JPH06232106A - Hydro-extraction cleaning agent and cleaning - Google Patents

Hydro-extraction cleaning agent and cleaning

Info

Publication number
JPH06232106A
JPH06232106A JP3757993A JP3757993A JPH06232106A JP H06232106 A JPH06232106 A JP H06232106A JP 3757993 A JP3757993 A JP 3757993A JP 3757993 A JP3757993 A JP 3757993A JP H06232106 A JPH06232106 A JP H06232106A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
cleaning
isopropyl alcohol
methylene chloride
solvent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3757993A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriaki Otani
徳明 大谷
Takuji Ikeda
拓児 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel and Sumikin Electronics Devices Inc
Original Assignee
Sumitomo Metal Ceramics Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Ceramics Inc filed Critical Sumitomo Metal Ceramics Inc
Priority to JP3757993A priority Critical patent/JPH06232106A/en
Publication of JPH06232106A publication Critical patent/JPH06232106A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a hydro-extraction cleaning agent, which possesses both properties of a cleaning property and a water substitution property, increases the separating (hydro-extracting) speed of water, which adheres to the surface of a ceramic work when the work is cleaned, and is capable of avoiding N possibility of the generation of a 'water stain' and a method of cleaning the ceramic work. CONSTITUTION:A hydro-extraction cleaning agent is a mixed solvent containing a methylene chloride and an isopropyl alcohol and the mixed solvent is constituted of the methylene chloride and the isopropyl alcohol in such a way that the methylene chloride and the isopropyl alcohol are mixed at a ratio (weight ratio) of 95:5 to 65:35.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、水切り洗浄剤と洗浄方
法に係り、より詳細には、洗浄性と水置換性の両性質を
保有し、電子部品用セラミックの加工物の水洗浄をした
際、該加工物表面に付着する水の分離(水切り)スピー
ドを速くし、『水シミ』の発生のおそれを回避できる水
切り洗浄剤と洗浄方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dewatering detergent and a washing method, and more specifically, it has both of detergency and water repellency and is used for washing a processed ceramic article for electronic parts with water. In this case, the present invention relates to a draining detergent and a washing method which can increase the speed of separating (draining) water adhering to the surface of the processed product and avoid the possibility of "water stain".

【0002】[0002]

【従来の技術】セラミックの加工物は、機械的加工をし
た際に小塵埃や切り屑等が付着する。そして、これらの
小塵埃や切り屑等の付着物を放置した状態で、該加工物
に配線、ICチップその他を実装した場合、該実装品が
正常に作動しなかったりして、品質の低下を招くことに
なる。
2. Description of the Related Art A ceramic work piece has small dust and chips attached thereto when it is mechanically processed. When wirings, IC chips, and the like are mounted on the processed product while leaving the attached substances such as small dust and chips left, the mounted product may not operate normally, resulting in deterioration of quality. Will be invited.

【0003】そこで、該加工物は、水による粗洗浄を行
った後、該水中に含まれる極小塵埃を除去すると共に、
該水による『シミ』の発生を防止するために、該塩素系
溶剤やアルコール系溶剤で、水置換・洗浄(水切り洗
浄)し、該洗浄後、蒸気あるいは温風乾燥を行い、上記
付着物を除去するようにされている。ところで、該水切
り洗浄には、水置換性が良い、蒸発し易い、不燃
性である、との3つの観点より、塩素系溶剤であるフロ
ン溶剤に表面活性剤を添加した溶剤が用いられている。
Therefore, the processed product is subjected to rough cleaning with water, and thereafter, extremely small dust contained in the water is removed, and at the same time,
In order to prevent the generation of "spots" due to the water, the chlorine-based solvent or the alcohol-based solvent is used for water replacement / washing (draining washing), and after the washing, steam or warm air drying is performed to remove the above-mentioned deposits. It is supposed to be removed. By the way, a solvent obtained by adding a surface active agent to a Freon solvent, which is a chlorine-based solvent, is used in the drainage cleaning from the three viewpoints of good water displacement, easy evaporation, and nonflammability. .

