JPH06222150A - Screen monitor of particle accelerator - Google Patents

Screen monitor of particle accelerator

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Publication number
JPH06222150A
JPH06222150A JP1287093A JP1287093A JPH06222150A JP H06222150 A JPH06222150 A JP H06222150A JP 1287093 A JP1287093 A JP 1287093A JP 1287093 A JP1287093 A JP 1287093A JP H06222150 A JPH06222150 A JP H06222150A
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JP
Japan
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screen
frame
red
light
particle accelerator
Prior art date
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Withdrawn
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JP1287093A
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Japanese (ja)
Inventor
Motoharu Marushita
元治 丸下
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Publication date
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Publication of JPH06222150A publication Critical patent/JPH06222150A/en
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Abstract

PURPOSE:To permit an application point of high-energy radiation to be heated to a red-hot state without melting so as to clearly monitor the position of the radiation through observation of the red-hot position, to adjust the degree of red heat of the application point by rotating the screen, to prevent overheating of a frame and a screen by using a water-cooled frame, to adjust the degree of red heat of the application point by regulating cooling capacity, and to prevent heat damage to the frame by forming the front side of the frame into an inclined face. CONSTITUTION:A screen 20 is provided in such a manner as capable of going inside and out of the beam line of a particle accelerator. A panel molded from a material with a high melting point, such as carbon or tungsten, is used as the screen so that an application point of radiation is heated to a red-hot state. The screen is rotated and tilted relative to the optical axis of radiation and is mounted on a water-cooled frame 23, and the front side of the frame is preferably formed into an inclined face 26.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器のビームラインに設けられるスクリーンモニタ
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen monitor provided on a beam line of a particle accelerator such as a synchrotron.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、直径が10m以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光(SOR光)を利用して、たとえ
ば超LSIの製造、医療分野における診断、分子解析、
構造解析等の様々な分野への適用が期待されている。
2. Description of the Related Art In recent years, a synchrotron is being developed as a relatively small particle accelerator having a diameter of 10 m or less,
Utilizing synchrotron radiation (SOR light), which is radiation emitted from such a synchrotron, for example, manufacturing of VLSI, diagnosis in the medical field, molecular analysis,
It is expected to be applied to various fields such as structural analysis.

【0003】図4は小型シンクロトロンの概要を示すも
のであって、電子銃等の電子発生装置1で発生させた電
子ビームを直線加速器(ライナック)2で光速近くに加
速し、偏向電磁石3で偏向させてインフレクタ4を介し
て蓄積リング5に入射する。蓄積リング5に入射した電
子ビームは高周波加速空洞6によりエネルギを与えられ
ながら収束電磁石7で収束され、偏向電磁石8で偏向さ
れて蓄積リング5内を周回し続ける。そして、偏向電磁
石8で偏向される際にSOR光Sが発生し、それが光取
り出しラインであるビームライン9を通してたとえば露
光装置10に出射されて利用されるのである。
FIG. 4 shows an outline of a small synchrotron. An electron beam generated by an electron generator 1 such as an electron gun is accelerated by a linear accelerator (linac) 2 to near the speed of light, and a deflecting electromagnet 3 is used. It is deflected and enters the storage ring 5 via the inflector 4. The electron beam incident on the storage ring 5 is converged by the converging electromagnet 7 while being given energy by the high-frequency accelerating cavity 6, is deflected by the deflection electromagnet 8, and continues to orbit the storage ring 5. Then, the SOR light S is generated when being deflected by the deflection electromagnet 8, and the SOR light S is emitted to, for example, the exposure device 10 through the beam line 9 which is a light extraction line for use.

【0004】上記のような粒子加速器においては、SO
R光Sがビームライン9中の所定の軌道を通るかどうか
を運転開始当初にモニタする必要があり、そのためのス
クリーンモニタをビームライン9の要所に設置するよう
にしている。
In the particle accelerator as described above, SO
It is necessary to monitor whether or not the R light S passes through a predetermined orbit in the beam line 9 at the beginning of the operation, and a screen monitor for that purpose is installed at an important point of the beam line 9.

