JPH06238805A - Transparent plastic molded product - Google Patents

Transparent plastic molded product

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Publication number
JPH06238805A
JPH06238805A JP5053091A JP5309193A JPH06238805A JP H06238805 A JPH06238805 A JP H06238805A JP 5053091 A JP5053091 A JP 5053091A JP 5309193 A JP5309193 A JP 5309193A JP H06238805 A JPH06238805 A JP H06238805A
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JP
Japan
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molded product
film
transparent plastic
plastic molded
polymer
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Application number
JP5053091A
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Japanese (ja)
Inventor
Junichi Okubo
純一 大久保
Akira Harada
明 原田
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JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH06238805A publication Critical patent/JPH06238805A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a transparent plastic molded product excellent in heat resistance and having solvent resistance and low gas permeability by providing a transparent film composed of insulating metal oxide to the single surfaces or both surfaces of a film or sheet of a polymer containing a norbornane ring. CONSTITUTION:A monomer composed of at least one kind of a norbornane derivative or a compsn. consisting of this monomer and a monomer copolymerizable therewith is subjected to ring opening polymerization to obtain a polymer and this polymer is further hydrogenated to obtain a hydrogenated polymer which is, in turn, molded into a film or sheet by extrusion, injection, compression or wet casting to obtain a transparent plastic molded product. Insulating metal oxide is formed on this molded product by a sputtering method using opposed targets. Since a sputting region and a film forming region are separated in the sputtering method, the collision of plasma with the molded product at the time of the formation of a film is eliminated and the damage of accumulated oxide or the temp. rise of the molded product is prevented and an insulating film reduced in internal stress can be formed at low temp.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、透明プラスチック成形
品に関するものであり、特に透明プラスチック成形品の
構成に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transparent plastic molded product, and more particularly to the structure of a transparent plastic molded product.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、透明プラスチック成形品は薄型、
軽量性の点からガラス基板代替として液晶表示素子用基
板、エレクトロルミネッセンス用基板等のディスプレイ
用途や、タッチパネル用基板、面発ヒ−タ−用基板など
各種の用途に利用されてきている。該用途に利用される
透明プラスチック成形品の材料としては、ポリエチレン
テレフタレ−ト、ポリエ−テルサルフォン、ポリアリレ
−ト、ポリカ−ボネ−トなどがある。又,CCDのリッ
ドでは,現在ガラスの薄板が用いられているが,低コス
ト化や作業性の改善のため,プラスチックへの代替が求
められているが,CCDではチップの性能を維持するた
め透水しない事,CCDのケース(セラミック材質)へ
接着する事が要求されている。プラスチックでは,この
透水性や,セラミックスとの接着性に劣るのが問題とな
っている。
2. Description of the Related Art In recent years, transparent plastic molded products are thin,
From the viewpoint of light weight, it has been used as a substitute for a glass substrate for display applications such as substrates for liquid crystal display elements and substrates for electroluminescence, and for various applications such as substrates for touch panels and substrates for surface heaters. Examples of the material of the transparent plastic molded product used for this purpose include polyethylene terephthalate, polyethylene sulfone, polyarylate, polycarbonate and the like. In addition, a thin glass plate is currently used in a CCD lid, but a plastic substitute is required to reduce costs and improve workability. However, in the CCD, water permeability is maintained in order to maintain chip performance. No, it is required to adhere to the CCD case (ceramic material). With plastics, this water permeability and poor adhesion to ceramics pose problems.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの透明
プラスチック成形品をディスプレイ用基板として利用す
る場合、該透明プラスチック成形品表面に透明導電膜を
形成し、該透明導電膜をフォトエッチング法等を用いて
所望の形状パタ−ンに加工する。この加工工程では水、
酸、アルカリ、有機溶剤が使用されるが、前記透明プラ
スチック成形品はこれらの薬品に対し十分な耐性が無
く、膨潤や溶解を起こし実用的に問題がある。
However, when these transparent plastic molded products are used as substrates for displays, a transparent conductive film is formed on the surface of the transparent plastic molded product, and the transparent conductive film is subjected to a photoetching method or the like. It is used to form a desired shape pattern. In this process, water,
Acids, alkalis, and organic solvents are used, but the transparent plastic moldings do not have sufficient resistance to these chemicals and cause swelling or dissolution, which poses a practical problem.

