JP2575280B2 - Manufacturing method of silicon oxynitride fiber - Google Patents

Manufacturing method of silicon oxynitride fiber

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JP2575280B2
JP2575280B2 JP5191307A JP19130793A JP2575280B2 JP 2575280 B2 JP2575280 B2 JP 2575280B2 JP 5191307 A JP5191307 A JP 5191307A JP 19130793 A JP19130793 A JP 19130793A JP 2575280 B2 JP2575280 B2 JP 2575280B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は新規な酸窒化珪素繊維の
製法に係る。酸窒化珪素繊維は運輸、エネルギー、金
属、宇宙航空などの広範囲な産業での先端分野に必要な
高性能複合材料の強化材として非常に有用である。
The present invention relates to a novel silicon oxynitride fiber.
Related to the manufacturing method . Silicon oxynitride fibers are very useful as reinforcement for high performance composites required in advanced fields in a wide range of industries such as transportation, energy, metals, aerospace, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年セラミックスの研究・開発は飛躍的
に進展しており、多くの研究者達は炭化珪素、窒化珪素
等のセラミック材料を合成してきている。一方、酸窒化
珪素もまた炭化珪素および窒化珪素と同様に耐熱性の材
料であり、炭化珪素や窒化珪素に比べて耐酸化性は高い
ことが知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, research and development of ceramics have progressed dramatically, and many researchers have synthesized ceramic materials such as silicon carbide and silicon nitride. On the other hand, silicon oxynitride is also a heat-resistant material like silicon carbide and silicon nitride, and is known to have higher oxidation resistance than silicon carbide and silicon nitride.

【0003】さて、酸窒化珪素セラミック材料の合成に
関してはいくつかの先行技術がある。 (1)金属珪素と二酸化珪素の混合物をアルカリ土類、
あるいはアルカリ金属の弗化物の存在下窒素雰囲気下1
150〜1350℃で窒化する方法(多田、特開昭47
−42400号公報)。珪素と二酸化珪素を出発原料と
する方法としては、その他にもこれ等の混合物にある種
の金属を添加しこれを窒素雰囲気下で加熱して繊維状あ
るいはウィスカ状に生成・成長させる方法が開示されて
いる(特開昭50−29498号公報;特開昭51−1
29898号公報;特開昭53−79799号公報)。
[0003] There are several prior arts relating to the synthesis of silicon oxynitride ceramic materials. (1) A mixture of metallic silicon and silicon dioxide is an alkaline earth,
Alternatively, in the presence of alkali metal fluoride in a nitrogen atmosphere
A method of nitriding at 150 to 1350 ° C. (Tada, JP 47
-42400). As a method using silicon and silicon dioxide as starting materials, there is also disclosed a method in which a certain metal is added to a mixture of these and heated under a nitrogen atmosphere to produce and grow into a fibrous or whisker state. (JP-A-50-29498; JP-A-51-1)
29898, JP-A-53-79799).

【0004】(2)ポリカーボシランを繊維化し、それ
を酸化不融化した後800〜1400℃の温度下でNH
3 で処理してSiN1.5 0.47なる構造を有する酸窒化
珪素の連続繊維を製造する方法(Okamura他、Chemistry
Letters,PP.2059-2060,1984)。
[0004] (2) Polycarbosilane is made into a fiber, oxidized and made infusible, and then NH3 is added at a temperature of 800 to 1400 ° C.
3 to produce continuous fibers of silicon oxynitride having a structure of SiN 1.5 O 0.47 (Okamura et al., Chemistry
Letters, PP. 2059-2060, 1984).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記(1)の方法は酸
窒化珪素を連続長繊維化する方法を提供していない。酸
窒化珪素に限らず、各セラミック材料は繊維状に賦形化
されるとその機械的強度は飛躍的に向上し、かつ成形の
自由度も増大することが知られているので、容易に長繊
維化できる特性は極めて重要である。
The method (1) does not provide a method for continuously making silicon oxynitride into long fibers. It is known that not only silicon oxynitride but also each ceramic material, when formed into a fibrous shape, has a remarkable improvement in mechanical strength and also has a greater degree of freedom in molding. The properties that can be made into fibers are extremely important.

【0006】前記(2)のポリカーボシラン経由の方法
は酸窒化珪素連続繊維を製造する方法を提供している。
しかし、そのプロセスは複雑であるのでこの点改良の余
地がある。
The method (2) via polycarbosilane provides a method for producing silicon oxynitride continuous fibers.
However, the process is complicated and there is room for improvement in this respect.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者等は酸窒化珪素
の連続無機繊維に関するより工業化に適した新規な製造
法を研究している過程で、新規なポリシロキサザンを適
切な方法により連続繊維化すれば、比較的簡単な工程で
優れた性質を有する酸窒化珪素の無機連続繊維を製造し
うることを見い出し、本発明を完成するに至った。
The inventors of the present invention have been studying a novel production method for continuous inorganic fibers of silicon oxynitride, which is more suitable for industrialization. It has been found that if the fibers are formed, inorganic continuous fibers of silicon oxynitride having excellent properties can be produced in a relatively simple process, and the present invention has been completed.

