JPH061668B2 - 陰極線管の残留ガス量測定方法 - Google Patents
陰極線管の残留ガス量測定方法Info
- Publication number
- JPH061668B2 JPH061668B2 JP6012185A JP6012185A JPH061668B2 JP H061668 B2 JPH061668 B2 JP H061668B2 JP 6012185 A JP6012185 A JP 6012185A JP 6012185 A JP6012185 A JP 6012185A JP H061668 B2 JPH061668 B2 JP H061668B2
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- Japan
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- residual gas
- anode
- amount
- electrode
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、陰極線管の管内真空度評価のために、残留ガ
スの量を測定する方法に関する。
スの量を測定する方法に関する。
［発明の技術的背景］ 従来から、陰極線管において管内の残留ガス量を測定す
る方法として、陰極から放出された電子の衝突によりイ
オン化された残留ガス陽イオンを負電極に集め、この残
留ガス陽イオンに起因するイオン電流を測定して、この
電流値と陰極から放出される電子による陰極電流値との
比から残留ガス量を求める方法が知られている。
る方法として、陰極から放出された電子の衝突によりイ
オン化された残留ガス陽イオンを負電極に集め、この残
留ガス陽イオンに起因するイオン電流を測定して、この
電流値と陰極から放出される電子による陰極電流値との
比から残留ガス量を求める方法が知られている。
この方法を用いて、たとえば、第２図に示すように陰極
１、この陰極を加熱するヒータ２、第１格子電極３、第
２格子電極４、第３格子電極５およびアノードボタン６
に接続された第４格子電極７を備えた陰極線管の管内の
残留ガス量を測定する場合には、次のような方法が採ら
れている。
１、この陰極を加熱するヒータ２、第１格子電極３、第
２格子電極４、第３格子電極５およびアノードボタン６
に接続された第４格子電極７を備えた陰極線管の管内の
残留ガス量を測定する場合には、次のような方法が採ら
れている。
すなわち、陰極１を外部電極８により＋８〜＋９Ｖの正
電圧を印加されたヒータ２で加熱して熱電子を放出可能
な状態とし、第２格子電極４に外部電極９により＋２０
０〜＋３００Ｖの正電圧を印加し、第３格子電極５に外
部電源１０によりアースされた陰極１に対して−２５Ｖ
の負電圧を印加し、かつ第１格子電極３には外部電源１
１から、陰極電流Ｉｅを一定にするために必要な０〜−
１５０Ｖの可変負電圧を印加する。
電圧を印加されたヒータ２で加熱して熱電子を放出可能
な状態とし、第２格子電極４に外部電極９により＋２０
０〜＋３００Ｖの正電圧を印加し、第３格子電極５に外
部電源１０によりアースされた陰極１に対して−２５Ｖ
の負電圧を印加し、かつ第１格子電極３には外部電源１
１から、陰極電流Ｉｅを一定にするために必要な０〜−
１５０Ｖの可変負電圧を印加する。
そしてこの状態で第３格子電極６に流れるイオン電流Ｉ
ｉと前記陰極電流Ｉｅとを測定し、これらの比から残留
ガス量が求められる。
ｉと前記陰極電流Ｉｅとを測定し、これらの比から残留
ガス量が求められる。
なお、図中符号１２はアノードボタン６と第４格子電極
７とを接続する管壁内面に設けられた内部導電膜、１３
は陰極線管である。
７とを接続する管壁内面に設けられた内部導電膜、１３
は陰極線管である。
［背景技術の問題点］ しかるに、このような従来の残留ガス量測定方法におい
ては、電子を放出する陰極１とこの電子が集まる陽極部
に相当する第２格子電極４との間隔が極めて狭いため、
第２格子電極４に電子が衝突した時にその表面から発生
するガスによって陰極１の表面が被毒されて劣化しやす
くなるという問題があった。
ては、電子を放出する陰極１とこの電子が集まる陽極部
に相当する第２格子電極４との間隔が極めて狭いため、
第２格子電極４に電子が衝突した時にその表面から発生
するガスによって陰極１の表面が被毒されて劣化しやす
くなるという問題があった。
またこの方法であ、第３格子電極５に流れるイオン電流
Ｉｉの値が数μＡと極めて小さいため、測定精度の信頼
性に乏しいという問題をあった。
Ｉｉの値が数μＡと極めて小さいため、測定精度の信頼
性に乏しいという問題をあった。
［発明の目的］ 本発明はこれらの問題を解決するためになされたもの
で、陰極線管の残留ガス量の測定にあたり、陰極を構成
する格子電極部の表面から発生するガスにより陰極表面
が被毒されることがなく、しかも残留ガスイオンによる
イオン電流の値が大きく、測定感度および精度の高い陰
極線管の残留ガス量測定方法を提供することを目的とす
る。
で、陰極線管の残留ガス量の測定にあたり、陰極を構成
する格子電極部の表面から発生するガスにより陰極表面
が被毒されることがなく、しかも残留ガスイオンによる