【0004】また、これらの透明プラスチック成形品を
液晶表示素子に利用する場合、ガラス基板を用いた液晶
表示素子に比べガス透過量が非常に大きいため、空気中
のガスや水蒸気が透明プラスチック成形基板を通して侵
入しやすく、外力や急激な温度変化によって蓄積された
ガスが気泡となって発生する問題があった。
Further, when these transparent plastic molded products are used for liquid crystal display devices, the amount of gas permeation is very large as compared with liquid crystal display devices using glass substrates, so gas and water vapor in the air are transparent plastic molded substrates. However, there is a problem that the gas accumulated due to an external force or a sudden temperature change is generated as bubbles.

【0005】そこで、透明プラスチック成形品の耐ガス
透過性を改良するために、透明プラスチック成形品の表
面に低ガス透過性の有機膜を塗布したり、別の有機フィ
ルムを貼り合わせる技術が提案されている。しかし、有
機膜の塗布や別の有機膜を貼り合わせる方法では、成膜
時、貼り合わせ時の気泡混入や不純物混入があり、十分
なガスバリア−性能や液晶表示素子の長期に渡る信頼性
に問題がある。さらに、ガス透過性を改良するための別
の方法として、透明プラスチック成形品表面に無機膜を
形成する方法が提案されているが、成膜時の熱により透
明プラスチック成形品に変形が生じたり、温度変化によ
って透明プラスチック成形品上に形成された無機膜に歪
が生じ十分なガスバリア−効果が得られないという問題
があった。
Therefore, in order to improve the gas permeation resistance of the transparent plastic molded product, a technique has been proposed in which a low gas permeable organic film is applied to the surface of the transparent plastic molded product or another organic film is attached. ing. However, in the method of applying an organic film or bonding another organic film, there is a problem that bubbles are mixed or impurities are mixed at the time of film formation and bonding, which causes a problem in sufficient gas barrier performance and long-term reliability of the liquid crystal display element. There is. Furthermore, as another method for improving gas permeability, a method of forming an inorganic film on the surface of a transparent plastic molded product has been proposed, but deformation of the transparent plastic molded product due to heat during film formation, There has been a problem that the inorganic film formed on the transparent plastic molded product is distorted due to the temperature change and a sufficient gas barrier effect cannot be obtained.

【0006】本発明は、かかる透明プラスチック成形品
の問題点を解決し、耐熱性、耐溶剤性、ガスバリア−性
を向上させた透明プラスチック成形品を提供することを
目的としている。
An object of the present invention is to solve the problems of the transparent plastic molded product and to provide a transparent plastic molded product having improved heat resistance, solvent resistance and gas barrier property.

【0007】[0007]

【問題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、下記式(I)で表される少なくと
も一種のノルボルナン誘導体よりなる単量体もしくはこ
の単量体およびこれと共重合可能な共重合単量体を開環
重合して得られる重合体をさらに水素添加して得られる
水素添加重合体の成形品の表面に、対向タ−ゲット式ス
パッタリング装置を用いて絶縁性金属酸化物を形成して
からなる透明プラスチック成形品を提供するものであ
る。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a monomer consisting of at least one norbornane derivative represented by the following formula (I) or a monomer thereof and a monomer thereof On the surface of a hydrogenated polymer molded product obtained by further hydrogenating a polymer obtained by ring-opening polymerization of a polymerizable copolymerizable monomer, an insulating metal is used by using a facing target type sputtering device. It is intended to provide a transparent plastic molded product formed by forming an oxide.