【0005】図5は従来一般に採用されているスクリー
ンモニタの一例を示すものである。これは、ビームライ
ン9に対して所定角度傾斜するようなスクリーン15
を、ビームライン9内に進入かつ退出させるべく昇降自
在(図5においては紙面の表裏方向に移動自在)に設け
るとともに、そのスクリーン15の側方にカメラ16を
スクリーン15側に向けて設けた構成のものである。ス
クリーン15としては、ガラス等の基板の表面に蛍光物
質を塗布してたとえば図6に示すような目盛を縦横に付
したものが一般的である。
FIG. 5 shows an example of a screen monitor that is generally used in the past. This is a screen 15 which is inclined by a predetermined angle with respect to the beam line
Is provided to be movable up and down (movable in the front and back direction of the paper in FIG. 5) to enter and leave the beam line 9, and a camera 16 is provided on the side of the screen 15 toward the screen 15 side. belongs to. As the screen 15, it is general that the surface of a substrate such as glass is coated with a fluorescent substance and scales, for example, as shown in FIG.

【0006】上記のスクリーンモニタによりSOR光S
の光軸のモニタを行う際には、スクリーン15を降下さ
せて図5に示すようにビームライン9中に配置したうえ
で、ビームライン9の上流側からSOR光Sをスクリー
ン15の表面に対して照射する。すると、SOR光Sが
照射された位置が蛍光を発して光るので、その位置をビ
ューポート17を通してカメラ16により観測すること
でSOR光Sの実際の光軸を確認し、それに基づいて必
要に応じて光軸修正等を行うのである。そのような作業
が終了した後には、スクリーン15を引き上げてビーム
ライン9内から退出させ、通常運転に移行する。
With the above screen monitor, SOR light S
When the optical axis of the screen 15 is monitored, the screen 15 is lowered and placed in the beam line 9 as shown in FIG. 5, and then the SOR light S is applied to the surface of the screen 15 from the upstream side of the beam line 9. And irradiate. Then, since the position irradiated with the SOR light S emits fluorescence and shines, the actual optical axis of the SOR light S is confirmed by observing the position with the camera 16 through the viewport 17, and if necessary, based on it. Then, the optical axis is corrected. After such work is completed, the screen 15 is pulled up to exit the beam line 9 and the normal operation is started.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なスクリーン15にSOR光Sが照射されると、その照
射点はSOR光Sの熱エネルギを受けて高温になるもの
である。そして、図4に示したような小型シンクロトロ
ンにおいてはSOR光のエネルギはさほど大きなもので
はないので、上述したように基板に蛍光物質を塗布した
形態のスクリーン15を用いることで何等支障がない
が、そのようなスクリーン15をSOR光のエネルギが
きわめて大きい大型の粒子加速器にそのまま適用した場
合には、照射点の温度が基板の融点を越えてしまってス
クリーン15が局部的に溶けてしまう懸念がある。
By the way, when the screen 15 as described above is irradiated with the SOR light S, its irradiation point is heated by the heat energy of the SOR light S. Since the energy of SOR light is not so large in the small synchrotron as shown in FIG. 4, there is no problem in using the screen 15 in which the fluorescent material is applied to the substrate as described above. However, when such a screen 15 is applied as it is to a large particle accelerator in which the energy of SOR light is extremely large, the temperature of the irradiation point may exceed the melting point of the substrate, and the screen 15 may melt locally. is there.