【0004】ところで、上述したフロン溶剤を主剤とし
た水切り洗浄剤は、環境汚染規制により、その使用の規
制が厳しくなっている。そこで、近年、該フロン溶剤に
変わる水切り洗浄剤として、アルコール系溶剤のイソプ
ロピルアルコールを主剤とした溶剤や、塩素系溶剤のメ
チレンクロライドを主剤とした溶剤が提案されている。
By the way, the use of the above-mentioned water-draining detergent containing a CFC solvent as a main component is strictly regulated due to environmental pollution regulations. Therefore, in recent years, as a draining detergent replacing the CFC solvent, a solvent containing isopropyl alcohol, which is an alcohol-based solvent, or a solvent containing methylene chloride, which is a chlorine-based solvent, has been proposed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、イソプロピル
アルコールを主剤とした溶剤の場合には、 イソプロピルアルコールが可燃性であるので、防爆
設備を必要とし、その設備が大掛かりになると共に、該
設備費が高価になる。 フロン溶剤等の塩素系溶剤に比べて、その洗浄力が
劣る。 等の課題があり、またメチレンククロライドを主剤とし
た溶剤の場合は、 水置換性が劣る。 水置換(水切り)スピードが遅いため、水に含まれ
る微小塵埃の凝集である『水シミ』が加工物表面に残存
し易い。 等の課題がある。
However, in the case of a solvent containing isopropyl alcohol as a main ingredient, isopropyl alcohol is flammable, so explosion-proof equipment is required, and the equipment becomes large-scale and the equipment cost is high. Get expensive. Its cleaning power is inferior to chlorine-based solvents such as CFCs. However, in the case of a solvent containing methylene chloride as a main component, the water substitution property is poor. Since the water replacement (drainage) speed is slow, "water stains", which are agglomerations of minute dust contained in water, tend to remain on the surface of the workpiece. There are issues such as.

【0006】そこで、本発明者は、加工物の表面に付着
する水中の微小塵埃を洗浄すると共に、水置換をする洗
浄剤としては、洗浄性、水置換性の両性質を保有
し、かつ防爆設備等の付属設備を必要としない溶剤であ
ることが条件という観点に立脚し、種々の溶剤につい
て、試験を行った処、表1に示すような結果を得た。
Therefore, the inventor of the present invention cleans minute dust in water adhering to the surface of a workpiece and, as a cleaning agent for water replacement, possesses both detergency and water replacement properties and is explosion-proof. Based on the condition that the solvent does not require auxiliary equipment such as equipment, various solvents were tested, and the results shown in Table 1 were obtained.

【0007】[0007]

【表1】 [Table 1]

【0008】そして、この結果より、塩素系溶剤として
のメチレンクロライドとアルコール系溶剤としてのイソ
プロピルアルコールとの混合溶剤とした場合、その相乗
的作用でもって、その洗浄力を良好にすることができる
と共に、水置換性を良好にし、その混合割合によって、
防爆設備等の問題が解消できることが究明できた。
From these results, when a mixed solvent of methylene chloride as a chlorine-based solvent and isopropyl alcohol as an alcohol-based solvent is used, its detergency can be improved by its synergistic action. , Good water displacement, depending on the mixing ratio,
It has been clarified that problems such as explosion-proof equipment can be resolved.

【0009】本発明は、以上のような課題に対処して創
作したものであって、その目的とする処は、洗浄性と水
置換性の両性質を保有し、セラミックの加工物の洗浄を
した際、該加工物表面に付着する水の分離(水切り)ス
ピードを速くし、『水シミ』の発生のおそれを回避でき
る水切り洗浄剤と洗浄方法を提供することにある。
The present invention has been made in response to the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to have both the cleaning property and the water displacing property and to clean a ceramic workpiece. In doing so, it is an object of the present invention to provide a water-drainage cleaning agent and a cleaning method that can increase the speed of separating (water-draining) water that adheres to the surface of the processed product and avoid the risk of "water stains".

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】そして、上記目的を達成
するための手段としての本発明の水切り洗浄剤は、メチ
レンクロライドと、イソプロピルアルコールを含有した
混合溶剤で、該メチレンクロライドとイソプロピルアル
コールを、95:5〜65:35の割合(重量比)で混
合した構成よりなる。
Means for Solving the Problems And, as a means for achieving the above object, a draining detergent of the present invention is a mixed solvent containing methylene chloride and isopropyl alcohol, wherein the methylene chloride and isopropyl alcohol are It is composed of a mixture of 95: 5 to 65:35 (weight ratio).

