JPH0622044B2 - Manufacturing method of core for composite type magnetic head - Google Patents
Manufacturing method of core for composite type magnetic headInfo
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- JPH0622044B2 JPH0622044B2 JP14274987A JP14274987A JPH0622044B2 JP H0622044 B2 JPH0622044 B2 JP H0622044B2 JP 14274987 A JP14274987 A JP 14274987A JP 14274987 A JP14274987 A JP 14274987A JP H0622044 B2 JPH0622044 B2 JP H0622044B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、複合型磁気ヘッド用コアの製造法に係り、特
にVTR等の高周波信号の記録再生に適した磁気ヘッ
ド、なかでも、高保磁力媒体に対して好適な複合型磁気
ヘッドを与える複合型磁気ヘッド用コアを有利に製造し
得る方法に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method of manufacturing a core for a composite magnetic head, and more particularly to a magnetic head suitable for recording / reproducing a high frequency signal such as a VTR, especially for a high coercive force medium. The present invention relates to a method for advantageously manufacturing a core for a composite magnetic head, which provides a suitable composite magnetic head.
(背景技術) 高密度磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の保
磁力:HCを大きくすれば有利であることが知られてい
るが、高保磁力の磁気記録媒体に情報を記録するために
は、磁気ヘッドからの漏れ磁界を強くする必要がある。
ところが、現在、磁気ヘッドを構成するコアに用いられ
ているフェライト材は、その飽和磁束密度:BSが40
00〜5000ガウスであるため、得られる記録磁界の
強さに限度があり、磁気記録媒体の保磁力が1000エ
ルステッドを越える場合には、記録が不充分になるとい
う欠点がある。(Background Art) In a high density magnetic recording / reproducing apparatus, it is known that it is advantageous to increase the coercive force: H C of the magnetic recording medium, but in order to record information on the magnetic recording medium having a high coercive force. Needs to increase the leakage magnetic field from the magnetic head.
However, at present, the ferrite material used for the core of the magnetic head has a saturation magnetic flux density: B S of 40.
Since it is from 00 to 5000 gauss, there is a limit to the strength of the recording magnetic field that can be obtained, and when the coercive force of the magnetic recording medium exceeds 1000 Oersted, there is a drawback that recording is insufficient.
一方、金属磁性材料で総称されるFe−Al−Si合金
(センダスト)Ni−Fe合金(パーマロイ)等の結晶
質合金、或いは非晶質合金を用いた磁気ヘッドは、一般
に、フェライト材より飽和磁束密度が高く、また摺動ノ
イズが低いという優れた特性を有している。しかしなが
ら、一般に使用されるトラック幅(10μm以上)の厚
みでは、渦電流損失により、ビデオ周波数領域での実効
透磁率がフェライトより低下し、再生効率が低下すると
いう欠点を有する。また、耐摩耗性に関しては、フェラ
イトよりも数段劣っているのである。On the other hand, a magnetic head using a crystalline alloy such as an Fe-Al-Si alloy (sendust) Ni-Fe alloy (permalloy) or an amorphous alloy, which is a general term for metallic magnetic materials, generally has a saturation flux higher than that of a ferrite material. It has excellent characteristics of high density and low sliding noise. However, in a commonly used track width (10 μm or more), the effective magnetic permeability in the video frequency region is lower than that of ferrite due to the eddy current loss, and the reproduction efficiency is lowered. Also, it is several steps inferior to ferrite in terms of wear resistance.
そこで、上記のような問題を解決するために、フェライ
トと金属磁性材を組み合わせて、両者の良い点を利用し
た複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。Therefore, in order to solve the above problems, a core for a composite magnetic head has been proposed in which ferrite and a metal magnetic material are combined and the advantages of both are utilized.
例えば、第1図に、そのような複合型磁気ヘッド用コア
の一つの傾斜図が示されているように、コア部1,1′
が高透磁率のフェライトからなり、また記録作用の主要
部となる磁気ギャップ5の近傍部がスパッタリング等の
物理蒸着によって形成された金属磁性材2,2′からな
る構造の複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。こ
の磁気ヘッド用コアにおいては、高密度記録のため、ト
ラック幅を狭しく、磁気ギャップ5の近傍にトラック幅
絞り用の切欠溝7,7を両側に設けて、そこに補強用の
非磁性材3が充填されている。なお、6はコイル巻線用
の窓(孔)である。第2図には、かかる従来の磁気ヘッ
ド用コアの記録媒体対向面の平面図が示されているが、
そこにおいて、フェライトコア部1,1′と金属磁性材
2,2′の結合境界部4,4′が擬似ギャップとして作
用して、記録再生特性を損なう欠点があることが認めら
れている。特に、結合境界部4,4′と磁気ギャップ5
が平行になると、その境界部で相当量の信号を拾うこと
になり、再生出力の周波数特性にうねりが生ずる、所謂
コンタ効果が激しくなるという問題を内在しているので
ある。For example, as shown in FIG. 1 which is an inclined view of one such core for a composite magnetic head, the core portions 1, 1 '
Is composed of a ferrite having a high magnetic permeability, and the magnetic gap 5, which is the main part of the recording action, is composed of metal magnetic materials 2 and 2'formed by physical vapor deposition such as sputtering. Is proposed. In this magnetic head core, the track width is narrowed for high density recording, and notch grooves 7, 7 for narrowing the track width are provided on both sides in the vicinity of the magnetic gap 5, and a nonmagnetic material for reinforcement is provided there. 3 is filled. In addition, 6 is a window (hole) for coil winding. FIG. 2 shows a plan view of the recording medium facing surface of such a conventional magnetic head core.
It has been recognized that there is a drawback that the recording / reproducing characteristics are impaired by the fact that the coupling boundaries 4 and 4 ′ between the ferrite cores 1 and 1 ′ and the metal magnetic materials 2 and 2 ′ act as pseudo gaps. In particular, the coupling boundaries 4, 4'and the magnetic gap 5
When the lines are parallel to each other, a considerable amount of signals are picked up at the boundary, and there is an inherent problem that the so-called contour effect becomes severe, which causes undulations in the frequency characteristics of the reproduction output.
また、他の複合型磁気ヘッド用コアとして、第3図に示
される如き構造も知られている。この第3図に示される
磁気ヘッド用コアは、非磁性基板11の上に高飽和磁束
密度を有する金属磁性材12をスパッタリング或いは真
空蒸着等の物理蒸着によりトラック幅に等しい膜厚に形
成せしめ、その上に非磁性材11′をガラス薄膜で接着
した後、二等分してギャップ突合せ面をラップし、更に
その後コイル巻線用窓13を形成し、そしてギャップ突
合せ面に所定の非磁性膜を適用して、それを介して接合
することにより、製造されることとなるが、このような
磁気ヘッド用コアにあっては、次のような問題が内在し
ているのである。即ち、トラック幅が20μm以上と大
きい場合において、金属磁性材12は単層膜では渦電流
損失により高周波特性が悪いところから、非磁性材を介
して多層構造とする必要があり、また上記第1図に示さ
れる磁気ヘッド用コアに比べて、コア1個当たりの金属
磁性材12形成面積が大きくなり、非生産的であるので
あり、更にはトラック幅は金属磁性材12の膜厚で決定
されるために、バッチ内での膜厚精度が厳しく要求さ
れ、且つ磁気ヘッド用コアの組立てが非常に煩雑となる
問題を内在しているのである。As another composite type magnetic head core, a structure as shown in FIG. 3 is also known. In the magnetic head core shown in FIG. 3, a metal magnetic material 12 having a high saturation magnetic flux density is formed on a non-magnetic substrate 11 by sputtering or physical vapor deposition such as vacuum vapor deposition to have a film thickness equal to the track width. After a non-magnetic material 11 'is adhered thereon by a glass thin film, the gap abutting surface is divided into two halves, and then a coil winding window 13 is formed, and a predetermined non-magnetic film is formed on the gap abutting surface. It is manufactured by applying the above-mentioned method and bonding through it. However, such a magnetic head core inherently has the following problems. That is, when the track width is as large as 20 μm or more, the metal magnetic material 12 has a poor high-frequency characteristic due to eddy current loss in a single-layer film, so it is necessary to have a multi-layer structure with a non-magnetic material interposed therebetween. Compared to the magnetic head core shown in the figure, the area for forming the metal magnetic material 12 per core is large, which is unproductive, and the track width is determined by the film thickness of the metal magnetic material 12. Therefore, there is an inherent problem that the film thickness accuracy in the batch is strictly required, and the assembling of the magnetic head core is very complicated.
