JPH06165433A - Motor - Google Patents

Motor

Info

Publication number
JPH06165433A
JPH06165433A JP31180492A JP31180492A JPH06165433A JP H06165433 A JPH06165433 A JP H06165433A JP 31180492 A JP31180492 A JP 31180492A JP 31180492 A JP31180492 A JP 31180492A JP H06165433 A JPH06165433 A JP H06165433A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
stator
bearing
outer peripheral
armature coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31180492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Ito
賢一 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP31180492A priority Critical patent/JPH06165433A/en
Publication of JPH06165433A publication Critical patent/JPH06165433A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Brushless Motors (AREA)
  • Motor Or Generator Frames (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a motor which can achieve the downsizing in axial direction and besides can support its own rotor stably. CONSTITUTION:A radial bearing 21 consisting of a roller bearing is provided at the center between a stator 11 and a rotor 17, and a thrust bearing 25 consisting of dynamic-pressure pneumatic bearing is provided around it, and the rotor 17 is provided rotatably by these radial bearing 21 and thrust bearing 25 to the stator 11. According to this, since the bearings are provided at the two places of the center and the periphery, the axial dimension can be made small as compared with the case where two pieces of bearings stand side by side. Moreover, it turns out that the rotor 17 is supported at the two places of the center and the periphery, the rotor 17 can be supported stably as compared with the case that it is supported only at the center.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、小形化に対応したモー
タに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a miniaturized motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7に小形モータの従来構成を示す。図
7において、ステータ1は、ハウジング2の中央部に筒
部2aを有すると共に、筒部2aの外側にステータヨー
ク3及びプリント配線基板4を介して複数個の電機子コ
イル5を備えている。
2. Description of the Related Art FIG. 7 shows a conventional structure of a small motor. In FIG. 7, the stator 1 has a tubular portion 2a at the center of the housing 2 and a plurality of armature coils 5 on the outside of the tubular portion 2a with a stator yoke 3 and a printed wiring board 4 interposed therebetween.

【0003】ロータ6は、ロータヨーク7の中央部に回
転軸8を有すると共に、その回転軸8の外側に電機子コ
イル5と軸方向に対向する界磁用永久磁石9を備えてい
て、回転軸8が上記筒部2a内の上下に配設された、そ
れぞれころがり軸受から成る2個のラジアル軸受10
a,10bに回転可能に支持されている。
The rotor 6 has a rotary shaft 8 in the center of a rotor yoke 7, and a field permanent magnet 9 axially opposed to the armature coil 5 on the outer side of the rotary shaft 8. Two radial bearings 8 each of which is a rolling bearing and is disposed above and below the cylindrical portion 2a.
It is rotatably supported by a and 10b.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来構成のものでは、2個のラジアル軸受10a,1
0bを軸方向に並べて配置しているので、モータ全体の
軸方向寸法をそれら2個のラジアル軸受10a,10b
の軸方向寸法の合計寸法以下に小さくすることはでき
ず、軸方向の小形化を図ることが困難であった。
However, in the above-mentioned conventional structure, the two radial bearings 10a, 1 are provided.
0b are arranged side by side in the axial direction, the axial dimension of the motor as a whole is determined by the two radial bearings 10a and 10b.
However, it was difficult to reduce the size in the axial direction.

【0005】また、2個のラジアル軸受10a,10b
間の寸法、すなわち軸受間寸法が小さいと、ロータ6の
支持が不安定になりやすく、いわゆる軸振れが生じやす
くなるという問題点があった。
Two radial bearings 10a and 10b are also provided.
If the dimension between them, that is, the dimension between bearings is small, there is a problem that the support of the rotor 6 is likely to be unstable and so-called shaft run-out is likely to occur.

【0006】そこで、本発明の目的は、軸方向の小形化
を図ることができ、しかもロータを安定して支持するこ
とができるモータを提供するにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a motor which can be downsized in the axial direction and can stably support a rotor.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、電機子コイルを備えたステータに、前
記電機子コイルと対向する界磁用永久磁石を備えたロー
タを回転可能に設けるものにおいて、前記ステータとロ
ータとの間の中央部及び外周部のうちの一方にラジアル
軸受を設け、他方にスラスト軸受を設けるようにしたこ
とを特徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is capable of rotating a rotor having a stator having an armature coil and a field permanent magnet facing the armature coil. The radial bearing is provided on one of the central portion and the outer peripheral portion between the stator and the rotor, and the thrust bearing is provided on the other.