イオン電流の値が大きく、測定感度および精度の高い陰
極線管の残留ガス量測定方法を提供することを目的とす
る。
［発明の概要］ すなわち本発明方法は、電子を放出する陰極と、この陰
極から放出された電子を加速集束する複数の加速集束電
極とを備え、かつ前記加速集束電極のうち陰極から最も
離れた加速集束電極がアノードに接続されている陰極線
管の管内残留ガス量を測定する方法において、前記アノ
ードに接続された加速集束電極にもつとも近い加速集束
電極へ正の電圧を印加し、前記アノードに接続された加
速集束電極に負電圧を印加して、前記陰極から放射され
前記アノードに接続された加速集束電極にもっとも近い
加速集束電極で加速集束された電子により残留ガスをイ
オン化するとともに、このイオン化された残留ガス陽イ
オンを前記アノードに接続された加速集束電極に集め、
この電極からのイオン電流により残留ガス量を測定する
ことにより、陽極を構成する格子電極部の表面から発生
するガスによる陰極表面の被毒を防止し、しかも残留ガ
スイオンによるイオン電流の値を大きくして、測定感度
および精度を向上させたものである。
極から放出された電子を加速集束する複数の加速集束電
極とを備え、かつ前記加速集束電極のうち陰極から最も
離れた加速集束電極がアノードに接続されている陰極線
管の管内残留ガス量を測定する方法において、前記アノ
ードに接続された加速集束電極にもつとも近い加速集束
電極へ正の電圧を印加し、前記アノードに接続された加
速集束電極に負電圧を印加して、前記陰極から放射され
前記アノードに接続された加速集束電極にもっとも近い
加速集束電極で加速集束された電子により残留ガスをイ
オン化するとともに、このイオン化された残留ガス陽イ
オンを前記アノードに接続された加速集束電極に集め、
この電極からのイオン電流により残留ガス量を測定する
ことにより、陽極を構成する格子電極部の表面から発生
するガスによる陰極表面の被毒を防止し、しかも残留ガ
スイオンによるイオン電流の値を大きくして、測定感度
および精度を向上させたものである。
［発明の実施例］ 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の測定方法の一実施例を説明するための
結線図である。なお、第１図において、第２図と共通す
る部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
結線図である。なお、第１図において、第２図と共通す
る部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
この図において陰極１はアースされ、外部電源８により
＋８〜＋９Ｖの正電圧を印加されるヒータ２で加熱され
て熱電子を放出する状態とされる。
＋８〜＋９Ｖの正電圧を印加されるヒータ２で加熱され
て熱電子を放出する状態とされる。
また、第２格子電極４、第３格子電極５にはいずれも外
部電源９により、＋２００〜＋３００Ｖの正電圧が印加
されており、第１格子電極３には外部電源１１により０
〜−１５０Ｖの範囲で自由に変えられる電圧が印加さ
れ、この印加電圧を変えることにより陰極電流Ｉｅを一
定のレベルに保つことができるように構成されている。
さらにアノードボタン６には、外部電源１０により−２
５Ｖの負電圧が印加されており、陰極１から放出された
電子によりイオン化された管内残留ガスの陽イオンが第
４格子電極７および内部導電膜１２を介してアノードボ
タン６に集められ、ここを流れる電流がイオン電流Ｉｉ
として測定可能なように構成されている。
部電源９により、＋２００〜＋３００Ｖの正電圧が印加
されており、第１格子電極３には外部電源１１により０
〜−１５０Ｖの範囲で自由に変えられる電圧が印加さ
れ、この印加電圧を変えることにより陰極電流Ｉｅを一
定のレベルに保つことができるように構成されている。
さらにアノードボタン６には、外部電源１０により−２
５Ｖの負電圧が印加されており、陰極１から放出された
電子によりイオン化された管内残留ガスの陽イオンが第
４格子電極７および内部導電膜１２を介してアノードボ
タン６に集められ、ここを流れる電流がイオン電流Ｉｉ
として測定可能なように構成されている。
そして、第１格子電極３に印加される電圧を調整して陰
極１を流れる陰極電流Ｉｅを一定値に保ちこの状態でイ
オン電流Ｉｉを測定し、イオン電流Ｉｉと陰極電流Ｉｅ
との比から残留ガス量を求めることができる。
極１を流れる陰極電流Ｉｅを一定値に保ちこの状態でイ
オン電流Ｉｉを測定し、イオン電流Ｉｉと陰極電流Ｉｅ
との比から残留ガス量を求めることができる。
以上のように本発明方法においては、第２格子電極４と
第３格子電極５にいずれも正電圧が印加されているた
め、陰極１から放出された電子の９５％以上が陰極１か
ら距離の離れた第３格子電極５にあたり、したがつてガ
スは第２格子電極４よりも陰極１から離れた第３格子電
極５から発生するようになる。このため発生したガスに
よる陰極１の被毒は大幅に改善される。
第３格子電極５にいずれも正電圧が印加されているた
め、陰極１から放出された電子の９５％以上が陰極１か
ら距離の離れた第３格子電極５にあたり、したがつてガ
スは第２格子電極４よりも陰極１から離れた第３格子電
極５から発生するようになる。このため発生したガスに