さらに、特開昭58−155513号公報には、第4図
(a)及び(b)に示される如き構造の複合型磁気ヘッ
ド用コアも提案されている。この磁気ヘッド用コアは、
磁気記録媒体対向面における断面形状が突出している突
起部を有する二個の高透磁率フェライトブロック21,
21′の該突出部の少なくとも両側面に、フェライトよ
り飽和磁束密度の高い磁性体22,22′が被着され、
該突出部の先端において、磁気ギャップ23を介して、
該磁性体22,22′が相対峙し、且つ該突出部の先端
におけるフェライトの幅がトラック幅より小なるように
構成されている。なお、25、26は、それぞれ、非磁
性埋設材、コイル巻線用窓を示す。Further, JP-A-58-155513 proposes a core for a composite magnetic head having a structure as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). This magnetic head core is
Two high-permeability ferrite blocks 21 each having a protrusion whose cross-sectional shape on the surface facing the magnetic recording medium protrudes,
Magnetic bodies 22, 22 'having a higher saturation magnetic flux density than ferrite are adhered to at least both side surfaces of the protruding portion of 21',
At the tip of the protrusion, via the magnetic gap 23,
The magnetic bodies 22 and 22 'face each other, and the width of the ferrite at the tip of the protrusion is smaller than the track width. Reference numerals 25 and 26 respectively denote a non-magnetic embedding material and a coil winding window.
このような構造の場合において、フェライト21,2
1′と金属磁性材22,22′の境界結合部24,2
4′が磁気ギャップ23に対して大きく傾斜しているた
め、第1図に示される如き磁気ヘッド用コアにおけるよ
うな再生出力のコンタ効果がない利点があるものの、フ
ェライトブロックの突起部の強度が弱く、所望の形状が
得難い上に、磁気ギャップ23の形成面の研磨量により
トラック幅が変動し易いため、トラック幅の精度を得る
ことも難しく、従って歩留りが低く、量産性に乏しいと
いう問題を内在している。In the case of such a structure, the ferrites 21 and 2
Boundary coupling portions 24, 2 between the 1'and the metallic magnetic materials 22, 22 '
Since 4'is largely inclined with respect to the magnetic gap 23, there is an advantage that there is no contour effect of reproduction output as in the magnetic head core as shown in FIG. In addition to being weak, it is difficult to obtain a desired shape, and the track width easily changes due to the polishing amount of the surface on which the magnetic gap 23 is formed. Therefore, it is difficult to obtain the accuracy of the track width. It is inherent.
そしてまた、特開昭61−265714号公報や特開昭
61−273706号公報等には、フェライトと金属磁
性材とを組み合わせてなる複合型磁気ヘッド用コアとし
て、フェライトと磁性材との接合部に凹凸部を設けて、
左右のコア部上の凹凸部の位置を非対称の位置に配した
り、前記磁性材中に磁気ギャップ部に向って延びる少な
くとも一本の微小間隙を形成せしめた構造のものが明ら
かにされ、そこでは、そのような磁気ヘッド用コアが、
次のように製造されている。Further, in JP-A-61-265714, JP-A-61-273706 and the like, a joint portion between ferrite and a magnetic material is used as a core for a composite type magnetic head formed by combining ferrite and a metal magnetic material. The uneven part is provided on the
It is clarified that the positions of the concavo-convex portions on the left and right core portions are arranged at asymmetrical positions, or at least one minute gap extending toward the magnetic gap portion is formed in the magnetic material. Is the core for such a magnetic head,
It is manufactured as follows.
すなわち、所定のフェライトブロックに、縞状にスリッ
トを入れてなるレジスト膜を付与して、エッチングせし
めることにより、波形の凹凸面を形成したフェライトブ
ロックと為し、次いでそのような波形の凹凸面に金属磁
性材からなる磁性層を形成し、そしてその表面を研磨し
て平坦な面とした後、トラック幅を規定する溝を互いに
平行に複数条形成し、次いでコイル巻線用の溝を形成し
た後、二つのフェライトブロックを組み合わせて接合せ
しめることにより、一体的な組合せ体と為し、更にその
後、このフェライトブロック組合せ体を所定の位置にて
切断して、目的とする複合型磁気ヘッド用コアを順次切
り出すようにした製造手法が、明らかにされているので
ある。That is, a predetermined ferrite block is provided with a resist film formed by forming slits in stripes, and etching is performed to form a corrugated uneven surface, and then a corrugated uneven surface is formed. After forming a magnetic layer made of a metallic magnetic material and polishing the surface to a flat surface, a plurality of grooves defining the track width were formed in parallel with each other, and then a groove for coil winding was formed. After that, the two ferrite blocks are combined and joined together to form an integral combination, and then this ferrite block combination is cut at a predetermined position to obtain the desired core for the composite magnetic head. A manufacturing method that sequentially cuts out is clarified.
しかしながら、このような複合型磁気ヘッド用コアの製
造方式にあっては、金属磁性材からなる磁性層の形成の
後にトラック幅規定溝に非磁性材(ガラス)を流し込む
こととなるために、次のような問題を内在しているので
ある。即ち、金属磁性材がアモルファス合成或いはパー
マロイ合金の場合において、そのような磁性材が500
℃以上に熱せられると、その磁気特性が劣化し、特にア
モルファス合金の場合、結晶化するために、大幅に劣化
するようになるところから、500℃以下でトラック幅
規定溝にガラスを流し込まねばならず、それ故低融点ガ
ラスを使用しなければならない。而して、低融点ガラス
の場合、磁気記録媒体の摺動時の耐摩耗性に難点がある
のみならず、強度が弱く、研削、切断等に欠けを生じる
という難点を有しているのである。However, in such a method of manufacturing a core for a composite type magnetic head, a non-magnetic material (glass) is poured into the track width defining groove after the formation of the magnetic layer made of a metal magnetic material. There is a problem like this. That is, when the metal magnetic material is amorphous synthetic or permalloy alloy, such magnetic material is
When it is heated above ℃, its magnetic properties deteriorate, and especially in the case of amorphous alloy, it will be greatly deteriorated due to crystallization, so glass must be poured into the track width defining groove below 500 ℃. No, therefore a low melting glass must be used. Thus, in the case of a low melting point glass, not only is there a difficulty in abrasion resistance when the magnetic recording medium is slid, but it is also weak in strength and has a drawback in that chips such as grinding and cutting occur. .
また、金属磁性材がセンダストの場合にあっては、上記
した如き高融点ガラスの流し込みにより、その磁気特性
が劣化するという問題はないが、500℃以上、例えば
700〜800℃以上に熱すると、フェライトとの熱膨
張係数差が大きいため(センダスト:150×10-7、
フェライト:110〜120×10-7)、ガラス融着時
にセンダストの内部応力が大きくなり、またセンダスト
の材質自体が粘りがなく、脆く且つフェライトの波形表
面に付着しているため、このガラス融着時或いは後の研
削、切断加工時にクラックが入ったり、或いは剥離し易
い等という問題を惹起する。Further, in the case where the metal magnetic material is sendust, there is no problem that the magnetic characteristics are deteriorated by the pouring of the high melting point glass as described above, but when heated to 500 ° C. or higher, for example, 700 to 800 ° C. or higher, Because of the large difference in thermal expansion coefficient with ferrite (Sendust: 150 × 10 -7 ,
Ferrite: 110-120 × 10 -7 ), the internal stress of Sendust becomes large during glass fusion, and the material of Sendust itself is not sticky, is brittle and adheres to the corrugated surface of ferrite. This causes problems such as cracking or easy peeling during or after grinding or cutting.