【0008】すなわち、本発明は、まず、ジクロロシラ
ン(SiH2 Cl2 )のようなジハロシランまたはジハ
ロシランとルイス塩基とのアダクトをNH3 およびH2
OまたはO2 と反応させて新規なポリシロキサザン(正
確にはペルヒドロポリシロキサザンであるが、以下単に
ポリシロキサザンという。)を製造する。このポリシロ
キサザンは−(SiH2 n (NH)r −および−(S
iH2 m O−(式中、n,m,rはそれぞれ1,2ま
たは3、好ましくは1または2である。)を主たる繰返
し単位とし、これらを基準に5〜300の重合度を有し
ている。更に、本発明は、このポリシロキサザンを紡糸
し焼成して酸窒化珪素繊維を製造する。この結果製造さ
れる酸窒化珪素の無機連続繊維は実質的に珪素、窒素、
酸素および任意に炭素から成り、窒素を5モル%以上、
酸素を5モル%以上含有し、かつ式Si1+x (4-y)/3
y/2 z (式中、0<x<3、0<y<4、0≦z<
1.1)で示される組成を有する酸窒化珪素繊維であ
る。
That is, according to the present invention, first, a dihalosilane such as dichlorosilane (SiH 2 Cl 2 ) or an adduct of a dihalosilane and a Lewis base is converted into NH 3 and H 2.
O and O 2 to react with the new polysiloxazan (positive
Surely it is perhydropolysiloxazan, but hereafter simply
It is called polysiloxazan. ) To manufacture. The polysiloxazane is - (SiH 2) n (NH ) r - and - (S
iH 2 ) m O- (wherein, n, m, and r are each 1, 2 or 3, and preferably 1 or 2) as a main repeating unit, and have a polymerization degree of 5 to 300 based on these. doing. Further, in the present invention, the polysiloxazan is spun and fired to produce silicon oxynitride fibers. The resulting inorganic continuous fibers of silicon oxynitride are substantially silicon, nitrogen,
Composed of oxygen and optionally carbon, with at least 5 mol% of nitrogen,
Containing at least 5 mol% of oxygen and having the formula Si 1 + x N (4-y) / 3
O y / 2 C z (where 0 <x <3, 0 <y <4, 0 ≦ z <
A silicon oxynitride fiber having a composition represented by 1.1).
You.

【0009】このような無機連続繊維はポリシラザン
(正確にはペルヒドロポリシラザンであるが、以下単に
ポリシラザンという。)繊維を水または酸素を含む気体
で処理して製造される新規なポリシロキサザン繊維を焼
成することによっても製造することができ、本発明はこ
のようなポリシロキサザン繊維(賦形体)にもとづく無
機連続繊維の製法にも係わる。本発明を更に詳わしく説
明すると、本発明で使用するジハロシランは、特に一般
式SiH2 2 、Si2 4 2 (X=F、Cl、B
r、I)で表わされるジハロモノシランやジハロジシラ
ンを使用することが好ましい。本発明においては、これ
等のジハロシランの中でも特にジクロロシランが好まし
い。このようなジハロシランに対して好ましくは塩基を
作用させてアダクトを生成する。本発明で使用すること
のできる塩基は、ジハロシランとアダクトを形成する反
応以外の反応をしない塩基であり、このような塩基とし
ては例えば、ルイス塩基、すなわち、3級アミン類(ト
リアルキルアミン、ピリジン、ピコリン及びこれらの誘
導体)、立体障害性の基を有する2級アミン類、フォス
フィン、スチピン、アルシン及びこれらの誘導体等(例
えばトリメチルフォスフィン、ジメチルエチルフォスフ
ィン、メチルジエチルフォスフィン、トリエチルフォス
フィン、トリメチルアルシン、トリメチルスチビン、ト
リメチルアミン、トリエチルアミン、チオフェン、フラ
ン、ジオキサン、セレノフェン、1−メチルフォスフォ
ール等)を挙げることができるが、中でも低沸点でアン
モニアより塩基性の小さい塩基(例えばピリジン、ピコ
リン、トリメチルフォスフィン、ジメチルエチルフォス
フィン、メチルジエチルフォスフィン、トリエチルフォ
スフィン、チオフェン、フラン、ジオキサン、セレノフ
ェン、1−メチルフォスフォール)が好ましく、特にピ
リジン及びピコリンが取扱上及び経済上から好ましい。
使用する塩基の量は、特に厳密である必要はなく、アダ
クト中の塩基を含めて、ジハロシランに対して化学量論
的量、即ち塩基:ジハロシラン=2:1より過剰に存在
すれば足りる。
Such an inorganic continuous fiber is a polysilazane.
(Actually, it is perhydropolysilazane, but hereafter simply
It is called polysilazane. ) It can also be produced by calcining a novel polysiloxazan fiber produced by treating the fiber with a gas containing water or oxygen, and the present invention is based on such a polysiloxazan fiber (shaped body). Also concerned with the production of inorganic continuous fibers. The present invention will be described in more detail. The dihalosilane used in the present invention has a general formula of SiH 2 X 2 , Si 2 H 4 X 2 (X = F, Cl, B
It is preferable to use dihalomonosilane or dihalodisilane represented by r, I). In the present invention, dichlorosilane is particularly preferable among these dihalosilanes. A base is preferably acted on such dihalosilane to form an adduct. The base that can be used in the present invention is a base that does not react other than the reaction for forming an adduct with dihalosilane. Examples of such a base include Lewis bases, that is, tertiary amines (trialkylamine, pyridine , Picoline and derivatives thereof), secondary amines having a sterically hindered group, phosphine, stippin, arsine and derivatives thereof (eg, trimethylphosphine, dimethylethylphosphine, methyldiethylphosphine, triethylphosphine, Trimethylarsine, trimethylstibine, trimethylamine, triethylamine, thiophene, furan, dioxane, selenophene, 1-methylphosphor and the like, among which bases having a low boiling point and less basicity than ammonia (for example, pyridine, Choline, trimethylphosphine, dimethyl ethyl phosphine, methyl diethyl phosphine, triethyl phosphine, thiophene, furan, dioxane, selenophene, 1-methyl phosphate fall) are preferred, in particular pyridine and picoline preferred handling and economic.
The amount of the base to be used does not need to be particularly strict, and it is sufficient that the stoichiometric amount including the base in the adduct is more than the stoichiometric amount with respect to the dihalosilane, that is, base: dihalosilane = 2: 1.

