JPH06219722A - Silicon oxynitride fiber and its production - Google Patents

Silicon oxynitride fiber and its production

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JPH06219722A
JPH06219722A JP19130793A JP19130793A JPH06219722A JP H06219722 A JPH06219722 A JP H06219722A JP 19130793 A JP19130793 A JP 19130793A JP 19130793 A JP19130793 A JP 19130793A JP H06219722 A JPH06219722 A JP H06219722A
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fiber
polysiloxazane
oxygen
silicon oxynitride
mol
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幹郎 新井
Isato Nishii
勇人 西井
Takeshi Isoda
武志 礒田
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Abstract

PURPOSE:To provide the subject fiber useful as a reinforcing material for high performance composite materials by reacting a dihalosilane or its adduct with a Lewis base with ammonia and water or oxygen, spinning the produced polysiloxazane and subsequently baking the produced fiber. CONSTITUTION:A dihalosilane (e.g. dichlorosilane) or the adduct of the dihalosilane with a Lewis base is reacted with ammonia and water or oxygen to produce a polysiloxazane. The polysiloxazane contains -(SiH2)n(NH)r- and -(SiH2)mO- (n, m and r are 1-3) as main repeating units, and has a polymerization degree of 5-300 based on the repeating units. The polymer is dissolved in a suitable solvent (e.g. pentane) in a concentration of 5-90wt.% to prepare a spinning raw solution having a viscosity of 1-5000 poises. The spinning raw solution is spun by a dry-spinning method, etc., and subsequently baked at >=800 deg.C in an inert gas. The produced fiber contains >=5mol.% of nitrogen and >=5mol.% of oxygen and has a chemical formula of Si1+xN(4-y)/3Oy/2Cz (0<x<3, 0<4, 0<z<1.1).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は新規な酸窒化珪素繊維お
よびその製法に係る。酸窒化珪素繊維は運輸、エネルギ
ー、金属、宇宙航空などの広範囲な産業での先端分野に
必要な高性能複合材料の強化材として非常に有用であ
る。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a novel silicon oxynitride fiber and a method for producing the same. Silicon oxynitride fiber is very useful as a reinforcing material for high performance composite materials required in advanced fields in a wide range of industries such as transportation, energy, metal, and aerospace.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年セラミックスの研究・開発は飛躍的
に進展しており、多くの研究者達は炭化珪素、窒化珪素
等のセラミック材料を合成してきている。一方、酸窒化
珪素もまた炭化珪素および窒化珪素と同様に耐熱性の材
料であり、炭化珪素や窒化珪素に比べて耐酸化性は高い
ことが知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, the research and development of ceramics have made great progress, and many researchers have synthesized ceramic materials such as silicon carbide and silicon nitride. On the other hand, silicon oxynitride is also a heat-resistant material like silicon carbide and silicon nitride, and is known to have higher oxidation resistance than silicon carbide and silicon nitride.

【0003】さて、酸窒化珪素セラミック材料の合成に
関してはいくつかの先行技術がある。 (1)金属珪素と二酸化珪素の混合物をアルカリ土類、
あるいはアルカリ金属の弗化物の存在下窒素雰囲気下1
150〜1350℃で窒化する方法(多田、特開昭47
−42400号公報)。珪素と二酸化珪素を出発原料と
する方法としては、その他にもこれ等の混合物にある種
の金属を添加しこれを窒素雰囲気下で加熱して繊維状あ
るいはウィスカ状に生成・成長させる方法が開示されて
いる(特開昭50−29498号公報;特開昭51−1
29898号公報;特開昭53−79799号公報)。
There are several prior art techniques for the synthesis of silicon oxynitride ceramic materials. (1) A mixture of metallic silicon and silicon dioxide is alkaline earth,
Or in the presence of alkali metal fluoride under a nitrogen atmosphere 1
Method of nitriding at 150 to 1350 ° C. (Tada, JP-A-47)
-42400). As a method of using silicon and silicon dioxide as a starting material, a method of adding a certain kind of metal to a mixture of these and heating it under a nitrogen atmosphere to generate and grow in a fibrous or whisker-like shape is disclosed. (Japanese Patent Application Laid-Open No. 50-29498; Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-1)
29898; Japanese Patent Laid-Open No. 53-79799).

【0004】(2)ポリカーボシランを繊維化し、それ
を酸化不融化した後800〜1400℃の温度下でNH
3 で処理してSiN1.5 0.47なる構造を有する酸窒化
珪素の連続繊維を製造する方法(Okamura他、Chemistry
Letters,PP.2059-2060,1984)。
(2) Polycarbosilane is made into fibers, which are oxidatively infusible and then NH at a temperature of 800 to 1400 ° C.
Method for producing continuous fibers of silicon oxynitride having a structure of SiN 1.5 O 0.47 by treatment with 3 (Okamura et al., Chemistry
Letters, PP. 2059-2060, 1984).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記(1)の方法は酸
窒化珪素を連続長繊維化する方法を提供していない。酸
窒化珪素に限らず、各セラミック材料は繊維状に賦形化
されるとその機械的強度は飛躍的に向上し、かつ成形の
自由度も増大することが知られているので、容易に長繊
維化できる特性は極めて重要である。
The above method (1) does not provide a method for making silicon oxynitride into continuous fibers. It is known that not only silicon oxynitride but also each ceramic material is dramatically improved in mechanical strength when it is formed into a fibrous shape, and the degree of freedom in molding is increased. The properties that can be made into fibers are extremely important.

