JPH0616382B2 - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH0616382B2 JPH0616382B2 JP61204416A JP20441686A JPH0616382B2 JP H0616382 B2 JPH0616382 B2 JP H0616382B2 JP 61204416 A JP61204416 A JP 61204416A JP 20441686 A JP20441686 A JP 20441686A JP H0616382 B2 JPH0616382 B2 JP H0616382B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- vacuum container
- irradiation device
- beam irradiation
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は電子線照射装置に関するものである。
（従来の技術） 電子線照射装置において、真空容器の内部に負の高電圧
に維持される電極を配置し、その内部に電子線を照射す
るフィラメントを配置するとともに、前記電極と向い合
う真空容器の壁面に開口部分を設け、ここに電子線が透
過する照射窓を設置したものは既によく知られている。
に維持される電極を配置し、その内部に電子線を照射す
るフィラメントを配置するとともに、前記電極と向い合
う真空容器の壁面に開口部分を設け、ここに電子線が透
過する照射窓を設置したものは既によく知られている。
第３図は従来のこの種装置を示し、１は真空容器、２は
電極、３はその内部に配置されてあるフィラメント、４
は真空容器１の、電極２と向い合う壁面に設けられた開
口部で、ここに真空を維持するとともに、電子線の透過
を許容する金属製の箔５を備えた照射窓６が設置され
る。
電極、３はその内部に配置されてあるフィラメント、４
は真空容器１の、電極２と向い合う壁面に設けられた開
口部で、ここに真空を維持するとともに、電子線の透過
を許容する金属製の箔５を備えた照射窓６が設置され
る。
ところでこの種装置においては、真空容器１は通常ステ
ンレスによって構成されているため、その熱伝導性はあ
まり良くない。そしてその壁面特に開口部４の周縁４Ａ
は、電子線が多く衝突するため高温となる。このように
高温化されると、その内部の吸蔵ガスが真空空間に放出
されるようになる。
ンレスによって構成されているため、その熱伝導性はあ
まり良くない。そしてその壁面特に開口部４の周縁４Ａ
は、電子線が多く衝突するため高温となる。このように
高温化されると、その内部の吸蔵ガスが真空空間に放出
されるようになる。
このようなガスが放出されると、これに加熱電子が衝突
するなどしてイオン化されて放電し、そのためこの種装
置の運転が極めて不安定となることがある。このような
現象の発生を回避するためには、高温化部分特に開口部
周縁を充分に冷却すればよい。
するなどしてイオン化されて放電し、そのためこの種装
置の運転が極めて不安定となることがある。このような
現象の発生を回避するためには、高温化部分特に開口部
周縁を充分に冷却すればよい。
そこで従来では第３図に示すように、開口部４の周縁４
Ａに、真空容器１の軸心方向に延びる深い孔７を加工成
形し、この孔７に冷却水を流通させることによって冷却
している。
Ａに、真空容器１の軸心方向に延びる深い孔７を加工成
形し、この孔７に冷却水を流通させることによって冷却
している。
しかしこのような孔７の加工は、極めて面倒であり加工
費が高くつくばかりでなく、前記したように真空容器１
はステンレスなどによって構成されていて、熱伝導性は
あまり良くないため、孔７に冷却水を流すことによって
行う冷却の効率は極めて低い。
費が高くつくばかりでなく、前記したように真空容器１
はステンレスなどによって構成されていて、熱伝導性は
あまり良くないため、孔７に冷却水を流すことによって
行う冷却の効率は極めて低い。
（発明が解決しようとする問題点） この発明は電子線照射に際し、開口部における冷却の簡
易化を図ることを目的とする。
易化を図ることを目的とする。
（問題点を解決するための手段） この発明は熱伝導性材料からなる板材を、真空容器の壁
面に設けた開口部分の周縁を覆うように設け、この板材
の端縁に、内部に冷却媒体が流通されるパイプを設置し
たことを特徴とする。
面に設けた開口部分の周縁を覆うように設け、この板材
の端縁に、内部に冷却媒体が流通されるパイプを設置し
たことを特徴とする。
（実施例） この発明を第１図、第２図によって説明する。なお第３
図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部分
を示す。この発明にしたがい開口部４の周縁を覆うよう
に板材８を配置する。この板材８は熱伝導性の良い銅に
よって形成されてある。そしてこの板材８の周縁に、溶
接またはロー付けなどによってパイプ９を固定する。こ
のパイプ９には冷却水その他の冷却媒体を流通させるよ
うにしてある。
図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部分
を示す。この発明にしたがい開口部４の周縁を覆うよう
に板材８を配置する。この板材８は熱伝導性の良い銅に
よって形成されてある。そしてこの板材８の周縁に、溶
接またはロー付けなどによってパイプ９を固定する。こ