【0010】例えばピリジンにジクロロシランを加える
とSiHCl2 ・2C5 5 Nで表わされる白色固体状
のアダクトが生成する。この生成物に対してNH3 およ
びH 2 Oを反応させると溶媒可溶なペルヒドロポリシロ
キサザンが生成する。このようにして、ジハロシランあ
るいはそのルイス塩基とのアダクトにNH3とH2 Oま
たはO2 を反応させて溶媒可溶なポリシロキサザンを生
成する。NH 3 とH2 OまたはO2 は同時に添加して反
応させることが好ましいが、どちらかを先に添加し、そ
れぞれを順に反応させることも可能である。
For example, adding dichlorosilane to pyridine
And SiHClTwo・ 2CFiveHFiveWhite solid represented by N
Adduct is generated. NH 4ThreeAnd
And H TwoSolvent-soluble perhydropolysilo by reacting O
Kisazane is produced. In this way, the dihalosilane
Or NH to the adduct with the Lewis baseThreeAnd HTwoOma
Or OTwoTo produce a solvent-soluble polysiloxazane.
To achieve. NH ThreeAnd HTwoO or OTwoIs added at the same time
It is preferable to add either one first and then
It is also possible to make each react in order.

【0011】このようにして生成されるポリシロキサザ
ンは−(SiH2 n (NH)r −および−(SiH)
m O−を主たる繰り返し単位とする共重合体である。簡
単には、これらの繰り返し単位からなる線状あるいは環
状の重合体であるが、一般的には、そのような線状ある
いは環状の重合体の複合体である。ポリシロキサザンの
化学構造は出発物質に依存し、例えば、出発物質にジク
ロロシランが含まれる場合には−SiH2 SiH2 NH
−および−SiH2 SiH2 O−が含まれるであろう。
また、環状物と線状物の結合部位では>SiHNH−あ
るいは>SiHO−なる単位が、末端には−NH2 ,−
OHまたは−SiH3 なる単位が存在する。さらに、本
発明では、出発物質の一部に10%以下の炭化水素基、
エーテル基、エステル基、カルボニル基などの有機基を
有するジハロシランを用いることができ、その場合には
生成するポリシロキサザンにもそのような有機基が一部
に含まれるであろう。
The polysiloxazan thus produced is-(SiH 2 ) n (NH) r- and-(SiH)
m O-which is a copolymer whose main recurring unit. Briefly, it is a linear or cyclic polymer composed of these repeating units, but in general, it is a composite of such a linear or cyclic polymer. The chemical structure of the polysiloxazane is dependent on the starting material, for example, -SiH 2 SiH 2 NH if it contains a dichlorosilane as the starting material
- and -SiH 2 would SiH 2 O-are included.
In addition, a unit of> SiHNH— or> SiHO— is provided at the binding site between the cyclic substance and the linear substance, and —NH 2 , −
There are OH or -SiH 3 becomes units. Further, in the present invention, 10% or less of a hydrocarbon group is contained in a part of the starting material,
A dihalosilane having an organic group such as an ether group, an ester group, or a carbonyl group can be used, and in such a case, the resulting polysiloxazane will partially include such an organic group.

【0012】このポリシロキサザンに含まれる−(Si
2 n (NH)r −および−(SiH2 m O−の割
合は任意であり、それらの配列は規則的である必要はな
く、実際には不規則である。−(SiH2 n (NH)
r −と−(SiH2 m O−の割合は反応させるNH3
とH2 OまたはO2 の比を変えて調整することができ
る。
[0012] The-(Si) contained in this polysiloxazan
H 2) n (NH) r - and - (a optional SiH 2) m O-ratio, the sequences need not be regular, in fact irregular in. - (SiH 2) n (NH )
r - and - (SiH 2) NH 3 m O- proportion of reacting
It can be adjusted by changing the ratio of H 2 O or O 2 .

【0013】このポリシロキサザンの重合度は−(Si
2 n (NH)r −あるいは−(SiH2 m O−な
どの単位に基づいて、一般的に5〜300あるいはそれ
以上である。重合度はジハロシランの濃度、反応温度、
溶媒などを変えて調整することができる。重合度がより
大きくなると、常温で架橋反応が起るためにポリマーの
ゲル化が容易に促進されて取扱いが困難になる。
The degree of polymerization of this polysiloxazan is-(Si
H 2) n (NH) r - or - (based on SiH 2) m O-units, such as is generally 5 to 300 or more. The degree of polymerization depends on the concentration of dihalosilane, reaction temperature,
It can be adjusted by changing the solvent and the like. If the degree of polymerization is higher, a gelling of the polymer is easily promoted due to a cross-linking reaction at room temperature, which makes handling difficult.