【0011】また、本発明の洗浄方法は、セラミック基
板の加工物の洗浄方法において、該加工物をメチレンク
ロライドとイソプロピルアルコールを、95:5〜6
5:35の割合(重量比)で混合した混合溶剤で水切り
洗浄した後、該加工物を塩素系溶剤で洗浄する構成より
なる。
The cleaning method of the present invention is the same as the method for cleaning a ceramic substrate workpiece, wherein the workpiece is treated with methylene chloride and isopropyl alcohol at 95: 5-6.
It comprises a constitution in which after draining and washing with a mixed solvent mixed at a ratio of 5:35 (weight ratio), the processed product is washed with a chlorine-based solvent.

【0012】[0012]

【作用】本発明の水切り洗浄剤は、洗浄性に優れている
塩素系溶剤であるメチレンクロライドと、水置換性に優
れているアルコール系溶剤であるイソプロピルアルコー
ルを混合した溶剤であるため、両溶剤が相乗的に作用
し、加工物の表面に付着する水の置換と、該水に含まれ
る微小塵埃の洗浄を効率的に行える。また、メチレンク
ロライドとイソプロピルアルコールとの配合比率を、9
5:5〜65:35としているので、該イソプロピルア
ルコールによる引火のおそれがなく、またメチレンクロ
ライドの洗浄力を保持させた状態で、水切りスピードを
良好にすることができ、加工物表面への『水シミ』の発
生を防止できる。
The draining detergent of the present invention is a mixture of methylene chloride, which is a chlorine-based solvent having excellent detergency, and isopropyl alcohol, which is an alcohol-based solvent having excellent water-displaceability, and therefore both solvents are used. Act synergistically to efficiently replace the water adhering to the surface of the workpiece and wash the fine dust contained in the water. In addition, the mixing ratio of methylene chloride and isopropyl alcohol is 9
Since it is set to 5: 5 to 65:35, there is no risk of ignition by the isopropyl alcohol, and the water draining speed can be made good while maintaining the detergency of the methylene chloride. Water stains can be prevented.

【0013】また、本発明の洗浄方法は、予め水洗浄し
た加工物を、先に、メチレンクロライドとイソプロピル
アルコールを、95:5〜65:35の割合(重量比)
で混合した混合溶剤で洗浄し、該加工物表面の洗浄と水
切り(置換)を行った後、塩素系溶剤に接触して、上記
イソプロピルアルコールを該塩素系溶剤に置換すると共
に、洗浄するようにしているので、水切りスピードを良
好にすると共に、洗浄性能を良好にし、かつ蒸気乾燥や
温風乾燥による溶剤の除去を、安全に行うことができ
る。
Further, in the cleaning method of the present invention, the processed product which has been previously washed with water is added with methylene chloride and isopropyl alcohol in a ratio of 95: 5 to 65:35 (weight ratio).
After washing with a mixed solvent mixed with the above, washing and draining (replacement) of the surface of the processed product, contact with a chlorine-based solvent to replace the isopropyl alcohol with the chlorine-based solvent and perform cleaning. Therefore, it is possible to improve the draining speed, improve the cleaning performance, and safely remove the solvent by steam drying or warm air drying.

【0014】[0014]

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。ここに、図1は、本発明
の洗浄方法を示す洗浄工程図、図2は、本発明の水切り
洗浄剤と水切りスピードとの関係を説明するためのグラ
フである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, FIG. 1 is a cleaning process diagram showing the cleaning method of the present invention, and FIG. 2 is a graph for explaining the relationship between the draining detergent of the present invention and the draining speed.

【0015】本実施例の水切り洗浄剤は、塩素系溶剤と
してのメチレンクロライドと、アルコール系溶剤として
のイソプロピルアルコールを含有した混合溶剤である。
ここで、該メチレンクロライドとイソプロピルアルコー
ルの混合割合は、重量比(重量%)で、95:5〜6
5:35としている。
The drain-cleaning agent of this embodiment is a mixed solvent containing methylene chloride as a chlorine-based solvent and isopropyl alcohol as an alcohol-based solvent.
Here, the mixing ratio of the methylene chloride and isopropyl alcohol is 95: 5-6 by weight ratio (% by weight).
It is set to 5:35.

【0016】そして、本実施例の水切り洗浄剤は、塩素
系溶剤のメチレンクロライドの欠点である水置換力の劣
る点を、アルコール系溶剤のイソプロピルアルコールを
添加することで、洗浄性と水置換性の両性能を保有させ
ている。
The drainage cleaning agent of the present embodiment has a drawback of the methylene chloride, which is a chlorine-based solvent, that is inferior in water-displacing power. It has both performances.