のパイプ９には冷却水その他の冷却媒体を流通させるよ
うにしてある。
以上の構成によれば、開口部４の周縁４Ａに電極２から
の電子線が向かうようなことがあっても、その電子線は
板材８に衝突するようになり、周縁４Ａには衝突するよ
うなことはない。そのため周縁４Ａは高温度化すること
はなく、したがって吸蔵ガスの放出による運転の不安定
化も起らない。
の電子線が向かうようなことがあっても、その電子線は
板材８に衝突するようになり、周縁４Ａには衝突するよ
うなことはない。そのため周縁４Ａは高温度化すること
はなく、したがって吸蔵ガスの放出による運転の不安定
化も起らない。
一方電子線が板材８に衝突することによって、これが高
温度化しようとするが、これには内部に冷却媒体が流通
しているパイプ９が固定されているため、これによって
板材８は速やかに冷却されるようになる。したがってこ
れが高温度となることはない。
温度化しようとするが、これには内部に冷却媒体が流通
しているパイプ９が固定されているため、これによって
板材８は速やかに冷却されるようになる。したがってこ
れが高温度となることはない。
そしてこのような冷却のために単に板材８およびパイプ
９によって構成すればよく、従来のような加工費の高い
孔７を形成する必要は全くないため、極めて安価にかつ
構成することができるようになる。そしてこの板材８を
円弧状に成形しておくことにより、この板材８によって
周縁４Ａのエッジ部分を覆うことにより、電界緩和のた
めにこのエッジ部分を特に円弧状に加工する必要もなく
なる。
９によって構成すればよく、従来のような加工費の高い
孔７を形成する必要は全くないため、極めて安価にかつ
構成することができるようになる。そしてこの板材８を
円弧状に成形しておくことにより、この板材８によって
周縁４Ａのエッジ部分を覆うことにより、電界緩和のた
めにこのエッジ部分を特に円弧状に加工する必要もなく
なる。
（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、真空容器の開口
部における温度上昇の抑制のための構成を、従来のよう
な開口部の周縁における冷却用の孔の加工を不要として
構成することができ、したがって従来構成に比較して簡
単にかつ安価に構成できるとともに、電界緩和のための
構成も簡単とすることができるといった効果を奏する。
部における温度上昇の抑制のための構成を、従来のよう
な開口部の周縁における冷却用の孔の加工を不要として
構成することができ、したがって従来構成に比較して簡
単にかつ安価に構成できるとともに、電界緩和のための
構成も簡単とすることができるといった効果を奏する。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は一
部の拡大断面図、第３図は従来例を示す斜視図である。 １……真空容器、２……電極、３……フィラメント、４
……開口部、４Ａ……周縁、６……照射窓、８……板
材、９……パイプ、
部の拡大断面図、第３図は従来例を示す斜視図である。 １……真空容器、２……電極、３……フィラメント、４
……開口部、４Ａ……周縁、６……照射窓、８……板
材、９……パイプ、
Claims (1)
- 【請求項１】電子線を放射するフィラメントを備えた電
極をステンレス製の真空容器の内部に設置するととも
に、前記電極と向い合う前記真空容器の壁面に、照射窓
を設置するための開口部分を設けてなる電子線照射装置
において、銅からなり、円弧状に成形した板材を、前記
開口部分のエッジ部分を含む周縁を覆うように設け、前
記板材の端縁に、内部に冷却媒体が流通されるパイプを
設置してなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204416A JPH0616382B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204416A JPH0616382B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362140A JPS6362140A (ja) | 1988-03-18 |
| JPH0616382B2 true JPH0616382B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16490179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61204416A Expired - Lifetime JPH0616382B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616382B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119800U (ja) * | 1984-07-10 | 1986-02-05 | 日新ハイボルテ−ジ株式会社 | 荷電粒子線照射装置 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61204416A patent/JPH0616382B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362140A (ja) | 1988-03-18 |
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