【0014】こうして、本発明によるポリシロキサザン
は、出発ジハロシランとして有機基を含まないジハロシ
ランを用いた場合、一般的に、下記の組成を有する。有
機基は、存在する場合、水素の一部を置換する。 H 50〜60モル% Si 20〜25モル% O 0〜25モル%(0モル%を含まない) N 0〜20モル%(0モル%を含まない) ジクロロシランを出発原料とするポリシラザンとポリシ
ロキサンの製造はストックらの前駆的な研究に遡る(Be
r.54(1921)740,Ber.52(1919)695)。同研究者らはベンゼ
ンに溶解したジクロロシランとアンモニアとを反応させ
て−(SiH2n (NH)r −を繰返し単位とするオ
リゴシラザンを生成し、これを加水分解し−(Si
2 m O−で示されるオリゴシロキサンを生成した。
一方、サイファースらはジクロロシランのジクロロメタ
ン溶液にそれぞれアンモニアガス又は水を反応させて、
ポリシラザン又はポリシロキサンを合成した (Communic
ationof Am.Ceram.Sou.Jan.1983,C-13;Inorg.Chem.,198
3,22,2163-2167)。本発明者らは先にジクロロシラン塩
基錯体をアンモニア分解して高分子量ポリシラザンを製
造した(特開昭60−145903号公報)。本発明に
おけるポリシロキサザンはシラザンとシロキサンの共重
合体であるという点で前記ポリシロキサンと著しく異な
っている。
Thus, the polysiloxazan according to the present invention generally has the following composition when a dihalosilane containing no organic group is used as a starting dihalosilane. Organic groups, when present, replace some of the hydrogens. H 50 to 60 mol% Si 20 to 25 mol% O 0 to 25 mol% (excluding 0 mol%) N 0 to 20 mol% (excluding 0 mol%) Polysilazane and poly starting from dichlorosilane The production of siloxane goes back to the precursors of Stock et al. (Be
r.54 (1921) 740, Ber.52 (1919) 695). The researchers reacted dichlorosilane dissolved in benzene with ammonia to produce oligosilazane having-(SiH 2 ) n (NH) r -as a repeating unit, which was hydrolyzed to form-(Si
An oligosiloxane represented by H 2 ) m O- was produced.
Meanwhile, Cyphers and others reacted ammonia gas or water with dichloromethane solution of dichlorosilane, respectively,
Polysilazane or polysiloxane was synthesized (Communic
ationof Am. Ceram. Sou. Jan. 1983, C-13; Inorg. Chem., 198
3,22,2163-2167). The present inventors have previously produced a high molecular weight polysilazane by decomposing a dichlorosilane base complex with ammonia (Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-145903). The polysiloxane of the present invention is significantly different from the above-mentioned polysiloxane in that it is a copolymer of silazane and siloxane.

【0015】この共重合体は−(SiH2 n (NH)
r −と−(SiH2 m O−の存在割合にかかわりなく
新規であると思われるが、少なくとも、珪素原子の数に
基づいて窒素が結合した珪素を1モル%以上かつ酸素が
結合した珪素を1モル%以上有する共重合体は新規であ
る。本発明に従いポリシロキサザンから酸窒化珪素繊維
を製造するには、先ず、ポリシロキサザンを適切な溶媒
に溶解して紡糸原液を調整する。溶媒としては、炭化水
素、ハロゲン化炭化水素、エーテル、窒素化合物、硫黄
化合物等が使用できる。好ましい溶剤は、ペンタン、ヘ
キサン、イソヘキサン、メチルペンタン、ヘプタン、イ
ソヘプタン、オクタン、イソオクタン、シクロペンタ
ン、メチルシクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシ
クロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチル
ベンゼン等の炭化水素、塩化メチレン、クロロホルム、
四塩化炭素、ブロモホルム、塩化エチレン、塩化エチリ
デン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロ
ベンゼン等のハロゲン化炭化水素、エチルエーテル、プ
ロピルエーテル、エチルブチルエーテル、ブチルエーテ
ル、1,2−ジオキシエタン、ジオキサン、ジメチルオ
キサン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ア
ニソール等のエーテル、ジエチルアミン、トリエチルア
ミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ブチ
ルアミン、アニリン、ピペリジン、ピリジン、ピコリ
ン、ルチジン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン
等の窒素化合物、二硫化炭素、硫化ジエチル、チオフェ
ン、テトラヒドロチオフェン等の硫黄化合物である。
This copolymer is-(SiH 2 ) n (NH)
r - and - (SiH 2) but are believed to be novel irrespective m existing ratio of O-, at least, a silicon nitrogen based on the number of silicon atom is bonded to 1 mol% or more and silicon oxygen bound The copolymer having 1 mol% or more is novel. In order to produce silicon oxynitride fibers from polysiloxazan according to the present invention, first, polysiloxazan is dissolved in an appropriate solvent to prepare a spinning solution. As the solvent, hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, ethers, nitrogen compounds, sulfur compounds and the like can be used. Preferred solvents are pentane, hexane, isohexane, methylpentane, heptane, isoheptane, octane, isooctane, cyclopentane, methylcyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, benzene, toluene, xylene, hydrocarbons such as ethylbenzene, methylene chloride, chloroform,
Halogenated hydrocarbons such as carbon tetrachloride, bromoform, ethylene chloride, ethylidene chloride, trichloroethane, tetrachloroethane, chlorobenzene, ethyl ether, propyl ether, ethyl butyl ether, butyl ether, 1,2-dioxyethane, dioxane, dimethyloxane, tetrahydrofuran, Ethers such as tetrahydropyran, anisole, diethylamine, triethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, butylamine, aniline, piperidine, nitrogen compounds such as pyridine, picoline, lutidine, ethylenediamine, propylenediamine, carbon disulfide, diethylsulfide, thiophene, tetrahydro It is a sulfur compound such as thiophene.