何れにしても、このような、金属磁性材からなる磁性膜
を形成した後に、トラック幅規定溝に非磁性材(ガラ
ス)を流し込む方式に従う複合型磁気ヘッド用コアの製
造手法には、実用上において幾つかの難点があり、工業
的に有利に採用し得るものではなかったのである。In any case, the method for manufacturing the composite magnetic head core according to the method of pouring the nonmagnetic material (glass) into the track width defining groove after forming the magnetic film made of the metal magnetic material is practically used. However, there are some drawbacks, and it was not industrially advantageous.
(発明の目的) ここにおいて、本発明は、かかる事情に鑑みて為された
ものであって、その目的とするところは、上記従来の複
合型磁気ヘッド用コア及びその製造手法における問題を
解決し、高保磁力記録媒体にも優れた記録再生特性を示
す磁気ヘッド用コアを提供し、且つその容易な製造方法
を提供するものであり、特にトラック幅精度の向上を容
易にし、且つリソグラフィー技術とエッチング技術によ
って、フェライトと金属磁性材との結合境界面を磁気ギ
ャップに対して斜めとなるようにすることにより、再生
出力におけるコンタ効果のない複合型磁気ヘッド用コア
を有利に製造することにある。(Object of the Invention) Here, the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to solve the problems in the conventional core for a composite type magnetic head and the manufacturing method thereof. The present invention provides a core for a magnetic head showing excellent recording / reproducing characteristics even for a high coercive force recording medium, and an easy manufacturing method therefor. Particularly, it is easy to improve the track width accuracy, and lithography technology and etching are used. By using a technique to make the coupling boundary surface between the ferrite and the metal magnetic material oblique with respect to the magnetic gap, it is possible to advantageously manufacture a core for a composite magnetic head having no contour effect in reproduction output.
(発明の構成) そして、本発明は、かかる目的を達成するために、第一
及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、環状の
磁路を構成する一方、それらフェライトブロックの突合
せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してなる組合せ体
を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において、(a)前
記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のものの
他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なくと
も磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互い
に平行な少なくとも2つの溝を、前記突合せ面に平行な
方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向において
形成する第一工程と、(b)該トラック幅規定溝の形成
されたフェライトブロックの突合せ面に所定の非磁性材
を適用して、該トラック幅規定溝内に該非磁性材を埋設
する第二工程と、(c)該フェライトブロックの突合せ
面に適用された非磁性材の不要部分を除去して、前記ト
ラック幅規定溝に挟まれたトラック部を露呈せしめる第
三工程と、(d)前記トラック部の一部が、所定幅で前
記トラック幅規定溝の形成方向に延びる少なくとも1つ
の露出部として露呈せしめられるように、所定のレジス
ト膜を前記フェライトブロックの突合せ面に形成した
後、かかる露出部を介して、該トラック部をエッチング
せしめ、凹凸面を形成する第四工程と、(e)該フェラ
イトブロックのエッチングされた突合せ面に所定の金属
磁性材を被着させる第五工程と、(f)該金属磁性材の
被着されたフェライトブロックの突合せ面の所定厚さ部
分を除去し、前記トラック部の凹凸面上に形成された該
金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつつ、前記トラッ
ク幅規定溝に埋設されている非磁性材を露呈せしめる第
六工程と、(g)該第六工程に先立って或いは該第六工
程の後に、前記第一及び第二のフェライトブロックの少
なくとも一方の突合せ面に、コイル巻線用の溝を形成す
る第七工程と、(h)前記第一工程乃至第七工程の終了
した第一及び第二のフェライトブロックの少なくとも一
方のものの突合せ面の少なくとも磁気ギャップ形成部位
に、所定厚さの非磁性層を形成する第八工程と、(i)
該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトブロッ
クの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ、互い
に接合して、一体化する第九工程と、(j)かかる接合
一体化された第一及び第二のフェライトブロック組合せ
体を所定の位置にて切断し、少なくとも1個の複合型磁
気ヘッド用コアを得る第十工程とを含むことを特徴とす
る複合型磁気ヘッド用コアの製造法を、その要旨とする
ものである。(Structure of the Invention) In order to achieve such an object, the present invention forms an annular magnetic path by abutting the first and second ferrite blocks, and at the abutting portions of the ferrite blocks, a predetermined gap is formed. In a method of manufacturing a core for a magnetic head using a combination body having a magnetic gap, (a) a track is formed on at least a magnetic gap forming portion of a butting surface of at least one of the two ferrite blocks with respect to the other ferrite block. A first step of forming at least two mutually parallel grooves defining a width in a direction parallel to the abutting surface and orthogonal to the magnetic gap; and (b) forming the track width defining groove. Apply a predetermined non-magnetic material to the abutting surface of the ferrite block, and embed the non-magnetic material in the track width defining groove. A second step of: (c) a third step of removing an unnecessary portion of the non-magnetic material applied to the abutting surface of the ferrite block to expose the track portion sandwiched by the track width defining groove; d) After forming a predetermined resist film on the abutting surface of the ferrite block so that a part of the track portion is exposed as at least one exposed portion extending in the formation direction of the track width defining groove with a predetermined width. A fourth step of etching the track portion through the exposed portion to form an uneven surface, and (e) a fifth step of depositing a predetermined metal magnetic material on the etched abutting surface of the ferrite block. And (f) removing a predetermined thickness portion of the abutting surface of the ferrite block coated with the metal magnetic material, and depositing the metal magnetic material deposited layer formed on the uneven surface of the track portion. A sixth step of exposing the non-magnetic material embedded in the track width defining groove while leaving the first and the second steps of (g) prior to or after the sixth step. A seventh step of forming a groove for coil winding on at least one butt surface of the second ferrite block; and (h) the first and second ferrite blocks after the first to seventh steps. An eighth step of forming a non-magnetic layer having a predetermined thickness on at least the magnetic gap forming portion of the abutting surface of at least one of them, (i)
The ninth step in which the magnetic gap forming portions of the abutting surfaces of the first and second ferrite blocks, which have completed the eighth step, are opposed to each other, and are bonded to each other, and (j) the bonding and integrated first step A tenth step of cutting the first and second ferrite block combinations at predetermined positions to obtain at least one composite magnetic head core. Is the gist.
なお、かかる本発明手法における一実施形態によれば、
前記第四工程において、前記露出部が、複数において、
前記トラック部上に所定間隔を隔てて形成され、それら
複数の露出部を介して該トラック部がエッチングされる
ことにより、該トラック部の幅方向において波形の一部
を構成する湾曲乃至は屈曲面が形成され、以て磁気ギャ
ップに対して傾斜した面が形成せしめられる。According to the embodiment of the method of the present invention,
In the fourth step, a plurality of exposed portions,
A curved or bent surface that forms a part of the waveform in the width direction of the track portion by being formed on the track portion at a predetermined interval and etching the track portion through the plurality of exposed portions. Are formed, so that a surface inclined with respect to the magnetic gap is formed.
また、本発明手法にあっては、前記第五工程に先立っ
て、前記フェライトブロックの突合せ面の少なくとも露
呈されたトラック部の表面上に、該トラック部を構成す
るフェライトとその上に被着される前記金属磁性材とを
密着させるガラス層を形成する操作が、必要に応じて実
施されることとなる。Further, in the method of the present invention, prior to the fifth step, on the surface of at least the exposed track portion of the abutting surface of the ferrite block, the ferrite that constitutes the track portion and the ferrite that constitutes the track portion are deposited. The operation of forming a glass layer that is brought into close contact with the metal magnetic material described above is performed as necessary.
