JPH06239671A - Method for joining zirconia ceramic and metal - Google Patents
Method for joining zirconia ceramic and metalInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ジルコニアを主成分
とするジルコニア系セラミックスと金属の接合方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for joining zirconia-based ceramics containing zirconia as a main component and a metal.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ジルコニア系セラミックスと金属
との接合方法として、活性金属ろう材を用いる方法が行
われている。しかしながら、接合時にジルコニア中の酸
素がろう材中に移動したり、接合体を大気中で高温状態
で使用した場合に、ろう材が酸化するため安定した接合
強度が得られない。そこで、表面に金属元素、Ａｌ2 Ｏ
3 等で物理的気相蒸着法ＰＶＤ、めっき等によるコーテ
ィングによる酸化防止法が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a method of using an active metal brazing material has been used as a method of joining a zirconia-based ceramic and a metal. However, when the oxygen in the zirconia moves into the brazing filler metal at the time of joining, or when the jointed body is used in a high temperature state in the atmosphere, the brazing filler metal is oxidized, so that stable joint strength cannot be obtained. Therefore, a metal element, Al 2 O, is formed on the surface.
3 and the like, a physical vapor deposition method PVD, an antioxidant method by coating by plating, etc. are known.
【０００３】また、セラミックスの接合法として、特開
昭６３−８２６９号公報に開示されたものがある。該セ
ラミックスの接合法は、セラミックス同志或いはセラミ
ックスと金属をろう付けする場合に、セラミックス表面
をアルミナ、シリカ系のセラミックスで表面処理した
後、活性金属を含むろう材で相手側のセラミックス或い
は金属とろう付けしたものである。Further, as a method of joining ceramics, there is one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-8269. The method of joining the ceramics is such that when the ceramics are brazed together or the ceramics and the metal are brazed, the surface of the ceramics is surface-treated with alumina- or silica-based ceramics, and then the brazing material containing the active metal is used to braze the mating ceramics or the metal. It is attached.
【０００４】また、特開昭６１−７７６８１号公報に開
示された窒化物セラミックスの接合方法は、Ｓｉ3 Ｎ4
又はＡｌＮの表面に窒素を含有せしめ、その表面にＡ
ｌ，Ｔｉ，Ｓｉ，Ｎｂ，Ｚｒ等の金属を介在せしめて同
様の処理を施したＳｉ3 Ｎ4 又はＡｌＮ又は金属を、窒
素ガス雰囲気中で加熱することにより、Ｓｉ3 Ｎ4 又は
ＡｌＮの表面に含有せしめた窒素を、介在せしめた金属
へ拡散せしめて介在せしめた金属の一部又は全部を窒化
物に変換すると同時に前記窒化物同志又は前記窒化物と
金属とを接合したものである。Further, the method for joining nitride ceramics disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-77681 is disclosed in Si 3 N 4
Or, the surface of AlN is made to contain nitrogen, and A is added to the surface.
The surface of Si 3 N 4 or AlN is obtained by heating Si 3 N 4 or AlN or a metal that has been similarly treated with a metal such as 1, Ti, Si, Nb or Zr interposed in a nitrogen gas atmosphere. The nitrogen contained in the above is diffused into the intervening metal to convert a part or all of the intervening metal into a nitride, and at the same time, the nitride or the nitride and the metal are joined.
【０００５】また、特開平２−１８４５７７号公報に開
示されたセラミックス接合部材は、セラミックス接合部
材の、セラミックスの表面に前記セラミックスと金属と
からなる混合層が形成され、前記混合層はろう材を介し
て他部材と接合しているものであり、前記混合層の形成
は、金属の蒸着法あるいはスパッタリング法等による金
属被膜を形成しながら、セラミックス基材及び形成する
金属被膜との非反応性ガスイオンを注入して形成したも
のである。Further, in the ceramics joining member disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-184577, a mixed layer composed of the ceramics and the metal is formed on the surface of the ceramics of the ceramics joining member, and the mixed layer is made of a brazing material. It is bonded to another member via a non-reactive gas with the ceramic base material and the metal film to be formed while forming the metal film by a metal vapor deposition method or a sputtering method. It is formed by implanting ions.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記で
述べたセラミックスと金属との接合方法は、セラミック
ス表面にコーティングした被膜が剥がれ易く、接合強度
にばらつきが発生し、接合強度の信頼性に劣るという問
題がある。また、セラミックスの表面に酸化物をコーテ
ィングした場合に、ろう材との濡れ性はさほど向上しな
いという問題がある。また、接合部の寸法制度を向上さ
せるためには、コーティング層の厚さを薄く均一にする
ことが必要になるが、従来の方法ではコーティング層の
厚さの均一性と強度を両立させることは困難であった。However, in the above-described method of joining ceramics and metal, the coating film coated on the surface of the ceramics is easily peeled off, variations in the joining strength occur, and the reliability of the joining strength is poor. There's a problem. In addition, when the surface of ceramics is coated with an oxide, the wettability with the brazing material is not so improved. Also, in order to improve the dimensional accuracy of the joint, it is necessary to make the thickness of the coating layer thin and uniform, but in the conventional method it is not possible to achieve both uniform thickness of the coating layer and strength. It was difficult.