【0008】[0008]

【化1】[Chemical 1]

【0009】(式中、AおよびBは水素原子なたは炭素
数1〜10の炭化水素基であり、CおよびDは水素原子
または一価の有機基であって、CおよびDの少なくとも
一つは、水素原子および炭化水素基以外の極性を有する
基を有する。)本発明において使用される水素添加重合
体としては、例えば特開平1−240517号公報、特
公昭57−8815号公報に記載されている熱可塑性樹
脂などを挙げることが出来る。
(Wherein A and B are hydrogen atoms or hydrocarbon groups having 1 to 10 carbon atoms, C and D are hydrogen atoms or monovalent organic groups, and at least one of C and D is Has a polar group other than a hydrogen atom and a hydrocarbon group.) The hydrogenated polymer used in the present invention is described, for example, in JP-A-1-240517 and JP-B-57-8815. The thermoplastic resin etc. which are used can be mentioned.

【0010】上記式(I)で表されるテトラシクロドデ
セン誘導体において、A,B,CおよびDのうちに極性
基を含む事が絶縁性金属酸化物との密着性の点から好ま
しい。ここで、この極性基は−(CH2)nCOOR1で
表されるカルボン酸エステル基であることが、得られる
水素添加重合体が高いガラス転移温度を有するものとな
る点でさらに好ましい。特に、このカルボン酸エステル
基よりなる極性置換基は、式(I)のテトラシクロドデ
セン誘導体の高い耐熱性を保持したまま吸湿性を低くで
きる点で好ましい。
In the tetracyclododecene derivative represented by the above formula (I), it is preferable that A, B, C and D contain a polar group from the viewpoint of adhesion to the insulating metal oxide. Here, the polar group is more preferably a carboxylic acid ester group represented by-(CH2) nCOOR1 from the viewpoint that the hydrogenated polymer obtained has a high glass transition temperature. In particular, the polar substituent group composed of this carboxylic acid ester group is preferable in that the hygroscopicity can be lowered while maintaining the high heat resistance of the tetracyclododecene derivative of the formula (I).

【0011】また、−(CH2)nCOOR1で表される
カルボン酸エステル基のうち、nの値が小さいものほ
ど、得られる水素添加重合体のガラス転移温度がさらに
高くなるので好ましい。前記式(I)において、R1は
炭素数1〜20の炭化水素基であるが、炭素数が多くな
るほど得られる水素添加重合体の吸湿性が小さくなる点
では好ましいが、得られる水素添加重合体のガラス転移
温度とのバランスの点から炭素数1〜4の鎖状アルキル
基または炭素数5以上の(多)環状アルキル基である事
が好ましく、特にメチル基、エチル基、シクロヘキシル
基であることが好ましい。さらに、カルボン酸エステル
基が結合した炭素原子に、同時に炭素数1〜10の炭化
水素基が置換基として結合されている式(I)のテトラ
シクロドデセン誘導体は、得られる水素添加重合体のガ
ラス転移温度を低下させずに、吸湿性を低下させるので
好ましい。特に、この置換基がメチル基またはエチル基
である一般式(I)のテトラシクロドデセン誘導体は、
その合成が容易な点で好ましい。
Further, among the carboxylic acid ester groups represented by-(CH2) nCOOR1, those having a smaller value of n are preferable because the glass transition temperature of the hydrogenated polymer obtained becomes higher. In the above formula (I), R1 is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and it is preferable that the number of carbon atoms increases, as the hygroscopic property of the hydrogenated polymer obtained becomes smaller, but the hydrogenated polymer obtained is preferable. From the viewpoint of the balance with the glass transition temperature of, a chain alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a (poly) cyclic alkyl group having 5 or more carbon atoms is preferable, and a methyl group, an ethyl group or a cyclohexyl group is particularly preferable. Is preferred. Furthermore, the tetracyclododecene derivative of the formula (I) in which a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms is simultaneously bonded as a substituent to the carbon atom to which the carboxylic acid ester group is bonded is a hydrogenated polymer to be obtained. It is preferable because it lowers the hygroscopicity without lowering the glass transition temperature. In particular, the tetracyclododecene derivative of the general formula (I) in which this substituent is a methyl group or an ethyl group is
It is preferable because its synthesis is easy.