【0016】この紡糸原液中のポリシロキサザン濃度は
原液粘度が1〜5000ポイズの範囲内になるように調
整する。このポリシロキサザンの曳糸性を向上するため
に、必要であれば該紡糸原液に対して少量の紡糸助剤を
添加してもよい。このような助剤の例として、ポリエー
テル類、ポリアミド類、ポリエステル類、ビニル重合体
類、ポリチオエーテル類、ポリペプチド類、等が挙げら
れ、この等の中でもポリエチレンオキサイド、ポリイソ
ブチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリイソプレン
およびポリスチレンが特に望ましい。適切な粘度を有す
る紡糸液を調整するための溶液の濃縮操作は減圧蒸留等
の通常の方法が用いられる。このような濃縮操作により
得られた紡糸液は5〜90重量%のポリシロキサザンを
含有している。
The concentration of polysiloxazan in this spinning stock solution is adjusted so that the stock solution viscosity is in the range of 1 to 5000 poise. In order to improve the spinnability of this polysiloxazane, a small amount of a spinning aid may be added to the spinning dope if necessary. Examples of such auxiliaries include polyethers, polyamides, polyesters, vinyl polymers, polythioethers, polypeptides, etc., among which polyethylene oxide, polyisobutylene, polymethyl methacrylate , Polyisoprene and polystyrene are particularly desirable. For the concentration operation of the solution for adjusting the spinning solution having an appropriate viscosity, a normal method such as distillation under reduced pressure is used. The spinning solution obtained by such a concentration operation contains 5 to 90% by weight of polysiloxazan.

【0017】紡糸を行なうには、乾式紡糸が好都合であ
るが、遠心紡糸、吹き出し紡糸も利用することができ
る。紡糸は不活性ガス雰囲気下で室温で行なわれるが、
必要に応じて紡糸液を加熱して行なうこともできる。但
し、100℃を超えて加熱すると、ポリシロキサザンの
熱分解が開始するので注意を要する。繊維の乾燥は、紡
糸後に、加熱しながら減圧下で充分行う。
For spinning, dry spinning is convenient, but centrifugal spinning and blow spinning can also be used. Spinning is performed at room temperature under an inert gas atmosphere.
If necessary, the spinning solution can be heated. However, it should be noted that if the temperature exceeds 100 ° C., the thermal decomposition of polysiloxazan starts. After spinning, the fibers are sufficiently dried under heating and reduced pressure.

【0018】こうしてポリシロキサザンの繊維、特に連
続繊維が紡糸される。このポリシロキサザン繊維は白色
である。該繊維は焼成前でも高い強度を有するので、最
初に、繊維をヤーン、織布等の形態に加工し、その後焼
成することによって酸窒化珪素製品を製造することもで
きる。乾燥したポリシロキサザン繊維は、不活性ガス雰
囲気下、100℃付近で熱処理を施すことが望ましい。
この熱処理の目的は、溶剤除去を更に確実にすると共
に、ポリシロキサザンの分子鎖間の架橋反応を促進させ
ることにより、焼成過程におけるクラック、空隙、及び
気孔の生成を最少限にするためである。
Thus, fibers of polysiloxazan, especially continuous fibers, are spun. This polysiloxazan fiber is white. Since the fibers have high strength even before firing, the fibers can be first processed into a yarn, woven fabric, or the like, and then fired to produce a silicon oxynitride product. It is desirable that the dried polysiloxan fiber be subjected to a heat treatment at about 100 ° C. in an inert gas atmosphere.
The purpose of this heat treatment is to minimize the generation of cracks, voids, and pores during the firing process by further ensuring solvent removal and promoting the cross-linking reaction between the molecular chains of polysiloxane. .

【0019】本発明で作られるポリシロキサザン繊維
は、熱に対して不融であることから、そのまま雰囲気ガ
ス下で焼成することもできる。雰囲気ガスとしては窒素
が好都合であるが、アンモニア、あるいは窒素、アンモ
ニア、アルゴン、水素等の混合ガスを利用することもで
きる。このような不活性ガスの雰囲気下800℃以上の
温度で上記白色の繊維を焼成すると白色ないし黒色の無
機繊維が得られる。
Since the polysiloxazan fiber produced in the present invention is infusible to heat, it can be directly baked under an atmosphere gas. Nitrogen is convenient as the atmospheric gas, but ammonia or a mixed gas of nitrogen, ammonia, argon, hydrogen and the like can also be used. When the white fibers are fired at a temperature of 800 ° C. or higher in an atmosphere of such an inert gas, white or black inorganic fibers are obtained.

【0020】この無機繊維は実質的に珪素、窒素および
酸素から成り、窒素を5モル%および酸素を5モル%以
上含有し、しかも前述の(1)式で表わされる新規な組
成を有するものを含んでいる。この酸窒化珪素繊維の性
状は、限定するわけではないが、典型的には、 繊維径 :5〜50μm 引張強度:30〜300kg/mm2 弾性率 :7〜30t/mm2 比抵抗値:2〜7×1010Ω・cm と本発明者等が前に特許出願をした高純度窒化珪素繊維
(特願昭60−257,824号明細書)と大差はない
が、耐酸化性については相当の向上が見られる。例え
ば、実施例1で得られた繊維を空気中700℃で5時間
加熱したところ重量増は2.6%であった。比較のた
め、上述の窒化珪素繊維を同一条件で処理したところ、
重量増は4.8%であった。
The inorganic fiber is substantially composed of silicon, nitrogen and oxygen, contains 5 mol% of nitrogen and 5 mol% or more of oxygen, and has a novel composition represented by the above formula (1). Contains. The properties of the silicon oxynitride fiber are not limited, but typically, fiber diameter: 5 to 50 μm tensile strength: 30 to 300 kg / mm 2 elastic modulus: 7 to 30 t / mm 2 specific resistance: 2 77 × 10 10 Ω · cm, which is not much different from the high-purity silicon nitride fiber to which the present inventors previously applied for a patent (Japanese Patent Application No. 60-257,824), but has a considerable oxidation resistance. Improvement is seen. For example, when the fiber obtained in Example 1 was heated in air at 700 ° C. for 5 hours, the weight increase was 2.6%. For comparison, when the above silicon nitride fiber was treated under the same conditions,
The weight gain was 4.8%.