【0008】この場合、ステータとロータとの間の中央
部にころがり軸受から成るラジアル軸受を設け、外周部
に動圧軸受から成るスラスト軸受を設けたり、また、ス
テータとロータとの間の中央部に動圧軸受から成るスラ
スト軸受を設け、外周部にころがり軸受から成るラジア
ル軸受を設けたり、或いは、ステータとロータとの間の
中央部にころがり軸受から成るラジアル軸受を設け、外
周部にころがり軸受から成るスラスト軸受を設けたりす
ることができる。
In this case, a radial bearing consisting of a rolling bearing is provided in the central portion between the stator and the rotor, a thrust bearing consisting of a dynamic pressure bearing is provided in the outer peripheral portion, and a central portion between the stator and the rotor is provided. A thrust bearing consisting of a dynamic pressure bearing and a radial bearing consisting of a rolling bearing in the outer peripheral part, or a radial bearing consisting of a rolling bearing in the central part between the stator and the rotor, and a rolling bearing in the outer peripheral part. A thrust bearing consisting of can be provided.

【0009】[0009]

【作用】上記した手段によれば、軸受がステータとロー
タとの間の中央部と外周部との2箇所に設けられること
になるから、2個の軸受が軸方向に並ぶ場合に比べて、
軸方向の寸法を小さくすることが可能となる。
According to the above-mentioned means, the bearings are provided at the two locations of the central portion and the outer peripheral portion between the stator and the rotor, so that compared with the case where the two bearings are arranged in the axial direction,
It is possible to reduce the axial dimension.

【0010】また、ロータは中央部と外周部との2箇所
でそれぞれ軸受を介して支持されることになるから、中
央部のみで支持される場合に比べて、ロータを安定して
支持することができる。
Further, since the rotor is supported through bearings at each of two locations, the central portion and the outer peripheral portion, the rotor can be supported more stably than when it is supported only at the central portion. You can

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の第1実施例につき図1及び図
2を参照して説明する。ステータ11のハウジング12
には、中心部に固定軸13を立設していると共に、この
固定軸13の外側の上面にステータヨーク14及びプリ
ント配線基板15を介して複数個の電機子コイル16を
環状に配設している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. Housing 12 of the stator 11
In addition, a fixed shaft 13 is erected at the center thereof, and a plurality of armature coils 16 are annularly arranged on the outer upper surface of the fixed shaft 13 via a stator yoke 14 and a printed wiring board 15. ing.

【0012】これに対して、ロータ17のロータヨーク
18には、中央部に下面側が開放した筒部19を設けて
いると共に、この筒部19の外側の下面に電機子コイル
16と軸方向(上下方向)に対向する環状の界磁用永久
磁石20を装着している。
On the other hand, the rotor yoke 18 of the rotor 17 is provided with a cylindrical portion 19 whose lower surface side is open at the center, and the armature coil 16 and the axial direction (upper and lower) are provided on the lower surface outside the cylindrical portion 19. A ring-shaped permanent magnet 20 for field magnet facing each other is mounted.

【0013】そして、ステータ11の固定軸13の外周
面とロータ17の筒部19の内周面との間には、多数個
のボール21aを備えたころがり軸受から成るラジアル
軸受21を設けている。なお、このラジアル軸受21の
外輪21bは筒部19の内周面に隙間嵌め若しくは接着
により設け、また、内輪21cとハウジング12との間
には、内輪21cに予圧を与えるリング状のスペーサ2
2を介在させて組み付けている。
Between the outer peripheral surface of the fixed shaft 13 of the stator 11 and the inner peripheral surface of the cylindrical portion 19 of the rotor 17, there is provided a radial bearing 21 consisting of a rolling bearing having a large number of balls 21a. . The outer ring 21b of the radial bearing 21 is provided on the inner circumferential surface of the tubular portion 19 by gap fitting or adhesion, and between the inner ring 21c and the housing 12, a ring-shaped spacer 2 that applies a preload to the inner ring 21c.
It is assembled with 2 intervening.