【0017】ところで、上記イソプロピルアルコール
は、可燃性のあるアルコール系溶剤であって、水置換性
を有することが知られている。そこで、上記メチレンク
ロライドにイソプロピルアルコールを添加し、該メチレ
ンクロライドの洗浄性を低下させることなく、かつ水置
換性を保持させている。しかし、該イソプロピルアルコ
ールは、可燃性溶剤であるため、引火しない領域とし
て、メチレンクロライドにイソプロピルアルコールを、
95:5〜65:35の割合(重量比)で混合してい
る。この混合割合は、イソプロピルアルコールの濃度
が40%(50℃)を越えた段階で引火点が存在するこ
と、水切りスピードが良好であること、に対処したも
のである。
By the way, it is known that the isopropyl alcohol is a flammable alcohol solvent and has water-displaceability. Therefore, isopropyl alcohol is added to the methylene chloride to maintain the water-displacing property without deteriorating the cleaning property of the methylene chloride. However, since this isopropyl alcohol is a flammable solvent, isopropyl alcohol is added to methylene chloride as a non-flammable region.
They are mixed at a ratio (weight ratio) of 95: 5 to 65:35. This mixing ratio takes into consideration that the flash point exists when the concentration of isopropyl alcohol exceeds 40% (50 ° C.) and that the drainage speed is good.

【0018】ここで、メチレンクロライドにイソプロピ
ルアルコールを、95:5〜65:35の割合(重量
比)で混合したのは、メチレンクロライド中のイソプロ
ピルアルコール濃度が、35%〜5%の範囲内の場合
は、該混合溶剤に浸漬(接触)後、30秒〜120秒程
度で加工物の水切りができたのに対して、該濃度が、3
5%を越えても、水切りスピードが大きく向上しなく、
却って、防爆設備を考慮する必要が発生すること、また
該イソプロピルアルコール濃度が、5%未満の場合は、
水切りスピードが遅くなり、『水シミ』が残存するおそ
れがあることに対処したものである。
Here, isopropyl alcohol was mixed with methylene chloride at a ratio (weight ratio) of 95: 5 to 65:35, because the concentration of isopropyl alcohol in methylene chloride was within the range of 35% to 5%. In this case, after the immersion (contact) in the mixed solvent, the processed product was drained in about 30 to 120 seconds, while the concentration was 3%.
Even if it exceeds 5%, the draining speed does not greatly improve,
On the contrary, if it is necessary to consider explosion-proof equipment, and if the isopropyl alcohol concentration is less than 5%,
This is a solution to the fact that the draining speed becomes slow and "water stains" may remain.

【0019】次に、本実施例の加工物の洗浄方法は、上
述した水切り洗浄剤を用いたセラミック基板の洗浄方法
であって、概略すると、水洗浄工程、水切り洗浄
(水置換)工程、洗浄工程、溶剤除去(乾燥)工
程、の4つの工程を経て洗浄を行う構成よりなる。
Next, the method for cleaning the workpiece of the present embodiment is a method for cleaning a ceramic substrate using the above-mentioned water-draining cleaning agent, and it will be roughly described. Water-cleaning step, water-draining cleaning (water replacement) step, cleaning The cleaning process is performed through four steps including a process and a solvent removal (drying) process.

【0020】−水洗浄工程− 本工程は、セラミック基板を温水タンク(水タンク)に
浸漬、もしくは該セラミック基板に温水(水)をスプレ
ーでもって吹きつけ、該セラミック基板に付着する小塵
埃や切り屑等の付着物を洗浄・除去する工程である。な
お、本工程の予備工程として、必要に応じて、空気洗浄
を行うようにし、また水洗浄した後、放置して水切りを
行う。
-Water Washing Step-In this step, the ceramic substrate is immersed in a hot water tank (water tank), or hot water (water) is sprayed onto the ceramic substrate to spray small dust or dust on the ceramic substrate. This is a process of cleaning and removing deposits such as dust. In addition, as a preliminary step of this step, if necessary, air cleaning may be performed, and after water cleaning, it is left to drain water.