(発明の具体的構成・実施例) ところで、かかる本発明において、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアを製造するために用いられる組合せ体を
与える第一及び第二のフェライトブロックには、従来か
らの高透磁率のフェライト材が用いられ、一般に、複数
の磁気ヘッド用コアが製造され得るように、所定厚さの
長手板状のブロックとして用いられて、それらの突合せ
によって、環状の磁路が構成せしめられるのである。な
お、この高透磁率のフェライトブロックとしては、Mn
−Znフェライト、Ni−Znフェライト等の単結晶体
若しくは多結晶体或いはそれらの複合体が用いられ、特
に単結晶体を用いる場合にあっては、その(100),
(110),(311),(332)等の結晶面がギャ
ップ対向面(フェライトブロック突合せ面)として有利
に選択されることとなる。(Specific Configurations and Examples of the Invention) By the way, in the present invention, the first and second ferrite blocks that provide the combination used to manufacture the intended core for the composite magnetic head are conventionally formed. The high magnetic permeability ferrite material of is used as a long plate-shaped block having a predetermined thickness so that a plurality of magnetic head cores can be manufactured, and their abutting forms an annular magnetic path. It can be configured. In addition, as the ferrite block having high magnetic permeability, Mn
A single crystal or a polycrystal such as —Zn ferrite or Ni—Zn ferrite, or a composite thereof is used. In particular, when the single crystal is used, (100),
Crystal planes such as (110), (311) and (332) are advantageously selected as gap facing surfaces (ferrite block butt surfaces).
そして、本発明にあっては、先ず、第一工程において、
上記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
とも磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する互い
に平行な少なくとも二つの溝が、該突合せ面に平行な方
向で且つ磁気ギャップとは直交する方向において形成さ
れることとなる。And in the present invention, first, in the first step,
At least two grooves which are parallel to each other and define a track width in at least a magnetic gap forming portion of the abutting surface of at least one of the two ferrite blocks with respect to the other ferrite block are parallel to the abutting surface and have a magnetic gap. Will be formed in orthogonal directions.
ところで、第5図(a)には、所定の高透磁率フェライ
トブロック31のギャップ対向面(突合せ面)31aに
おける磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する溝
32の複数が形成された例が示されているが、このトラ
ック幅規定溝は、第5図(a)の如く、フェライトブロ
ック31の稜部(磁気ギャップ形成部位)のみに形成さ
れる他、第5図(b)に示される如く、コア後部(磁気
記録媒体対向面31bとは反対側の部分)まで通して形
成された溝32′であっても、何等差し支えない。な
お、このトラック幅規定溝32,32′の溝形状は適宜
に選択され、例えば、第6図(a)や(b)の如き形状
において設けられることとなるが、後工程においてギャ
ップ対向面31aの研磨量の大小が生じても、トラック
幅の変動が小さい形状、即ちギャップ対向面31aに直
角な直線部を有する第6図(a)に示される如き溝形状
が、第6図(b)の溝形状よりも、好適に採用される。By the way, FIG. 5 (a) shows an example in which a plurality of grooves 32 defining the track width are formed in the magnetic gap forming portion on the gap facing surface (butting surface) 31a of the predetermined high magnetic permeability ferrite block 31. As shown in FIG. 5 (a), the track width defining groove is formed only at the ridge (magnetic gap forming portion) of the ferrite block 31, and as shown in FIG. 5 (b). It does not matter if the groove 32 'is formed so as to extend to the rear portion of the core (the portion opposite to the magnetic recording medium facing surface 31b). The groove shapes of the track width defining grooves 32 and 32 'are appropriately selected and provided, for example, in the shape as shown in FIGS. 6A and 6B. 6B shows a groove shape as shown in FIG. 6A having a straight line portion perpendicular to the gap facing surface 31a even if the amount of polishing is varied. It is more suitable than the groove shape.
そして、このようにして、トラック幅規定溝32の設け
られたフェライトブロック31には、第7図に示される
ように、第二工程として、そのトラック幅規定溝32の
形成されたギャップ対向面31a上に所定の非磁性材3
3が適用され、以てかかるトラック幅規定溝32内に
も、該非磁性材33が埋設、充填せしめられることとな
る。なお、この非磁性材33は、ガラス、セラミック系
の無機接着剤或いは硬質樹脂等が用いられるが、磁気記
録媒体の走行性等の安定性面からは、ガラスが適してい
る。Then, in this way, in the ferrite block 31 provided with the track width defining groove 32, as shown in FIG. 7, as a second step, the gap facing surface 31a in which the track width defining groove 32 is formed is formed. Predetermined non-magnetic material 3
3 is applied, so that the non-magnetic material 33 is also embedded and filled in the track width defining groove 32. As the non-magnetic material 33, glass, a ceramic-based inorganic adhesive, a hard resin, or the like is used, but glass is suitable in terms of stability such as running property of the magnetic recording medium.
次いで、このようにして、非磁性材33をトラック幅規
定溝32内に埋設した後、フェライトブロック31のギ
ャップ形成面31a上の不要な非磁性材33部分を少な
くとも除去して、該トラック幅規定溝32,32にて挟
まれたトラック部が露呈せしめられる(第三工程)。こ
の非磁性材33の不要部分の除去には、一般に、砥石に
より研削除去せしめる手法が採用され、またそのような
除去操作によって、フェライトブロック31のギャップ
対向面31aの所定厚さ部分が除去せしめられる。そし
て、このような除去操作によって、第8図に示される如
く、トラック幅規定溝32内にのみ非磁性材33が埋設
されてなるフェライトブロック31が得られるのであ
る。Then, after the nonmagnetic material 33 is embedded in the track width defining groove 32 in this way, at least the unnecessary nonmagnetic material 33 portion on the gap forming surface 31a of the ferrite block 31 is removed to define the track width defining area. The track portion sandwiched by the grooves 32, 32 is exposed (third step). To remove the unnecessary portion of the non-magnetic material 33, generally, a method of grinding and removing with a grindstone is adopted, and such a removing operation removes a predetermined thickness portion of the gap facing surface 31a of the ferrite block 31. . By such a removing operation, as shown in FIG. 8, the ferrite block 31 in which the non-magnetic material 33 is embedded only in the track width defining groove 32 is obtained.
第四工程では、かかるトラック幅規定溝32内に所定の
非磁性材33が埋設されてなるフェライトブロック31
に対して、そのトラック部が露呈されたギャップ対向面
31aに、第9図に示されるように、トラック部の一部
を残して、所定のレジスト膜34が形成される。即ち、
トラック部の一部が、所定幅でトラック幅規定溝32の
形成方向に延びる少なくとも一つの露出部(35)とし
て露呈せしめられるように、レジスト膜34がフェライ
ト31のギャップ対向面31a上に形成されるのであ
る。In the fourth step, a ferrite block 31 having a predetermined non-magnetic material 33 embedded in the track width defining groove 32 is formed.
On the other hand, as shown in FIG. 9, a predetermined resist film 34 is formed on the gap facing surface 31a where the track portion is exposed, leaving a part of the track portion. That is,
A resist film 34 is formed on the gap facing surface 31a of the ferrite 31 so that a part of the track portion is exposed as at least one exposed portion (35) extending in the formation direction of the track width defining groove 32 with a predetermined width. It is.
なお、かかるレジスト膜34のパターニングは、紫外
光、X線、電子線等にて行なわれる。また、レジスト膜
34のパターンは、第10図(a)に示される如く、ト
ラック部の中央に1〜3μm程度の幅の細いスリット3
5を一本入れた形態、また第10図(b)に示される如
く、そのような細いスリット35を二本入れた形態、或
いは第10図(c)に示される如く、中央部にレジスト
膜34を残して、トラック部の幅方向の両端部に、狭い
スリット状の露出部(35)が、それぞれ形成された形
態等が、好適に採用されることとなる。特に、かかるト
ラック部の幅が、例えば50μm以上と大きい場合、か
かるスリット35の数を少なくとも2つ以上として、そ
れを所定の間隔を隔てて縞状に配置することが望まし
い。なお、トラック幅が大きく、スリット数が少ない場
合においては、トラック幅全体をエッチングしようとす
ると、深さ方向のエッチング量が増え、金属磁性材の所
要厚みが厚くなって、非生産的となる。これを解決する
ため、スリット幅を大きくすると、エッチングされたフ
ェライト表面のギャップに対する傾斜が小さくなり、コ
ンタ効果の改善効果が小さくなる。The patterning of the resist film 34 is performed with ultraviolet light, X-rays, electron beams or the like. The pattern of the resist film 34 is, as shown in FIG. 10A, a thin slit 3 having a width of about 1 to 3 μm in the center of the track portion.