【0021】このような組成を有する酸窒化珪素繊維は
上記以外の方法によっても製造できる。すなわち、Si
2 2 、Si2 4 2 (これらの式中、XはF、C
l、BrあるいはIである)などで表わされるジハロシ
ランを直接あるいはルイス塩基とアダクトを形成後アン
モニア分解して得られるポリシラザンを紡糸してポリシ
ラザン繊維を生成し、これに酸素または水の気体を適当
な程度に作用させることによりポリシロキサザン繊維を
生成し、これに熱処理を施せば本発明品である上記の新
規な酸窒化珪素繊維を製造できる。すなわち、ポリシラ
ザン繊維(賦形体)は常温で気体状の水や酸素と反応し
てポリシラザンの−NH−基と−O−基とが置換してゆ
く。従って、温度を一定に保った雰囲気中にポリシラザ
ン繊維を一定時間曝すことによってポリシラザン繊維を
ポリシロキサザン繊維に変換することができる。このポ
リシロキサザン賦形体も新規であり、主たる繰り返し単
位が−(SiH2 n (NH)r −および−(Si
2 m O−からなり、その重合度は少なくとも4〜1
700程度、そしてそれ以上のものが製造可能である
(特願昭60−257824号明細書参照)。なお、こ
のポリシロキサザン賦形体は処理条件により賦形体表面
と内部で−(SiH2 n (NH)r −と−(Si
2 m O−の濃度に分布が存在し、水または酸素の処
理条件によっては賦形体の中心部にポリシラザン、また
表面部にポリシロキサンが存在することもできる。ま
た、このことから認められるように、本発明によれば、
ジハロシランまたはジハロシランとルイス塩基のアダク
トに最初にアンモニアを反応させてポリシラザンを生成
し、得られたポリシラザンを必要に応じて賦形化しある
いは賦形化せずに、次いで水または酸素と反応させてポ
リシロキサザンを製造することが可能である。
The silicon oxynitride fiber having such a composition can be produced by a method other than the above. That is, Si
H 2 X 2 , Si 2 H 4 X 2 (where X is F, C
l, Br or I), or a polysilazane obtained by forming an adduct with a Lewis base followed by ammonia decomposition to produce a polysilazane fiber, to which a gas of oxygen or water is added. By producing a polysiloxazan fiber by acting to a certain degree, and subjecting it to a heat treatment, the above-mentioned novel silicon oxynitride fiber of the present invention can be produced. That is, the polysilazane fiber (shaped body) reacts with gaseous water or oxygen at ordinary temperature, and the —NH— group and —O— group of polysilazane are substituted. Therefore, the polysilazane fibers can be converted into polysiloxazan fibers by exposing the polysilazane fibers to an atmosphere maintained at a constant temperature for a certain period of time. The polysiloxazanes shaped bodies also novel, main repeating unit is - (SiH 2) n (NH ) r - and - (Si
H 2 ) m O—, the degree of polymerization of which is at least 4-1.
About 700 and more can be manufactured (see Japanese Patent Application No. 60-257824). Incidentally, the polysiloxazanes shaped bodies are within the shaped bodies surface by treatment conditions - (SiH 2) n (NH ) r - and - (Si
There is a distribution in the concentration of H 2 ) m O—, and depending on the treatment conditions of water or oxygen, polysilazane may be present in the center of the shaped body, and polysiloxane may be present on the surface. Also, as will be appreciated from this, according to the present invention,
Ammonia is first reacted with a dihalosilane or an adduct of a dihalosilane and a Lewis base to form polysilazane, and the resulting polysilazane is shaped or not shaped as necessary, and then reacted with water or oxygen to form a polysilazane. It is possible to produce siloxazan.

【0022】以下、実施例により本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれにより限定されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

【0023】実施例1 内容積300mlの四つ口フラスコにガス吹き込み管、メ
カニカルスターラー、ジュワ−コンデンサーを装置し
た。四つ口フラスコに乾燥ピリジン150mlを入れ、こ
れを氷冷した。次にジクロロシラン15.8g(0.1
56mol)を約1時間かけて加えると白色固体状のアダク
ト(SiH2 Cl2 ・2C5 5 N)が生成した。反応
混合物を氷冷し、攪拌しながら、アンモニア15.7g
(0.92mol)、水0.33g(0.018mol)を窒素
ガスに混合して、約1.5時間かけて吹き込んだ。反応
終了後、反応混合物を窒素雰囲気下で遠心分離し、乾燥
塩化メチレンを用いて残分を洗浄し、更に洗液と遠心分
離液とを合わせて窒素雰囲気下で濾過した。濾液には下
記に示すようなポリシロキサザンが2.01(g/ml)
%溶解していた。
Example 1 A four-necked flask having an internal volume of 300 ml was equipped with a gas injection tube, a mechanical stirrer, and a Jewer condenser. 150 ml of dry pyridine was placed in a four-necked flask, and cooled with ice. Next, 15.8 g of dichlorosilane (0.1
(56 mol) was added over about 1 hour to form an adduct (SiH 2 Cl 2 .2C 5 H 5 N) as a white solid. The reaction mixture was cooled on ice and, with stirring, 15.7 g of ammonia
(0.92 mol) and 0.33 g (0.018 mol) of water were mixed with nitrogen gas and blown in over about 1.5 hours. After completion of the reaction, the reaction mixture was centrifuged under a nitrogen atmosphere, the residue was washed with dry methylene chloride, and the washing liquid and the centrifuged liquid were combined and filtered under a nitrogen atmosphere. The filtrate contained 2.01 (g / ml) of polysiloxazan as shown below.
% Dissolved.