【０００７】また、前掲特開平２−１８４５７７号公報
に開示されたセラミックス接合部材は、セラミックスの
表面に注入した窒素と金属を熱処理した後、窒化物の膜
を形成しているので、表面が活性な状態でなく、接合強
度に対する上記のような問題を有している。Further, the ceramic joining member disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 2-18477 forms a nitride film after heat-treating the nitrogen and the metal injected to the surface of the ceramic, so that the surface is activated. However, it has the above-mentioned problem with respect to the bonding strength.
【０００８】そこで、この発明の目的は、上記の課題を
解決することであり、セラミックスの表面にＮ2 を注入
し、ＺｒＯ2 の表面にＺｒ−Ｏ−Ｎの層を設けて窒化物
の被膜を形成し、セラミックスと金属との密着性を向上
させ、また、金属とＮを同時に打ち込んで表面を活性な
状態にしてろう材によって金属を接合し、それによって
接合強度を向上させるジルコニア系セラミックスと金属
の接合方法を提供することである。[0008] Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems. N 2 is injected into the surface of ceramics and a Zr-O-N layer is provided on the surface of ZrO 2 to form a nitride film. A zirconia-based ceramic that improves the adhesion between the ceramic and the metal, and that simultaneously implants the metal and N to activate the surface to bond the metal with a brazing material, thereby improving the bonding strength. A metal joining method is provided.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、ジルコニア系セラミックスの表面にＮ2 +
イオンビームを用いてイオン注入を行った後、Ａｒ+ イ
オンビームによってスパッタリングされた活性金属をＮ
2 + イオンビームをアシストとして金属窒化物をコーテ
ィングさせ、前記ジルコニア系セラミックスに前記金属
窒化物をコーティングした面を接合面として活性金属ろ
う材を用いて金属を接合することから成ることを特徴と
するジルコニア系セラミックスと金属の接合方法に関す
る。In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. That is,
This invention applies N 2 + on the surface of zirconia-based ceramics.
After performing ion implantation using the ion beam, the active metal sputtered by the Ar + ion beam is removed by N
2 + ion beam a metal nitride was coated as assist, characterized in that it consists of joining metal by using an active metal brazing material to the metal nitride was coated surface on the zirconia-based ceramic as a bonding surface The present invention relates to a method for joining a zirconia-based ceramic and a metal.
【００１０】また、このジルコニア系セラミックスと金
属の接合方法において、前記金属窒化物は、ＺｒＯ2 ／
Ｚｒ−Ｏ−Ｎ／ＭｅＮX の複合組織を有しているもので
ある。In the method of joining the zirconia-based ceramic and the metal, the metal nitride is ZrO 2 /
Those having a composite structure of Zr-O-N / MeN X .
【００１１】また、このジルコニア系セラミックスと金
属の接合方法において、前記金属窒化物のＭｅはＴｉ，
Ｎｂ，Ｚｒの１種または２種以上である。Further, in this method of joining a zirconia-based ceramic and a metal, Me of the metal nitride is Ti,
One or more of Nb and Zr.
【００１２】また、このジルコニア系セラミックスと金
属の接合方法において、前記ジルコニア系セラミックス
は安定化ジルコニア、部分安定化ジルコニア及びＺｒＯ
2 とＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 等の酸化物との複合セラミッ
クスから選択されるＺｒＯ2を主成分として含有するセ
ラミックスである。Further, in this method for joining a zirconia-based ceramic and a metal, the zirconia-based ceramic is stabilized zirconia, partially stabilized zirconia and ZrO 2.
It is a ceramic containing ZrO 2 selected from the composite ceramics of 2 and oxides such as SiO 2 and Al 2 O 3 as a main component.