No. 5 is inserted, as shown in FIG. 10 (b), two such thin slits 35 are inserted, or as shown in FIG. 10 (c), a resist film is formed in the central portion. A shape in which narrow slit-shaped exposed portions (35) are formed at both ends in the width direction of the track portion, except for 34, is preferably adopted. Particularly, when the width of the track portion is as large as 50 μm or more, for example, it is desirable that the number of the slits 35 is at least two and the slits 35 are arranged in stripes at a predetermined interval. In the case where the track width is large and the number of slits is small, if the entire track width is to be etched, the etching amount in the depth direction increases and the required thickness of the metal magnetic material increases, which is unproductive. To solve this problem, if the slit width is increased, the slope of the etched ferrite surface with respect to the gap is decreased, and the effect of improving the contour effect is decreased.
次いで、かかる所定のレジスト膜34が形成されたフェ
ライトブロック31には、公知の電解エッチング処理或
いは化学エッチング処理が施される。その結果、レジス
ト膜34にて被覆されていないトラック部の露出面、換
言すればレジスト膜34のスリット35に対応するトラ
ック部部分が、該スリット35を介してエッチングさ
れ、そして第11図に示されるように、トラック部の表
面が凹凸面36となるのである。なお、このエッチング
条件としては、トラック幅規定溝32内に埋設された非
磁性材33に対するフェライトのエッチング比の極めて
大きい条件が選ばれることとなる。そして、このエッチ
ングの後、レジスト膜34を除去すると、第12図に拡
大して示される如き形状にエッチングされた凹凸面36
を有するトラック部が露呈する。なお、この露呈される
トラック部の表面形状に関し、第12図(a),
(b),(c)は、第10図(a),(b),(c)の
レジスト膜34の形成形態にそれぞれ対応するものであ
って、何れの形状においても、磁気ギャップに対して傾
斜した表面形状として、換言すればトラック部の幅方向
において、波形の一部を構成する湾曲乃至は屈曲面とし
て形成されているのである。Then, the ferrite block 31 on which the predetermined resist film 34 is formed is subjected to a known electrolytic etching process or chemical etching process. As a result, the exposed surface of the track portion which is not covered with the resist film 34, in other words, the track portion portion corresponding to the slit 35 of the resist film 34 is etched through the slit 35, and shown in FIG. As described above, the surface of the track portion becomes the uneven surface 36. As this etching condition, a condition in which the etching ratio of ferrite to the non-magnetic material 33 embedded in the track width defining groove 32 is extremely large is selected. Then, after this etching, the resist film 34 is removed. As a result, the uneven surface 36 etched into the shape shown in the enlarged view of FIG.
The track portion having is exposed. Regarding the surface shape of the exposed track portion, as shown in FIG.
(B) and (c) correspond to the formation forms of the resist film 34 in FIGS. 10 (a), (b), and (c), respectively, and in any shape, with respect to the magnetic gap. As the inclined surface shape, in other words, in the width direction of the track portion, it is formed as a curved surface or a bent surface forming a part of the waveform.
そして、このエッチング処理の施されたフェライトブロ
ック31には、第13図に示されるように、そのギャッ
プ対向面31a全面に対して、フェライトより飽和磁束
密度の高い金属磁性材37がスパッタリング等によって
被着せしめられる(第五工程)。この金属磁性材37に
は、Fe−Si(Si:6.5重量%)、Fe−Al−
Si合金(センダスト)、Ni−Fe合金(パーマロ
イ)等で代表される公知の結晶質合金があり、一方非晶
質合金としても、例えばFe−Co−Si−B系で代表
される周知のメタル−メタロイド系合金やCo−Zr、
Co−Zr−Nb等の周知のメタル−メタル系合金等が
用いられる。なお、Fe−Si,Fe−Al−Si合金
等を用いる場合には、よく知られているように、耐食性
向上等のために、5重量%以下のCr,Ti,Ta等の
元素の添加が適宜に行なわれる。また、このような磁性
材の被着には、他に真空蒸着、イオンプレーティング、
CVD、メッキ等でも可能であるが、組成変動等が大き
いことや、被着物質が限定されることから、スパッタリ
ング法が好適に採用される。Then, as shown in FIG. 13, the ferrite block 31 subjected to the etching treatment is covered with a metal magnetic material 37 having a saturation magnetic flux density higher than that of ferrite by sputtering or the like on the entire surface 31a facing the gap. Dressed up (fifth step). The metallic magnetic material 37 includes Fe-Si (Si: 6.5% by weight) and Fe-Al-.
There are known crystalline alloys typified by Si alloys (Sendust), Ni-Fe alloys (Permalloy), and the like, while amorphous alloys are also known metals typified by, for example, Fe-Co-Si-B system. -Metalloid alloys, Co-Zr,
Well-known metal-metal alloys such as Co-Zr-Nb are used. When using Fe-Si, Fe-Al-Si alloys, etc., it is well known that addition of 5 wt% or less of elements such as Cr, Ti, Ta, etc. is added to improve corrosion resistance. It is done appropriately. In addition, vacuum deposition, ion plating,
Although it is possible to use CVD, plating, or the like, the sputtering method is preferably adopted because of large compositional variations and the like and the adherends being limited.
なお、このような金属磁性材37の被着に先立ち、フェ
ライトブロック31の少なくともトラック部の凹凸面3
6上に、中間層として、ガラス層を、例えば数十〜10
0Å程度の厚さにおいて被着せしめることにより、かか
る金属磁性材の層の密着性をより高めることが可能であ
る。また、中間層として、Fe,Ni,Co等のうち少
なくとも1種の元素を用いれば、密着上有利となる。こ
れら磁性体を中間層として用いる場合、その厚さは10
00Å以下とする。なお、これら中間層の存在により、
擬似ギャップが増え、コンタ効果が心配されるが、エッ
チングされたトラック部の界面がギャップに対して充分
に傾斜せしめられるようにすれば、問題とならない。な
お、この中間ガラス層の存在により、擬似ギャップによ
る再生出力が増え、コンタ効果が心配されるが、エッチ
ングされたトラック部のフェライト界面が、ギャップに
対して充分に傾斜せしめられるようにすれば、それ程問
題となるものではない。Prior to the deposition of the metal magnetic material 37, the uneven surface 3 of at least the track portion of the ferrite block 31.
6, a glass layer, for example, several tens to 10 as an intermediate layer.
It is possible to further improve the adhesiveness of the layer of the metal magnetic material by applying the layer with a thickness of about 0Å. Further, if at least one element of Fe, Ni, Co and the like is used for the intermediate layer, it is advantageous in terms of adhesion. When these magnetic materials are used as the intermediate layer, the thickness is 10
It should be less than 00Å. In addition, due to the presence of these intermediate layers,
Although the pseudo gap increases and the contour effect is a concern, it does not matter if the interface of the etched track portion is sufficiently inclined with respect to the gap. The presence of this intermediate glass layer increases the reproduction output due to the pseudo gap, and there is a concern about the contour effect, but if the ferrite interface of the etched track portion is sufficiently inclined with respect to the gap, It's not that much of a problem.