【0006】前記(2)のポリカーボシラン経由の方法
は酸窒化珪素連続繊維を製造する方法を提供している。
しかし、そのプロセスは複雑であるのでこの点改良の余
地がある。
The method (2) via polycarbosilane provides a method for producing continuous silicon oxynitride fibers.
However, the process is complicated and there is room for improvement in this respect.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者等は酸窒化珪素
の連続無機繊維に関するより工業化に適した新規な製造
法を研究している過程で、新規なポリシロキサザンを適
切な方法により連続繊維化すれば、比較的簡単な工程で
優れた性質を有する酸窒化珪素の無機連続繊維を製造し
うることを見い出し、本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems In the process of studying a novel industrial process suitable for industrialization of continuous inorganic fibers of silicon oxynitride, the present inventors continuously added a novel polysiloxazane by an appropriate method. The present invention has been completed by discovering that if fiberized, an inorganic continuous fiber of silicon oxynitride having excellent properties can be produced by a relatively simple process.

【0008】すなわち、本発明は、まず、ジクロロシラ
ン(SiH2 Cl2 )のようなジハロシランまたはジハ
ロシランとルイス塩基とのアダクトをNH3 およびH2
OまたはO2 と反応させて新規なポリシロキサザンを製
造する。このポリシロキサザンは−(SiH2 n (N
H)r −および−(SiH2 m O−(式中、n,m,
rはそれぞれ1,2または3、好ましくは1または2で
ある。)を主たる繰返し単位とし、これらを基準に5〜
300の重合度を有している。更に、本発明は、このポ
リシロキサザンを紡糸し焼成して酸窒化珪素繊維を製造
する。この結果製造される酸窒化珪素の無機連続繊維は
実質的に珪素、窒素、酸素および任意に炭素から成り、
窒素を5モル%以上、酸素を5モル%以上含有し、かつ
式Si1+ x (4-y)/3 y/2 z (式中、0<x<3、
0<y<4、0≦z<1.1)で示される組成を有する
新規な酸窒化珪素繊維である。本発明はこの新規な無機
連続繊維に係わる。
That is, according to the present invention, first, a dihalosilane such as dichlorosilane (SiH 2 Cl 2 ) or an adduct of a dihalosilane and a Lewis base is added to NH 3 and H 2.
Reaction with O or O 2 produces a novel polysiloxazane. The polysiloxazane is - (SiH 2) n (N
H) r − and − (SiH 2 ) m O − (wherein n, m,
Each r is 1, 2 or 3, preferably 1 or 2. ) As the main repeating unit, and based on these,
It has a degree of polymerization of 300. Furthermore, in the present invention, this polysiloxazane is spun and fired to produce a silicon oxynitride fiber. The resulting inorganic continuous fiber of silicon oxynitride consists essentially of silicon, nitrogen, oxygen and optionally carbon,
Containing 5 mol% or more of nitrogen and 5 mol% or more of oxygen, and having the formula Si 1+ x N (4-y) / 3 O y / 2 C z (wherein 0 <x <3,
It is a novel silicon oxynitride fiber having a composition represented by 0 <y <4 and 0 ≦ z <1.1). The present invention relates to this novel inorganic continuous fiber.

【0009】この新規な組成を有する無機連続繊維はポ
リシラザン繊維を水または酸素を含む気体で処理して製
造される新規なポリシロキサザン繊維を焼成することに
よっても製造することができ、本発明はこのようなポリ
シロキサザン繊維(賦形体)にもとづく無機連続繊維の
製法にも係わる。本発明を更に詳わしく説明すると、本
発明で使用するジハロシランは、特に一般式SiH2
2 、Si2 4 2 (X=F、Cl、Br、I)で表わ
されるジハロモノシランやジハロジシランを使用するこ
とが好ましい。本発明においては、これ等のジハロシラ
ンの中でも特にジクロロシランが好ましい。このような
ジハロシランに対して好ましくは塩基を作用させてアダ
クトを生成する。本発明で使用することのできる塩基
は、ジハロシランとアダクトを形成する反応以外の反応
をしない塩基であり、このような塩基としては例えば、
ルイス塩基、すなわち、3級アミン類(トリアルキルア
ミン、ピリジン、ピコリン及びこれらの誘導体)、立体
障害性の基を有する2級アミン類、フォスフィン、スチ
ピン、アルシン及びこれらの誘導体等(例えばトリメチ
ルフォスフィン、ジメチルエチルフォスフィン、メチル
ジエチルフォスフィン、トリエチルフォスフィン、トリ
メチルアルシン、トリメチルスチビン、トリメチルアミ
ン、トリエチルアミン、チオフェン、フラン、ジオキサ
ン、セレノフェン、1−メチルフォスフォール等)を挙
げることができるが、中でも低沸点でアンモニアより塩
基性の小さい塩基(例えばピリジン、ピコリン、トリメ
チルフォスフィン、ジメチルエチルフォスフィン、メチ
ルジエチルフォスフィン、トリエチルフォスフィン、チ
オフェン、フラン、ジオキサン、セレノフェン、1−メ
チルフォスフォール)が好ましく、特にピリジン及びピ
コリンが取扱上及び経済上から好ましい。使用する塩基
の量は、特に厳密である必要はなく、アダクト中の塩基
を含めて、ジハロシランに対して化学量論的量、即ち塩
基:ジハロシラン=2:1より過剰に存在すれば足り
る。
The inorganic continuous fiber having the novel composition can be produced by treating the polysilazane fiber with a gas containing water or oxygen and firing the novel polysiloxazane fiber. It also relates to a method for producing an inorganic continuous fiber based on such polysiloxazane fiber (shaped body). The present invention will be described in more detail. The dihalosilane used in the present invention is particularly represented by the general formula SiH 2 X.
2 , it is preferable to use dihalomonosilane or dihalodisilane represented by Si 2 H 4 X 2 (X = F, Cl, Br, I). In the present invention, dichlorosilane is particularly preferable among these dihalosilanes. Such a dihalosilane is preferably reacted with a base to form an adduct. The base that can be used in the present invention is a base that does not react other than the reaction that forms an adduct with dihalosilane, and examples of such a base include:
Lewis bases, that is, tertiary amines (trialkylamine, pyridine, picoline and their derivatives), secondary amines having a sterically hindering group, phosphine, stipine, arsine and their derivatives (eg trimethylphosphine). , Dimethylethylphosphine, methyldiethylphosphine, triethylphosphine, trimethylarsine, trimethylstibin, trimethylamine, triethylamine, thiophene, furan, dioxane, selenophene, 1-methylphosphor, etc., but especially low Bases that are less basic than ammonia at boiling points (eg pyridine, picoline, trimethylphosphine, dimethylethylphosphine, methyldiethylphosphine, triethylphosphine, thiophene, furan Dioxane, selenophene, 1-methyl phosphate fall) are preferred, in particular pyridine and picoline preferred handling and economic. The amount of base used does not have to be particularly precise, and it is sufficient if it is present in a stoichiometric amount with respect to the dihalosilane, including the base in the adduct, ie in excess of 2: 1 base: dihalosilane.