【００１３】[0013]
【作用】この発明によるジルコニア系セラミックスと金
属の接合方法は、上記のように構成されており、次のよ
うに作用する。即ち、このジルコニア系セラミックスと
金属の接合方法は、ジルコニア系セラミックスの表面に
Ｎ2 + イオンビームを用いてイオン注入を行った後、Ａ
ｒ+ イオンビームによってスパッタリングされた活性金
属をＮ2 + イオンビームをアシストとして金属窒化物を
コーティングさせたので、ＺｒＯ2 の表面にＺｒ−Ｏ−
Ｎの層を設けて窒化物の被膜を形成して密着性を向上で
き、金属とＮを同時に打ち込んで表面を活性な状態にし
て活性金属ろう材によって金属を接合し、それによって
接合強度を強固に信頼性に富んだ接合体を得ることがで
きる。The method for joining a zirconia-based ceramic and a metal according to the present invention is constructed as described above and acts as follows. That is, this zirconia-based ceramic-metal joining method is performed by performing ion implantation on the surface of the zirconia-based ceramic using an N 2 + ion beam and then
Since the active metal sputtered by the r + ion beam was coated with a metal nitride with the aid of the N 2 + ion beam, the surface of ZrO 2 was Zr-O-.
A layer of N can be formed to form a nitride film to improve adhesion, and the metal and N can be simultaneously imprinted to activate the surface and bond the metal with an active metal brazing material, thereby strengthening the bonding strength. It is possible to obtain a highly reliable conjugate.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、この発明によるセラミックスと鉄鋼材
料との接合体の実施例を説明する。このジルコニア系セ
ラミックスと金属の接合方法は、主として、ジルコニア
系セラミックスと金属を活性金属ろう材により接合する
場合において、ジルコニア系セラミックスの表面を金属
窒化物により被覆し、そのコーティング面を接合面とし
て活性金属ろう材を用いて金属を接合したものである。EXAMPLES Examples of a joined body of ceramics and a steel material according to the present invention will be described below. This method of joining zirconia-based ceramics and metal is mainly used in the case of joining zirconia-based ceramics and metals with an active metal brazing material, by coating the surface of zirconia-based ceramics with a metal nitride and activating the coating surface as a joining surface. The metal is joined using a metal brazing material.
【００１５】即ち、このジルコニア系セラミックスと金
属の接合方法は、ジルコニア系セラミックスの表面にＮ
2 + イオンビームを用いてイオン注入を行った後、Ａｒ
+ イオンビームによってスパッタリングされた活性金属
をＮ2 + イオンビームをアシストとして金属窒化物をコ
ーティングさせ、前記ジルコニア系セラミックスに前記
金属窒化物をコーティングした面を接合面として活性金
属ろう材を用いて金属を接合することから成ることを特
徴とするものであり、活性金属ろう材の酸化を防止する
ことができ、ジルコニア系セラミックスと金属との接合
体は高強度で安定した接合強度を有するものである。即
ち、ジルコニア系セラミックスの基材と金属窒化物膜と
は剥離し難い強固な接合層を形成することができる。ま
た、このジルコニア系セラミックスと金属の接合方法に
おいて、セラミックス表面に形成されるコーティング面
の厚さは、０．５〜１．５ｍμの均一な厚さに形成で
き、成膜したことにより表面粗さが影響を受けることは
ない。That is, the method of joining the zirconia-based ceramic and the metal is as follows.
After ion implantation using 2 + ion beam, Ar
+ An active metal sputtered by an ion beam is coated with a metal nitride with the aid of an N 2 + ion beam, and a surface of the zirconia-based ceramic coated with the metal nitride is used as a bonding surface to form a metal using an active metal brazing material. Which is capable of preventing oxidation of the active metal brazing material, and the bonded body of zirconia-based ceramic and metal has high strength and stable bonding strength. . That is, it is possible to form a strong bonding layer that is unlikely to separate from the zirconia-based ceramic substrate and the metal nitride film. Further, in this method of joining a zirconia-based ceramic and a metal, the thickness of the coating surface formed on the ceramic surface can be formed to a uniform thickness of 0.5 to 1.5 mμ, and the surface roughness can be obtained by forming the film. Is not affected.