【0024】濾液150mlに30mgのポリエチレンオキ
サイド (分子量5,000,000)を加えて溶解した
後、溶剤を減圧留去して濃縮し、約30(g/ml)%の
ポリシロキサザンを含む紡糸原液(粘度250ポイズ)
を調製した。紡糸原液を濾過、脱泡後、窒素雰囲気下で
乾式紡糸を行い白色のポリシロキサザン繊維を得た。こ
れを減圧下50℃で4時間乾燥し、窒素雰囲気下、10
0℃で3時間熱処理した後、窒素雰囲気下で1000℃
で5時間加熱して、黒色の繊維を得た。
After 150 mg of the filtrate was dissolved by adding 30 mg of polyethylene oxide (molecular weight: 5,000,000), the solvent was distilled off under reduced pressure and concentrated, and a spinning solution containing about 30 (g / ml)% of polysiloxazan was obtained. Stock solution (viscosity 250 poise)
Was prepared. After the spinning solution was filtered and defoamed, dry spinning was performed under a nitrogen atmosphere to obtain white polysiloxazan fibers. This was dried under reduced pressure at 50 ° C. for 4 hours, and then dried under nitrogen atmosphere for 10 hours.
After heat treatment at 0 ° C for 3 hours, 1000 ° C in a nitrogen atmosphere
For 5 hours to obtain black fibers.

【0025】得られたポリシロキサザン及び黒色繊維の
化学分析による元素組成(mol%)は、表1に示した通り
であった。
The elemental composition (mol%) of the obtained polysiloxazan and black fiber by chemical analysis was as shown in Table 1.

【0026】 表 1 元素組成(mol%) Si ポリシロキサザン 20.8 18.2 2.3 58.9 黒 色 繊 維 49.3 44.0 6.0 0.0 ポリシロキサザンの赤外線吸収スペクトル、1 H−NM
R、CP/MAS 29Si−NMRを図1〜図3に、黒
色繊維の粉末X線回折スペクトルを図4に示した。但
し、1 H−NMRスペクトルについては、ポリシロキサ
ザンを単離後、測定溶媒(CDCl3 )に可溶な生成物
のみ測定した。
Table 1 Element composition (mol%) Si N O H polysiloxazanes 20.8 18.2 2.3 58.9 Black color textiles 49.3 44.0 6.0 0.0 polysiloxazanes infrared absorption spectrum, 1 H-NM
R and CP / MAS 29 Si-NMR are shown in FIGS. 1 to 3, and the powder X-ray diffraction spectrum of the black fiber is shown in FIG. However, regarding the 1 H-NMR spectrum, after isolating the polysiloxazan, only the products soluble in the measurement solvent (CDCl 3 ) were measured.

【0027】さらに、蒸気圧降下法による数平均分子量
を測定したところ、1100* であった。またゲルパー
ミエーションクロマトグラフィ(GPC)を測定したと
ころ、図5に示したように、ポリスチレン換算分子量は
250から4000、主として300から3400に分
布しており、数平均分子量(ポリスチレン換算)は78
5であった。ポリスチレン換算分子量を蒸気圧降下法に
よる分子量に補正したポリシロキサザンの重合度は7.
8から125、主として9.4から106.5に分布す
る。
Further, the number average molecular weight measured by the vapor pressure drop method was 1100 * . When gel permeation chromatography (GPC) was measured, as shown in FIG. 5, the molecular weight in terms of polystyrene was distributed from 250 to 4000, mainly from 300 to 3400, and the number average molecular weight (in terms of polystyrene) was 78.
It was 5. The degree of polymerization of polysiloxazane in which the molecular weight in terms of polystyrene is corrected to the molecular weight by the vapor pressure drop method is 7.
8 to 125, mainly 9.4 to 106.5.

【0028】繊維直径5〜50μmの黒色繊維の引張強
度は30〜280kg/mm2 、弾性率は8〜20t/mm2
であった。
The tensile strength of the black fiber having a fiber diameter of 5 to 50 μm is 30 to 280 kg / mm 2 , and the elastic modulus is 8 to 20 t / mm 2.
Met.

【0029】実施例2 実施例1で得られたポリシロキサザン繊維を、乾燥温度
以外の条件は同一で、焼成温度を1300℃で処理して
得た黒色繊維の元素組成(mol%) は、Si:44.4、
N:48.6、O:7.4であった。黒色繊維を粉末X
線回折したところ、Si、α−Si3 4 、β−Si3
4 のピークが観測された。
Example 2 The polysiloxazan fiber obtained in Example 1 was treated under the same conditions except for the drying temperature at a firing temperature of 1300 ° C., and the elemental composition (mol%) of the black fiber was as follows: Si: 44.4,
N: 48.6, O: 7.4. Black fiber powder X
Line diffraction revealed that Si, α-Si 3 H 4 , β-Si 3
An H 4 peak was observed.