【0010】例えばピリジンにジクロロシランを加える
とSiHCl2 ・2C5 5 Nで表わされる白色固体状
のアダクトが生成する。この生成物に対してNH3 およ
びH 2 Oを反応させると溶媒可溶なペルヒドロポリシロ
キサザンが生成する。このようにして、ジハロシランあ
るいはそのルイス塩基とのアダクトにNH3とH2 Oま
たはO2 を反応させて溶媒可溶なポリシロキサザンを生
成する。NH 3 とH2 OまたはO2 は同時に添加して反
応させることが好ましいが、どちらかを先に添加し、そ
れぞれを順に反応させることも可能である。
For example, adding dichlorosilane to pyridine
And SiHCl2・ 2CFiveHFiveWhite solid represented by N
The adduct of is generated. NH for this product3And
And H 2Solvent-soluble perhydropolyshiro when reacted with O
Produced by Kizazan. In this way, dihalosilane
Rui is an NH with an adduct with the Lewis base3And H2O
Or O2To produce solvent-soluble polysiloxazane.
To achieve. NH 3And H2O or O2Are added at the same time
It is preferable to add either one first, and then
It is also possible to react each one in turn.

【0011】このようにして生成されるポリシロキサザ
ンは−(SiH2 n (NH)r −および−(SiH)
m O−を主たる繰り返し単位とする共重合体である。簡
単には、これらの繰り返し単位からなる線状あるいは環
状の重合体であるが、一般的には、そのような線状ある
いは環状の重合体の複合体である。ポリシロキサザンの
化学構造は出発物質に依存し、例えば、出発物質にジク
ロロシランが含まれる場合には−SiH2 SiH2 NH
−および−SiH2 SiH2 O−が含まれるであろう。
また、環状物と線状物の結合部位では>SiHNH−あ
るいは>SiHO−なる単位が、末端には−NH2 ,−
OHまたは−SiH3 なる単位が存在する。さらに、本
発明では、出発物質の一部に10%以下の炭化水素基、
エーテル基、エステル基、カルボニル基などの有機基を
有するジハロシランを用いることができ、その場合には
生成するポリシロキサザンにもそのような有機基が一部
に含まれるであろう。
The polysiloxazane thus produced is-(SiH 2 ) n (NH) r -and-(SiH)
It is a copolymer having m O- as a main repeating unit. Briefly, it is a linear or cyclic polymer composed of these repeating units, but it is generally a composite of such linear or cyclic polymers. The chemical structure of the polysiloxazane is dependent on the starting material, for example, -SiH 2 SiH 2 NH if it contains a dichlorosilane as the starting material
- and -SiH 2 would SiH 2 O-are included.
Further, a unit of> SiHNH- or> SiHO- is present at the binding site of the cyclic substance and the linear substance, and -NH 2 ,
There are OH or -SiH 3 becomes units. Furthermore, in the present invention, 10% or less of a hydrocarbon group is contained in a part of the starting material,
A dihalosilane having an organic group such as an ether group, an ester group or a carbonyl group can be used, and in such a case, the polysiloxazane to be produced will partially contain such an organic group.

【0012】このポリシロキサザンに含まれる−(Si
2 n (NH)r −および−(SiH2 m O−の割
合は任意であり、それらの配列は規則的である必要はな
く、実際には不規則である。−(SiH2 n (NH)
r −と−(SiH2 m O−の割合は反応させるNH3
とH2 OまたはO2 の比を変えて調整することができ
る。
Included in this polysiloxazane- (Si
H 2) n (NH) r - and - (a optional SiH 2) m O-ratio, the sequences need not be regular, in fact irregular in. - (SiH 2) n (NH )
r - and - (SiH 2) NH 3 m O- proportion of reacting
And H 2 O or O 2 can be changed and adjusted.

【0013】このポリシロキサザンの重合度は−(Si
2 n (NH)r −あるいは−(SiH2 m O−な
どの単位に基づいて、一般的に5〜300あるいはそれ
以上である。重合度はジハロシランの濃度、反応温度、
溶媒などを変えて調整することができる。重合度がより
大きくなると、常温で架橋反応が起るためにポリマーの
ゲル化が容易に促進されて取扱いが困難になる。
The degree of polymerization of this polysiloxazane is-(Si
H 2) n (NH) r - or - (based on SiH 2) m O-units, such as is generally 5 to 300 or more. The degree of polymerization is the concentration of dihalosilane, the reaction temperature,
It can be adjusted by changing the solvent. If the degree of polymerization is higher, a crosslinking reaction occurs at room temperature, so that gelation of the polymer is easily promoted and handling becomes difficult.