【0012】本発明において、水素添加重合体は、クロ
ロホルム中、30℃で測定される固有粘度([η]in
h)が0.3〜1.5dl/gの範囲であることが好ま
しい。また、本発明において、水素添加重合体は、充分
な強度を得るために、重量平均分子量は通常5000〜
100万、好ましくは8000〜20万である。 ま
た、水素添加重合体の水素添加率は、60MHz、 1
−NMRで測定した値が50%以上、好ましくは90%
以上、さらに好ましくは98%以上である。水素添加率
が高いほど、熱や光に対する安定性が優れたものとな
る。なお、本発明において使用される水素添加重合体
は、該水素添加重合体に含まれるゲル含有量が5重量%
以下であることが好ましく、さらに1重量%以下である
ことが好ましい。
In the present invention, the hydrogenated polymer has an intrinsic viscosity ([η] in) measured at 30 ° C. in chloroform.
h) is preferably in the range of 0.3 to 1.5 dl / g. Further, in the present invention, the hydrogenated polymer generally has a weight average molecular weight of 5,000 to obtain sufficient strength.
It is 1,000,000, preferably 8,000 to 200,000. The hydrogenation rate of the hydrogenated polymer is 60 MHz, 1 H
-The value measured by NMR is 50% or more, preferably 90%
Or more, more preferably 98% or more. The higher the hydrogenation rate, the better the stability to heat and light. The hydrogenated polymer used in the present invention has a gel content of 5% by weight contained in the hydrogenated polymer.
It is preferably not more than 1% by weight, more preferably not more than 1% by weight.

【0013】本発明において使用される水素添加重合体
には、必要に応じて他の熱可塑性樹脂を配合することも
できる。上記水素添加重合体には、安定剤、酸化防止
剤、滑剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、蛍光増白剤、可
塑剤、離型剤などの添加剤や、石英ファイバ−、ガラス
ファイバ−、芳香族ポリアミド繊維、高強度高弾性ポリ
エチレン繊維などの補強材を配合することもできる。
If necessary, the thermoplastic polymer used in the present invention may be blended with other thermoplastic resins. The hydrogenated polymer includes stabilizers, antioxidants, lubricants, antistatic agents, ultraviolet absorbers, optical brighteners, plasticizers, additives such as release agents, quartz fibers, glass fibers, and Reinforcing materials such as aromatic polyamide fibers and high-strength and high-elasticity polyethylene fibers can also be blended.

【0014】本発明透明プラスチック成形品は上記水素
添加重合体を押出し、射出、圧縮、湿式キャストなどの
公知の方法によってフィルムやシ−トに成形した透明プ
ラスチック成形体(以下単に「成形体」という)上に、
対向タ−ゲットを用いたスパッタリング法を用いて絶縁
性金属酸化物を形成したものである。本発明において、
この成形体は用途によって選択すれば良いが、ガラス基
板代替用途として使用する場合には、通常厚さ0.01
〜10mmのフィルムまたはシ−ト状に成形される。
The transparent plastic molded product of the present invention is a transparent plastic molded product (hereinafter simply referred to as "molded product") obtained by extruding the above hydrogenated polymer and molding it into a film or sheet by a known method such as injection, compression or wet casting. )above,
The insulating metal oxide is formed by the sputtering method using a facing target. In the present invention,
This molded product may be selected depending on the application, but when it is used as a substitute for a glass substrate, it usually has a thickness of 0.01.
It is formed into a film or sheet having a thickness of 10 mm.