【００１６】また、このジルコニア系セラミックスと金
属の接合方法において、ジルコニア系セラミックスの表
面に形成される金属窒化物は、ＺｒＯ2 ／Ｚｒ−Ｏ−Ｎ
／ＭｅＮX の複合組織を有しているものである。また、
金属窒化物の金属ＭｅはＴｉ，Ｎｂ，Ｚｒの１種または
２種以上で構成されている。更に、ジルコニア系セラミ
ックスとしては、ＺｒＯ2 を主成分として含有するセラ
ミックスであり、Ｙ2Ｏ3 ，ＣａＯ，ＭｇＯ，ＣｅＯ2
等の酸化物を固溶させた安定化ジルコニア、部分安定化
ジルコニア、及びＺｒＯ2 とＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 等の
酸化物との複合セラミックスから選択されるセラミック
スである。Further, in this method of joining a zirconia-based ceramic and a metal, the metal nitride formed on the surface of the zirconia-based ceramic is ZrO 2 / Zr-O-N.
It has a composite structure of / MeN x . Also,
The metal Me of the metal nitride is composed of one or more of Ti, Nb, and Zr. Further, the zirconia-based ceramics are ceramics containing ZrO 2 as a main component, and include Y 2 O 3 , CaO, MgO, CeO 2
Stabilized zirconia oxide was dissolved in an equal, a partially stabilized zirconia, and ceramic selected from composite ceramic with an oxide such as ZrO 2 and SiO 2, Al 2 O 3.
【００１７】次に、この発明によるジルコニア系セラミ
ックスと金属の接合方法の具体的な実施例を説明する。
３モル％のＹ2 Ｏ3 −ＺｒＯ2 〔Ｙ−ＰＳＺ（部分安定
化ジルコニア）〕の表面に、下記の条件でイオン注入を
行って、スパッタリングされた活性金属Ｔｉ，Ｎｂ，Ｚ
ｒをＮ2 + イオンビームをアシストとして金属窒化物を
コーティングした。即ち、金属窒化物のコーティング層
は、Ｔｉ窒化物（窒化チタンＴｉＮ）、Ｎｂ窒化物（窒
化ニオブＮｂＮ）、Ｚｒ窒化物（窒化ジルコニウムＺｒ
Ｎ）の層である。Ｎ2 + イオンビームを用いてイオン注
入の条件については、使用元素はＮ2 を用い、ガス流量
は５ｓｃｃｍであり、加速電圧は０．４３ｋＶであり、
また、加速電流は２０ｍＡであった。スパッタリングの
条件については、使用元素はＴｉ，Ｎｂ，Ｚｒを用い、
使用ガスはＡｒを用い、ガス流量は５ｓｃｃｍであり、
加速電圧は１．００２ｋＶであり、また、加速電流は２
００ｍＡであった。更に、Ｎ2 + イオンビームのアシス
トの条件については、使用ガスはＮ2 を用い、ガス流量
は５ｓｃｃｍであり、加速電圧は０．４６ｋＶであり、
加速電流は２０ｍＡであり、成膜真空度は２．０×１０
- 4 ｔｏｒｒであり、成膜時間は５〜６時間であり、ま
た、膜厚は０．８〜１ｍμであった。Next, specific examples of the method for joining zirconia-based ceramics and metal according to the present invention will be described.
Ion implantation was carried out on the surface of 3 mol% Y 2 O 3 -ZrO 2 [Y-PSZ (partially stabilized zirconia)] under the following conditions, and the sputtered active metals Ti, Nb, Z were used.
r was coated with a metal nitride with the aid of an N 2 + ion beam. That is, the metal nitride coating layer includes Ti nitride (titanium nitride TiN), Nb nitride (niobium nitride NbN), and Zr nitride (zirconium nitride Zr).
N) layer. Regarding the conditions of ion implantation using N 2 + ion beam, the used element is N 2 , the gas flow rate is 5 sccm, the acceleration voltage is 0.43 kV,
The acceleration current was 20 mA. Regarding sputtering conditions, the elements used are Ti, Nb, and Zr,
Ar gas was used as a gas, and the gas flow rate was 5 sccm.
The acceleration voltage is 1.002 kV and the acceleration current is 2
It was 00 mA. Further, regarding the conditions for N 2 + ion beam assist, N 2 was used as a gas, the gas flow rate was 5 sccm, and the acceleration voltage was 0.46 kV.
Acceleration current is 20 mA and film formation vacuum is 2.0 × 10
- a 4 torr, deposition time is 5-6 hours, also, the film thickness was 0.8～1Emumyu.