【0014】こうして、本発明によるポリシロキサザン
は、出発ジハロシランとして有機基を含まないジハロシ
ランを用いた場合、一般的に、下記の組成を有する。有
機基は、存在する場合、水素の一部を置換する。 H 50〜60モル% Si 20〜25モル% O 0〜25モル%(0モル%を含まない) N 0〜20モル%(0モル%を含まない) ジクロロシランを出発原料とするポリシラザンとポリシ
ロキサンの製造はストックらの前駆的な研究に遡る(Be
r.54(1921)740,Ber.52(1919)695)。同研究者らはベンゼ
ンに溶解したジクロロシランとアンモニアとを反応させ
て−(SiH2n (NH)r −を繰返し単位とするオ
リゴシラザンを生成し、これを加水分解し−(Si
2 m O−で示されるオリゴシロキサンを生成した。
一方、サイファースらはジクロロシランのジクロロメタ
ン溶液にそれぞれアンモニアガス又は水を反応させて、
ポリシラザン又はポリシロキサンを合成した (Communic
ationof Am.Ceram.Sou.Jan.1983,C-13;Inorg.Chem.,198
3,22,2163-2167)。本発明者らは先にジクロロシラン塩
基錯体をアンモニア分解して高分子量ポリシラザンを製
造した(特開昭60−145903号公報)。本発明に
おけるポリシロキサザンはシラザンとシロキサンの共重
合体であるという点で前記ポリシロキサンと著しく異な
っている。
Thus, the polysiloxazane according to the present invention generally has the following composition when a dihalosilane containing no organic group is used as the starting dihalosilane. Organic groups, when present, replace some of the hydrogen. H 50-60 mol% Si 20-25 mol% O 0-25 mol% (not including 0 mol%) N 0-20 mol% (not including 0 mol%) Polysilazane and poly starting from dichlorosilane The production of siloxanes dates back to the precursor work of Stock et al.
r.54 (1921) 740, Ber.52 (1919) 695). The researchers by reacting a dichlorosilane and ammonia dissolved in benzene - (SiH 2) n (NH ) r - generates Origoshirazan to a repeating unit, which was hydrolyzed - (Si
H 2) generated the oligosiloxane represented by m O-.
On the other hand, Cyphers et al. Reacted a dichloromethane solution of dichlorosilane with ammonia gas or water,
Synthesized polysilazane or polysiloxane (Communic
ationof Am.Ceram.Sou.Jan.1983, C-13; Inorg.Chem., 198
3,22,2163-2167). The present inventors previously produced a high molecular weight polysilazane by decomposing a dichlorosilane base complex with ammonia (Japanese Patent Laid-Open No. 60-145903). The polysiloxazane in the present invention is remarkably different from the above polysiloxane in that it is a copolymer of silazane and siloxane.

【0015】この共重合体は−(SiH2 n (NH)
r −と−(SiH2 m O−の存在割合にかかわりなく
新規であると思われるが、少なくとも、珪素原子の数に
基づいて窒素が結合した珪素を1モル%以上かつ酸素が
結合した珪素を1モル%以上有する共重合体は新規であ
る。本発明に従いポリシロキサザンから酸窒化珪素繊維
を製造するには、先ず、ポリシロキサザンを適切な溶媒
に溶解して紡糸原液を調整する。溶媒としては、炭化水
素、ハロゲン化炭化水素、エーテル、窒素化合物、硫黄
化合物等が使用できる。好ましい溶剤は、ペンタン、ヘ
キサン、イソヘキサン、メチルペンタン、ヘプタン、イ
ソヘプタン、オクタン、イソオクタン、シクロペンタ
ン、メチルシクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシ
クロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチル
ベンゼン等の炭化水素、塩化メチレン、クロロホルム、
四塩化炭素、ブロモホルム、塩化エチレン、塩化エチリ
デン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロ
ベンゼン等のハロゲン化炭化水素、エチルエーテル、プ
ロピルエーテル、エチルブチルエーテル、ブチルエーテ
ル、1,2−ジオキシエタン、ジオキサン、ジメチルオ
キサン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ア
ニソール等のエーテル、ジエチルアミン、トリエチルア
ミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ブチ
ルアミン、アニリン、ピペリジン、ピリジン、ピコリ
ン、ルチジン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン
等の窒素化合物、二硫化炭素、硫化ジエチル、チオフェ
ン、テトラヒドロチオフェン等の硫黄化合物である。
The copolymer is-(SiH 2 ) n (NH)
It seems to be novel irrespective of the abundance ratios of r − and − (SiH 2 ) m O—, but at least 1 mol% or more of silicon bonded to nitrogen and silicon bonded to oxygen based on the number of silicon atoms. The copolymer having 1 mol% or more is novel. In order to produce a silicon oxynitride fiber from polysiloxazane according to the present invention, first, polysiloxaxane is dissolved in a suitable solvent to prepare a spinning dope. Hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, ethers, nitrogen compounds, sulfur compounds and the like can be used as the solvent. Preferred solvents are pentane, hexane, isohexane, methylpentane, heptane, isoheptane, octane, isooctane, cyclopentane, methylcyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, benzene, toluene, xylene, hydrocarbons such as ethylbenzene, methylene chloride, chloroform,
Carbon tetrachloride, bromoform, ethylene chloride, ethylidene chloride, trichloroethane, tetrachloroethane, halogenated hydrocarbons such as chlorobenzene, ethyl ether, propyl ether, ethyl butyl ether, butyl ether, 1,2-dioxyethane, dioxane, dimethyloxane, tetrahydrofuran, Tetrahydropyran, ethers such as anisole, diethylamine, triethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, butylamine, aniline, piperidine, pyridine, picoline, lutidine, ethylenediamine, nitrogen compounds such as propylenediamine, carbon disulfide, diethyl sulfide, thiophene, tetrahydro It is a sulfur compound such as thiophene.