【0014】また、上記ハウジング12の外周部の上面
には、図2に示すように多数本の溝から成るグルーブ2
3をラジアル軸受21と同心状となるように環状に設
け、ロータヨーク18の外周部の下面にはそのグルーブ
23と対向する平坦面24を設けていて、これらグルー
ブ23と平坦面24とで動圧空気軸受から成るスラスト
軸受25を構成している。
Further, on the upper surface of the outer peripheral portion of the housing 12, as shown in FIG. 2, a groove 2 having a plurality of grooves is formed.
3 is provided in an annular shape so as to be concentric with the radial bearing 21, and a flat surface 24 facing the groove 23 is provided on the lower surface of the outer peripheral portion of the rotor yoke 18, and the dynamic pressure is formed by the groove 23 and the flat surface 24. A thrust bearing 25, which is an air bearing, is configured.

【0015】而してこの場合、ロータ17は、ステータ
11に対して中央部のラジアル軸受21と外周部のスラ
スト軸受25を介して回転可能に支持されている。
In this case, therefore, the rotor 17 is rotatably supported by the stator 11 via the radial bearing 21 in the central portion and the thrust bearing 25 in the outer peripheral portion.

【0016】上記した第1実施例によれば、ステータ1
1とロータ17との間の中央部にラジアル軸受21を設
け、外周部にスラスト軸受25を設けた構成としている
から、2個のラジアル軸受10a,10bを軸方向に並
べて設ける場合に比べて、モータの軸方向の寸法を小さ
くすることが可能となる。
According to the first embodiment described above, the stator 1
Since the radial bearing 21 is provided in the central portion between the rotor 1 and the rotor 17 and the thrust bearing 25 is provided in the outer peripheral portion, compared with the case where the two radial bearings 10a and 10b are provided side by side in the axial direction, It is possible to reduce the axial dimension of the motor.

【0017】また、ロータ17は中央部でラジアル軸受
21にて支持され、外周部でスラスト軸受25にて支持
されることになるから、中央部のみで支持される場合に
比べて、ロータ17を安定して支持することができ、軸
振れの発生を極力防止することができる。
Further, since the rotor 17 is supported by the radial bearing 21 at the central portion and the thrust bearing 25 at the outer peripheral portion, the rotor 17 is supported as compared with the case where it is supported only at the central portion. It can be stably supported, and the occurrence of shaft runout can be prevented as much as possible.

【0018】なお、上記した第1実施例では、ステータ
11のハウジング12側にグルーブ23を設ける構成と
したが、グルーブ23をロータヨーク18側に設ける構
成としても良い。
In the first embodiment described above, the groove 23 is provided on the housing 12 side of the stator 11, but the groove 23 may be provided on the rotor yoke 18 side.

【0019】図3は第1実施例の変形例を示したもの
で、第1実施例とは次の点が異なっている。すなわち、
ステータ11におけるハウジング12の上面において、
グルーブ23の内側及び外側に位置するように2本の環
状の凹部26,26を設け、また、ロータ17における
ロータヨーク18の下面に、それら凹部26,26に入
り込む2本の環状の凸部27,27を設け、これら凹部
26と凸部27とにより、いわゆるラビリンス構造28
を構成する。
FIG. 3 shows a modification of the first embodiment, which is different from the first embodiment in the following points. That is,
On the upper surface of the housing 12 in the stator 11,
Two annular concave portions 26, 26 are provided so as to be located inside and outside the groove 23, and two annular convex portions 27, which enter the concave portions 26, 26, are formed on the lower surface of the rotor yoke 18 of the rotor 17. 27 is provided, and the so-called labyrinth structure 28 is formed by the concave portions 26 and the convex portions 27.
Make up.