次いで、かかる金属磁性材37の被着されたフェライト
ブロック31には、そのギャップ対向面31aに対し
て、通常の切削、研磨操作が施され、かかるフェライト
ブロック31に被着した金属磁性材37の不要部、フェ
ライト部分及び非磁性材33の一部が除去せしめられる
(第六工程)。即ち、この金属磁性材37の被着された
フェライトブロック31のギャップ対向面31aの所定
厚さ部分を除去することにより、第14図に示されるよ
うに、トラック部の凹凸面36上に形成された金属磁性
材37の被着層を所定厚さで残しつつ、トラック幅規定
溝32に埋設されている非磁性材33を露呈せしめて、
かかる残存する金属磁性材層とフェライト部分にて構成
されるトラック部の幅が規定されることとなる。Then, the ferrite block 31 to which the metal magnetic material 37 is adhered is subjected to normal cutting and polishing operations on the gap facing surface 31a, so that the metal magnetic material 37 adhered to the ferrite block 31 is removed. The unnecessary portion, the ferrite portion and a part of the non-magnetic material 33 are removed (sixth step). That is, by removing a predetermined thickness portion of the gap facing surface 31a of the ferrite block 31 to which the metal magnetic material 37 is adhered, it is formed on the uneven surface 36 of the track portion as shown in FIG. The nonmagnetic material 33 embedded in the track width defining groove 32 is exposed while leaving the adhered layer of the metal magnetic material 37 with a predetermined thickness.
The width of the track portion constituted by the remaining metal magnetic material layer and the ferrite portion is defined.
また、かかる第六工程に先立つか、或いはその工程の後
で、二つのフェライトブロック31,31′の少なくと
も一方に、そのギャップ対向面31a側において、コイ
ル巻線用の溝38が形成される。なお、ここでは、一
方、フェライトブロック31にのみ、上記第一工程乃至
第六工程が適用されているが、また他方のフェライトブ
ロック31′に対しても、同様に第一工程乃至第六工程
が付与されていても、何等差し支えなく、特に本発明に
あっては、二つのフェライトブロック31,31′に対
して、それぞれ上記第一工程乃至第六工程が有利に適用
されることとなる。そして、その後、フェライトブロッ
ク31,31′の互いに突き合わされるギャップ対向面
(31a)には、表面研磨が施されて最終仕上げが行な
われ、第15図に示されるように、ギャップ対向仕上げ
面39を有するフェライトブロック31,31′とされ
る。Further, prior to or after the sixth step, a coil winding groove 38 is formed on at least one of the two ferrite blocks 31, 31 ′ on the gap facing surface 31 a side. Although the first step to the sixth step are applied only to the ferrite block 31 here, the first step to the sixth step are similarly applied to the other ferrite block 31 '. Even if it is added, it does not matter at all, and particularly in the present invention, the above first to sixth steps are advantageously applied to the two ferrite blocks 31 and 31 ', respectively. Then, after that, the gap facing surfaces (31a) of the ferrite blocks 31, 31 'which are butted against each other are surface-polished to be finally finished, and as shown in FIG. Ferrite blocks 31, 31 'having
そして、かかる第七工程で得られたフェライトブロック
31,31′の少なくとも一方のギャップ対向仕上げ面
39(39′)のギャップ形成部位に、SiO2、ガラ
ス等のギャップ形成用非磁性材が所定厚みにスパッタリ
ングにて適用され、所定厚さのギャップ形成層が形成さ
れることとなる(第八工程)。このとき、前記金属磁性
材37として、Fe−Si、Fe−Al−Si等の結晶
質合金を用いた場合にあっては、500℃以上に温度を
上げて、かかる金属磁性材の熱処理が同時に出来るSi
O2或いは高融点ガラスを、前記ギャップ形成用非磁性
材として用いることが望ましく、またNi−Fe合金や
非晶質合金を金属磁性材として用いた場合にあっては、
400℃〜450℃で接合、熱処理が可能な低融点ガラ
スを、前記ギャップ形成用非磁性材として用いることが
望ましい。Then, a nonmagnetic material for forming a gap such as SiO 2 or glass has a predetermined thickness at a gap forming portion of at least one gap facing finished surface 39 (39 ′) of the ferrite blocks 31, 31 ′ obtained in the seventh step. Is applied by sputtering to form a gap forming layer having a predetermined thickness (eighth step). At this time, when a crystalline alloy such as Fe—Si or Fe—Al—Si is used as the metal magnetic material 37, the temperature is raised to 500 ° C. or higher to simultaneously heat treat the metal magnetic material. Can Si
It is desirable to use O 2 or a high melting point glass as the non-magnetic material for forming the gap, and in the case of using a Ni—Fe alloy or an amorphous alloy as the metal magnetic material,
It is desirable to use a low melting point glass that can be bonded and heat-treated at 400 ° C. to 450 ° C. as the nonmagnetic material for forming the gap.
次いで、かかる第八工程で得られた二つのフェライトブ
ロック31,31′を、それぞれのギャップ対向仕上げ
面39,39′をそれぞれのトラック部が合致するよう
に整列、対向させて、環状の磁路を構成せしめ、そして
加熱、加圧することにより、常法にて接合、一体化せし
めて、第16図に示される如き、組合せ体としてのフェ
ライトブロック接合体40を形成せしめる(第九工
程)。そして、この場合、接合は、トラック幅規定溝3
2内に充填された非磁性材33がガラスならば、このガ
ラスとギャップ形成用の非磁性材としてのガラスの接合
により行なわれることとなる。また、次のようにして
も、組み合わせ体の接合は可能である。即ち、ギャップ
形成用の非磁性体として、SiO2,Al2O3等の高
融点酸化物をギャップ対向面に形成する一方、コイル巻
線溝、更に必要に応じて、後部溝にガラス棒を差し込
み、加熱,加圧することにより、これらの溝に入れたガ
ラス棒を溶融させて、一対のフェライトブロックを接合
することも可能である。なお、この溝に差し込み溶融せ
しめられるガラスにつき、前記と同様に、金属磁性材の
種類に応じて、その接合温度が選択されることとなる。Next, the two ferrite blocks 31 and 31 'obtained in the eighth step are aligned and opposed so that the gap facing finish surfaces 39 and 39' are aligned with each other, and the annular magnetic paths are aligned. And then by heating and pressurizing, they are bonded and integrated by a conventional method to form a ferrite block bonded body 40 as a combined body as shown in FIG. 16 (ninth step). In this case, the joining is performed by the track width defining groove 3
If the non-magnetic material 33 filled in 2 is glass, this is performed by joining this glass and glass as a non-magnetic material for forming a gap. Further, the combination can be joined by the following method. That is, as a non-magnetic material for forming a gap, a refractory oxide such as SiO 2 or Al 2 O 3 is formed on the surface facing the gap, while a glass rod is formed in the coil winding groove and, if necessary, a rear groove. It is also possible to fuse the glass rods put in these grooves by inserting, heating, and pressing to join the pair of ferrite blocks. Regarding the glass to be inserted into this groove and melted, the joining temperature will be selected according to the type of the magnetic metal material, as described above.
また、かかる第九工程で接合されたフェライトブロック
接合体(組合せ体)40を、トラック幅を中心にして第
17図において点線で示される所要のコア幅(T)とな
るように切断せしめることにより、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアが順次切り出され、以てその少なくとも
1個が取得されることとなる。なお、このコアの切り出
しに際して、場合により、公知の如く、アジマス角だけ
傾けて切断する方法も採用される。Further, by cutting the ferrite block bonded body (combined body) 40 bonded in the ninth step so that the core width (T) shown by the dotted line in FIG. The target composite magnetic head cores are sequentially cut out, and at least one of them is obtained. Incidentally, when cutting out the core, a method of tilting by an azimuth angle and cutting the core may be used depending on the case.
このようにして得られた、本発明に従う複合型磁気ヘッ
ド用コアの構造が、第18図に斜視図として示されてい
る。この構造は、第一工程において、フェライトブロッ
ク31の稜部にのみトラック幅規定溝32を形成した第
5図(a)の場合に対応しており、また第19図は、か
かる磁気ヘッド用コアの磁気記録媒体対向面からみた要
部の形態が示されている。一方、第20図に示される磁
気ヘッド用コアの構造は、前記第一工程でフェライトブ
ロック31の後部までトラック幅規定溝32′を形成し
た第5図(b)の場合に対応する構造のものである。な
お、これらの図において、41は、左右のトラック部の
金属磁性材層37、37′間に形成される磁気ギャップ
である。The structure of the composite magnetic head core according to the present invention thus obtained is shown in FIG. 18 as a perspective view. This structure corresponds to the case of FIG. 5 (a) in which the track width defining groove 32 is formed only on the ridge portion of the ferrite block 31 in the first step, and FIG. 19 shows such a core for a magnetic head. The morphology of the main part as viewed from the surface facing the magnetic recording medium is shown. On the other hand, the structure of the magnetic head core shown in FIG. 20 corresponds to the structure of FIG. 5 (b) in which the track width defining groove 32 'is formed up to the rear part of the ferrite block 31 in the first step. Is. In these figures, 41 is a magnetic gap formed between the metal magnetic material layers 37 and 37 'of the left and right track portions.