【００１８】次に、Ｙ−ＰＳＺとクロムモリブデン鋼を
Ａｕ−Ｃｕ−Ｔｉろう材を用いて真空中８７０℃にて接
合を行った。得られた接合体を常温及び３５０℃で１時
間保持して、引張試験を行い、接合体の接合強度を測定
した。ここで、この発明によるジルコニア系セラミック
スと金属との接合体と、他の接合体とを比較するため、
比較接合体１として金属窒化物を成膜しなかったＹ−Ｐ
ＳＺと金属との接合体、及び比較接合体２としてＭｏ−
Ｍｎ法によって表面をメタライジングしたＹ−ＰＳＺと
金属との接合体を作製した。それらの結果を表１に示
す。Next, Y-PSZ and chromium molybdenum steel were joined at 870 ° C. in a vacuum using an Au-Cu-Ti brazing material. The obtained bonded body was held at room temperature and 350 ° C. for 1 hour, and a tensile test was performed to measure the bonding strength of the bonded body. Here, in order to compare the bonded body of the zirconia-based ceramics and the metal according to the present invention with another bonded body,
YP in which a metal nitride was not formed as the comparative bonded body 1
As a bonded body of SZ and metal, and as a comparative bonded body 2, Mo-
A bonded body of Y-PSZ and metal whose surface was metallized by the Mn method was prepared. The results are shown in Table 1.
【表１】 [Table 1]
【００１９】表１から分かるように、金属窒化物を成膜
したＹ−ＰＳＺと金属との接合体は、比較試験片のもの
に比較して、強度は高く、高温においても強度低下を抑
制することが分かる。即ち、比較接合体１は、２５℃で
平均引張強度６８．５ＭＰａであり、３５０℃で平均引
張強度３２．９ＭＰａであった。比較接合体２は、２５
℃で平均引張強度１０２．６ＭＰａであり、３５０℃で
平均引張強度９９．８ＭＰａであった。この発明による
接合方法で作製した接合体については、金属窒化物が窒
化チタンＴｉＮの場合には、２５℃で平均引張強度１２
５．８ＭＰａであり、３５０℃で平均引張強度１２１．
１ＭＰａであった。金属窒化物が窒化ニオブＮｂＮの場
合には、２５℃で平均引張強度１２４．３ＭＰａであ
り、３５０℃で平均引張強度１２６．４ＭＰａであっ
た。金属窒化物が窒化ジルコニウムＺｒＮの場合には、
２５℃で平均引張強度１３１．４ＭＰａであり、３５０
℃で平均引張強度１３５．６ＭＰａであった。As can be seen from Table 1, the joined body of Y-PSZ and the metal on which the metal nitride film is formed has a higher strength than that of the comparative test piece, and suppresses the strength reduction even at high temperature. I understand. That is, the comparative bonded body 1 had an average tensile strength of 68.5 MPa at 25 ° C and an average tensile strength of 32.9 MPa at 350 ° C. Comparative bonded body 2 has 25
The average tensile strength at 10 ° C was 102.6 MPa, and the average tensile strength at 350 ° C was 99.8 MPa. Regarding the joined body produced by the joining method according to the present invention, when the metal nitride is titanium nitride TiN, the average tensile strength at 25 ° C. is 12
5.8 MPa, average tensile strength 121.
It was 1 MPa. When the metal nitride was niobium nitride NbN, the average tensile strength was 124.3 MPa at 25 ° C. and the average tensile strength was 126.4 MPa at 350 ° C. When the metal nitride is zirconium nitride ZrN,
It has an average tensile strength of 131.4 MPa at 25 ° C. and 350
The average tensile strength at 13 ° C was 135.6 MPa.
【００２０】また、未処理の比較接合体１のＹ−ＰＳＺ
の表面粗さはＲｍａｘ＝０．５ｍμであった。メタライ
ズをした比較接合体２のＹ−ＰＳＺの表面粗さはＲｍａ
ｘ＝５〜１３ｍμと粗くなった。これらの比較接合体に
対して、この発明による金属窒化物を成膜したＹ−ＰＳ
Ｚの表面は未処理のものと変わらず、Ｒｍａｘ＝０．５
ｍμであった。Further, the untreated comparative joint body 1 of Y-PSZ
The surface roughness of was Rmax = 0.5 mμ. The surface roughness of the Y-PSZ of the metallized comparative joint body 2 is Rma.
It became coarse with x = 5 to 13 mμ. For these comparative joints, a Y-PS formed by depositing a metal nitride according to the present invention
The surface of Z is the same as the untreated one, and Rmax = 0.5.
It was mμ.