【0020】そして、上記グルーブ23部分に潤滑用の
流体を注入することで、第1実施例の動圧空気軸受に代
えて、動圧流体軸受から成るスラスト軸受29を構成で
きる。このとき、ラビリンス構造28は、グルーブ23
部分に注入された流体の飛散を防止する機能を発揮す
る。
By injecting a lubricating fluid into the groove 23, a thrust bearing 29 composed of a hydrodynamic bearing can be constructed instead of the hydrodynamic air bearing of the first embodiment. At this time, the labyrinth structure 28 has the groove 23.
It exerts the function of preventing the fluid injected into the part from scattering.

【0021】一方、図4及び図5は本発明の第2実施例
を示したものであり、以下この第2実施例について説明
する。ステータ31のハウジング32には、中央部に円
形の凸部33を突設し、この凸部33の外側の上面にス
テータヨーク34及びプリント配線基板35を介して複
数個の電機子コイル36を環状に配設し、その外側に筒
部37を一体に設けている。
On the other hand, FIGS. 4 and 5 show a second embodiment of the present invention, which will be described below. A circular convex portion 33 is provided at the center of the housing 32 of the stator 31, and a plurality of armature coils 36 are annularly formed on the upper surface outside the convex portion 33 via a stator yoke 34 and a printed wiring board 35. And a cylindrical portion 37 is integrally provided on the outside thereof.

【0022】これに対して、ロータ38のロータヨーク
39には、凸部33と対応する中央部に下向きの凸部4
0を設けていると共に、この凸部40の外側に電機子コ
イル36と軸方向に対向する環状の界磁用永久磁石41
を装着し、その外側に筒部42を一体に設けている。
On the other hand, the rotor yoke 39 of the rotor 38 has a convex portion 4 facing downward in the central portion corresponding to the convex portion 33.
0 is provided, and an annular permanent magnet 41 for field magnet axially opposed to the armature coil 36 is provided outside the convex portion 40.
Is attached, and the tubular portion 42 is integrally provided on the outside thereof.

【0023】そして、ステータ31の凸部33の上面に
は、図5に示すように多数本の溝から成るグルーブ43
を環状に設け、このグルーブ43に対向する凸部40の
下面の平坦面44とグルーブ43とにより、動圧空気軸
受から成るスラスト軸受45を構成している。
Then, on the upper surface of the convex portion 33 of the stator 31, as shown in FIG.
Is provided in an annular shape, and the flat surface 44 of the lower surface of the convex portion 40 facing the groove 43 and the groove 43 constitute a thrust bearing 45 which is a dynamic pressure air bearing.

【0024】また、ハウジング32における筒部37の
内周面とロータ38における筒部42の外周面との間に
は、多数個のボール46aを備えたころがり軸受から成
るラジアル軸受46を設けている。
Further, between the inner peripheral surface of the cylindrical portion 37 of the housing 32 and the outer peripheral surface of the cylindrical portion 42 of the rotor 38, there is provided a radial bearing 46 which is a rolling bearing having a large number of balls 46a. .

【0025】而してこの場合、ロータ38は、ステータ
31に対して中央部のスラスト軸受45と外周部のラジ
アル軸受46を介して回転可能に支持されている。
In this case, therefore, the rotor 38 is rotatably supported by the stator 31 via the thrust bearing 45 in the central portion and the radial bearing 46 in the outer peripheral portion.

【0026】斯様な第2実施例においても、上記した第
1実施例と同様な作用効果を得ることができる。
Also in such a second embodiment, the same operational effects as those of the above-mentioned first embodiment can be obtained.

【0027】また、図6は本発明の第3実施例を示した
ものであり、前述した第1実施例とは次の点が異なって
いる。すなわち、この第3実施例では、第1実施例にお
ける動圧空気軸受から成るスラスト軸受25に代えて、
ステータ11におけるハウジング12の外周部の上面と
ロータ17におけるロータヨーク18の外周部の下面と
の間に、多数個のボール47aを備えたころがり軸受か
ら成るスラスト軸受47を設けている。
FIG. 6 shows a third embodiment of the present invention, which is different from the above-described first embodiment in the following points. That is, in the third embodiment, instead of the thrust bearing 25 composed of the dynamic pressure air bearing in the first embodiment,
Between the upper surface of the outer peripheral portion of the housing 12 of the stator 11 and the lower surface of the outer peripheral portion of the rotor yoke 18 of the rotor 17, a thrust bearing 47 formed of a rolling bearing having a large number of balls 47a is provided.