【0008】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、優れた耐熱性を有していて大型の粒子加速器にも適
用し得るスクリーンモニタを提供することを目的として
いる。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a screen monitor having excellent heat resistance and applicable to a large particle accelerator.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、粒子加速器の
ビームラインを通して取り出す放射光をモニタするべ
く、放射光が照射されるスクリーンをビームラインに対
して進入退出可能に設けた構成のスクリーンモニタであ
って、前記スクリーンを、放射光が照射されるとその照
射点が発熱して赤熱するカーボンやタングステン等の高
融点材料を素材とする成形板により形成したことを特徴
とするものである。この場合、前記スクリーンを放射光
の光軸に対して傾斜させるべくビームライン中において
回転可能とすることが好ましく、また、前記スクリーン
を水冷構造のフレームに取り付けるとともに、そのフレ
ームの放射光が照射される側の表面を放射光の光軸に対
して傾斜する傾斜面とすることが好ましい。
According to the present invention, in order to monitor the radiant light extracted through the beam line of a particle accelerator, a screen monitor in which a screen irradiated with the radiant light is provided so as to enter and leave the beam line. The screen is formed of a molded plate made of a high melting point material such as carbon or tungsten which is red-heated when irradiated with radiant light and heats red. In this case, it is preferable that the screen can be rotated in the beam line so as to be inclined with respect to the optical axis of the emitted light, and the screen is attached to the frame of the water cooling structure, and the emitted light of the frame is irradiated. It is preferable that the surface on the side facing the optical axis is an inclined surface inclined with respect to the optical axis of the emitted light.

【0010】[0010]

【作用】本発明のスクリーンモニタにおいては、スクリ
ーンの素材として高融点材料たとえばカーボンやタング
ステン等の融点が3,000℃以上の材料からなる成形
板が用いられていて、そのスクリーンに放射光が照射さ
れると照射点が溶けることなく発熱して赤熱するので、
赤熱した位置を観察することで放射光の位置をモニタす
る。この際、スクリーンを回転させて放射光の光軸に対
して傾斜させれば、放射光の照射面積が変化してスクリ
ーンへの入熱量が変化し、赤熱の程度を調節し得る。ま
た、スクリーンを水冷構造のフレームに取り付けること
によりフレーム自身およびスクリーンの過熱を防止でき
るとともに、冷却能力を調節することによってもスクリ
ーンの温度したがって赤熱の程度を調節し得る。さら
に、フレームの前面側を傾斜面としておくことによりフ
レームに対する放射光の照射面積が拡大されて熱負荷が
自ずと低減し、フレームの熱損傷が防止される。
In the screen monitor of the present invention, a molded plate made of a high melting point material such as carbon or tungsten having a melting point of 3,000 ° C. or higher is used as the material of the screen, and the screen is irradiated with radiant light. When it is done, the irradiation point does not melt and heats up and becomes red, so
The position of the radiated light is monitored by observing the red-hot position. At this time, if the screen is rotated and tilted with respect to the optical axis of the radiated light, the irradiation area of the radiated light changes, the amount of heat input to the screen changes, and the degree of red heat can be adjusted. Further, by mounting the screen on the frame of the water cooling structure, it is possible to prevent the frame itself and the screen from being overheated, and by adjusting the cooling capacity, the temperature of the screen and hence the degree of red heat can be adjusted. Further, by arranging the front side of the frame as an inclined surface, the irradiation area of the radiated light on the frame is expanded, the heat load is naturally reduced, and heat damage to the frame is prevented.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1〜図3を参照し
て説明する。本実施例のスクリーンモニタは、図3に示
すようにスクリーン20をビームライン9中に配置して
SOR光Sを照射し、その照射位置を、外部に設けたカ
メラ21によりビューポート22を通して斜め前方から
観察することでSOR光をモニタするようにされてい
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the screen monitor of this embodiment, as shown in FIG. 3, the screen 20 is arranged in the beam line 9 to irradiate the SOR light S, and the irradiation position is obliquely forward through the viewport 22 by the camera 21 provided outside. The SOR light is monitored by observing from above.

【0012】本実施例におけるスクリーン20は、融点
がきわめて高い材料、たとえばカーボン(融点は3,7
00℃)やタングステン(同、3,410℃)等を素材
とする成形板により形成されていて、このスクリーン2
0は、高エネルギのSOR光Sが照射されても照射点が
発熱して赤熱するのみで溶けてしまうようなことがない
ものとされている。
The screen 20 in this embodiment is made of a material having a very high melting point, such as carbon (having a melting point of 3,7).
This screen 2 is made of a molded plate made of, for example, 00 ° C) or tungsten (3,410 ° C).
It is said that 0 does not melt even if the high energy SOR light S is irradiated, because the irradiation point generates heat and only red heat is generated.