よる陰極１の被毒は大幅に改善される。
また一般に電流Ｉｉは次式によって表されるが、 Ｉｉ＝（ｌ／λ）Ｉｅ （但し、ｌは陰極から陽極までの距離λは平均自由行
程） 本発明では陰極から第３格子電極までの距離ｌが大きく
なつているので、Ｉｉの値が大きくなり、したがつて測
定の感度および精度も向上する。
程） 本発明では陰極から第３格子電極までの距離ｌが大きく
なつているので、Ｉｉの値が大きくなり、したがつて測
定の感度および精度も向上する。
さらに、実施例に示したように、熱電子を加速するため
の正電圧を複数の加速収束電極に印加して熱電子の衝突
する部分を分散させるようにすれば、ガスの発生そのも
のを抑制することができ、陰極の被毒防止効果を一層向
上させることができる。
の正電圧を複数の加速収束電極に印加して熱電子の衝突
する部分を分散させるようにすれば、ガスの発生そのも
のを抑制することができ、陰極の被毒防止効果を一層向
上させることができる。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明の方法によれば
陰極のガス被毒が減少し、陰極線管作動時の立上がり特
性のおくれやバラツキをなくすることができる。またこ
の方法によれば、残留ガス量測定のもとになるイオン電
流Ｉｉの値を増加させることができるので、測定の感度
および精度を向上させることができる。
陰極のガス被毒が減少し、陰極線管作動時の立上がり特
性のおくれやバラツキをなくすることができる。またこ
の方法によれば、残留ガス量測定のもとになるイオン電
流Ｉｉの値を増加させることができるので、測定の感度
および精度を向上させることができる。
第１図は本発明の陰極線管の残留ガス量測定方法を一実
施例を示す結線図、第２図は従来の測定方法を示す結線
図である。 １…………陰極 ２…………ヒータ ３…………第１格子電極 ４…………第２格子電極 ５…………第３格子電極 ６…………アノードボタン ７…………第４格子電極 ８〜１１……外部電極 １２…………内部導電膜 １３…………陰極線管
施例を示す結線図、第２図は従来の測定方法を示す結線
図である。 １…………陰極 ２…………ヒータ ３…………第１格子電極 ４…………第２格子電極 ５…………第３格子電極 ６…………アノードボタン ７…………第４格子電極 ８〜１１……外部電極 １２…………内部導電膜 １３…………陰極線管
Claims (1)
- 【請求項１】電子を放出する陰極と、この陰極から放出
された電子を加速集束する複数の加速集束電極とを備
え、かつ前記加速集束電極のうち陰極から最も離れた加
速集束電極がアノードに接続されている陰極線管の管内
残留ガス量を測定する方法において、前記アノードに接
続された加速集束電極にもっとも近い加速集束電極へ正
の電圧を印加し、前記アノードに接続された加速集束電
極に負電圧を印加して、前記陰極から放射され前記アノ
ードに接続された加速集束電極にもっとも近い加速集束
電極で加速集束された電子により残留ガスをイオン化す
るとともに、このイオン化された残留ガス陽イオンを前
記アノードに接続された加速集束電極に集め、この電極
からのイオン電極により残留ガス量を測定することを特
徴とする陰極線管の残留ガス量測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6012185A JPH061668B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 陰極線管の残留ガス量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6012185A JPH061668B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 陰極線管の残留ガス量測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61218043A JPS61218043A (ja) | 1986-09-27 |
| JPH061668B2 true JPH061668B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=13132973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6012185A Expired - Lifetime JPH061668B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 陰極線管の残留ガス量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061668B2 (ja) |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP6012185A patent/JPH061668B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61218043A (ja) | 1986-09-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |