JPH06177471A - Semiconductor laser excited solid-state laser using prism enlarger - Google Patents

Semiconductor laser excited solid-state laser using prism enlarger

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JPH06177471A
JPH06177471A JP20048392A JP20048392A JPH06177471A JP H06177471 A JPH06177471 A JP H06177471A JP 20048392 A JP20048392 A JP 20048392A JP 20048392 A JP20048392 A JP 20048392A JP H06177471 A JPH06177471 A JP H06177471A
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JP
Japan
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laser
prism
laser beam
solid
resonator
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JP20048392A
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Etsuo Fujiwara
閲夫 藤原
Tsutomu Takahashi
勉 高橋
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Abstract

PURPOSE:To enable an efficient laser beam to be taken out even though a solid-state laser excited by an LD is the type in which only a limited region is partially excited by the laser, and, in the event of taking the laser beam from a lateral direction, to make a section of the discharged laser beam into an easy-to-use round or square form, and to improve its focusing characteristics. CONSTITUTION:In a laser resonator which comprises two mirrors 2 and 6 provided at least on both ends, one or a plurality of prism enlarger 7 are permitted to intervene, thereby enlarging a laser beam section in the laser resonator only in one direction so that the laser beam enters into the fixed laser medium as a rectangular or elliptic laser beam equal to an excitation region of a laser medium 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリズム拡大器を用い
た半導体レーザー励起固体レーザー、すなわち、半導体
レーザーアレーで励起する結晶或いはガラス質の固体レ
ーザー装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor laser pumped solid-state laser using a prism magnifier, that is, a crystalline or glassy solid-state laser device pumped by a semiconductor laser array.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に固体レーザーと称されている結晶
質やガラス質でできたレーザーでは、従来、アーク又は
白熱電球による強力なランプ光で固体レーザー媒質を照
射して励起していたが、近年の高出力半導体レーザーの
出現によって、ランプ光に代わって半導体レーザー(以
下、LDという)で固体レーザーを励起する方向に移行
しつつある。しかし、LD光の吸収長が長い固体レーザ
ー(例えば、Nd:YAGレーザー)では、LD光をレ
ンズで集光することによる狭い励起幅に比べて深さ方向
には長い吸収長のために深くまで励起され、固体レーザ
ー光を横方向(LD光による励起方向と直角方向)から
取り出す場合には、レーザー光の断面は、使用し易い円
形断面ではなく、細長い長方形になってしまい、集光特
性も悪くなる欠点があった。
2. Description of the Related Art Lasers made of crystalline or glass, which are generally called solid-state lasers, have hitherto been excited by irradiating a solid-state laser medium with a powerful lamp light from an arc or an incandescent lamp. With the advent of the high-power semiconductor laser, the semiconductor laser (hereinafter, referred to as LD) is being replaced with a lamp light, and a solid-state laser is being excited. However, in a solid-state laser having a long absorption length of LD light (for example, Nd: YAG laser), the absorption length is long in the depth direction as compared with the narrow excitation width obtained by condensing the LD light with a lens. When the solid-state laser light is excited and taken out in the lateral direction (the direction perpendicular to the direction of excitation by the LD light), the cross section of the laser light is not an easy-to-use circular cross section but an elongated rectangle, and the condensing characteristic is also It had the drawback of getting worse.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】かかる点に鑑み、本発
明は、LD励起による固体レーザー媒質内の細長い非円
形の励起領域から効率の良いレーザー光を取り出し得る
ようにするとともに、そのレーザー光を横方向(LD光
による励起方向と直角方向)から取り出す場合にも、放
出されるレーザービームの断面を使用し易い円形乃至正
方形にし、かつ、集光特性を改善しようとするものであ
る。
In view of the above point, the present invention makes it possible to efficiently extract laser light from an elongated non-circular pumping region in a solid laser medium by LD pumping, and to use the laser light Even when the light is extracted in the lateral direction (direction orthogonal to the direction of excitation by the LD light), the cross section of the emitted laser beam is formed into a circular or square shape that is easy to use, and the condensing characteristics are improved.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、少
なくとも両端に置かれた2枚の鏡を有して構成されたレ
ーザー共振器の中に、一乃至数個のプリズム拡大器を介
入させ、レーザー共振器内のレーザー光断面を一方向の
み拡大させてレーザー媒質の励起領域に等しい長方形乃
至長円形のレーザービームとして固体レーザー媒質内を
通す構造にしたことを特徴とする。
To achieve the above object, one or several prism magnifiers are intervened in a laser resonator having at least two mirrors placed at both ends. The structure is such that the cross section of the laser beam in the laser resonator is expanded in only one direction so that a rectangular or elliptical laser beam equal to the excitation region of the laser medium is passed through the solid laser medium.