【0030】実施例3 実施例1と同じ条件で、水1.00g(0.056mol)
を加えたピリジン150mlを用いてアダクトを調製した
後、実施例1および2と同一操作でポリシロキサザンと
黒色繊維を調製した。得られたポリシロキサザンと黒色
繊維の元素組成は表2に示した通りであった。
Example 3 Under the same conditions as in Example 1, 1.00 g (0.056 mol) of water was used.
An adduct was prepared using 150 ml of pyridine to which polysiloxazan was added, and polysiloxazan and black fibers were prepared in the same manner as in Examples 1 and 2. The elemental compositions of the obtained polysiloxazan and black fibers were as shown in Table 2.

【0031】 表 2 元素組成(mol%) Si ポリシロキサザン 21.5 14.3 7.7 57.2 1000℃焼成黒色繊維 48.4 30.4 21.2 0.0 1300℃焼成黒色繊維 46.7 41.6 11.7 0.0Table 2 Element composition (mol%) Si N O H polysiloxazanes 21.5 14.3 7.7 57.2 1000 ℃ fired black fibers 48.4 30.4 21.2 0.0 1300 ℃ fired black fibers 46.7 41.6 11.7 0.0

【0032】実施例4 実施例1と同一条件でアダクトを調製した後に乾燥アン
モニア16.0g(0.94mol)を窒素ガスに混合し
て、約1.5時間かけて吹き込んだ。反応終了後、実施
例1と同一操作で1.95(g/mol)%のポリシラザン
を含む濾液を得た。これを実施例1と同一操作でポリシ
ラザン繊維に紡糸した後、湿度47%の雰囲気中に5時
間保持した後、実施例1と同一操作で減圧乾燥、熱処
理、焼成を行って黒色繊維を得た。
Example 4 After an adduct was prepared under the same conditions as in Example 1, 16.0 g (0.94 mol) of dry ammonia was mixed with nitrogen gas and blown in over about 1.5 hours. After completion of the reaction, a filtrate containing 1.95 (g / mol)% of polysilazane was obtained by the same operation as in Example 1. This was spun into a polysilazane fiber by the same operation as in Example 1, then kept in an atmosphere at a humidity of 47% for 5 hours, and dried under reduced pressure, heat-treated and fired by the same operation as in Example 1 to obtain a black fiber. .

【0033】得られた黒色繊維の元素組成(mol%) はS
i:54.0、N:26.0、O:20.0であった。
The element composition (mol%) of the obtained black fiber is S
i: 54.0, N: 26.0, O: 20.0.

【0034】実施例5 実施例1で得たポリシロキサザン繊維を湿度47%の雰
囲気下で15時間保持した後、実施例と同一の操作で処
理して得た黒色繊維の化学組成(mol%)は、Si:4
8.5、N:7.5、O:44.0であった。
Example 5 The polysiloxazan fiber obtained in Example 1 was kept in an atmosphere of a humidity of 47% for 15 hours, and then treated in the same manner as in Example 1 to obtain a chemical composition (mol%) of black fiber. ) Is Si: 4
8.5, N: 7.5, and O: 44.0.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明により、酸窒化珪素繊維の新規な
製法が提供され、この酸窒化珪素繊維は特にその連続繊
維を簡単に製造することができ、そして得られる酸窒化
珪素繊維は高性能複合材料の強化材として非常に有用で
ある。
According to the present invention, a novel silicon oxynitride fiber
A process is provided in which the silicon oxynitride fibers are particularly easy to produce in their continuous fibers, and the resulting silicon oxynitride fibers are very useful as reinforcement in high performance composites.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明で得られたポリシロキサザンのKBr法
による赤外吸収スペクトル図である。
FIG. 1 is an infrared absorption spectrum of the polysiloxazan obtained in the present invention by the KBr method.

【図2】ポリシロキサザンの 1H−NMRスペクトル図
である。
FIG. 2 is a 1 H-NMR spectrum of polysiloxazan.

【図3】ポリシロキサザンのCP/MAS 29SiNM
Rスペクトル図である。
FIG. 3: CP / MAS 29 SiNM of polysiloxazan
It is an R spectrum figure.

【図4】黒色繊維(Si−N−O)無機繊維の粉末X線
スペクトル図である。
FIG. 4 is a powder X-ray spectrum diagram of a black fiber (Si—NO) inorganic fiber.

【図5】ポリシロキサザンのGPCクロマトグラムであ
る。
FIG. 5 is a GPC chromatogram of polysiloxazan.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−295273(JP,A) 特開 昭61−12915(JP,A) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-61-295273 (JP, A) JP-A-61-12915 (JP, A)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 主たる繰り返し単位が−(SiH2 n
(NH)r −および−(SiH)m O−(式中、n,
m,rはそれぞれ1,2または3である。)でありかつ
繰り返し単位に基づく重合度が5〜300であるペルヒ
ドロポリシロキサザンを紡糸し、得られる繊維を焼成し
て酸窒化珪素繊維を製造する方法。
1. The main repeating unit is-(SiH 2 ) n
(NH) r- and-(SiH) m O- (where n,
m and r are 1, 2 or 3, respectively. ), And and Peruhi polymerization degree based on the repeating unit is 5 to 300
Mud polysiloxazanes spun, a method of manufacturing a silicon oxynitride fibers by firing the resulting fibers.
【請求項2】 ジハロシランまたはジハロシランとルイ
ス塩基のアダクトにアンモニアを反応して得られるペル
ヒドロポリシラザンを紡糸し、得られる繊維を水または
酸素で処理してペルヒドロポリシロキサザンとした後、
焼成して酸窒化珪素繊維を製造する方法。
Wherein pels obtained by reacting ammonia adduct of dihalosilane or dihalosilane with a Lewis base
After spinning hydropolysilazane and treating the resulting fiber with water or oxygen to form perhydropolysiloxazan ,
A method for producing silicon oxynitride fibers by firing.
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