【0016】この紡糸原液中のポリシロキサザン濃度は
原液粘度が1〜5000ポイズの範囲内になるように調
整する。このポリシロキサザンの曳糸性を向上するため
に、必要であれば該紡糸原液に対して少量の紡糸助剤を
添加してもよい。このような助剤の例として、ポリエー
テル類、ポリアミド類、ポリエステル類、ビニル重合体
類、ポリチオエーテル類、ポリペプチド類、等が挙げら
れ、この等の中でもポリエチレンオキサイド、ポリイソ
ブチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリイソプレン
およびポリスチレンが特に望ましい。適切な粘度を有す
る紡糸液を調整するための溶液の濃縮操作は減圧蒸留等
の通常の方法が用いられる。このような濃縮操作により
得られた紡糸液は5〜90重量%のポリシロキサザンを
含有している。
The polysiloxazane concentration in this spinning dope is adjusted so that the viscosity of the dope is in the range of 1 to 5000 poise. In order to improve the spinnability of this polysiloxazane, a small amount of a spinning aid may be added to the spinning dope, if necessary. Examples of such auxiliaries include polyethers, polyamides, polyesters, vinyl polymers, polythioethers, polypeptides, and the like. Among these, polyethylene oxide, polyisobutylene, polymethylmethacrylate. , Polyisoprene and polystyrene are particularly desirable. A common method such as vacuum distillation is used for the concentration operation of the solution for adjusting the spinning solution having an appropriate viscosity. The spinning solution obtained by such a concentration operation contains 5 to 90% by weight of polysiloxazane.

【0017】紡糸を行なうには、乾式紡糸が好都合であ
るが、遠心紡糸、吹き出し紡糸も利用することができ
る。紡糸は不活性ガス雰囲気下で室温で行なわれるが、
必要に応じて紡糸液を加熱して行なうこともできる。但
し、100℃を超えて加熱すると、ポリシロキサザンの
熱分解が開始するので注意を要する。繊維の乾燥は、紡
糸後に、加熱しながら減圧下で充分行う。
Dry spinning is convenient for spinning, but centrifugal spinning and blow-off spinning can also be used. Although spinning is performed at room temperature under an inert gas atmosphere,
If necessary, the spinning solution can be heated to carry out. However, it should be noted that heating above 100 ° C. will cause thermal decomposition of polysiloxazane. After spinning, the fibers are dried sufficiently under reduced pressure with heating.

【0018】こうしてポリシロキサザンの繊維、特に連
続繊維が紡糸される。このポリシロキサザン繊維は白色
である。該繊維は焼成前でも高い強度を有するので、最
初に、繊維をヤーン、織布等の形態に加工し、その後焼
成することによって酸窒化珪素製品を製造することもで
きる。乾燥したポリシロキサザン繊維は、不活性ガス雰
囲気下、100℃付近で熱処理を施すことが望ましい。
この熱処理の目的は、溶剤除去を更に確実にすると共
に、ポリシロキサザンの分子鎖間の架橋反応を促進させ
ることにより、焼成過程におけるクラック、空隙、及び
気孔の生成を最少限にするためである。
Fibers of polysiloxazane, in particular continuous fibers, are thus spun. The polysiloxazane fiber is white. Since the fibers have high strength even before firing, it is also possible to produce silicon oxynitride products by first processing the fibers into the form of yarn, woven fabric, etc. and then firing. The dried polysiloxazane fiber is preferably heat-treated at around 100 ° C. in an inert gas atmosphere.
The purpose of this heat treatment is to further ensure solvent removal and to promote cross-linking reactions between the polysiloxazane molecular chains to minimize the formation of cracks, voids, and porosity during the firing process. .

【0019】本発明で作られるポリシロキサザン繊維
は、熱に対して不融であることから、そのまま雰囲気ガ
ス下で焼成することもできる。雰囲気ガスとしては窒素
が好都合であるが、アンモニア、あるいは窒素、アンモ
ニア、アルゴン、水素等の混合ガスを利用することもで
きる。このような不活性ガスの雰囲気下800℃以上の
温度で上記白色の繊維を焼成すると白色ないし黒色の無
機繊維が得られる。
Since the polysiloxazane fiber produced by the present invention is infusible to heat, it can be fired as it is under atmospheric gas. Nitrogen is convenient as the atmosphere gas, but it is also possible to use ammonia or a mixed gas of nitrogen, ammonia, argon, hydrogen or the like. When the white fibers are fired at a temperature of 800 ° C. or higher in such an inert gas atmosphere, white or black inorganic fibers are obtained.

【0020】この無機繊維は実質的に珪素、窒素および
酸素から成り、窒素を5モル%および酸素を5モル%以
上含有し、しかも前述の(1)式で表わされる新規な組
成を有するものを含んでいる。この新規な酸窒化珪素繊
維の性状は、限定するわけではないが、典型的には、 繊維径 :5〜50μm 引張強度:30〜300kg/mm2 弾性率 :7〜30t/mm2 比抵抗値:2〜7×1010Ω・cm と本発明者等が前に特許出願をした高純度窒化珪素繊維
(特願昭60−257,824号明細書)と大差はない
が、耐酸化性については相当の向上が見られる。例え
ば、実施例1で得られた繊維を空気中700℃で5時間
加熱したところ重量増は2.6%であった。比較のた
め、上述の窒化珪素繊維を同一条件で処理したところ、
重量増は4.8%であった。
This inorganic fiber consists essentially of silicon, nitrogen and oxygen, contains 5 mol% of nitrogen and 5 mol% or more of oxygen, and has a novel composition represented by the above formula (1). Contains. The properties of this novel silicon oxynitride fiber are not limited, but typically, fiber diameter: 5 to 50 μm tensile strength: 30 to 300 kg / mm 2 elastic modulus: 7 to 30 t / mm 2 specific resistance value : 2 to 7 × 10 10 Ω · cm, which is not so different from the high-purity silicon nitride fiber (Japanese Patent Application No. 60-257,824) filed by the present inventors before, but with respect to oxidation resistance Has seen a considerable improvement. For example, when the fiber obtained in Example 1 was heated in air at 700 ° C. for 5 hours, the weight increase was 2.6%. For comparison, when the silicon nitride fiber was treated under the same conditions,
The weight increase was 4.8%.

【0021】このような新規な組成を有する酸窒化珪素
繊維は上記以外の方法によっても製造できる。すなわ
ち、SiH2 2 、Si2 4 2 (これらの式中、X
はF、Cl、BrあるいはIである)などで表わされる
ジハロシランを直接あるいはルイス塩基とアダクトを形
成後アンモニア分解して得られるポリシラザンを紡糸し
てポリシラザン繊維を生成し、これに酸素または水の気
体を適当な程度に作用させることによりポリシロキサザ
ン繊維を生成し、これに熱処理を施せば本発明品である
上記の新規な酸窒化珪素繊維を製造できる。すなわち、
ポリシラザン繊維(賦形体)は常温で気体状の水や酸素
と反応してポリシラザンの−NH−基と−O−基とが置
換してゆく。従って、温度を一定に保った雰囲気中にポ
リシラザン繊維を一定時間曝すことによってポリシラザ
ン繊維をポリシロキサザン繊維に変換することができ
る。このポリシロキサザン賦形体も新規であり、主たる
繰り返し単位が−(SiH2 n (NH)r −および−
(SiH2 m O−からなり、その重合度は少なくとも
4〜1700程度、そしてそれ以上のものが製造可能で
ある(特願昭60−257824号明細書参照)。な
お、このポリシロキサザン賦形体は処理条件により賦形
体表面と内部で−(SiH2 n (NH)r −と−(S
iH2 m O−の濃度に分布が存在し、水または酸素の
処理条件によっては賦形体の中心部にポリシラザン、ま
た表面部にポリシロキサンが存在することもできる。ま
た、このことから認められるように、本発明によれば、
ジハロシランまたはジハロシランとルイス塩基のアダク
トに最初にアンモニアを反応させてポリシラザンを生成
し、得られたポリシラザンを必要に応じて賦形化しある
いは賦形化せずに、次いで水または酸素と反応させてポ
リシロキサザンを製造することが可能である。
The silicon oxynitride fiber having such a novel composition can be produced by a method other than the above. That is, SiH 2 X 2 and Si 2 H 4 X 2 (in these formulas, X
Is F, Cl, Br or I) or the like, or a polysilazane fiber obtained by spinning a polysilazane obtained by decomposing ammonia with a Lewis base directly or by forming an adduct with a Lewis base to form a polysilazane fiber. To produce a polysiloxazane fiber by subjecting it to an appropriate degree and subjecting it to a heat treatment, the novel silicon oxynitride fiber, which is the product of the present invention, can be produced. That is,
The polysilazane fiber (shaped object) reacts with gaseous water or oxygen at room temperature to replace the -NH- group and the -O- group of polysilazane. Therefore, the polysilazane fiber can be converted into the polysiloxazane fiber by exposing the polysilazane fiber for a certain period of time in an atmosphere in which the temperature is kept constant. The polysiloxazanes shaped bodies also novel, main repeating unit is - (SiH 2) n (NH ) r - and -
It is composed of (SiH 2 ) m O-, and its degree of polymerization is at least about 4 to 1700 and can be produced (see Japanese Patent Application No. 60-257824). Incidentally, the polysiloxazanes shaped bodies are within the shaped bodies surface by treatment conditions - (SiH 2) n (NH ) r - and - (S
There is a distribution in the concentration of iH 2 ) m O-, and depending on the treatment conditions of water or oxygen, polysilazane may be present in the central part of the shaped body and polysiloxane may be present in the surface part. Further, as can be seen from this, according to the present invention,
The dihalosilane or dihalosilane and Lewis base adduct are first reacted with ammonia to form polysilazane, and the resulting polysilazane is optionally shaped or unshaped, and then reacted with water or oxygen to form a polysilazane. It is possible to produce siloxazane.

【0022】以下、実施例により本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれにより限定されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.

【0023】実施例1 内容積300mlの四つ口フラスコにガス吹き込み管、メ
カニカルスターラー、ジュワ−コンデンサーを装置し
た。四つ口フラスコに乾燥ピリジン150mlを入れ、こ
れを氷冷した。次にジクロロシラン15.8g(0.1
56mol)を約1時間かけて加えると白色固体状のアダク
ト(SiH2 Cl2 ・2C5 5 N)が生成した。反応
混合物を氷冷し、攪拌しながら、アンモニア15.7g
(0.92mol)、水0.33g(0.018mol)を窒素
ガスに混合して、約1.5時間かけて吹き込んだ。反応
終了後、反応混合物を窒素雰囲気下で遠心分離し、乾燥
塩化メチレンを用いて残分を洗浄し、更に洗液と遠心分
離液とを合わせて窒素雰囲気下で濾過した。濾液には下
記に示すようなポリシロキサザンが2.01(g/ml)
%溶解していた。
Example 1 A four-necked flask having an inner volume of 300 ml was equipped with a gas blowing tube, a mechanical stirrer, and a dewar condenser. A four-necked flask was charged with 150 ml of dry pyridine and cooled with ice. Next, 15.8 g of dichlorosilane (0.1
(56 mol) was added over about 1 hour to produce a white solid adduct (SiH 2 Cl 2 .2C 5 H 5 N). The reaction mixture was ice-cooled, and with stirring, 15.7 g of ammonia
(0.92 mol) and 0.33 g (0.018 mol) of water were mixed with nitrogen gas and blown thereinto for about 1.5 hours. After completion of the reaction, the reaction mixture was centrifuged under a nitrogen atmosphere, the residue was washed with dry methylene chloride, and the washing solution and the centrifugal separation solution were combined and filtered under a nitrogen atmosphere. The filtrate contains 2.01 (g / ml) of polysiloxazane as shown below.
% Was dissolved.