【0005】[0005]

【作用】如上の構成であるから、レーザー媒質に対しL
Dにより限られた領域だけを部分的に励起するものであ
っても、介入させた一乃至数個のプリズム拡大器は、そ
のレーザー媒質をレーザーの活性領域(光増幅領域)に
等しい長方形乃至長円形のレーザー光で無駄なく満た
し、その活性領域全体からの効率よいレーザー光の取り
出しを可能にし、レーザー出力を増大させる。また、レ
ーザー共振器から放出されるレーザービームの断面形状
を円形乃至正方形に絞りこみ、使用し易いものにする。
With the above structure, the laser medium is L
Even if only a limited region is partially excited by D, one or a few prism magnifiers intervening the laser medium have a rectangular shape or a long length equal to the active region (optical amplification region) of the laser. The circular laser light is filled without waste, enabling efficient extraction of the laser light from the entire active area and increasing the laser output. Further, the cross-sectional shape of the laser beam emitted from the laser resonator is narrowed down into a circular shape or a square shape to make it easy to use.

【0006】[0006]

【実施例】図1は、本発明の半導体レーザー励起固体レ
ーザーに係る第1の実施例の概念図を示している。固体
レーザーは、ネオジウム(Nd)又は他の希土類をドー
ピングした固体レーザーである。固体の材料としては、
石英を含めてガラス質、或いは、結晶である。結晶は、
YAG、YVO4 、YLF、YOS、YAP等から選択
される。この中で、特に、Nd:YAG、Nd:YL
F、Nd:YOSが重要である。ここでは、Nd:YA
G(Y3Al5O12)結晶を例に説明する。なお、本発明では、
該Nd:YAG結晶に限定するものではないことを付言
する。Nd:YAG結晶(以下、単にYAG結晶とい
う)1は、各面を垂直面とし、後端面に1.064 ミクロン
のレーザー波長で全反射するような誘電体多層膜コーテ
ィングを施して、全反射の反射鏡2を形成し、上下面3
を光学研磨し、かつ、波長0.808 ミクロンのLD光に対
する無反射コーティングを施して、LDアレー4による
励起を可能にしている。また、両側面に冷却のためのヒ
ートシンク(図示せず)を密着させている。而して、上
記YAG結晶1の厚さは、結晶中のNd混合比によって
異なるが、結晶内部がLD光で一様に励起されるよう
に、3〜5mmの厚さが適当である。結晶の長さは、LD
アレー4の長さ以上に選ぶ。複数のLDアレー4を使用
する場合には、それらを並べた長さ以上にする必要があ
る。YAG結晶1の上下面には、それぞれ集光レンズ5
を介してLDアレー4を対峙させ、各LDアレーから発
散するレーザー光を集光レンズ5で集めてYAG結晶1
に集束させるようにしている。LDアレー4は、レーザ
ーダイオードとも称されるものであって、約0.8 ミクロ
ンの波長のレーザー出力を生ずるLDから成り、1つの
半導体チップから複数のレーザー光を放出するようにし
たものであって、パルス発振或いは連続発振するもので
ある。LDアレー4のLDから発生した熱は、温度制御
されたペルチエ冷却器或いは温度制御された水冷のヒー
トシンク(図示せず)によって除去する。これにより、
LDの温度を調整し、かつ、温度によってLDをYAG
結晶1の励起に合った正確な波長に同調させる。YAG
結晶1の前方には、レーザー共振器の出力鏡を兼ねる部
分反射鏡6を配し、該部分反射鏡には、レーザー光の基
本波長の一部が透過するように誘電体コーティングを施
しており、もって、前記全反射の反射鏡2との間にレー
ザー共振器を構成している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a conceptual diagram of a first embodiment relating to a semiconductor laser pumped solid-state laser of the present invention. The solid-state laser is a solid-state laser doped with neodymium (Nd) or other rare earth. As a solid material,
It is vitreous or crystalline, including quartz. The crystals are
It is selected from YAG, YVO4, YLF, YOS, YAP and the like. Among them, especially Nd: YAG, Nd: YL
F and Nd: YOS are important. Here, Nd: YA
A G (Y3Al5O12) crystal will be described as an example. In the present invention,
It is added that the Nd: YAG crystal is not limited. Nd: YAG crystal (hereinafter simply referred to as YAG crystal) 1 is a total reflection mirror with each surface being a vertical surface and the rear end surface being coated with a dielectric multilayer film for total reflection at a laser wavelength of 1.064 microns. 2 to form the upper and lower surfaces 3
Is optically polished, and a non-reflection coating for LD light having a wavelength of 0.808 micron is applied to enable excitation by the LD array 4. Further, heat sinks (not shown) for cooling are closely attached to both side surfaces. The thickness of the YAG crystal 1 varies depending on the Nd mixture ratio in the crystal, but a thickness of 3 to 5 mm is suitable so that the inside of the crystal is uniformly excited by LD light. The crystal length is LD
Choose at least the length of array 4. When using a plurality of LD arrays 4, it is necessary to have a length equal to or greater than the length in which they are arranged. A condenser lens 5 is provided on each of the upper and lower surfaces of the YAG crystal 1.
The LD array 4 is made to face each other via the YAG crystal 1 by collecting the laser light diverging from each LD array by the condenser lens 5.
I try to focus on. The LD array 4, which is also called a laser diode, is composed of an LD that produces a laser output having a wavelength of about 0.8 μm, and is designed to emit a plurality of laser beams from one semiconductor chip. Pulse oscillation or continuous oscillation is performed. The heat generated from the LD of the LD array 4 is removed by a temperature-controlled Peltier cooler or a temperature-controlled water-cooled heat sink (not shown). This allows
Adjust the LD temperature, and adjust the LD to YAG
Tune to the exact wavelength that matches the excitation of crystal 1. YAG
In front of the crystal 1, a partial reflection mirror 6 also serving as an output mirror of the laser resonator is arranged, and the partial reflection mirror is coated with a dielectric material so that a part of the fundamental wavelength of the laser light is transmitted. Therefore, a laser resonator is formed between the total reflection mirror 2 and the reflection mirror 2.

【0007】かかるレーザー共振器中には、プリズム拡
大器たる2個の三角プリズム7を介入させて、レーザー
共振器内のレーザー光断面を一方向のみ拡大させてレー
ザー媒質の励起領域に等しい長方形乃至長円形のレーザ
ービームとしてYAG結晶1内を通すようにしている。
三角プリズム7は、プリズム拡大器の基本形状である
が、ここでいう三角プリズムは、直角乃至それに近い角
度をもったプリズムとし、その材料には、石英、各種光
学ガラス、サファイア等の光学結晶が適している。レー
ザー光が拡大してプリズムから出射(入射)するプリズ
ムの面(A面)は、レーザー光に対して直角乃至それに
近い角度にする。該面(A面)には、表面反射損失を低
減するように無反射コーティングを施す。他面(B面)
は、レーザー光に対してブリュースター角かそれに近い
角度に選ぶ。このブリュースター角は、レーザーのP偏
向成分に対してプリズム表面での反射が生じない角度と
したものであり、BK7ガラスでは56.5度である。ブリ
ュースター角を使用しない場合には、該面(B面)に表
面反射を防ぐ無反射コーティングを施す。1つの三角プ
リズム7による拡大率は、2〜5倍程度に低く止め、大
きな拡大率を必要とする場合には、複数個を使用する。
なお、上記B面をブリュースター角にしないで、わずか
な表面反射を設け、その反射光をレーザー特性の測定光
として使用しても良い。この場合、その反射光を受ける
レーザーモニタ9を適所に配する。また、レーザー共振
器中における部分反射鏡6の近傍には、レーザー光の形
状や集光特性を改善するために開口アパーチャ8を設け
る。ただし、この開口アパーチャ8の取り付けによっ
て、レーザー出力が低下することもあり、使用目的によ
っては必ずしも必要ではない。
In this laser resonator, two triangular prisms 7 which are prism expanders are intervened to expand the laser light cross section in the laser resonator in only one direction to form a rectangle equal to the excitation region of the laser medium. An oval laser beam is passed through the YAG crystal 1.
The triangular prism 7 is a basic shape of a prism magnifier, but the triangular prism referred to here is a prism having a right angle or an angle close to that, and its material is quartz, various optical glasses, optical crystals such as sapphire. Are suitable. The surface (A surface) of the prism where the laser light is expanded and emitted (incident) from the prism is at a right angle or an angle close to the laser light. An antireflection coating is applied to the surface (A surface) so as to reduce surface reflection loss. Other side (B side)
Choose a Brewster angle or an angle close to it for the laser light. This Brewster angle is an angle at which reflection on the prism surface does not occur with respect to the P-polarized component of the laser, and is 56.5 degrees for BK7 glass. When the Brewster's angle is not used, the surface (B surface) is coated with an antireflection coating to prevent surface reflection. The enlargement ratio by one triangular prism 7 is kept low at about 2 to 5 times, and a plurality of enlargement ratios are used when a large enlargement ratio is required.
The surface B may be provided with a slight surface reflection without using the Brewster angle, and the reflected light may be used as the measurement light of the laser characteristics. In this case, the laser monitor 9 that receives the reflected light is placed in a proper place. Further, an aperture aperture 8 is provided in the vicinity of the partial reflection mirror 6 in the laser resonator in order to improve the shape and condensing characteristics of the laser light. However, the attachment of the opening aperture 8 may reduce the laser output, and is not always necessary depending on the purpose of use.

【0008】図3は、第2の実施例を示している。この
場合、前例のものにおいて、レーザー共振器中の前記開
口アパーチャ8の近傍、特に、部分反射の反射鏡6と三
角プリズム7との間の単位面積当たりのレーザー強度が
最も高い部分に、結晶内部を通過するレーザー光の波長
を半分にするKTP(KTiOPO4) 結晶10を介在させてい
る。この単位面積当たりのレーザー強度の最も高い位置
が、2倍高調波の発生効率が最も高いところである。
FIG. 3 shows a second embodiment. In this case, in the case of the previous example, inside the crystal, in the vicinity of the aperture aperture 8 in the laser resonator, particularly in the portion between the partially reflecting reflecting mirror 6 and the triangular prism 7 where the laser intensity per unit area is the highest. A KTP (KTiOPO4) crystal 10 that halves the wavelength of the laser light passing through is interposed. The position where the laser intensity is the highest per unit area is the place where the generation efficiency of the second harmonic is the highest.

【0009】図4は、第3の実施例を示している。この
例は、幾つかの目的で急峻なパルスレーザーが所望され
る場合であり、上記第2例のものにおいて、KTP結晶
10に代えて音響光学Qスイッチ、ポッケル効果を利用し
た電気光学Qスイッチ等のQスイッチ11を介在させてい
る。
FIG. 4 shows a third embodiment. In this example, a steep pulsed laser is desired for some purposes, and in the second example, the KTP crystal is used.
Instead of 10, a Q switch 11 such as an acousto-optic Q switch or an electro-optic Q switch utilizing the Pockel effect is interposed.

【0010】図5は、第4の実施例を示している。この
場合は、上記第2の実施例と第3の実施例との双方、つ
まり、KTP結晶10とQスイッチ11との双方を介在させ
ている。
FIG. 5 shows a fourth embodiment. In this case, both the second embodiment and the third embodiment, that is, both the KTP crystal 10 and the Q switch 11 are interposed.

【0011】図6乃至図9は、第5乃至第8の実施例を
示している。これらは、上記第1乃至第7の実施例にお
いて、YAG結晶1の前端面12をブリュースター角に切
断し、光学研磨している。これにより、1つの三角プリ
ズム7を省略している。
6 to 9 show fifth to eighth embodiments. These are obtained by cutting the front end face 12 of the YAG crystal 1 to Brewster's angle and optically polishing it in the first to seventh embodiments. As a result, one triangular prism 7 is omitted.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明によれば、レーザー媒質に対しL
Dにより限られた領域だけを部分的に励起するものであ
っても、介入させた一乃至数個のプリズム拡大器によ
り、固体レーザー媒質内では、レーザーの活性領域を長
方形乃至長円形のレーザー光で無駄なく満たすことがで
き、固体レーザー全体を効率良く励起させることがで
き、レーザー出力を増大させることができる。また、上
記プリズム拡大器により、レーザー共振器から放出され
るレーザービームの断面形状を円形乃至正方形に絞りこ
むことができて、利用し易いものにすることができ、集
光特性を改善できる。更に、レーザー媒質の側面にて、
複数のLD発光部を1つのパッケージの中に持つ高電力
LDアレーの使用が可能になり、該高電力LDアレーに
よって励起される効率良い固体レーザーを提供すること
ができる。しかも、レーザー共振器内へのKTP結晶の
介入で、周波数2倍化された効率の良い固体レーザーを
提供でき、かつ、Qスイッチの介入で、急峻なパルスレ
ーザーを得ることもできる。極めて簡単な構成で格段の
効果を奏し、頗る有益である。
According to the present invention, L
Even if only a limited area is partially excited by D, the active area of the laser is rectangular or elliptical in the solid laser medium due to the intervention of one or several prism expanders. Can be filled without waste, the whole solid-state laser can be efficiently excited, and the laser output can be increased. Further, the prism magnifier can narrow the cross-sectional shape of the laser beam emitted from the laser resonator into a circular shape or a square shape, can be easily used, and can improve the condensing characteristics. Furthermore, on the side of the laser medium,
A high power LD array having a plurality of LD light emitting parts in one package can be used, and an efficient solid-state laser pumped by the high power LD array can be provided. Moreover, by interposing the KTP crystal in the laser resonator, it is possible to provide an efficient solid-state laser whose frequency is doubled, and it is also possible to obtain a steep pulsed laser by intervening the Q switch. It has a very simple structure and is extremely effective and extremely useful.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 1 is a side view conceptual diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】同例の背面概念図である。FIG. 2 is a rear conceptual view of the same example.

【図3】本発明の第2の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 3 is a side conceptual view showing a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 4 is a side view conceptual diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第4の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 5 is a side view conceptual diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第5の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 6 is a side conceptual view showing a fifth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第6の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 7 is a side view conceptual diagram showing a sixth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第7の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 8 is a side view conceptual diagram showing a seventh embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第8の実施例を示す側面概念図であ
る。
FIG. 9 is a side conceptual view showing an eighth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 YAG結晶 2 全反射の反射鏡 3 上下面 4 LDアレー 5 集光レンズ 6 部分反射鏡 7 三角プリズム 8 開口アパーチャ 9 レーザーモニタ 10 KTP結晶 11 Qスイッチ 12 前端面 1 YAG crystal 2 Reflection mirror for total reflection 3 Upper and lower surfaces 4 LD array 5 Condensing lens 6 Partial reflection mirror 7 Triangular prism 8 Aperture aperture 9 Laser monitor 10 KTP crystal 11 Q switch 12 Front end face

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも両端に置かれた2枚の鏡を有
して構成されたレーザー共振器の中に、一乃至数個のプ
リズム拡大器を介入させ、レーザー共振器内のレーザー
光断面を一方向のみ拡大させてレーザー媒質の励起領域
に等しい長方形乃至長円形のレーザービームとして固体
レーザー媒質内を通す構造にしたことを特徴とするプリ
ズム拡大器を用いた半導体レーザー励起固体レーザー。
1. A laser resonator having two mirrors placed at least at both ends, and one or several prism expanders intervene in the laser resonator so that a laser beam cross section in the laser resonator can be changed. A semiconductor laser pumped solid-state laser using a prism expander, which has a structure in which a rectangular or elliptical laser beam equal to the pumping region of the laser medium is passed through the solid-state laser medium by expanding in only one direction.
JP20048392A 1992-07-02 1992-07-02 Semiconductor laser excited solid-state laser using prism enlarger Pending JPH06177471A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007334225A (en) * 2006-06-19 2007-12-27 Mitsubishi Electric Corp Optical pulse width conversion apparatus and optical pulse width conversion method

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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