そして、このようにして、本発明に従って得られた複合
型磁気ヘッド用コアには、更に公知の如く、そのコイル
巻線用の溝38によって形成され孔42を利用して、コ
イルが巻装され、以て目的とする複合型磁気ヘッドとさ
れるのである。As described above, the core of the composite magnetic head obtained according to the present invention is wound with a coil by using the hole 42 formed by the groove 38 for coil winding. Thus, the desired composite magnetic head is obtained.
以上、本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造手法につい
て、VTR用磁気ヘッド用コアの製造例に基づいて、詳
細に説明してきたが、本発明が、かかる例示の具体例に
のみ限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て種々なる変更、修正、改良等を加えた形態において実
施され得るものであることが、理解されるべきである。The method of manufacturing the magnetic head core according to the present invention has been described above in detail based on the manufacturing example of the VTR magnetic head core. However, the present invention should be construed as being limited to the specific examples. It should be understood that the present invention is not limited to the above, and may be implemented in a form in which various changes, modifications, improvements, etc. are added based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. is there.
また、本発明に従う複合型磁気ヘッド用コアの製造手法
は、単に例示のVTR用ヘッドに止まらず、FDD用ヘ
ッド、RDD用ヘッド、更にはDAT用ヘッド等の磁気
ヘッドのためのコアの製造にも、適用可能であること
は、言うまでもないところである。Further, the method for manufacturing the composite magnetic head core according to the present invention is not limited to the illustrated VTR head, and is applicable to the manufacture of cores for magnetic heads such as FDD heads, RDD heads, and DAT heads. Needless to say, it is applicable.
(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明に従う複合型磁
気ヘッド用コアの製造方法は、 (a)得られる複合型磁気ヘッド用コアにおいて、従来
のものに比べ、主磁気回路がフェライトから構成されて
おり、金属磁性材は磁気ギャップ近傍のみに存在する構
成のため、渦電流損失を小さく出来る方法となっている
こと、 (b)フェライトと金属磁性材の結合境界面が磁気ギャ
ップに対して斜めとなっている凹凸構造により、コンタ
効果が無視出来、また密着を良くするために、フェライ
トと金属磁性材の中間層としてガラス層を設けても、そ
のようなコンタ効果が無視出来る利点を有しているこ
と、 (c)トラック幅規定用の溝に予め埋設された非磁性材
とフェライトのエッチング速度の比を利用して、高精度
のトラック幅からなる磁気ヘッド用コアが量産出来るこ
と、 (d)レジスタを用いたリソグラフィー技術とエッチン
グ技術の組合せにより、多数のフェライトブロックを同
時に且つ均一な形状にエッチングすることが出来、ひい
てはヘッド特性の均一な磁気ヘッド用コアが量産出来る
こと、 (e)予めトラック幅規定溝内に非磁性材を流し込んだ
後に、金属磁性材からなる磁性膜を形成するものである
ところから、耐摩耗性、加工時の欠け等の問題のない、
高融点ガラスの使用が可能であり、特に金属磁性材とし
てアモルファス合金やパーマロイ合金を用いた場合にあ
っては熱劣化がなく、一方センダストを用いた場合にあ
っては、後の加工工程においてクラック、剥離等の問題
がないところから、磁気ヘッド用コアの工業的な製造が
有利に行なわれ得ること、 等の数々の大きな利点を有しているのである。(Effects of the Invention) As is clear from the above description, the method for manufacturing the composite magnetic head core according to the present invention is: (a) The obtained composite magnetic head core has a main magnetic circuit as compared with the conventional one. Is composed of ferrite, and the metal magnetic material exists only near the magnetic gap, so it is a method that can reduce eddy current loss. (B) The coupling interface between the ferrite and the metal magnetic material is magnetic. Due to the concavo-convex structure that is oblique to the gap, the contour effect can be ignored, and even if a glass layer is provided as an intermediate layer between the ferrite and the metal magnetic material to improve adhesion, such contour effect is ignored. (C) A high-precision track width can be obtained by using the ratio of the etching rates of the non-magnetic material and the ferrite that are embedded in the groove for defining the track width in advance. It is possible to mass-produce a magnetic head core consisting of (d) and by using a combination of a lithography technique and a etching technique using a resistor, a large number of ferrite blocks can be etched simultaneously and in a uniform shape, which in turn leads to uniform head characteristics. The magnetic head core can be mass-produced. (E) Since a nonmagnetic material is poured into the track width defining groove in advance and a magnetic film made of a metallic magnetic material is formed, wear resistance and processing There are no problems such as chipping,
High melting point glass can be used, especially when using amorphous alloy or permalloy alloy as the metal magnetic material, there is no thermal deterioration, while when sendust is used, cracks occur in the subsequent processing steps. Since there is no problem such as peeling, industrial production of the magnetic head core can be advantageously carried out, and there are a number of great advantages.
第1図及び第2図は、それぞれ、従来の複合型磁気ヘッ
ド用コアの一例を示す斜視図及び上面図であり、第3図
は、従来の複合型磁気ヘッド用コアの他の例を示す斜視
図であり、第4図(a)及び(b)は、それぞれ、従来
の複合型磁気ヘッド用コアの更に他の例を示す斜視図及
び上面図である。 第5図乃至第20図は、本発明の一実施例に係る各工程
の説明図であって、第5図(a)及び(b)は、それぞ
れ異なるトラック幅規定溝を設けたフェライトブロック
の斜視図、第6図(a)及び(b)は、それぞれトラッ
ク幅規定溝の異なる断面形態を示す断面略図、第7図は
第二工程を終了した状態のフェライトブロックの要部斜
視図、第8図は第三工程を終了した状態を示すフェライ
トブロックの斜視図、第9図は第四工程においてレジス
ト膜の形成された状態を示すフェライトブロックの斜視
図、第10図(a)、(b)及び(c)は、それぞれ異
なる形態のレジスト膜を設けてなるフェライトブロック
の要部斜視図、第11図は第四工程におけるエッチング
後の状態を示すフェライトブロックの斜視図、第12図
(a)、(b)及び(c)は、それぞれ異なるレジスト
膜のスリット形態に基づいて形成されたトラック部の凹
凸面の形態の異なる例を示す要部斜視図、第13図は第
五工程の実施されたフェライトブロックの要部断面説明
図、第14図は第六工程の施されたフェライトブロック
の斜視図、第15図は第七工程の実施されたフェライト
ブロックの斜視図、第16図は第九工程において二つの
フェライトブロックが一体化されてなる組合せ体の斜視
図、第17図は第十工程において1個の複合型磁気ヘッ
ド用コアを得るための切断位置を説明する組合せ体の上
面図、第18図及び第19図は、それぞれ本発明の工程
に従って得られる複合型磁気ヘッド用コアの一例を示す
斜視図及び上面図、第20図は本発明に従って得られる
複合型磁気ヘッド用コアの他の一例を示す第18図に対
応する図である。 31,31′:フェライトブロック 31a:ギャップ対向面 32,32′:トラック幅規定溝 33,33′:非磁性埋設材 34:レジスト膜、35:スリット 36:凹凸面、37,37′:金属磁性材 38:コイル巻線用溝 39:ギャップ対向仕上げ面 40:フェライトブロック接合体 41:磁気ギャップ1 and 2 are a perspective view and a top view showing an example of a conventional composite type magnetic head core, respectively, and FIG. 3 shows another example of a conventional composite type magnetic head core. 4 (a) and 4 (b) are respectively a perspective view and a top view showing still another example of the conventional composite type magnetic head core. 5 to 20 are explanatory views of each step according to one embodiment of the present invention, and FIGS. 5A and 5B show a ferrite block having different track width defining grooves. 6A and 6B are schematic cross-sectional views showing different cross-sectional shapes of the track width defining groove, and FIG. 7 is a perspective view of a main part of the ferrite block after completion of the second step. FIG. 8 is a perspective view of the ferrite block showing a state where the third step is finished, FIG. 9 is a perspective view of the ferrite block showing a state where the resist film is formed in the fourth step, FIGS. 10 (a), (b). ) And (c) are perspective views of a main part of a ferrite block provided with resist films of different forms, FIG. 11 is a perspective view of the ferrite block showing a state after etching in the fourth step, and FIG. ), (B) and FIG. 13C is a perspective view of a main portion showing an example in which the shape of the uneven surface of the track portion formed based on the different slit shapes of the resist film is different, and FIG. 13 is a perspective view of the ferrite block subjected to the fifth step. 14 is a perspective view of the ferrite block subjected to the sixth step, FIG. 15 is a perspective view of the ferrite block subjected to the seventh step, and FIG. 16 is two ferrites in the ninth step. FIG. 17 is a perspective view of a combination body in which blocks are integrated, FIG. 17 is a top view of the combination body for explaining a cutting position for obtaining one composite magnetic head core in the tenth step, FIG. 18 and FIG. 19 is a perspective view and a top view showing an example of a composite magnetic head core obtained according to the process of the present invention, and FIG. 20 is another example of a composite magnetic head core obtained according to the present invention. Is a diagram corresponding to FIG. 18 showing. 31, 31 ': Ferrite block 31a: Gap facing surface 32, 32': Track width defining groove 33, 33 ': Nonmagnetic embedding material 34: Resist film, 35: Slit 36: Concavo-convex surface, 37, 37': Metal magnetic Material 38: Groove for coil winding 39: Finished surface facing the gap 40: Ferrite block bonded body 41: Magnetic gap