【0024】濾液150mlに30mgのポリエチレンオキ
サイド (分子量5,000,000)を加えて溶解した
後、溶剤を減圧留去して濃縮し、約30(g/ml)%の
ポリシロキサザンを含む紡糸原液(粘度250ポイズ)
を調製した。紡糸原液を濾過、脱泡後、窒素雰囲気下で
乾式紡糸を行い白色のポリシロキサザン繊維を得た。こ
れを減圧下50℃で4時間乾燥し、窒素雰囲気下、10
0℃で3時間熱処理した後、窒素雰囲気下で1000℃
で5時間加熱して、黒色の繊維を得た。
After 30 mg of polyethylene oxide (molecular weight 5,000,000) was added to 150 ml of the filtrate and dissolved, the solvent was distilled off under reduced pressure and concentrated to give a spinning solution containing about 30 (g / ml)% polysiloxazane. Undiluted solution (viscosity 250 poise)
Was prepared. The spinning solution was filtered, defoamed, and then dry-spun in a nitrogen atmosphere to obtain white polysiloxazane fiber. This was dried under reduced pressure at 50 ° C. for 4 hours and then, under a nitrogen atmosphere, 10
After heat treatment at 0 ℃ for 3 hours, 1000 ℃ under nitrogen atmosphere
After heating for 5 hours, a black fiber was obtained.

【0025】得られたポリシロキサザン及び黒色繊維の
化学分析による元素組成(mol%)は、表1に示した通り
であった。
The elemental composition (mol%) of the obtained polysiloxazane and the black fiber by chemical analysis was as shown in Table 1.

【0026】 表 1 元素組成(mol%) Si ポリシロキサザン 20.8 18.2 2.3 58.9 黒 色 繊 維 49.3 44.0 6.0 0.0 ポリシロキサザンの赤外線吸収スペクトル、1 H−NM
R、CP/MAS 29Si−NMRを図1〜図3に、黒
色繊維の粉末X線回折スペクトルを図4に示した。但
し、1 H−NMRスペクトルについては、ポリシロキサ
ザンを単離後、測定溶媒(CDCl3 )に可溶な生成物
のみ測定した。
Table 1 Elemental composition (mol%) Si N O H polysiloxazanes 20.8 18.2 2.3 58.9 Black color textiles 49.3 44.0 6.0 0.0 polysiloxazanes infrared absorption spectrum, 1 H-NM
1 to 3 show R and CP / MAS 29 Si-NMR, and FIG. 4 shows a powder X-ray diffraction spectrum of black fiber. However, for the 1 H-NMR spectrum, only the product soluble in the measurement solvent (CDCl 3 ) was measured after isolation of polysiloxazane.

【0027】さらに、蒸気圧降下法による数平均分子量
を測定したところ、1100* であった。またゲルパー
ミエーションクロマトグラフィ(GPC)を測定したと
ころ、図5に示したように、ポリスチレン換算分子量は
250から4000、主として300から3400に分
布しており、数平均分子量(ポリスチレン換算)は78
5であった。ポリスチレン換算分子量を蒸気圧降下法に
よる分子量に補正したポリシロキサザンの重合度は7.
8から125、主として9.4から106.5に分布す
る。
Further, the number average molecular weight measured by the vapor pressure drop method was 1100 * . Further, when gel permeation chromatography (GPC) was measured, as shown in FIG. 5, the polystyrene-reduced molecular weight was 250 to 4000, mainly 300 to 3400, and the number average molecular weight (polystyrene equivalent) was 78.
It was 5. The degree of polymerization of polysiloxazane in which the polystyrene reduced molecular weight is corrected to the molecular weight by the vapor pressure drop method is 7.
It is distributed from 8 to 125, mainly from 9.4 to 106.5.

【0028】繊維直径5〜50μmの黒色繊維の引張強
度は30〜280kg/mm2 、弾性率は8〜20t/mm2
であった。
Black fibers having a fiber diameter of 5 to 50 μm have a tensile strength of 30 to 280 kg / mm 2 and an elastic modulus of 8 to 20 t / mm 2.
Met.

【0029】実施例2 実施例1で得られたポリシロキサザン繊維を、乾燥温度
以外の条件は同一で、焼成温度を1300℃で処理して
得た黒色繊維の元素組成(mol%) は、Si:44.4、
N:48.6、O:7.4であった。黒色繊維を粉末X
線回折したところ、Si、α−Si3 4 、β−Si3
4 のピークが観測された。
Example 2 The elemental composition (mol%) of the black fiber obtained by treating the polysiloxazane fiber obtained in Example 1 under the same conditions except the drying temperature and treating the firing temperature at 1300 ° C. Si: 44.4,
It was N: 48.6 and O: 7.4. Black fiber powder X
When subjected to line diffraction, Si, α-Si 3 H 4 , β-Si 3
An H 4 peak was observed.

【0030】実施例3 実施例1と同じ条件で、水1.00g(0.056mol)
を加えたピリジン150mlを用いてアダクトを調製した
後、実施例1および2と同一操作でポリシロキサザンと
黒色繊維を調製した。得られたポリシロキサザンと黒色
繊維の元素組成は表2に示した通りであった。
Example 3 Under the same conditions as in Example 1, water 1.00 g (0.056 mol)
After preparing an adduct using 150 ml of pyridine to which was added, polysiloxazane and black fiber were prepared in the same manner as in Examples 1 and 2. The elemental compositions of the obtained polysiloxazane and the black fiber are as shown in Table 2.

【0031】 表 2 元素組成(mol%) Si ポリシロキサザン 21.5 14.3 7.7 57.2 1000℃焼成黒色繊維 48.4 30.4 21.2 0.0 1300℃焼成黒色繊維 46.7 41.6 11.7 0.0Table 2 Elemental composition (mol%) Si N O H polysiloxazanes 21.5 14.3 7.7 57.2 1000 ℃ fired black fibers 48.4 30.4 21.2 0.0 1300 ℃ fired black fibers 46.7 41.6 11.7 0.0

【0032】実施例4 実施例1と同一条件でアダクトを調製した後に乾燥アン
モニア16.0g(0.94mol)を窒素ガスに混合し
て、約1.5時間かけて吹き込んだ。反応終了後、実施
例1と同一操作で1.95(g/mol)%のポリシラザン
を含む濾液を得た。これを実施例1と同一操作でポリシ
ラザン繊維に紡糸した後、湿度47%の雰囲気中に5時
間保持した後、実施例1と同一操作で減圧乾燥、熱処
理、焼成を行って黒色繊維を得た。
Example 4 An adduct was prepared under the same conditions as in Example 1, and then 16.0 g (0.94 mol) of dry ammonia was mixed with nitrogen gas and blown therein for about 1.5 hours. After completion of the reaction, the same operation as in Example 1 was carried out to obtain a filtrate containing 1.95 (g / mol)% polysilazane. This was spun into a polysilazane fiber by the same operation as in Example 1, held in an atmosphere having a humidity of 47% for 5 hours, and then dried under reduced pressure, heat-treated and fired by the same operation as in Example 1 to obtain a black fiber. .