【0021】−水切り洗浄(水置換)工程− 本工程は、水洗浄工程において、セラミック基板に付着
した洗浄水を水切り洗浄する工程である。すなわち、水
洗浄工程においては、洗浄水によって付着物が除去され
るものの、該洗浄水自体に、微小塵埃が含まれていて、
該微小塵埃がセラミック基板に残存した状態にあると、
その凝集によって『水シミ』の原因となる。そこで、上
述した水切り洗浄剤であるメチレンクロライドとイソプ
ロピルアルコールを、95:5〜65:35の割合(重
量比)で混合した混合溶剤で水切り洗浄を行っている。
-Draining and Washing (Water Replacement) Step-This step is a step of draining and washing the washing water adhering to the ceramic substrate in the water washing step. That is, in the water washing step, although the adhering matter is removed by the washing water, the washing water itself contains fine dust,
When the minute dust remains on the ceramic substrate,
The aggregation causes "water stains". Therefore, the water drain cleaning is performed with a mixed solvent prepared by mixing the above-mentioned water drain cleaning agent methylene chloride and isopropyl alcohol in a ratio (weight ratio) of 95: 5 to 65:35.

【0022】水切り洗浄は、上記混合溶剤を入れたタン
クにセラミック基板を浸漬し、かつ超音波洗浄を行って
いる。ここで、該混合溶剤としては、通常、メチレンク
ロライド:90重量%、イソプロピルアルコール:10
重量%の割合の溶剤を用い、二以上のタンクで処理を行
っている。そして、本工程によって、セラミック基板に
付着している水粒子が離脱し、イソプロピルアルコール
に置換されると共に、メチレンクロライドとイソプロピ
ルアルコールによって洗浄される。
In the drainage cleaning, the ceramic substrate is immersed in a tank containing the mixed solvent and ultrasonic cleaning is performed. Here, the mixed solvent is usually methylene chloride: 90% by weight, isopropyl alcohol: 10
Processing is performed in two or more tanks using a solvent in a weight percentage. Then, in this step, the water particles adhering to the ceramic substrate are detached, replaced with isopropyl alcohol, and washed with methylene chloride and isopropyl alcohol.

【0023】−洗浄工程− 本工程は、水切り洗浄工程で用いたメチレンクロライド
とイソプロピルアルコールの混合溶剤中のイソプロピル
アルコールをメチレンクロライド(塩素系溶剤)に置換
する工程である。本工程では、洗浄作用の優れたメチレ
ンクロライド:100%(必要に応じて、界面活性剤を
添加)を洗浄剤として用い、前工程で水置換(水切り)
されているセラミック基板の洗浄を行うと共に、次工程
の溶剤除去工程で熱処理をするため、可燃性のイソプロ
ピルアルコールの残存を回避するようにしている。
-Washing Step-This step is a step of replacing isopropyl alcohol in the mixed solvent of methylene chloride and isopropyl alcohol used in the draining and washing step with methylene chloride (chlorine solvent). In this step, methylene chloride having an excellent cleaning action: 100% (a surfactant is added if necessary) is used as a cleaning agent, and water is replaced (drained) in the previous step.
The ceramic substrate is cleaned, and heat treatment is performed in the next solvent removing step, so that flammable isopropyl alcohol does not remain.

【0024】−溶剤除去(乾燥)工程− 本工程は、前工程で洗浄したセラミック基板の表面のメ
チレンクロライドを除去する工程で、通常、蒸気乾燥に
よって、メチレンクロライドの除去を行っている。そし
て、以上の各工程を経て、セラミック基板の洗浄と水置
換を行うことができる。
-Solvent Removal (Drying) Step-This step is a step of removing methylene chloride on the surface of the ceramic substrate washed in the previous step, and usually methylene chloride is removed by steam drying. Then, through the above steps, the ceramic substrate can be washed and replaced with water.

【0025】次に、上述した本実施例の水切り洗浄剤と
洗浄方法の効果を確認するために、メチレンクロライ
ド中のイソプロピルアルコール濃度と水切りスピードと
の関係、メチレンクロライドとイソプロピルアルコー
ルの混合溶剤による『水シミ残り』と『洗浄品位』、に
ついての試験を行った処、図2に示すような関係と、表
2に示すような結果を得た。
Next, in order to confirm the effects of the above-described water removing detergent and cleaning method of the present embodiment, the relationship between the concentration of isopropyl alcohol in methylene chloride and the water removing speed, and the "solvent of methylene chloride and isopropyl alcohol" When tests were performed on "water stain residue" and "cleaning quality", the relationship shown in FIG. 2 and the results shown in Table 2 were obtained.