【0015】本発明における絶縁性金属酸化膜(以下単
に「絶縁物」という)は,体積抵抗率が109オームメ
ートル以上であって,例えば酸化アルミニウム、酸化イ
ンジウムなどの第IIIA族の酸化物、酸化ニオブ、酸
化タンタルなどの第VB族の酸化物,酸化シリコンおよ
びこれら酸化物の混合物を挙げるることができる。この
うち、酸化アルミニウム、酸化タンタルが好ましい。
The insulating metal oxide film (hereinafter simply referred to as "insulator") of the present invention has a volume resistivity of 10 9 ohm meters or more, and is made of a Group IIIA oxide such as aluminum oxide or indium oxide. Mention may be made of Group VB oxides such as niobium oxide, tantalum oxide, silicon oxide and mixtures of these oxides. Of these, aluminum oxide and tantalum oxide are preferable.

【0016】本発明において、前記絶縁膜の厚みは、耐
薬品性やガスバリア−性の点から200〜4000オン
グストロ−ムが好ましく、さらに好ましくは500〜2
000オングストロ−ムである。絶縁膜の形成には、対
向タ−ゲットを用いたスパッタリング装置(以下単に
「スパッタリング装置」という)が好適である。該スパ
ッタリング装置は、タ−ゲット電極が一対のタ−ゲット
を互いに隔てて平行に対向配置されており、タ−ゲット
のスパッタ領域と成膜領域が完全に分離されている。両
タ−ゲットは、直流電源および高周波電源に接続され、
電源を切り換えることによって直流スパッタリング、高
周波スパッタリングのいずれかを選択することが可能で
ある。
In the present invention, the thickness of the insulating film is preferably 200 to 4000 angstroms, more preferably 500 to 2 angstroms, from the viewpoint of chemical resistance and gas barrier property.
000 angstroms. A sputtering device using a facing target (hereinafter simply referred to as "sputtering device") is suitable for forming the insulating film. In the sputtering apparatus, the target electrodes are arranged in parallel to each other with a pair of targets separated from each other, and the sputtering region and the film forming region of the target are completely separated. Both targets are connected to DC power supply and high frequency power supply,
Either DC sputtering or high frequency sputtering can be selected by switching the power source.

【0017】上記対向タ−ゲットを用いたスパッタリン
グ装置では、前記タ−ゲット間にはプラズマ収束磁界が
形成される。タ−ゲットから放出されたγ電子は、前記
プラズマ収束磁界によりタ−ゲット間の空間に閉じ込め
られ、磁界に束縛されながら対向するタ−ゲット間を往
復運動する。この間に、γ電子は装置内に導入されてい
るアルゴンガス(スパッタガス)と衝突し、アルゴンイ
オンと電子を生成させ、さらにタ−ゲットからのγ電子
の放出とアルゴンガスのイオン化を促進させる。この結
果タ−ゲット間には高密度のプラズマが生成され、この
プラズマにより前記タ−ゲットがスパッタリングされ
る。 スパッタリングされた粒子(スパッタ金属粒子)
は、スパッタリング装置内に酸素ガス導入系から導入さ
れた酸素ガスと反応し、上記成形体表面に堆積してい
く。
In the sputtering device using the facing target, a plasma converging magnetic field is formed between the targets. The γ-electrons emitted from the target are confined in the space between the targets by the plasma converging magnetic field and reciprocate between the opposing targets while being bound by the magnetic field. During this time, the γ-electrons collide with the argon gas (sputtering gas) introduced into the apparatus to generate argon ions and electrons, and further accelerate the emission of γ-electrons from the target and the ionization of the argon gas. As a result, a high density plasma is generated between the targets, and the target is sputtered by the plasma. Sputtered particles (sputtered metal particles)
Reacts with the oxygen gas introduced from the oxygen gas introduction system into the sputtering apparatus and accumulates on the surface of the molded body.