【0013】上記のスクリーン20は、図1および図2
に示すように矩形枠状のフレーム23に取り付けられ、
そのフレーム23の上部にはビームライン9を貫通して
いる軸体24が接続されている。軸体24は、図示を略
した適宜の駆動機構により自身の長手方向(上下方向)
に昇降するとともに自身の軸線を中心として回転するよ
うにされており、軸体24を昇降させることでフレーム
23とともにスクリーン20をビームライン9中に進
入、退出させるとともに、軸体24を回転させることで
スクリーン20の向きを変えてSOR光Sの光軸に対し
て傾斜させることができるようになっている。
The screen 20 described above is shown in FIGS.
It is attached to the rectangular frame 23 as shown in
A shaft body 24 penetrating the beam line 9 is connected to an upper portion of the frame 23. The shaft 24 is in the longitudinal direction (vertical direction) of itself by an appropriate drive mechanism (not shown).
The shaft 20 is moved up and down and rotated about its own axis. By moving the shaft 24 up and down, the screen 20 together with the frame 23 is moved in and out of the beam line 9, and the shaft 24 is rotated. The direction of the screen 20 can be changed to tilt the screen 20 with respect to the optical axis of the SOR light S.

【0014】また、上記のフレーム23は銅等の耐熱性
を有する金属により形成されているとともに図2に示す
ように冷却水流路25を有する水冷構造とされたもの
で、冷却水を強制循環させることでフレーム23および
スクリーン20を冷却してそれらの過熱を防止するよう
になっている。さらに、フレーム23の前面側すなわち
SOR光Sが照射される側の表面は、SOR光Sの光軸
に対して傾斜している傾斜面26とされている。それら
傾斜面26の光軸に対する傾斜角度θは10°程度に設
定すると良い。
The frame 23 is made of a heat-resistant metal such as copper and has a water cooling structure having a cooling water passage 25 as shown in FIG. 2, forcibly circulating the cooling water. This cools the frame 23 and the screen 20 to prevent them from overheating. Further, the front surface side of the frame 23, that is, the surface on the side irradiated with the SOR light S is an inclined surface 26 that is inclined with respect to the optical axis of the SOR light S. The inclination angle θ of the inclined surfaces 26 with respect to the optical axis may be set to about 10 °.

【0015】上記構成のスクリーンモニタでは、スクリ
ーン20がカーボンやタングステン等の高融点材料によ
り形成されているので、高エネルギのSOR光Sが照射
されても溶けてしまうようなことがないことはもとよ
り、照射点が赤熱して発光することからカメラ21によ
る観察を明瞭に行なうことができる。
In the screen monitor having the above structure, since the screen 20 is made of a high melting point material such as carbon or tungsten, it does not melt even when irradiated with high energy SOR light S. Since the irradiation point glows red and emits light, the observation by the camera 21 can be performed clearly.

【0016】そして、通常は図3(a)に示すようにス
クリーン20をSOR光Sの光軸に対して直交させた状
態で配置することが良いが、必要に応じて、たとえばS
OR光Sの強度が低いために照射点がさほど高温になら
ずに赤熱温度に達しないような場合には、軸体24を回
転させることで図3(b)に示すようにスクリーン20
の向きをSOR光Sの光軸に対して傾斜させるようにし
ても良い。このようにすれば、スクリーン20に対する
SOR光Sの照射面積が拡大し、それによってスクリー
ン20への入熱量が増大して(換言すれば透過量が低減
して)照射点の温度が高まり、より赤熱し易くなる。ま
た、照射点が十分に赤熱しないような場合には、フレー
ム23に循環供給する冷却水の水量や水温を調節して冷
却能力を低減させることによっても、フレーム23およ
びスクリーン20の温度を上昇させて照射点を赤熱させ
ることが可能である。
Usually, as shown in FIG. 3A, the screen 20 is preferably arranged in a state of being orthogonal to the optical axis of the SOR light S, but if necessary, for example S.
When the irradiation point does not reach a high temperature and does not reach the red hot temperature due to the low intensity of the OR light S, the shaft 24 is rotated to rotate the screen 20 as shown in FIG. 3B.
May be inclined with respect to the optical axis of the SOR light S. By doing so, the irradiation area of the SOR light S on the screen 20 is expanded, and thereby the heat input amount to the screen 20 is increased (in other words, the transmission amount is decreased), and the temperature of the irradiation point is increased, It becomes easy to glow red. Further, when the irradiation point does not glow sufficiently red, the temperature of the frame 23 and the screen 20 is also increased by reducing the cooling capacity by adjusting the amount and temperature of the cooling water circulated and supplied to the frame 23. It is possible to make the irradiation point red hot.