【0026】[0026]

【表2】 [Table 2]

【0027】そして、図2に示すように、メチレンクロ
ライドにイソプロピルアルコールの混合溶剤が、95:
5〜65:35の割合(重量比)が好ましく、メチレン
クロライド中のイソプロピルアルコール濃度が、35%
を越えても、水切りスピードが大きく向上しなく、却っ
て、防爆設備を考慮する必要が発生し、また該イソプロ
ピルアルコール濃度が、5%未満の場合は、水切りスピ
ードが遅くなり、『水シミ』が残存するおそれがあるこ
とが確認できた。また、表2に示すように、洗浄作用が
優れているメチレンクロライド(必要に応じて、界面活
性剤添加)のみを用いたものにあっては、試験試料の半
分に、『水シミ』残りが認められたのに対し、本実施例
の混合溶剤を用いた場合は、全く『水シミ』残りを確認
できなかった。このことより、本実施例にあっては、イ
ソプロピルアルコールを混合し、水切り(水置換)が十
分に行われていることが確認できる。なお、洗浄品位に
ついては、両者ともに差異は認められなかった。
Then, as shown in FIG. 2, the mixed solvent of methylene chloride and isopropyl alcohol is 95:
A ratio (weight ratio) of 5 to 65:35 is preferable, and the concentration of isopropyl alcohol in methylene chloride is 35%.
Even if it exceeds the above, the draining speed does not improve significantly, it is necessary to consider the explosion-proof equipment on the contrary, and if the isopropyl alcohol concentration is less than 5%, the draining speed will be slow and "water stain" will occur. It was confirmed that there is a risk of remaining. In addition, as shown in Table 2, in the case of using only methylene chloride (adding a surfactant if necessary), which has an excellent cleaning action, the "water stain" remains in half of the test sample. In contrast, when the mixed solvent of this example was used, no "water stain" residue could be confirmed. From this, it can be confirmed that isopropyl alcohol is mixed and draining (water replacement) is sufficiently performed in this example. Regarding the cleaning quality, no difference was observed between the two.

【0028】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因みに、上述した実施例にお
いては、混合溶剤に、必要に応じて、他の塩素系溶剤、
アルコール系溶剤、界面活性剤を適宜、添加した配合と
してもよいことは当然である。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but includes configurations that can be modified and implemented within the scope of the present invention. Incidentally, in the above-mentioned embodiment, the mixed solvent, if necessary, other chlorine-based solvent,
It goes without saying that the composition may be such that an alcohol solvent and a surfactant are appropriately added.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の水切り洗浄剤によれば、洗浄性に優れている塩素系溶
剤であるメチレンクロライドと、水置換性に優れている
アルコール系溶剤であるイソプロピルアルコールを混合
した溶剤であるため、加工物の表面に付着する水の置換
と、該水に含まれる微小塵埃の洗浄を効率的に行え、フ
ロンにかわる水切り洗浄剤として使用できる。また、メ
チレンクロライドとイソプロピルアルコールとの配合比
率を、95:5〜65:35としているので、該イソプ
ロピルアルコールによる引火のおそれがなく、高価な防
爆設備を必要としない。またメチレンクロライドの洗浄
力を保持させた状態で、水切りスピードを良好にするこ
とができ、加工物表面への『水シミ』の発生を防止でき
るという効果を有する。
As is clear from the above description, according to the dewatering detergent of the present invention, methylene chloride, which is a chlorine-based solvent having excellent detergency, and an alcohol-based solvent, which is excellent in water displacement, are used. Since it is a solvent mixed with a certain isopropyl alcohol, the water adhering to the surface of the processed material can be efficiently replaced, and the fine dust contained in the water can be efficiently washed, and it can be used as a draining detergent instead of CFC. Further, since the mixing ratio of methylene chloride and isopropyl alcohol is 95: 5 to 65:35, there is no risk of ignition by the isopropyl alcohol and expensive explosion-proof equipment is not required. Further, with the washing power of methylene chloride being maintained, the water draining speed can be improved, and the occurrence of "water stains" on the surface of the processed product can be prevented.