【0018】本発明による上記スパッタリング法では、
スパッタ領域と成膜領域が分離されているため、成膜時
に成形体へのプラズマ衝突飛来が無く、堆積した酸化物
の損傷や成形体の温度上昇を防ぐことができ、低い温度
で内部応力の少ない絶縁膜を形成することができる。
In the above sputtering method according to the present invention,
Since the sputter region and the film formation region are separated, plasma collision does not fly to the compact during film formation, damage to the deposited oxide and temperature rise of the compact can be prevented, and internal stress at low temperatures can be prevented. A small amount of insulating film can be formed.

【0019】[0019]

【作用】本発明では、成形体材料にノルボルナン環を含
む重合体を利用するため耐熱性に優れており、さらに該
成形体表面にスパッタリング装置で絶縁膜を形成するた
め、溶剤、ガス透過に対し優れたバリア−性能を有する
透明プラスチック成形品が提供できる。
In the present invention, since a polymer containing a norbornane ring is used as a molding material, it has excellent heat resistance. Further, since an insulating film is formed on the surface of the molding with a sputtering device, it is resistant to solvent and gas permeation. A transparent plastic molded product having excellent barrier performance can be provided.

【0020】[0020]

【実施例】以下、実施例にもとずいて本発明を詳細に説
明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものでは
ない。なお、実施例中、部および%は、特に断らないか
ぎり重量基準である。また、実施例中の各種の測定は、
次の通りである。
EXAMPLES The present invention is described in detail below based on examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the examples, parts and% are based on weight unless otherwise specified. Also, various measurements in the examples,
It is as follows.

【0021】参考例1 8−メチル−8−メトキシカルボニルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17 ,10]ドデカ−3−エン10
0g、1,2−ジメトキシエタン60g、シクロヘキサ
ン240g、1−ヘキセン25g、およびジメチルアル
ミニウムクロライド0.96モル/リットルのトルエン
溶液3.4mlを、内容積1リットルのオ−トクレ−ブ
に加えた。
Reference Example 1 8-Methyl-8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7 , 10, ] dodeca-3-en 10
0 g, 1,2-dimethoxyethane (60 g), cyclohexane (240 g), 1-hexene (25 g), and dimethylaluminum chloride (0.96 mol / l) in a toluene solution (3.4 ml) were added to an autoclave having an internal volume of 1 liter.

【0022】一方、別のフラスコに六塩化タングステン
の0.05モル/リットルの1,2−ジメトキシエタン
溶液20ミリリットルとパラアルデヒドの0.1モル/
リットルの1,2−ジメトキシエタン溶液10ミリリッ
トルを混合した。この混合溶液4.9ミリリットルを前
記オ−トクレ−ブ中の混合物に添加した。密栓後、混合
物を80℃に加熱して3時間攪拌をおこなった。得られ
た重合体溶液に、1,2−ジメトキシエタンとシクロヘ
キサンの2/8(重量比)の混合溶媒を加えて重合体/
溶媒が1/10(重量比)にしたのち、トリエタノ−ル
アミン20gを加えて10分間攪拌した。この重合溶液
に、メタノ−ル500gを加えて30分間攪拌して静置
した。2層に分離した上層を除き、再びメタノ−ルを加
えて攪拌、静置後、上層を除いた。同様の操作をさらに
2回行い、得られた下層をシクロヘキサン、1,2−ジ
メトキシエタンで適宜希釈し、重合体濃度が10%のシ
クロヘキサン−1,2−ジメトキシエタン溶液を得た。
On the other hand, in another flask, 20 ml of a 1,2-dimethoxyethane solution containing 0.05 mol / l of tungsten hexachloride and 0.1 mol / l of paraaldehyde are added.
Ten milliliters of 1,2-dimethoxyethane solution were mixed. 4.9 ml of this mixed solution was added to the mixture in the autoclave. After sealing, the mixture was heated to 80 ° C. and stirred for 3 hours. To the obtained polymer solution was added a mixed solvent of 1,2-dimethoxyethane and cyclohexane in a ratio of 2/8 (weight ratio) to obtain a polymer /
After the solvent was adjusted to 1/10 (weight ratio), 20 g of triethanolamine was added and stirred for 10 minutes. To this polymerization solution, 500 g of methanol was added, stirred for 30 minutes and allowed to stand. The upper layer separated into two layers was removed, methanol was added again, the mixture was stirred and left standing, and then the upper layer was removed. The same operation was repeated twice, and the obtained lower layer was appropriately diluted with cyclohexane and 1,2-dimethoxyethane to obtain a cyclohexane-1,2-dimethoxyethane solution having a polymer concentration of 10%.

