサ42に突設された端子ピン46〜49
が前部に向かって突設されており、第2のFPC51を
前方から供給して両端部に設けられたピン孔57を前記
端子ピン46〜49に挿入して半田付けすることによ
り、簡単に電気的に接続できる。Further, terminal pins 46 to 49 projecting from the electronic circuit 19, the flow sensor 41 and the piezoelectric film sensor 42.
Is provided so as to project toward the front part, and the second FPC 51 is supplied from the front side, and the pin holes 57 provided at both ends are inserted into the terminal pins 46 to 49 and soldered, thereby making it easy. Can be electrically connected.
【0031】しかも、第2のFPC51がケース本体1
2の前面の内面に沿って配設されるため、配線スペース
を必要とせず、ケース本体12の奥行き寸法を小さく、
ケース11の薄形化が可能となる。In addition, the second FPC 51 is the case body 1
Since it is arranged along the inner surface of the front surface of No. 2, no wiring space is required, and the depth dimension of the case main body 12 is small,
The case 11 can be made thinner.
【0032】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子回路およびフローセンサおよび圧電膜センサの
それぞれに端子ピンを設けるとともに、フレキシブルプ
リント配線板の両端部に前記端子ピンに挿入接続される
ピン孔を設け、電子回路とフローセンサおよび圧電膜セ
ンサとを電気的に接続したことにある。As described above, according to the present invention, the electronic circuit, the flow sensor, and the piezoelectric film sensor are provided with the terminal pins, and the flexible printed wiring board is inserted and connected at both ends thereof. A pin hole is provided to electrically connect the electronic circuit to the flow sensor and the piezoelectric film sensor.
【0033】したがって、狭い空間であっても配線が容
易に行え、フレキシブルプリント配線板のケースの前面
の内面に沿って配設されるため、配線スペースを必要と
せず、ケースの奥行き寸法を小さく、薄形化が可能とな
るという効果がある。Therefore, wiring can be easily performed even in a narrow space, and the flexible printed wiring board is arranged along the inner surface of the front surface of the case. Therefore, no wiring space is required, and the depth dimension of the case is small. The effect is that it can be made thinner.
【図1】この発明の一実施例に係わるフルイディック流
量計の縦断正面図。FIG. 1 is a vertical sectional front view of a fluidic flow meter according to an embodiment of the present invention.
【図2】同実施例のフルイディック流量計の縦断側面
図。FIG. 2 is a vertical sectional side view of the fluidic flow meter according to the embodiment.
【図3】同実施例のフルイディック流量計の横断平面
図。FIG. 3 is a cross-sectional plan view of the fluidic flow meter of the same embodiment.
【図4】同実施例のフレキシブルプリント配線板の斜視
図。FIG. 4 is a perspective view of a flexible printed wiring board according to the same embodiment.
【図5】同実施例の電子回路と圧力スイッチとの電気的
接続構造を示す正面図および側面図。5A and 5B are a front view and a side view showing an electrical connection structure between the electronic circuit and the pressure switch of the embodiment.
【図6】従来のフルイディック流量計の縦断正面図。FIG. 6 is a vertical sectional front view of a conventional fluidic flow meter.
【図7】従来のフルイディック流量計の縦断側面図。FIG. 7 is a vertical sectional side view of a conventional fluidic flow meter.
17…フルイディック素子、19…電子回路、32…ソ
レノイド、46,48,49…端子ピン、51…第2の
FPC、57…ピン孔。17 ... Fluidic element, 19 ... Electronic circuit, 32 ... Solenoid, 46, 48, 49 ... Terminal pin, 51 ... Second FPC, 57 ... Pin hole.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 一色 尚志 東京都板橋区志村1丁目2番3号 株式会 社金門製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Naoshi Isshiki 1-3-2 Shimura, Itabashi-ku, Tokyo Inside Kinmon Manufacturing Co., Ltd.
Claims (1)
スの内部に設けられ流路を構成する流路本体と、この流
路本体内に組込まれたフルイディック素子と、このフル
イディック素子に設けられ微小流量域の計測を行うため
のフローセンサおよび大流量域の計測を行うための圧電
膜センサとからなるフルイディック流量計において、前
記電子回路および前記フローセンサおよび圧電膜センサ
のそれぞれに端子ピンを設けるとともに、フレキシブル
プリント配線板の両端部に前記端子ピンに挿入接続され
るピン孔を設け、電子回路とフローセンサおよび圧電膜
センサとを電気的に接続したことを特徴とするフルイデ
ィック流量計。1. A case having a built-in electronic circuit, a flow path body provided inside the case to configure a flow path, a fluidic element incorporated in the flow path body, and a fluidic element provided in the fluidic element. In a fluidic flowmeter comprising a flow sensor for measuring a minute flow rate region and a piezoelectric film sensor for measuring a large flow rate region, a terminal pin is provided for each of the electronic circuit, the flow sensor and the piezoelectric film sensor. And a pin hole inserted into and connected to the terminal pin at both ends of the flexible printed wiring board to electrically connect the electronic circuit to the flow sensor and the piezoelectric film sensor. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2688493A JPH06241847A (en) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | Fluidic flowmeter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2688493A JPH06241847A (en) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | Fluidic flowmeter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06241847A true JPH06241847A (en) | 1994-09-02 |
Family
ID=12205705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2688493A Pending JPH06241847A (en) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | Fluidic flowmeter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06241847A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8158959B2 (en) | 2009-02-12 | 2012-04-17 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light source apparatus |
-
1993
- 1993-02-16 JP JP2688493A patent/JPH06241847A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8158959B2 (en) | 2009-02-12 | 2012-04-17 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light source apparatus |
US8586954B2 (en) | 2009-02-12 | 2013-11-19 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light source apparatus |
US8901524B2 (en) | 2009-02-12 | 2014-12-02 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light source apparatus |
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