【0030】また、本発明の洗浄方法によれば、予め水
洗浄した加工物を、先に、メチレンクロライドとイソプ
ロピルアルコールを、95:5〜65:35の割合(重
量比)で混合した混合溶剤で洗浄し、該加工物表面の洗
浄と水切り(置換)を行った後、塩素系溶剤に接触し
て、上記イソプロピルアルコールを該塩素系溶剤に置換
すると共に、洗浄するようにしているので、水切りスピ
ードを良好にすると共に、洗浄性能を良好にし、かつ蒸
気乾燥や温風乾燥による溶剤の除去を、安全に行うこと
ができるという効果を有する。
Further, according to the cleaning method of the present invention, the processed product previously washed with water is mixed with the methylene chloride and isopropyl alcohol at a ratio of 95: 5 to 65:35 (weight ratio). The surface of the processed product is washed and drained (replaced), and then contacted with a chlorine-based solvent to replace the isopropyl alcohol with the chlorine-based solvent and to perform cleaning. It has the effects of improving the speed, improving the cleaning performance, and removing the solvent safely by steam drying or warm air drying.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の洗浄方法を示す工程図である。FIG. 1 is a process drawing showing a cleaning method of the present invention.

【図2】 本発明の水切り洗浄剤と水切りスピードとの
関係を説明するためのグラフである。
FIG. 2 is a graph for explaining the relationship between the draining detergent of the present invention and the draining speed.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 メチレンクロライドと、イソプロピルア
ルコールを含有した混合溶剤で、該メチレンクロライド
とイソプロピルアルコールを、95:5〜65:35の
割合(重量比)で混合してなることを特徴とする水切り
洗浄剤。
1. A drainer comprising a mixed solvent containing methylene chloride and isopropyl alcohol, the methylene chloride and isopropyl alcohol being mixed at a ratio (weight ratio) of 95: 5 to 65:35. Washing soap.
【請求項2】 セラミック基板の加工物の洗浄方法にお
いて、該加工物をメチレンクロライドとイソプロピルア
ルコールを、95:5〜65:35の割合(重量比)で
混合した混合溶剤で水切り洗浄した後、該加工物を塩素
系溶剤で洗浄することを特徴とする洗浄方法。
2. A method for cleaning a ceramic substrate workpiece, wherein the workpiece is drained and washed with a mixed solvent in which methylene chloride and isopropyl alcohol are mixed at a ratio of 95: 5 to 65:35 (weight ratio). A cleaning method comprising cleaning the processed product with a chlorine-based solvent.
JP3757993A 1993-02-01 1993-02-01 Hydro-extraction cleaning agent and cleaning Pending JPH06232106A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3757993A JPH06232106A (en) 1993-02-01 1993-02-01 Hydro-extraction cleaning agent and cleaning

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3757993A JPH06232106A (en) 1993-02-01 1993-02-01 Hydro-extraction cleaning agent and cleaning

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06232106A true JPH06232106A (en) 1994-08-19

Family

ID=12501454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3757993A Pending JPH06232106A (en) 1993-02-01 1993-02-01 Hydro-extraction cleaning agent and cleaning

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06232106A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5888312A (en) Cleaning method
EP0473795B1 (en) Method of cleaning
RU2104331C1 (en) Cleaning means (versions)
JP3256630B2 (en) Cleaning method
EP0559777A1 (en) A process and composition for cleaning contaminants with terpene and monobasic ester
CN101884092A (en) Method and solution for cleaning semiconductor device substrate
JPH04213397A (en) New azeotropic solvent mixture and method for washing electronic part therewith
KR20060120443A (en) Aqueous cleaning composition for semiconductor copper processing
EP0688860B1 (en) Process for producing clean article
JPH03162496A (en) Detergent composition
JPH06232106A (en) Hydro-extraction cleaning agent and cleaning
JPH06211718A (en) Composition comprising 1-chloro-2,2,2-trifluoroethyl- difluoromethyl ether and partially fluorinated alkanol, cooling lubricant comprising same, surface cleaning and removal of water
JP3246694B2 (en) How to wash goods
JP3375104B2 (en) How to wash goods
JPH0617093A (en) Emulsion composition for cleaning
JPH06128592A (en) Composition for dissolving wax
JP4063346B2 (en) Washing soap
JPH04130199A (en) Detergent composition and method for cleaning
JP4413544B2 (en) Cleaning method
JPH04130197A (en) Method for cleaning article surface
KR20140040385A (en) Composition for cleaning paper, and method for cleaning paper with the same
JPH03198396A (en) Composition of cleaning agent
JPH04127955A (en) Method for cleaning article surface
JPH0693296A (en) Detergent composition
JPH04300689A (en) Draining and drying method