【0017】さらに、上記のスクリーンモニタでは、フ
レーム23の前面側を傾斜面26としているので、フレ
ーム23の熱損傷をも有効に防止できるものである。す
なわち、スクリーン20を昇降させた際にはごく短時間
ではあるもののSOR光Sがフレーム23に照射されて
しまうことが避けられないので、SOR光Sが高エネル
ギの場合にはフレーム23が局部的に溶けてしまうこと
が懸念される。このため、上記のスクリーンモニタでは
フレーム23を水冷構造として強制水冷するのみなら
ず、フレーム23の前面側を傾斜面26としておくこと
によりフレーム23に対するSOR光Sの照射面積が自
ずと拡大されるようになっており、それによって単位面
積当たりの熱負荷が低減してフレーム23の過熱が抑制
されるようになっている。なお、スクリーン20を昇降
させる際に図3(b)に示すようにスクリーン20を傾
斜させれば、フレーム23に対するSOR光Sの照射面
積は上下方向のみならず水平方向にも拡大することにな
るので、少なくともスクリーン20を昇降させる際には
そのように傾斜させることが好ましい。
Further, in the above screen monitor, since the front surface side of the frame 23 is the inclined surface 26, heat damage to the frame 23 can be effectively prevented. That is, when the screen 20 is moved up and down, it is inevitable that the SOR light S irradiates the frame 23 for a very short time. Therefore, when the SOR light S has high energy, the frame 23 is localized. There is concern that it will melt into. Therefore, in the above screen monitor, not only the frame 23 is forcibly water-cooled by the water cooling structure, but also the front surface side of the frame 23 is formed as the inclined surface 26 so that the irradiation area of the SOR light S with respect to the frame 23 is naturally expanded. As a result, the heat load per unit area is reduced, and the overheating of the frame 23 is suppressed. If the screen 20 is tilted as shown in FIG. 3B when the screen 20 is moved up and down, the irradiation area of the SOR light S on the frame 23 is expanded not only in the vertical direction but also in the horizontal direction. Therefore, it is preferable to tilt the screen 20 in such a manner at least when moving it up and down.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上で説明したように、本発明によれ
ば、スクリーンの素材としてカーボンやタングステン等
の高融点材料からなる成形板を採用したので、高エネル
ギの放射光が照射されてもスクリーンが溶けてしまうよ
うなことのない優れた耐熱性能を有することはもとよ
り、放射光の照射点が赤熱して発光するのでその観察を
明瞭に行なうことができるという効果を奏し、特に大型
粒子加速器に適用して好適である。また、スクリーンを
回転させるように構成することにより、必要に応じてス
クリーンの向きを放射光の光軸に対して傾斜させること
で照射点が赤熱温度になるような調節が可能であり、さ
らに、スクリーンを水冷構造のフレームに取り付けるこ
とによりフレーム自身およびスクリーンを冷却し得てそ
れらの過熱を防止できるとともに、冷却能力を調節する
ことによっても照射点における赤熱の程度が調節可能で
あり、しかもフレームの前面側を傾斜面とすることでフ
レームの熱損傷も有効に防止できるという効果を奏す
る。
As described above, according to the present invention, since the molding plate made of a high melting point material such as carbon or tungsten is adopted as the material of the screen, the screen can be irradiated with high energy radiation. In addition to having excellent heat resistance that does not melt, the irradiation point of radiant light glows red light and emits light, so it has the effect that it can be observed clearly, especially for large particle accelerators. It is suitable to apply. Further, by configuring the screen to rotate, it is possible to adjust the irradiation point to the red hot temperature by inclining the direction of the screen with respect to the optical axis of the emitted light, if necessary. By attaching the screen to the frame of water cooling structure, the frame itself and the screen can be cooled and their overheating can be prevented, and the degree of red heat at the irradiation point can be adjusted by adjusting the cooling capacity. By making the front side an inclined surface, it is possible to effectively prevent thermal damage to the frame.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるスクリーンモニタの概
略構成を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a screen monitor that is an embodiment of the present invention.