【0033】得られた黒色繊維の元素組成(mol%) はS
i:54.0、N:26.0、O:20.0であった。
The elemental composition (mol%) of the obtained black fiber is S
It was i: 54.0, N: 26.0, O: 20.0.

【0034】実施例5 実施例1で得たポリシロキサザン繊維を湿度47%の雰
囲気下で15時間保持した後、実施例と同一の操作で処
理して得た黒色繊維の化学組成(mol%)は、Si:4
8.5、N:7.5、O:44.0であった。
Example 5 The chemical composition (mol%) of the black fiber obtained by keeping the polysiloxazane fiber obtained in Example 1 for 15 hours in an atmosphere of 47% humidity and then treating it in the same manner as in Example ) Is Si: 4
It was 8.5, N: 7.5, and O: 44.0.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明により、新規な酸窒化珪素繊維お
よびその製法が提供され、この酸窒化珪素繊維は特にそ
の連続繊維を簡単に製造することができ、そして得られ
る酸窒化珪素繊維は高性能複合材料の強化材として非常
に有用である。
According to the present invention, a novel silicon oxynitride fiber and a method for producing the same are provided. The silicon oxynitride fiber is particularly easy to produce its continuous fiber, and the obtained silicon oxynitride fiber has a high yield. Very useful as a reinforcement for performance composites.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明で得られたポリシロキサザンのKBr法
による赤外吸収スペクトル図である。
FIG. 1 is an infrared absorption spectrum diagram of polysiloxazane obtained in the present invention by a KBr method.

【図2】ポリシロキサザンの 1H−NMRスペクトル図
である。
FIG. 2 is a 1 H-NMR spectrum diagram of polysiloxazane.

【図3】ポリシロキサザンのCP/MAS 29SiNM
Rスペクトル図である。
FIG. 3 CP / MAS 29 SiNM of polysiloxazane
It is an R spectrum figure.

【図4】黒色繊維(Si−N−O)無機繊維の粉末X線
スペクトル図である。
FIG. 4 is a powder X-ray spectrum diagram of a black fiber (Si—N—O) inorganic fiber.

【図5】ポリシロキサザンのGPCクロマトグラムであ
る。
FIG. 5 is a GPC chromatogram of polysiloxazane.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 礒田 武志 埼玉県新座市東北1丁目11番地の5号 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takeshi Isoda No.5, 1-1-11 Tohoku, Niiza City, Saitama Prefecture

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 実質的に珪素、窒素および酸素からなる
無機繊維であって、窒素を5モル%以上、酸素を5モル
%以上含有し、かつ化学式Si1+x (4-y)/ 3
y/2 (0<x<3、0<y<4)で表わされる酸窒化珪
素繊維。
1. An inorganic fiber essentially consisting of silicon, nitrogen and oxygen, containing 5 mol% or more of nitrogen and 5 mol% or more of oxygen, and having a chemical formula of Si 1 + x N (4-y) / 3 O
A silicon oxynitride fiber represented by y / 2 (0 <x <3, 0 <y <4).
【請求項2】 実質的に珪素、窒素、酸素および炭素か
らなる無機繊維であって、窒素を5モル%以上、酸素を
5モル%以上含有し、かつ化学式Si1+x (4-y)/3
y/2 z (0<x<3、0<y<4、0<z<1.1)
で表わされる酸窒化珪素繊維。
2. Substantially silicon, nitrogen, oxygen and carbon
An inorganic fiber consisting of 5 mol% or more of nitrogen and oxygen
Contains 5 mol% or more and has the chemical formula Si1 + xN (4-y) / 3O
y / 2Cz(0 <x <3, 0 <y <4, 0 <z <1.1)
A silicon oxynitride fiber represented by.
【請求項3】 主たる繰り返し単位が−(SiH2 n
(NH)r −および−(SiH2 m O−(式中、n,
m,rはそれぞれ1,2または3である。)でありかつ
繰り返し単位に基づく重合度が5〜300であるポリシ
ロキサザンを紡糸し、得られる繊維を焼成して酸窒化珪
素繊維を製造する方法。
3. The main repeating unit is-(SiH 2 ) n.
(NH) r - and - (SiH 2) m O- (wherein, n,
m and r are 1, 2 and 3, respectively. And a polymerization degree of 5 to 300 based on repeating units is spun, and the obtained fiber is fired to produce a silicon oxynitride fiber.
【請求項4】 ジハロシランまたはジハロシランとルイ
ス塩基のアダクトにアンモニアを反応して得られるポリ
シラザンを紡糸し、得られる繊維を水または酸素で処理
した後、焼成して酸窒化珪素繊維を製造する方法。
4. A method for producing a silicon oxynitride fiber by spinning polysilazane obtained by reacting dihalosilane or an adduct of dihalosilane and a Lewis base with ammonia, treating the obtained fiber with water or oxygen, and then firing.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6112915A (en) * 1984-06-25 1986-01-21 Tokushu Muki Zairyo Kenkyusho Continuous inorganic fiber consisting of si, n and o and its production
JPS61295273A (en) * 1985-06-24 1986-12-26 ダウ コ−ニング コ−ポレイシヨン Manufacture of ceramic material

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