【0028】而してこの場合、ロータ17は、ステータ
11に対して中央部のラジアル軸受21と外周部のスラ
スト軸受47を介して回転可能に支持されている。
In this case, therefore, the rotor 17 is rotatably supported by the stator 11 via the radial bearing 21 in the central portion and the thrust bearing 47 in the outer peripheral portion.

【0029】斯様な第3実施例においても、第1実施例
と同様な作用効果を得ることができる。
Also in such a third embodiment, it is possible to obtain the same effect as that of the first embodiment.

【0030】なお、上記した各実施例では、電機子コイ
ル16,36と界磁用永久磁石20,41とが軸方向に
隙間を存して対向するアキシャルギャップ形モータを例
示したが、本発明は、電機子コイルと界磁用永久磁石と
が径方向に隙間を存して対向するラジアルギャップ形モ
ータにも適用することができる。
In each of the above-mentioned embodiments, the axial gap type motor in which the armature coils 16 and 36 and the field permanent magnets 20 and 41 are opposed to each other with a gap in the axial direction is shown as an example. Can also be applied to a radial gap type motor in which an armature coil and a field permanent magnet face each other with a gap in the radial direction.

【0031】[0031]

【発明の効果】請求項1に記載のモータによれば、軸受
がステータとロータとの間の中央部と外周部との2箇所
に設けられることになるから、2個の軸受が軸方向に並
ぶ場合に比べて、軸方向の寸法を小さくすることが可能
となり、ひいては軸方向の小形化を図ることができる。
According to the motor of the first aspect, the bearings are provided at two locations, the central portion and the outer peripheral portion, between the stator and the rotor, so that the two bearings are arranged in the axial direction. The size in the axial direction can be made smaller than that in the case of arranging them side by side, and eventually the size can be made smaller in the axial direction.

【0032】また、ロータは中央部と外周部との2箇所
でそれぞれ軸受を介して支持されることになるから、中
央部のみで支持される場合に比べて、ロータを安定して
支持することができ、軸振れの発生を極力防止すること
ができる。
Further, since the rotor is supported through bearings at each of two locations, the central portion and the outer peripheral portion, the rotor can be supported more stably than when it is supported only at the central portion. Therefore, the occurrence of shaft runout can be prevented as much as possible.

【0033】そして、請求項2,3及び4に記載のモー
タにおいても、請求項1と同様な効果を得ることができ
る。
Also, in the motors described in claims 2, 3 and 4, the same effect as in claim 1 can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す縦断正面図FIG. 1 is a vertical sectional front view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】ステータにおけるハウジング部分の平面図FIG. 2 is a plan view of a housing portion of the stator.

【図3】第1実施例の変形例を示す要部の拡大縦断正面
FIG. 3 is an enlarged vertical sectional front view of a main part showing a modified example of the first embodiment.

【図4】本発明の第2実施例を示す図1相当図FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 1 showing a second embodiment of the present invention.

【図5】図2相当図FIG. 5 is a view corresponding to FIG.

【図6】本発明の第3実施例を示す図1相当図FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 1 showing a third embodiment of the present invention.