【００２１】[0021]
【発明の効果】この発明によるジルコニア系セラミック
スと金属の接合方法は、上記のように構成されており、
次のような効果を有する。即ち、このジルコニア系セラ
ミックスと金属の接合方法は、ジルコニア系セラミック
スの表面にＮ2 + イオンビームを用いてイオン注入を行
い、表面をＺｒ−Ｏ−Ｎの複合組織とした後に、その上
にＡｒ+ イオンビームによってスパッタリングされた活
性金属をＮ2 + イオンビームをアシストとして金属窒化
物を成膜させることによって、基盤と剥がれ難い強固な
金属窒化物膜を形成することができる。しかも、成膜厚
さは、均一な厚さを有しており、成膜したことにより表
面粗さが影響を受けることがない。それ故に、金属窒化
物で被覆したジルコニア系セラミックスを金属との接合
に用いることにより、活性金属、ろう材の酸化を防止す
ることができ、接合強度の強固にでき、接合強度の信頼
性を向上できる。The method for joining a zirconia-based ceramic and a metal according to the present invention is configured as described above,
It has the following effects. That is, in this method of joining a zirconia-based ceramic and a metal, ions are implanted into the surface of the zirconia-based ceramic using an N 2 + ion beam to form a Zr-O-N composite structure on the surface, and then Ar is formed thereon. + active metal sputtered by the ion beam by forming a metal nitride as the assist a N 2 + ion beam, it is possible to form the peeling hardly strong metal nitride film-based. Moreover, the film thickness has a uniform thickness, and the surface roughness is not affected by the film formation. Therefore, by using zirconia-based ceramics coated with metal nitride for bonding with metals, it is possible to prevent oxidation of active metals and brazing materials, strengthen bonding strength, and improve reliability of bonding strength. it can.
Claims (4)
+ イオンビームを用いてイオン注入を行った後、Ａｒ+
イオンビームによってスパッタリングされた活性金属を
Ｎ2 + イオンビームをアシストとして金属窒化物をコー
ティングさせ、前記ジルコニア系セラミックスに前記金
属窒化物をコーティングした面を接合面として活性金属
ろう材を用いて金属を接合することから成ることを特徴
とするジルコニア系セラミックスと金属の接合方法。1. N 2 is formed on the surface of zirconia-based ceramics.
+ After ion implantation using an ion beam, Ar +
An active metal sputtered by an ion beam is coated with a metal nitride by using an N 2 + ion beam as an assist, and a surface of the zirconia-based ceramic coated with the metal nitride is used as a bonding surface to form a metal using an active metal brazing material. A method for joining a zirconia-based ceramic and a metal, which comprises joining.
−Ｎ／ＭｅＮX の複合組織を有していることを特徴とす
る請求項１に記載のジルコニア系セラミックスと金属の
接合方法。2. The metal nitride is ZrO 2 / Zr—O.
Zirconia based ceramics and joining method of metal according to claim 1, characterized in that it has a composite structure of -N / MeN X.
ｒの１種または２種以上であることを特徴とする請求項
１又は２に記載のジルコニア系セラミックスと金属の接
合方法。3. Me of the metal nitride is Ti, Nb, Z
The method for joining a zirconia-based ceramic and a metal according to claim 1 or 2, wherein r is one or more.
ジルコニア、部分安定化ジルコニア及びＺｒＯ2 とＳｉ
Ｏ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 等の酸化物との複合セラミックスから
選択されるＺｒＯ2 を主成分として含有するセラミック
スであることを特徴とする請求項１に記載のジルコニア
系セラミックスと金属の接合方法。4. The zirconia-based ceramic is stabilized zirconia, partially stabilized zirconia, ZrO 2 and Si.
The method for joining a zirconia-based ceramic and a metal according to claim 1, which is a ceramic containing ZrO 2 as a main component, which is selected from composite ceramics with oxides such as O 2 and Al 2 O 3 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4617893A JPH06239671A (en) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | Method for joining zirconia ceramic and metal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4617893A JPH06239671A (en) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | Method for joining zirconia ceramic and metal |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06239671A true JPH06239671A (en) | 1994-08-30 |
Family
ID=12739782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4617893A Pending JPH06239671A (en) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | Method for joining zirconia ceramic and metal |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06239671A (en) |
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-
1993
- 1993-02-12 JP JP4617893A patent/JPH06239671A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6869007B2 (en) * | 2001-01-26 | 2005-03-22 | Lucent Technologies Inc. | Oxidation-resistant reactive solders and brazes |
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