Claims (3)
合わせて、環状の磁路を構成する一方、それらフェライ
トブロックの突合せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成
してなる組合せ体を用いた磁気ヘッド用コアの製造法に
おいて、 前記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
とも磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互
いに平行な少なくとも2つの溝を、前記突合せ面に平行
な方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向におい
て形成する第一工程と、 該トラック幅規定溝の形成されたフェライトブロックの
突合せ面に所定の非磁性材を適用して、該トラック幅規
定溝内に該非磁性材を埋設する第二工程と、 該フェライトブロックの突合せ面に適用された非磁性材
の不要部分を除去して、前記トラック幅規定溝に挟まれ
たトラック部を露呈せしめる第三工程と、 前記トラック部の一部が、所定幅で前記トラック幅規定
溝の形成方向に延びる少なくとも1つの露出部として露
呈せしめられるように、所定のレジスト膜を前記フェラ
イトブロックの突合せ面に形成した後、かかる露出部を
介して、該トラック部をエッチングせしめ、凹凸面を形
成する第四工程と、 該フェライトブロックのエッチングされた突合せ面に所
定の金属磁性材を被着させる第五工程と、 該金属磁性材の被着されたフェライトブロックの突合せ
面の所定厚さ部分を除去し、前記トラック部の凹凸面上
に形成された該金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつ
つ、前記トラック幅規定溝に埋設されている非磁性材を
露呈せしめる第六工程と、 該第六工程に先立って或いは該第六工程の後に、前記第
一及び第二のフェライトブロックの少なくとも一方の突
合せ面に、コイル巻線用の溝を形成する第七工程と、 前記第一工程乃至第七工程の終了した第一及び第二のフ
ェライトブロックの少なくとも一方のものの突合せ面の
少なくとも磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの非磁性
層を形成する第八工程と、 該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトブロッ
クの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ、互い
に接合して、一体化する第九工程と、 かかる接合一体化された第一及び第二のフェライトブロ
ック組合せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも1個
の複合型磁気ヘッド用コアを得る第十工程とを、 含むことを特徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造
法。1. A magnetic head using a combination body in which a first and a second ferrite block are butted against each other to form an annular magnetic path, and a magnetic gap having a predetermined gap is formed at the butted portion of these ferrite blocks. In the method for manufacturing a core for use, at least two grooves parallel to each other that define a track width are provided in the abutting surface at least at a magnetic gap forming portion of the abutting surface of at least one of the two ferrite blocks with respect to the other ferrite block. The first step of forming in the parallel direction and in the direction orthogonal to the magnetic gap, and applying a predetermined non-magnetic material to the abutting surface of the ferrite block in which the track width defining groove is formed, thereby defining the track width The second step of embedding the non-magnetic material in the groove, and the non-magnetic material applied to the abutting surface of the ferrite block. A third step of removing an unnecessary portion of the elastic material to expose the track portion sandwiched by the track width defining grooves, and a part of the track portion extends in the track width defining groove forming direction with a predetermined width. A fourth step of forming a predetermined resist film on the abutting surface of the ferrite block so as to be exposed as at least one exposed portion, and then etching the track portion through the exposed portion to form an uneven surface. A fifth step of depositing a predetermined metal magnetic material on the etched abutting surface of the ferrite block, and removing a predetermined thickness portion of the abutting surface of the ferrite block coated with the metal magnetic material, Exposing a non-magnetic material embedded in the track width defining groove while leaving an adhered layer of the metal magnetic material formed on the uneven surface of the track portion with a predetermined thickness. Prior to or after the sixth step, a seventh step of forming a groove for coil winding on the butt surface of at least one of the first and second ferrite blocks, An eighth step of forming a non-magnetic layer of a predetermined thickness on at least a magnetic gap forming portion of the abutting surface of at least one of the first and second ferrite blocks after the first to seventh steps, Eighth step is completed, the magnetic gap forming portions of the abutting surfaces of the first and second ferrite blocks are opposed to each other, and are joined together to form a ninth step; A tenth step of cutting the ferrite block combination at a predetermined position to obtain at least one core for a composite magnetic head, the method for manufacturing a core for a composite magnetic head.
数において、前記トラック部上に所定間隔を隔てて形成
され、それら複数の露出部を介して該トラック部がエッ
チングされることにより、該トラック部の幅方向におい
て波形の一部を構成する湾曲乃至は屈曲面が形成される
特許請求の範囲第1項記載の製造法。2. In the fourth step, a plurality of the exposed portions are formed on the track portion at predetermined intervals, and the track portion is etched through the plurality of exposed portions, The manufacturing method according to claim 1, wherein a curved or bent surface forming a part of the corrugation is formed in the width direction of the track portion.
ブロックの突合せ面の少なくとも露呈されたトラック部
の表面上に、該トラック部を構成するフェライトとその
上に被着される前記金属磁性材とを密着させるガラス層
が形成される特許請求の範囲第1項または第2項記載の
製造法。3. Prior to the fifth step, on the surface of at least the exposed track portion of the abutting surface of the ferrite block, the ferrite constituting the track portion and the metal magnetic material adhered thereon are formed. The manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein a glass layer that adheres to and is formed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14274987A JPH0622044B2 (en) | 1987-06-08 | 1987-06-08 | Manufacturing method of core for composite type magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14274987A JPH0622044B2 (en) | 1987-06-08 | 1987-06-08 | Manufacturing method of core for composite type magnetic head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63306505A JPS63306505A (en) | 1988-12-14 |
JPH0622044B2 true JPH0622044B2 (en) | 1994-03-23 |
Family
ID=15322687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14274987A Expired - Lifetime JPH0622044B2 (en) | 1987-06-08 | 1987-06-08 | Manufacturing method of core for composite type magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0622044B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0628620A (en) * | 1992-03-07 | 1994-02-04 | Ngk Insulators Ltd | Production of core for magnetic head |
-
1987
- 1987-06-08 JP JP14274987A patent/JPH0622044B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63306505A (en) | 1988-12-14 |
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