【図2】同、側面図である。FIG. 2 is a side view of the same.

【図3】同装置の使用状態を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a usage state of the apparatus.

【図4】小型シンクロトロンの概要を示す平面図であ
る。
FIG. 4 is a plan view showing an outline of a small synchrotron.

【図5】従来一般のスクリーンモニタの使用状態を示す
平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing a usage state of a conventional general screen monitor.

【図6】同モニタにおけるスクリーンの正面図である。FIG. 6 is a front view of a screen of the monitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

S SOR光(放射光) 9 ビームライン 20 スクリーン 21 カメラ 23 フレーム 24 軸体 25 冷却水流路 26 傾斜面。 S SOR light (synchronized light) 9 Beamline 20 Screen 21 Camera 23 Frame 24 Shaft 25 Cooling water flow path 26 Slope.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 粒子加速器のビームラインを通して取り
出す放射光をモニタするべく、放射光が照射されるスク
リーンをビームラインに対して進入退出可能に設けた構
成のスクリーンモニタであって、前記スクリーンを、放
射光が照射されるとその照射点が発熱して赤熱するカー
ボンやタングステン等の高融点材料を素材とする成形板
により形成したことを特徴とする粒子加速器のスクリー
ンモニタ。
1. A screen monitor having a structure in which a screen irradiated with radiant light is provided so as to enter and leave the beam line in order to monitor radiant light extracted through a beam line of a particle accelerator. A screen monitor for a particle accelerator, which is formed of a molded plate made of a high melting point material such as carbon or tungsten that is red-heated when irradiated with radiant light and red heats.
【請求項2】 前記スクリーンを放射光の光軸に対して
傾斜させるべくビームライン中において回転可能とした
ことを特徴とする請求項1に記載の粒子加速器のスクリ
ーンモニタ。
2. The screen monitor for a particle accelerator according to claim 1, wherein the screen is rotatable in a beam line so as to be inclined with respect to an optical axis of the emitted light.
【請求項3】 前記スクリーンを水冷構造のフレームに
取り付けるとともに、そのフレームの放射光が照射され
る側の表面を放射光の光軸に対して傾斜する傾斜面とし
たことを特徴とする請求項1または2に記載の粒子加速
器のスクリーンモニタ。
3. The screen is attached to a frame having a water-cooling structure, and a surface of the frame on the side irradiated with radiant light is an inclined surface inclined with respect to the optical axis of the radiated light. The screen monitor of the particle accelerator according to 1 or 2.
JP1287093A 1993-01-28 1993-01-28 Screen monitor of particle accelerator Withdrawn JPH06222150A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11238950A (en) * 1998-02-20 1999-08-31 Kawasaki Heavy Ind Ltd Free electron laser installation method
JP2016035478A (en) * 2010-04-19 2016-03-17 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Self-shielding target for isotope production systems

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11238950A (en) * 1998-02-20 1999-08-31 Kawasaki Heavy Ind Ltd Free electron laser installation method
JP2016035478A (en) * 2010-04-19 2016-03-17 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Self-shielding target for isotope production systems
US9693443B2 (en) 2010-04-19 2017-06-27 General Electric Company Self-shielding target for isotope production systems

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