【0023】この溶液に20gのパラジウム/シリカマ
グネシア[日揮化学(株)製、パラジウム量=5%]の
水添触媒を加えて、オ−トクレ−ブ中で水素圧40kg
/cm2として165℃で4時間反応させたのち、水添
触媒をろ過によって取り除き、水添重合体溶液を得た。
また、この水添重合体溶液に、酸化防止剤であるペンタ
エリスリチル−テトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブ
チル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネ−ト]を、
水添重合体に対して0.1%加えてから、380℃で減
圧下に脱溶媒をおこなった。次いで、溶融した樹脂を、
チッ素雰囲気下で押し出し機によりペレット化し、固有
粘度0.5デシリットル/g(30℃、クロロホルム
中)、水添率99.5%、ガラス転移温度168℃の水
添重合体を得た。
To this solution was added 20 g of palladium / silica magnesia [manufactured by JGC Chemical Co., Ltd., amount of palladium = 5%] hydrogenation catalyst, and hydrogen pressure was 40 kg in an autoclave.
/ Cm 2 after 4 hours of reaction at 165 ° C. as the hydrogenation catalyst was removed by filtration to obtain a hydrogenated polymer solution.
Further, pentaerythrityl-tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], which is an antioxidant, was added to the hydrogenated polymer solution.
After adding 0.1% to the hydrogenated polymer, the solvent was removed at 380 ° C. under reduced pressure. Then, the molten resin,
It was pelletized by an extruder in a nitrogen atmosphere to obtain a hydrogenated polymer having an intrinsic viscosity of 0.5 deciliter / g (30 ° C., in chloroform), a hydrogenation rate of 99.5%, and a glass transition temperature of 168 ° C.

【0024】[0024]

【実施例1】参考例1で得られた水素添加重合体のペレ
ットを原料として縦200mm、横200mm、厚さ
0.1mmのフィルム状の成形体を作製した。得られた
成形体上に、対向タ−ゲット式スパッタリング装置(大
阪真空(株)製)を用いた直流反応性スパッタリング法
により酸化アルミニウムを成膜した。成形体表面は絶縁
膜形成前に、表面の吸着物を除去するためにアルゴンエ
ッチングをおこなった。酸化アルミニウムの製作には、
タ−ゲット間隔140mm、基板とタ−ゲット中心の距
離130mmからなる対向タ−ゲット式スパッタ装置を
用い、タ−ゲット材としてサイズ100φ×5mmt、
4Nアップのアルミニウムを用い、排気圧力5×10-4
Pa、導入アルゴン圧力0.23Pa、導入酸素分圧
5.8×10-3Pa、スパッタリング電力0.1KWの
条件で、成形体の一方の表面に厚さ1500オングスト
ロ−ムの酸化アルミニウムを製作した。引き続き同様の
条件で成形体のもう一方の表面に厚さ1500オングス
トロ−ムの酸化アルミニウムを製作した。スパッタリン
グ時に導入する酸素ガスは、絶縁膜の酸化度の向上及び
金属タ−ゲットの酸化を防止するために、スパッタリン
グ装置内の成膜領域側に配置した。
Example 1 Using the pellets of the hydrogenated polymer obtained in Reference Example 1 as a raw material, a film-shaped molded product having a length of 200 mm, a width of 200 mm and a thickness of 0.1 mm was produced. An aluminum oxide film was formed on the obtained molded body by a direct current reactive sputtering method using a facing target type sputtering apparatus (manufactured by Osaka Vacuum Co., Ltd.). Before forming an insulating film, the surface of the molded body was subjected to argon etching to remove adsorbed substances on the surface. To make aluminum oxide,
Using a facing target type sputtering apparatus having a target interval of 140 mm and a distance between the center of the substrate and the center of the target of 130 mm, a target material of size 100φ × 5 mmt,
Exhaust pressure 5 × 10 -4 using 4N up aluminum
Under the conditions of Pa, introduced argon pressure 0.23 Pa, introduced oxygen partial pressure 5.8 × 10 −3 Pa and sputtering power 0.1 KW, aluminum oxide having a thickness of 1500 angstrom was produced on one surface of the compact. . Then, under the same conditions, aluminum oxide having a thickness of 1500 angstrom was formed on the other surface of the molded body. The oxygen gas introduced at the time of sputtering was arranged on the film formation region side in the sputtering apparatus in order to improve the oxidation degree of the insulating film and prevent the metal target from being oxidized.

【0025】本実施例の成形品の耐溶剤性について、第
1表に示す有機溶剤に温度25℃、1時間の浸漬を行い
試験をした。併せて比較のため絶縁膜のない成形体の耐
溶剤性について同様の試験をした。結果を第1表に示
す。同表より明らかなように、本実施例の絶縁膜を設け
た成形品は、成形体単体では下記の溶剤浸漬で溶解して
しまうのに対して非常に優れた耐溶剤性を有している。
The solvent resistance of the molded article of this example was tested by immersing it in the organic solvent shown in Table 1 at a temperature of 25 ° C. for 1 hour. For comparison, the same test was performed on the solvent resistance of the molded product having no insulating film. The results are shown in Table 1. As is clear from the table, the molded article provided with the insulating film of the present example has a very excellent solvent resistance against dissolution by the following solvent immersion in the molded body alone. .

【0026】[0026]

【表1】 [Table 1]

【0027】また、上記成形品の酸素ガス透過度の試験
を行い、併せて成形体の酸素ガス透過係数を試験した結
果、成形体単体では1.5×10-10(cm3・cm/c
2・sec・cmHg)であったが、本実施例の酸化
物を設けた成形品では3.5×10-13(cm3・cm/
cm2・sec・cmHg)であり、成形体に比較して
非常に優れたガスバリア−性を有している。
Further, the oxygen gas permeability of the above-mentioned molded product was tested, and the oxygen gas permeability coefficient of the molded product was also tested. As a result, the molded product alone was 1.5 × 10 −10 (cm 3 · cm / c).
m 2 · sec · cmHg), but in the molded article provided with the oxide of this example, 3.5 × 10 −13 (cm 3 · cm /
cm 2 · sec · cmHg), and has a very excellent gas barrier property as compared with the molded product.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明によれば、耐熱性に優れ、耐溶剤
性、低ガス透過度の透明プラスチック成形品を得ること
が出来る。
According to the present invention, a transparent plastic molded article having excellent heat resistance, solvent resistance and low gas permeability can be obtained.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ノルボルナン環を含む重合体のフィルム
またはシ−トの片面もしくは両面に絶縁性金属酸化物か
らなる透明膜を設けたことを特徴とする透明プラスチッ
ク成形品。
1. A transparent plastic molded product comprising a film of a polymer containing a norbornane ring or a sheet, and a transparent film made of an insulating metal oxide provided on one or both sides of the sheet.
【請求項2】上記絶縁性金属酸化物を、対向タ−ゲット
を用いたスパッタリング法で形成した事を特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の透明プラスチック成形品。
2. The transparent plastic molded product according to claim 1, wherein the insulating metal oxide is formed by a sputtering method using a facing target.
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