【図7】従来構成を示す図1相当図FIG. 7 is a diagram corresponding to FIG. 1 showing a conventional configuration.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,31はステータ、16,36は電機子コイル、1
7,38はロータ、20,41は界磁用永久磁石、2
1,46はラジアル軸受、25,29,45,47はス
ラスト軸受である。
11, 31 are stators, 16 and 36 are armature coils, 1
7, 38 are rotors, 20, 41 are field permanent magnets, 2
1, 46 are radial bearings, and 25, 29, 45, 47 are thrust bearings.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電機子コイルを備えたステータに、前記
電機子コイルと対向する界磁用永久磁石を備えたロータ
を回転可能に設けるものにおいて、前記ステータとロー
タとの間の中央部及び外周部のうちの一方にラジアル軸
受を設け、他方にスラスト軸受を設けたことを特徴とす
るモータ。
1. A stator provided with an armature coil rotatably provided with a rotor provided with a field permanent magnet facing the armature coil, wherein a central portion and an outer periphery between the stator and the rotor. A motor characterized in that a radial bearing is provided on one of the parts and a thrust bearing is provided on the other.
【請求項2】 電機子コイルを備えたステータに、前記
電機子コイルと対向する界磁用永久磁石を備えたロータ
を回転可能に設けるものにおいて、前記ステータとロー
タとの間の中央部にころがり軸受から成るラジアル軸受
を設け、外周部に動圧軸受から成るスラスト軸受を設け
たことを特徴とするモータ。
2. A stator provided with an armature coil, wherein a rotor provided with a field permanent magnet facing the armature coil is rotatably provided, and a rotor is provided at a central portion between the stator and the rotor. A motor having a radial bearing formed of a bearing and a thrust bearing formed of a dynamic pressure bearing on the outer peripheral portion.
【請求項3】 電機子コイルを備えたステータに、前記
電機子コイルと対向する界磁用永久磁石を備えたロータ
を回転可能に設けるものにおいて、前記ステータとロー
タとの間の中央部に動圧軸受から成るスラスト軸受を設
け、外周部にころがり軸受から成るラジアル軸受を設け
たことを特徴とするモータ。
3. A stator provided with an armature coil rotatably provided with a rotor provided with a field permanent magnet facing the armature coil, wherein the rotor is provided at a central portion between the stator and the rotor. A motor comprising a thrust bearing formed of a pressure bearing and a radial bearing formed of a rolling bearing on the outer peripheral portion.
【請求項4】 電機子コイルを備えたステータに、前記
電機子コイルと対向する界磁用永久磁石を備えたロータ
を回転可能に設けるものにおいて、前記ステータとロー
タとの間の中央部にころがり軸受から成るラジアル軸受
を設け、外周部にころがり軸受から成るスラスト軸受を
設けたことを特徴とするモータ。
4. A stator provided with an armature coil rotatably provided with a rotor provided with a field permanent magnet facing the armature coil, wherein a rotor is provided at a central portion between the stator and the rotor. A motor comprising a radial bearing formed of a bearing and a thrust bearing formed of a rolling bearing on the outer peripheral portion.
JP31180492A 1992-11-20 1992-11-20 Motor Pending JPH06165433A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31180492A JPH06165433A (en) 1992-11-20 1992-11-20 Motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31180492A JPH06165433A (en) 1992-11-20 1992-11-20 Motor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06165433A true JPH06165433A (en) 1994-06-10

Family

ID=18021634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31180492A Pending JPH06165433A (en) 1992-11-20 1992-11-20 Motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06165433A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9523927B2 (en) 2012-03-05 2016-12-20 Canon Kabushiki Kaisha Exposure apparatus with detection apparatus for detection of upper and lower surface marks, and device manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9523927B2 (en) 2012-03-05 2016-12-20 Canon Kabushiki Kaisha Exposure apparatus with detection apparatus for detection of upper and lower surface marks, and device manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH06165433A (en) Motor
JP3020616B2 (en) Spindle motor
US5450261A (en) Magnetic disc drive motor having disc securely fixed to loading surface to abut upper bearing outer ring
JP2844379B2 (en) Spindle motor
JP2000175399A (en) Dynamic pressure bearing of spindle motor
JPH05252713A (en) Brushless motor
JPH02168835A (en) Spindle motor
JPH08130851A (en) Axial gap motor
JPH0622526A (en) Spindle motor
JPH05219708A (en) Brushless motor
JPH0242616A (en) Dynamic pressure bearing device
JPH07308044A (en) Motor assembly
JPH07293572A (en) Bearing device
JPH022046Y2 (en)
KR100229391B1 (en) Head drum assembly
JPH07111029A (en) Bearing fluid sealing structure for motor
JPH1127897A (en) Spindle motor
JPH05340424A (en) Combined angular type ball bearing
JPH0560134A (en) Fluid bearing motor
JPH05130764A (en) Spindle motor
JPH07222390A (en) Disk drive
JPH06225506A (en) Assembly method of electric motor
JPH0956109A (en) Motor with composite bearing unit
JPH0614496A (en) Spindle motor
JPH0668154U (en) Magnetic disk drive